JP2003240728A - 被検査物の外周検査方法および外周検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 光源から照射される光の影響を受けずに被検
査物外周面の欠陥検査を容易かつ正確に行い得る被検査
物の外周検査方法および外周検査装置を提供する。 【解決手段】 光源２からの光を、光の透過率αが０＜
α≦５パーセントの範囲に設定されたハーフミラー３を
透過させて被検査物外周面Ｗａに照射して、該ハーフミ
ラー３を照明として機能させるとともに、この照明によ
り照らし出された被検査物外周面Ｗａの状態を上記ハー
フミラー３の鏡面ｍａに写して、この鏡面ｍａに写った
映像をＣＣＤカメラ４１で撮影する。そして、この撮影
した画像を基に判別手段５で被検査物表面Ｗａの欠陥検
出を行わせる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、被検査物の外周
検査方法およびその装置に関し、より詳細には、円筒状
の形態を有する被検査物の外周面の傷や汚れやなどの欠
陥を光学的に検出測定する探傷技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】図５に従来の外周検査装置の一例を示
す。この外周検査装置は、ベアリングの外輪のような円
筒状の形態をした被検査物の外周面に生じた傷やさび、
汚れなどの欠陥を検出するための装置であって、被検査
物Ｗの外側に円錐形状の鏡面Ｍを有する反射体ａを配設
するとともに、この鏡面Ｍの上方に光源ｂとカメラｃと
を配設してなり、上記光源ｂから同軸落射照明により上
記鏡面Ｍに光を当てて該鏡面Ｍで反射した光を上記被検
査物の外周面Ｗａに照射するとともに、被検査物の外周
面Ｗａで反射した光を上記鏡面Ｍで再び反射させてカメ
ラｃで撮像し、該カメラｃで撮像した画像を判定装置ｄ
に入力して被検査物Ｗの外周面Ｗａの欠陥検出を行って
いる。

【０００３】なお、図５において符号ｅで示すのは被検
査物Ｗを保持するワーク保持装置であり、また符号ｆで
示すのは光源ｂから照射される光を拡散させる拡散板で
ある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の外周検査装置では、光源ｂとカメラｃとが共
に鏡面Ｍの上方に配置され、同じ鏡面Ｍを用いて被検査
物外周面Ｗａへの光の照射とカメラｃへの反射光の入射
が行われているため、光源ｂから照射される光が上記反
射光を遮りカメラｃへの入射光を弱めたり、光源ｂから
照射される光がカメラｃに写り込むおそれがあり、被検
査物外周面の正確な欠陥検査の障害となっていた。

【０００５】また、このような光の干渉を起こさないよ
うにするには、光源ｂとカメラｃの位置の微妙な調節が
必要であり、かかる調節作業が煩雑であるという問題も
あった。

【０００６】本発明は、かかる従来の問題点に鑑みてな
されたものであって、その目的とするところは、光源か
ら照射される光の影響を受けずに被検査物外周面の欠陥
検査を容易かつ正確に行い得る被検査物の外周検査方法
および外周検査装置を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明に係る被検査物の外周検査方法は、円筒状の
被検査物の外周に光の透過率αが０＜α≦５パーセント
のハーフミラーを配置して当該ハーフミラーを透過させ
て上記被検査物の外周面に光を照射し、上記被検査物の
外周面で反射した反射光を上記ハーフミラーで反射させ
てこれを光センサで受光し、受光した反射光を基に上記
被検査物の外周面の欠陥検査を行うことを特徴とする。

【０００８】また、本発明に係る被検査物の外周検査装
置は、円筒状の被検査物の外周面の欠陥検査を行うため
の装置であって、上記被検査物の外側に配される光源
と、該光源と上記被検査物との間に配設され、上記光源
から照射される光を透過させて被検査物の外周面に照射
させるとともに、上記被検査物からの反射光をセンサ手
段に向けて反射させるハーフミラー手段と、上記ハーフ
ミラー手段で反射された上記反射光を受光するセンサ手
段と、上記センサ手段の検出結果から被検査物外周面の
欠陥の有無を判別する判別手段とを備えてなり、上記ハ
ーフミラー手段の光の透過率αが０＜α≦５パーセント
に設定されていることを特徴とする。

【０００９】本発明においては、被検査物の外周面の欠
陥検出にあたり、光源からの光をハーフミラーを透過さ
せて被検査物の外周面に照射することにより該ハーフミ
ラー自体を照明として機能させる一方、この照明により
照らし出された被検査物外周面の状態をハーフミラーに
写して、このハーフミラーに写った映像をセンサ手段
（光センサ）で受光させる。つまり、上記ハーフミラー
を照明用の発光体と撮像用の反射鏡とに兼用すること
で、光源から照射される光が被検査物外周面で反射した
光と干渉するのを抑制する。

【００１０】そして、上記ハーフミラーとしては光の透
過率αが低いハーフミラーが使用される。これは、光の
透過率αが高いと、ハーフミラーを透過して光源の形状
などが被検査物の外周面に写ったり、あるいはハーフミ
ラー内で乱反射した光がセンサ手段に受光されるなどす
るので、このような事態の発生を抑制するためである。
なお、ここで光の透過率αが低いとは、少なくとも光の
透過率αが５０パーセント未満で、好ましくは０＜α≦
５パーセントの範囲内に設定される。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る被検査物の外
周検査方法および外周検査装置に基づいて詳細に説明す
る。

【００１２】実施形態１ 図１は、本発明に係る外周検査装置の概略構成の一例を
示している。この外周検査装置１は、たとえばベアリン
グの外輪のような円筒状の被検査物Ｗの外周面Ｗａの欠
陥検査を行うための装置であって、上記被検査物Ｗの径
方向外側に配される光源２と、この光源２と上記被検査
物Ｗとの間に配設されるハーフミラー（ハーフミラー手
段）３と、上記ハーフミラー３で反射された光を受光す
るセンサ手段４と、上記センサ手段４の検出結果から被
検査物外周面Ｗａの欠陥の有無を判別する判別手段５と
を主要部として備えている。

【００１３】なお、図１において符号７で示すのは、上
記被検査物Ｗを図１に示す所定の検査位置に保持するた
めのワーク保持装置であって、図示しないワーク供給装
置やワーク排出装置と連係して動作し、ワーク供給装置
から搬入される被検査物Ｗを上記所定の検査位置に保持
して後述する欠陥検査を行わせた後、ワーク排出装置を
介して検査済みの被検査物Ｗを排出するように構成され
る。

【００１４】光源２は、上記被検査物Ｗの外周全領域に
光を照射するように被検査物Ｗの径方向外側に環状に配
設された環状光源であって、具体的には、たとえば発光
ダイオードや光ファイバなどの発光源を、上記被検査物
Ｗの外周面Ｗａと同心状に該被検査物外周面Ｗａの全周
にわたって多数環状配置することにより構成される。ま
た、このように環状配置される光源２の軸方向寸法（図
１の紙面上下方向の寸法）は、少なくとも上記被検査物
Ｗの軸方向寸法と同一か、もしくは当該軸方向寸法より
長く設定され、被検査物外周面Ｗａの全体を照明可能と
される。

【００１５】ハーフミラー３は、上記光源２と上記被検
査物Ｗとの間に配設されて、上記光源２から照射される
光を透過させて被検査物外周面Ｗａに照射させるととも
に、上記被検査物外周面Ｗａで反射した反射光Ｌｒをセ
ンサ手段４に向けて反射させる鏡面ｍａを有するハーフ
ミラーであって、図示のように、上記被検査物外周面Ｗ
ａの外周全領域からの反射光Ｌｒを上記センサ手段４に
向けて反射可能なように、上記被検査物Ｗの径方向外側
に円錐形状の鏡面ｍａが形成された環状ハーフミラーの
形態とされている。

【００１６】ここで、このハーフミラー３としては、光
の透過率がほぼ５０パーセント程度の一般的なハーフミ
ラーを用いてもよいが、そのような一般的なハーフミラ
ーを用いると、光源２からの光や被検査物外周面Ｗａか
らの反射光Ｌｒが該ハーフミラー３内で乱反射を引き起
し、その結果、乱反射した光が上記センサ手段４に入射
するおそれがあるので、上記ハーフミラー３としては光
の透過率が低いハーフミラーを用いるのが好ましい。

【００１７】なお、この点に関し本願出願人が実験した
ところでは、上記ハーフミラー３はその光の透過率αを
極めて低く（具体的には０＜α≦５パーセントの範囲内
に）設定するのが最適であることが判明した。

【００１８】すなわち、このハーフミラー３は、上述し
たように、光源２からの光を透過させて被検査物外周面
Ｗａに光を照射する役割（照明としての役割）と、被検
査物外周面Ｗａからの反射光Ｌｒをセンサ手段４に向け
て反射させる役割（反射鏡としての役割）とを有する
が、そもそもこの外観検査装置１はハーフミラー３で反
射した反射光Ｌｒを基に被検査物外周面Ｗａの欠陥検査
を行うことが目的であることから、前者の役割より後者
の役割の方が重視される。

【００１９】そのため、本実施形態ではかかるハーフミ
ラー３の反射鏡としての役割を重視して、ハーフミラー
３での光の反射率を高めて（換言すれば、光の透過率α
を低くして）センサ手段４での受光を優先する構成を採
用した。なお、光の透過率αを低くしたことに伴って、
光源２から照射された光がハーフミラー３で遮られ、そ
の結果、照明としての役割が低下するが、この点につい
ては光源２の光量を増加することにより解消可能であ
り、またそのことが実験により確認されたので、本実施
形態では、上記ハーフミラー３として光の透過率αが０
＜α≦５パーセントの範囲内にあるハーフミラーを採用
することとした。

【００２０】なお、本実施形態では、図１に示すよう
に、上記光源２と上記ハーフミラー３との間には、光源
２からの光を拡散させてハレーションを防止する拡散板
（光拡散手段）６が設けられている。この拡散板６は、
図示のように、上記光源２やハーフミラー３と同様に上
記被検査物Ｗと同心状に環状配置されており、具体的に
は、たとえばすりガラスなどで構成される。

【００２１】センサ手段４は、上記ハーフミラー３で反
射された上記反射光Ｌｒを受光するための光センサであ
って、具体的には上記反射光Ｌｒを基に被検査物外周面
Ｗａの画像を検出するイメージセンサの形態とされる。

【００２２】より詳細には、本実施形態では上記センサ
手段４としてＣＣＤカメラ４１が用いられる。このＣＣ
Ｄカメラ４１は、図示のようにレンズ４１ａと、カメラ
本体４１ｂとからなり、該レンズ４１ａは上記検査位置
にある被検査物Ｗと同軸上に配設され、ＣＣＤカメラ４
１ｂにおいて上記鏡面ｍａの全体が撮像可能とされてい
る。つまり、光源２からの光により照らし出され、上記
鏡面ｍａに写る被検査物外周面Ｗａの全景の映像が、上
記ＣＣＤカメラ４１ｂによって撮影可能とされている。

【００２３】判別手段５は、上記センサ手段４の検出結
果に基づいて被検査物外周面Ｗａの欠陥の有無を判別す
る装置であって、本実施形態では上記センサ手段４とし
てＣＣＤカメラ４１が用いられているので、該ＣＣＤカ
メラ４１で撮影された画像から被検査物外周面Ｗａの欠
陥を検出するように構成される。

【００２４】具体的には、この判別手段５は、上記ＣＣ
Ｄカメラ４１によって撮影された被検査物外周面Ｗａの
画像を所定の走査パターンに従って走査し（ＣＣＤカメ
ラ４１で撮影される被検査物外周面Ｗａの画像はドーナ
ツのような中抜きの円環状の画像として現れるので、た
とえばこの円環状の画像を径方向や周方向に走査するな
どして）、被検査物外周面Ｗａの欠陥を検出する。

【００２５】なお、この判別手段５による被検査物外周
面Ｗａの欠陥検出は、上記ＣＣＤカメラ４１で撮影した
画像を所定のしきい値で二値化して白黒画素信号とし、
この白黒画素信号を基に欠陥の有無を検出したり、ある
いはパターンマッチングにより欠陥の有無を検出するな
ど適宜設計変更可能である。

【００２６】そこで、このように構成されてなる外観検
査装置１の作用について図２に基づいて詳細に説明す
る。

【００２７】本発明に係る外観検査装置１では、被検査
物外周面Ｗａの欠陥検出にあたり、まず上記光源２を点
灯させる。これにより、光源２から放射された光Ｌ
₁ は、図示しない拡散板６で拡散されてハーフミラー３
に導かれ、該ハーフミラー３を透過して被検査物外周面
Ｗａに照射される。

【００２８】ここでハーフミラー３は、上述したように
その透過率αが極めて低く設定されているので、このハ
ーフミラー３を透過する透過光Ｌ₂ の光量は、ハーフミ
ラー３に入射する光Ｌ₁ の光量よりも大幅に低下する。
そのため、上記光源２としては、予めこのようなハーフ
ミラー３による光量低下を見越して、被検査物外周面Ｗ
ａの照明に必要な光量の出力が可能な光源が採用され
る。

【００２９】このようにして、被検査物外周面Ｗａに透
過光Ｌ₂ が照射されると、被検査物外周面Ｗａで反射し
た反射光Ｌｒによりハーフミラー３に被検査物外周面Ｗ
ａの映像が写し出され、このハーフミラー３に写った映
像が上記ＣＣＤカメラ４１によって撮影される。

【００３０】つまり、上記ハーフミラー３の表面に形成
される円錐形状の鏡面ｍａは、被検査物外周面Ｗａから
の反射光Ｌｒを上記ＣＣＤカメラ４１のレンズ４１ａに
向けて反射させるのに適した傾斜角度をもった円錐形状
とされる。

【００３１】そして、上記ＣＣＤカメラ４１で被検査物
外周面Ｗａの映像が撮影されると、その撮影された画像
を基に上記判別手段５において被検査物外周面Ｗａの欠
陥検出が行われる。なお、この欠陥検出の結果は、たと
えば図示しないＣＲＴなどのディスプレイ装置に表示し
たり、あるいは、ワーク排出装置と連係させて欠陥検出
の結果がＮＧの被検査物Ｗを選別排出するなどされる。

【００３２】このように、本発明に係る被検査物の外観
検査装置１では、光源２からの光Ｌ ₁ をハーフミラー３
を透過させて被検査物外周面Ｗａに照射することにより
該ハーフミラー３を照明として用いる一方、この照明に
より照らし出された被検査物外周面Ｗａの状態をハーフ
ミラー３に写して、その映像をセンサ手段４で受光して
欠陥検査を行うので、光源２からの光Ｌ₁ がセンサ手段
４で反射光Ｌｒを受光する妨げとならず、両者の位置関
係の設定が容易になる。

【００３３】実施形態２ 次に、本発明に係る被検査物の外観検査装置の他の実施
形態について図３に基づいて説明する。

【００３４】図３は光源２の改変例を示しており、本実
施形態では上記光源２が、発光体２１と、該発光体２１
からの光を反射させて上記光拡散板６に照射する反射体
２２とで構成される。なお、光源２以外の構成は上記実
施形態１に示す外観検査装置１と同様であるので、構成
が共通する部分には同一の符号を付して説明を省略す
る。

【００３５】すなわち、上記発光体２１はいわゆる落射
照明を行う照明具であって、多数の発光ダイオードや光
ファイバなどの発光源を、上記拡散板６の外側上方位置
に下向きにリング状に配設することにより構成される。

【００３６】一方、反射体２２は、上記拡散板６の外側
であって上記発光体２１の下方に位置して、発光体２１
からの落射照明を上記拡散板６に向けて反射する鏡であ
って、図３に示すように、受けた光をほぼ全反射する円
錐形状の鏡面ｍｂを有して構成される。

【００３７】本実施形態では上記光源２をこのように構
成することにより、発光体２１から照射された光が上記
発光体２２の鏡面ｍｂによって反射されて拡散板６、ハ
ーフミラー３を介して被検査物外周面Ｗａに照射され、
その反射光Ｌｒがハーフミラー３の鏡面ｍａを介して図
外のセンサ手段４に受光され、上記実施形態１と同様に
判別手段５において被検査物外周面Ｗａの欠陥検出が行
われる。

【００３８】このように、本実施形態に示す外観検査装
置によれば、発光体２１からの光を反射体２２で反射さ
せて上記光拡散板６に照射する構成を採用することによ
り、発光体２１の配設位置を被検査物Ｗの径方向位置か
ら外すことができるので、発光体２１の照明に係る配線
などが被検査物Ｗの径方向に出ることがなく、外観検査
装置をコンパクトに構成することが可能となる。

【００３９】実施形態３ 次に、本発明に係る被検査物の外観検査装置の第３の実
施形態について図４に基づいて説明する。

【００４０】この第３の実施形態は、上記光源２および
ハーフミラー３の形態の改変例であって、具体的には図
４に示すように、上記光源２が、上記被検査物Ｗの軸方
向の線状領域Ｅに光を照射する線状光源２′の形態とさ
れるとともに、上記ハーフミラー３は、上記被検査物Ｗ
の線状領域Ｅからの反射光Ｌｒを上記センサ手段４に反
射可能なように、上記線状領域Ｅに対応する線状ハーフ
ミラー３′の形態とされる。

【００４１】また、これら光源２およびハーフミラー３
の形態の改変に伴い、上記線状光源２′および上記線状
ハーフミラー３′の双方または上記被検査物Ｗの少なく
ともいずれか一方を、上記被検査物Ｗの軸線まわりに回
転させる回転駆動手段８を備えて構成される。

【００４２】すなわち、上記線上光源２′は、図４に示
すように被検査物Ｗの周方向について上記線状領域Ｅに
対応する所定の幅寸法をもった光源であり、本実施形態
では上記実施形態２に示すのと同様に図外の発光体と反
射体２２′とから構成される。そして、この発光体から
照射された光が反射体２２′で反射され、拡散板６′を
介して線状ハーフミラー３′に入射するように構成され
ている。

【００４３】なお、本実施形態においては、光源２が上
述したように被検査物Ｗの線状領域Ｅに光を照射する線
状光源２′の形態とされることに伴い、上記発光体、反
射体２２′および拡散板６′は、いずれもこの線状領域
Ｅに対応する寸法形状に設定されている（図４参照）。

【００４４】線状ハーフミラー３′も上記実施形態１お
よび実施形態２と同様に、上記光源２′と上記被検査物
Ｗとの間に配設され、光源２′から照射される光を透過
させて被検査物外周面Ｗａに照射させるとともに、上記
被検査物外周面Ｗａで反射した反射光Ｌｒをセンサ手段
４に向けて反射させる鏡面ｍａを有するハーフミラーで
構成されるが、本実施形態では、図示のように、上記被
検査物外周面Ｗａの線状領域Ｅに対応する寸法形状に設
定されている（図４参照）。また、この線状ハーフミラ
ー３′も上記実施形態１と同様に光の透過率αが低いハ
ーフミラーで構成される。

【００４５】上記回転駆動手段８は、上記線状光源２′
および上記線状ハーフミラー３′の双方または上記被検
査物Ｗの少なくともいずれか一方を、上記被検査物Ｗの
軸線まわりに回転させるための動力源であって、本実施
形態では、この回転駆動手段８はワーク保持装置７を回
転駆動するように構成される。

【００４６】なお、本実施形態では、光源２やハーフミ
ラー３等が被検査物Ｗの線状領域Ｅに対して光を照射等
するように構成されるので、上記センサ手段４としては
この線状領域Ｅの反射光Ｌｒの受光が可能なラインイメ
ージセンサが好適に採用される。

【００４７】このように構成された外観検査装置１′に
おいては、線状光源２′から照射される光が、反射体２
２′の鏡面ｍｂで反射され、拡散板６′、線状ハーフミ
ラー３′を介して被検査物外周面Ｗａの線状領域Ｅに照
射され、該線状領域Ｅで反射した反射光Ｌｒが線状ハー
フミラー３′の鏡面ｍａで反射されてラインイメージセ
ンサ（図示せず）に入力され、該ラインイメージセンサ
において該線状領域Ｅの映像が撮影される。そして、こ
の映像に基づいて図示しない判別手段が上記線状領域Ｅ
の欠陥検査を行う。

【００４８】この線状領域Ｅにおける欠陥検査が完了す
ると、次に上記回転駆動手段８がワーク保持装置７を回
転駆動して検査対象となる領域を変更して、上記同様の
処理によって新たに設定された線状領域Ｅについての欠
陥検査を行う。以後、このようにして被検査物外周面Ｗ
ａの全周にわたってこの工程を繰り返すことにより、被
検査物Ｗの全周にわたる欠陥検査が行われる。

【００４９】このように、本発明の第３の実施形態に示
す外観検査装置１′では、回転駆動手段８によって欠陥
検査を行う線状領域Ｅの位置を順次ずらしながら欠陥検
査を行うことにより、被検査物外周面Ｗａの全周にわた
って欠陥検査を行うことができるので、光源２やハーフ
ミラー３の構成を簡略化することができる。

【００５０】なお、上述した実施形態はあくまでも本発
明の好適な実施態様を示すものであって、本発明はこれ
に限定されることなくその発明の範囲内で種々の設計変
更が可能である。

【００５１】たとえば、上述した実施形態では、ハーフ
ミラー３として図示されるような薄板状のハーフミラー
が採用されたが、たとえばガラスなどの透明体のブロッ
クに円錐形状の穴を穿ち、その穴の表面に上記鏡面ｍａ
を形成するように構成することも可能である。

【００５２】また、上述した第２の実施形態では、発光
体２１を拡散板６の外側上方に配設した場合を示した
が、この発光体２１は被検査物Ｗの径方向延長線上を外
して配設されていればよく、たとえば拡散板６の外側下
方に配設されていてもよい。

【００５３】また、同様に上述した実施形態では、発光
体２１から照射された光の向きを反射体２２でほぼ９０
°変更するように構成したが、発光体２１から照射され
た光を９０°以外の角度で（たとえば鋭角的に）反射す
るように構成することも可能である。

【００５４】また、上述した第３の実施形態では、回転
駆動手段８がワーク保持装置７を回転駆動する構成を採
用したが、この回転駆動手段８は、上記線状光源２′、
拡散板６′および上記線状ハーフミラー３′を同時に上
記被検査物Ｗの軸線まわりに回転駆動するように構成し
てもよい。

【００５５】さらに、上述した実施形態では、上記ハー
フミラー３（３′）として光の透過率αが０＜α≦５パ
ーセントの範囲のハーフミラーを用いたが、使用するハ
ーフミラーの光の透過率は適宜設計変更可能である。

【００５６】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
円筒状の被検査物の外周に、ハーフミラーを透過させて
光を照射し、上記被検査物の外周面で反射した反射光を
上記ハーフミラーで反射させてこれを光センサで受光
し、受光した反射光を基に上記被検査物の外周面の欠陥
検査を行うので、ハーフミラーが被検査物の照明として
機能するとともに、この照明により照らし出された被検
査物外周面の状態を写す鏡としても機能するので、光源
から照射される光が被検査物外周面で反射した反射光と
干渉するのを抑制することができる。

【００５７】また、上記ハーフミラーとして光の透過率
が低いハーフミラーを使用することにより、ハーフミラ
ーを透過して光の被検査物外周面への写り込みや、ある
いはハーフミラー内での乱反射を抑制できるので、被検
査物外周面の欠陥検査を正確に行うことが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る被検査物の外観検査装置の概略構
成の一例を示す説明図である。

【図２】同外観検査装置における光の照射および反射の
状態を示す斜視図である。

【図３】同外観検査装置の他の実施形態を示す説明図で
ある。

【図４】同外観検査装置の第３の実施形態を示す説明図
である。

【図５】従来の外観検査装置の構成を示す説明図であ
る。

【符号の説明】

１ 外観検査装置 ２，２′ 光源 ２１ 発光体 ２２ 反射体 ３，３′ ハーフミラー（ハーフミラー手段） ４ センサ手段 ５ 判別手段 ６ 拡散板 ７ ワーク保持装置 ８ 回転駆動手段 Ｗ 被検査物 Ｗａ 被検査物外周面

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G051 AA07 AB02 AB07 AB10 BA01 BA02 BB17 BC07 CA03 CA04 CB01 DA06 EA11 EA12 EB01

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 円筒状の被検査物の外周に光の透過率α
   が０＜α≦５パーセントのハーフミラーを配置して当該
   ハーフミラーを透過させて前記被検査物の外周面に光を
   照射し、前記被検査物の外周面で反射した反射光を前記
   ハーフミラーで反射させてこれを光センサで受光し、受
   光した反射光を基に前記被検査物の外周面の欠陥検査を
   行うことを特徴とする被検査物の外周検査方法。
2. 【請求項２】 円筒状の被検査物の外周面の欠陥検査を
   行うための装置であって、 前記被検査物の外側に配される光源と、 該光源と前記被検査物との間に配設され、前記光源から
   照射される光を透過させて被検査物の外周面に照射させ
   るとともに、前記被検査物からの反射光をセンサ手段に
   向けて反射させるハーフミラー手段と、 前記ハーフミラー手段で反射された前記反射光を受光す
   るセンサ手段と、 前記センサ手段の検出結果から被検査物外周面の欠陥の
   有無を判別する判別手段とを備えてなり、 前記ハーフミラー手段の光の透過率αが０＜α≦５パー
   セントに設定されていることを特徴とする被検査物の外
   周検査装置。
3. 【請求項３】 前記光源と前記ハーフミラー手段との間
   に、光源からの光を拡散させる光拡散手段が設けられて
   いることを特徴とする請求項２に記載の被検査物の外周
   検査装置。
4. 【請求項４】 前記光源が、光を放射する発光体と、該
   発光体からの光を反射させて前記光拡散手段に照射する
   反射体とを備えてなることを特徴とする請求項３に記載
   の被検査物の外周検査装置。
5. 【請求項５】 前記光源は、前記被検査物の外周全領域
   に光を照射するように前記被検査物の外側に環状に配設
   された環状光源の形態とされ、 前記ハーフミラー手段は、前記被検査物の外周全領域か
   らの反射光を前記センサ手段に反射可能なように前記被
   検査物の外側に環状に配された環状ハーフミラーの形態
   とされることを特徴とする請求項２から請求項４のいず
   れか一に記載の被検査物の外周検査装置。
6. 【請求項６】 前記光源は、前記被検査物の軸方向の線
   状領域に光を照射する線状光源の形態とされるととも
   に、前記ハーフミラー手段は、前記被検査物の線状領域
   からの反射光を前記センサ手段に反射可能なように前記
   線状領域に対応する線状ハーフミラーの形態とされてな
   り、 前記線状光源および前記線状ハーフミラーの双方または
   前記被検査物の少なくともいずれか一方を、前記被検査
   物の軸線まわりに回転させる回転駆動手段を備えている
   ことを特徴とする請求項２から請求項４のいずれか一に
   記載の被検査物の外周検査装置。