KR20160024219A - 세정 폐액 처리 장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 실시예는 고농도의 세정 폐액을 단시간에 안전하고 용이하게 추출하여 재활용 할 수 있는 세정 폐액 처리 장치 및 방법을 제공한다.
이를 위해 본 발명의 일 실시예는 본 발명의 일 실시예에 의한 세정 폐액 처리 장치는 세정 폐액을 저장하는 폐액 저장 탱크, 상기 폐액 저장 탱크에서 공급되는 세정 폐액 내의 불순물을 제거하는 음이온 교환막, 상기 음이온 교환막을 거쳐 분리된 상기 불순물을 저장하는 불순물 저장 탱크 및 상기 음이온 교환막을 거쳐 상기 불순물이 제거된 처리 용액을 저장하는 처리 용액 저장 탱크를 포함하는 것을 특징으로 하는 세정 폐액 처리 장치 및 방법을 개시한다.

Description

세정 폐액 처리 장치 및 방법{Treatment apparatus for chemical cleaning wastewater and treatment method using the same}
본 발명의 일 실시예는 세정 폐액 처리 장치 및 방법에 관한 것이다.
오랜 시간 동안 보일러를 운전하게 되면 보일러의 튜브 내면에 스케일이 축적되며 과열과 부식에 의한 손상과 같은 문제점을 발생시키고 보일러의 효율을 저하시킨다.
현재의 방식대로 문제 있는 튜브들을 교체한다 하더라도 교체하지 않은 부분이 남아 있어 스케일이 균일하게 제거되는 것도 아니며 재질의 특성이나 보일러의 특성이 달라지는 것도 아니므로 교체하지 않은 부분에서 발생하는 파열사고의 가능성은 잠재하고 있다. 과도한 스케일의 발생이나 신규 석탄화력발전소의 다량 탈리에 의한 터빈의 손상은 아직 정밀하게 조사된 적은 없으나 향후 심각한 문제를 일으킬 수 있다. 그러므로 과열기와 재열기 전체의 스케일을 균일하게 제거하는 것이 필수적이며, 그 방법으로 화학 세정법이 가장 우수하다.
여기서, 일반적으로 보일러 튜브의 내면 스케일 제거를 위한 화학세정에 사용되는 유기약품은 주로 킬레이트 화합물 중에서 EDTA(ethylene diamine tetraacetic acid) 수용액이다.
EDTA을 사용하여 튜브내면 스케일을 용해한 화학세정 폐액의 주성분은 금속산화물이 용해되어 생성된 금속 이온염인 ferrous EDTA [Fe(II)EDTA]이며, ferrous EDTA는 대기중의 산소나 기타 산화제와 접촉하면 산화되어 ferric EDTA [Fe(III)EDTA]가 된다.
하지만, 종래에는 주로 EDTA의 회수에 관한 것을 초점으로, 폐액의 처리 방법으로 촉매를 이용하여 산화 처리하는 방법이 주를 이루고 있었으나, 이는 회수 측면에서는 수율이 낮아(30%) 재처리를 필요로 하는 문제가 있었다.
본 발명의 일 실시예는 고농도의 세정 폐액을 단시간에 안전하고 용이하게 추출하여 재활용 할 수 있는 세정 폐액 처리 장치 및 방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시예에 의한 세정 폐액 처리 장치는 세정 폐액을 저장하는 폐액 저장 탱크, 상기 폐액 저장 탱크에서 공급되는 세정 폐액 내의 불순물을 제거하는 음이온 교환막, 상기 음이온 교환막을 거쳐 분리된 상기 불순물을 저장하는 불순물 저장 탱크 및 상기 음이온 교환막을 거쳐 상기 불순물이 제거된 처리 용액을 저장하는 처리 용액 저장 탱크를 포함한다.
상기 폐액 저장 탱크와 상기 음이온 교환막 사이에 설치된 분산 유닛을 더 포함할 수 있다.
상기 상기 음이온 교환막과 상기 분산 유닛에 전원을 공급하는 전원 공급 장치를 더 포함할 수 있다.
상기 처리 용액 저장 탱크에 저장된 처리 용액 중 일부를 검사하여, 적합하지 않은 처리 용액은 상기 폐액 저장 탱크로 회수될 수 있다.
상기 불순물 저장 탱크에 저장된 상기 불순물은 보일러 내부에서 크링커 방지제로 재활용될 수 있다.
상기 불순물은 보일러에 투입되는 연료에 1000:5의 비율로 혼합되어 크링커 방지제로 재활용될 수 있다.
상기 처리 용액 저장 탱크에 저장된 상기 처리 용액은 보일러의 연소용 버너의 분무수(Atomizing water)로 재활용될 수 있다.
상기 처리 용액 저장 탱크에 저장된 상기 처리 용액은 연료의 표면에 분사하여 비산 방지에 재활용될 수 있다.
상기 세정 용액은 EDTA((Ethylenediaminetetraacetic acid)를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의한 세정 폐액 처리 방법은 세정 용액을 주입하여, 보일러 튜브 내부를 세정하는 단계(A), 상기 (A)단계에서 생성된 세정 폐액을 폐액 저장 탱크에 저장하는 단계(B), 음이온 교환막을 이용해 상기 폐액 저장 탱크에서 공급되는 상기 세정 폐액 내의 불순물을 제거하는 단계(C), 상기 음이온 교환막을 거쳐 분리된 상기 불순물을 불순물 저장 탱크에 저장하는 단계(D) 및 상기 음이온 교환막을 거쳐 상기 불순물이 제거된 처리 용액을 처리 용액 저장 탱크에 저장하는 단계(E)를 포함한다.
상기 (C)단계는, 상기 세정 폐액을 상기 음이온 교환막에 투입 전 분산 유닛을 거치는 단계(C-1)를 더 포함할 수 있다.
상기 처리 용액 저장 탱크에 저장된 처리 용액 중 일부를 검사하여, 적합하지 않은 처리 용액은 상기 폐액 저장 탱크로 회수하는 단계(F)를 더 포함할 수 있다.
상기 불순물 저장 탱크에 저장된 상기 불순물을 보일러 내부에서 크링커 방지제로 재활용하는 단계(G)를 더 포함할 수 있다.
상기 (G)단계에서, 상기 불순물은 보일러에 투입되는 연료에 1000:5의 비율로 혼합될 수 있다.
상기 처리 용액 저장 탱크에 저장된 상기 처리 용액을 보일러의 연소용 버너의 분무수(Atomizing water)로 재활용하는 단계(H-1)를 더 포함할 수 있다.
상기 처리 용액 저장 탱크에 저장된 상기 처리 용액을 연료의 표면에 분사하여 비산 방지에 재활용하는 단계(H-2)를 더 포함할 수 있다.
상기 세정 용액은 EDTA((Ethylenediaminetetraacetic acid)를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 세정 폐액 처리 장치 및 방법은 고농도의 세정 폐액을 단시간에 안전하고 용이하게 추출하여 재활용 할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 세정 폐액 처리 장치를 개략적으로 도시한 개념도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 하기 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 오히려, 이들 실시예는 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하고, 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다.
또한, 이하의 도면에서 각 층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장된 것이며, 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 용어 "및/또는"은 해당 열거된 항목 중 어느 하나 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.
본 명세서에서 사용된 용어는 특정 실시예를 설명하기 위하여 사용되며, 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 단수 형태는 문맥상 다른 경우를 분명히 지적하는 것이 아니라면, 복수의 형태를 포함할 수 있다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 경우 "포함한다(comprise)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급한 형상들, 숫자, 단계, 동작, 부재, 요소 및/또는 이들 그룹의 존재를 특정하는 것이며, 하나 이상의 다른 형상, 숫자, 동작, 부재, 요소 및 /또는 그룹들의 존재 또는 부가를 배제하는 것이 아니다.
본 명세서에서 제1, 제2 등의 용어가 다양한 부재, 부품, 영역, 층들 및/또는 부분들을 설명하기 위하여 사용되지만, 이들 부재, 부품, 영역, 층들 및/또는 부분들은 이들 용어에 의해 한정되어서는 안 됨은 자명하다. 이들 용어는 하나의 부재, 부품, 영역, 층 또는 부분을 다른 영역, 층 또는 부분과 구별하기 위하여만 사용된다. 따라서, 이하 상술할 제1부재, 부품, 영역, 층 또는 부분은 본 발명의 가르침으로부터 벗어나지 않고서도 제2부재, 부품, 영역, 층 또는 부분을 지칭할 수 있다.
일반적으로 발전 보일러 튜브 내면에 부착된 스케일은 철산화물이 90%이상이다. 따라서, 킬레이트(EDTA)를 사용하여 열교환기 화학 세정 시 발생한 폐액의 주성분은 90%이상이 ferric EDTA 용액이며, 암모늄 EDTA 화학 세정 폐액은 pH5.0～9.7이고 철 이온 농도는 5,000 ~ 15,000ppm, 기타성분은 스케일의 성분함량에 따라 금속이온농도가 다르게 구성되어 있다. 이때, 발생되는 폐액의 주성분은 용매로서 주로 순수를 사용하고 그 이외의 성분은 금속 킬레이트 및 잔류 화학 세정제(킬레이트)의 농도는 0.1 ~ 6.0%까지 발생할 수 있으므로 금속 킬레이트의 유용성분을 음이온 교환막을 이용하여 추출하고 나머지는 연료 등에 분사하여 연소함으로써 NOx 발생을 줄일 수 있고 유용성 추출 화합물은 탈황/탈질 동시 처리제나 화력보일러에서 크링커의 발생을 줄일 수 있는 첨가제로 사용 가능하다.
여기서, 킬레이트의 반응은 다양하게 나타나지만 철산화물의 용해에 의한 배위결합은 아래와 같이 표현할 수 있다.
[Fe(H2O)6]3+ + H4EDTA = [Fe(EDTA)]- + 6H2O + 4H+
여기에서 유용성화합물로 재활용이 가능한 철킬레이트 이온을 음이온 교환막에서 반응시키고 재생에 의해 추출한다.
추출된 철킬레이트 화합물은 화력보일러에서 발생되는 크링커 감소를 위하여 석탄 등의 연료에 1000:5의 비율로 혼합하여 연소한다. 또한 유출된 저농도의 킬레이트 폐액은 석탄 등의 저탄장에 분사하여 비산을 막고 보일러에 연소 시 연소온도를 낮추는 효과를 보일 수 있으며 NOx를 저감할 수 있다. 킬레이트 폐액을 이용한 분리추출방법과 재활용방법을 첨부도면을 참조하면서 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 세정 폐액 처리 장치를 개략적으로 도시한 개념도이다.
먼저, 본 발명은 실제 화학세정이 이루어지는 공정에서 동시에 처리할 수 있는 장치를 활용 하는 것을 주요점으로 하고 있으며, 폐액을 재활용하여 자원화하는 프로세스로 설계되었다.
우선, 보일러 내의 화학 세정 공정 중에 발생한 폐액을 폐액 저장 탱크(110)에 저장한다.
여기서, 화학 세정 공정 중에 발생한 세정 폐액의 온도는 대략 80~90도 사이로 배출되므로 상기 폐액 저장 탱크(110)에서 저장 중 혹은 배출되면서 열교환을 통해 온도를 낮춰줄 필요가 있다. 이를 위해, 냉각용 튜브를 통한 열교환(수냉각)을 하여 세정 폐액의 온도를 대략 50도 정도까지 낮추는 것이 바람직하다. 물론, 폐액 저장 탱크(110)에서 저장 중 폐액 저장 탱크(110)의 커버를 오픈하여, 세정 폐액의 온도를 낮추는 것도 가능하다.
이후, 폐액 저장 탱크(110)에서 배출되는 세정 폐액의 반응성을 높이기 위하여 분산 유닛(120)으로 전처리를 실시한다. 이는, 세정 후 발생되는 세정 폐액은 공정 중 여러 곳에서 나오며 용매, 세정제 및 반응물이 혼합되어 있는 상태로 이들의 혼합률이 일정하지 않으므로, 이를 일정하게 하고 반응성을 높이기 위해 분산하는 균질화를 위한 것이다.
이후, 분산 유닛(120)을 통과한 세정 폐액은 펌프를 통해서 음이온 교환막(140)을 거쳐서 세정 폐액 중 유효성분인 킬레이트 화합물 등의 불순물을 제거한다. 여기서, 상기 음이온 교환막(140)은 음이온만 통과되도록 하며, 일반적으로 사용되는 술폰산기가 포함된 교환막을 사용된다.
여기서, 상기 분산 유닛(120)과 음이온 교환막(140)에는 전원을 공급하는 전원 공급 장치(130)이 각각 연결되어, 운행에 필요한 전원을 공급받는다.
이후, 제거된 불순물은 처리조(150)을 거쳐 농축되고 불순물 농축수는 불순물 저장 탱크(160)에 저장된다. 물론, 그 이외의 성분(처리 용액)은 정수되어 처리 용액 저장 탱크(170)로 이송된다. 여기서, 처리 용액 저장 탱크(170)에는 시료를 채취할 수 있는 밸브가 설치되어 정상여부를 측정하고 적합하지 않은 처리 용액은 다시 폐액 저장 탱크(110)로 회수되어 처리된다.
상술한 바와 같이, 불순물 저장 탱크(160)에 저장된 불순물 농축수는 유효성분(예를 들어, 산화철과 반응한 킬레이트 세정제의 혼합물인 철킬레이트 화합물)이 높아 연료 중에 분사하여 보일러노 내의 크링커 방지제로 재활용된다. 또한, 정수된 처리 용액은 회수되든가 또는 연료의 표면에 분사하여 비산방지용으로 재활용될 수 있으며, 연료 중에 혼합하여 보일러노 내에 분사하여 처리 또는 보일러의 연소용 버너의 분무수(Atomizing water)로 재활용하여 화학세정에서 생성된 폐액을 전량 회수 처리할 수 있다.
다음은 실시예들을 참조하여, 본 발명을 상세히 설명한다.
[실시예 1]
다음의 [표 1]과 같은 조성을 가지는 폐액을 화학 세정 공정 중에 폐액 저장 탱크(110)에 담고 상기 순서로 폐액 처리 실험을 실시하였다. 온도는 80℃, 압력은 대기압이고 폐액의 이송속도는 50ml/min, 펌프의 압력은 5㎏/㎠이다. 회수되는 불순물 농축수의 농도는 Fe 39,800ppm 6% EDTA이고 처리 용액에 유입되는 정수의 농도는 Fe 1,300ppm EDTA 농도는 0.5%이다.
폐액 조성 및 시험 조건
항목 원폐액
함량(W/W%)		 불순물 저장탱크 처리용액 저장탱크
Fe 10,000ppm 19,800 1,300
기타미량금속 100ppm 250 33
잔류유기산(EDTA) 3.0 6.0 0.2
운전온도 80℃ - -
운전압력(펌프) 5 ㎏/㎠ - -
액량(L) 2000 450 1550
pH/전도도(㎲/㎝) 4.5/3,000 5.1/5,900 6.2/1,000
운전시간(min) 60 - -
[실시예2]
다음의 [표 2]와 같은 조성을 가지는 폐액을 폐액 저장 탱크(110)에 담고 상기 순서로 폐액 처리 실험을 실시하였다. 온도는 80℃, 압력은 대기압이고 폐액의 이송속도는 50ml/min, 펌프의 압력은 5㎏/㎠이다.
회수되는 불순물 농축수의 농도는 Fe 12,800ppm 1.2% EDTA이고 처리 용액에 유입되는 정수의 농도는 Fe 800ppm EDTA 농도는 0.2%이다.
폐액 조성 및 시험 조건
항목 원폐액
함량(W/W%)		 불순물 저장탱크 처리용액 저장탱크
Fe 5,000ppm 12800 800
기타미량금속 50ppm 350 33
잔류유기산(EDTA) 0.5 1.5 0.2
운전온도 80℃ - -
운전압력(펌프) 5 ㎏/㎠ - -
액량(L) 2000 650 1350
pH/전도도(㎲/㎝) 6.5/3,000 6.1/3,800 6.3/800
운전시간(min) 60 - -
[실시예3]
다음의 [표 3]과 같은 조성을 가지는 폐액을 폐액 저장 탱크(110)에 담고 상기 순서로 폐액 처리 실험을 실시하였다. 온도는 80℃, 압력은 대기압이고 폐액의 이송속도는 50ml/min, 펌프의 압력은 5㎏/㎠이다.
회수되는 불순물 농축수의 농도는 농도는 Fe 9,800ppm 1.9% EDTA이고 처리 용액에 유입되는 정수의 농도는 Fe 500ppm EDTA 농도는 0.2%이다.
폐액 조성 및 시험 조건
항목 원폐액
함량(W/W%)		 불순물 저장탱크 처리용액 저장탱크
Fe 2,500ppm 9,800 500
기타미량금속 25ppm 10 33
잔류유기산(EDTA) 0.5 1.9 0.2
운전온도 80℃ - -
운전압력(펌프) 5 ㎏/㎠ - -
액량(L) 2000 690 1310
pH/전도도(㎲/㎝) 6.5/2,000 6.1/3,800 6.3/8,00
운전시간(min) 60 - -
[실시예3]
상기의 실시예에서 회수된 불순물 농축수와 처리 용액을 각각 저장 탱크(160, 170)에서 회수하여 연료 중에 혼합하고 보일러 노내에 분사하여 연소의 안정성 및 처리 여부를 실험 하였다. 연료는 석탄(유연탄)을 사용하였고 저탄장에는 처리 용액을 살포하여 이송 정도를 관찰하였으며, 버너의 분무수(Atomizing water)로 사용하여 화염의 안정성 여부 등을 관찰하였다. 농축 회수된 불순물 농축수는 연료(석탄)이송라인에 1000:1의 비율로 주입하고 연소의 안정성 및 노내 크링커의 생성여부를 관찰하였다.
시험조건 및 결과
항목 불순물 저장탱크 처리용액 저장탱크
연료 이송 여부(석탄) 양호 양호
연료 비산 여부(석탄) 양호 양호
버너 연소 안정성(점검창) 양호 양호
노내 크링커 생성 여부(점검창) 양호 양호
주입 함량(연료대비) 1/1,000 -
액량(L) 690 1310
pH/전도도(㎲/㎝) 6.1/3,800 6.3/800
운전시간(min) - -
본 발명은 상기 실시 예들에 한정되지 않고 본 발명의 기술적 요지를 벗어나지 아니하는 범위 내에서 다양하게 수정/변형되어 실시될 수 있음은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어서 자명한 것이다.
110; 폐액 저장 탱크 120; 분산 유닛
130; 전원 공급 장치 140: 음이온 교환막
150; 처리조 160; 불순물 저장 탱크
170; 처리 용액 저장 탱크

Claims (17)

  1. 보일러 튜브 내부에 세정 용액을 주입하여 생성된 세정 폐액을 처리하는 세정 폐액 처리 장치에 있어서,
    상기 세정 폐액을 저장하는 폐액 저장 탱크;
    상기 폐액 저장 탱크에서 공급되는 세정 폐액 내의 불순물을 제거하는 음이온 교환막;
    상기 음이온 교환막을 거쳐 분리된 상기 불순물을 저장하는 불순물 저장 탱크; 및
    상기 음이온 교환막을 거쳐 상기 불순물이 제거된 처리 용액을 저장하는 처리 용액 저장 탱크를 포함하는 것을 특징으로 하는 세정 폐액 처리 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 폐액 저장 탱크와 상기 음이온 교환막 사이에 설치된 분산 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 세정 폐액 처리 장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 상기 음이온 교환막과 상기 분산 유닛에 전원을 공급하는 전원 공급 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 세정 폐액 처리 장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 처리 용액 저장 탱크에 저장된 처리 용액 중 일부를 검사하여, 적합하지 않은 처리 용액은 상기 폐액 저장 탱크로 회수되는 것을 특징으로 하는 세정 폐액 처리 장치.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 불순물 저장 탱크에 저장된 상기 불순물은 보일러 내부에서 크링커 방지제로 재활용되는 것을 특징으로 하는 세정 폐액 처리 장치.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 불순물은 보일러에 투입되는 연료에 1000:5의 비율로 혼합되어 크링커 방지제로 재활용되는 것을 특징으로 하는 세정 폐액 처리 장치.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 처리 용액 저장 탱크에 저장된 상기 처리 용액은 보일러의 연소용 버너의 분무수(Atomizing water)로 재활용되는 것을 특징으로 하는 세정 폐액 처리 장치.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 처리 용액 저장 탱크에 저장된 상기 처리 용액은 연료의 표면에 분사하여 비산 방지에 재활용되는 것을 특징으로 하는 세정 폐액 처리 장치.
  9. 제 1항에 있어서,
    상기 세정 용액은 EDTA((Ethylenediaminetetraacetic acid)를 포함하는 것을 특징으로 하는 세정 폐액 처리 장치.
  10. 세정 용액을 주입하여, 보일러 튜브 내부를 세정하는 단계(A);
    상기 (A)단계에서 생성된 세정 폐액을 폐액 저장 탱크에 저장하는 단계(B);
    음이온 교환막을 이용해 상기 폐액 저장 탱크에서 공급되는 상기 세정 폐액 내의 불순물을 제거하는 단계(C);
    상기 음이온 교환막을 거쳐 분리된 상기 불순물을 불순물 저장 탱크에 저장하는 단계(D); 및
    상기 음이온 교환막을 거쳐 상기 불순물이 제거된 처리 용액을 처리 용액 저장 탱크에 저장하는 단계(E)를 포함하는 것을 특징으로 하는 세정 폐액 처리 방법.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 (C)단계는,
    상기 세정 폐액을 상기 음이온 교환막에 투입 전 분산 유닛을 거치는 단계(C-1)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 세정 폐액 처리 방법.
  12. 제 10항에 있어서,
    상기 처리 용액 저장 탱크에 저장된 처리 용액 중 일부를 검사하여, 적합하지 않은 처리 용액은 상기 폐액 저장 탱크로 회수하는 단계(F)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 세정 폐액 처리 방법.
  13. 제 10항에 있어서,
    상기 불순물 저장 탱크에 저장된 상기 불순물을 보일러 내부에서 크링커 방지제로 재활용하는 단계(G)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 세정 폐액 처리 방법.
  14. 제 13항에 있어서,
    상기 (G)단계에서,
    상기 불순물은 보일러에 투입되는 연료에 1000:5의 비율로 혼합되는 것을 특징으로 하는 세정 폐액 처리 방법.
  15. 제 10항에 있어서,
    상기 처리 용액 저장 탱크에 저장된 상기 처리 용액을 보일러의 연소용 버너의 분무수(Atomizing water)로 재활용하는 단계(H-1)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 세정 폐액 처리 방법.
  16. 제 10항에 있어서,
    상기 처리 용액 저장 탱크에 저장된 상기 처리 용액을 연료의 표면에 분사하여 비산 방지에 재활용하는 단계(H-2)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 세정 폐액 처리 방법.
  17. 제 10항에 있어서,
    상기 세정 용액은 EDTA((Ethylenediaminetetraacetic acid)를 포함하는 것을 특징으로 하는 세정 폐액 처리 방법.
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