JP2003236705A - 希土類酸化物を含有する硬質膜を被覆した被覆部材 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】従来の切削工具などに使用されている被覆部材
は、膜の強度・靱性、耐酸化性、耐剥離性などが不十分
であるために、工具寿命が向上しないという問題点があ
った。 【解決手段】基材の表面に４ａ族元素，Ａｌ，Ｙ，Ｓｉ
の炭化物，窒化物，酸化物およびこれらの相互固溶体の
中から選ばれた１種以上の化合物からなる単層または２
種以上の積層からなる硬質膜を被覆した被覆部材におい
て、硬質膜の少なくとも１層に希土類元素（ランタニ
ド）の酸化物を含有させることによって、硬質膜の強度
・靱性，耐酸化性，耐剥離性などを向上させた。これら
の作用によって硬質膜を被覆した被覆部材を切削工具、
耐摩耗工具、耐摩耗部品に使用した場合、耐摩耗性、耐
欠損性，および耐チッピング性を大幅に改善することが
できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、チップ，ドリル，
エンドミルに代表される切削工具や各種の耐摩耗工具・
耐摩耗部品に使用される被覆部材に関する。

【０００２】

【従来の技術】超硬合金，高速度鋼，セラミックスなど
の基材にＴｉＣ，ＴｉＣＮ，ＴｉＮ，（Ｔｉ，Ａｌ）
Ｎ，Ａｌ₂Ｏ₃などの硬質膜をＣＶＤあるいはＰＶＤ法で
被覆してなる被覆部材は、基材の強度・靱性と硬質膜の
耐摩耗性，耐酸化性，潤滑性，耐溶着性などを兼備して
いるため、切削工具や耐摩耗工具，耐摩耗部品として多
用されている。そして、膜質，膜厚の選定や多層化，組
織制御，結晶配向，分散強化あるいは密着性改善などの
技術開発によって、用途拡大と寿命延長を図っている。
しかし、硬質膜の強度・靱性，耐酸化性，基材と膜ある
いは膜の層間の密着性が十分とは言えず、寿命延長が困
難となっている。これらの問題の解決策が種々提案され
ているが、硬質膜中への他元素添加あるいは他化合物の
粒子分散による先行技術として、特開平５−３３０９５
６号公報，特開平０８−０９２７４３号公報，特開平１
１−７７４０６号公報などがある。また、本発明の硬質
膜以外の材料における希土類酸化物の添加に関する一般
的な先行技術として、特開２００１−２９４４８０号公
報，特開平０６−１１６０４０号公報などがある。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】先行技術である硬質膜
中への他元素添加に関し、特開平５−３３０９５６号公
報には、基板上に形成されたＴｉ−Ｎ系超硬質化合物か
らなる薄膜において、該薄膜はＴｉおよびＮからなる組
成物中に希土類元素を０．５〜２０原子％含有した化合
物であることを特徴とするＴｉ−希土類元素−Ｎ系超硬
質化合物膜およびその形成方法が開示されている。この
公報に記載されているＴｉ−希土類元素−Ｎ系超硬質化
合物膜は、希土類元素の含有によりＴｉＮよりも硬さ及
び耐摩耗性に優れるものの、希土類元素の窒化物は硬脆
いためにＴｉ−希土類元素−Ｎ系超硬質化合物膜がチッ
ピングし易く、また酸化され易いために逆に耐摩耗性が
低下する場合もある。さらに、高速イオンビームの照射
によって形成させるために、Ｔｉ−希土類元素−Ｎ系超
硬質化合物膜の残留応力によって基材から剥離し易いこ
とや、薄膜しか被覆できないと言う問題がある。

【０００４】また、特開平０８−０９２７４３号公報に
は、超硬合金あるいはセラミックス基材上に、酸化アル
ミニウム，酸化イットリウムあるいは酸化ジルコニウム
を含有する連続金属酸化物相中に、種類の異なる不連続
金属酸化物相の第二相が分散・離散した耐摩耗性複合セ
ラミックスを被覆した被覆切削工具及びその製造方法が
開示されている。この公報に記載されている被覆切削工
具は、例えば酸化アルミニウムの素地中に、酸化イット
リウムをドープして部分安定化した酸化ジルコニウムの
粒子を分散させた被膜を有するもので、この分散粒子に
よって被膜の強度・靱性が向上するために耐欠損性，耐
チッピング性などは改善できるものの、耐摩耗性が低下
する。また、他層（例えば、ＴｉＣＮ）の耐酸化性や密
着性の改善に適用できないと言う問題がある。

【０００５】さらに、特開平１１−７７４０６号公報に
は、基体表面に周期律表の４ａ，５ａ，６ａ族金属の炭
化物，窒化物，炭窒化物，酸化アルミニウムのいずれか
一種からなる単層または積層を有し、その少なくとも一
層がホウ素を０．３〜１０．０ｗｔ％含有したチタンの
炭化物を主として構成されていることを特徴とする炭化
チタン被覆工具が開示されている。この公報に記載され
ている炭化チタン被覆工具は、炭化チタン膜にホウ素固
溶あるいはホウ化チタン粒子を分散させることにより耐
摩耗性，耐酸化性などを改善させや酸化アルミニウム膜
を積層した場合には層間密着性の改善により、工具寿命
アップには効果があるものの、ホウ化チタンは硬脆いた
めに、耐欠損性，耐チッピング性などが低下すると言う
問題がある。

【０００６】一方、硬質膜以外の材料における希土類酸
化物の添加に関し、特開２００１−２９４４８０号公報
には、Ａ）酸化アルミニウム、Ｂ）酸化アルミニウムと
希土類酸化物との複合金属酸化物、又は酸化アルミニウ
ムと希土類酸化物と酸化ジルコニウムとの複合金属酸化
物、Ｃ）酸化ジルコニウム、又は酸化ジルコニウムと希
土類酸化物との複合金属酸化物、の3種の酸化物結晶相
から構成される溶融凝固体で、Ａ）は５５〜８０モル
％、Ｂ）は１０〜３５モル％、Ｃ）は１０〜３５モル％
の範囲であることを特徴とするセラミックス複合材料が
開示されている。この公報に記載されたセラミックス
は、アルミナ基セラミックスの結晶粒界に希土類酸化物
との複合金属酸化物を析出させることによって、高温で
の塑性変形を防止したものである。

【０００７】また、特開平０６−１１６０４０号公報に
は、希土類元素を含有させたサイアロン基セラミックス
が開示されおり、窒化ケイ素を主成分とするセラミック
スの焼結助剤として希土類酸化物を選定しているもの
で、一般的な従来技術である。

【０００８】これらの公報に記載されているセラミック
スにおける希土類酸化物の添加効果は、混合粉末の成形
・焼結によるバルク材料あるいはその製造方法において
発現するもので、ＣＶＤ，ＰＶＤ法による硬質膜での効
果とは異なる。

【０００９】本発明は、硬質膜を被覆した被覆部材にお
いて、硬質膜中に希土類元素（ランタニド）の酸化物を
含有させることによって、硬質膜の強度・靱性，耐酸化
性，耐剥離性などを向上させ、工具，耐摩耗性部品に応
用した場合に耐摩耗性、耐欠損性，および耐チッピング
性を大幅に改善した被覆部材の提供を目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、長年に亘
って硬質膜の根本的な膜質改善による被覆部材の性能向
上について検討していた所、硬質膜中に希土類元素（ラ
ンタニド）の酸化物を含有させることによって、膜の強
度・靱性，耐酸化性，耐剥離性などが共に改善され、工
具，耐摩耗性部品に使用した場合に耐摩耗性および耐欠
損性，耐チッピング性を大幅に改善できると言う知見を
得て、本発明を完成するに至ったものである。

【００１１】本発明の被覆部材については、基材の表面
に周期律表の４ａ，５ａ，６ａ族元素，アルミニウム，
イットリウム，シリコンの炭化物，窒化物，酸化物、お
よびこれらの相互固溶体の中から選ばれた１種以上の化
合物でなる単層または２層以上の積層でなる０．３〜２
０μｍの硬質膜を被覆した被覆部材において、硬質膜
は、少なくとも１層が、希土類元素（ランタニド）の中
の少なくとも１種の酸化物０．０５〜１０重量％を含有
する希土類含有膜であることを特徴とするものである。
なお、希土類元素（ランタニド）は原子番号５７〜７１
の元素を示す。

【００１２】本発明の硬質膜として、具体的には、ＣＶ
ＤあるいはＰＶＤ法で作製されるＴｉＣ，ＴｉＣＮ，Ｔ
ｉＮ，（ＴｉＺｒ）Ｎ，（ＴｉＡｌ）Ｎ，（ＴｉＳｉ）
Ｎ，ＣｒＮなどの単層膜や、基材側からＴｉＣ／ＴｉＮ
／ＴｉＣＮ／ＴｉＮ，ＴｉＮ／ＴｉＣ／Ａｌ₂Ｏ₃，Ｔｉ
Ｎ／Ａｌ₂Ｏ₃−ＺｒＯ₂，ＴｉＮ／ＴｉＣＮ／ＴｉＣ／
Ａｌ₂Ｏ₃／ＴｉＮ，ＴｉＮ／（ＴｉＡｌ）Ｎ／ＴｉＮ，
ＴｉＮ／Ｓｉ₃Ｎ₄，ＣｒＮ／ＶＮなどの積層膜を挙げる
ことができる。

【００１３】本発明の硬質膜の中でも、周期律表の４ａ
族元素の炭化物，窒化物，酸化物，炭窒化物，炭酸化
物，窒酸化物，炭窒酸化物およびアルミニウムの酸化
物，窒化物，酸窒化物の中の少なくとも１種は、ＣＶＤ
法による作製が容易で、かつ性能的にも優れるので好ま
しい。

【００１４】また、硬質膜が周期律表の４ａ族元素とア
ルミニウム，イットリウム，シリコンとの複合窒化物固
溶体，複合窒酸化物固溶体，複合炭酸化物固溶体，複合
炭窒酸化物固溶体の中の少なくとも１種であると、ＰＶ
Ｄ法による作製が容易で、かつ性能的にも優れるので好
ましい。具体的な膜種として、（ＴｉＡｌ）Ｎ，（Ｔｉ
Ａｌ）（ＮＣＯ），（ＴｉＳｉ）Ｎ，（ＴｉＺｒＡｌＳ
ｉ）Ｎ，（ＴｉＹＳｉ）（ＮＯ）などを挙げることがで
きる。

【００１５】本発明の硬質膜が２層以上から構成され場
合には、少なくとも１層が４ａ族元素の炭化物，窒化
物，炭窒化物，炭酸化物，窒酸化物，炭窒酸化物の中の
少なくとも１種からなり、かつ、少なくとも１層が４ａ
族元素，アルミニウム，イットリウム，シリコンの酸化
物の中の少なくとも１種からなると、それぞれの膜種が
持つ耐摩耗性，耐チッピング性，耐酸化性，耐溶着性，
耐剥離性などの特徴がシナジー効果を生じ、実用性能を
高めるので好ましい。

【００１６】１層がチタンを主成分、および／または１
層がアルミニウムを主成分とすると、ＣＶＤ法による作
製が容易で、かつ切削性能のバランスが良いので好まし
い。

【００１７】本発明の硬質膜の膜厚は、０．３μｍ未満
では実用的に耐摩耗性が不十分であり、２０μｍを超え
て厚くなると被覆部材あるいは膜自体の強度が著しく低
下するため耐欠損性，耐チッピング性に劣る。

【００１８】本発明の希土類酸化物を含有する希土類含
有膜は、希土類元素（ランタニド）の中の少なくとも１
種の酸化物を０．０５〜１０重量％含有しているもの
で、希土類含有膜の膜厚が０．３μｍ以上では希土類酸
化物の持つ硬質膜への強度・靱性，耐酸化性，耐剥離性
などの改善効果が高く好ましい。また、希土類含有膜中
における希土類酸化物の含有量は、０．０５重量％未満
では強度・靱性，耐酸化性，耐剥離性などの改善効果が
現出せず、逆に１０重量％を超えて大きくなると希土類
酸化物の持つ改善効果が飽和し、硬さや強度・靱性の低
下による性能低下が顕著となる。ここで、希土類酸化物
の含有形態は、希土類含有膜が炭化物，窒化物を主成分
とする場合には微細粒子としてマトリックス結晶の粒内
あるいは粒界に分散し、酸化物を主成分とする場合には
マトリックス中に固溶あるいは結晶粒界に複合酸化物と
して析出している。

【００１９】本発明の希土類含有膜に含まれる希土類酸
化物がプラセオジム，サマリウム，ユーロビウム，エル
ビウム，ツリウム，ルテチウムの中の１種の酸化物であ
ると、アルミニウム，シリコンの酸化物膜中に含有され
た場合に、固溶強化あるいは複合酸化物の粒界析出によ
って高温塑性変形を防止する効果が大きいので好まし
い。また、比較的酸化され易い４ａ族元素の炭化物，窒
化物，炭窒化物などの膜中に含有された場合には、緻密
な複合酸化物膜を形成し易いために酸化防止効果が大き
いので好ましい。

【００２０】本発明の硬質膜内の希土類含有膜は、基材
に最近接していると、すなわち基材に直接被覆された第
１層であると、酸化され易い超硬合金や鋼などの基材を
用いた場合に、基材成分の酸化物と緻密な複合酸化物の
保護膜を形成して基材の酸化進展を防止するので好まし
い。

【００２１】また、硬質膜が希土類含有膜と非希土類含
有膜からなる積層であり、希土類含有膜が２層の非希土
類含有膜の間に位置すると、層間の密着性を向上できる
ので好ましく、特に酸化物膜と炭化物膜との間に位置す
ると、顕著な効果を発揮する。

【００２２】本発明の希土類含有膜を含む硬質膜を被覆
した工具における基材は、超硬合金，サーメット，セラ
ミックス，高速度鋼の中の少なくとも１種であると、従
来技術も適用できて実用的である。さらに、基材が超硬
合金で、硬質膜が２層以上で、全膜厚が５〜２０μｍ
で、少なくとも１層がチタンの炭化物，窒化物，炭窒化
物、少なくとも１層が酸化アルミニウムからなり、か
つ、いずれかの１層が希土類含有膜であると、現状技術
の範囲では最も高性能、かつ低価格で製造できるので好
ましい。

【００２３】本発明の希土類酸化物を含有する希土類含
有膜の製造方法として、ガス源に金属塩化物を使用した
通常の熱ＣＶＤ法，有機金属化合物を使用したＭＯＣＶ
Ｄ，プラズマＣＶＤおよびイオンプレティング，アーク
イオンプレティング，マグネトロンスバッリングなどの
ＰＶＤ法を挙げることができる。硬質膜中に希土類酸化
物を含有させる具体的方法として、ＣＶＤ法ではガス源
に沸点の低い有機金属化合物（塩化物は高沸点）を使用
すると好ましく、ＰＶＤ法では金属ターゲットを使用し
た酸化蒸着あるいは酸化物ターゲットを使用したスバッ
リングが好ましい。

【００２４】

【実施例１】８２ＷＣ−４ＴｉＣ−６ＴａＣ−８Ｃｏ
（重量％）の組成からなるＩＳＯ規格でＳＮＧＮ１２０
４０８（ホーニングはＲ＝０．１０ｍｍ）の超硬チップ
を基材として用い、アセトン中で超音波洗浄した後、Ｃ
ＶＤコーティング装置に挿入し、２０ｋＰａのアルゴン
雰囲気中で加熱・昇温した。そして、所定温度に達して
から各種の反応性ガスに順次切り替えることによって、
基材の表面に各種の硬質膜を被覆して本発明品１〜１３
と比較品１〜７の被覆超硬チップを得た。表１および表
２にＣＶＤ処理条件であるガス成分，温度，時間を示
す。ここで、反応性ガスはＨ₂をキャリャーガスとし、
硬質膜中の非金属成分の供給源にはＣＨ₄，Ｎ₂，ＣＨ₃
ＣＮ，ＣＯ，ＣＯ₂を使用した。一方、金属成分のＴｉ
にはＴｉＣｌ₄、希土類元素には有機金属化合物のＲｅ
（ＤＰＭ）₃を用い、それぞれ液体マスフローコントロ
ーラーによりガス化して供給した。また、Ａｌあるいは
Ｚｒは、約４００℃に加熱した反応容器中の金属塊にＨ
Ｃｌガスを導き、発生するＡｌＣｌ ₃あるいはＺｒＣｌ₄
のガスとして供給した。そして、硬質膜の各層中に希土
類元素を添加する場合は、別ラインでその有機金属化合
物を導入し、それぞれの反応性ガスに混合して用いた。

【００２５】

【表１】 ＊ガス組成の記号と成分（体積％）は以下の通りで、＋
は希土類元素を含有した混合ガスの添加を示す。 ＴＮ：Ｈ₂−３０Ｎ₂−４ＴｉＣｌ₄ ＴＣ：Ｈ₂−７ＣＨ₄−４ＴｉＣｌ₄ ＴＣＮ：Ｈ₂−４ＣＨ₃ＣＮ−４ＴｉＣｌ₄ ＴＣＯ：Ｈ₂−５ＣＨ₄−１ＣＯ−４ＴｉＣｌ₄ ＡＯ：Ｈ₂−１ＣＯ−１ＣＯ₂−３ＡｌＣｌ₃ ＡＺＯ：Ｈ₂−１ＣＯ−１ＣＯ₂−３ＡｌＣｌ₃−1ＺｒＣ
ｌ₄ Ｅｕ：Ｈ₂−２Ｅｕ（Ｃ₃₃Ｈ₅₇Ｏ₆）₃ Ｐｒ：Ｈ₂−２Ｐｒ（Ｃ₃₃Ｈ₅₇Ｏ₆）₃ Ｓｍ：Ｈ₂−２Ｓｍ（Ｃ₃₃Ｈ₅₇Ｏ₆）₃

【００２６】

【表２】 ＊ガス組成の記号と成分（体積％）の表示は表１と同
じ。

【００２７】こうして得た被覆超硬チップの各１個を切
断し、その断面を１０００＃のダイヤモンドホイールで
研削した後、１μｍのダイヤモンドペーストでラップ仕
上げした。そして、表面に被覆された各硬質層を光学顕
微鏡および走査電顕で観察し、各層の厚みを測定した。
その結果を表３に示す。次いで、電界放射型分析電顕を
用いて各層の成分確認と希土類元素を１０ポイント測定
し、含有量は分析平均値を酸化物の重量％に換算して求
めた結果を表４に示す。

【００２８】

【表３】

【００２９】

【表４】

【００３０】

【実施例２】実施例１で得られた本発明品４〜１２と比
較品４〜６のＣＶＤ被覆超硬工具を用い、被削材：Ｓ４
５Ｃの４本溝入り，切削速度：２００ｍ／ｍｉｎ，切込
み：２．０ｍｍ，送り：０．４０ｍｍ／ｒｅｖ，乾式の
条件で外周断続旋削試験を行った。刃先が摩滅あるいは
欠損するまでの切削寿命時間と損傷理由を表５に示す。

【００３１】

【表５】

【００３２】

【実施例３】８８ＷＣ−２ＴａＣ−１０Ｃｏ（重量％）
の組成からなるＩＳＯ規格でＳＰＧＮ１２０３１２ＴＮ
（ホーニングは−２５°×０．１０ｍｍ）の超硬チップ
を基材として用い、アセトン中で超音波洗浄した後、４
極のターゲットで、かつアークイオンプレーティングと
反応性スパッタリングとが可能なＰＶＤ装置に挿入し
た。まず、基材チップを装置内に挿入して約１×１０^-3
Ｐａの真空とした後、５００℃に加熱してＡｒガスを導
入しながら約０．１Ｐａとし、−６００Ｖのバイアス電
圧をかけて１０分間保持することにより、基材チップ表
面をＡｒスパッターにより十分に洗浄した後、脱気を行
った。次いで、表６に示したターゲット種類，ガスの種
類と流量，処理時間などでもって被覆処理を順次行なう
ことよって、本発明品１４〜２０と比較品８〜１４の被
覆超硬工具チップを得た。尚、バイアス電圧は−１００
Ｖ，アーク電流は５０Ａと一定にした。，

【００３３】

【表６】 ＊ＡＩＰ:アークイオンプレーティング、ＲＭＳ：反応
性スパッタリング

【００３４】こうして得た本発明品１４〜２０および比
較品８〜１４について、実施例１と同様な方法で各層の
厚み及び各層の成分確認と希土類酸化物量を求めた。こ
れらの結果を表７に示す。比較例１３と１４については
希土類元素量を酸化物として換算しなかったこと以外
は、実施例１と同様な方法で各層の成分確認と希土類元
素量を求め、表７に記載した。

【００３５】

【表７】

【００３６】

【実施例４】実施例３で得られた本発明品１４〜２０と
比較品８〜１２のＰＶＤ被覆超硬工具について、被削
材：ＳＣＭ４４０（加工面形状：５０Ｗ×２００Ｌ），
切削速度：１３５ｍ／ｍｉｎ，切込み：２．０ｍｍ，送
り：０．３６ｍｍ／刃，乾式の条件でフライス切削を行
った。４０ｐａｓｓ加工した時点で工具刃先部を観察
し、すくい面に発生した熱クラックの本数，クレータ部
での膜剥離面積，逃げ面の平均摩耗量，刃先部の微小チ
ッピングなどを評価した。これらの結果を表８に示す。

【００３７】

【表８】 ＊チッピング程度：なし−０,微少−１,少ない−２,や
や多い−３,多い−４

【００３８】表５，表８における鋼の断続旋削とフライ
ス切削での試験結果から、ほぼ同一の膜構成において本
発明品と比較品を比較すると、希土類酸化物を含有させ
た本発明品は、硬質膜の耐摩耗性性，耐剥離性，耐チッ
ピング性，耐酸化性，耐熱衝撃性などに優れるため、結
果として工具寿命が約２倍にも達する。

【００３９】

【発明の効果】上述したように本発明の被覆部材は、硬
質膜に含まれる希土類含有膜が硬質膜の硬さ，強度・靱
性，耐高温変形性，耐酸化性，基材とあるいは層間の耐
剥離性，耐溶着性を向上させる作用を発揮し、向上した
これら特性が工具や耐摩耗部品に使用した際に耐摩耗
性，耐欠損性，耐チッピング性などを大幅に改善する効
果が見られる。

フロントページの続き Ｆターム(参考） 3C037 CC02 CC08 CC09 CC10 CC11 3C046 FF03 FF04 FF05 FF11 FF16 4K029 AA02 BA35 BA41 BA43 BA44 BA46 BA48 BA55 BA56 BA58 BA60 BB02 BD05 EA01 4K030 BA01 BA35 BA36 BA37 BA38 BA40 BA42 BA43 BA44 BA46 BA53 BA56 BA57 BB12 CA03 LA01 LA22

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】基材の表面に、周期律表の４ａ，５ａ，６
   ａ族元素，アルミニウム，イットリウム，シリコンの炭
   化物，窒化物，酸化物、およびこれらの相互固溶体の中
   から選ばれた１種以上の化合物でなる単層または２層以
   上の積層でなる膜厚０．３〜２０μｍの硬質膜を被覆し
   た被覆部材において、該硬質膜は、少なくとも１層が希
   土類元素（ランタニド）の中の少なくとも１種の元素を
   含む酸化物を０．０５〜１０重量％含有する希土類含有
   膜である被覆部材。
2. 【請求項２】前記硬質膜は、周期律表の４ａ族元素の炭
   化物，窒化物，酸化物，およびこれらの相互固溶体，ア
   ルミニウムの酸化物，窒化物，酸窒化物の中の少なくと
   も１種の単層または２層以上の積層を含む請求項１に記
   載の被覆部材。
3. 【請求項３】前記硬質膜は、周期律表の４ａ族元素とア
   ルミニウム，イットリウム，シリコンから選ばれる１種
   以上の元素との複合窒化物固溶体，複合窒酸化物固溶
   体，複合炭酸化物固溶体，複合炭窒酸化物固溶体の中の
   少なくとも１種の単層または２層以上の積層を含む請求
   項１または２に記載の被覆部材。
4. 【請求項４】前記硬質膜は、２層以上から構成され、少
   なくとも１層が４ａ族元素の炭化物，窒化物，炭窒化
   物，炭酸化物，窒酸化物，炭窒酸化物の中の少なくとも
   １種からなり、かつ、少なくとも１層が４ａ族元素，ア
   ルミニウム，イットリウム，シリコンの酸化物の中の少
   なくとも１種からなる請求項１〜３のいずれか１項に記
   載の被覆部材。
5. 【請求項５】前記硬質膜において、２層以上から構成さ
   れ、少なくとも１層はチタンを主成分とし、および／ま
   たは、少なくとも１層はアルミニウムを主成分とする請
   求項１〜４のいずれか１項に記載の被覆部材。
6. 【請求項６】前記希土類含有膜は、プラセオジム，サマ
   リウム，ユーロビウム，エルビウム，ツリウム，ルテチ
   ウムの中の１種の酸化物を含有する請求項１〜５のいず
   れか１項に記載の被覆部材。
7. 【請求項７】前記硬質膜は、前記希土類含有膜が基材に
   最近接している請求項１〜６のいずれか１項に記載の被
   覆部材。
8. 【請求項８】前記硬質膜は前記希土類含有膜と前記希土
   類元素を含有しない非希土類含有膜からなり、該希土類
   含有膜が非希土類含有膜の間に位置する請求項１〜７の
   いずれか１項に記載の被覆部材。
9. 【請求項９】前記基材が超硬合金，サーメット，セラミ
   ックス，高速度鋼の中の少なくとも１種からなる請求項
   １〜８のいずれか１項に記載の被覆部材。
10. 【請求項１０】前記基材が超硬合金で、前記硬質膜が２
    層以上の積層で膜厚が５〜２０μｍであり、少なくとも
    １層はチタンの炭化物，窒化物，炭窒化物からなり、ま
    た、少なくとも１層は酸化アルミニウムからなり、か
    つ、いずれかの１層が前記希土類含有膜である請求項１
    〜８のいずれか１項に記載の被覆部材。
11. 【請求項１１】前記被覆部材を切削工具に用いる請求項
    １〜１０のいずれか１項に記載の被覆部材。