KR101472434B1 - Electronic component mounting apparatus and mounting position correction data creating method - Google Patents
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Abstract
이 전자 부품 실장 장치는 제 1 촬상부와 제 1 촬상부에 대하여 소정의 오프셋 간격만큼 이간되어서 배치된 탑재 헤드를 포함하는 헤드 유닛과, 헤드 유닛을 수평면 내에서 이동시킴과 아울러 탑재 헤드를 회전시키는 제어를 행하는 제어부를 구비한다. 제어부는 제 1 촬상부의 위치 어긋남에 의한 제 1 오차 데이터를 취득해서 제 1 오차 데이터군을 작성하고, 제 1 촬상부와 탑재 헤드의 오프셋 간격만큼 제 1 촬상부를 이동시켰을 경우에 있어서의 제 2 오차 데이터를 취득해서 제 2 오차 데이터군을 작성한다. 또한, 제어부는 제 1 오차 데이터군에 의거하여 탑재 헤드를 이동시킬 때의 수평 방향의 위치 어긋남을 보정함과 아울러 제 2 오차 데이터군에 의거하여 탑재 헤드의 수평 방향 및 회전 방향 중 적어도 한쪽의 위치 어긋남을 추가 보정한다.The electronic component mounting apparatus includes a head unit including a mounting head spaced apart by a predetermined offset distance from the first imaging section and the first imaging section, and a mounting section for mounting the head unit in a horizontal plane, And a control unit for performing control. The control unit obtains the first error data by the positional deviation of the first image pickup unit to create the first error data group and obtains the second error data when the first image pickup unit is moved by the offset distance between the first image pickup unit and the placement head And acquires the second error data group. The control unit corrects the positional deviation in the horizontal direction when the mounting head is moved based on the first error data group and corrects the position error of at least one of the horizontal direction and the rotational direction of the mounting head based on the second error data group The misalignment is further corrected.
Description
본 발명은 전자 부품 실장 장치 및 실장 위치 보정 데이터 작성 방법에 관한 것으로서, 특히 촬상부를 포함하는 헤드 유닛을 구비한 전자 부품 실장 장치 및 실장 위치 보정 데이터 작성 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE
종래, 촬상부를 포함하는 헤드 유닛을 구비한 전자 부품 실장 장치가 알려져 있다. 이러한 전자 부품 실장 장치는, 예를 들면 일본 특허 공개 2006-108457호 공보에 개시되어 있다.BACKGROUND ART Conventionally, an electronic component mounting apparatus having a head unit including an image pickup unit is known. Such an electronic component mounting apparatus is disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2006-108457.
일본 특허 공개 2006-108457호 공보에는 1대의 촬상부와, 촬상부에 대하여 간격(오프셋 간격)을 두고 배치된 1개의 탑재 헤드(흡착 노즐)를 포함하는 헤드 유닛(흡착 헤드)을 구비한 전자 부품 실장 장치가 개시되어 있다. 이 전자 부품 실장 장치에서는 전자 부품 실장에 앞서 실장 위치의 보정 데이터를 작성하도록 구성되어 있다. 구체적으로는, 제 1 스텝으로서 위치 결정 마크가 부착된 지그 기판의 위치 결정 마크 상방에 촬상부가 위치하도록 헤드 유닛을 이동시키고, 위치 결정 마크에 대한 촬상부의 위치 어긋남을 취득한다. 제 2 스텝으로서 탑재 헤드를 같은 위치 결정 마크 상방에 위치하도록 헤드 유닛을 이동시켜서 부품 탑재를 행한다. 제 3 스텝으로서 촬상부에 의해 탑재된 부품을 촬상하고, 위치 결정 마크에 대한 탑재 부품의 위치 어긋남을 취득한다. 이들에 의해, 위치 결정 마크에 대한 촬상부의 위치 어긋남 데이터와, 위치 결정 마크에 대한 탑재 부품의 위치 어긋남 데이터를 취득하고, 양쪽의 위치 어긋남 데이터의 합을 실장 위치의 보정 데이터로 한다. 일본 특허 공개 2006-108457호 공보에서는 양쪽의 위치 어긋남 데이터를 사용함으로써 탑재 헤드의 부품 탑재시의 상하 방향 이동에 수반되는 수평 방향의 이동 오차(착지 오차), 헤드 유닛의 이동 경로의 변화에 기인하는 이동 오차 및 탑재 제어 전체에 수반되는 탑재 오차의 저감을 도모하고 있다.Japanese Patent Laid-Open Publication No. 2006-108457 discloses an electronic part having an image pickup unit and a head unit (suction head) including one mounting head (suction nozzle) arranged at intervals (offset interval) relative to the image pickup unit A mounting apparatus is disclosed. This electronic component mounting apparatus is configured to create correction data of the mounting position prior to electronic component mounting. Specifically, as a first step, the head unit is moved so that the image pickup section is positioned above the positioning mark of the jig substrate to which the positioning mark is attached, and the positional deviation of the image pickup section with respect to the positioning mark is acquired. As a second step, the head unit is moved so that the mounting head is positioned above the positioning mark, thereby mounting the component. The third step captures a part mounted by the imaging unit and acquires the positional displacement of the mounting component with respect to the positioning mark. Thus, the positional displacement data of the imaging section with respect to the positioning mark and the positional displacement data of the mounting component with respect to the positioning mark are acquired, and the sum of the positional displacement data of both is used as correction data of the mounting position. Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2006-108457 discloses a technique in which the displacement errors in the horizontal direction (landing error) caused by the vertical movement of the mounting head when the mounting head is mounted are used by using the displacement data of both sides, The mounting error and the mounting error accompanying the entire mounting control are reduced.
그러나, 일본 특허 공개 2006-108457호 공보에 기재된 전자 부품 실장 장치에서는 실장 위치의 보정에 있어서 헤드 유닛 전체가 경사지는 것과, 헤드 유닛에 있어서의 탑재 헤드와 촬상부 사이의 간격(오프셋 간격)이 전혀 고려되고 있지 않다.However, in the electronic component mounting apparatus disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2006-108457, the entire head unit tilts in correcting the mounting position and the gap (offset interval) between the mounting head and the imaging unit in the head unit Not considered.
즉, 헤드 유닛의 이동 기구의 X축 및 Y축에는 열변형에 의해 신장과 굴곡이 발생하고, 위치 좌표에 의해 헤드 유닛 전체의 위치 어긋남량이 변화됨과 아울러 헤드 유닛의 경사가 변화되어버린다. 헤드 유닛의 경사가 변화됨으로써 헤드 유닛 상에서 촬상부로부터 이간되는 탑재 헤드는 헤드 유닛의 경사가 없을 경우의 촬상부를 기준으로 한 위치에 대하여, 헤드 유닛의 경사가 변화될 경우의 촬상부를 기준으로 한 위치가 변화되어버린다.That is, the X and Y axes of the movement mechanism of the head unit are stretched and bent by thermal deformation, and the positional shift amount of the entire head unit is changed by the position coordinates, and the inclination of the head unit is changed. The mounting head spaced from the image pickup unit on the head unit by the inclination of the head unit is changed from the position based on the image pickup unit when the inclination of the head unit is changed to the position based on the image pickup unit when there is no inclination of the head unit Is changed.
일본 특허 공개 2006-108457호 공보에서는 제 1 스텝에 있어서 위치 결정 마크에 대한 촬상부의 위치 어긋남을 취득함으로써 촬상부를 위치 결정 마크의 상방에 정확하게 위치 부여할 수 있는 한편, 탑재 헤드와 촬상부가 오프셋 간격만큼 이간되어 있기 때문에 제 2 스텝에서 같은 부품 위치 결정 마크 상방에 탑재 헤드를 위치시킬 때에는, 촬상부는 제 1 스텝에서 위치 어긋남을 취득한 위치 좌표로부터 오프셋 간격만큼 이간된 위치 좌표의 상방에 배치되게 된다. 즉, 헤드 유닛 전체의 위치 어긋남량의 변화를 보정하는 것은 가능하다. 그러나, 헤드 유닛의 경사에 기인해서 위치 결정 마크 상방에 있어서의 촬상부의 위치 어긋남과, 거기에서 오프셋 간격만큼 이동시킨 위치 좌표에 있어서의 촬상부의 위치 어긋남은 다른 것이 된다. 이 때문에, 실장 위치의 보정 데이터로서 제 3 스텝에서의 탑재 부품(탑재 헤드)의 위치 어긋남 데이터와, 제 1 스텝에서의 촬상부의 위치 어긋남 데이터의 합을 취해도 실제로는 각각의 위치에 있어서의 위치 어긋남의 합에 의해 보정 데이터를 작성하게 되기 때문에 탑재 헤드에 의한 실장 위치를 정확하게 보정할 수 없다고 하는 문제점이 있다고 생각된다.Japanese Patent Laid-Open Publication No. 2006-108457 discloses that in the first step, the positional shift of the imaging section with respect to the positioning mark is obtained so that the imaging section can be accurately positioned above the positioning mark, while the mounting head and the imaging section Therefore, when the placing head is positioned above the same part positioning mark in the second step, the image pickup unit is disposed above the position coordinate separated by the offset distance from the acquired position coordinate in the first step. In other words, it is possible to correct a change in the positional shift amount of the entire head unit. However, the positional deviation of the imaging section above the positioning mark due to the inclination of the head unit and the positional deviation of the imaging section in the positional coordinates shifted by the offset distance therefrom are different. Therefore, even if the position displacement data of the mounting component (placement head) in the third step and the position displacement data of the imaging section in the first step are taken as the correction data of the mounting position, the displacement actually occurs at each position It is considered that there is a problem that the mounting position by the mounting head can not be accurately corrected.
또한, 헤드 유닛 전체가 경사지는 것에 기인해서 실장시의 전자 부품의 탑재 각도 오차가 발생한다. 또한, 탑재 헤드의 회전 중심축이 탑재면(기판)에 대해서 약간 비스듬히 경사져 있는 것에 기인해서 실장시의 전자 부품의 탑재 각도 오차가 발생한다. 탑재 헤드의 회전 중심축이 탑재면(기판)에 대해서 수직 방향으로부터 경사져 있을 경우에 탑재 헤드의 회전각을 변화시키면, 이 회전각에 대응해서 전자 부품의 탑재 각도는 일치, 작음, 일치, 큼, 일치로 변화되므로 전자 부품의 탑재 각도에 있어서의 위치 어긋남이 발생해버려 탑재 헤드의 회전 각도에 따른 실장 위치 보정이 필요해진다. 일본 특허 공개 2006-108457호 공보에 있어서는 헤드 유닛 전체의 경사나 실장시의 부품의 방향에 대해서 고려가 되어 있지 않아 회전 방향의 실장 위치를 정확하게 보정할 수 없다고 하는 문제점이 있다.In addition, due to inclination of the entire head unit, mounting angle error of the electronic components at the time of mounting occurs. In addition, mounting angle error of the electronic component at the time of mounting occurs due to the fact that the center axis of rotation of the mounting head is slightly inclined with respect to the mounting surface (substrate). When the rotational angle of the mounting head is changed when the rotational center axis of the mounting head is inclined from the vertical direction with respect to the mounting surface (substrate), the mounting angles of the electronic components are matched, The positional deviation of the mounting position of the electronic component is generated, and it is necessary to correct the mounting position in accordance with the rotational angle of the mounting head. Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2006-108457 does not take into consideration the inclination of the entire head unit or the direction of the component at the time of mounting, and thus the mounting position in the rotational direction can not be accurately corrected.
또한, 탑재 헤드의 회전 중심축이 진동 회전할 경우에는 실장시의 전자 부품의 탑재 각도에 대응한 전자 부품의 실장 위치가 수평 방향에 있어서 변화되므로 실장 위치를 정확하게 보정할 수 없다고 하는 문제점이 있다. 또한, 탑재 헤드의 회전 중심축이 진동 회전할 경우에는 탑재 헤드의 회전 중심축이 탑재면(기판)에 대해서 수직 방향으로부터 경사지는 각도가 변화되기 때문에, 전자 부품의 탑재 각도에 따라서 회전 방향의 위치 어긋남이 변화되어버려 회전 방향의 실장 위치를 정확하게 보정할 수 없다고 하는 문제점이 있다.Further, when the center axis of rotation of the mounting head vibrates and rotates, the mounting position of the electronic component corresponding to the mounting angle of the electronic component at the time of mounting changes in the horizontal direction, so that the mounting position can not be accurately corrected. In addition, when the rotational center axis of the mounting head vibrates and rotates, the angle at which the rotational center axis of the mounting head is inclined from the vertical direction with respect to the mounting surface (substrate) changes. Therefore, The displacement is changed and the mounting position in the rotational direction can not be accurately corrected.
본 발명은 상기와 같은 과제를 해결하기 위해서 이루어진 것으로서, 본 발명의 하나의 목적은 실장 위치를 보다 정확하게 보정하는 것이 가능한 전자 부품 실장 장치 및 실장 위치 보정 데이터 작성 방법을 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide an electronic component mounting apparatus and a mounting position correction data creation method capable of more accurately correcting a mounting position.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 제 1 국면에 있어서의 전자 부품 실장 장치는 제 1 촬상부와 제 1 촬상부에 대하여 소정의 오프셋 간격만큼 이간되어서 배치된 탑재 헤드를 포함하는 헤드 유닛과, 헤드 유닛을 수평면 내에서 이동시킴과 아울러 탑재 헤드를 회전시켜서 탑재 헤드를 부품 실장 위치로 이동시키는 제어를 행하는 제어부를 구비하고, 제어부는 목표 위치 좌표로 제 1 촬상부를 이동시킬 때의 제 1 촬상부의 위치 어긋남에 의한 제 1 오차 데이터를 복수의 위치 좌표마다 취득해서 제 1 오차 데이터군을 작성하고, 목표 위치 좌표로부터 제 1 촬상부와 탑재 헤드의 오프셋 간격만큼 제 1 촬상부를 이동시켰을 경우에 있어서의, 탑재 헤드의 목표 위치 좌표에 대한 수평 방향의 위치 어긋남과 탑재 헤드에 의해 전자 부품을 탑재할 때의 회전 방향의 위치 어긋남 중 적어도 한쪽의 위치 어긋남에 의한 제 2 오차 데이터를 복수의 위치 좌표마다 취득해서 제 2 오차 데이터군을 작성하고, 실장 목표 위치 좌표와 제 1 오차 데이터군에 의거하여 실장 목표 위치 좌표로 탑재 헤드를 이동시킬 때의 수평 방향의 위치 어긋남을 보정함과 아울러, 실장 목표 위치 좌표와 제 2 오차 데이터군에 의거하여 실장 목표 위치 좌표로 탑재 헤드를 이동시킬 때의 탑재 헤드의 수평 방향의 위치 어긋남 및 회전 방향의 위치 어긋남 중 적어도 한쪽의 위치 어긋남을 추가 보정하도록 구성되어 있다.In order to achieve the above object, an electronic component mounting apparatus according to a first aspect of the present invention includes: a head unit including a mounting head disposed at a predetermined offset distance from a first imaging section and a first imaging section; And a control unit for moving the head unit in a horizontal plane and rotating the mounting head to move the mounting head to the component mounting position. The control unit controls the first imaging unit to move the first imaging unit in the target position coordinates A first error data group is obtained by acquiring first error data by positional misalignment for each of a plurality of positional coordinates and the first error data group is obtained by moving the first image pickup unit by the offset distance between the first image pickup unit and the placement head from the target position coordinates , A positional deviation in the horizontal direction with respect to the target position coordinate of the mounting head, and a positional deviation when the electronic part is mounted by the mounting head Directional positional deviation of the first error data group is acquired for each of a plurality of positional coordinates to create a second error data group, and based on the mounting target positional coordinates and the first error data group, Correcting the positional deviation in the horizontal direction when the mounting head is moved to the mounting target position coordinates and correcting the positional deviation of the mounting head in the horizontal direction of the mounting head when the mounting head is moved based on the second error data group And further corrects at least one of the positional deviation and the positional deviation in the rotational direction.
본 발명의 제 1 국면에 의한 전자 부품 실장 장치에서는 탑재 헤드의 회전 중심축의 Z축에 대한 경사에 기인하는 수평 방향의 위치 어긋남을 포함하고, 적어도 헤드 유닛의 수평 방향의 경사와, 헤드 유닛에 있어서의 탑재 헤드와 제 1 촬상부 사이의 간격(오프셋 간격)에 의거하는 목표 실장 위치에 전자 부품을 실장할 때의 목표 실장 위치에 대한 전자 부품의 수평 방향의 위치 어긋남이나, 적어도 헤드 유닛의 수평 방향의 경사에 의거하는 회전 방향의 위치 어긋남 중 적어도 한쪽의 위치 어긋남을 보정할 수 있으므로 실장 위치를 보다 정확하게 보정할 수 있다. 특히, 제 1 촬상부와 탑재 헤드의 오프셋 간격이 클 경우에는 헤드 유닛의 수평 방향의 경사에 의한 목표 실장 위치에 대한 전자 부품의 수평 방향의 위치 어긋남도 커지므로, 수평 방향의 높은 실장 위치 정밀도가 요구되는 전자 부품에 대해서는 적어도 수평 방향의 위치 어긋남을 보정하도록 하면 좋다.The electronic component mounting apparatus according to the first aspect of the present invention includes a positional deviation in the horizontal direction due to the inclination of the rotational center axis of the mounting head with respect to the Z axis and at least the inclination in the horizontal direction of the head unit, (Offset interval) between the mounting head of the head unit and the first imaging unit, and a positional deviation of the electronic component in the horizontal direction with respect to the target mounting position at the time of mounting the electronic component at the target mounting position, The positional deviation of at least one of the positional deviations in the rotational direction based on the inclination of the rotational direction can be corrected, so that the mounting position can be more accurately corrected. In particular, when the offset distance between the first imaging unit and the placement head is large, the positional deviation of the electronic component in the horizontal direction from the target placement position due to the inclination of the head unit in the horizontal direction becomes large. It is preferable to correct at least the positional deviation in the horizontal direction with respect to the required electronic component.
상기 제 1 국면에 의한 전자 부품 실장 장치에 있어서, 제 2 오차 데이터는 목표 위치 좌표로부터 제 1 촬상부와 탑재 헤드의 오프셋 간격만큼 제 1 촬상부를 이동시켰을 때의 탑재 헤드의 목표 위치 좌표에 대한 수평 방향의 위치 어긋남과, 목표 위치 좌표로부터 오프셋 간격만큼 제 1 촬상부를 이동한 위치에 있어서 기판 상에 탑재 헤드에 의해 전자 부품을 목표 방향 위치에 탑재할 때의 회전 방향의 위치 어긋남 중 적어도 한쪽의 위치 어긋남을 포함하고, 제어부는 실장 목표 위치 좌표와 제 1 오차 데이터군에 의거하여 실장 목표 위치 좌표로 제 1 촬상부를 이동시킬 때의 제 1 오차 데이터를 구하고, 이 제 1 오차 데이터에 의거하여 실장 목표 위치 좌표로 탑재 헤드를 이동시킬 때에 있어서의 수평 방향의 위치 어긋남을 보정함과 아울러, 실장 목표 위치 좌표와 제 2 오차 데이터군에 의거하여 실장 목표 위치 좌표로 탑재 헤드를 이동시킬 때의 제 2 오차 데이터를 구하고, 이 제 2 오차 데이터에 의거하여 실장 목표 위치 좌표로 탑재 헤드를 이동시킬 때에 있어서의 수평 방향의 위치 어긋남 및 회전 방향의 위치 어긋남의 중 적어도 한쪽의 위치 어긋남을 추가 보정하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.In the electronic component mounting apparatus according to the first aspect, the second error data may include a horizontal coordinate value of the target position coordinate of the mounting head when the first imaging section is moved by the offset distance between the first imaging section and the mounting head, At least one of a positional shift in the rotational direction when the electronic component is mounted on the substrate at the target position by the placement head on the substrate at the position where the first imaging unit has been moved by the offset distance from the target position coordinate, And the control unit obtains the first error data when the first imaging unit is moved to the mounting target position coordinates based on the mounting target position coordinates and the first error data group, and based on the first error data, Corrects the positional deviation in the horizontal direction when the mounting head is moved to the position coordinates, The second error data is obtained when the mounting head is moved to the mounting target position coordinates based on the tooth coordinate and the second error data group and when the mounting head is moved to the mounting target position coordinates based on the second error data The positional deviation of at least one of a positional deviation in the horizontal direction and a positional deviation in the rotational direction of the display screen.
상기 제 1 국면에 의한 전자 부품 실장 장치에 있어서, 바람직하게는 제어부는 제 2 오차 데이터를 복수의 위치 좌표 및 복수의 회전 각도마다 취득해서 제 2 오차 데이터군을 작성하도록 구성되고, 실장 목표 위치 좌표로 탑재 헤드를 이동함과 아울러 탑재 헤드를 소정의 회전각으로 할 때의 제 2 오차 데이터를 실장 목표 위치 좌표와 소정의 회전각과 제 2 오차 데이터군에 의거하여 구하고, 구한 제 2 오차 데이터에 의거하여 실장 목표 위치 좌표로 소정의 회전 각도로 탑재 헤드를 이동시킬 때의 위치 어긋남을 추가 보정하도록 구성되어 있다. 이에 따라, 탑재 헤드의 회전축이 진동 회전할 경우라도 전자 부품의 실장 방향에 따른 탑재 헤드의 회전 각도에 대응하여 목표 실장 위치에 전자 부품을 실장할 때의 목표 실장 위치에 대한 전자 부품의 수평 방향의 위치 어긋남이나, 실장 방향에 대한 회전 방향의 위치 어긋남 중 적어도 한쪽의 위치 어긋남을 보정할 수 있으므로 실장 위치를 보다 정확하게 보정할 수 있다.In the electronic component mounting apparatus according to the first aspect, preferably, the control section is configured to obtain the second error data group by a plurality of position coordinates and a plurality of rotation angles to generate the second error data group, The second error data when the mounting head is moved to a predetermined rotation angle is obtained based on the mounting target position coordinates, the predetermined rotation angle and the second error data group, and based on the obtained second error data Thereby further correcting the positional deviation when the mounting head is moved at a predetermined rotational angle with the mounting target position coordinates. Thus, even when the rotational axis of the mounting head vibrates and rotates, the position of the mounting head relative to the target mounting position when the electronic component is mounted at the target mounting position corresponding to the rotational angle of the mounting head along the mounting direction of the electronic component It is possible to correct at least one of the positional deviation and the positional deviation in the rotational direction with respect to the mounting direction, thereby correcting the mounting position more accurately.
상기 제 1 국면에 의한 전자 부품 실장 장치에 있어서, 바람직하게는 헤드 유닛은 제 1 촬상부에 대한 오프셋 간격이 다른 복수의 탑재 헤드를 포함하고, 제어부는 복수의 탑재 헤드의 각각에 대하여 제 2 오차 데이터군을 작성하도록 구성되어 있다. 이와 같이 구성하면 탑재 헤드마다의 실장 위치를 각각 개별적으로 보다 정확하게 보정할 수 있다.In the electronic component mounting apparatus according to the first aspect, preferably, the head unit includes a plurality of mounting heads with different offset intervals with respect to the first imaging section, and the control section includes a second error So as to create a data group. With this configuration, the mounting positions of the mounting heads can be individually corrected more accurately.
상기 제 1 국면에 의한 전자 부품 실장 장치에 있어서, 바람직하게는 탑재 헤드에 흡착된 전자 부품을 촬상하기 위한 제 2 촬상부를 더 구비하고, 제어부는 제 1 촬상부에 의해 촬상한 지그 부품의 위치를 목표 위치 좌표로서 취득하고, 제 1 촬상부를 목표 위치 좌표로부터 오프셋 간격만큼 이동시킨 위치에서 탑재 헤드에 흡착시킨 지그 부품을 제 2 촬상부에 의해 촬상함으로써 지그 부품의 중심 위치에 대한 탑재 헤드의 수평 방향의 위치 어긋남과 탑재 헤드의 회전 방향의 위치 어긋남 중 적어도 한쪽의 위치 어긋남을 인식해서 제 2 오차 데이터로서 취득하도록 구성되고, 제어부는 복수의 위치 좌표마다 탑재 헤드에 의한 지그 부품의 흡착과, 흡착된 지그 부품의 제 2 촬상부에 의한 촬상을 실시함으로써 제 2 오차 데이터군을 작성하도록 구성되어 있다. 이렇게 구성하면, 제 1 촬상부에 의한 지그 부품의 촬상과, 그 지그 부품을 흡착한 상태에서의 제 2 촬상부에 의한 촬상을 행하는 것만으로 용이하게 탑재 헤드의 회전 중심축의 Z축에 대한 경사에 기인하는 수평 방향의 위치 어긋남을 포함하고, 적어도 헤드 유닛의 수평 방향의 경사와, 헤드 유닛에 있어서의 탑재 헤드와 제 1 촬상부 사이의 간격(오프셋 간격)에 의거하는 목표 실장 위치에 전자 부품을 실장할 때의 목표 실장 위치에 대한 전자 부품의 수평 방향의 위치 어긋남이나, 적어도 헤드 유닛의 수평 방향의 경사에 의거하는 회전 방향의 위치 어긋남 중 적어도 한쪽의 위치 어긋남으로 이루어지는 제 2 오차 데이터를 취득할 수 있다. 또한, 탑재 헤드에서 지그 부품이나 부품을 흡착할 때에 탑재 헤드에 대한 부품의 흡착 위치가 안정되지 않고 분산될 경우가 있다. 이 경우에는 지그 부품의 탑재를 행한 후에 탑재된 지그 부품을 촬상해서 위치 어긋남을 취득해서 제 2 오차 데이터를 취득해도 탑재 헤드에서 흡착된 부품의 탑재 헤드에 대한 부품의 위치 어긋남과 제 2 오차 데이터의 상관이 구해지지 않아, 제 2 오차 데이터에 의거하는 실장시에 있어서의 위치 보정을 행해도 실장된 부품에 위치 어긋남이 발생해버린다. 이에 대하여 본 발명에 의하면, 지그 부품을 흡착한 상태에서 제 2 촬상부에 의한 촬상을 행함으로써 제 2 오차 데이터를 취득하므로 제 2 오차 데이터를 정밀도 좋게 취득하는 것이 가능하고, 이 제 2 오차 데이터를 이용하여 실장시에 있어서 위치 어긋남 보정을 함으로써 실장 위치를 올바른 위치로 할 수 있다.In the electronic component mounting apparatus according to the first aspect, it is preferable that the electronic component mounting apparatus further includes a second image pickup section for picking up an electronic component picked up by the mount head, and the control section controls the position of the jig component picked up by the first pick- And the second image pickup section picks up the jig component, which is attracted to the placement head at a position shifted by the offset distance from the target position coordinate, by the second image pickup section so that the horizontal position of the placement head relative to the center position of the jig component And the positional deviation of at least one of the positional deviation of the mounting head and the positional deviation of the mounting head in the rotational direction of the mounting head is detected and acquired as second error data, And a second error data group is created by performing imaging by the second imaging unit of the jig component . With this configuration, it is possible to easily obtain the image of the jig component by the first image pickup section and the image pickup by the second image pickup section in a state in which the jig component is attracted to the inclination with respect to the Z axis of the rotation center axis of the mount head (Offset interval) between the mounting head and the first image pickup unit in the head unit, and a target mounting position based on at least the inclination in the horizontal direction of the head unit and the gap The second error data including at least one of positional displacement of the electronic component in the horizontal direction relative to the target mounting position at the time of mounting and positional deviation in the rotational direction based on at least the inclination of the head unit in the horizontal direction . In addition, when a jig component or a component is sucked from the mounting head, the suction position of the component to the mounting head may not be stabilized and may be dispersed. In this case, even if the position error is obtained by capturing the mounted jig component after the jig component is mounted and the second error data is acquired, the positional deviation of the component relative to the mounting head of the component attracted by the mounting head, The correlation is not obtained and positional deviation occurs in the mounted component even if the positional correction is performed at the time of mounting based on the second error data. On the other hand, according to the present invention, since the second error data is acquired by performing the image pickup by the second image pickup section in a state in which the jig component is sucked, the second error data can be obtained with high accuracy, The mounting position can be set to the correct position by performing the positional displacement correction at the time of mounting.
이 경우에 있어서, 바람직하게는 제어부는 제 2 오차 데이터를 복수의 위치 좌표 및 복수의 회전 각도마다 취득해서 제 2 오차 데이터군을 작성하도록 구성되고, 실장 목표 위치 좌표로 탑재 헤드를 이동함과 아울러 탑재 헤드를 소정의 회전각으로 할 때의 제 2 오차 데이터를 실장 목표 위치 좌표와 소정의 회전각과 제 2 오차 데이터군에 의거하여 구하고, 구한 제 2 오차 데이터에 의거하여 실장 목표 위치 좌표로 소정의 회전 각도로 탑재 헤드를 이동시킬 때의 위치 어긋남을 추가 보정하도록 구성되어 있다. 이에 따라, 탑재 헤드의 회전축이 진동 회전할 경우라도 전자 부품의 실장 방향에 대응하여 목표 실장 위치에 전자 부품을 실장할 때의 목표 실장 위치에 대한 전자 부품의 수평 방향의 위치 어긋남이나 실장 방향에 대한 회전 방향의 위치 어긋남 중 적어도 한쪽의 위치 어긋남을 보정할 수 있으므로 실장 위치를 보다 정확하게 보정할 수 있다.In this case, preferably, the control unit is configured to acquire the second error data for each of the plurality of position coordinates and the plurality of rotation angles to generate the second error data group, and moves the mounting head to the mounting target position coordinates The second error data when the mounting head is set at a predetermined rotation angle is determined based on the mounting target position coordinates, the predetermined rotation angle and the second error data group, and based on the obtained second error data, So as to further correct the positional deviation when the mounting head is moved at the rotational angle. Thus, even when the rotary shaft of the mounting head vibrates and rotates, the positional displacement of the electronic component in the horizontal direction relative to the target mounting position when mounting the electronic component at the target mounting position corresponding to the mounting direction of the electronic component, The positional deviation of at least one of the positional deviations in the rotational direction can be corrected, so that the mounting position can be corrected more accurately.
상기 제 1 국면에 의한 전자 부품 실장 장치에 있어서, 바람직하게는 제어부는 제 1 촬상부를 목표 위치 좌표로부터 오프셋 간격만큼 이동시킨 위치에서 탑재 헤드에 의해 전자 부품 또는 지그 부품을 기판에 탑재시킨 후, 제 1 촬상부를 목표 위치 좌표로 이동시켜서 전자 부품 또는 지그 부품을 촬상시킴으로써, 촬상 중심에 대한 전자 부품 또는 지그 부품의 중심 위치의 수평 방향의 위치 어긋남과 탑재 헤드의 회전 방향의 위치 어긋남 중 적어도 한쪽의 위치 어긋남을 인식하고, 얻어진 위치 어긋남에 의거하여 제 2 오차 데이터를 취득하도록 구성되고, 제어부는 복수의 위치 좌표마다 탑재 헤드에 의한 탑재와 제 1 촬상부에 의한 촬상을 실시함으로써 제 2 오차 데이터군을 작성하도록 구성되어 있다. 이렇게 구성하면, 기판의 영역 내에서 전자 부품 또는 지그 부품의 탑재, 및 탑재 후의 부품 촬상이 가능하므로 헤드 유닛을 크게 이동시킬 필요가 없고, 짧은 시간에 제 2 오차 데이터군의 작성을 행할 수 있다.In the electronic component mounting apparatus according to the first aspect, preferably, the control section mounts the electronic component or the jig component on the substrate with the mounting head at a position shifted from the target position coordinate by the offset distance, One image pickup unit is moved to a target position coordinate to pick up an electronic part or a jig part so that at least one of a positional shift in the horizontal direction of the center position of the electronic component or the jig part with respect to the image pickup center, And the second error data is acquired based on the obtained positional deviation. The control unit carries out the mounting by the mounting head and the imaging by the first imaging unit for each of the plurality of position coordinates, thereby obtaining the second error data group . With such a configuration, it is possible to mount the electronic component or the jig component in the region of the substrate, and to pick up the component after the mounting, so that it is not necessary to move the head unit largely, and the second error data group can be created in a short time.
이 경우에 있어서, 바람직하게는 제어부는 제 2 오차 데이터를 복수의 위치 좌표 및 복수의 회전 각도마다 취득해서 제 2 오차 데이터군을 작성하도록 구성되고, 실장 목표 위치 좌표로 탑재 헤드를 이동함과 아울러 탑재 헤드를 소정의 회전각으로 할 때의 제 2 오차 데이터를 실장 목표 위치 좌표와 소정의 회전각과 제 2 오차 데이터군에 의거하여 구하고, 구한 제 2 오차 데이터에 의거하여 실장 목표 위치 좌표로 소정의 회전 각도로 탑재 헤드를 이동시킬 때의 위치 어긋남을 추가 보정하도록 구성되어 있다. 이에 따라, 탑재 헤드의 회전축이 진동 회전할 경우라도 전자 부품의 실장 방향에 대응하여 목표 실장 위치에 전자 부품을 실장할 때의 목표 실장 위치에 대한 전자 부품의 수평 방향의 위치 어긋남이나 실장 방향에 대한 회전 방향의 위치 어긋남 중 적어도 한쪽의 위치 어긋남을 보정할 수 있으므로 실장 위치를 보다 정확하게 보정할 수 있다.In this case, preferably, the control unit is configured to acquire the second error data for each of the plurality of position coordinates and the plurality of rotation angles to generate the second error data group, and moves the mounting head to the mounting target position coordinates The second error data when the mounting head is set at a predetermined rotation angle is determined based on the mounting target position coordinates, the predetermined rotation angle and the second error data group, and based on the obtained second error data, So as to further correct the positional deviation when the mounting head is moved at the rotational angle. Thus, even when the rotary shaft of the mounting head vibrates and rotates, the positional displacement of the electronic component in the horizontal direction relative to the target mounting position when mounting the electronic component at the target mounting position corresponding to the mounting direction of the electronic component, The positional deviation of at least one of the positional deviations in the rotational direction can be corrected, so that the mounting position can be corrected more accurately.
상기 제 1 국면에 의한 전자 부품 실장 장치에 있어서, 바람직하게는 제어부는 제 2 오차 데이터군의 작성에 앞서 제 1 오차 데이터군의 작성을 행하도록 구성되고, 제어부는 제 2 오차 데이터를 복수의 위치 좌표마다 취득해서 제 2 오차 데이터군을 작성할 때에 목표 위치 좌표와 제 1 오차 데이터군에 의거하여 목표 위치 좌표로 제 1 촬상부를 이동시킬 때의 수평 방향의 위치 어긋남을 보정하도록 구성되어 있다. 이렇게 구성하면, 복수의 위치 좌표마다 제 2 오차 데이터를 취득할 때에 제 1 오차 데이터군을 사용한 보정에 의해 제 1 오차 데이터에 상당하는 오차를 포함하지 않는 정확한 위치에서 제 2 오차 데이터를 취득할 수 있다. 그 결과, 제 2 오차 데이터의 취득이 용이해지므로 제 2 오차 데이터군의 작성을 용이하게 행할 수 있다.In the electronic component mounting apparatus according to the first aspect, preferably, the control section is configured to create the first error data group prior to the generation of the second error data group, And corrects the positional deviation in the horizontal direction when the first imaging unit is moved to the target position coordinate based on the target position coordinates and the first error data group when the second error data group is acquired for each of the coordinates. With this configuration, the second error data can be acquired at the correct position that does not include the error corresponding to the first error data by the correction using the first error data group when acquiring the second error data for each of the plurality of position coordinates have. As a result, since the acquisition of the second error data is facilitated, the generation of the second error data group can be easily performed.
본 발명의 제 2 국면에 있어서의 실장 위치 보정 데이터 작성 방법은 촬상부와 촬상부에 대하여 소정의 오프셋 간격만큼 이간되어서 배치된 탑재 헤드를 포함하는 헤드 유닛을 구비하고, 헤드 유닛을 수평면 내에서 이동시킴과 아울러 탑재 헤드를 회전시켜서 탑재 헤드를 부품 실장 위치로 이동시키는 전자 부품 실장 장치의 실장 위치 보정 데이터 작성 방법으로서, 목표 위치 좌표로 촬상부를 이동시킬 때의 촬상부의 위치 어긋남에 의한 제 1 오차 데이터를 복수의 위치 좌표마다 취득해서 제 1 오차 데이터군을 작성하는 스텝과, 목표 위치 좌표로부터 촬상부와 탑재 헤드의 오프셋 간격만큼 촬상부를 이동시켰을 경우에 있어서의, 탑재 헤드의 목표 위치 좌표에 대한 수평 방향의 위치 어긋남과 탑재 헤드에 의해 전자 부품을 탑재할 때의 회전 방향의 위치 어긋남 중 적어도 한쪽의 위치 어긋남에 의한 제 2 오차 데이터를 복수의 위치 좌표마다 취득해서 제 2 오차 데이터군을 작성하는 스텝과, 제 1 오차 데이터군 및 제 2 오차 데이터군에 의거하여 부품 실장 위치로의 이동시에 있어서의 탑재 헤드의 실장 위치 보정 데이터를 작성하는 스텝을 구비한다.A mounting position correction data generation method according to a second aspect of the present invention includes a head unit including a mounting head and a mounting head spaced apart from each other by a predetermined offset distance from the imaging section, The mounting position correction data creating method of the electronic component mounting apparatus for moving the mounting head to the component mounting position by rotating the mounting head together with the first error data A step of obtaining a first error data group by acquiring a plurality of positional coordinates of the target head by a plurality of positional coordinates, And the mounting direction of the mounting head in the direction of rotation when the electronic component is mounted by the mounting head A step of acquiring a second error data by at least one of positional shifts for each of a plurality of positional coordinates to create a second error data group; and a step of obtaining, based on the first error data group and the second error data group, And a step of creating mounting position correction data of the mounting head at the time of movement of the mounting head.
이렇게 구성하면, 탑재 헤드를 부품 실장 위치에 배치시켰을 때의 제 1 촬상부의 위치 좌표에 대응하는 제 1 오차 데이터를 취득할 수 있고, 그 부품 실장 위치로부터 탑재 부품 각도와 같은 각도로 오프셋 간격만큼 이동시킬 때의 헤드 유닛의 수평 방향의 경사에 의한 탑재 헤드의 수평 방향 위치의 어긋남, 및 탑재 헤드의 회전 중심축의 Z축에 대한 경사에 기인하는 탑재 헤드의 수평 방향의 위치 어긋남을 포함하는 탑재 헤드의 수평 방향의 위치 어긋남, 또는 기판 상에 상기 탑재 헤드에서 전자 부품을 목표 방향 위치에 탑재할 때의 회전 방향 위치의 어긋남 중 적어도 한쪽의 위치 어긋남 데이터인 제 2 오차 데이터를 취득할 수 있다. 또한, 부품 실장 위치로의 이동시에 있어서는 제 1 오차 데이터군으로부터 탑재 헤드를 부품 실장 위치로 이동시켰을 경우의 제 1 오차 데이터와, 제 2 오차 데이터군으로부터 탑재 헤드를 부품 실장 위치로 이동시켰을 경우의 제 2 오차 데이터에 의해 상기 탑재 헤드의 실장 위치 보정 데이터를 정확하게 작성할 수 있다. 또한, 작성한 실장 위치 보정 데이터를 사용함으로써 실장 위치를 보다 정확하게 보정할 수 있다.With this configuration, it is possible to acquire first error data corresponding to the position coordinates of the first imaging unit when the mounting head is arranged at the component mounting position, and to move from the component mounting position by the offset interval at the same angle as the mounting component angle The position of the mounting head in the horizontal direction due to the inclination of the head unit in the horizontal direction when the head unit is inclined, and the positional deviation of the mounting head in the horizontal direction due to the inclination of the rotational center axis of the mounting head with respect to the Z- It is possible to obtain second error data which is positional shift data of at least one of positional displacement in the horizontal direction or displacement of the rotational direction position when the electronic component is mounted on the substrate in the target direction position on the substrate. The first error data when the mounting head is moved from the first error data group to the component mounting position and the first error data when the mounting head is moved from the second error data group to the component mounting position The mounting position correction data of the mounting head can be precisely created by the second error data. Further, by using the prepared mounting position correction data, the mounting position can be more accurately corrected.
상기 제 2 국면에 의한 실장 위치 보정 데이터 작성 방법에 있어서, 바람직하게는 제 2 오차 데이터군을 작성하는 스텝에 있어서 제 2 오차 데이터를 복수의 위치 좌표 및 복수의 회전 각도마다 취득해서 제 2 오차 데이터군을 작성한다. 이에 따라, 탑재 헤드의 회전축이 진동 회전할 경우라도 전자 부품의 실장 방향에 따른 탑재 헤드의 회전 각도에 대응하여 목표 실장 위치에 전자 부품을 실장할 때의 목표 실장 위치에 대한 전자 부품의 수평 방향의 위치 어긋남이나 실장 방향에 대한 회전 방향의 위치 어긋남 중 적어도 한쪽의 위치 어긋남을 보정할 수 있으므로 실장 위치를 보다 정확하게 보정할 수 있다.In the mounting position correction data creation method according to the second aspect, preferably, in the step of creating the second error data group, the second error data is acquired for each of a plurality of position coordinates and a plurality of rotation angles, Create a group. Thus, even when the rotational axis of the mounting head vibrates and rotates, the position of the mounting head relative to the target mounting position when the electronic component is mounted at the target mounting position corresponding to the rotational angle of the mounting head along the mounting direction of the electronic component It is possible to correct at least one of the positional deviation and the positional deviation in the rotational direction with respect to the mounting direction, thereby correcting the mounting position more accurately.
도 1은 본 발명의 제 1∼제 3 실시형태에 의한 표면 실장기의 구성을 나타낸 모식적인 평면도이다.
도 2는 본 발명의 제 1∼제 3 실시형태에 의한 표면 실장기를 깊이 방향(Y2 방향)을 따라 보았을 경우의 모식적인 측면도이다.
도 3은 본 발명의 제 1∼제 3 실시형태에 의한 표면 실장기의 제어 상의 구성을 나타낸 블록도이다.
도 4는 헤드 유닛의 X축 및 Y축의 변형에 기인하는 위치 어긋남을 설명하기 위한 모식도이다.
도 5는 제 1 오차 데이터를 취득하기 위한 지그 플레이트를 나타낸 모식도이다.
도 6은 복수의 제 1 오차 데이터로 이루어지는 제 1 오차 테이블의 일례를 나타낸 도면이다.
도 7은 본 발명의 제 1 실시형태에 있어서의 제 2 오차 데이터의 취득 방법을 설명하기 위한 모식도이다.
도 8은 복수의 제 2 오차 데이터로 이루어지는 제 2 오차 테이블의 일례를 나타낸 도면이다.
도 9는 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 표면 실장기에 있어서의 제 2 오차 테이블을 작성할 때의 제어 처리 플로우를 나타낸 도면이다.
도 10은 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 표면 실장기에 의한 전자 부품을 실장할 때의 연산 처리부의 제어 처리 플로우를 나타낸 도면이다.
도 11은 본 발명의 제 2 실시형태에 있어서의 제 2 오차 데이터의 취득 방법을 설명하기 위한 모식도이다.
도 12는 본 발명의 제 2 실시형태에 의한 표면 실장기에 있어서의 제 2 오차 테이블을 작성할 때의 제어 처리 플로우를 나타낸 도면이다.
도 13은 본 발명의 제 3 실시형태에 있어서의 제 2 오차 데이터의 취득 방법을 설명하기 위한 모식도이다.
도 14는 본 발명의 제 3 실시형태에 의한 표면 실장기에 있어서의 제 2 오차 테이블을 작성할 때의 제어 처리 플로우를 나타낸 도면이다.
도 15는 제 1 오차 데이터의 취득 방법을 설명하기 위한 도면이다.1 is a schematic plan view showing the configuration of a surface acoustic wave element according to the first to third embodiments of the present invention.
2 is a schematic side view of the surface mount machine according to the first to third embodiments of the present invention when viewed along the depth direction (Y2 direction).
Fig. 3 is a block diagram showing a control configuration of a surface treatment organ according to the first to third embodiments of the present invention. Fig.
4 is a schematic diagram for explaining a positional deviation caused by deformation of the X-axis and Y-axis of the head unit.
5 is a schematic diagram showing a jig plate for obtaining first error data.
6 is a diagram showing an example of a first error table made up of a plurality of first error data.
7 is a schematic diagram for explaining a method of acquiring second error data in the first embodiment of the present invention.
8 is a diagram showing an example of a second error table made up of a plurality of second error data.
9 is a view showing a control processing flow when creating the second error table in the surface mount apparatus according to the first embodiment of the present invention.
10 is a view showing a control processing flow of an arithmetic processing unit when mounting an electronic part by a surface mounting machine according to the first embodiment of the present invention.
11 is a schematic diagram for explaining a method of acquiring second error data in the second embodiment of the present invention.
12 is a view showing a control processing flow when creating the second error table in the surface mount apparatus according to the second embodiment of the present invention.
13 is a schematic diagram for explaining a method of acquiring second error data in the third embodiment of the present invention.
14 is a view showing a control processing flow when creating the second error table in the surface mount apparatus according to the third embodiment of the present invention.
15 is a diagram for explaining a method of acquiring first error data.
이하, 본 발명의 실시형태를 도면에 의거하여 설명한다.DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
(제 1 실시형태)(First Embodiment)
우선, 도 1∼도 4, 도 7, 도 8 및 도 15를 참조하여 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 표면 실장기(100)의 구조에 대해서 설명한다. 또한, 표면 실장기(100)는 본 발명의 「전자 부품 실장 장치」의 일례이다.First, the structure of the surface ceramic body 100 according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to Figs. 1 to 4, 7, 8, and 15. Fig. The surface yarn 100 is an example of the "electronic component mounting apparatus" of the present invention.
본 발명의 제 1 실시형태에 의한 표면 실장기(100)는 도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 프린트 기판(배선 기판)(1)에 전자 부품(2)을 실장하는 장치이다. 표면 실장기(100)는 기대(5)와, 기대(5) 상에 설치된 기판 반송부(10)와, 기판 반송부(10)의 상방을 X-Y평면(지면)을 따라 이동 가능한 헤드 유닛(20)과, 헤드 유닛(20)을 X방향으로 이동 가능하게 지지하는 지지부(30)와, 지지부(30)를 Y방향으로 이동시키는 이동 기구부(40)를 구비하고 있다. 또한, 표면 실장기(100)에는 도 2에 나타내는 바와 같이 상기 각 부를 덮는 커버(6)가 기대(5) 상에 설치되어 있다. 도 2에서는 도시의 형편상, 커버(6)로 덮여서 본래는 외부로부터는 보이지 않는 내부 구조에 대해서도 실선으로 나타내고 있다.1 and 2, the surface mount orifice 100 according to the first embodiment of the present invention is an apparatus for mounting an
기판 반송부(10)의 양측[Y1(Y2)측]에는 전자 부품(2)을 공급하기 위한 다수열의 테이프 피더(3)가 배치되어 있다. 테이프 피더(3)는 복수의 전자 부품(2)을 소정의 간격을 두고 유지한 테이프가 권회된 릴(도시하지 않음)을 유지하고 있다. 릴이 회전되어서 테이프가 송출됨으로써 선단부로부터 전자 부품(2)이 공급된다. 또한, 헤드 유닛(20)은 테이프 피더(3)로부터 전자 부품(2)을 취득함과 아울러 기판 반송부(10) 상의 프린트 기판(1)에 전자 부품(2)을 실장하는 기능을 갖는다. 여기에서, 전자 부품(2)은 IC, 트랜지스터, 콘덴서 및 저항기 등의 소편(小片) 형상의 전자 부품이다.On both sides (Y1 (Y2) side) of the
기판 반송부(10)는 도 1에 나타내는 바와 같이, 프린트 기판(1)의 반송 방향인 X방향으로 연장되는 1쌍의 컨베이어부(11)를 구비하고 있다. 또한, 컨베이어부(11)에는 프린트 기판(1)의 반송 상황을 검출하는 복수의 기판 센서(도시하지 않음)가 설치되어 있다. 이에 따라, 컨베이어부(11)에 유지된 프린트 기판(1)은 기판 센서의 검출 결과에 의거하여 반송된다. 또한, 기판 반송부(10)에는 반송 중의 프린트 기판(1)을 부품 실장시의 정지 위치에 있어서 정지시킨 상태로 유지하는 클램프 기구가 내부에 설치되어 있다.As shown in Fig. 1, the
지지부(30)는 도 2에 나타내는 바와 같이, X방향으로 연장되는 볼나사축(X축)(31)과, 볼나사축(31)을 회전시키는 서보 모터(32)와, 볼나사축(31)을 따라 연장되는 가이드 레일(33)을 갖고 있다. 또한, 헤드 유닛(20)은 볼나사축(31)이 나사 결합되는 볼너트(도시하지 않음)가 부착된 슬라이드 가이드부(21)를 갖고 있다. 이에 따라, 헤드 유닛(20)은 슬라이드 가이드부(21)가 가이드 레일(33)에 가이드되면서 볼나사축(31)의 회전과 함께 X방향을 따라 이동된다.2, the
또한, 지지부(30)는 기대(5) 상에 고정된 이동 기구부(40)에 적재된 상태에서 X방향과 대략 직교하는 Y방향으로 이동 가능하게 구성되어 있다. 구체적으로는, 도 1에 나타내는 바와 같이 이동 기구부(40)는 1쌍의 프레임 부재(40a, 40b)와, 프레임 부재(40a)에 설치되는 Y방향으로 연장되는 볼나사축(Y축)(41)과, 볼나사축(41)을 회전시키는 서보 모터(42)와, 볼나사축(41)을 따라 연장되는 가이드 레일(43a)과, 프레임 부재(40b)에 설치되어 가이드 레일(43a)과 평행한 가이드 레일(43b)을 갖고 있다. 또한, 가이드 레일(43a, 43b)은 지지부(30)의 양단부(X방향)를 이동 가능하게 지지하고 있다. 또한, 지지부(30)에는 볼나사축(41)이 나사 결합되는 볼너트(35)가 설치되어 있다. 이에 따라, 지지부(30)는 가이드 레일(43a, 43b)에 가이드되면서 볼나사축(41)의 회전과 함께 볼너트(35)를 통해서 Y방향으로 이동된다. 따라서, 헤드 유닛(20)은 볼나사축(31 및 41)을 회전시킴으로써 기대(5)의 상방을 X-Y평면을 따라 임의의 위치로 이동하는 것이 가능하게 구성되어 있다.The
또한, 헤드 유닛(20)은 도 2에 나타내는 바와 같이 헤드 유닛(20)의 측단부(X1방향측)에 부착된 기판 카메라(22)와, 프린트 기판(1)과 대향하는 하면측(도 2의 Z1방향측)에 설치되고 각각 하단에 흡착 노즐이 장착된 복수(6개)의 탑재 헤드(23)를 갖고 있다. 또한, 도 1에 나타내는 바와 같이 개개의 탑재 헤드(23)는 기판 카메라(22)로부터 X방향으로 각각 다른 오프셋 간격(거리)만큼 이간된 위치에 배치되어 있다. 도 4에 나타내는 바와 같이, 기판 카메라(22)의 위치를 원점으로 해서 기판 카메라(22)에 가까운 측의 탑재 헤드(23)부터 순서대로 1번째의 탑재 헤드(23a), 2번째의 탑재 헤드(23b), …6번째의 탑재 헤드(23f)라고 하면, 오프셋 간격은 각각 L1∼L6이 된다. 또한, 여기에서는 도 1에 나타내는 바와 같이 헤드 유닛(20)에 있어서의 각 탑재 헤드(23)와 기판 카메라(22)의 Y방향의 위치가 동일하고, 각 탑재 헤드(23)와 기판 카메라(22)가 X방향으로 직선 형상으로 나란히 배치되어 있는 예에 대해서 나타내고 있다. 또한, 기판 카메라(22)는 본 발명의 「촬상부」 및 「제 1 촬상부」의 일례이다.2, the
또한, 도 2에 나타내는 바와 같이 각각의 탑재 헤드(23)는 부압 발생기(도시하지 않음)에 의해 노즐 선단부에 발생시킨 부압에 의해 전자 부품(2)을 흡착해서 유지하는 기능을 갖는다. 도 3에 나타내는 바와 같이, 각각의 탑재 헤드(23)는 서보 모터(Z축)(26){도 3 참조, 1개 또는 복수개[최다로 탑재 헤드(23)와 동수]} 및 도시하지 않은 승강 기구에 의해 헤드 유닛(20)에 대하여 상하 방향(Z방향)으로 이동 가능하게 구성되어 있다. 또한, 탑재 헤드(23)는 서보 모터(R축)(27){도 3 참조, 1개 또는 복수개[최다로 탑재 헤드(23)와 동수]} 및 도시하지 않은 회전 기구에 의해 Z축 주위에서 회전되도록 구성되어 있다. 이에 따라, 각 탑재 헤드(23)는 승강 동작과 흡착 동작에 의하여 전자 부품(2)(도 2 참조)을 테이프 피더(3)(도 1 참조)로부터 흡착하고, 프린트 기판(1)(도 1 참조) 상의 소정의 부품 실장 위치 및 소정의 탑재 각도(R축 회전 각도)로 전자 부품(2)을 프린트 기판(1)에 실장하는 동작을 행하도록 구성되어 있다.As shown in Fig. 2, each mounting
또한, 도 1에 나타내는 바와 같이 기대(5)의 상면(5a) 상에는 2대의 부품 카메라(60)가 고정적으로 설치되어 있다. 부품 카메라(60)는 도 2에 나타내는 바와 같이, 탑재 헤드(23)에 흡착된 전자 부품(2)의 하면측을 하방으로부터 촬상하는 기능을 갖고 있다. 이에 따라, 전자 부품(2)의 형상의 양부가 판별됨과 아울러 탑재 헤드(23) 중심(흡착 노즐 중심)에 대한 탑재 헤드(23)에 흡착된 전자 부품(2) 중심의 위치 어긋남이 판별된다. 또한, 부품 카메라(60)는 본 발명의 「제 2 촬상부」의 일례이다.Further, as shown in Fig. 1, two
또한, 도 3에 나타내는 바와 같이 표면 실장기(100)에는 장치 본체 각 부의 동작 제어를 행하기 위한 제어 장치(70)가 내장되어 있다. 제어 장치(70)는 연산 처리부(CPU)(71)와, 기억부(72)[동작 프로그램 기억부(72a) 및 보정용 데이터 기억부(72b)]와, 화상 처리부(73)와, 모터 제어부(74)에 의하여 주로 구성되어 있다. 또한, 연산 처리부(71)는 본 발명의 「제어부」의 일례이다.As shown in Fig. 3, a
연산 처리부(71)는 표면 실장기(100)의 동작을 전반적으로 총괄한다. 기억부(72)에 있어서의 동작 프로그램 기억부(72a)에는 연산 처리부(71)가 실행 가능한 제어 프로그램이나 헤드 유닛(20)을 이동시킬 때에 필요해지는 데이터류 등이 격납되어 있다. 또한, 보정용 데이터 기억부(72b)에는 프린트 기판(1)에 대한 전자 부품(2)의 실장 위치를 보정하기 위한, 후술하는 제 1 오차 테이블(7a) 및 제 2 오차 테이블(7b)이 격납되어 있다. 또한, 화상 처리부(73)는 기판 카메라(22) 및 부품 카메라(60)가 촬상한 화상 데이터의 처리를 행해서 표면 실장기(100)의 동작에 필요로 되는 데이터를 내부적으로 생성하는 역할을 갖고 있다. 또한, 제 1 오차 테이블(7a) 및 제 2 오차 테이블(7b)은 각각 본 발명의 「제 1 오차 데이터군」 및 「제 2 오차 데이터군」의 일례이다.The operation processing unit 71 collectively manages the operations of the surface real-organ 100. The operation
모터 제어부(74)는 연산 처리부(71)로부터 출력되는 제어 신호에 의거하여 표면 실장기(100)의 각 서보 모터를 제어하도록 구성되어 있다. 또한, 모터 제어부(74)는 기판 반송부(10)에 의한 기판 반송을 제어하도록 구성되어 있다. 또한, 모터 제어부(74)는 각 서보 모터가 갖는 인코더(도시하지 않음)로부터의 출력 신호에 의거하여 헤드 유닛(20)의 XY 좌표, 탑재 헤드(23)의 높이 위치 및 회전 각도 등을 인식 가능하게 구성되어 있다.The
이어서, 기억부(72)[보정용 데이터 기억부(72b)]에 격납되는 제 1 오차 테이블(7a) 및 제 2 오차 테이블(7b)에 대하여 설명한다.Next, the first error table 7a and the second error table 7b stored in the storage section 72 (correction
제 1 실시형태에서는 연산 처리부(71)는 전자 부품(2)의 실장 작업에 앞서 제 1 오차 테이블(7a) 및 제 2 오차 테이블(7b)을 작성하고, 기억부(72)에 격납한다. 그리고, 연산 처리부(71)는 전자 부품(2)의 실장 작업시에 이들 제 1 오차 테이블(7a) 및 제 2 오차 테이블(7b)에 의거하여 부품 실장 위치로의 이동시에 있어서의 각 탑재 헤드(23)의 실장 위치를 보정하는 제어를 행하도록 구성되어 있다.In the first embodiment, the arithmetic processing unit 71 prepares the first error table 7a and the second error table 7b before mounting the
여기에서, 헤드 유닛(20)의 X축[볼나사축(31) 및 가이드 레일(33)]이나 Y축[볼나사축(41) 및 가이드 레일(43)]은 장척 부재에 의해 구성된다. 그 때문에, X축이나 Y축은 정밀도 좋게 설계/제조되었다고 해도 그 형상은 약간 변형되어 있다. X축을 예로 들면, 도 4에 나타내는 바와 같이 볼나사축(31) 및 가이드 레일(33)은 X방향을 따라 완전히 일직선은 아니고, 미소한 변위를 가져서 전체로서 변형이 생겨 있다. 이 결과, 예를 들면 볼나사축(31)이 X방향으로 열팽창에 의해 신장됨으로써 헤드 유닛(20)이 X방향으로 위치 어긋남된다. 또한, 볼나사축(31)에 굴곡이 생김으로써 헤드 유닛(20)이 전체로서 볼나사축(31)을 따라 굴곡되듯이 Y방향으로 위치 어긋남된다. 이에 따라, 예를 들면 볼나사축(31)의 굴곡에 기인해서 도 4의 실선으로 나타낸 위치(U1)에서는 헤드 유닛(20)이 전체로서 반시계 방향으로 경사지고, 도 4의 2점 쇄선으로 나타낸 위치(U2)에서는 반대로 시계 방향으로 경사져서 회전 방향의 위치 어긋남을 일으키고 있다. 또한, 도 4에서는 편의적으로 축의 변형이나 헤드 유닛(20)의 자세를 과장해서 모식적으로 도시하고 있다. 도시는 생략하지만, Y축[볼나사축(41) 및 가이드 레일(43a, 43b)]에 대해서도 마찬가지의 위치 어긋남이 발생한다. 또한, 이들 X축 및 Y축의 변형에 의해 헤드 유닛(20)은 수평 방향뿐만 아니라 Z방향에 대해서도 위치 어긋남(자세 어긋남)을 발생시킨다.Here, the X axis (the
또한, 실제로는 볼나사축(31) 및 가이드 레일(33)에 대하여 헤드 유닛(20)이 약간 경사져서 장착되거나, 각 탑재 헤드(23)가 수평면(프린트 기판 표면)에 대한 수직 방향(Z방향)으로부터 약간 경사지도록 헤드 유닛(20)에 장착되거나 하는 장착 오차가 존재한다. 이들 장착 오차나, X축 및 Y축의 변형에 의한 헤드 유닛(20)의 위치 및 자세 어긋남에 의해 헤드 유닛(20)에는 XY 위치 좌표에 따라 다른(위치 좌표에 의존하는) 위치 어긋남이 발생한다.Actually, the
그래서, 이들 위치 좌표에 의존하는 위치 어긋남을 보정하기 위해서 제 1 오차 테이블(7a) 및 제 2 오차 테이블(7b)은 각각 목표 위치 좌표에 기판 카메라(22)[제 1 오차 테이블(7a)] 및 탑재 헤드(23)[제 2 오차 테이블(7b)]를 위치시킬 때에 발생하는 위치 어긋남을 위치 좌표마다 취득한 것이다.The first error table 7a and the second error table 7b correspond to the substrate camera 22 (the first error table 7a) and the second error table 7b at the target position coordinates, respectively, in order to correct the positional shifts depending on these positional coordinates. And the positional deviation occurring when positioning the mounting head 23 (second error table 7b) is obtained for each positional coordinate.
우선, 도 1을 참조하여 제 1 오차 테이블(7a)의 작성 방법에 대하여 설명한다. 기대(5) 상에 설치된 적어도 2개소로 되는, 예를 들면 6개소의 기준 마크{50a[좌표(X50a, Y50a)]∼50f[좌표(X50f, Y50f)]}를 X축용 인코더에 의한 이송량, Y축용 인코더에 의거하는 이송량을 각 좌표값에 맞추도록 기판 카메라(22)를 이동시켜서 촬상한다. 이어서, 도 15에 나타내는 바와 같이 촬상 화상 상에 있어서의 기준 마크(50a∼50f)의 촬상 중심에 대한 어긋남량[(ΔCX50a, ΔCY50a)∼(ΔCX50f , ΔCY50f)]을 구하고, 제 1 오차 테이블(7a)로서 기억한다. 또한, 도 15에 나타내는 바와 같이 인코더에 의거하는 이송량이 충분하지 않은 상태에서의 어긋남량을 포지티브로 한다. 이에 따라, 기판 카메라(22)를 탑재하는 헤드 유닛(20)의 기대(5)에 대한 위치를 상관지을 수 있다. 제 1 오차 테이블(7a)의 제 1 오차 데이터(ΔC1)를 사용함으로써, 기판 카메라(22)를 소정의 목표 위치 좌표에 정확하게 위치 부여하는 것은 가능해진다.First, a method of creating the first error table 7a will be described with reference to Fig. Forward 5 to be in at least two places provided on, for example, in six places a
즉, 기대(5) 상 임의의 소정 위치[P(Xp, Yp)]에 기판 카메라(22)를 위치시킬 경우, 기준 마크(50a∼50f)의 각 좌표[(X50a, Y50a)∼(X50f, Y50f)]에 대한 소정 위치[P(Xp, Yp)]의 관계로부터 각 어긋남량[(ΔCX50a, ΔCY50a)∼(ΔCX50f, ΔCY50f)] 중 복수의 어긋남량을 이용하여 보간법(補間法)에 의해 어긋남량(ΔCXp, ΔCYp)(단, 인코더에 의거하는 이송량이 충분하지 않은 상태에서의 어긋남량을 포지티브로 함)을 구한다. 그리고, 이 어긋남량을 0으로 하기 위해서 X축 인코더에 의한 위치가 Xp+ΔCXp, Y축 인코더에 의한 위치가 Yp+ΔCYp가 되도록 헤드 유닛(20)을 이동시킨다.That is, each coordinate of the forward (5) If any of the predetermined position to place the
제 1 오차 테이블(7a)의 제 1 오차 데이터(ΔC1)를 사용함으로써, X축 및 Y축에 신장과 굴곡이 발생하여 있어도 기판 카메라(22)를 소정의 목표 위치 좌표에 정확하게 위치 부여하는 것은 가능해진다. 그러나, 각 탑재 헤드(23)와 기판 카메라(22)는 각각 다른 오프셋 간격(L1∼L6)(도 4 참조)으로 이간되어 있기 때문에, 예를 들면 임의의 소정 위치[P(Xp, Yp)]에 탑재 헤드(23a)를 위치 부여하기 위해서는 대응하는 오프셋 간격(L1)만큼 어긋난 위치로 기판 카메라(22)를 이동시킬 필요가 있다.By using the first error data? C1 of the first error table 7a, it is possible to accurately position the
그러나, 헤드 유닛(20)이 위치 좌표에 의존해서 자세를 변화시키기(경사지기) 때문에 기판 카메라(22)의 촬상 중심(C)을 목표 위치 좌표에 위치 부여했을 경우와, 목표 위치 좌표로부터 오프셋 간격(L1)만큼 어긋난 위치에 촬상 중심(C)을 위치 부여했을 경우에서 탑재 헤드(23)의 위치는 목표 위치 좌표에 대하여 위치 어긋남을 발생시키게 된다. 그래서, 목표 위치 좌표로부터 오프셋 간격만큼 어긋난 위치로 기판 카메라(22)를 이동시킨 상태에서의 탑재 헤드(23)의 위치 어긋남을 목표 위치 좌표에 있어서의 제 2 오차 데이터(ΔC2) 중의 ΔH(도 7 참조)로서 취득한다. 또한, 제 1 오차 테이블(7a)의 작성은 제 2 오차 테이블(7b)의 작성에 앞서 행해진다.However, there is a case where the image pickup center C of the
이어서, 도 2 및 도 7을 참조하여 제 2 오차 테이블(7b)의 작성 방법에 대해서 설명한다.Next, a method of creating the second error table 7b will be described with reference to Figs. 2 and 7. Fig.
제 2 오차 테이블(7b)의 작성에는 도 7(a)에 나타내는 바와 같은 유리제의 지그 부품(110)을 사용한다. 이 지그 부품(110)의 표면에는 부품 중심(J)을 나타내는 마크가 부착되어 화상 인식에 의해 부품 중심 위치를 취득하는 것이 가능하게 되어 있다.A
우선, 도 7(e)에 나타내는 바와 같이 지그 부품(110)을 기판[지그 플레이트 또는 프린트 기판(1)] 상의 임의의 위치에 탑재 헤드(23a)를 이용하여 적재한다. 계속해서, 기판 카메라(22)로 지그 부품(110)을 촬상함으로써 도 7(a)에 나타낸 바와 같이 지그 부품(110)의 부품 중심(J)의 위치 좌표를 X축용 인코더, Y축용 인코더에 의거하는 각 이송값으로서 취득하고, 이것을 목표 위치 좌표[P11(X11, Y11)]로 한다. 기판 카메라(22)를 지그 부품(110)으로부터 멀어지도록 이동시킨 후에도 이들 이송값이 되도록 X축, Y축을 구동해서 헤드 유닛(20)을 이동시키면, 다시 지그 부품(110)의 부품 중심(J)에 기판 카메라(22)의 촬상 중심을 일치시킬 수 있다.First, as shown in Fig. 7 (e), the
1번째의 탑재 헤드(23a)에 대해서는 이 목표 위치 좌표(P11)로부터 기판 카메라(22)를 대응하는 오프셋 간격(L1)(도 4 참조)만큼 X방향으로 이동시키면, 설계상 탑재 헤드(23a)를 목표 위치 좌표(P11)의 상방에 위치 부여할 수 있을 것이다. 도 7(b)[지그 플레이트 또는 프린트 기판(1)의 상방으로부터 적재된 지그 부품(110)을 본 도면]에 나타내는 바와 같이, 이 목표 위치 좌표(P11)로부터 오프셋 간격(L1)만큼 이동시킨 위치[Ph(X11-L1, Y11)]에는 제 1 오차 테이블(7a)로부터 대응하는 제 1 오차 데이터[ΔC1(ΔCX11 - L1, ΔCY11)]를 판독(또는 보간법에 의해 산출)함으로써 기판 카메라(22)의 촬상 중심(Ch)[Ch는 오프셋 간격만큼의 이동 후의 기판 카메라(22)의 촬상 중심을 나타냄]을 정확하게 위치 부여할 수 있다. 즉, X축 인코더 상의 X좌표가 X11 -L1+ΔCX11 - L1, Y축 인코더 상의 Y좌표가 Y11+ΔCY11이 되도록 헤드 유닛(20)의 이송을 행한다.The first mounting head (23a) in about the target location coordinates (P 11) from when moved in the X direction by the board camera (see Fig. 4) 22, offset distance (L1) corresponding to the, design, placement head (23a of Can be positioned above the target position coordinate P 11 . In which mobility as 7 (b) as shown in the jig plate or the
제 1 오차 데이터(ΔC1)를 이용하여 기판 카메라(22)를 위치(Ph)에 위치 부여한 상태에서 1번째의 탑재 헤드(23a)에 의해 지그 부품(110)을 흡착한다. 그러나, 헤드 유닛(20)에 반시계 방향으로 경사(Δα)(도 4 참조)가 발생하고 있는 경우, 도 7(b)에 나타내는 바와 같이 이 경사(Δα)와 기판 카메라(22)에 대한 탑재 헤드(23a)의 오프셋 간격에 기인하여 탑재 헤드(23a)의 위치가 어긋나서 실제로는 목표 위치 좌표(P11)가 아니라 위치(H11)에서 지그 부품(110)이 흡착된다. 이때, 지그 부품(110)은 탑재 헤드(23a)에 대하여 시계 방향으로 Δα만큼 각도 변위해서 흡착된다.The
이어서, 헤드 유닛(20)을 부품 카메라(60)(도 2 참조)의 상방으로 이동시키고[이 경우에도 부품 카메라(60)의 위치에 대응한 제 1 오차 데이터(ΔC1)를 해소하도록 X축용 인코더에 있어서의 이송값, Y축용 인코더에 있어서의 이송값을 설정함], 1번째의 탑재 헤드(23a)에 의해 흡착한 지그 부품(110)의 하면 화상을 부품 카메라(60)에 의해 촬상한다. 이에 따라, 도 7(c)[도 7(b)와 대응시키기 위해 부품 카메라(60)에 의한 화상의 좌우를 반전해서 나타낸 도면]에 나타내는 바와 같이 부품 중심(J)과 탑재 헤드(23a)의 흡착 위치[=탑재 헤드(23a)의 중심 위치](H11) 사이의 위치 어긋남[ΔH(ΔHX11, ΔHY11)]이 취득된다. 이 흡착 위치 어긋남은 주로 헤드 유닛(20)의 경사(Δα)와, 탑재 헤드(23a)의 상하 이동축이 연직 방향으로부터 경사져 있을 경우의 부품 흡착시와 지그 부품(110)의 하면 촬상시의 탑재 헤드(23a)의 높이 위치의 차이에 기인해서 발생한다.Then, the
이 흡착 위치 어긋남은 도 7(b)에 나타내는 바와 같이, 기판 상의 목표 위치 좌표(P11)에 탑재 헤드(23a)를 하강시켜서 지그 부품(110)을 흡착했을 때의 위치 어긋남이기 때문에 목표 위치 좌표(P11)로의 부품 탑재시에도 같은 위치 어긋남이 발생하게 된다. 또한, 도 7(a), 도 7(c)의 2개의 지그 부품(110)의 화상으로부터 지그 부품(110)의 시계 방향의 각도 변위(Δα)(도 4 참조)를 검출할 수 있다. 이렇게 하여 얻어진 위치 어긋남[ΔH(ΔHX11, ΔHY11)]과 각도 변위(Δα)가 탑재 헤드(23a)에 의해 목표 위치 좌표(P11)에 부품 탑재를 행하기 위한 제 2 오차 데이터[ΔC2(ΔH, Δα)]가 된다. 또한, 헤드 유닛(20)의 반시계 방향의 경사(Δα)에 기인하는 지그 부품(110)의 시계 방향의 각도 변위(Δα)는 탑재 전에 탑재 헤드(23a)를 반시계 방향으로 Δα 회전 보정시킴으로써 해소하여 부품 탑재할 수 있다.Since the suction position displacement is the displacement when the adsorbing
그 후에, 도 7(e)에 나타내는 바와 같이 목표 위치 좌표(P11)로부터 미리 설정된 소정량만큼 이동한 위치(P12)에 지그 부품(110)을 탑재하고, 도 7(a)∼(c)의 측정 동작을 실행한다. 이상의 측정 동작을 m행×n열의 격자 형상의 측정점(P11∼Pmn)까지 축차적으로 행한다. 이때의 탑재 헤드(23a)의 회전 각도(R축)를 r=0°로 하면, 1번째의 탑재 헤드(23a)의 r=0°에 있어서의 제 2 오차 데이터(ΔC2) 중의 ΔH의 테이블이 얻어진다.Thereafter, FIG. 7 (e) described as a target position the coordinates (P 11) a predetermined small with the
탑재 헤드(23a)[또는 헤드 유닛(20) 전체]가 약간 경사져서 장착되어 있을 경우 등, 탑재 헤드(23a)의 회전축이 Z축과 일치하지 않을 경우에는 도 7(d)에 나타내는 바와 같이 탑재 헤드(23a)의 회전 각도에 의해 흡착 위치가 변화된다. 도 7(d)에서는 일례로서 r=0°, 90°, 180°, 270°의 4각도로 흡착한 상태에 있어서의 흡착 위치[H11(0), H11(90) H11(180), H11(270)]와, 각각의 위치 어긋남(ΔH90, ΔH180, ΔH270)[ΔH0은 도 7(c)의 ΔH 참조]을 나타내고 있다. 이 때문에, 상기 제 2 오차 데이터(ΔC2) 중의 ΔH의 테이블을 소정의 회전 각도(r=0°, 90°, 180°, 270°)에 대해서 각각 작성한다. 마찬가지로, 탑재 헤드(23a)의 회전 각도에 의해 흡착시의 지그 부품(110)의 회전 방향의 각도가 회전 각도에 대하여 각도 변위된다. 도 7(a), 도 7(c)의 2개의 지그 부품(110)의 화상으로부터 헤드 유닛(20)의 경사에 기인하는 각도 변위와, 탑재 헤드(23a)의 회전축이 Z축과 일치하지 않는 것에 기인하여 흡착시의 지그 부품(110)의 부품 방향과 다른 방향으로 회전시켜서 장착할 때의 지그 부품(110)의 회전 각도에 대하여 발생하는 각도 변위의 양쪽을 포함한 것이 검출된다. 이 때문에, 제 2 오차 데이터(ΔC2) 중의 Δα의 테이블에 대해서도 소정의 회전 각도(r=0°, 90°, 180°, 270°)에 대해서 각각 작성한다.When the mounting
이상의 결과, 1번째의 탑재 헤드(23a)에 대하여 회전 각도(r=0°, r=90°, r=180° 및 r=270°)의 각각에 대해서 각각 m행 n열의 매트릭스 형상의 테이블(4개)이 작성된다. 이상의 제 2 오차 데이터[ΔC2(ΔH, Δα)]의 취득 처리를 나머지 2번째의 탑재 헤드(23b)∼6번째의 탑재 헤드(23f)(도 4 참조)까지 각각 대응하는 오프셋 간격(L2∼L6)으로 변경하면서 행함으로써 도 8에 나타내는 제 2 오차 테이블(7b)이 작성된다.As a result of the above, for each of the rotation angles (r = 0, r = 90, r = 180 and r = 270) with respect to the first mounting
또한, 여기에서는 기판 카메라(22)와 탑재 헤드(23)가 X방향으로 직선 형상으로 배열되는 예를 나타냈지만, 탑재 헤드(23)가 기판 카메라(22)에 대하여 Y방향으로도 오프셋되어 있는 경우에는 Y좌표에 대해서도 X좌표와 마찬가지로 오프셋 간격만큼의 이동을 고려하면 좋다.In this example, the
전자 부품(2)의 실장 작업시에는 이들 제 1 오차 테이블(7a) 및 제 2 오차 테이블(7b)에 의거하여 각 탑재 헤드(23)의 실장 위치가 보정된다. 예를 들면, 일례로서 부품 실장 위치(M)가 좌표[Pmn(Xmn, Ymn)]이며, 탑재 각도(θ)가 0°, 1번째의 탑재 헤드(23a)에 의한 실장을 행할 경우에는, 우선 제 1 오차 테이블(7a)로부터 오프셋 간격(L1)을 뺀 위치 좌표[Ph(Xmn - L1, Ymn)]에 대응하는 제 1 오차 데이터[ΔC1(ΔCXmn - L1, ΔCYmn)]가 취득(또는 보간법에 의해 산출)된다. 또한, 제 2 오차 테이블(7b)로부터 탑재 헤드(23a)의 r=0°의 테이블을 참조하여 좌표[Pmn(Xmn, Ymn)]에 대응하는 제 2 오차 데이터[ΔH(ΔHXmn (0), ΔHYmn (0))]가 취득된다. 이상에 의거하여 기판 카메라(22)를 기준으로 하면, 보정 후의 부품 실장 위치[M(x, y)](X축용 인코더 상에 있어서의 이송값, Y축용 인코더 상에 있어서의 이송값)는 x=(Xmn-L1+ΔCX( mn - L1 )+ΔHXmn(0)), y=(Ymn+ΔCYmn+ΔHYmn (0))로서 산출된다. 또한, R축 모터에 있어서의 부품 회전각은 Δαmn (0)로서 산출된다[제 2 오차 데이터(Δα)는 지그 부품(110)의 시계 방향의 검출값을 포지티브로 하고 있고, 탑재 전에 탑재 헤드(23a)를 반시계 방향으로 검출값만큼 회전 보정시킴으로써 올바른 부품 회전각(탑재 각도)으로 부품 탑재할 수 있다].The mounting positions of the mounting heads 23 are corrected based on the first error table 7a and the second error table 7b when the
실장 위치 보정을 도 7의 예로 나타내면, 상기 보정 후의 부품 실장 위치[M(x, y)]는 도 7(b)에서 제 1 오차 데이터[ΔC1(ΔCX11 - L1, ΔCY11)]를 이용하여 위치(Ph)에 기판 카메라(22)의 촬상 중심(Ch)을 배치한 상태(탑재 헤드 위치는 H11)로부터, 또한 도 7(c)에서 제 2 오차 데이터[ΔH(ΔHX11 (0), ΔHY11 (0))]를 이용하여 기판 카메라(22)의 위치를 보정하게 된다. 이 결과, 도 7의 예에서는 탑재 헤드(23a)를 정확하게 부품 실장 위치{M[P11(X11, Y11)]}에 배치할 수 있다.Using a - represents an example of Figure 7 the mounting position correction, the component mounting position after the correction [M (x, y)] is the first error data [(L1, ΔCY 11 ΔCX 11 ) ΔC1] in 7 (b) Fig. position from the state placing the image pickup center (Ch) of the
이어서, 도 9를 참조하여 제 1 실시형태의 표면 실장기(100)에 의한 제 2 오차 테이블(7b)을 작성할 때의 연산 처리부(71)의 제어 처리에 대해서 설명한다. 또한, 여기에서는 1번째의 탑재 헤드(23a)부터 순서대로, 또한 회전 각도 0°부터 순서대로 제 2 오차 데이터[ΔC2(ΔH, Δα)]를 취득하는 예에 대해서 설명한다.Next, the control processing of the arithmetic processing unit 71 when creating the second error table 7b by the surface physical organ 100 of the first embodiment will be described with reference to Fig. 9. Fig. Here, an example of obtaining the second error data [? C2 (? H,?)] In order from the first mounting
도 9에 나타내는 바와 같이, 우선 스텝S1에 있어서 임의의 위치에 배치된 지그 부품(110)의 상방으로 헤드 유닛(20)을 이동시킨다. 이것은 작업자에 의한 위치 좌표의 지정이라도 좋고, 기판 카메라(22)에서 주사하도록 헤드 유닛(20)을 이동시켜서 지그 부품(110)을 인식해도 좋다.As shown in Fig. 9, first, in step S1, the
스텝S2에 있어서, 기판 카메라(22)에 의해 지그 부품(110)이 촬상된다. 연산 처리부(71)는 촬상 화상으로부터 지그 부품(110)의 부품 중심(J)의 좌표를 목표 위치 좌표(P11)를 X축용 인코더 상에 있어서의 이송값, Y축용 인코더 상에 있어서의 이송값으로서 취득한다.In step S2, the
스텝S3에서는 목표 위치 좌표(P11)로부터 기판 카메라(22)를 오프셋 간격(L1)만큼 X방향으로 이동시킨 위치(Ph)에 X축용 인코더 및 Y축용 인코더에 의해 위치 부여한 상태에서 1번째의 탑재 헤드(23a)(r=0°)에 의해 지그 부품(110)을 흡착한다.Step S3 In the first mounting at the target location coordinates (P 11) given position by the X-axis encoder and Y-axis encoder position (Ph) is moved in the X direction by the
스텝S4에서는 흡착한 지그 부품(110)의 하면 화상이 부품 카메라(60)에 의해 촬상된다. 연산 처리부(71)는 촬상 화상으로부터 지그 부품(110)의 부품 중심(J)과 탑재 헤드(23a)의 흡착 위치(H11) 사이의 위치 어긋남을 제 2 오차 데이터[ΔH(ΔX11, ΔHY11)]로서 취득한다. 또한, 촬상 화상에 있어서의 지그 부품(110)의 방향의 각도 변화로부터 회전 오차인 제 2 오차 데이터[Δα(Δα11)]로서 취득한다.In step S4, the bottom image of the
스텝S5에서는 m행 n열의 격자 형상의 측정점[목표 위치 좌표(P11∼Pmn)] 전체에 대해서 측정이 종료된 것인지의 여부가 판단된다. 측정이 모두 종료되어 있지 않을 경우에는 스텝S6으로 진행되고, 미리 설정된 소정량만큼 이동하여 다음 측정점(이 경우, 예를 들면 P12)에 지그 부품(110)이 탑재되고, 다음 측정점에 대해서 스텝S2∼S4가 실행된다. 스텝S2∼S6이 반복됨으로써 모든 측정점에 대해서 측정{제 2 오차 데이터[ΔC2(ΔH, Δα)]의 취득}이 행해진다.In step S5, it is judged whether or not the measurement has been completed for all the measurement points (target position coordinates (P 11 to P mn )) in the grid pattern of m rows and n columns. If the measurement does not have all terminated, the procedure proceeds to step S6, the measurement point then moves by a predetermined amount (in this case, for example, P 12), the
스텝S5에 있어서 모든 측정점에 대해서 측정이 종료되었다고 판단된 경우 스텝S7로 진행되고, 탑재 헤드(23a)에 대해서 모든 각도(r=0°, 90°, 180° 및 270°)에서 측정을 종료한 것인지의 여부가 판단된다. 모든 각도에서 측정이 종료되어 있지 않을 경우에는 스텝S8로 진행되고, 소정 각도(이 경우, 90°)만큼 탑재 헤드(23a)를 회전시킨 후 스텝S6에서 다음 측정점[이 경우, 최초의 목표 위치 좌표(P11)로 되돌아옴]에 지그 부품(110)이 탑재된다. 이에 따라, 모든 각도(r=0°, 90°, 180° 및 270°)에 대하여 스텝S2∼S6이 실행된다.If it is determined in step S5 that the measurement has been completed for all the measurement points, the process proceeds to step S7 where the measurement is finished at all angles (r = 0, 90, 180 and 270) with respect to the
스텝S7에 있어서 탑재 헤드(23a)에 대해서 모든 각도에서 측정을 종료했다고 판단되었을 경우 스텝S9로 진행되고, 모든 탑재 헤드[23(23a∼23f)]에 대해서 측정을 종료한 것인지의 여부가 판단된다. 모든 탑재 헤드[23(23a∼23f)]에서 측정이 종료되어 있지 않을 경우에는 스텝S10으로 진행되고, 다음 탑재 헤드(23)[이 경우, 탑재 헤드(23b)]에 대하여 대응하는 오프셋 간격(이 경우, L2)에서의 측정이 개시된다. 이에 따라, 모든 탑재 헤드[23(23a∼23f)]에 대하여 스텝S2∼S8이 실행된다.If it is determined in step S7 that the measurement is completed at all angles with respect to the
스텝S9에 있어서 모든 탑재 헤드[23(23a∼23f)]에 대해서 측정을 종료했다고 판단되었을 경우 스텝S11로 진행되고, 취득된 모든 제 2 오차 데이터[ΔC2(ΔH, Δα)]에 의해 제 2 오차 테이블(7b)이 작성되고, 작성된 제 2 오차 테이블(7b)이 기억부(72)[보정용 데이터 기억부(72b)]에 격납된다. 이상과 같이 하여, 제 2 오차 테이블(7b)을 작성할 때의 제어 처리가 행해진다.If it is determined in step S9 that the measurement has been completed for all the mounting heads 23 (23a to 23f), the process proceeds to step S11, and based on all the acquired second error data [? C2 (? H,?) The table 7b is created and the created second error table 7b is stored in the storage section 72 (correction
이어서, 도 2, 도 6, 도 8 및 도 10을 참조하여 전자 부품(2)을 프린트 기판(1)에 실장할 때의 연산 처리부(71)의 제어 처리 플로우에 대해서 설명한다. 또한, 프린트 기판(1)의 반입, 반출이나 위치 결정 등의 처리의 설명은 생략한다.Next, with reference to Figs. 2, 6, 8, and 10, the control processing flow of the arithmetic processing unit 71 when the
우선, 도 10에 나타내는 바와 같이 스텝S21에서는 동작 프로그램 기억부(72a)(도 3 참조)에 기억된 제어 프로그램(기판 생산 프로그램)에 의거하여 흡착 대상의 전자 부품(2), 흡착을 행하는 탑재 헤드[23(23a∼23f)], 전자 부품(2)의 부품 실장 위치(M) 및 탑재 각도(θ)가 취득된다.First, as shown in Fig. 10, in step S21, on the basis of the control program (substrate production program) stored in the operation
스텝S22에서는 흡착 대상의 전자 부품(2)이 소정의 탑재 헤드(23)에 의해 흡착되어 인출된다. 또한, 부품 카메라(60)(도 2 참조)에 의한 전자 부품(2)의 촬상이 행해져 전자 부품(2)의 흡착 위치 어긋남 등이 취득된다.In step S22, the
이어서, 스텝S23에서는 제 1 오차 테이블(7a)(도 6 참조) 및 제 2 오차 테이블(7b)(도 8 참조)에 의거하여 탑재 헤드(23)에 의한 실장 위치가 보정된다. 상기한 바와 같이, 제 1 오차 테이블(7a)로부터는 오프셋 간격을 뺀 위치 좌표(Ph)에 대응하는 제 1 오차 데이터(ΔC1)가 취득(또는 보간법에 의해 산출)된다. 또한, 제 2 오차 테이블(7b)로부터는 전자 부품(2)의 부품 실장 위치(M) 및 탑재 각도(θ)에 대응하는 제 2 오차 데이터[ΔC2(ΔH, Δα)]가 취득(또는 보간법에 의해 산출)된다. 이들 제 1 오차 데이터(ΔC1) 및 제 2 오차 데이터(ΔC2)의 ΔH로부터, 상기한 바와 같이 탑재 헤드(23)를 부품 실장 위치(M)에 위치 부여하기 위한 보정값이 산출된다. 또한, 부품 카메라(60)에 의한 전자 부품(2)의 촬상 결과 전자 부품(2)의 흡착시의 위치 어긋남이나 각도 어긋남이 존재할 경우, 이것들의 보정량도 제 2 오차 데이터(ΔC2)의 Δα에 의해 반영되어 최종적인 보정 후의 실장 위치가 산출된다.Subsequently, in step S23, the mounting position by the mounting
이어서, 스텝S24에서는 스텝S23에서 구해진 보정 후의 실장 위치로 헤드 유닛(20)을 이동시킨다. 즉, X축 및 Y축의 각 인코더 출력값에 산출된 보정량이 가미된 보정 후의 인코더 출력값이 되도록 서보 모터(32)(X축) 및 서보 모터(42)(Y축)가 구동된다. 그리고, 스텝S25에서는 탑재 헤드(23)에 의해 탑재 각도(θ)에 제 2 오차 데이터(Δα)에 대응하는 보정량이 가미된 회전 각도로 서보 모터(27)(R축)가 구동된 후, 전자 부품(2)(도 2 참조)을 프린트 기판(1)(도 2 참조) 상의 부품 실장 위치(M)에 탑재한다. 또한, 엄밀하게는 상기 보정량을 가미한 결과, 탑재 헤드(23)에 의한 프린트 기판(1)으로의 탑재 위치[프린트 기판(1)까지 하강시킨 탑재 헤드(23)의 프린트 기판(1)으로의 착지점]가 부품 실장 위치(M)가 된다.Subsequently, in step S24, the
그리고, 스텝S26에서는 기판 생산 프로그램에 있어서 미실장(미실행)의 부품 탑재 데이터가 남아 있는지의 여부가 판단된다. 스텝S26에 있어서 탑재 데이터가 남아 있다고 판단(No 판정)되었을 경우 스텝S21로 되돌아오고, 이후 스텝S21∼S25의 처리가 반복된다. 또한, 스텝S26에 있어서 미실장의 탑재 데이터가 없다고(모두 실장 완료됨) 판단(Yes 판정)되었을 경우 본 제어는 종료된다.Then, in step S26, it is judged whether or not the component mounting data of unimplemented (unexecuted) remains in the substrate production program. If it is determined in step S26 that the mounting data remains (No determination), the process returns to step S21, and then the processes in steps S21 to S25 are repeated. If it is determined in step S26 that there is no mounting data (all mounted) (NO), the control is terminated.
제 1 실시형태에서는 상기한 바와 같이, 목표 위치 좌표[P(P11∼Pmn)]로 기판 카메라(22)를 이동시킬 때의 기판 카메라(22)의 제 1 오차 데이터(ΔC1)를 복수의 위치 좌표(P11∼Pmn)마다 취득해서 제 1 오차 테이블(7a)을 작성하고, 목표 위치 좌표(P)에 있어서 기판 카메라(22)와 탑재 헤드(23)의 오프셋 간격만큼 이동시킬 때의 탑재 헤드(23)의 제 2 오차 데이터(ΔC2)[수평 방향의 위치 어긋남(ΔH), 회전 방향의 위치 어긋남(Δα)]를 복수의 위치 좌표(P11∼Pmn)마다 취득해서 제 2 오차 테이블(7b)을 작성하고, 제 1 오차 테이블(7a) 및 제 2 오차 테이블(7b)에 의거하여 부품 실장 위치(M)로의 이동시에 있어서 탑재 헤드(23)의 실장 위치를 보정하도록 연산 처리부(71)를 구성한다. 이에 따라, 제 1 오차 테이블(7a)과 복수의 위치 좌표(P11∼Pmn)마다의 제 2 오차 데이터[ΔC2(ΔH, Δα)]로 이루어지는 제 2 오차 테이블(7b)로부터 부품 실장 위치(M)에 대하여 오프셋 간격만큼 이동시킨 위치(Ph)에 대응하는 제 1 오차 데이터(ΔC1)와, 부품 실장 위치(M)에 대응한 제 2 오차 데이터[ΔC2(ΔH, Δα)]를 구하고, 이 제 2 오차 데이터[ΔC2(ΔH, Δα)]를 이용하여 탑재 헤드(23)의 실장 위치를 보정할 수 있다. 이 결과, 헤드 유닛(20)에 있어서의 탑재 헤드(23)와 기판 카메라(22) 사이의 간격[오프셋 간격(L1∼L6)]과, 실장시에 전자 부품(2)을 소정의 탑재 각도(θ)로 하기 위한 탑재 헤드(23)의 회전을 고려하면서 실장 위치를 보정할 수 있으므로 실장 위치를 보다 정확하게 보정할 수 있다.In the first embodiment, as described above, the target location coordinates [P (P 11 ~P mn) ] of a plurality of the first error data (ΔC1) of the
또한, 제 1 실시형태에서는 목표 위치 좌표[P(P11∼Pmn)]로부터 오프셋 간격만큼 기판 카메라(22)를 이동시킨 위치(Ph)에 있어서의 탑재 헤드(23)의 목표 위치 좌표[P(P11∼Pmn)]에 대한 수평 방향의 위치 어긋남(ΔH)과, 위치(Ph)에 기판 카메라(22)를 위치 부여한 상태에서 탑재 헤드(23)에서 전자 부품(2)을 탑재할 때의 회전 방향의 위치 어긋남(Δα)에 의한 제 2 오차 데이터[ΔC2(ΔH, Δα)]를 복수의 위치 좌표(P11∼Pmn)마다 취득해서 제 2 오차 테이블(7b)을 작성한다. 그리고, 부품 실장 위치(M)와 제 1 오차 테이블(7a)에 의거하여 부품 실장 위치(M)로 기판 카메라(22)를 이동시킬 때의 제 1 오차 데이터(ΔC1)를 구하고, 이 제 1 오차 데이터(ΔC1)에 의거하여 부품 실장 위치(M)로 탑재 헤드(23)를 이동시킬 때에 있어서의 수평 방향의 위치 어긋남을 보정한다. 또한, 부품 실장 위치(M)와 제 2 오차 테이블(7b)에 의거하여 부품 실장 위치(M)로 탑재 헤드(23)를 이동시킬 때의 탑재 헤드(23)의 수평 방향의 위치 어긋남(ΔH) 및 회전 방향의 위치 어긋남(Δα)으로 이루어지는 제 2 오차 데이터[ΔC2(ΔH, Δα)]를 구하고, 이 제 2 오차 데이터[ΔC2(ΔH, Δα)]에 의거하여 부품 실장 위치(M)에 탑재할 때의 수평 방향의 위치 어긋남(ΔH) 및 회전 방향의 위치 어긋남(Δα)을 추가 보정한다. 이에 따라, 헤드 유닛(20)의 수평 방향의 경사와, 헤드 유닛(20)에 있어서의 탑재 헤드(23)와 기판 카메라(22)의 오프셋 간격에 의거하는, 수평 방향의 위치 어긋남(ΔH) 및 회전 방향의 위치 어긋남(Δα)을 보정할 수 있으므로 실장 위치를 보다 정확하게 보정할 수 있다.In the first embodiment, the target position coordinates P (P) of the mounting
또한, 제 1 실시형태에서는 복수의 탑재 헤드(23)의 각각에 대하여 대응하는 오프셋 간격(L1∼L6)에서 복수의 위치 좌표(P11∼Pmn) 및 복수의 회전 각도(r=0°, 90°, 180°, 270°)마다의 제 2 오차 데이터[ΔC2(ΔH, Δα)]를 취득해서 제 2 오차 테이블(7b)을 작성하도록 연산 처리부(71)를 구성한다. 이에 따라, 복수의 탑재 헤드(23)의 각각에 대하여 개별적으로 탑재 헤드(23)와 기판 카메라(22) 사이의 오프셋 간격과, 실장시에 전자 부품(2)을 탑재 각도(θ)로 하기 위한 탑재 헤드(23)의 회전을 고려한 제 2 오차 테이블(7b)을 작성할 수 있다. 이에 따라, 이 제 2 오차 테이블(7b)을 사용해서 구하는 제 2 오차 데이터[ΔC2(ΔH, Δα)]를 보다 적정화할 수 있고, 탑재 헤드(23)마다의 실장 위치를 각각 개별적으로 보다 정확하게 보정할 수 있다.In the first embodiment, a plurality of position coordinates (P 11 to P mn ) and a plurality of rotation angles (r = 0 °, ? 2 (? H,?) For each of the first, second, third, fourth, fifth, Thereby, offset intervals between the mounting
또한, 제 1 실시형태에서는 기판 카메라(22)에 의해 촬상한 지그 부품(110)의 위치를 목표 위치 좌표(P)로서 취득하고, 기판 카메라(22)를 목표 위치 좌표(P)로부터 오프셋 간격(L1∼L6)만큼 이동시킨 위치에서 탑재 헤드(23)에 흡착시킨 지그 부품(110)을 부품 카메라(60)에 의해 촬상함으로써, 지그 부품(110)의 부품 중심(J)에 대한 탑재 헤드(23)의 위치 어긋남을 인식해서 제 2 오차 데이터(ΔH)로서 취득하도록 연산 처리부(71)를 구성한다. 그리고, 복수의 위치 좌표(P11∼Pmn) 및 복수의 회전 각도(r=0°, 90°, 180°, 270°)마다 탑재 헤드(23)에 의한 흡착과 부품 카메라(60)에 의한 촬상을 실시함으로써 제 2 오차 데이터(Δα)로서 취득하고, 제 2 오차 테이블(7b)을 작성하도록 연산 처리부(71)를 구성한다. 이에 따라, 제 2 오차 테이블(7b)을 작성함에 있어서 기판 카메라(22)에 의한 지그 부품(110)의 촬상과, 그 지그 부품(110)을 흡착한 상태에서의 부품 카메라(60)에 의한 촬상을 행하는 것만으로, 용이하게 오프셋 간격의 이동 및 탑재 헤드(23)의 회전을 고려한 제 2 오차 데이터[C2(ΔH, Δα)]를 취득할 수 있다.In the first embodiment, the position of the
또한, 일반적으로 탑재 부품의 위치 어긋남은 프린트 기판(1)으로의 부품 탑재를 행한 후 탑재 헤드(23)를 전자 부품(2)으로부터 떼어 놓을 때에 발생하기 쉽다. 이 때문에, 제 2 오차 테이블(7b)의 작성시에 있어서, 예를 들면 지그 부품 탑재를 행한 후에 탑재된 지그 부품(110)을 기판 카메라(22)에 의해 촬상해서 위치 어긋남을 취득할 경우, 부품을 탑재하고나서 촬상을 행할 때까지의 동안에 지그 부품(110)의 위치가 어긋나기 쉬워 제 2 오차 데이터(ΔH)의 측정 정밀도가 저하되기 쉽다. 이에 대하여, 제 1 실시형태에서는 지그 부품(110)을 흡착한 상태에서 부품 카메라(60)에 의해 촬상함으로써 제 2 오차 데이터[ΔC2(ΔH, Δα)]를 취득하므로 지그 부품(110)의 위치 어긋남의 발생이 방지된다. 이 때문에, 제 2 오차 테이블(7b)을 작성함에 있어서 제 2 오차 데이터[ΔC2(ΔH, Δα)]를 정밀도 좋게 취득하는 것이 가능하다.In general, the positional deviation of the mounted component is liable to occur when the mounting
또한, 제 1 실시형태에서는 부품 실장 위치(M)로의 이동시에 있어서 부품 실장 위치(M)로부터 오프셋 간격(L1∼L6)만큼 이동시킨 위치(Ph)에 대응하는 제 1 오차 데이터(ΔC1)를 제 1 오차 테이블(7a)로부터 취득하고, 부품 실장 위치(M)의 위치 좌표이고 또한 탑재 각도(θ)에 대응하는 제 2 오차 데이터(ΔH)를 제 2 오차 테이블(7b)로부터 취득하고, 취득한 제 1 오차 데이터(ΔC1) 및 제 2 오차 데이터(ΔH)와 탑재 헤드(23)의 오프셋 간격에 의거하여 탑재 헤드(23)의 실장 위치를 보정하도록 연산 처리부(71)를 구성한다. 이에 따라, 탑재 헤드(23)를 부품 실장 위치(M)에 배치시켰을 때의 기판 카메라(22)의 위치 좌표(Ph)에 대응하는 제 1 오차 데이터(ΔC1)와, 부품 실장 위치(M) 및 탑재 각도(θ)에 있어서의 제 2 오차 데이터(ΔH)에 의거함으로써 오프셋 간격의 이동과 탑재 각도(θ)로의 회전에 의한 위치 어긋남을 고려한 고정밀도의 실장 위치 보정을 행할 수 있다.In the first embodiment, the first error data? C1 corresponding to the position Ph shifted from the component mounting position M by the offset intervals L1 to L6 at the time of movement to the component mounting
또한, 제 1 실시형태에서는 제 2 오차 테이블(7b)의 작성에 앞서 제 1 오차 테이블(7a)의 작성을 행하도록 연산 처리부(71)를 구성한다. 그리고, 제 2 오차 데이터[ΔC2(ΔH, Δα)]를 복수의 위치 좌표마다 취득해서 제 2 오차 테이블(7b)을 작성할 때에 목표 위치 좌표[P(P11∼Pmn)]와 제 1 오차 테이블(7a)에 의거하여 목표 위치 좌표[P(P11∼Pmn)]로 기판 카메라(22)을 이동시킬 때의 수평 방향의 위치 어긋남을 보정하도록 연산 처리부(71)를 구성한다. 이에 따라, 복수의 위치 좌표마다 제 2 오차 데이터[ΔC2(ΔH, Δα)]를 취득할 때에 제 1 오차 테이블(7a)을 사용한 보정에 의해 제 1 오차 데이터(ΔC1)에 상당하는 오차를 포함하지 않는 정확한 위치에서 제 2 오차 데이터[ΔC2(ΔH, Δα)]를 취득할 수 있다. 그 결과, 제 2 오차 데이터[ΔC2(ΔH, Δα)]의 취득이 용이해지므로 제 2 오차 테이블(7b)의 작성을 용이하게 행할 수 있다.In the first embodiment, the arithmetic processing unit 71 is configured to create the first error table 7a prior to the creation of the second error table 7b. Then, the second error data [ΔC2 (ΔH, Δα)] obtained by a plurality of position coordinates for each target when the second error table to create a (7b) coordinate position [P (P 11 ~P mn) ] and the first error table based on the (7a) and constitutes a target location coordinates [P (P 11 ~P mn) ] by the calculation processing board camera 71 in the horizontal direction to correct the positional deviation at the time of movement (22). Thereby, when acquiring the second error data [Delta] C2 ([Delta] H, [Delta] [alpha]) for each of the plurality of position coordinates, the error corresponding to the first error data [Delta] C1 is not included by the correction using the first error table 7a The second error data [Delta] C2 ([Delta] H, [Delta] [alpha]) can be obtained at the correct position. As a result, the acquisition of the second error data [Delta] C2 ([Delta] H, [Delta] [alpha]) is facilitated, so that the second error table 7b can be easily created.
(제 2 실시형태)(Second Embodiment)
이어서, 도 1, 도 3, 도 11 및 도 12를 참조하여 본 발명의 제 2 실시형태에 의한 표면 실장기에 대해서 설명한다. 이 제 2 실시형태에서는 흡착한 지그 부품(110)을 부품 카메라(60)에 의해 촬상함으로써 제 2 오차 데이터(ΔH)를 취득한 상기 제 1 실시형태와 달리, 탑재한 지그 부품(110)을 기판 카메라(22)에 의해 촬상함으로써 제 2 오차 데이터(ΔH)를 취득하도록 구성한 예에 대해서 설명한다.Next, a surface mounting machine according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to Figs. 1, 3, 11, and 12. Fig. In the second embodiment, unlike the first embodiment in which the second error data H is obtained by picking up the
또한, 제 2 실시형태에 의한 표면 실장기(200)(도 1 참조)의 장치 구성은 상기 제 1 실시형태와 마찬가지이므로 설명을 생략한다. 표면 실장기(200)는 본 발명의 「전자 부품 실장 장치」의 일례이다.The configuration of the surface seal organ 200 (see Fig. 1) according to the second embodiment is the same as that of the first embodiment, and thus the description thereof is omitted. The surface mount 200 is an example of the "electronic component mounting apparatus" of the present invention.
제 2 실시형태에 있어서의 제 2 오차 테이블(7b)의 작성 방법에 대해서 설명한다. 또한, 제 1 오차 테이블(7a)에 대해서는 상기 제 1 실시형태와 마찬가지로 해서 미리 작성되고, 기억부(72)[보정용 데이터 기억부(72b)]에 기억되어 있는 것으로 한다. 또한, 1번째의 탑재 헤드(23a)[오프셋 간격(L1)]에 있어서의 회전 각도 0°의 제 2 오차 데이터(ΔH)의 취득을 예로 들어서 설명한다.A method of creating the second error table 7b in the second embodiment will be described. The first error table 7a is prepared in advance in the same manner as in the first embodiment, and is stored in the storage section 72 (correction
우선, 도 11(a)에 나타내는 바와 같이 연산 처리부(171)(도 3 참조)는 기판 카메라(22)를 목표 위치 좌표(P11)로부터 오프셋 간격(L1)만큼 이동시킨 위치(Ph)에서 탑재 헤드(23a)에 의해 지그 부품(110)을 프린트 기판(1)(또는 지그 플레이트)에 탑재시킨다. 이때, 제 1 오차 테이블(7a)을 사용한 기판 카메라(22)의 위치 보정은 행하지 않는다. 이 때문에, 기판 카메라(22)의 촬상 중심(Ch)은 위치(Ph)에 대하여 어긋난 위치에 배치된다. 이때, 탑재 헤드(23a)의 위치(H11)[부품 중심(J)]는 위치(Ph)에 대한 촬상 중심(Ch)의 위치 어긋남{제 1 오차 데이터[ΔCh(ΔCX11 - L1, ΔCYl1)에 상당]}과, 오프셋 간격(L1)만큼 이동한 위치 좌표(Ph)에 있어서의 탑재 헤드(23a)의 위치 어긋남[제 2 오차 데이터(ΔH)에 상당]의 양쪽의 위치 어긋남에 의해 목표 위치 좌표(P11)에 대하여 어긋난 위치에 배치된다. 연산 처리부(171)는 본 발명의 「제어부」의 일례이다.First, the calculation processing unit 171. As shown in Fig. 11 (a) (see Fig. 3) is mounted at an offset distance (L1) position (Ph) is moved by from the
이어서, 연산 처리부(171)는 기판 카메라(22)를 목표 위치 좌표(P11)로 이동시켜서 지그 부품(110)을 촬상시킨다. 이때에도 제 1 오차 테이블(7a)을 사용한 기판 카메라(22)의 위치 보정은 행하지 않는다. 이 때문에, 도 11(b)에 나타내는 바와 같이 목표 위치 좌표(P11)로 이동시킨 기판 카메라(22)의 촬상 중심(C)은 목표 위치 좌표(P11)로부터 벗어난 위치에 배치된다. 얻어진 촬상 화상으로부터 지그 부품(110)의 부품 중심(J)과 촬상 중심(C) 사이의 위치 어긋남(D1)이 취득된다. 여기에서, 목표 위치 좌표(P11)와 촬상 중심(C) 사이의 위치 어긋남(D2)은 제 1 오차 테이블(7a)의 제 1 오차 데이터[ΔC1(ΔCX11, ΔCY11)]이다. 이 때문에, D1과 D2에 의거하여 목표 위치 좌표(P11)와 부품 중심(J) 사이의 위치 어긋남(D3)이 취득된다.Subsequently, the arithmetic processing unit 171 moves the
여기에서, 목표 위치 좌표(P11)로부터 오프셋 간격(L1)만큼 이동시킨 위치(Ph)와 촬상 중심(Ch) 사이의 위치 어긋남[ΔCh(ΔCX11 - L1, ΔCY11)]은 제 1 오차 테이블(7a)로부터 취득(또는 보간법에 의해 산출)할 수 있다. 촬상 중심(Ch)에 위치 어긋남(제 1 오차 데이터)(ΔCh)을 가산하면 촬상 중심(Ch)은 위치(Ph)와 일치하고, 그때의 탑재 헤드(23a)의 위치는 도 11(c)에 나타낸 바와 같이 Hh가 된다.Here, the target location coordinates (P 11) located to move by an offset distance (L1) from (Ph) and an imaging center of the displacement between the (Ch) [ΔCh (ΔCX 11 - L1, ΔCY 11)] is the first error table (Or can be calculated by an interpolation method). The imaging center Ch coincides with the position Ph and the position of the mounting
위치(Hh)와 위치(H11) 사이의 간격은 위치 어긋남(ΔCh)과 일치하고, 도 11(d)에 나타내는 바와 같이 위치 어긋남(ΔCh)과 위치 어긋남(D3)에 의거하여 위치(Hh)와 목표 위치 좌표(P11) 사이의 위치 어긋남(D4)을 취득할 수 있다. 이 위치 어긋남(D4)이 목표 위치 좌표(P11)에 있어서의 제 2 오차 데이터[ΔH(ΔHX11 (0), ΔHY11(0))]가 된다.Where the spacing between (Hh) and the position (H 11) is the displacement (ΔCh) position (Hh) on the basis of the position deviation (ΔCh) and the displacement (D3) as consistent and as shown in Figure 11 (d) and and it is possible to obtain the position gap (D4) between the target location coordinates (P 11). The positional deviation (D4) is a second error data [ΔH (ΔHX 11 (0) , ΔHY 11 (0))] in the target location coordinates (P 11).
도 11(d)로부터 분명하게 나타내는 바와 같이, 제 1 오차 데이터[ΔC1(ΔCX11-L1, ΔCY11)]를 이용하여 위치(Ph)에 기판 카메라(22)을 배치한 상태[탑재 헤드(23a)의 위치(Hh)]로부터, 또한 제 2 오차 데이터[ΔH(ΔHX11 (0), ΔHY11 (0))]를 이용하여 기판 카메라(22)의 위치를 보정하면 탑재 헤드(23a)를 정확하게 부품 실장 위치[M(P11)]에 배치할 수 있다.As is shown clearly from 11 (d), the first error data [ΔC1 (ΔCX 11-L1, ΔCY 11)] by the [placement head (23a place the
연산 처리부(171)는 상기 방법을 이용하여 복수의 목표 위치 좌표(P11∼Pmn) 및 복수의 회전 각도(0°, 90°, 180°, 270°)마다 탑재 헤드[23(23a∼23f)]에 의한 탑재와 기판 카메라(22)에 의한 촬상을 실시함으로써 제 2 오차 테이블(7b)을 작성하도록 구성되어 있다.The calculation processing unit 171 includes a plurality of target position coordinates using the method (P 11 ~P mn) and the placement head in each of the plurality of rotational angle (0 °, 90 °, 180 °, 270 °) [23 (23a~23f )] And the
이어서, 도 12를 참조하여 제 2 실시형태의 표면 실장기(200)에 의한 제 2 오차 테이블(7b)을 작성할 때의 연산 처리부(171)의 제어 처리를 설명한다. 상기 제 1 실시형태와 같이, 여기에서는 1번째의 탑재 헤드(23a)부터 순서대로, 또한 회전 각도 0°부터 순서대로 제 2 오차 데이터(ΔH)를 취득하는 예에 대해서 설명한다.Next, the control processing of the arithmetic processing unit 171 at the time of creating the second error table 7b by the surface mount organ 200 according to the second embodiment will be described with reference to Fig. As in the first embodiment, an example of obtaining the second error data? H in this order from the first mounting
도 12에 나타내는 바와 같이, 우선 스텝S31에 있어서 탑재 헤드(23a)에 지그 부품(110)을 흡착시키고, 임의의(제 1점째의) 목표 위치 좌표(P11)로부터 기판 카메라(22)를 오프셋 간격(L1)만큼 X방향으로 이동시킨 위치(Ph)에서 부품 탑재를 행한다. 이때, 상기한 바와 같이 제 1 오차 테이블(7a)을 사용한 기판 카메라(22)의 위치 보정은 행하지 않는다. 또한, 탑재 헤드(23a)에 지그 부품(110)을 흡착시킨 상태에서는 탑재 헤드(23a) 중심과 지그 부품(110)은 일치하고, 또한 회전 방향도 소정의 각도가 되도록 한다.As shown in Fig. 12, first, to adsorb the
이어서, 스텝S32에 있어서 제 1 오차 테이블(7a)을 사용한 기판 카메라(22)의 위치 보정은 행하지 않고 목표 위치 좌표(P11)의 상방으로 기판 카메라(22)를 이동시키고, 스텝S31에서 탑재된 지그 부품(110)을 기판 카메라(22)에 의해 촬상한다.Then, the movement of the
스텝S33에서는 연산 처리부(171)는 촬상 화상으로부터 지그 부품(110)의 부품 중심(J)과 촬상 중심(C) 사이의 위치 어긋남(D1), 지그 부품(110)의 각도 변화(Δα)를 취득하고, 위치 어긋남(D1)과 제 1 오차 테이블(7a)의 제 1 오차 데이터[ΔC1(ΔCX11, ΔCY11) 및 ΔCh(ΔCX11 - L1, ΔCY11)]에 의거하여 제 2 오차 데이터{ΔC2[ΔH(ΔHX11 (0), ΔHY11 (0)), Δα11(0)]}를 취득한다.In step S33, the arithmetic processing unit 171 obtains the positional deviation D1 between the center of the component J and the center of gravity C of the
제 2 오차 데이터[ΔC2(ΔH, Δα)]가 취득되면 스텝S34로 진행되고, 모든 측정점[목표 위치 좌표(P11∼Pmn)]에 대해서 측정이 종료되었는지의 여부가 판단된다. 측정이 모두 종료되어 있지 않을 경우에는 스텝S35로 진행된다. 스텝S35에서는 이미 목표 위치 좌표에 탑재된 지그 부품(110)을 탑재 헤드(23a)에서 흡착한다. 이때, 탑재 헤드(23a)에 지그 부품(110)을 흡착시킨 상태에서 탑재 헤드(23a) 중심과 지그 부품(110)은 일치하고, 또한 회전 방향도 소정의 각도가 되도록 하기 위해서 스텝S31에서 지그 부품(110)을 목표 위치 좌표에 탑재했을 때의 탑재 헤드(23a)의 위치(X축 Y축에 있어서의 각 인코더 상의 위치), 탑재 헤드(23a)의 회전 각도를 각각 기억해 두고, 헤드 유닛(20)의 X축 서보 모터, Y축 서보 모터, 및 탑재 헤드(23a)의 R축 서보 모터를 사용하여 그 위치를 재현하도록 한다. 흡착 후, 측정점(P11)으로부터 미리 설정된 소정량만큼 이동한 측정점[이 경우, 예를 들면 목표 위치 좌표(P12)]에 대하여 기판 카메라(22)를 오프셋 간격(L1)만큼 X방향으로 이동시킨 위치(Ph)에서 부품 탑재를 행한다[제 1 오차 테이블(7a)에 의한 보정 없음]. 그리고, 다음 측정점에 대해서 스텝S32 및 S33이 실행된다. 이에 따라, 모든 측정점[목표 위치 좌표(P11∼Pmn)]에 대해서 제 2 오차 데이터[ΔC2(ΔH, Δα)]가 취득된다.When the second error data [Delta] C2 ([Delta] H, [Delta]) is acquired, the process proceeds to step S34 and it is determined whether or not the measurement has been completed for all measurement points (target position coordinates P 11 to P mn ). If all of the measurements have not been completed, the flow proceeds to step S35. In step S35, the
이후의 스텝S36∼S40의 처리는 상기 제 1 실시형태의 스텝S7∼S11과 마찬가지이므로 설명을 생략한다. 이상과 같이 하여, 제 2 실시형태에 의한 제 2 오차 테이블(7b)을 작성할 때의 제어 처리가 행해진다.The subsequent steps S36 to S40 are the same as the steps S7 to S11 of the first embodiment, and the description thereof will be omitted. As described above, control processing is performed when the second error table 7b according to the second embodiment is created.
제 2 실시형태에서는 상기한 바와 같이, 기판 카메라(22)를 목표 위치 좌표[P(P11∼Pmn)]로부터 오프셋 간격(L1∼L6)만큼 이동시킨 위치에서 탑재 헤드(23)에 의해 지그 부품(110)을 기판에 탑재시킨 후, 기판 카메라(22)를 목표 위치 좌표(P)로 이동시켜서 지그 부품(110)을 촬상시킴으로써 촬상 중심(C)에 대한 지그 부품(110)의 부품 중심(J)의 위치 어긋남(D1)을 인식하고, 위치 어긋남(D1)에 의거하여 제 2 오차 데이터(ΔH)를 취득하고, 지그 부품(110)의 각도 변화에 의해 제 2 오차 데이터(Δα)를 취득하도록 연산 처리부(171)를 구성한다. 그리고, 복수의 목표 위치 좌표(P11∼Pmn) 및 복수의 회전 각도(0°, 90°, 180°, 270°)마다 탑재 헤드(23)에 의한 탑재와 기판 카메라(22)에 의한 촬상을 실시함으로써 제 2 오차 테이블(7b)을 작성하도록 연산 처리부(171)를 구성한다. 이에 따라, 용이하게 오프셋 간격의 이동을 고려한 제 2 오차 데이터(ΔH)를 취득할 수 있다. 그리고, 복수의 회전 각도마다의 탑재와 기판 카메라(22)에 의한 촬상을 반복하는 것만으로 용이하게 목표 위치 좌표(P11∼Pmn)에 있어서의 복수의 회전 각도마다의 회전에 기인하는 제 2 오차 테이블(7b)의 작성을 행할 수 있다.In the second embodiment, as described above, the
제 2 실시형태의 그 밖의 효과는 상기 제 1 실시형태와 마찬가지이다.Other effects of the second embodiment are similar to those of the first embodiment.
(제 3 실시형태)(Third Embodiment)
이어서, 도 1, 도 3, 도 13 및 도 14를 참조하여 본 발명의 제 3 실시형태에 의한 표면 실장기에 대해서 설명한다. 이 제 3 실시형태에서는 제 1 오차 테이블(7a)에 의한 보정 없음이 탑재한 지그 부품(110)을 기판 카메라(22)에 의해 촬상함으로써 제 2 오차 데이터[ΔC2(ΔH, Δα)]를 취득한 상기 제 2 실시형태와 달리, 제 1 오차 테이블(7a)에 의한 보정을 행해서 탑재한 지그 부품(110)을 기판 카메라(22)에 의해 촬상함으로써 제 2 오차 데이터[ΔC2(ΔH, Δα)]를 취득하도록 구성한 예에 대해서 설명한다.Next, a surface mounting machine according to a third embodiment of the present invention will be described with reference to Figs. 1, 3, 13, and 14. Fig. In the third embodiment, the
또한, 제 3 실시형태에 의한 표면 실장기(300)(도 1 참조)의 장치 구성은 상기 제 1 실시형태와 마찬가지이므로 설명을 생략한다. 표면 실장기(300)는 본 발명의 「전자 부품 실장 장치」의 일례이다.The configuration of the surface seal organ 300 (see Fig. 1) according to the third embodiment is the same as that of the first embodiment, and the description is omitted. The surface mount 300 is an example of the "electronic component mounting apparatus" of the present invention.
제 3 실시형태에 있어서의 제 2 오차 테이블(7b)의 작성 방법에 대해서 설명한다.A method of creating the second error table 7b in the third embodiment will be described.
우선, 도 13(a)에 나타내는 바와 같이 연산 처리부(271)(도 3 참조)는 기판 카메라(22)를 목표 위치 좌표(P11)로부터 오프셋 간격(L1)만큼 이동시킨 위치(Ph)에서 탑재 헤드(23a)에 의해 지그 부품(110)을 프린트 기판(1)(또는 지그 플레이트)에 탑재시킨다. 이때, 연산 처리부(271)는 제 1 오차 테이블(7a)로부터 제 1 오차 데이터[ΔCh(ΔCX11 - L1, ΔCY11)]를 취득(또는 보간법에 의해 산출)함으로써 기판 카메라(22)의 위치 좌표의 보정을 행한다. 이 결과, 촬상 중심(Ch)은 위치(Ph)에 정확하게 일치한다. 이때, 탑재 헤드(23a)의 위치{H11[부품 중심(J)]}는 오프셋 간격(L1)만큼의 이동 후의 위치(Ph)에 있어서의 탑재 헤드(23a)의 위치 어긋남[제 2 오차 데이터(ΔH)]에 의해 목표 위치 좌표(P11)에 대하여 어긋난 위치에 배치된다. 연산 처리부(271)는 본 발명의 「제어부」의 일례이다.First, FIG. 13 As shown in (a) calculation processing unit 271 (see Fig. 3) is mounted at an offset distance (L1) position (Ph) is moved by from the
이어서, 연산 처리부(271)는 기판 카메라(22)를 목표 위치 좌표(P11)로 이동시켜서 지그 부품(110)을 촬상시킨다. 이 때에도 연산 처리부(271)는 제 1 오차 테이블(7a)로부터 제 1 오차 데이터[ΔC1(ΔCX11, ΔCY11)]를 취득함으로써 기판 카메라(22)의 위치 좌표의 보정을 행한다. 이 결과, 촬상 중심(C)은 도 13(b)에 나타내는 바와 같이 목표 위치 좌표(P11)에 정확하게 일치한다.Subsequently, the arithmetic processing unit 271 moves the
그리고, 연산 처리부(271)는 얻어진 촬상 화상으로부터 도 13(c)에 나타내는 바와 같이 지그 부품(110)의 부품 중심(J)과 촬상 중심(C) 사이의 위치 어긋남(D1)을 취득한다. 이에 따라, 연산 처리부(271)는 얻어진 위치 어긋남(D1)을 목표 위치 좌표(P11)에 있어서의 제 2 오차 데이터[ΔH(ΔHX11 (0), ΔHY11 (0))]로서 취득한다.The arithmetic processing unit 271 then obtains the positional deviation D1 between the center of the component J and the center of gravity C of the
도 13(c)로부터 분명하게 나타내는 바와 같이, 제 1 오차 데이터[ΔC1(ΔCX11-L1, ΔCY11)]를 이용하여 위치(Ph)에 기판 카메라(22)를 배치한 상태[탑재 헤드(23a)의 위치(H11)]로부터, 또한 제 2 오차 데이터[ΔH(ΔHX11 (0), ΔHY11 (0))]를 이용하여 기판 카메라(22)의 위치를 보정하면 탑재 헤드(23a)를 정확하게 부품 실장 위치[M(P11)]에 배치할 수 있다.As is shown clearly from 13 (c), the first error data [ΔC1 (ΔCX 11-L1, ΔCY 11)] placed the
그리고, 연산 처리부(271)는 상기 방법을 이용하여 복수의 목표 위치 좌표(P11∼Pmn) 및 복수의 회전 각도(0°, 90°, 180°, 270°)마다 탑재 헤드[23(23a∼23f)]에 의한 탑재와 기판 카메라(22)에 의한 촬상을 실시함으로써 제 2 오차 테이블(7b)을 작성하도록 구성되어 있다.Then, the calculation processing unit 271 includes a plurality of target position coordinates using the method (P 11 ~P mn) and the placement head in each of the plurality of rotational angle (0 °, 90 °, 180 °, 270 °) [23 (
이어서, 도 14를 참조하여 제 3 실시형태의 표면 실장기(300)에 의한 제 2 오차 테이블(7b)을 작성할 때의 연산 처리부(271)의 제어 처리를 설명한다. 상기 제 1 실시형태와 마찬가지로, 여기에서는 1번째의 탑재 헤드(23a)부터 순서대로, 또한 회전 각도 r=0°부터 순서대로 제 2 오차 데이터(ΔH)를 취득하는 예에 대해서 설명한다.Next, the control processing of the arithmetic processing unit 271 when creating the second error table 7b by the surface mount organ 300 according to the third embodiment will be described with reference to Fig. In the same manner as the first embodiment, an example of obtaining the second error data? H in this order from the first mounting
도 14에 나타내는 바와 같이, 우선 스텝S51에 있어서 연산 처리부(271)는 탑재 헤드(23a)에 지그 부품(110)을 흡착시키고, 임의의(제 1점째의) 목표 위치 좌표(P11)로부터 기판 카메라(22)를 오프셋 간격(L1)만큼 X방향으로 이동시킨 위치(Ph)에서 부품 탑재를 행한다. 이때, 제 1 오차 테이블(7a)을 사용한 기판 카메라(22)의 위치 보정을 행함으로써 위치(Ph)에 기판 카메라(22)의 촬상 중심(Ch)이 위치하는 상태에서 부품 탑재가 행해진다.As shown in Fig. 14, first, in step S51 arithmetic processing unit 271 to adsorb the
이어서, 스텝S52에 있어서 연산 처리부(271)는 제 1 오차 테이블(7a)을 사용한 기판 카메라(22)의 위치 보정을 행하고, 목표 위치 좌표(P11)로 기판 카메라(22)의 촬상 중심(C)을 이동시켜서 스텝S31에서 탑재된 지그 부품(110)을 기판 카메라(22)에 의해 촬상한다.Then, in step S52 arithmetic processing unit 271 is the image pickup center of the first error table (7a)
스텝S53에서는 연산 처리부(271)는 촬상 화상으로부터 지그 부품(110)의 부품 중심(J)과 촬상 중심(C) 사이의 위치 어긋남(D1)을 취득하고, 위치 어긋남(D1)에 의거하여 제 2 오차 데이터[ΔH(ΔHX11 (0), ΔHY11 (0))]를 취득한다. 또한, 촬상 화상으로부터 지그 부품(110)의 각도 변화에 의거하여 제 2 오차 데이터[Δα(Δα11(0))]를 취득한다.In step S53, the arithmetic processing unit 271 obtains a positional deviation D1 between the center of the object J and the center of gravity C of the
제 2 오차 데이터[ΔC2(ΔH, Δα)]가 취득되면 스텝S54로 진행되고, 모든 측정점[목표 위치 좌표(P11∼Pmn)]에 대해서 측정이 종료된 것인지의 여부가 판단된다. 측정이 모두 종료되어 있지 않을 경우에는 스텝S55로 진행된다. 스텝S55에서는 측정점[목표 위치 좌표(P11)]으로부터 미리 설정된 소정량만큼 이동한 측정점[이 경우, 예를 들면 목표 위치 좌표(P12)]에 대하여 기판 카메라(22)를 오프셋 간격(L1)만큼 X방향으로 이동시킨 위치(Ph)에서 부품 탑재를 행한다[제 1 오차 테이블(7a)에 의한 보정 있음]. 그리고, 다음 측정점에 대해서 스텝S52 및 S53이 실행된다. 스텝S52∼S55이 반복됨으로써 모든 측정점[목표 위치 좌표(P11∼Pmn)]에 대해서 제 2 오차 데이터[ΔC2(ΔH, Δα)]가 취득된다.When the second error data [Delta] C2 ([Delta] H, [Delta]) is acquired, the process proceeds to step S54, and it is determined whether or not the measurement has been completed for all measurement points (target position coordinates P 11 to P mn ). If all of the measurements have not been completed, the process proceeds to step S55. At step S55 the measurement points [target location coordinates (P 11)] a preset movement by a predetermined amount from the measuring point - in this case, for example, the target location coordinates (P 12)] to offset the
이후의 스텝S56∼S60의 처리는 상기 제 2 실시형태의 스텝S36∼S40과 마찬가지이므로 설명을 생략한다. 이상과 같이 하여, 제 3 실시형태에 의한 제 2 오차 테이블(7b)을 작성할 때의 제어 처리가 행해진다.The subsequent steps S56 to S60 are the same as the steps S36 to S40 of the second embodiment, and a description thereof will be omitted. As described above, control processing is performed when the second error table 7b according to the third embodiment is created.
제 3 실시형태에서도 상기 제 2 실시형태와 마찬가지로, 용이하게 오프셋 간격의 이동을 고려한 제 2 오차 데이터(ΔH)를 취득할 수 있다. 그리고, 복수의 회전 각도마다의 탑재와 기판 카메라(22)에 의한 촬상을 반복하는 것만으로 용이하게 목표 위치 좌표(P11∼Pmn)에 있어서의 복수의 회전 각도(0°, 90°, 180°, 270°)마다의 회전에 기인하는 제 2 오차 테이블(7b)의 작성을 행할 수 있다.In the third embodiment, similarly to the second embodiment, it is possible to easily obtain the second error data H considering the shift of the offset interval. Then, with the
제 3 실시형태의 그 밖의 효과는 상기 제 1 실시형태와 마찬가지이다.The other effects of the third embodiment are similar to those of the first embodiment.
또한, 이번에 개시된 실시형태는 모든 점에서 예시이며, 제한적인 것은 아니라고 생각되어야 한다. 본 발명의 범위는 상기한 실시형태의 설명이 아니라 특허청구범위에 의해 나타내어지고, 또한 특허청구범위와 균등한 의미 및 범위 내에서의 모든 변경이 포함된다.Furthermore, the embodiments disclosed herein are to be considered in all respects as illustrative and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the appended claims rather than by the description of the embodiments, and includes all modifications within the meaning and range equivalent to the claims.
예를 들면, 상기 제 1∼제 3 실시형태에서는 복수(6개)의 탑재 헤드(23)가 X축 방향으로 일렬로 배치된 헤드 유닛(20)을 이동시킬 때에 본 발명을 적용한 예에 대해서 나타냈지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 예를 들면, 탑재 헤드(23)의 하면측에 원환 형상으로 배치된 복수의 탑재 헤드(23)를 구비한 로터리형 헤드 유닛을 이동시킬 때에 본 발명을 적용해도 좋다. 또한, 로터리형 헤드 유닛에서는 원환 형상으로 배치된 탑재 헤드(23)가 헤드 유닛의 하면측에서 수평 방향으로 순환 이동되어서 각각의 탑재 헤드(23)의 작업 위치가 변경된다. 이 경우에도 기판 카메라(22)와 개개의 탑재 헤드(23)의 오프셋 간격 및 탑재 헤드의 회전 각도를 고려하여 제 2 오차 테이블을 작성하면 좋다.For example, in the first to third embodiments described above, an example in which the present invention is applied when a plurality of (six) mounting
또한, 상기 제 1∼제 3 실시형태에서는 헤드 유닛에 6개의 탑재 헤드를 설치한 구성의 예를 나타냈지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 탑재 헤드의 수는 몇개라도 좋다.In the first to third embodiments, the example in which six mounting heads are provided in the head unit is shown, but the present invention is not limited to this. The number of mounting heads may be any number.
또한, 상기 제 1∼제 3 실시형태에서는 기대(5) 상에 설치된 적어도 2개소로 되는, 예를 들면 6개소의 기준 마크(50a∼50f)를 기판 카메라(22)로 촬상함으로써 제 1 오차 테이블(7a)을 작성했지만, 제 1 오차 테이블(7a)은 도 5에 나타내는 바와 같은 유리제의 지그 플레이트(105)를 이용하여 작성해도 좋다.In the first to third embodiments, the
이 지그 플레이트(105)의 표면에는 서로 직교하는 방향(X축 및 Y축 방향)을 따라 m행 n열의 격자 형상으로 부착된 복수(m×n개)의 기준 마크[R(R11∼Rmn)]가 인쇄되어 있다. 우선, 프린트 기판(1) 대신에 지그 플레이트(105)를 컨베이어부(11)에 적재하여 소정의 위치에서 고정한 후, 헤드 유닛(20)을 이동시키고 기판 카메라(22)(도 2 참조)를 사용해서 개개의 기준 마크[R(R11∼Rmn)]를 순차적으로 촬상한다.A plurality of (m x n) reference marks R (R 11 to R mn ) attached in the form of a matrix of m rows and n columns in a direction orthogonal to each other (X axis and Y axis direction) )] Is printed. First, instead of the printed
얻어진 화상으로부터 촬상된 기준 마크(R)로부터의 어긋남량을 구한다. 구체예를 들어서 설명하면, 예를 들면 지지부(30)(X축) 및 이동 기구부(40)(Y축)를 구동해서 기판 카메라(22)의 촬상 중심(C)을 제어 프로그램상에서의 기준 마크(R11)의 좌표[P11(X11, Y11)]로 이동시켰다고 한다. 이때, 기준 마크(R11)의 좌표[P11(X11, Y11)]에 대한 기판 카메라(22)의 촬상 중심(C)의 어긋남량이 촬상 화상에 있어서의 촬상 중심(C)과 기준 마크(R11) 사이의 거리(ΔCX11, ΔCY11)로서 구해진다. 이에 따라, 목표 위치 좌표(P11)[1번째의 기준 마크(R11)의 좌표]에 있어서의 제 1 오차 데이터(ΔC1)가 취득된다. 이 제 1 오차 데이터[ΔC1(ΔCX11, ΔCY11)]를 목표 인코더 출력값{제어 프로그램상에서의 좌표[P11(X11, Y11)]에 대응하는 인코더 출력값}에 가미함으로써 기판 카메라(22)을 정확하게 좌표[P11(X11, Y11)]로 이동시키는 것이 가능해진다.And obtains the shift amount from the reference mark R picked up from the obtained image. The imaging center C of the
이와 같은 제 1 오차 데이터(보정량)의 산출을 격자 형상으로 부착된 복수(m×n개)의 기준 마크[R(R11∼Rmn)]에 대해서 축차적으로 행한다. 이에 따라, 도 6에 나타내는 바와 같이 m×n개의 제 1 오차 데이터(ΔC1)로 이루어지는 m행 n열의 매트릭스 형상의 제 1 오차 테이블(7a)이 작성된다. 또한, 각 기준 마크(R11∼Rmn) 사이의 위치 좌표에 대해서는 그 위치 좌표에 인접하는 몇개의 기준 마크(R)에 대응하는 제 1 오차 데이터(ΔC1)로부터 공지의 보간법을 이용하여 보정량을 산출할 수 있다. 이에 따라, 기판 카메라(22)를 임의의 위치 좌표에 정확하게 위치 부여하는 것이 가능하다.The calculation of the first error data (correction amount) is performed for the plurality of (m x n) reference marks R (R 11 to R mn ) attached in a lattice pattern. Thus, as shown in Fig. 6, a first error table 7a in the form of a matrix of m rows and n columns composed of m 占 n first error data? C1 is created. For the position coordinates between the reference marks R 11 to R mn , the correction amount is calculated from the first error data (? C1) corresponding to several reference marks (R) adjacent to the position coordinates using a known interpolation method Can be calculated. Thus, it is possible to precisely position the
또한, 상기 제 1∼제 3 실시형태의 변형예로서 유리제의 지그 플레이트(105)를 사용하고, m행 n열의 격자 형상의 측정점(목표 좌표 위치)에서의 제 1 오차 데이터(ΔC1) 및 제 2 오차 데이터[ΔC2(ΔH, Δα)]를 취득해서 제 1 오차 테이블 및 제 2 오차 테이블을 작성하는 예를 나타냈지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 본 발명에서는, 예를 들면 X축 및 Y축에 대한 축마다의 오차 데이터만을 취득해도 좋다. 즉, X축에 대해서는 도 5(도 7)의 1행(P11∼P1n)의 측정점만으로 오차 데이터를 취득하고, Y축에 대해서는 도 5(도 7)의 1열(P11∼Pm1)의 측정점만으로 오차 데이터를 취득해도 좋다. 이때, 오차 테이블은 X축에 대해서 1행 n열의 n개의 오차 데이터와, Y축에 대해서 m행 1열의 m개의 오차 데이터를 포함하는 테이블이 된다. 이 경우에도 X축 좌표에 대한 오차 데이터와, Y축 좌표에 대한 오차 데이터의 합성에 의해 임의의 위치 좌표의 보정값을 취득하는 것이 가능하고, 또한 오차 데이터의 측정점 수를 적게 할 수 있으므로 제 1 및 제 2 오차 테이블의 작성 처리 시간의 단축이나 오차 테이블의 데이터량의 축소를 도모할 수 있다.As a modification of the first to third embodiments, a
이 밖에 m행 n열의 격자 형상의 측정점(목표 좌표 위치)에서 제 1 오차 데이터(ΔC1) 및 제 2 오차 데이터(ΔC2) 중의 ΔH를 취득하고, 이들 오차 데이터로부터 X축(1행 n열의 n개의 오차 데이터) 및 Y축(m행×1열의 m개의 오차 데이터)의 2축분의 오차 테이블을 작성해도 좋다. 이 경우, 예를 들면 X축의 1열째의 오차 데이터에 대해서는 1열째의 m개의 측정점(P11∼Pm1)의 평균값을 취하고, 각각 열마다의 평균값에 의해 X축의 n열(n개)의 오차 데이터를 작성한다. Y축도 마찬가지로 행마다의 평균값에 의해 m행(m개)의 오차 데이터를 작성한다. 오차 테이블은 X축에 대해서 1행 n열의 n개의 오차 데이터와, Y축에 대해서 m행 1열의 m개의 오차 데이터를 포함하는 테이블이 된다. 이 경우에는 오차 테이블에 포함되는 각 오차 데이터를 복수회의 측정의 평균값으로 할 수 있으므로, 단순하게 2축분의 측정만을 행하는 경우보다 오차 데이터의 정밀도를 향상시키는 것이 가능하다.In addition, ΔH in the first error data (ΔC1) and the second error data (ΔC2) are obtained at the measurement point (target coordinate position) of the grid shape of m rows and n columns. From these error data, the X axis Error data) and the Y-axis (m number of m number of error data). In this case, for example, the average value of the m measurement points (P 11 to P m1 ) in the first row is taken as the first-column error data on the X axis, and the error of the n columns (n) Create the data. Likewise, on the Y axis, m rows (m pieces) of error data are generated by an average value for each row. The error table is a table that includes n error data of one row and n columns with respect to the X axis and m error data of m rows and one column of the Y axis. In this case, since each error data included in the error table can be an average value of a plurality of measurements, it is possible to improve the accuracy of the error data compared with the case of performing only the measurement of only two axes.
또한, 상기 제 1∼제 3 실시형태에서는 제 2 오차 테이블을 작성할 때의 격자 형상의 측정점도 m행 n열로서 설명했지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 측정점의 수는 프린트 기판 상의 임의의 위치 좌표의 보정값을 산출하기에 충분한 수의 측정점이면 좋다.In the first to third embodiments, the measurement points of the grid shape at the time of creating the second error table have been described as m rows and n columns, but the present invention is not limited to this. The number of measurement points may be a sufficient number of measurement points for calculating correction values of arbitrary position coordinates on the printed board.
또한, 상기 제 1∼제 3 실시형태에서는 각 탑재 헤드(23)에 대하여 각각 4각도(r=0°, 90°, 180°, 270°)에서 제 2 오차 데이터(ΔH)를 취득하여 제 2 오차 테이블(7b)을 작성한 예를 나타냈지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 본 발명에서는 2각도(0°, 180°)나 3각도(0°, 120°, 240°) 등의 4각도 이외의 다른 복수 각도에서 제 2 오차 테이블을 작성해도 좋다.In the first to third embodiments, the second error data (? H) is obtained at four angles (r = 0, 90, 180, 270) An example of creating the error table 7b has been shown, but the present invention is not limited to this. In the present invention, the second error table may be formed at a plurality of angles other than four angles, such as two angles (0 DEG, 180 DEG) and three angles (0 DEG, 120 DEG, 240 DEG).
또한, 상기 제 1∼제 3 실시형태에서는 헤드 유닛(20)을 X축 방향, Y축 방향으로 이동시키고, 탑재 헤드(23)를 Z축 방향으로 이동시키는 장치로서 볼나사축, 볼너트, 볼나사축을 회전 구동하는 서보 모터, 모터의 회전량을 검출하는 인코더로 이루어지는 구동 장치를 각각 사용하고 있다. 그러나, 이 타입의 각 구동 장치 대신에 각각 리니어 모터를 사용해도 좋다. 리니어 모터의 경우, 가동자측에 설치한 위치 센서가 고정자측에 설치한 리니어 스케일에 있어서의 위치를 판독함으로써 인코더와 마찬가지로 가동자의 위치를 검지하도록 한다. 리니어 모터의 경우에도 고정자측의 신장이나 가동자를 가이드하는 레일의 굴곡이 발생하고, 가동자가 부착된 헤드 유닛이 수평 방향으로 위치 어긋남되고, 헤드 유닛에 경사가 발생하므로 제 1 오차 테이블과 제 2 오차 테이블을 이용하여 올바른 소정의 수평 방향 위치, 또한 올바른 소정의 실장 방향인 올바른 실장 위치에서 전자 부품(2)을 기판에 탑재할 수 있다.In the first to third embodiments, the apparatus for moving the
또한, 상기 제 1∼제 3 실시형태에서는 헤드 유닛(20)에 복수의 탑재 헤드(23)가 설치된 경우에 대해서 기재했지만, 탑재 헤드(23)의 회전 중심축의 진동 회전을 거의 무시할 수 있을 경우에는 1개 또는 복수의 탑재 헤드가 설치된 경우에 있어서 1개 또는 복수의 탑재 헤드에 대응하고, 기판 카메라(22)에서 복수의 목표 위치 좌표를 촬상해서 얻어지는 제 1 오차 테이블과, 복수의 위치 좌표에서 탑재 헤드(23)의 각도 0°에 있어서만 실장 또는 흡착된 부품을 탑재 헤드(23)의 회전 중심축의 Z축에 대하여 경사의 유무에 상관없이 촬상해서 얻어지는 제 2 오차 데이터(ΔH)만으로 이루어지는 제 2 오차 테이블로부터 대응하는 탑재 헤드를 소정의 목표 실장 위치에 소정의 목표 부품 각도로 탑재함에 있어서, 소정의 목표 실장 위치에 대응하는 제 1 오차 데이터(ΔC1)와 제 2 오차 데이터(ΔH)를 구하고, 이들 제 1 오차 데이터(ΔC1)와 제 2 오차 데이터(ΔH)에 의거하여 1개 또는 복수개의 탑재 헤드에 대응해서 실장 위치(부품 중심 위치)를 보정하도록 해도 좋다. 이에 따라, 탑재 헤드의 회전 중심축의 Z축에 대한 경사에 기인하는 수평 방향의 위치 어긋남을 포함해서 적어도 헤드 유닛(20)의 경사에 기인하는 위치 어긋남을 해소할 수 있다. 특히, 기판 카메라와 탑재 헤드의 오프셋 간격이 클 경우에는 헤드 유닛의 수평 방향의 경사에 의한 목표 실장 위치에 대한 전자 부품의 수평 방향의 위치 어긋남도 커지므로, 수평 방향이 높은 실장 위치 정밀도가 요구되는 전자 부품에 대해서는 적어도 수평 방향의 위치 어긋남을 보정하도록 하면 좋다. 또한, 탑재 헤드(23)의 회전 중심축의 진동 회전을 거의 무시할 수 있을 경우에는 탑재 헤드(23)의 각도에 상관없이 소정의 목표 실장 위치에 대응하는 제 2 오차 데이터(ΔH)는 변화되지 않는다.In the first to third embodiments described above, a plurality of mounting
마찬가지로, 탑재 헤드(23)의 회전 중심축의 진동 회전을 거의 무시할 수 있을 경우이며, 헤드 유닛(20)에 1개 또는 복수개의 탑재 헤드가 설치된 경우에 있어서 1개 또는 복수개의 탑재 헤드에 대응하고, 제 1 오차 데이터(ΔC1)와, 복수의 위치 좌표에서 탑재 헤드(23)의 각도 0°에 있어서만 실장 또는 흡착된 부품을 탑재 헤드(23)의 회전 중심축의 Z축에 대하여 경사의 유무와 상관없이 촬상해서 얻어지는 제 2 오차 데이터(Δα)만을 구하여, 1개 또는 복수개의 탑재 헤드에 대응하고, 제 1 오차 데이터(ΔC1)에 의거하여 부품 중심 위치를 보정함과 아울러 제 2 오차 데이터(Δα)에 의거하여 실장시의 탑재 헤드(23)의 회전 각도를 보정하도록 해도 좋다. 이에 따라, 적어도 헤드 유닛(20)의 경사에 기인하는 전자 부품(2)의 목표 실장 각도에 대한 실장 각도의 위치 어긋남을 해소할 수 있다.Similarly, in the case where the oscillation rotation of the rotation center shaft of the mounting
또한, 복수의 위치 좌표에서 탑재 헤드(23)의 복수의 각도에 있어서의 제 2 오차 데이터(ΔH)를 구해서 제 2 오차 테이블을 작성하고, 1개 또는 복수개의 탑재 헤드에 대응하고, 목표 부품 탑재 위치에 의거하여 제 1 오차 테이블로부터 구한 제 1 오차 데이터(ΔC1)에 의거하여 부품 중심 위치를 보정함과 아울러 목표 부품 탑재 위치와 실장시의 탑재 헤드(23)의 회전 각도에 의거하고, 제 2 오차 테이블로부터 구한 제 2 오차 데이터(ΔH)에 의거하여 실장시의 탑재 헤드(23)의 수평 방향의 위치 어긋남을 보정하도록 해도 좋다. 이에 따라, 헤드 유닛(20)의 경사에 추가하여 탑재 헤드(23)의 회전 중심축의 Z축에 대한 경사에 상관없이 발생하는 탑재 헤드(23)의 회전 중심축의 진동 회전에 기인하는 전자 부품(2)의 수평 방향의 위치 어긋남을 해소할 수 있다.It is also possible to obtain second error data? H at a plurality of angles of the mounting
또한, 복수의 위치 좌표에서 탑재 헤드(23)의 복수의 각도에 있어서의 제 2 오차 데이터(Δα)를 구해서 제 2 오차 테이블을 작성하고, 1개 또는 복수개의 탑재 헤드에 대응하고, 목표 부품 탑재 위치에 의거하여 제 1 오차 테이블로부터 구한 제 1 오차 데이터(ΔC1)에 의거하여 부품 중심 위치를 보정함과 아울러 목표 부품 탑재 위치와 실장시의 탑재 헤드(23)의 회전 각도에 의거하고, 제 2 오차 테이블로부터 구한 제 2 오차 데이터(Δα)에 의거하여 실장시의 탑재 헤드(23)의 회전 각도를 보정하도록 해도 좋다. 이에 따라, 헤드 유닛(20)의 경사에 추가하여 탑재 헤드(23)의 회전 중심축의 Z축에 대한 경사나, 또한 탑재 헤드(23)의 회전 중심축의 진동 회전에 기인하고, 실장시의 탑재 헤드(23)의 회전 각도에 의거하여 발생하는 전자 부품(2)의 목표 실장 각도에 대한 실장 각도의 위치 어긋남을 해소할 수 있다.
Further, the second error table is created by obtaining the second error data DELTA alpha at a plurality of angles of the
Claims (10)
상기 헤드 유닛을 수평면 내에서 이동시킴과 아울러 상기 탑재 헤드를 회전시켜서 상기 탑재 헤드를 부품 실장 위치로 이동시키는 제어를 행하는 제어부를 구비하고,
상기 제어부는,
목표 위치 좌표로 상기 제 1 촬상부를 이동시킬 때의 상기 제 1 촬상부의 위치 어긋남에 의한 제 1 오차 데이터를 복수의 위치 좌표마다 취득해서 제 1 오차 데이터군을 작성하고,
상기 목표 위치 좌표로부터 상기 제 1 촬상부와 상기 탑재 헤드의 오프셋 간격만큼 상기 제 1 촬상부를 이동시켰을 경우에 있어서의, 상기 탑재 헤드의 상기 목표 위치 좌표에 대한 수평 방향의 위치 어긋남과 상기 탑재 헤드에 의해 전자 부품을 탑재할 때의 회전 방향의 위치 어긋남 중 적어도 한쪽의 위치 어긋남에 의한 제 2 오차 데이터를 복수의 위치 좌표마다 취득해서 제 2 오차 데이터군을 작성하고,
실장 목표 위치 좌표와 상기 제 1 오차 데이터군에 의거하여 상기 실장 목표 위치 좌표로 상기 탑재 헤드를 이동시킬 때의 수평 방향의 위치 어긋남을 보정함과 아울러,
상기 실장 목표 위치 좌표와 상기 제 2 오차 데이터군에 의거하여 상기 실장 목표 위치 좌표로 상기 탑재 헤드를 이동시킬 때의 상기 탑재 헤드의 수평 방향의 위치 어긋남 및 회전 방향의 위치 어긋남 중 적어도 한쪽의 위치 어긋남을 추가 보정하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 전자 부품 실장 장치.A head unit including a first imaging unit and a mounting head spaced apart from the first imaging unit by a predetermined offset distance;
And a control unit for moving the head unit in a horizontal plane and rotating the mounting head to move the mounting head to a component mounting position,
Wherein,
A first error data group is obtained by acquiring first error data by a position shift of the first image pickup unit for each of a plurality of position coordinates when the first image pickup unit is moved with the target position coordinates,
A positional shift in the horizontal direction with respect to the target position coordinate of the mounting head when the first imaging section is moved by the offset distance between the first imaging section and the mounting head from the target position coordinate, A second error data group is obtained by acquiring second error data for at least one of the positional deviations in the rotational direction when the electronic component is mounted for each of a plurality of position coordinates,
Corrects positional shifts in the horizontal direction when the mounting head is moved to the mounting target position coordinates based on the mounting target position coordinates and the first error data group,
At least one of a positional deviation in the horizontal direction and a positional deviation in the rotational direction of the mounting head when the mounting head is moved to the mounting target position coordinates based on the mounting target position coordinates and the second error data group The electronic component mounting apparatus further comprises:
상기 제 2 오차 데이터는 상기 목표 위치 좌표로부터 상기 제 1 촬상부와 상기 탑재 헤드의 오프셋 간격만큼 상기 제 1 촬상부를 이동시켰을 때의 상기 탑재 헤드의 상기 목표 위치 좌표에 대한 수평 방향의 위치 어긋남과, 상기 목표 위치 좌표로부터 상기 오프셋 간격만큼 상기 제 1 촬상부를 이동한 위치에 있어서 기판 상에 상기 탑재 헤드에 의해 전자 부품을 목표 방향 위치에 탑재할 때의 회전 방향의 위치 어긋남 중 적어도 한쪽의 위치 어긋남을 포함하고,
상기 제어부는,
상기 실장 목표 위치 좌표와 상기 제 1 오차 데이터군에 의거하여 상기 실장 목표 위치 좌표로 상기 제 1 촬상부를 이동시킬 때의 제 1 오차 데이터를 구하고, 이 제 1 오차 데이터에 의거하여 상기 실장 목표 위치 좌표로 상기 탑재 헤드를 이동시킬 때에 있어서의 수평 방향의 위치 어긋남을 보정함과 아울러,
상기 실장 목표 위치 좌표와 상기 제 2 오차 데이터군에 의거하여 상기 실장 목표 위치 좌표로 상기 탑재 헤드를 이동시킬 때의 상기 제 2 오차 데이터를 구하고, 이 제 2 오차 데이터에 의거하여 상기 실장 목표 위치 좌표로 상기 탑재 헤드를 이동시킬 때에 있어서의 상기 수평 방향의 위치 어긋남 및 상기 회전 방향의 위치 어긋남 중 적어도 한쪽의 위치 어긋남을 추가 보정하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 전자 부품 실장 장치.The method according to claim 1,
The second error data includes a positional deviation in the horizontal direction with respect to the target position coordinate of the mounting head when the first imaging unit is moved by the offset distance between the first imaging unit and the mounting head from the target position coordinate, At least one of the positional shifts in the rotational direction when the electronic component is mounted on the substrate in the target direction position by the placement head on the substrate at the position where the first imaging unit has been moved by the offset distance from the target position coordinate Including,
Wherein,
The first error data when the first imaging unit is moved to the mounting target position coordinates based on the mounting target position coordinates and the first error data group is obtained and based on the first error data, Corrects the positional deviation in the horizontal direction when the mounting head is moved to the mounting position,
The second error data at the time of moving the placement head to the placement target position coordinates based on the placement target position coordinates and the second error data group is obtained and based on the second error data, Further corrects at least one of a positional deviation in the horizontal direction and a positional deviation in the rotational direction when the mounting head is moved to the mounting position of the electronic component mounting apparatus.
상기 제어부는 상기 제 2 오차 데이터를 복수의 위치 좌표 및 복수의 회전 각도마다 취득해서 상기 제 2 오차 데이터군을 작성하도록 구성되고,
상기 제어부는 상기 실장 목표 위치 좌표로 상기 탑재 헤드를 이동함과 아울러 상기 탑재 헤드를 소정의 회전 각도로 할 때의 상기 제 2 오차 데이터를 상기 실장 목표 위치 좌표와 상기 소정의 회전 각도와 상기 제 2 오차 데이터군에 의거하여 구하고, 구한 상기 제 2 오차 데이터에 의거하여 상기 실장 목표 위치 좌표로 상기 소정의 회전 각도로 상기 탑재 헤드를 이동시킬 때의 위치 어긋남을 추가 보정하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 전자 부품 실장 장치.The method according to claim 1,
The control unit is configured to acquire the second error data for each of a plurality of position coordinates and a plurality of rotation angles to generate the second error data group,
Wherein the control unit moves the mounting head to the mounting target position coordinates and sets the second error data when the mounting head is set to a predetermined rotation angle to the mounting target position coordinates, And corrects the positional deviation when the mounting head is moved at the predetermined rotational angle with the mounting target position coordinate based on the obtained second error data. Electronic component mounting apparatus.
상기 헤드 유닛은 상기 제 1 촬상부에 대한 상기 오프셋 간격이 다른 복수의 상기 탑재 헤드를 포함하고,
상기 제어부는 상기 복수의 탑재 헤드의 각각에 대하여 상기 제 2 오차 데이터군을 작성하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 전자 부품 실장 장치.The method according to claim 1,
Wherein the head unit includes a plurality of mounting heads having different offset intervals with respect to the first imaging unit,
Wherein the control unit is configured to generate the second error data group for each of the plurality of mounting heads.
상기 탑재 헤드에 흡착된 전자 부품을 촬상하기 위한 제 2 촬상부를 더 구비하고,
상기 제어부는,
상기 제 1 촬상부에 의해 촬상된 지그 부품의 위치를 상기 목표 위치 좌표로서 취득하고,
상기 제 1 촬상부를 상기 목표 위치 좌표로부터 상기 오프셋 간격만큼 이동시킨 위치에서 상기 탑재 헤드에 흡착시킨 상기 지그 부품을 상기 제 2 촬상부에 의해 촬상함으로써, 상기 지그 부품의 중심 위치에 대한 상기 탑재 헤드의 수평 방향의 위치 어긋남과 상기 탑재 헤드의 회전 방향의 위치 어긋남 중 적어도 한쪽의 위치 어긋남을 인식해서 상기 제 2 오차 데이터로서 취득하도록 구성되고,
상기 제어부는 복수의 위치 좌표마다 상기 탑재 헤드에 의한 상기 지그 부품의 흡착과, 흡착된 상기 지그 부품의 상기 제 2 촬상부에 의한 상기 촬상을 실시 함으로써 상기 제 2 오차 데이터군을 작성하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 전자 부품 실장 장치.The method according to claim 1,
Further comprising: a second image sensing unit for sensing an electronic component that is attracted to the mounting head,
Wherein,
Acquires, as the target position coordinates, the position of the jig component picked up by the first image pickup section,
And the second imaging unit picks up the jig component that is attracted to the placement head at a position where the first imaging unit is moved by the offset distance from the target position coordinate by the second imaging unit, The position error of at least one of a positional deviation in the horizontal direction and a positional deviation in the rotational direction of the mounting head is recognized and acquired as the second error data,
The control unit is configured to generate the second error data group by performing the pickup of the jig component by the placement head and the pickup of the jig component by the second imaging unit for each of a plurality of position coordinates And an electronic component mounting apparatus.
상기 제어부는 상기 제 2 오차 데이터를 복수의 위치 좌표 및 복수의 회전 각도마다 취득해서 상기 제 2 오차 데이터군을 작성하도록 구성되고,
상기 제어부는 상기 실장 목표 위치 좌표로 상기 탑재 헤드를 이동함과 아울러 상기 탑재 헤드를 소정의 회전 각도로 할 때의 상기 제 2 오차 데이터를 상기 실장 목표 위치 좌표와 상기 소정의 회전 각도와 상기 제 2 오차 데이터군에 의거하여 구하고, 구한 상기 제 2 오차 데이터에 의거하여 상기 실장 목표 위치 좌표로 상기 소정의 회전 각도로 상기 탑재 헤드를 이동시킬 때의 위치 어긋남을 추가 보정하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 전자 부품 실장 장치.6. The method of claim 5,
The control unit is configured to acquire the second error data for each of a plurality of position coordinates and a plurality of rotation angles to generate the second error data group,
Wherein the control unit moves the mounting head to the mounting target position coordinates and sets the second error data when the mounting head is set to a predetermined rotation angle to the mounting target position coordinates, And corrects the positional deviation when the mounting head is moved at the predetermined rotational angle with the mounting target position coordinate based on the obtained second error data. Electronic component mounting apparatus.
상기 제어부는 상기 제 1 촬상부를 상기 목표 위치 좌표로부터 상기 오프셋 간격만큼 이동시킨 위치에서 상기 탑재 헤드에 의해 전자 부품 또는 지그 부품을 기판에 탑재시킨 후, 상기 제 1 촬상부를 상기 목표 위치 좌표로 이동시켜서 상기 전자 부품 또는 지그 부품을 촬상시킴으로써, 촬상 중심에 대한 상기 전자 부품 또는 지그 부품의 중심 위치의 수평 방향의 위치 어긋남과 상기 탑재 헤드의 회전 방향의 위치 어긋남 중 적어도 한쪽의 위치 어긋남을 인식하고, 얻어진 상기 위치 어긋남에 의거하여 제 2 오차 데이터를 취득하도록 구성되고,
상기 제어부는 복수의 위치 좌표마다 상기 탑재 헤드에 의한 탑재와 상기 제 1 촬상부에 의한 촬상을 실시함으로써 상기 제 2 오차 데이터군을 작성하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 전자 부품 실장 장치.The method according to claim 1,
The control unit moves the first imaging unit to the target position coordinate after mounting the electronic part or the jig part on the substrate by the placement head at a position where the first imaging unit is moved by the offset distance from the target position coordinate, The positional shift of at least one of the positional deviation of the center position of the electronic component or the jig component in the horizontal direction and the positional deviation of the mounting head in the rotational direction with respect to the imaging center is recognized by imaging the electronic component or the jig component, And to obtain second error data based on the positional deviation,
Wherein the control unit is configured to create the second error data group by performing mounting by the mounting head and imaging by the first imaging unit for each of a plurality of position coordinates.
상기 제어부는 상기 제 2 오차 데이터를 복수의 위치 좌표 및 복수의 회전 각도마다 취득해서 상기 제 2 오차 데이터군을 작성하도록 구성되고,
상기 제어부는 상기 실장 목표 위치 좌표로 상기 탑재 헤드를 이동함과 아울러 상기 탑재 헤드를 소정의 회전 각도로 할 때의 상기 제 2 오차 데이터를 상기 실장 목표 위치 좌표와 상기 소정의 회전 각도와 상기 제 2 오차 데이터군에 의거하여 구하고, 구한 상기 제 2 오차 데이터에 의거하여 상기 실장 목표 위치 좌표로 상기 소정의 회전 각도로 상기 탑재 헤드를 이동시킬 때의 위치 어긋남을 추가 보정하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 전자 부품 실장 장치.8. The method of claim 7,
The control unit is configured to acquire the second error data for each of a plurality of position coordinates and a plurality of rotation angles to generate the second error data group,
Wherein the control unit moves the mounting head to the mounting target position coordinates and sets the second error data when the mounting head is set to a predetermined rotation angle to the mounting target position coordinates, And corrects the positional deviation when the mounting head is moved at the predetermined rotational angle with the mounting target position coordinate based on the obtained second error data. Electronic component mounting apparatus.
상기 제어부는 상기 제 2 오차 데이터군의 작성에 앞서 상기 제 1 오차 데이터군의 작성을 행하도록 구성되고,
상기 제어부는 제 2 오차 데이터를 복수의 위치 좌표마다 취득해서 제 2 오차 데이터군을 작성할 때에 목표 위치 좌표와 상기 제 1 오차 데이터군에 의거하여 상기 목표 위치 좌표로 상기 제 1 촬상부를 이동시킬 때의 수평 방향의 위치 어긋남을 보정하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 전자 부품 실장 장치.The method according to claim 1,
The control unit is configured to generate the first error data group prior to the generation of the second error data group,
Wherein the control unit acquires the second error data for each of the plurality of position coordinates and generates the second error data group when the first imaging unit is moved to the target position coordinate based on the target position coordinates and the first error data group And corrects the positional deviation in the horizontal direction.
목표 위치 좌표로 상기 촬상부를 이동시킬 때의 상기 촬상부의 위치 어긋남에 의한 제 1 오차 데이터를 복수의 위치 좌표마다 취득해서 제 1 오차 데이터군을 작성하는 스텝과,
상기 목표 위치 좌표로부터 상기 촬상부와 상기 탑재 헤드의 오프셋 간격만큼 상기 촬상부를 이동시켰을 경우에 있어서의, 상기 탑재 헤드의 상기 목표 위치 좌표에 대한 수평 방향의 위치 어긋남과 상기 탑재 헤드에 의해 전자 부품을 탑재할 때의 회전 방향의 위치 어긋남 중 적어도 한쪽의 위치 어긋남에 의한 제 2 오차 데이터를 복수의 위치 좌표마다 취득해서 제 2 오차 데이터군을 작성하는 스텝과,
상기 제 1 오차 데이터군 및 상기 제 2 오차 데이터군에 의거하여 부품 실장 위치로의 이동시에 있어서의 상기 탑재 헤드의 실장 위치 보정 데이터를 작성하는 스텝을 구비하는 것을 특징으로 하는 실장 위치 보정 데이터 작성 방법.And a head unit including a pickup head and a mounting head spaced apart from each other by a predetermined offset distance from the imaging section, wherein the head unit is moved in a horizontal plane, and the mounting head is rotated so that the mounting head The mounting position correction data creating method of the electronic component mounting apparatus for moving the mounting position correction data to the mounting position,
A step of obtaining a first error data group by obtaining a first error data by a positional deviation of the imaging unit when the imaging unit is moved to a target position coordinate for each of a plurality of position coordinates,
A positional shift in the horizontal direction with respect to the target position coordinate of the mounting head when the imaging section is moved by an offset distance between the imaging section and the mounting head from the target position coordinate, A step of obtaining a second error data group by acquiring for each of a plurality of position coordinates second error data by at least one of positional shifts in the rotational direction at the time of mounting,
Based on the first error data group and the second error data group, mounting position correction data of the mounting head at the time of moving to the component mounting position .
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