JP2003238916A - 研磨布の保持材 - Google Patents
研磨布の保持材Info
- Publication number
- JP2003238916A JP2003238916A JP2002044774A JP2002044774A JP2003238916A JP 2003238916 A JP2003238916 A JP 2003238916A JP 2002044774 A JP2002044774 A JP 2002044774A JP 2002044774 A JP2002044774 A JP 2002044774A JP 2003238916 A JP2003238916 A JP 2003238916A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensitive adhesive
- pressure
- holding material
- adhesive layer
- polishing cloth
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Adhesive Tapes (AREA)
- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 製造工程がそれほど煩雑とはならずに接着力
に優れる研磨布の保持材を提供しようとするもの。 【解決手段】 基材フィルム１の両面に接着剤を有する
とともに、研磨布３を固定する側の面には前記接着剤と
して感熱接着剤層４が形成され、定盤５に固定する側の
面には接着剤として感圧接着剤層６が形成された。よっ
て、研磨布を固定する側の面の感圧接着剤層のラミネー
ト作業やそのはみ出し部分のカッティング作業を軽減す
ることができる。
に優れる研磨布の保持材を提供しようとするもの。 【解決手段】 基材フィルム１の両面に接着剤を有する
とともに、研磨布３を固定する側の面には前記接着剤と
して感熱接着剤層４が形成され、定盤５に固定する側の
面には接着剤として感圧接着剤層６が形成された。よっ
て、研磨布を固定する側の面の感圧接着剤層のラミネー
ト作業やそのはみ出し部分のカッティング作業を軽減す
ることができる。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、Ｓｉウエハーや
ＧａＡＳ、ガラス、ハードディスク材、ＬＣＤ基板など
の薄型基板その他の研磨に使用される研磨布の保持材に
関するものである。 【０００２】 【従来の技術】従来より、研磨機等の定盤に研磨布を固
定するために保持材が使用されている。 【０００３】図３に示すように、前記保持材11としてＰ
ＥＴフィルム12の両面（定盤13に固定する側の面と研磨
布14を固定する側の面）に感圧接着剤15が配されたもの
がある。ところがこの保持材11は、被研磨物（ウエハー
等）の実際の研磨作業の際に接着力が耐えられない場合
があるという問題があった。 【０００４】よって図４に示すように、前記保持材11の
ＰＥＴフィルム12に対し定盤13に固定する側の面には感
圧接着剤15を配し、研磨布11を固定する側の面には感圧
接着剤15の上に感熱接着剤16をも配することが考えられ
る。そして、保持材11を研磨布14に対して先ず感熱接着
剤16の側の面に熱圧着し、その後これを定盤13に感圧接
着剤15で圧着する。 【０００５】しかし、この保持材11の研磨布14を固定す
る側の面は感圧接着剤15の上に感熱接着剤16をも配され
ており製造工程が煩雑となるという問題があった。 【０００６】 【発明が解決しようとする課題】そこでこの発明は、製
造工程がそれほど煩雑とはならずに接着力に優れる研磨
布の保持材を提供しようとするものである。 【０００７】 【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
この発明では次のような技術的手段を講じている。 【０００８】この発明の研磨布の保持材は、基材フィル
ムの両面に接着剤を有するとともに、研磨布を固定する
側の面には前記接着剤として感熱接着剤層が形成され、
定盤に固定する側の面には接着剤として感圧接着剤層が
形成されたことを特徴とする。 【０００９】この研磨布の保持材は、研磨布を固定する
側の面には前記接着剤として感熱接着剤層が形成され、
定盤に固定する側の面には接着剤として感圧接着剤層が
形成されたので、上記のような研磨布を固定する側の面
の感圧接着剤層のラミネート作業やそのはみ出し部分の
カッティング作業を軽減することができる。また接着力
に関しても研磨作業に十分に耐え得る。 【００１０】なお、前記感熱接着剤層の軟化点は１００
℃前後のものが多いが、例えば約４０〜１５０℃の範囲
として好適に実施することができる。 【００１１】 【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面を参照して説明する。 【００１２】図１に示すように、この実施形態の研磨布
の保持材１は両面粘着フィルム形式のものであり、基材
フィルム２の両面に接着剤層を形成している。前記基材
フィルム２としてＰＥＴフィルムを用いたが、他に塩ビ
フィルムやウレタンフィルムなどの熱可塑性樹脂フィル
ムを用いることもできる。 【００１３】そして、研磨布３を固定する側の面には前
記接着剤として感熱接着剤層４が形成され、定盤５に固
定する側の面には接着剤として感圧接着剤層６が形成さ
れている。前記感熱接着剤として軟化温度が８０℃のア
クリル系樹脂を用い、感圧接着剤としてもアクリル系樹
脂を用いた。他に、天然ゴム系樹脂、合成ゴム系樹脂、
ウレタン系樹脂、エポキシ系樹脂などを用いることがで
きる。この研磨布の保持材１は、紙管上に離型紙を介し
てロール状に巻き取るようにしている。 【００１４】次に、この実施形態の研磨布の保持材の使
用状態を説明する。 【００１５】先ず研磨布３（研磨パッド）に対して感熱
接着剤層４を１１０℃で熱圧着して固着し、次にこれを
感圧接着剤層６で定盤５に圧着して固着する。 【００１６】この研磨布の保持材１は、研磨布３を固定
する側の面には前記接着剤として感熱接着剤層４が形成
され、定盤５に固定する側の面には接着剤として感圧接
着剤層６が形成されたので、従来の技術(図３、図４)に
記載したような研磨布14を固定する側の面の感圧接着剤
15層のラミネート作業やそのはみ出し部分のカッティン
グ作業を必要とせず軽減することができ、製造工程がそ
れほど煩雑とはならないという利点がある。また接着力
に関しても研磨作業に十分に耐え得るという利点があ
る。 【００１７】 【実施例】次に、この発明の試験例をより具体的に説明
する。 （試験例１）研磨布の保持材のサンプル（２５ｃｍ×１
inch）を用い、アルカリ溶液中に約５０℃×４８時間程
度浸漬した後、１８０度の剥離試験を行った（n数＝
２）。 【００１８】前記サンプルとして、図１に示す発明の実
施の形態に記載の実施例（発明テープ）のもの（感圧接
着剤はアクリル系樹脂、感熱接着剤はアクリル系樹
脂）、図３に示す従来の技術に記載の比較例（従来テー
プ１）のもの（感圧接着剤はアクリル系樹脂）、図４に
示す従来の技術に記載の比較例（従来テープ２）のもの
（感圧接着剤はアクリル系樹脂、感熱接着剤はアクリル
系樹脂）を用いた。 【００１９】図２に、試験結果の接着力のグラフを示
す。このグラフから把握されるように、実施形態に係る
発明テープは、アルカリ雰囲気下で加熱後も従来テープ
１，２よりも接着力に優れていた。 （試験例２）発明の実施の形態に記載の研磨布の保持材
のサンプルを用い、被研磨物（６inchのＳｉウエハー）
を、５２inch研磨機（不二越機械工業製）を用いて研磨
した。条件としてスラリー流量は１０リットル/min、定
盤の回転数は４０rpm、研磨圧は３１０g/平方ｃｍとし
た。 【００２０】その結果、１００時間の経過後もテープ剥
がれなどの現象は全く発生しなかった。 【００２１】 【発明の効果】この発明は上述のような構成であり、次
の効果を有する。 【００２２】研磨布を固定する側の面の感圧接着剤層の
ラミネート作業やそのはみ出し部分のカッティング作業
を軽減することができ接着力に関しても研磨作業に十分
に耐え得るので、製造工程がそれほど煩雑とはならずに
接着力に優れる研磨布の保持材を提供することができ
る。
ＧａＡＳ、ガラス、ハードディスク材、ＬＣＤ基板など
の薄型基板その他の研磨に使用される研磨布の保持材に
関するものである。 【０００２】 【従来の技術】従来より、研磨機等の定盤に研磨布を固
定するために保持材が使用されている。 【０００３】図３に示すように、前記保持材11としてＰ
ＥＴフィルム12の両面（定盤13に固定する側の面と研磨
布14を固定する側の面）に感圧接着剤15が配されたもの
がある。ところがこの保持材11は、被研磨物（ウエハー
等）の実際の研磨作業の際に接着力が耐えられない場合
があるという問題があった。 【０００４】よって図４に示すように、前記保持材11の
ＰＥＴフィルム12に対し定盤13に固定する側の面には感
圧接着剤15を配し、研磨布11を固定する側の面には感圧
接着剤15の上に感熱接着剤16をも配することが考えられ
る。そして、保持材11を研磨布14に対して先ず感熱接着
剤16の側の面に熱圧着し、その後これを定盤13に感圧接
着剤15で圧着する。 【０００５】しかし、この保持材11の研磨布14を固定す
る側の面は感圧接着剤15の上に感熱接着剤16をも配され
ており製造工程が煩雑となるという問題があった。 【０００６】 【発明が解決しようとする課題】そこでこの発明は、製
造工程がそれほど煩雑とはならずに接着力に優れる研磨
布の保持材を提供しようとするものである。 【０００７】 【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
この発明では次のような技術的手段を講じている。 【０００８】この発明の研磨布の保持材は、基材フィル
ムの両面に接着剤を有するとともに、研磨布を固定する
側の面には前記接着剤として感熱接着剤層が形成され、
定盤に固定する側の面には接着剤として感圧接着剤層が
形成されたことを特徴とする。 【０００９】この研磨布の保持材は、研磨布を固定する
側の面には前記接着剤として感熱接着剤層が形成され、
定盤に固定する側の面には接着剤として感圧接着剤層が
形成されたので、上記のような研磨布を固定する側の面
の感圧接着剤層のラミネート作業やそのはみ出し部分の
カッティング作業を軽減することができる。また接着力
に関しても研磨作業に十分に耐え得る。 【００１０】なお、前記感熱接着剤層の軟化点は１００
℃前後のものが多いが、例えば約４０〜１５０℃の範囲
として好適に実施することができる。 【００１１】 【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面を参照して説明する。 【００１２】図１に示すように、この実施形態の研磨布
の保持材１は両面粘着フィルム形式のものであり、基材
フィルム２の両面に接着剤層を形成している。前記基材
フィルム２としてＰＥＴフィルムを用いたが、他に塩ビ
フィルムやウレタンフィルムなどの熱可塑性樹脂フィル
ムを用いることもできる。 【００１３】そして、研磨布３を固定する側の面には前
記接着剤として感熱接着剤層４が形成され、定盤５に固
定する側の面には接着剤として感圧接着剤層６が形成さ
れている。前記感熱接着剤として軟化温度が８０℃のア
クリル系樹脂を用い、感圧接着剤としてもアクリル系樹
脂を用いた。他に、天然ゴム系樹脂、合成ゴム系樹脂、
ウレタン系樹脂、エポキシ系樹脂などを用いることがで
きる。この研磨布の保持材１は、紙管上に離型紙を介し
てロール状に巻き取るようにしている。 【００１４】次に、この実施形態の研磨布の保持材の使
用状態を説明する。 【００１５】先ず研磨布３（研磨パッド）に対して感熱
接着剤層４を１１０℃で熱圧着して固着し、次にこれを
感圧接着剤層６で定盤５に圧着して固着する。 【００１６】この研磨布の保持材１は、研磨布３を固定
する側の面には前記接着剤として感熱接着剤層４が形成
され、定盤５に固定する側の面には接着剤として感圧接
着剤層６が形成されたので、従来の技術(図３、図４)に
記載したような研磨布14を固定する側の面の感圧接着剤
15層のラミネート作業やそのはみ出し部分のカッティン
グ作業を必要とせず軽減することができ、製造工程がそ
れほど煩雑とはならないという利点がある。また接着力
に関しても研磨作業に十分に耐え得るという利点があ
る。 【００１７】 【実施例】次に、この発明の試験例をより具体的に説明
する。 （試験例１）研磨布の保持材のサンプル（２５ｃｍ×１
inch）を用い、アルカリ溶液中に約５０℃×４８時間程
度浸漬した後、１８０度の剥離試験を行った（n数＝
２）。 【００１８】前記サンプルとして、図１に示す発明の実
施の形態に記載の実施例（発明テープ）のもの（感圧接
着剤はアクリル系樹脂、感熱接着剤はアクリル系樹
脂）、図３に示す従来の技術に記載の比較例（従来テー
プ１）のもの（感圧接着剤はアクリル系樹脂）、図４に
示す従来の技術に記載の比較例（従来テープ２）のもの
（感圧接着剤はアクリル系樹脂、感熱接着剤はアクリル
系樹脂）を用いた。 【００１９】図２に、試験結果の接着力のグラフを示
す。このグラフから把握されるように、実施形態に係る
発明テープは、アルカリ雰囲気下で加熱後も従来テープ
１，２よりも接着力に優れていた。 （試験例２）発明の実施の形態に記載の研磨布の保持材
のサンプルを用い、被研磨物（６inchのＳｉウエハー）
を、５２inch研磨機（不二越機械工業製）を用いて研磨
した。条件としてスラリー流量は１０リットル/min、定
盤の回転数は４０rpm、研磨圧は３１０g/平方ｃｍとし
た。 【００２０】その結果、１００時間の経過後もテープ剥
がれなどの現象は全く発生しなかった。 【００２１】 【発明の効果】この発明は上述のような構成であり、次
の効果を有する。 【００２２】研磨布を固定する側の面の感圧接着剤層の
ラミネート作業やそのはみ出し部分のカッティング作業
を軽減することができ接着力に関しても研磨作業に十分
に耐え得るので、製造工程がそれほど煩雑とはならずに
接着力に優れる研磨布の保持材を提供することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の研磨布の保持材の実施形態の構造を
説明する図。 【図２】剥離試験の試験結果の接着力を示すグラフ。 【図３】従来の研磨布の保持材の構造を説明する図。 【図４】従来の研磨布の保持材の構造を説明する図。 【符号の説明】 １ 研磨布の保持材 ２ 基材フィルム ３ 研磨布 ４ 感熱接着剤層 ５ 定盤 ６ 感圧接着剤層
説明する図。 【図２】剥離試験の試験結果の接着力を示すグラフ。 【図３】従来の研磨布の保持材の構造を説明する図。 【図４】従来の研磨布の保持材の構造を説明する図。 【符号の説明】 １ 研磨布の保持材 ２ 基材フィルム ３ 研磨布 ４ 感熱接着剤層 ５ 定盤 ６ 感圧接着剤層
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 3C058 AA07 AB04 CB02 CB03 DA02
DA17
4J004 AB01 AB03 FA08
4J040 JA09 JB01 JB09
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 基材フィルムの両面に接着剤を有すると
ともに、研磨布を固定する側の面には前記接着剤として
感熱接着剤層が形成され、定盤に固定する側の面には接
着剤として感圧接着剤層が形成されたことを特徴とする
研磨布の保持材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002044774A JP2003238916A (ja) | 2002-02-21 | 2002-02-21 | 研磨布の保持材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002044774A JP2003238916A (ja) | 2002-02-21 | 2002-02-21 | 研磨布の保持材 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003238916A true JP2003238916A (ja) | 2003-08-27 |
Family
ID=27784013
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002044774A Pending JP2003238916A (ja) | 2002-02-21 | 2002-02-21 | 研磨布の保持材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003238916A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101166455B1 (ko) * | 2009-03-30 | 2012-07-19 | 코오롱인더스트리 주식회사 | 연마패드의 제조방법 및 이로 제조된 연마패드 |
| KR101173996B1 (ko) * | 2012-02-06 | 2012-08-16 | 코오롱인더스트리 주식회사 | 연마패드 |
| JP2013213192A (ja) * | 2012-03-07 | 2013-10-17 | Nitto Denko Corp | 両面接着テープ |
-
2002
- 2002-02-21 JP JP2002044774A patent/JP2003238916A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101166455B1 (ko) * | 2009-03-30 | 2012-07-19 | 코오롱인더스트리 주식회사 | 연마패드의 제조방법 및 이로 제조된 연마패드 |
| KR101173996B1 (ko) * | 2012-02-06 | 2012-08-16 | 코오롱인더스트리 주식회사 | 연마패드 |
| JP2013213192A (ja) * | 2012-03-07 | 2013-10-17 | Nitto Denko Corp | 両面接着テープ |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20040311 |
|
| A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20040527 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040531 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040730 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040823 |