JP2003234598A - Component-mounting method and component-mounting equipment - Google Patents

Component-mounting method and component-mounting equipment

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JP2003234598A
JP2003234598A JP2002031130A JP2002031130A JP2003234598A JP 2003234598 A JP2003234598 A JP 2003234598A JP 2002031130 A JP2002031130 A JP 2002031130A JP 2002031130 A JP2002031130 A JP 2002031130A JP 2003234598 A JP2003234598 A JP 2003234598A
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JP
Japan
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component
mounting
correction
moving
transfer head
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Application number
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Japanese (ja)
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Hidetoshi Sasaki
秀俊 佐々木
Izumi Miura
泉 三浦
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Panasonic Holdings Corp
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a component-mounting method and component-mounting equipment which can mount a component accurately at a prescribed mounting position on a substrate, when an XY robot transferring the component travels in not an ideally rectilinear locus but, e.g. in a meandering locus, and enable mounting ultra micro-components with sufficient positional accuracy. <P>SOLUTION: A plurality of correction marks 63 are arranged rectilinearly along the moving axis direction of a moving means. A transferring head is moved in a moving axis (x) direction by the driving of the moving means. An image-recognizing part recognizes each of the correction marks 63 and obtains an amount Δs<SB>y</SB>of deviation of the correction mark positions from a straight line. On the basis of the amount Δs<SB>y</SB>of deviation obtained, the mounting position of the component which is recorded in a mounting program is corrected. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、部品を基板上の所
定位置に実装する部品実装方法及び部品実装装置に関
し、特に、部品の実装位置ずれを最小限にする技術に関
する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a component mounting method and a component mounting apparatus for mounting a component at a predetermined position on a board, and more particularly to a technique for minimizing mounting position displacement of the component.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、電子部品実装分野では、電子部品
の極小化や実装間隔の高密度化と相まって、電子部品を
高精度に且つ高速に回路基板上へ実装する技術が必要と
されている。このため、部品実装装置においては、移載
ヘッドの吸着ノズルに吸着保持された電子部品を撮像し
て得た画像データを高速に処理することで、電子部品の
吸着ヘッドへの吸着姿勢を正確に検出し、また、基板搬
送用のレール上に載置される回路基板の固定位置ずれ等
についても正確に検出し、これらの検出結果に基づい
て、電子部品の実装位置を補正して実装する実装位置補
正技術が一般的に広く取り入れられている。
2. Description of the Related Art In recent years, in the field of electronic component mounting, a technique for mounting electronic components on a circuit board with high precision and at high speed is required in combination with miniaturization of electronic components and high density of mounting intervals. . Therefore, in the component mounting apparatus, by accurately processing the image data obtained by imaging the electronic component sucked and held by the suction nozzle of the transfer head, the suction posture of the electronic component to the suction head is accurately measured. Detecting, and also accurately detecting the fixed position shift etc. of the circuit board placed on the rail for board transfer, and based on these detection results, the mounting position of the electronic component is corrected and mounted. Position correction technology is generally widely adopted.

【0003】具体的には、図14に示すように一対の搬
送レール81のそれぞれに内蔵された各ベルトコンベヤ
83を駆動することで、ベルトコンベヤ83の搬送面上
に両端部を支持された回路基板1を搬送し、所定の位置
で停止させる。この停止位置で回路基板1を固定する一
方、電子部品を吸着保持する吸着ノズル85を備え、X
Yロボットにより移動可能に構成した移載ヘッド87を
回路基板1上で移動させることで部品実装処理を行う。
このとき、固定された回路基板1には位置検出用の基板
マーク67a,67bが対角線上に設けられており、こ
れら基板マーク67a,67bを、部品実装処理に先だ
って、移載ヘッド87に一体に設けられた認識カメラ8
9によって撮像して認識し、マーク位置を検出する。検
出されたマーク位置から回路基板1の正規の停止位置か
らのずれ量を求め、このずれ量を部品実装位置データに
反映させて実装処理を行っていた。
Specifically, as shown in FIG. 14, by driving each belt conveyor 83 incorporated in each of a pair of conveyor rails 81, a circuit whose both ends are supported on the conveyor surface of the belt conveyor 83. The substrate 1 is transported and stopped at a predetermined position. While fixing the circuit board 1 at this stop position, a suction nozzle 85 for sucking and holding electronic components is provided, and X
The component mounting process is performed by moving the transfer head 87 configured to be movable by the Y robot on the circuit board 1.
At this time, the fixed circuit board 1 is provided with board marks 67a and 67b for position detection on diagonal lines, and these board marks 67a and 67b are integrated with the transfer head 87 prior to the component mounting process. Recognition camera 8 provided
The image is picked up and recognized by 9 to detect the mark position. The deviation amount from the normal stop position of the circuit board 1 is calculated from the detected mark position, and the deviation amount is reflected in the component mounting position data to perform the mounting process.

【0004】このような実装位置の補正処理によれば、
吸着ノズル85中心からの電子部品の吸着位置ずれ量
や、搬送レール81側の回路基板1の固定位置ずれ量に
応じて、部品実装位置が予め設定された正規の位置にな
るように部品実装位置データを補正することで、必要と
される実装位置精度を得ることができる。
According to such a mounting position correction process,
Depending on the amount of displacement of the suction position of the electronic component from the center of the suction nozzle 85 and the amount of displacement of the fixed position of the circuit board 1 on the side of the transport rail 81, the component mounting position is set to a preset regular position. By correcting the data, the required mounting position accuracy can be obtained.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような実装位置の補正処理を行っても、部品実装位置ず
れの発生を解消できない場合がある。即ち、移載ヘッド
87を移動させるXYロボットの各軸が搬送レール81
との平行度や垂直度がずれている場合、或いは、XYロ
ボットの各軸における移動経路が正確な直線動でなく蛇
行するような場合には、XYロボットと搬送レール81
との双方のずれを1点の代表点のずれ量を基にして補正
しても、他の点では異なるずれ量を有するため、双方の
位置ずれを全体に亘って補正したことにはならない。従
って、上記の場合には、搬送レール81側の回路基板1
と移載ヘッド87側に保持された電子部品とを連携させ
て座標管理することができず、回路基板1上の所定位置
に正確に電子部品を実装することができなくなる。
However, even if the above-described mounting position correction processing is performed, it may not be possible to eliminate the occurrence of the component mounting position deviation. That is, each axis of the XY robot that moves the transfer head 87 is connected to the transport rail 81.
When the parallelism and the verticality with respect to the XY robot are deviated, or when the movement path of each axis of the XY robot is not a linear motion but meanders, the XY robot and the transfer rail 81
Even if the deviations of the two are corrected based on the deviation amount of one representative point, the deviation amounts of the other points are different, and therefore the positional deviations of the both are not corrected as a whole. Therefore, in the above case, the circuit board 1 on the side of the transport rail 81
Since the electronic components held on the transfer head 87 side cannot be coordinated with each other for coordinate management, the electronic components cannot be accurately mounted at a predetermined position on the circuit board 1.

【0006】例えば、図15に示すように、XYロボッ
トのX軸が本来移動するべき理想的な直線軌跡Laに対
し、実際には蛇行軌跡Lbのようにy方向に揺動する蛇
行を生じる場合を考えると、直線軌跡Laと蛇行軌跡Lb
との双方が一方の基板マーク67aに対応するxaの位
置で一致しているようなとき、このxaの位置に対して
は問題ないが、他方の基板マーク67bに対応するxb
の位置では、直線軌跡Laから蛇行軌跡Lbがy方向に
δだけずれている。このため、基板マーク67bを認識
した場合には、基板マーク67bはδだけずれた位置に
存在するものと判定され、基板マーク67aと基板マー
ク67bによって設定される基板固定位置の補正量が、
実際とは異なる補正量に設定されることになる。この補
正量に基づいて部品実装を行った場合には、当然ながら
実装位置ずれが発生することになる。
For example, as shown in FIG. 15, in comparison with an ideal straight line locus L a on which the X-axis of an XY robot should originally move, a meandering locus L b swings in the y direction as shown in FIG. Considering the cases that occur, the linear locus L a and the meandering locus L b
, And x are in agreement at the position of x a corresponding to one of the substrate marks 67a, there is no problem for this position of x a , but x b corresponding to the other substrate mark 67b.
At the position of, the meandering locus L b deviates from the linear locus La by δ in the y direction. Therefore, when the board mark 67b is recognized, it is determined that the board mark 67b is present at a position shifted by δ, and the correction amount of the board fixing position set by the board mark 67a and the board mark 67b becomes
The correction amount is different from the actual one. When components are mounted on the basis of this correction amount, a mounting position deviation naturally occurs.

【0007】上記XYロボットの直線軌跡Laからのず
れのうち、軸の平行度・垂直度のずれに起因するものに
ついては、部品実装装置へのXYロボットの組み付け精
度を向上させたり、適宜のキャリブレーション処理によ
って或る程度補正できるが、特に、移動経路が蛇行軌跡
bを描くようなずれは、その原因がXYロボットの各
構成部材の微少な寸法誤差、微少量の組み付け誤差等に
あり、各要因が重畳した結果として発生している。この
ずれ量は一般的には微少量であるが、最近の極微小サイ
ズのチップ部品、例えば0603チップ部品の高密度実
装にあっては、この微少量の変動も無視できなくなって
きている。
[0007] Among the deviation from a straight line path L a of the XY robot, for due to the deviation of parallelism, perpendicularity of the axis, or to improve the assembling accuracy of the XY robot to the component mounting apparatus, the appropriate Although it can be corrected to some extent by the calibration process, in particular, the deviation such that the moving path draws a meandering locus L b is caused by a minute dimensional error of each constituent member of the XY robot, a slight assembly error or the like. , Are generated as a result of superposition of each factor. This shift amount is generally a small amount, but in the recent high-density mounting of extremely small size chip parts, for example, 0603 chip parts, this small amount of fluctuation cannot be ignored.

【0008】本発明は、このような状況に鑑みてなされ
たもので、仮に部品を移送するXYロボットが理想的な
直線軌跡を辿らずに、例えば蛇行軌跡を辿って動作する
場合であっても、基板上の所定の実装位置に部品を正確
に実装させることができる部品実装方法及び部品実装装
置を提供し、もって、極微小サイズの部品であっても十
分な位置精度で実装可能にすることを目的とする。
The present invention has been made in view of such a situation, and even if the XY robot for transferring parts does not follow an ideal linear trajectory but operates, for example, a meandering trajectory. Provided are a component mounting method and a component mounting apparatus capable of accurately mounting a component at a predetermined mounting position on a board, and therefore, it is possible to mount a component of extremely small size with sufficient positional accuracy. With the goal.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記目的達成のための本
発明に係る請求項1記載の部品実装方法は、部品を脱着
自在に保持する部品保持部と撮像カメラを有する画像認
識部とを搭載した移載ヘッドと、該移載ヘッドに対面し
て配置され前記保持された部品の実装先となる基板に対
して前記移載ヘッドを移動させる移動手段とを備え、前
記部品の実装位置の記録された実装プログラムに従っ
て、前記移載ヘッドを前記基板面に対して平行に移動さ
せ、前記部品保持部に保持された部品を基板上の所定位
置に実装する部品実装方法であって、前記移動手段の移
動軸方向に沿って複数の補正マークを直線状に配設する
一方、前記移動手段の駆動により前記移載ヘッドを前記
移動軸方向に移動させて前記画像認識部により前記各補
正マークをそれぞれ認識し、これら補正マーク位置の前
記直線からのずれ量を求め、得られたずれ量に基づいて
前記実装プログラムに記録された部品の実装位置を補正
することを特徴とする。
In order to achieve the above object, a component mounting method according to a first aspect of the present invention is provided with a component holding portion for detachably holding a component and an image recognition portion having an image pickup camera. And a moving means for moving the transfer head with respect to a substrate, which is arranged facing the transfer head and is a mounting destination of the held component, and records the mounting position of the component. A component mounting method for moving the transfer head in parallel to the substrate surface according to the implemented mounting program to mount the component held by the component holder at a predetermined position on the substrate, the moving means comprising: While a plurality of correction marks are linearly arranged along the moving axis direction of the, the transfer head is moved in the moving axis direction by the driving of the moving means and the correction marks are respectively set by the image recognition unit. Identify, and determine the amount of deviation from the straight line of the correction mark position, and correcting the mounting position of the component which is recorded on the mounting program based on the obtained amount of deviation.

【0010】この部品実装方法では、基板の位置が管理
される座標系とは異なる座標系で動作する移動手段を駆
動して実装動作を行う場合に、移動手段による軸の移動
動作に蛇行軌跡が生じる場合でも、この蛇行軌跡を予め
測定して実装プログラムの実装位置データにフィードバ
ック補正することで、蛇行動作による位置ずれを補正し
た正確な位置に部品を安定して実装することが可能とな
る。これにより、例えば0603チップ部品のような極
微小な部品に対しても狭ピッチでの実装動作を十分な位
置精度で安定して実施することができる。
In this component mounting method, when the mounting means is driven by driving the moving means which operates in a coordinate system different from the coordinate system in which the position of the board is managed, a meandering locus is generated in the movement movement of the axis by the moving means. Even if it occurs, by measuring this meandering trajectory in advance and performing feedback correction to the mounting position data of the mounting program, it becomes possible to stably mount the component at an accurate position where the positional deviation due to the meandering motion is corrected. As a result, it is possible to stably carry out the mounting operation with a narrow pitch even for an extremely small component such as a 0603 chip component with sufficient positional accuracy.

【0011】請求項2記載の部品実装方法は、前記移動
手段が、互いに直交する2つの移動軸を有し、各移動軸
方向に沿って配設された補正マークをそれぞれ認識し
て、前記部品の実装位置を前記各移動軸方向に対して補
正することを特徴とする。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a component mounting method, wherein the moving means has two moving axes which are orthogonal to each other, and the correction marks arranged along the respective moving axis directions are respectively recognized, and the component is mounted. The mounting position of is corrected with respect to each of the moving axis directions.

【0012】この部品実装方法では、移動手段が2つの
直交する移動軸を有する2次元平面を移動するものであ
っても、各軸に対して平行度、垂直度、及び蛇行動作の
補正を行うことで、平面上の任意の位置でも高精度に実
装を行うことができる。
In this component mounting method, even if the moving means moves on a two-dimensional plane having two orthogonal moving axes, the parallelism, the verticality, and the meandering movement are corrected with respect to the respective axes. As a result, the mounting can be performed with high accuracy even at an arbitrary position on the plane.

【0013】請求項3記載の部品実装方法は、前記認識
された離散的な補正マーク位置を補間処理によって連続
的な位置データを生成し、該連続的な位置データに基づ
いて前記部品の実装位置を補正することを特徴とする。
According to a third aspect of the present invention, there is provided a component mounting method, wherein the recognized discrete correction mark positions are interpolated to generate continuous position data, and the component mounting positions are based on the continuous position data. Is corrected.

【0014】この部品実装方法では、離散的な補正マー
クを認識して、移動手段の移動経路を連続的な位置デー
タとして得ることで、必要とする位置精度を維持しつつ
補正マークの配置数を低減させることができ、補正処理
の簡略化が図られる。
In this component mounting method, the discrete correction marks are recognized and the movement path of the moving means is obtained as continuous position data, so that the required number of correction marks can be maintained while maintaining the required position accuracy. Therefore, the correction process can be simplified.

【0015】請求項4記載の部品実装方法は、前記実装
位置の補正を、前記補正マークにより求めたずれ量に加
えて、前記基板を載置する正規の位置からの該基板のず
れ量、前記部品保持部の正規の部品保持位置からの該部
品のずれ量の少なくともいずれかを合わせて行うことを
特徴とする。
According to a fourth aspect of the present invention, in the component mounting method, the correction of the mounting position is added to the displacement amount obtained by the correction mark, and the displacement amount of the substrate from the regular position for mounting the substrate, It is characterized in that at least one of the deviation amounts of the component from the regular component holding position of the component holding portion is adjusted.

【0016】この部品実装方法では、補正マークから求
める軸移動のずれ量に加えて、基板の位置ずれと部品の
保持位置からのずれとの少なくともいずれかを合わせて
補正することにより、部品実装に際する総合的なずれ量
が一括して補正され、高精度な部品実装が可能となる。
In this component mounting method, in addition to the shift amount of the axial movement obtained from the correction mark, at least one of the positional shift of the substrate and the shift from the holding position of the component is corrected to correct the component mounting. The total amount of deviation that occurs is collectively corrected, and high-precision component mounting becomes possible.

【0017】請求項5記載の部品実装装置は、部品を脱
着自在に保持する部品保持部と撮像カメラを有する画像
認識部とを搭載した移載ヘッドと、該移載ヘッドに対面
して配置され前記保持された部品の実装先となる基板に
対して前記移載ヘッドを移動させる移動手段とを備え、
実装位置の記録された実装プログラムに従って部品を基
板上の所定位置に実装する部品実装装置であって、前記
基板を固定する基板固定部又はその近傍に前記移動手段
の移動軸方向に沿って設けた複数の補正マークと、前記
移動手段を駆動して前記移載ヘッドを前記移動軸方向に
移動させ、前記画像認識部により前記各補正マークをそ
れぞれ認識させて、これら補正マーク位置の前記直線か
らのずれ量を求めると共に、得られたずれ量に基づいて
前記実装プログラムに記録された部品の実装位置を補正
する制御部とを備えたことを特徴とする。
According to another aspect of the component mounting apparatus of the present invention, there is provided a transfer head on which a component holding unit for holding the component detachably and an image recognition unit having an image pickup camera are mounted, and the transfer head is disposed so as to face the transfer head. A moving unit that moves the transfer head with respect to a substrate on which the held component is mounted,
A component mounting apparatus that mounts a component at a predetermined position on a board according to a mounting program in which the mounting position is recorded, and is provided along a moving axis direction of the moving means at or near a board fixing portion that fixes the board. A plurality of correction marks and the moving means are driven to move the transfer head in the movement axis direction, the image recognition unit recognizes each of the correction marks, and the correction mark positions from the straight line are detected. A controller is provided, which calculates a shift amount and corrects the mounting position of the component recorded in the mounting program based on the obtained shift amount.

【0018】この部品実装装置では、基板の位置が管理
される座標系とは異なる座標系で動作する移動手段を駆
動して実装動作を行う場合に、移動手段による軸の移動
動作に蛇行軌跡が生じる場合でも、制御部により、この
蛇行軌跡を予め測定して実装プログラムの実装位置デー
タにフィードバック補正することで、蛇行動作による位
置ずれを補正した正確な位置に部品を安定して実装する
ことが可能となる。これにより、例えば0603チップ
部品のような極微小な部品に対しても狭ピッチでの実装
動作を十分な位置精度で安定して実施することができ
る。
In this component mounting apparatus, when the moving means operating in a coordinate system different from the coordinate system in which the position of the board is managed is driven to perform the mounting operation, a meandering locus is generated in the movement movement of the axis by the moving means. Even if it occurs, the controller can measure this meandering trajectory in advance and perform feedback correction to the mounting position data of the mounting program, so that the component can be stably mounted at an accurate position in which the positional deviation due to the meandering motion is corrected. It will be possible. As a result, it is possible to stably carry out the mounting operation with a narrow pitch even for an extremely small component such as a 0603 chip component with sufficient positional accuracy.

【0019】請求項6記載の部品実装装置は、前記移動
手段が、互いに直交する2つの移動軸を有し、前記制御
部が各移動軸に対してそれぞれ前記ずれ量を求め、実装
位置を補正することを特徴とする。
According to a sixth aspect of the component mounting apparatus, the moving means has two moving axes which are orthogonal to each other, and the control section obtains the deviation amount with respect to each moving axis to correct the mounting position. It is characterized by doing.

【0020】この部品実装装置では、移動手段が2つの
直交する移動軸を有する2次元平面を移動するものであ
っても、各軸に対して平行度、垂直度、及び蛇行動作の
補正を行うことで、平面上の任意の位置でも高精度に実
装を行うことができる。
In this component mounting apparatus, even if the moving means moves on a two-dimensional plane having two orthogonal moving axes, the parallelism, the verticality, and the meandering motion are corrected with respect to the respective axes. As a result, the mounting can be performed with high accuracy even at an arbitrary position on the plane.

【0021】[0021]

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る部品実装方法
及び部品実装装置の好適な実施の形態について図面を参
照して詳細に説明する。図1に本発明の一実施形態に係
る部品実装装置の概略的な全体斜視図、図2に部品実装
装置の装着ヘッドの構成を一部拡大した斜視図、図3に
部品実装装置の主要部を示すブロック構成図を示す。部
品実装装置100の基台11上面の奥行き方向中央に
は、回路基板1をx方向に沿って搬入するローダ部13
を有し、ローダ部13とは反対側の奥行き方向中央に
は、回路基板1をx方向に沿って搬出するアンローダ部
15を有している。これらローダ部13とアンローダ部
15は、各々一対の基板搬送用のガイドレール17を有
している。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Preferred embodiments of a component mounting method and a component mounting apparatus according to the present invention will be described in detail below with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic overall perspective view of a component mounting apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a partially enlarged perspective view of the configuration of a mounting head of the component mounting apparatus, and FIG. 3 is a main part of the component mounting apparatus. The block block diagram which shows is shown. At the center of the upper surface of the base 11 of the component mounting apparatus 100 in the depth direction, the loader unit 13 for loading the circuit board 1 along the x direction.
The unloader section 15 for unloading the circuit board 1 along the x direction is provided at the center in the depth direction opposite to the loader section 13. The loader unit 13 and the unloader unit 15 each have a pair of guide rails 17 for carrying the substrate.

【0022】そして、ローダ部13とアンローダ部15
との間の基台11の上面には、ローダ部13から搬入さ
れる回路基板1を受け取ると共にアンローダ部15へ回
路基板1を搬出する、X−Y方向に移動自在な基板固定
部としてのXYテーブル21が備えられている。XYテ
ーブル21は一対のサポートレール19を有し、回路基
板1はこのサポートレール19間で固定される。
The loader unit 13 and the unloader unit 15
On the upper surface of the base 11 between the and XY, the XY serving as a board fixing section that receives the circuit board 1 loaded from the loader section 13 and unloads the circuit board 1 to the unloader section 15 and is movable in the XY directions. A table 21 is provided. The XY table 21 has a pair of support rails 19, and the circuit board 1 is fixed between the support rails 19.

【0023】また、基台11上面のx方向両端には、Y
軸ロボット23,24を各々y方向に沿って設けてお
り、Y軸ロボット23,24に跨るX軸ロボット25
を、それぞれy方向へ水平移動自在に懸架している。X
軸ロボット25には移載ヘッド27を設けており、実装
作業領域内においてx−y方向へ移動して位置決めする
ようになっている。これらのX軸ロボット25、Y軸ロ
ボット23,24は、例えばボールネジとナットとの組
合せや駆動ベルト等の駆動機構によりx方向、y方向へ
移動する移動手段としてのXYロボット29を構成して
いる。移載ヘッド27には、部品を吸着保持する吸着手
段としての吸着ノズル31を交換可能に複数本設けてお
り、また、回路基板1上の基板マークやNG基板マーク
等を撮像・認識するための画像認識部としての基板認識
カメラ33も設けてある。
At both ends of the upper surface of the base 11 in the x direction, Y
The axis robots 23 and 24 are provided along the y-direction, respectively, and the X-axis robot 25 spans the Y-axis robots 23 and 24.
Are suspended horizontally in the y direction. X
The axis robot 25 is provided with a transfer head 27 so as to move and position in the xy direction within the mounting work area. The X-axis robot 25 and the Y-axis robots 23 and 24 constitute an XY robot 29 as a moving unit that moves in the x-direction and the y-direction by a driving mechanism such as a combination of a ball screw and a nut and a driving belt. . The transfer head 27 is provided with a plurality of replaceable suction nozzles 31 as suction means for sucking and holding components, and also for picking up and recognizing board marks, NG board marks, and the like on the circuit board 1. A board recognition camera 33 as an image recognition unit is also provided.

【0024】そして、基台11上面におけるy方向端部
側には、回路基板1に実装する部品を所定の部品供給位
置へ順次供給するための部品供給装置であるパーツカセ
ット35を、複数台着脱可能に装着する部品供給部37
が設けられている。この部品供給部37としては、図示
は省略するが、主に大きめな部品(例えば、BGA:Ba
ll Grid AllayやQFP:Quad Flat Package等のICや
コネクタ等)を供給するためのパーツトレイ等も設けら
れる。また、部品実装作業領域における部品供給部37
の近傍には、複数種の吸着ノズル31を収納し、必要に
応じて交換するためのノズルステーション39を設けて
いる。さらに、部品供給部37の近傍には、移載ヘッド
27の吸着ノズル31が吸着した部品を認識カメラによ
り撮像して、その部品の吸着姿勢等を認識する部品認識
装置41を設けている。
A plurality of parts cassettes 35, which are component supply devices for sequentially supplying components mounted on the circuit board 1 to predetermined component supply positions, are attached to and detached from the upper end of the base 11 in the y direction. Component supply section 37 that can be mounted
Is provided. Although not shown, the component supply unit 37 is mainly a large component (for example, BGA: Ba).
ll Grid Allay and QFP: Quad Flat Package ICs, connectors, etc.) are also provided to supply parts trays. Further, the component supply unit 37 in the component mounting work area
A nozzle station 39 for accommodating a plurality of types of suction nozzles 31 and for replacing the suction nozzles 31 as needed is provided in the vicinity of. Further, in the vicinity of the component supply unit 37, a component recognition device 41 for recognizing the suction posture and the like of the component by picking up an image of the component sucked by the suction nozzle 31 of the transfer head 27 with a recognition camera is provided.

【0025】吸着ノズル31が取り付けられる装着ヘッ
ド43は、図2に示すように、複数個(図示例では4
個)の装着ヘッド43a,43b,43c,43d:部
品保持手段)を横並びに連結した多連式ヘッドとして構
成している。各装着ヘッド43a,43b,43c,4
3dは同一構造であって、吸着ノズル31と、吸着ノズ
ル31に上下動作を行わせるためのアクチュエータ45
と、吸着ノズル31にθ回転を行わせるためのモータ4
7、タイミングベルト49、プーリ51とを備えてい
る。各装着ヘッドの吸着ノズル31は交換可能であり、
他の吸着ノズルは部品実装装置100の基台11上のノ
ズルステーション39に予め収容されている。吸着ノズ
ル31には、例えば1.0×0.5mm程度の微小チッ
プ部品を吸着するSサイズノズル、18mm角のQFP
を吸着するMサイズノズル等があり、装着する電子部品
の種類に応じて選定されて用いられる。
As shown in FIG. 2, a plurality of mounting heads 43 to which the suction nozzles 31 are attached (4 in the illustrated example).
Individual mounting heads 43a, 43b, 43c, 43d: component holding means) are connected side by side to form a multiple head. Each mounting head 43a, 43b, 43c, 4
3d has the same structure, and has a suction nozzle 31 and an actuator 45 for causing the suction nozzle 31 to move up and down.
And a motor 4 for causing the suction nozzle 31 to perform θ rotation.
7, a timing belt 49, and a pulley 51. The suction nozzle 31 of each mounting head is replaceable,
The other suction nozzles are previously housed in the nozzle station 39 on the base 11 of the component mounting apparatus 100. The suction nozzle 31 is, for example, an S size nozzle that sucks a minute chip component of about 1.0 × 0.5 mm, a 18 mm square QFP.
There is an M size nozzle or the like for adsorbing, and is selected and used according to the type of electronic component to be mounted.

【0026】また、部品実装装置100の内部には、各
パーツカセット35等を識別して制御する制御部53
(図3参照)が設けられており、液晶パネルやCRTの
ようなモニタや警告ランプ等の表示手段55及びタッチ
パネルやキーボードのような入力手段57が部品実装装
置100の前面に設けられている。また、入力手段57
としてパーツカセット35の部品情報を入力するバーコ
ード読み取り装置があってもよい。制御部53は、上記
したXYテーブル21、XYロボット29、移載ヘッド
27、部品認識装置41等や記憶部59が接続されてお
り、これら各装置を制御する。
Further, inside the component mounting apparatus 100, a control section 53 for identifying and controlling each parts cassette 35 and the like.
(See FIG. 3), a display means 55 such as a monitor and a warning lamp such as a liquid crystal panel and a CRT, and an input means 57 such as a touch panel and a keyboard are provided on the front surface of the component mounting apparatus 100. Also, the input means 57
There may be a bar code reading device for inputting the parts information of the parts cassette 35. The control unit 53 is connected to the XY table 21, the XY robot 29, the transfer head 27, the component recognition device 41, and the like, and the storage unit 59, and controls these devices.

【0027】記憶部59には、どの部品をどの位置にど
のような順番で装着するか等の実装プログラム、どの部
品をどの位置の部品供給部37(パーツカセット35
等)に配列するか等の配列プログラム、配列した部品の
配列情報、どのノズルをどのノズルステーション39内
に配置するか等のノズルプログラム、ノズルステーショ
ン39に配置されたノズル情報、各部品の形状や高さ等
に関する部品情報の部品ライブラリ、各パーツトレイの
形状や高さ等に関するパーツトレイ情報の供給ライブラ
リ、各基板の形状等に関する基板情報、その他、吸着ノ
ズルの形状や各基板搬送用のレールの基板搬送位置の情
報等が記憶されている。
The storage unit 59 stores a mounting program such as which components are mounted in what positions in what order, and which component supply unit 37 (parts cassette 35) at which position.
Etc.), array information such as array information, array information of the arrayed components, nozzle program such as which nozzle is to be located in which nozzle station 39, nozzle information disposed in the nozzle station 39, shape of each component, A parts library of parts information related to height, etc., a supply library of parts tray information related to the shape and height of each parts tray, board information related to the shape of each board, etc., as well as shapes of suction nozzles and rails for carrying each board. Information such as the substrate transfer position is stored.

【0028】次に、上記構成の部品実装装置100の動
作を説明する。図1に示すガイドレール17のあるロー
ダ部13から搬入された回路基板12が所定の実装動作
位置61に搬送されると、移載ヘッド27はXYロボッ
ト29によりXY平面内で移動して、パーツカセット3
5等の部品供給部37から実装プログラムに基づいて所
望の電子部品を装着ヘッド43の吸着ノズル31に吸着
し、部品認識装置41の認識カメラ上に移動する。部品
認識装置41では、撮像画像と部品ライブラリデータに
基づいて電子部品の吸着姿勢を認識し、この吸着姿勢に
応じて補正動作を実施させる。この補正動作としては、
X方向及びY方向へのずれ量をXYロボット29にオフ
セットとして持たせたり、回転成分のずれ量を吸着ノズ
ル31をモータ47により回転させることによって行
う。その後に、回路基板1の所定位置に吸着した電子部
品を装着する。
Next, the operation of the component mounting apparatus 100 having the above configuration will be described. When the circuit board 12 carried in from the loader unit 13 having the guide rail 17 shown in FIG. 1 is conveyed to a predetermined mounting operation position 61, the transfer head 27 is moved in the XY plane by the XY robot 29, and the parts are moved. Cassette 3
A desired electronic component is sucked by the suction nozzle 31 of the mounting head 43 from the component supply unit 37 such as 5 based on the mounting program, and is moved onto the recognition camera of the component recognition device 41. The component recognition device 41 recognizes the suction posture of the electronic component based on the picked-up image and the component library data, and performs a correction operation according to the suction posture. As this correction operation,
The displacement amount in the X direction and the Y direction is given to the XY robot 29 as an offset, and the displacement amount of the rotation component is performed by rotating the suction nozzle 31 by the motor 47. After that, the electronic component sucked at a predetermined position on the circuit board 1 is mounted.

【0029】なお、各装着ヘッド43a,43b,43
c,43d,…は、パーツカセット35等から吸着ノズ
ル31により電子部品を吸着するとき、及び、回路基板
1の所定位置に電子部品を装着するとき、吸着ノズル3
1をXY平面上から鉛直方向(Z方向)に下降させる。
また、電子部品の種類に応じて、装着ヘッド43に取り
付けられた吸着ノズル31をノズルステーション39か
ら適切なものと交換して装着動作が行われる。上記の電
子部品の吸着と、回路基板1への装着動作との繰り返し
により、回路基板1に対する電子部品の実装が完了す
る。実装が完了した回路基板1は実装動作位置61から
アンローダ部15へ搬出される一方、新たな回路基板が
ローダ部13に搬入され、上記動作が繰り返される
Each mounting head 43a, 43b, 43
The suction nozzles 3c, 43d, ... When sucking an electronic component from the parts cassette 35 or the like by the suction nozzle 31 and mounting the electronic component at a predetermined position on the circuit board 1.
1 is moved down from the XY plane in the vertical direction (Z direction).
In addition, the mounting operation is performed by exchanging the suction nozzle 31 mounted on the mounting head 43 with an appropriate one from the nozzle station 39 according to the type of electronic component. By repeating the suction of the electronic component and the mounting operation on the circuit board 1, the mounting of the electronic component on the circuit board 1 is completed. The circuit board 1 on which the mounting is completed is carried out from the mounting operation position 61 to the unloader section 15, while a new circuit board is carried into the loader section 13, and the above-described operation is repeated.

【0030】ところで、上記構成の部品実装装置100
では、図4に装置の座標系を概念的に示すように、基台
11上のXYテーブル21の移動平面となる基準座標系
(x−y座標系)と、XYロボット29による移載ヘッ
ド27の移動平面となるロボット座標系(X−Y座標
系)とが存在する。実装プログラムの部品の実装位置デ
ータは、XYロボット29を制御するデータであるため
XYロボット座標系であり、この実装プログラムに従っ
て実装された部品の実際の実装位置は、基準座標系で表
現されることになる。これら2つの座標系が正確な平行
度及び垂直度を有していれば、双方の間で正確な座標管
理が行えるが、双方の軸が相互にずれを生じていたり、
軸自体の動作が蛇行成分を有する場合には正確な位置制
御ができなくなる。
By the way, the component mounting apparatus 100 having the above configuration
Then, as conceptually showing the coordinate system of the apparatus in FIG. 4, a reference coordinate system (xy coordinate system) which is a moving plane of the XY table 21 on the base 11, and a transfer head 27 by the XY robot 29. And a robot coordinate system (XY coordinate system) that is a moving plane of the robot. Since the mounting position data of the component of the mounting program is data for controlling the XY robot 29, it is the XY robot coordinate system, and the actual mounting position of the component mounted according to this mounting program is expressed in the reference coordinate system. become. If these two coordinate systems have accurate parallelism and perpendicularity, accurate coordinate management can be performed between them, but both axes may be displaced from each other,
If the movement of the shaft itself has a meandering component, accurate position control cannot be performed.

【0031】そこで、本発明に係る部品実装装置100
においては、基準座標系のXYテーブル21に補正マー
クを、XYロボット29の移動軸方向で基準座標系の軸
と平行な直線上に複数設け、この補正マークを、部品の
実装動作に先だって、ロボット座標系で駆動されるXY
ロボット29により移載ヘッド27を移動させながら撮
像してマーク位置を検出し、これにより前記直線とのず
れ、即ち、双方の座標系の軸のずれ量を検出して、検出
されたずれ量を部品実装位置データにフィードバックす
ることで座標系のずれを補正している。
Therefore, the component mounting apparatus 100 according to the present invention.
In the above, in the XY table 21 of the reference coordinate system, a plurality of correction marks are provided on a straight line parallel to the axis of the reference coordinate system in the moving axis direction of the XY robot 29, and these correction marks are provided before the mounting operation of the robot. XY driven by coordinate system
The robot 29 takes an image while moving the transfer head 27 to detect the mark position, thereby detecting the deviation from the straight line, that is, the deviation amount of the axes of both coordinate systems, and detecting the deviation amount. The deviation of the coordinate system is corrected by feeding back to the component mounting position data.

【0032】上記の基準座標系とロボット座標系との間
でフィードバック補正を行う具体例を以下に説明する。
図5は、本実施形態による補正マークの設けられたXY
テーブルを示す平面図である。回路基板1はXYテーブ
ル21の一対のサポートレール19に設けた搬送ベルト
65上に両端部を懸架させて固定している。このXYテ
ーブル21のいずれか一方のサポートレール19には、
所定の一定間隔Lでレール全長に亘って補正マーク63
を設けている。補正マーク63は、一直線上に高精度で
配置されており、撮像して得られる画像データによりマ
ークが認識され易いように、画像背景となるサポートレ
ール19との分離が容易にできるようコントラストを持
たせたり、精度良くマーク中心位置(或いは特徴点の位
置)が検出され易いやすいように、微細な形状にする等
の適宜の手段を用いて設定されている。ここでは、一例
として白色の丸印の中央に黒色の点が描かれたマークと
し、白色の背景中の黒点の位置を求めることでマーク位
置を検出するものとする。
A specific example of performing feedback correction between the reference coordinate system and the robot coordinate system will be described below.
FIG. 5 shows an XY provided with correction marks according to the present embodiment.
It is a top view which shows a table. The circuit board 1 is fixed by suspending its both ends on a conveyor belt 65 provided on a pair of support rails 19 of the XY table 21. On one of the support rails 19 of the XY table 21,
The correction marks 63 are provided at a predetermined fixed interval L over the entire rail length.
Is provided. The correction marks 63 are arranged on a straight line with high accuracy, and have a contrast so that the marks can be easily recognized by the image data obtained by imaging so that the correction marks 63 can be easily separated from the support rail 19 serving as an image background. It is set by using an appropriate means such as a fine shape so that the center position of the mark (or the position of the characteristic point) can be easily detected with high accuracy. Here, as an example, a mark in which a black dot is drawn at the center of a white circle is used, and the mark position is detected by obtaining the position of the black dot in the white background.

【0033】補正マーク63の配置間隔Lは、補正マー
クを検出するための時間と、必要とする補正精度とが折
り合う間隔に適宜設定されるが、補正マークの間隔Lを
狭めて配置し、マーク検出時には所定個数間引きながら
検出することで、マーク検出時間を短縮するようにして
もよい。なお、補正マーク63を設けるサポートレール
19は、基板サイズによりy方向に移動する側のサポー
トレールよりも、基板サイズに拘わらず移動されること
のない固定側のサポートレールの方が好ましい。また、
サポートレール19近傍の既存の固定部材上に設けても
よい。
The arrangement interval L of the correction marks 63 is appropriately set to an interval at which the time required to detect the correction marks and the required correction accuracy intersect with each other. At the time of detection, the mark detection time may be shortened by detecting while thinning out a predetermined number. The support rail 19 provided with the correction mark 63 is preferably a fixed support rail that does not move regardless of the substrate size, rather than a support rail that moves in the y direction depending on the substrate size. Also,
It may be provided on an existing fixing member near the support rail 19.

【0034】ここで、上記補正マークを設けたXYテー
ブルにより基準座標系とロボット座標系とのずれを補正
して部品を実装する手順について説明する。図6は、本
実施形態による補正マークの検出によって部品実装位置
を補正しつつ実装する手順を説明するフローチャートで
ある。
Now, a procedure for mounting a component by correcting the deviation between the reference coordinate system and the robot coordinate system by using the XY table provided with the correction marks will be described. FIG. 6 is a flowchart illustrating a procedure of mounting the component while correcting the component mounting position by detecting the correction mark according to the present embodiment.

【0035】以下、このフローチャートに基づいて順次
説明する。まず、部品実装装置100のローダ部13か
らXYテーブル21が回路基板1を受け取り、所定の実
装動作位置61で回路基板1を固定する。この状態で、
XYロボット29を動作させて移載ヘッド27に搭載さ
れている基板認識カメラ33により回路基板1の基板マ
ークを認識する(ステップ1、以降S1と略記する)。
そして、認識した基板マークの認識データを制御部53
へ送信する(S2)。
The following is a sequential description based on this flowchart. First, the XY table 21 receives the circuit board 1 from the loader unit 13 of the component mounting apparatus 100, and fixes the circuit board 1 at a predetermined mounting operation position 61. In this state,
The XY robot 29 is operated to recognize the board mark of the circuit board 1 by the board recognition camera 33 mounted on the transfer head 27 (step 1, hereinafter abbreviated as S1).
Then, the recognition data of the recognized board mark is transferred to the control unit 53.
(S2).

【0036】図7は基板マークによる補正量を示す説明
図である。回路基板1が理想的な位置からずれて固定さ
れた場合、実際の回路基板1の位置はx,y方向及び回
転方向にずれ成分を有する。このずれ成分は、基板マー
ク67,67を撮像して各マーク位置を検出することで
幾何学的に求まる。即ち、検出された基板マーク位置を
結ぶ線分の中点(図中黒丸)の座標と、この中点に相当
する理想的な回路基板位置での中点(図中白丸)の座標
を求めることで、双方のずれ量Δxkm,Δykmが求ま
り、また回転成分θkmも求められる。これらのずれ量Δ
km,Δykm、及び回転成分θkmにより、回路基板1の
全面に亘ってずれ成分が定量的に導き出せる。即ち、回
路基板1の回転成分によるx方向及びy方向へのずれ量
をRx(xi,yi,θkm),Ry(xi,yi,θkm)とす
ると、回路基板1のずれ補正量Δx ki,Δykiは、
(1)式により求められる。
FIG. 7 shows the correction amount by the substrate mark.
It is a figure. The circuit board 1 is fixed by shifting from the ideal position.
If it is turned on, the actual position of the circuit board 1 is in the x, y directions and
It has a shift component in the rolling direction. This shift component is
By capturing the positions of the marks 67 and 67 and detecting the position of each mark
Geometrically determined. That is, the detected board mark position
Equivalent to the coordinates of the midpoint of the connecting line segment (black circle in the figure) and this midpoint
The coordinates of the midpoint (white circle in the figure) at the ideal circuit board position
By calculating thekm, ΔykmWanted
Rotation component θkmIs also required. These deviations Δ
xkm, Δykm, And rotation component θkmOf the circuit board 1
The shift component can be quantitatively derived over the entire surface. That is, times
Amount of deviation in the x and y directions due to the rotation component of the road substrate 1.
Rx(Xi, Yi, Θkm), Ry(Xi, Yi, Θkm)
Then, the deviation correction amount Δx of the circuit board 1 ki, ΔykiIs
It is obtained by the equation (1).

【0037】 Δxki=Rx(xi,yi,θkm)+Δxkm Δyki=Ry(xi,yi,θkm)+Δykm (1) 制御部53では、座標xi,yiに対する上記(1)式に
よる回路基板1のずれ補正量Δxki,Δykiの関係が設
定される。ここで、上記iは実装プログラムの部品デー
タ数を表し、1〜Nまでの整数である。
Δx ki = R x (x i , y i , θ km ) + Δx km Δy ki = R y (x i , y i , θ km ) + Δy km (1) In the control unit 53, the coordinates x i , y The relationship between the deviation correction amounts Δx ki and Δy ki of the circuit board 1 according to the above equation (1) with respect to i is set. Here, the above i represents the number of component data of the mounting program and is an integer from 1 to N.

【0038】次に、図5に示すXYテーブル21のサポ
ートレール19上の補正マーク63を認識するために、
XYロボット29のX軸ロボット25のみ動作させて移
載ヘッド27をx方向に移動させ、移載ヘッド27に搭
載された基板認識カメラ33により順次補正マーク63
を撮像する。これにより各補正マークを認識してマーク
位置を求め(S3)、認識した各補正マークのy座標値
(必要に応じてx座標値も)を認識データとして制御部
53に送信する(S4)。この認識動作を補正マーク6
3の個数n個分繰り返し行う(S5)。
Next, in order to recognize the correction mark 63 on the support rail 19 of the XY table 21 shown in FIG.
Only the X-axis robot 25 of the XY robot 29 is operated to move the transfer head 27 in the x direction, and the substrate recognition camera 33 mounted on the transfer head 27 sequentially corrects the correction marks 63.
Image. As a result, each correction mark is recognized to obtain the mark position (S3), and the y coordinate value (and the x coordinate value, if necessary) of each recognized correction mark is transmitted to the control unit 53 as recognition data (S4). This recognition operation is corrected by the correction mark 6
It is repeated for the number n of 3 (S5).

【0039】ここで、補正マーク63は離散的に設けら
れているため、図8に各補正マーク位置の補間処理の様
子を示すように、任意の実装位置に対応させるため連続
的な座標データを得ることが好ましい。補間処理にはス
プライン関数を用いた補間方法等が好適に用いることが
できる。なお、前述したように補正マーク63を所定の
一定間隔で設けている理由は、この補間処理の計算量を
軽減するためでもある。
Here, since the correction marks 63 are provided discretely, as shown in FIG. 8 showing a state of interpolation processing of each correction mark position, continuous coordinate data is made to correspond to an arbitrary mounting position. It is preferable to obtain. An interpolation method using a spline function or the like can be preferably used for the interpolation processing. The reason why the correction marks 63 are provided at predetermined constant intervals as described above is also to reduce the calculation amount of this interpolation processing.

【0040】この補間処理により、制御部53では上記
各補正マークの位置xmj,ymj(j=1〜n)から求め
た補間曲線y=S(x)が設定される。
By this interpolation processing, the control section 53 sets the interpolation curve y = S (x) obtained from the positions x mj and y mj (j = 1 to n) of the respective correction marks.

【0041】次に、移載ヘッド27が部品実装装置10
0の部品供給部37へ移動して、装着ヘッド43の吸着
ノズル31に所定の電子部品を吸着する(S6)。そし
て、電子部品を吸着保持した状態で移載ヘッド27が部
品認識装置41上に移動して、吸着ノズル31に吸着さ
れた電子部品を撮像する。この撮像画像から電子部品の
吸着ミスの有無や、吸着ノズル31に対する吸着姿勢
(吸着位置ずれ、回転成分等)を認識する(S7)。こ
のとき得られた部品認識データを制御部53へ送信する
(S8)。
Next, the transfer head 27 is mounted on the component mounting apparatus 10.
It moves to the component supply unit 37 of 0 and sucks a predetermined electronic component to the suction nozzle 31 of the mounting head 43 (S6). Then, the transfer head 27 moves onto the component recognition device 41 in a state where the electronic component is sucked and held, and images the electronic component sucked by the suction nozzle 31. From this imaged image, the presence or absence of a suction error of the electronic component and the suction posture (suction position shift, rotation component, etc.) with respect to the suction nozzle 31 are recognized (S7). The component recognition data obtained at this time is transmitted to the control unit 53 (S8).

【0042】図9に吸着ノズルに吸着された部品のずれ
量を示す説明図を示した。図9(a)に示すように吸着
ノズル31に電子部品3が吸着された場合に、吸着ノズ
ル中心と部品中心とのずれ量Δxsp,Δysp及び回転成
分θnを求め、さらに、図9(b)に示すようにモータ
47(図2参照)の駆動により回転成分補正を行ったと
きの(θn=0に補正する)、電子部品に対するx方向
及びy方向のずれ量Δxs,Δysを計算により求める。
FIG. 9 is an explanatory view showing the shift amount of the component sucked by the suction nozzle. As shown in FIG. 9A, when the electronic component 3 is sucked by the suction nozzle 31, the shift amounts Δx sp and Δy sp between the suction nozzle center and the component center and the rotation component θ n are obtained, and further, FIG. As shown in (b), when the rotational component is corrected by driving the motor 47 (see FIG. 2) (corrected to θ n = 0), the deviation amounts Δx s and Δy with respect to the electronic components in the x direction and the y direction. Calculate s by calculation.

【0043】次に、以上求めた基板マーク認識データ、
補正マーク認識データ、部品認識データを用いて、実装
プログラムに指定されている電子部品の回路基板1への
実装位置を計算する(S9)。即ち、実装プログラムに
指定された合計N個の電子部品の実装位置データが、x
pi,ypiであるとすると(iは1〜Nまでの整数)、補
正後のロボット座標系における実装位置は(2)式で表
せる。
Next, the board mark recognition data obtained above,
Using the correction mark recognition data and the component recognition data, the mounting position of the electronic component specified by the mounting program on the circuit board 1 is calculated (S9). That is, the mounting position data of a total of N electronic components specified in the mounting program is x
pi, When a y pi (i is an integer of up to 1 to N), a mounting position in the robot coordinate system of the corrected can be expressed by equation (2).

【0044】 Xi=xpi+Δxki +Δxsi+xofsi=ypi+Δyki+S(ypi)+Δysi+yofs (2)X i = x pi + Δx ki + Δx si + x ofs Y i = y pi + Δy ki + S (y pi ) + Δy si + y ofs (2)

【0045】ここで、xofs,yofsは、機構的に設定さ
れるロボット座標系(X,Y)の原点と基準座標系
(x,y)の原点とのオフセット値、及びXYテーブル
21に固定された回路基板1の原点位置と基準座標系
(x,y)の原点とのオフセット値の合算値である。こ
れにより、基準座標系で表現された電子部品の実装位置
が、ロボット座標系で一義的に表現されることになる。
そして、移載ヘッド27の吸着ノズル31に吸着保持さ
れる電子部品を、XYロボット29の駆動により所定の
実装位置へ移動させ(S10)、電子部品を回路基板1
上へ実装する(S11)。以上のS6からの動作を実装
プログラムの最終ステップまで繰り返し行い、電子部品
の実装を行う(S12)。これにより、電子部品を回路
基板1上に正確に位置合わせして実装することができ
る。
Here, x ofs and y ofs are stored in the XY table 21 as offset values between the origin of the robot coordinate system (X, Y) mechanically set and the origin of the reference coordinate system (x, y). It is the sum of the offset values of the fixed origin position of the circuit board 1 and the origin of the reference coordinate system (x, y). As a result, the mounting position of the electronic component expressed in the reference coordinate system is uniquely expressed in the robot coordinate system.
Then, the electronic component sucked and held by the suction nozzle 31 of the transfer head 27 is moved to a predetermined mounting position by driving the XY robot 29 (S10), and the electronic component is placed on the circuit board 1.
It is mounted on top (S11). The above-described operations from S6 are repeated until the final step of the mounting program to mount electronic components (S12). As a result, the electronic component can be accurately aligned and mounted on the circuit board 1.

【0046】図10は、上記の補正を施して部品実装を
行う様子を概念的に示す説明図である。いま、XYロボ
ット29のX軸ロボット25が、基準座標系(x,y)
の座標軸に対して蛇行して動作する特性を有する場合を
考える。X軸ロボット25により移載ヘッド27をx軸
上でx方向へ移動させると、移載ヘッド27は図中L rx
で示す蛇行曲線の軌跡を描くようになる。この蛇行特性
は、X軸ロボット25により移載ヘッド27をXYテー
ブル21の補正マーク63を設けた側のサポートレール
19に沿って移動させ、補正マーク63をそれぞれ撮像
して認識し、各マーク位置を補間処理により連結するこ
とでLsxとして求められる。この蛇行特性は、X軸ロボ
ット25に特有のため、Y軸ロボット23,24を他の
y座標位置に移動しても、この特性が変化することはな
い。即ち、蛇行軌跡Lrxは蛇行軌跡Lsxと同一の振幅・
位相を有する軌跡となっている。
FIG. 10 shows the component mounting with the above correction.
It is explanatory drawing which shows notionally how to perform. XY robot now
The X-axis robot 25 of the unit 29 has a reference coordinate system (x, y)
When it has a characteristic that it moves meandering with respect to the coordinate axes of
Think The transfer head 27 is moved to the x-axis by the X-axis robot 25.
When moved in the x direction above, the transfer head 27 moves to L rx
The trajectory of the meandering curve shown by is drawn. This meandering characteristic
Moves the transfer head 27 to the XY table by the X-axis robot 25.
Support rail on the side where the correction mark 63 of the bull 21 is provided
19 and move each image of the correction mark 63
And recognize each mark and connect each mark position by interpolation.
And with LsxIs required as. This meandering characteristic is the X-axis robot
The Y-axis robots 23 and 24 are
This characteristic does not change even if you move to the y-coordinate position.
Yes. That is, the meandering locus LrxIs the meandering locus LsxSame amplitude as
The locus has a phase.

【0047】例えば、xcの位置における蛇行軌跡Lrx
は、y方向にΔsyのずれ量が発生しており、xcの位置
(図中◇印位置)に実装する電子部品は、このΔsy
ずれ量を補正した位置(図中◆印位置)を実装目標位置
に設定することで、回路基板1には結果として正しい位
置に電子部品が実装されることになる。なお、この例で
はX軸ロボット25の蛇行特性による位置ずれの補正の
み言及しているが、上記の通り、この他にも、基板マー
ク認識データ、部品認識データによっても位置ずれの補
正を行うものとする。
For example, the meandering locus L rx at the position of x c
Indicates that a deviation amount of Δs y is generated in the y direction, and the electronic component mounted at the position x c (marked by ◇ in the figure) is the position corrected by this deviation amount of Δs y (marked by ◆ in the figure). ) Is set to the mounting target position, the electronic components are consequently mounted on the circuit board 1 at correct positions. In this example, only the correction of the positional deviation due to the meandering characteristic of the X-axis robot 25 is referred, but as described above, the positional deviation is also corrected by the board mark recognition data and the component recognition data. And

【0048】本実施形態によれば、回路基板1の位置が
管理される座標系(基準座標系)とは異なる座標系(ロ
ボット座標系)で部材を駆動することで実装動作を行う
場合に、双方の座標系の平行度及び垂直度が正確に一致
していなくても、これを補正して電子部品の回路基板1
への実装位置を高精度に保つことができる。そして、軸
の移動動作に蛇行軌跡が生じる場合でも、この蛇行軌跡
を予め測定して実装座標データにフィードバックするこ
とで、蛇行動作による位置ずれをも補正した正確な位置
に部品を安定して実装することが可能となる。これによ
り、例えば0603チップ部品のような極微小な部品に
対しても狭ピッチでの実装動作を十分な位置精度で安定
して実施することができる。
According to the present embodiment, when the mounting operation is performed by driving the members in a coordinate system (robot coordinate system) different from the coordinate system (reference coordinate system) in which the position of the circuit board 1 is managed, Even if the parallelism and perpendicularity of both coordinate systems do not exactly match, this is corrected and the circuit board 1 of the electronic component is corrected.
It is possible to maintain the mounting position on the board with high accuracy. Even if a meandering locus occurs in the movement of the axis, the meandering locus is measured in advance and fed back to the mounting coordinate data, so that the component is stably mounted at the correct position with the positional deviation due to the meandering motion corrected. It becomes possible to do. As a result, it is possible to stably carry out the mounting operation with a narrow pitch even for an extremely small component such as a 0603 chip component with sufficient positional accuracy.

【0049】次に、本発明に係る部品実装方法及び部品
実装装置の第2実施形態について説明する。図11に本
実施形態による補正マークの設けられたXYテーブルを
示す平面図である。ここで、前述の第1実施形態の構成
と同様の機能を有する部材に対しては同一の符号を付与
することでその説明は省略するものとする。本実施形態
においては、補正マーク63をx方向に沿ってXYテー
ブル21のサポートレール上に設けることの他に、y方
向に対しても複数の補正マークを64を設けている。以
降は、補正マーク63をy方向補正マーク、補正マーク
64をx方向補正マークとして区別して説明する。
Next, a second embodiment of the component mounting method and component mounting apparatus according to the present invention will be described. FIG. 11 is a plan view showing an XY table provided with correction marks according to the present embodiment. Here, members having the same functions as those of the configuration of the first embodiment described above are given the same reference numerals, and the description thereof will be omitted. In this embodiment, in addition to providing the correction mark 63 on the support rail of the XY table 21 along the x direction, a plurality of correction marks 64 are also provided in the y direction. In the following description, the correction mark 63 will be described as a y-direction correction mark, and the correction mark 64 will be described as an x-direction correction mark.

【0050】y方向補正マーク63はXYテーブル21
のサポートレール19上に設けているが、x方向補正マ
ーク64は、回路基板1の搬送に支障のない、回路基板
1の下方或いは上方のいずれかに設けた直状部材69の
上面に、所定の一定の間隔Hで等間隔に複数個を設けて
ある。この直状部材69のx方向補正マーク64は、そ
の配列方向がy方向補正マーク63の配列方向に対して
高精度に直角に設定されている。
The y-direction correction mark 63 is the XY table 21.
The x-direction correction mark 64 is provided on the upper surface of the straight member 69 provided below or above the circuit board 1 so as not to interfere with the conveyance of the circuit board 1, although it is provided on the support rail 19 of FIG. A plurality of them are provided at regular intervals H. The arrangement direction of the x-direction correction marks 64 of the straight member 69 is set at a high accuracy with respect to the arrangement direction of the y-direction correction marks 63.

【0051】或いは、x方向補正マーク64の設けられ
る直状部材69は、図示位置に常設されずに、回路基板
1の搬出時には後退する等の可動式の構成としてもよ
い。また、直状部材69は、x方向補正マーク64を、
実質的にy方向に沿って延設されている既存の部材上に
設けることで省略しても構わない。
Alternatively, the straight member 69 provided with the x-direction correction mark 64 may not be permanently provided at the illustrated position, but may be movable such that it is retracted when the circuit board 1 is unloaded. Further, the straight member 69 has the x-direction correction mark 64
It may be omitted by providing it on an existing member that extends substantially along the y direction.

【0052】次に、本実施形態の電子部品の実装動作に
ついて、図12に示すフローチャートを参照しながら説
明する。S21〜S25の基板マーク及びy方向補正マ
ークの認識については、前述の図6に示すフローチャー
トと同様であるので説明は省略する。y方向補正マーク
63の認識を終えると、続いてx方向補正マーク64の
認識動作に移る(S26)。ここでは、図11に示す直
状部材69上のx方向補正マーク64を認識するため
に、XYロボット29のY軸ロボット23,24のみ動
作させて移載ヘッド27をy方向に移動させ、移載ヘッ
ド27に搭載された基板認識カメラ33により順次x方
向補正マークを撮像する。これにより各補正マークを認
識してマーク位置を求め(S26)、認識した各補正マ
ークのx座標値を認識データとして制御部53に送信す
る(S27)。この認識動作をx方向補正マーク64の
個数m個分繰り返し行う(S28)。
Next, the mounting operation of the electronic component of this embodiment will be described with reference to the flowchart shown in FIG. The recognition of the board mark and the y-direction correction mark in S21 to S25 is the same as that in the flowchart shown in FIG. When the recognition of the y-direction correction mark 63 is completed, the operation of recognizing the x-direction correction mark 64 is subsequently performed (S26). Here, in order to recognize the x-direction correction mark 64 on the straight member 69 shown in FIG. 11, only the Y-axis robots 23 and 24 of the XY robot 29 are operated and the transfer head 27 is moved in the y-direction to transfer. The board recognition camera 33 mounted on the mounting head 27 sequentially captures the x-direction correction marks. Thus, each correction mark is recognized to obtain the mark position (S26), and the x coordinate value of each recognized correction mark is transmitted to the control unit 53 as recognition data (S27). This recognition operation is repeated for the number m of x-direction correction marks 64 (S28).

【0053】ここで、x方向補正マーク64も離散的に
設けられているため、y方向補正マーク63と同様に、
任意の実装位置に対応させるため連続的な座標データを
得ることが好ましい。この補間処理により、制御部53
では各x方向補正マークの位置xmj,ymj(j=1〜
m)から求めた補間曲線x=S(y)が設定される。
Here, since the x-direction correction marks 64 are also provided discretely, like the y-direction correction marks 63,
It is preferable to obtain continuous coordinate data in order to correspond to an arbitrary mounting position. By this interpolation processing, the control unit 53
Then, the position x mj , y mj (j = 1 to 1) of each x-direction correction mark
The interpolation curve x = S (y) obtained from m) is set.

【0054】次に、S29で移載ヘッド27が部品実装
装置100の部品供給部37へ移動して、前述のS6〜
S8と同様に装着ヘッド43の吸着ノズル31に所定の
電子部品を吸着する。そして、以上求めた基板マーク認
識データ、補正マーク認識データ、部品認識データを用
いて、実装プログラムに指定されている電子部品の回路
基板1への実装位置を計算する(S32)。即ち、実装
プログラムに指定された合計N個の電子部品の実装位置
データが、xpi,ypiであるとすると(iは1〜Nまで
の整数)、補正後のロボット座標系における実装位置は
(3)式で表せる。
Next, in S29, the transfer head 27 is moved to the component supply section 37 of the component mounting apparatus 100, and the above S6-
Similar to S8, the suction nozzle 31 of the mounting head 43 sucks a predetermined electronic component. Then, using the board mark recognition data, the correction mark recognition data, and the component recognition data thus obtained, the mounting position of the electronic component specified in the mounting program on the circuit board 1 is calculated (S32). That is, assuming that the mounting position data of a total of N electronic components specified in the mounting program are x pi and y pi (i is an integer from 1 to N), the mounting positions in the robot coordinate system after correction are It can be expressed by equation (3).

【0055】 Xi=xpi+Δxki+S(xpi)+Δxsi+xofsi=ypi+Δyki+S(ypi)+Δysi+yofs (3)X i = x pi + Δx ki + S (x pi ) + Δx si + x ofs Y i = y pi + Δy ki + S (y pi ) + Δy si + y ofs (3)

【0056】これにより、基準座標系で表現された電子
部品の実装位置が、ロボット座標系で表現されることに
なる。そして、移載ヘッド27の吸着ノズル31に吸着
保持される電子部品を、XYロボット29の駆動により
所定の実装位置へ移動させ(S33)、電子部品を回路
基板1上へ実装する(S34)。以上のS29からの動
作を実装プログラムの最終ステップまで繰り返し行い、
電子部品の実装を行う(S35)。これにより、XYロ
ボット29のX軸ロボット25及びY軸ロボット23,
24の双方に対して補正が行え、即ち、x方向及びy方
向の蛇行動作による位置ずれが補正され、電子部品を回
路基板1上に一層正確に位置合わせして実装することが
できる。
As a result, the mounting position of the electronic component expressed in the reference coordinate system is expressed in the robot coordinate system. Then, the electronic component sucked and held by the suction nozzle 31 of the transfer head 27 is moved to a predetermined mounting position by driving the XY robot 29 (S33), and the electronic component is mounted on the circuit board 1 (S34). The above operation from S29 is repeated until the final step of the mounting program,
Electronic components are mounted (S35). As a result, the X-axis robot 25 and the Y-axis robot 23 of the XY robot 29,
24 can be corrected, that is, the positional deviation due to the meandering motion in the x direction and the y direction can be corrected, and the electronic component can be more accurately aligned and mounted on the circuit board 1.

【0057】図13は、上記の補正を施して部品実装を
行う様子を概念的に示す説明図である。いま、XYロボ
ット29のX軸ロボット25及びY軸ロボット23,2
4の双方が、基準座標系の座標軸x,yに対して蛇行し
て動作する特性を有する場合を考える。X軸ロボット2
5による移載ヘッド27のx軸上での移動軌跡は、図中
rxで示す蛇行曲線となり、また、Y軸ロボット23,
24による移載ヘッドのy軸上での移動軌跡は、図中L
ryで示す蛇行曲線になる。この蛇行軌跡Lryは、Y軸ロ
ボット23,24により移載ヘッド27をx方向補正マ
ーク64を設けた直状部材69に沿って移動させ、x方
向補正マーク64をそれぞれ撮像して認識し、各マーク
位置を補間処理により連結した蛇行軌跡Lsyから求めら
れる。ここでも、蛇行軌跡LrxとLsx、蛇行軌跡Lry
syは、それぞれ同一の振幅・位相を有している。
FIG. 13 is an explanatory view conceptually showing how the components are mounted with the above correction. Now, the X-axis robot 25 of the XY robot 29 and the Y-axis robots 23, 2
Consider a case in which both 4 have the characteristic of operating in a meandering manner with respect to the coordinate axes x and y of the reference coordinate system. X-axis robot 2
5, the moving locus of the transfer head 27 on the x-axis becomes a meandering curve indicated by L rx in the figure, and the Y-axis robot 23,
The locus of movement of the transfer head on the y-axis by 24 is L in the figure.
It becomes the meandering curve shown by ry . In the meandering locus L ry , the transfer head 27 is moved by the Y-axis robots 23 and 24 along the straight member 69 provided with the x-direction correction mark 64, and the x-direction correction mark 64 is imaged and recognized. It is obtained from the meandering locus L sy in which each mark position is connected by interpolation processing. Here again, the meandering loci L rx and L sx and the meandering loci L ry and L sy have the same amplitude and phase, respectively.

【0058】例えば、(xd,yd)の位置における蛇行
軌跡Lrx,Lryは、x方向にΔsx,y方向にΔsyのず
れ量が発生しており、(xd,yd)の位置(図中◇印位
置)に実装する電子部品は、このΔsx,Δsyのずれ量
を補正した位置(図中◆印位置)を実装目標位置に設定
することで、回路基板1には結果として正しい位置に電
子部品が実装されることになる。なお、この例ではX軸
ロボット29の蛇行特性による位置ずれの補正のみ言及
しているが、上記の通り、この他にも、基板マーク認識
データ、部品認識データによっても位置ずれの補正を行
うものとする。
For example, the meandering loci L rx and L ry at the position of (x d , y d ) have deviation amounts of Δs x in the x direction and Δs y in the y direction, and (x d , y d The electronic component to be mounted at the position () in the figure (marked with ◇ in the figure) is set to the mounting target position by setting the position (marked with ◆ in the figure) in which the deviation amount of Δs x and Δs y is corrected, As a result, electronic components are mounted in the correct positions. Although only the correction of the positional deviation due to the meandering characteristic of the X-axis robot 29 is referred to in this example, the positional deviation is also corrected by the board mark recognition data and the component recognition data as described above. And

【0059】なお、以上説明した本発明に係る部品実装
方法においては、x方向及びy方向補正マークの認識動
作を、各実装動作毎に行うことの他にも、例えば、部品
実装装置100の立ち上げ時に1回のみ行うようにした
り、所定メンテナンス期間毎に行うようにして、補正マ
ーク認識動作による実装時間の遅延を最小限にしたり、
所定の実装回数毎、実装基板枚数毎或いは所定の実装時
間毎に定期的に行ったり、作業者の操作による任意のタ
イミングで行うようにしてもよい。
In the component mounting method according to the present invention described above, in addition to performing the recognition operation of the x-direction and y-direction correction marks for each mounting operation, for example, standing of the component mounting apparatus 100 is performed. It can be done only once when raising, or can be done every predetermined maintenance period to minimize the delay of mounting time due to the correction mark recognition operation,
It may be carried out periodically every predetermined number of mountings, every number of mounting boards, or every predetermined mounting time, or may be carried out at an arbitrary timing by the operation of the operator.

【0060】また、x方向及びy方向補正マークは、そ
の配置間隔を狭めることで蛇行特性を細かに計測するこ
とができ、部品実装位置の精度をより高精度にすること
ができる。さらに、各補正マークは、平面上にシール材
として設ける以外にも、部材上に形成した凹部や凸部か
らなるマークであったり、一方向に延設した細溝であっ
たり、部材縁部等の特徴点をマークと見なしたりしても
よい。また、ずれ量の検出方法としては、マーク位置の
検出以外に、移載ヘッド27に反射ミラーを設け、部品
実装装置100の基台11等からスポット状のレーザ光
をこの反射ミラーに照射し、その反射光を高精度で検出
することで、移載ヘッド27の各移動先における位置ず
れを検出する光検出方式としてもよく、他にも静電容量
の変化等からずれを検出する電気的検出方式としても、
機械ゲージ等によりずれを実測する機械的検出方法とし
てもよい。
Further, the meandering characteristics of the x-direction and y-direction correction marks can be finely measured by narrowing the arrangement interval, and the accuracy of the component mounting position can be made higher. Further, each correction mark is not only provided as a sealing material on a flat surface but also a mark formed of a concave portion or a convex portion formed on a member, a narrow groove extending in one direction, a member edge portion, etc. The feature points of may be regarded as marks. Further, as a method of detecting the amount of deviation, in addition to the detection of the mark position, a reflection mirror is provided on the transfer head 27, and a spot-shaped laser beam is emitted from the base 11 or the like of the component mounting apparatus 100 to the reflection mirror. A light detection method may be used in which the reflected light is detected with high accuracy to detect the positional deviation of the transfer head 27 at each destination, and other electrical detection that detects the deviation based on a change in capacitance or the like. As a method,
A mechanical detection method may be used in which the deviation is measured by a mechanical gauge or the like.

【0061】[0061]

【発明の効果】本発明に係る部品実装方法及び部品実装
装置によれば、移動手段の移動軸方向に沿って複数の補
正マークを直線状に配設する一方、移動手段の駆動によ
り移載ヘッドを移動軸方向に移動させて画像認識部によ
り各補正マークをそれぞれ認識し、これら補正マーク位
置の直線からのずれ量を求め、得られたずれ量に基づい
て実装プログラムに記録された部品の実装位置を補正す
ることにより、基板の位置が管理される座標系とは異な
る座標系で動作する移動手段を駆動して実装動作を行う
場合に、移動手段による軸の移動動作に蛇行軌跡が生じ
る場合でも、この蛇行軌跡を予め測定して実装プログラ
ムの実装位置データにフィードバック補正するため、蛇
行動作による位置ずれが補正された正確な位置に部品を
安定して実装することが可能となる。
According to the component mounting method and component mounting apparatus of the present invention, a plurality of correction marks are linearly arranged along the moving axis direction of the moving means, while the transfer head is driven by driving the moving means. Move in the direction of the moving axis, recognize each correction mark by the image recognition unit, find the deviation amount of these correction mark positions from the straight line, and mount the components recorded in the mounting program based on the obtained deviation amount. When the mounting means is driven by driving the moving means that operates in a coordinate system different from the coordinate system in which the position of the board is managed by correcting the position, and a meandering locus occurs in the moving movement of the axis by the moving means. However, since the meandering locus is measured in advance and is feedback-corrected to the mounting position data of the mounting program, the component is stably mounted at an accurate position in which the displacement due to the meandering motion is corrected. Theft is possible.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施形態に係る部品実装装置の概略
的な全体斜視図である。
FIG. 1 is a schematic overall perspective view of a component mounting apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図2】部品実装装置の装着ヘッドの構成を一部拡大し
た斜視図である。
FIG. 2 is a partially enlarged perspective view of the configuration of the mounting head of the component mounting apparatus.

【図3】部品実装装置の主要部を示すブロック構成図で
ある。
FIG. 3 is a block configuration diagram showing a main part of the component mounting apparatus.

【図4】部品実装装置の座標系を概念的に示す説明図で
ある。
FIG. 4 is an explanatory diagram conceptually showing the coordinate system of the component mounting apparatus.

【図5】第1実施形態における補正マークの設けられた
XYテーブルを示す平面図である。
FIG. 5 is a plan view showing an XY table provided with correction marks in the first embodiment.

【図6】第1実施形態による補正マークの検出によって
部品実装位置を補正しつつ実装する手順を説明するフロ
ーチャートである。
FIG. 6 is a flowchart illustrating a procedure of mounting a component while correcting the component mounting position by detecting a correction mark according to the first embodiment.

【図7】基板マークによる補正量を示す説明図である。FIG. 7 is an explanatory diagram showing a correction amount based on a substrate mark.

【図8】各補正マーク位置の補間処理の様子を示す説明
図である。
FIG. 8 is an explanatory diagram showing a state of interpolation processing of each correction mark position.

【図9】吸着ノズルに吸着された部品のずれ量を示す説
明図である。
FIG. 9 is an explanatory diagram showing a shift amount of a component sucked by a suction nozzle.

【図10】第1実施形態による補正を施して部品実装を
行う様子を概念的に示す説明図である。
FIG. 10 is an explanatory diagram conceptually showing how a component is mounted by performing the correction according to the first embodiment.

【図11】第2実施形態による補正マークの設けられた
XYテーブルを示す平面図である。
FIG. 11 is a plan view showing an XY table provided with correction marks according to the second embodiment.

【図12】第2実施形態による補正マークの検出によっ
て部品実装位置を補正しつつ実装する手順を説明するフ
ローチャートである。
FIG. 12 is a flowchart illustrating a procedure of mounting a component while correcting the component mounting position by detecting a correction mark according to the second embodiment.

【図13】第2実施形態による補正を施して部品実装を
行う様子を概念的に示す説明図である。
FIG. 13 is an explanatory diagram conceptually showing how components are mounted by performing the correction according to the second embodiment.

【図14】従来の回路基板の固定位置検出方法について
の説明図である。
FIG. 14 is an explanatory diagram of a conventional method for detecting a fixed position of a circuit board.

【図15】従来のXYロボットのX軸が本来移動するべ
き理想的な直線軌跡と、蛇行軌跡とを示す説明図であ
る。
FIG. 15 is an explanatory diagram showing an ideal straight line trajectory along which the X axis of a conventional XY robot should originally move and a meandering trajectory.

【符号の説明】 1 回路基板 3 電子部品 11 基台 12 回路基板 19 サポートレール 21 XYテーブル 23,24 Y軸ロボット 25 X軸ロボット 27 移載ヘッド 29 XYロボット 31 吸着ノズル 33 基板認識カメラ 41 部品認識装置 43a,43b,43c,43d 装着ヘッド 45 アクチュエータ 47 モータ 49 タイミングベzルト 51 プーリ 53 制御部 55 表示手段 57 入力手段 59 記憶部 61 実装動作位置 63 補正マーク(y方向補正マーク) 64 補正マーク(x方向補正マーク) 67,67a,67b 基板マーク 69 直状部材 100 部品実装装置 H 間隔 L 間隔 Lrx,Lry,Lsx,Lsy 蛇行軌跡[Explanation of reference numerals] 1 circuit board 3 electronic component 11 base 12 circuit board 19 support rail 21 XY table 23, 24 Y-axis robot 25 X-axis robot 27 transfer head 29 XY robot 31 suction nozzle 33 substrate recognition camera 41 component recognition Devices 43a, 43b, 43c, 43d Mounting head 45 Actuator 47 Motor 49 Timing belt 51 Pulley 53 Control section 55 Display means 57 Input means 59 Storage section 61 Mounting operation position 63 Correction mark (y-direction correction mark) 64 Correction mark ( x direction correction mark) 67, 67a, 67b Substrate mark 69 Straight member 100 Component mounting device H interval L interval L rx , L ry , L sx , L sy meandering locus

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 5E313 AA02 AA23 CC03 CC04 EE02 EE03 EE24 EE33 FF24 FF28 FF31 FF32    ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    F-term (reference) 5E313 AA02 AA23 CC03 CC04 EE02                       EE03 EE24 EE33 FF24 FF28                       FF31 FF32

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 部品を脱着自在に保持する部品保持部と
撮像カメラを有する画像認識部とを搭載した移載ヘッド
と、該移載ヘッドに対面して配置され前記保持された部
品の実装先となる基板に対して前記移載ヘッドを移動さ
せる移動手段とを備え、前記部品の実装位置の記録され
た実装プログラムに従って、前記移載ヘッドを前記基板
面に対して平行に移動させ、前記部品保持部に保持され
た部品を基板上の所定位置に実装する部品実装方法であ
って、 前記移動手段の移動軸方向に沿って複数の補正マークを
直線状に配設する一方、前記移動手段の駆動により前記
移載ヘッドを前記移動軸方向に移動させて前記画像認識
部により前記各補正マークをそれぞれ認識し、これら補
正マーク位置の前記直線からのずれ量を求め、得られた
ずれ量に基づいて前記実装プログラムに記録された部品
の実装位置を補正することを特徴とする部品実装方法。
1. A transfer head on which a component holding unit for detachably holding a component and an image recognition unit having an image pickup camera are mounted, and a mounting destination of the held component which is arranged facing the transfer head. A moving means for moving the transfer head with respect to the substrate, and moving the transfer head parallel to the substrate surface in accordance with a mounting program in which the mounting position of the component is recorded. A component mounting method for mounting a component held by a holder at a predetermined position on a substrate, wherein a plurality of correction marks are linearly arranged along a moving axis direction of the moving unit, The transfer head is moved in the movement axis direction by driving, the correction marks are respectively recognized by the image recognizing unit, the deviation amount of these correction mark positions from the straight line is obtained, and based on the obtained deviation amount. Component mounting method characterized by correcting the mounting position of the component which is recorded on the mounting program are.
【請求項2】 前記移動手段が、互いに直交する2つの
移動軸を有し、各移動軸方向に沿って配設された補正マ
ークをそれぞれ認識して、前記部品の実装位置を前記各
移動軸方向に対して補正することを特徴とする請求項1
記載の部品実装方法。
2. The moving means has two moving axes which are orthogonal to each other, and recognizes the correction marks arranged along the respective moving axis directions to determine the mounting position of the component. The correction is performed with respect to the direction.
Part mounting method described.
【請求項3】 前記認識された離散的な補正マーク位置
を補間処理によって連続的な位置データを生成し、該連
続的な位置データに基づいて前記部品の実装位置を補正
することを特徴とする請求項1又は請求項2記載の部品
実装方法。
3. A continuous position data is generated by interpolating the recognized discrete correction mark position, and the mounting position of the component is corrected based on the continuous position data. The component mounting method according to claim 1 or 2.
【請求項4】 前記実装位置の補正を、前記補正マーク
により求めたずれ量に加えて、前記基板を載置する正規
の位置からの該基板のずれ量、前記部品保持部の正規の
部品保持位置からの該部品のずれ量の少なくともいずれ
かを合わせて行うことを特徴とする請求項1〜請求項3
のいずれか1項記載の部品実装方法。
4. The correction of the mounting position, in addition to the shift amount obtained by the correction mark, the shift amount of the substrate from the regular position on which the substrate is placed, the regular component holding of the component holder. 4. The method according to claim 1, wherein at least one of the deviation amounts of the parts from the position is adjusted.
The component mounting method according to claim 1.
【請求項5】 部品を脱着自在に保持する部品保持部と
撮像カメラを有する画像認識部とを搭載した移載ヘッド
と、該移載ヘッドに対面して配置され前記保持された部
品の実装先となる基板に対して前記移載ヘッドを移動さ
せる移動手段とを備え、実装位置の記録された実装プロ
グラムに従って部品を基板上の所定位置に実装する部品
実装装置であって、 前記基板を固定する基板固定部又はその近傍に前記移動
手段の移動軸方向に沿って設けた複数の補正マークと、 前記移動手段を駆動して前記移載ヘッドを前記移動軸方
向に移動させ、前記画像認識部により前記各補正マーク
をそれぞれ認識させて、これら補正マーク位置の前記直
線からのずれ量を求めると共に、得られたずれ量に基づ
いて前記実装プログラムに記録された部品の実装位置を
補正する制御部とを備えたことを特徴とする部品実装装
置。
5. A transfer head on which a component holding unit for detachably holding the component and an image recognition unit having an image pickup camera are mounted, and a mounting destination of the held component which is arranged facing the transfer head. And a moving unit that moves the transfer head with respect to the substrate, and mounts the component at a predetermined position on the substrate according to a mounting program in which the mounting position is recorded, and fixes the substrate. A plurality of correction marks provided on the substrate fixing part or in the vicinity thereof along the moving axis direction of the moving means, and driving the moving means to move the transfer head in the moving axis direction. Recognizing each of the correction marks, obtaining the deviation amount of these correction mark positions from the straight line, and the mounting position of the component recorded in the mounting program based on the obtained deviation amount. Component mounting apparatus characterized by comprising a control unit for correcting for.
【請求項6】 前記移動手段が、互いに直交する2つの
移動軸を有し、前記制御部が各移動軸に対してそれぞれ
前記ずれ量を求め、実装位置を補正することを特徴とす
る請求項5記載の部品実装装置。
6. The moving means has two moving axes which are orthogonal to each other, and the control section obtains the deviation amount for each moving axis and corrects the mounting position. 5. The component mounting apparatus according to item 5.
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