JP2003231663A - 雰囲気ガスの供給方法 - Google Patents
雰囲気ガスの供給方法Info
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Landscapes
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- Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 易重合性で、０〜４０℃で爆発組成を形成す
る（メタ）アクリル酸又はそのエステルのような、製
造、貯蔵ないしは取り扱い時の雰囲気ガスを厳密に制御
することが必要な化合物の製造設備又は貯蔵設備に、所
定の組成の雰囲気ガスを、その使用量の変動に影響され
ることなく、安定に供給する。 【解決手段】 タンク１又は調合槽２の気相部の圧力を
圧力計Ｐ−１又はＰ−２で検出し、ガス消費量に見合う
量の乾燥空気／窒素混合ガスをタンク１又は調合槽２に
供給する。混合ガス供給配管５の圧力を圧力計Ｐ−５で
検出し、ガス消費量に見合う量の乾燥空気／窒素混合ガ
スを配管５に供給する。窒素の流量調整弁Ｖ−４は、乾
燥空気の流量調整弁Ｖ−３の開度に比例して開度調整さ
れ、これにより所定の酸素濃度の混合ガスが供給され
る。
る（メタ）アクリル酸又はそのエステルのような、製
造、貯蔵ないしは取り扱い時の雰囲気ガスを厳密に制御
することが必要な化合物の製造設備又は貯蔵設備に、所
定の組成の雰囲気ガスを、その使用量の変動に影響され
ることなく、安定に供給する。 【解決手段】 タンク１又は調合槽２の気相部の圧力を
圧力計Ｐ−１又はＰ−２で検出し、ガス消費量に見合う
量の乾燥空気／窒素混合ガスをタンク１又は調合槽２に
供給する。混合ガス供給配管５の圧力を圧力計Ｐ−５で
検出し、ガス消費量に見合う量の乾燥空気／窒素混合ガ
スを配管５に供給する。窒素の流量調整弁Ｖ−４は、乾
燥空気の流量調整弁Ｖ−３の開度に比例して開度調整さ
れ、これにより所定の酸素濃度の混合ガスが供給され
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は雰囲気ガスの供給方
法に係り、特に、（メタ）アクリル酸又はそのエステル
のような、製造、貯蔵ないしは取り扱い時の雰囲気ガス
を厳密に制御することが必要な化合物の製造設備又は貯
蔵設備に、所定の組成の雰囲気ガスを安定かつ確実に供
給する方法に関する。
法に係り、特に、（メタ）アクリル酸又はそのエステル
のような、製造、貯蔵ないしは取り扱い時の雰囲気ガス
を厳密に制御することが必要な化合物の製造設備又は貯
蔵設備に、所定の組成の雰囲気ガスを安定かつ確実に供
給する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】（メタ）アクリル酸（本明細書におい
て、（メタ）アクリル酸は「アクリル酸又はメタクリル
酸」を指す。）又はそのエステル類は、易重合性化合物
であり、常温付近、通常０〜４０℃で爆発組成を形成す
る化合物である。従って、その製造設備や貯蔵設備の雰
囲気ガス中の酸素濃度を所定の範囲に保つ必要がある。
即ち、雰囲気ガス中の酸素濃度が所定範囲よりも低いと
重合反応が生起し、高いと爆発組成を形成する。
て、（メタ）アクリル酸は「アクリル酸又はメタクリル
酸」を指す。）又はそのエステル類は、易重合性化合物
であり、常温付近、通常０〜４０℃で爆発組成を形成す
る化合物である。従って、その製造設備や貯蔵設備の雰
囲気ガス中の酸素濃度を所定の範囲に保つ必要がある。
即ち、雰囲気ガス中の酸素濃度が所定範囲よりも低いと
重合反応が生起し、高いと爆発組成を形成する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、易重合性
で、０〜４０℃程度の温度範囲で爆発組成を形成する
（メタ）アクリル酸又はそのエステルのような、製造、
貯蔵ないしは取り扱い時の雰囲気ガスを厳密に制御する
ことが必要な化合物の製造設備又は貯蔵設備に、所定の
組成の雰囲気ガスを、その使用量の変動に影響されるこ
となく、安定に供給することができる雰囲気ガスの供給
方法を提供することを目的とする。
で、０〜４０℃程度の温度範囲で爆発組成を形成する
（メタ）アクリル酸又はそのエステルのような、製造、
貯蔵ないしは取り扱い時の雰囲気ガスを厳密に制御する
ことが必要な化合物の製造設備又は貯蔵設備に、所定の
組成の雰囲気ガスを、その使用量の変動に影響されるこ
となく、安定に供給することができる雰囲気ガスの供給
方法を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の雰囲気ガスの供
給方法は、化合物の製造設備及び／又は貯蔵設備に、ガ
ス供給源から供給ラインを通して雰囲気ガスを供給する
雰囲気ガスの供給方法において、該製造設備及び/又は
貯蔵設備の気相部におけるガス消費量を検出し、この検
出結果に基いて、該気相部のガス消費量に見合う量の雰
囲気ガスを該供給ラインから該気相部に供給すると共
に、該供給ラインにおけるガス消費量を検出し、この検
出結果に基いて、該供給ラインのガス消費量に見合う量
の雰囲気ガスを前記ガス供給源から該供給ラインに供給
することを特徴とする。
給方法は、化合物の製造設備及び／又は貯蔵設備に、ガ
ス供給源から供給ラインを通して雰囲気ガスを供給する
雰囲気ガスの供給方法において、該製造設備及び/又は
貯蔵設備の気相部におけるガス消費量を検出し、この検
出結果に基いて、該気相部のガス消費量に見合う量の雰
囲気ガスを該供給ラインから該気相部に供給すると共
に、該供給ラインにおけるガス消費量を検出し、この検
出結果に基いて、該供給ラインのガス消費量に見合う量
の雰囲気ガスを前記ガス供給源から該供給ラインに供給
することを特徴とする。
【０００５】本発明では、気相部のガス消費量に基い
て、このガス消費量に見合う量の雰囲気ガスを供給する
ため、この気相部の圧力が一定の値となるように雰囲気
ガスが供給される。また、供給ラインのガス消費量に基
いて、このガス消費量に見合う量の雰囲気ガスをガス供
給源から供給するため、この供給ラインの圧力が一定の
値となるように雰囲気ガスが供給される。このように、
気相部及び供給ラインの雰囲気ガス圧力は一定に保た
れ、かつ雰囲気ガス中の酸素濃度は不燃性ガスと空気又
は酸素のそれぞれの流量の比率制御によって一定となる
ように調節されることとなり、雰囲気ガス使用量の変動
に対応して、所定の組成の雰囲気ガスを安定に供給する
ことができる。
て、このガス消費量に見合う量の雰囲気ガスを供給する
ため、この気相部の圧力が一定の値となるように雰囲気
ガスが供給される。また、供給ラインのガス消費量に基
いて、このガス消費量に見合う量の雰囲気ガスをガス供
給源から供給するため、この供給ラインの圧力が一定の
値となるように雰囲気ガスが供給される。このように、
気相部及び供給ラインの雰囲気ガス圧力は一定に保た
れ、かつ雰囲気ガス中の酸素濃度は不燃性ガスと空気又
は酸素のそれぞれの流量の比率制御によって一定となる
ように調節されることとなり、雰囲気ガス使用量の変動
に対応して、所定の組成の雰囲気ガスを安定に供給する
ことができる。
【０００６】本発明において、雰囲気ガスは不燃性ガ
ス、好ましくは窒素ガスと、空気又は酸素との混合ガス
であることが好ましい。
ス、好ましくは窒素ガスと、空気又は酸素との混合ガス
であることが好ましい。
【０００７】また、このような雰囲気ガスを気相部に供
給する製造設備又は貯蔵設備の化合物（以下、「被シー
ル化合物」と称する場合がある。）としては、易重合性
であり、かつ、０〜４０℃で爆発組成を形成し得る化合
物、ないしは、雰囲気ガス中の酸素により重合が抑制さ
れる易重合性化合物が挙げられ、特に、（メタ）アクリ
ル酸又はそのエステル、とりわけ、（メタ）アクリル酸
メチル、（メタ）アクリル酸エチル、又は（メタ）アク
リル酸ブチルが好適である。
給する製造設備又は貯蔵設備の化合物（以下、「被シー
ル化合物」と称する場合がある。）としては、易重合性
であり、かつ、０〜４０℃で爆発組成を形成し得る化合
物、ないしは、雰囲気ガス中の酸素により重合が抑制さ
れる易重合性化合物が挙げられ、特に、（メタ）アクリ
ル酸又はそのエステル、とりわけ、（メタ）アクリル酸
メチル、（メタ）アクリル酸エチル、又は（メタ）アク
リル酸ブチルが好適である。
【０００８】本発明において、気相部又は供給ラインの
ガス消費量は、気相部又は供給ラインの圧力を測定する
ことにより検出することが好ましい。
ガス消費量は、気相部又は供給ラインの圧力を測定する
ことにより検出することが好ましい。
【０００９】また、雰囲気ガスとして不燃性ガスと空気
又は酸素との混合ガスを供給する場合、供給ラインへ
は、不燃性ガスと空気又は酸素とが所定の比率となるよ
うに別々に供給することが好ましい。この場合、不燃性
ガスと空気又は酸素との流量比率を制御してもよく、供
給ライン中の不燃性ガス濃度又は酸素濃度を制御しても
よい。本発明に係る雰囲気ガス中の酸素濃度は２〜１０
体積％であることが好ましい。
又は酸素との混合ガスを供給する場合、供給ラインへ
は、不燃性ガスと空気又は酸素とが所定の比率となるよ
うに別々に供給することが好ましい。この場合、不燃性
ガスと空気又は酸素との流量比率を制御してもよく、供
給ライン中の不燃性ガス濃度又は酸素濃度を制御しても
よい。本発明に係る雰囲気ガス中の酸素濃度は２〜１０
体積％であることが好ましい。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下に本発明の雰囲気ガスの供給
方法の実施の形態を詳細に説明する。
方法の実施の形態を詳細に説明する。
【００１１】本発明における被シール化合物は、好まし
くは０〜４０℃で爆発組成を形成し得る易重合性化合物
ないしは雰囲気ガス中の酸素により重合が抑制される易
重合性化合物である。このような化合物としては、（メ
タ）アクリル酸又はそのエステルが挙げられるが、何ら
これに限定されるものではない。なお、（メタ）アクリ
ル酸のエステルとしては、アクリル酸メチル、アクリル
酸エチル、アクリル酸ブチル、メタクリル酸メチル、メ
タクリル酸エチル、メタクリル酸ブチル等が挙げられ
る。
くは０〜４０℃で爆発組成を形成し得る易重合性化合物
ないしは雰囲気ガス中の酸素により重合が抑制される易
重合性化合物である。このような化合物としては、（メ
タ）アクリル酸又はそのエステルが挙げられるが、何ら
これに限定されるものではない。なお、（メタ）アクリ
ル酸のエステルとしては、アクリル酸メチル、アクリル
酸エチル、アクリル酸ブチル、メタクリル酸メチル、メ
タクリル酸エチル、メタクリル酸ブチル等が挙げられ
る。
【００１２】被シール化合物は、上記易重合性化合物の
２種以上が混合されたものであっても良く、また、上記
易重合性化合物と、その他の化合物との混合物であって
も良い。
２種以上が混合されたものであっても良く、また、上記
易重合性化合物と、その他の化合物との混合物であって
も良い。
【００１３】通常の場合、上記易重合性化合物は、重合
禁止剤及び／又は重合抑制剤と、必要に応じてその溶媒
とを調合した組成物として製造され、製品として貯蔵さ
れる。ここで、重合禁止剤としては、ハイドロキノン、
メトキノン（ハイドロキノンモノメチルエーテル）等の
フェノール化合物、フェノチアジン、ビス−（α−メチ
ルベンジル）フェノチアジン、３，７−ジオクチルフェ
ノチアジン、ビス−（α−ジメチルベンジル）フェノチ
アジン等のフェノチアジン化合物が用いられる。なお、
重合禁止剤、重合抑制剤は、上記例示化合物に何ら限定
されるものではなく、また、これらの２種以上を併用し
ても良い。
禁止剤及び／又は重合抑制剤と、必要に応じてその溶媒
とを調合した組成物として製造され、製品として貯蔵さ
れる。ここで、重合禁止剤としては、ハイドロキノン、
メトキノン（ハイドロキノンモノメチルエーテル）等の
フェノール化合物、フェノチアジン、ビス−（α−メチ
ルベンジル）フェノチアジン、３，７−ジオクチルフェ
ノチアジン、ビス−（α−ジメチルベンジル）フェノチ
アジン等のフェノチアジン化合物が用いられる。なお、
重合禁止剤、重合抑制剤は、上記例示化合物に何ら限定
されるものではなく、また、これらの２種以上を併用し
ても良い。
【００１４】また、重合禁止剤や重合抑制剤の溶媒とし
ては、これらを溶解し得る液体であればいかなるものも
用いることができる。例えば、ハイドロキノン、メトキ
ノン等のフェノール化合物系重合禁止剤は、水、酢酸、
（メタ）アクリル酸、（メタ）アクリル酸エステル類、
芳香族化合物、ケトン類、アルコール類、これらの１種
類以上の混合液等に溶解するので、これらが適宜選定使
用される。
ては、これらを溶解し得る液体であればいかなるものも
用いることができる。例えば、ハイドロキノン、メトキ
ノン等のフェノール化合物系重合禁止剤は、水、酢酸、
（メタ）アクリル酸、（メタ）アクリル酸エステル類、
芳香族化合物、ケトン類、アルコール類、これらの１種
類以上の混合液等に溶解するので、これらが適宜選定使
用される。
【００１５】特に、（メタ）アクリル酸又はそのエステ
ルの重合禁止剤としては、メトキノンが用いられる場合
が多く、また、メトキノンは（メタ）アクリル酸又はそ
のエステルに溶解するため、一般的には、別途溶媒を用
いることなく、（メタ）アクリル酸又はそのエステルに
メトキノンを添加溶解させて使用される。
ルの重合禁止剤としては、メトキノンが用いられる場合
が多く、また、メトキノンは（メタ）アクリル酸又はそ
のエステルに溶解するため、一般的には、別途溶媒を用
いることなく、（メタ）アクリル酸又はそのエステルに
メトキノンを添加溶解させて使用される。
【００１６】（メタ）アクリル酸又はそのエステルに好
適な雰囲気ガスは、酸素濃度を所定範囲に調整した、空
気又は酸素と不燃性ガスとの混合ガスが好ましく、不燃
性ガスとしては、窒素、二酸化炭素、アルゴン等が挙げ
られるが、一般的には窒素ガスが用いられる。
適な雰囲気ガスは、酸素濃度を所定範囲に調整した、空
気又は酸素と不燃性ガスとの混合ガスが好ましく、不燃
性ガスとしては、窒素、二酸化炭素、アルゴン等が挙げ
られるが、一般的には窒素ガスが用いられる。
【００１７】（メタ）アクリル酸又はそのエステルに使
用される雰囲気ガスとして供給される、空気又は酸素と
不燃性ガスとの混合ガス中の酸素濃度は、重合の抑制及
び爆発組成形成の防止の面から、２〜１０体積％、特に
５〜８体積％とすることが好ましい。混合ガス中の酸素
濃度が２体積％未満であると重合反応が生起する恐れが
あり、１０体積％を超えると爆発組成を形成する恐れが
ある。なお、重合の抑制のために雰囲気ガス中の酸素濃
度が高いことが好ましい理由は、（メタ）アクリル酸又
はそのエステルに添加されるメトキノン等の重合禁止剤
及び／又は重合抑制剤は、（メタ）アクリル酸又はその
エステル液中に酸素が存在することにより、より一層有
効に作用することによる。
用される雰囲気ガスとして供給される、空気又は酸素と
不燃性ガスとの混合ガス中の酸素濃度は、重合の抑制及
び爆発組成形成の防止の面から、２〜１０体積％、特に
５〜８体積％とすることが好ましい。混合ガス中の酸素
濃度が２体積％未満であると重合反応が生起する恐れが
あり、１０体積％を超えると爆発組成を形成する恐れが
ある。なお、重合の抑制のために雰囲気ガス中の酸素濃
度が高いことが好ましい理由は、（メタ）アクリル酸又
はそのエステルに添加されるメトキノン等の重合禁止剤
及び／又は重合抑制剤は、（メタ）アクリル酸又はその
エステル液中に酸素が存在することにより、より一層有
効に作用することによる。
【００１８】なお、（メタ）アクリル酸又はそのエステ
ル等の易重合性の化合物は、雰囲気ガス中の水分を吸収
し、含水率が高まり製品品質低下の原因となるため、こ
のような含水率の増加を防止するために、雰囲気ガスの
混合ガスに使用するガスは、露点＋１０〜−５０℃、好
ましくは露点−２０〜−４０℃の乾燥ガスであることが
望ましい。従って、特に空気を用いる場合には、このよ
うな露点の乾燥空気、例えば計装用空気を用いることが
望ましい。
ル等の易重合性の化合物は、雰囲気ガス中の水分を吸収
し、含水率が高まり製品品質低下の原因となるため、こ
のような含水率の増加を防止するために、雰囲気ガスの
混合ガスに使用するガスは、露点＋１０〜−５０℃、好
ましくは露点−２０〜−４０℃の乾燥ガスであることが
望ましい。従って、特に空気を用いる場合には、このよ
うな露点の乾燥空気、例えば計装用空気を用いることが
望ましい。
【００１９】本発明においては、（メタ）アクリル酸又
はそのエステル等の被シール化合物の製造設備又は貯蔵
設備に、窒素ガス等の不燃性ガスと空気又は酸素との混
合ガスのような雰囲気ガスを供給するに当たり、気相部
におけるガス消費量を検出して、この検出値に基いてそ
れに見合う量の雰囲気ガスを供給ラインから気相部に供
給し、また、供給ラインにおけるガス消費量を検出し
て、この検出値に基いてそれに見合う量の雰囲気ガスを
ガス供給源から供給ラインに供給する。
はそのエステル等の被シール化合物の製造設備又は貯蔵
設備に、窒素ガス等の不燃性ガスと空気又は酸素との混
合ガスのような雰囲気ガスを供給するに当たり、気相部
におけるガス消費量を検出して、この検出値に基いてそ
れに見合う量の雰囲気ガスを供給ラインから気相部に供
給し、また、供給ラインにおけるガス消費量を検出し
て、この検出値に基いてそれに見合う量の雰囲気ガスを
ガス供給源から供給ラインに供給する。
【００２０】製造設備及び／又は貯蔵設備への、雰囲気
ガスの供給場所は、製造設備又は貯蔵設備の気相部及び
／又は液相部のいずれでも良いが、被シール化合物の重
合防止の観点からは、製造設備及び／又は貯蔵設備の液
相部へ供給することが好ましい。
ガスの供給場所は、製造設備又は貯蔵設備の気相部及び
／又は液相部のいずれでも良いが、被シール化合物の重
合防止の観点からは、製造設備及び／又は貯蔵設備の液
相部へ供給することが好ましい。
【００２１】なお、被シール化合物の製造設備又は貯蔵
設備とは、精製前の被シール化合物や精製後の被シール
化合物の貯蔵タンク、（メタ）アクリル酸又はそのエス
テル等の被シール化合物を例えば１０重量％以上の割合
で含むような精製塔や高沸物処理塔の高沸点缶出液の貯
蔵設備、或いはこの被シール化合物に重合禁止剤等を調
合する調合槽、その他移送路等、被シール化合物を取り
扱う多様な設備が包含される。
設備とは、精製前の被シール化合物や精製後の被シール
化合物の貯蔵タンク、（メタ）アクリル酸又はそのエス
テル等の被シール化合物を例えば１０重量％以上の割合
で含むような精製塔や高沸物処理塔の高沸点缶出液の貯
蔵設備、或いはこの被シール化合物に重合禁止剤等を調
合する調合槽、その他移送路等、被シール化合物を取り
扱う多様な設備が包含される。
【００２２】以下に図面を参照して本発明の雰囲気ガス
の供給方法をより具体的に説明する。
の供給方法をより具体的に説明する。
【００２３】図１，２は本発明の雰囲気ガスの供給方法
の実施の形態を示す系統図である。図１，２は、（メ
タ）アクリル酸又はそのエステル（例えばアクリル酸メ
チル）の貯蔵タンクと調合槽（例えば、アクリル酸メチ
ルに重合禁止剤としてのメトキノンを調合する槽）へ、
本発明の方法に従って、シール用雰囲気ガスとして乾燥
空気と窒素ガスとの混合ガスを供給する方法を示すもの
であるが、本発明において、被シール化合物、雰囲気ガ
ス及びその供給形態は、本発明の要旨を超えない限り、
何ら図示のものに限定されるものではないことは言うま
でもない。
の実施の形態を示す系統図である。図１，２は、（メ
タ）アクリル酸又はそのエステル（例えばアクリル酸メ
チル）の貯蔵タンクと調合槽（例えば、アクリル酸メチ
ルに重合禁止剤としてのメトキノンを調合する槽）へ、
本発明の方法に従って、シール用雰囲気ガスとして乾燥
空気と窒素ガスとの混合ガスを供給する方法を示すもの
であるが、本発明において、被シール化合物、雰囲気ガ
ス及びその供給形態は、本発明の要旨を超えない限り、
何ら図示のものに限定されるものではないことは言うま
でもない。
【００２４】図１，２において、１はタンク、２は調合
槽である。タンク１及び調合槽２には、配管３を経て供
給される乾燥空気と配管４を経て供給される窒素との混
合ガスが配管５を経て、分岐配管６，７よりそれぞれ供
給される。タンク１には、タンク１内の気相部の圧力を
検出する圧力計Ｐ−１が設けられており、タンク１に混
合ガスを供給する分岐配管６に設けられた開閉弁Ｖ−６
が、この圧力計Ｐ−１の検出結果に基いて開閉するよう
に構成されている。また、調合槽２には、調合槽２内の
気相部の圧力を検出する圧力計Ｐ−２が設けられてお
り、調合槽２に混合ガスを供給する分岐配管７に設けら
れた開閉弁Ｖ−７が、この圧力計Ｐ−２の検出結果に基
いて開閉するように構成されている。また、混合ガス供
給配管５にはこの配管５内の圧力を検出する圧力計Ｐ−
５が設けられており、この圧力計Ｐ−５の検出結果に基
いて、乾燥空気の供給配管３に設けられた流量調整弁Ｖ
−３の開度を調整するように構成されている。そして、
この流量調整弁Ｖ−３の開度に応じて、窒素の供給配管
４に設けられた流量調整弁Ｖ−４の開度を調整する比率
設定器１０が設けられている。
槽である。タンク１及び調合槽２には、配管３を経て供
給される乾燥空気と配管４を経て供給される窒素との混
合ガスが配管５を経て、分岐配管６，７よりそれぞれ供
給される。タンク１には、タンク１内の気相部の圧力を
検出する圧力計Ｐ−１が設けられており、タンク１に混
合ガスを供給する分岐配管６に設けられた開閉弁Ｖ−６
が、この圧力計Ｐ−１の検出結果に基いて開閉するよう
に構成されている。また、調合槽２には、調合槽２内の
気相部の圧力を検出する圧力計Ｐ−２が設けられてお
り、調合槽２に混合ガスを供給する分岐配管７に設けら
れた開閉弁Ｖ−７が、この圧力計Ｐ−２の検出結果に基
いて開閉するように構成されている。また、混合ガス供
給配管５にはこの配管５内の圧力を検出する圧力計Ｐ−
５が設けられており、この圧力計Ｐ−５の検出結果に基
いて、乾燥空気の供給配管３に設けられた流量調整弁Ｖ
−３の開度を調整するように構成されている。そして、
この流量調整弁Ｖ−３の開度に応じて、窒素の供給配管
４に設けられた流量調整弁Ｖ−４の開度を調整する比率
設定器１０が設けられている。
【００２５】図１は、タンク１及び調合槽２の混合ガス
消費量に基いて、このガス消費量に見合う量の混合ガス
を、比率設定器１０による流量比率の調整により所定の
酸素濃度でタンク１及び調合槽２に供給するようにした
ものである。
消費量に基いて、このガス消費量に見合う量の混合ガス
を、比率設定器１０による流量比率の調整により所定の
酸素濃度でタンク１及び調合槽２に供給するようにした
ものである。
【００２６】即ち、タンク１又は調整槽２において気相
部の雰囲気ガスが排出されて消費され、これにより、圧
力計Ｐ−１又はＰ−２によりタンク１又は調合槽２の気
相部の圧力が設定圧力を下回ったことが検出された場合
には、この結果に基いて開閉弁Ｖ−６又はＶ−７が開か
れ、所定量の混合ガスがタンク１又は調合槽２に供給さ
れる。混合ガスの供給によりタンク１又は調合槽２の気
相部の圧力が設定圧力となったことが圧力計Ｐ−１又は
Ｐ−２により検出された場合には、この結果に基いて開
閉弁Ｖ−６又はＶ−７が閉じられ、混合ガスの供給が停
止される。
部の雰囲気ガスが排出されて消費され、これにより、圧
力計Ｐ−１又はＰ−２によりタンク１又は調合槽２の気
相部の圧力が設定圧力を下回ったことが検出された場合
には、この結果に基いて開閉弁Ｖ−６又はＶ−７が開か
れ、所定量の混合ガスがタンク１又は調合槽２に供給さ
れる。混合ガスの供給によりタンク１又は調合槽２の気
相部の圧力が設定圧力となったことが圧力計Ｐ−１又は
Ｐ−２により検出された場合には、この結果に基いて開
閉弁Ｖ−６又はＶ−７が閉じられ、混合ガスの供給が停
止される。
【００２７】なお、タンク１及び調合槽２には、それぞ
れブリザー弁を有するベント配管が設けられており、タ
ンク１及び調合槽２の気相部の圧力が設定圧力を超えた
場合には、このブリザー弁が作動して、過剰のガスがベ
ントガスとして放出される。放出されたガスは、必要に
応じて処理された後、最終的には焼却処理設備等で無
害、無臭化処理される。
れブリザー弁を有するベント配管が設けられており、タ
ンク１及び調合槽２の気相部の圧力が設定圧力を超えた
場合には、このブリザー弁が作動して、過剰のガスがベ
ントガスとして放出される。放出されたガスは、必要に
応じて処理された後、最終的には焼却処理設備等で無
害、無臭化処理される。
【００２８】上記混合ガスのタンク１又は調合槽２への
供給に応じて、混合ガス供給配管５の圧力が低下する。
従って、圧力計Ｐ−５で検出される配管５内の圧力が設
定圧力を下回った場合には、この検出結果に基いて、乾
燥空気の供給配管３に設けられた流量調整弁Ｖ−３の開
度が上がり、乾燥空気が供給されると共に、比率設定器
１０により、この流量調整弁Ｖ−３の開度に比例して、
所定の比率になるように、窒素の供給配管４に設けられ
た流量調整弁Ｖ−４の開度が制御され、これにより、乾
燥空気と窒素とが所定の流量比で、従って、所定の酸素
濃度の混合ガスとなるように、混合ガス供給配管５に供
給される。所定の酸素濃度の混合ガスが供給されること
により、圧力計Ｐ−５により混合ガス供給配管５の圧力
が設定圧力となったことが検知されると、流量調整弁Ｖ
−３が閉じられ同時に流量調整弁Ｖ−４も閉じられ、乾
燥空気及び窒素の供給は停止される。
供給に応じて、混合ガス供給配管５の圧力が低下する。
従って、圧力計Ｐ−５で検出される配管５内の圧力が設
定圧力を下回った場合には、この検出結果に基いて、乾
燥空気の供給配管３に設けられた流量調整弁Ｖ−３の開
度が上がり、乾燥空気が供給されると共に、比率設定器
１０により、この流量調整弁Ｖ−３の開度に比例して、
所定の比率になるように、窒素の供給配管４に設けられ
た流量調整弁Ｖ−４の開度が制御され、これにより、乾
燥空気と窒素とが所定の流量比で、従って、所定の酸素
濃度の混合ガスとなるように、混合ガス供給配管５に供
給される。所定の酸素濃度の混合ガスが供給されること
により、圧力計Ｐ−５により混合ガス供給配管５の圧力
が設定圧力となったことが検知されると、流量調整弁Ｖ
−３が閉じられ同時に流量調整弁Ｖ−４も閉じられ、乾
燥空気及び窒素の供給は停止される。
【００２９】図２に示す方法は、図１に示す方法におい
て、更に混合ガスの供給配管５に酸素濃度計Ｏ−５を設
け、酸素濃度計Ｏ−５による検出結果に基いて、乾燥空
気と窒素との流量比を微調整することにより、混合ガス
の酸素濃度をより一層正確に調整するようにしたもので
ある。
て、更に混合ガスの供給配管５に酸素濃度計Ｏ−５を設
け、酸素濃度計Ｏ−５による検出結果に基いて、乾燥空
気と窒素との流量比を微調整することにより、混合ガス
の酸素濃度をより一層正確に調整するようにしたもので
ある。
【００３０】図２の方法において、タンク１又は調合槽
２の圧力が低下した際には、図１の方法と同様に、タン
ク１又は調合槽２に混合ガスが供給され、同時に混合ガ
ス供給配管５の圧力が設定圧力よりも低下したことが圧
力計Ｐ−５により検出されたときには、図１の方法と同
様に、流量調整弁Ｖ−３の開度が上がり乾燥空気が供給
されると共に、この流量に比例して窒素が供給される
が、更に、図２の方法では、混合ガス供給配管５内の混
合ガスの酸素濃度が酸素濃度計Ｏ−５により検出され、
この検出結果に基いて、混合ガスの酸素濃度が所定の濃
度となるように、流量調整弁Ｖ−４の開度が微調整され
る。このため、混合ガスの酸素濃度をより一層正確に調
整することができるようになる。
２の圧力が低下した際には、図１の方法と同様に、タン
ク１又は調合槽２に混合ガスが供給され、同時に混合ガ
ス供給配管５の圧力が設定圧力よりも低下したことが圧
力計Ｐ−５により検出されたときには、図１の方法と同
様に、流量調整弁Ｖ−３の開度が上がり乾燥空気が供給
されると共に、この流量に比例して窒素が供給される
が、更に、図２の方法では、混合ガス供給配管５内の混
合ガスの酸素濃度が酸素濃度計Ｏ−５により検出され、
この検出結果に基いて、混合ガスの酸素濃度が所定の濃
度となるように、流量調整弁Ｖ−４の開度が微調整され
る。このため、混合ガスの酸素濃度をより一層正確に調
整することができるようになる。
【００３１】なお、図１，２においては、乾燥空気と窒
素との混合ガスの供給を行うが、乾燥空気の代りに酸素
を用いても良い。また、この場合において、混合ガスの
酸素濃度を測定する代りに窒素濃度を測定しても良い。
また、図２の方法において、酸素濃度計の測定結果のみ
に基いて乾燥空気と窒素との供給量の制御を行うことも
可能である。
素との混合ガスの供給を行うが、乾燥空気の代りに酸素
を用いても良い。また、この場合において、混合ガスの
酸素濃度を測定する代りに窒素濃度を測定しても良い。
また、図２の方法において、酸素濃度計の測定結果のみ
に基いて乾燥空気と窒素との供給量の制御を行うことも
可能である。
【００３２】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明の雰囲気ガス
の供給方法によれば、易重合性で、０〜４０℃で爆発組
成を形成する（メタ）アクリル酸又はそのエステルのよ
うな、製造、貯蔵ないしは取り扱い時の雰囲気ガスを厳
密に制御することが必要な化合物の製造設備又は貯蔵設
備に、所定の組成の雰囲気ガスを、その使用量の変動に
影響されることなく、安定に供給することができる。
の供給方法によれば、易重合性で、０〜４０℃で爆発組
成を形成する（メタ）アクリル酸又はそのエステルのよ
うな、製造、貯蔵ないしは取り扱い時の雰囲気ガスを厳
密に制御することが必要な化合物の製造設備又は貯蔵設
備に、所定の組成の雰囲気ガスを、その使用量の変動に
影響されることなく、安定に供給することができる。
【図１】本発明の雰囲気ガスの供給方法の実施の形態を
示す系統図である。
示す系統図である。
【図２】本発明の雰囲気ガスの供給方法の他の実施の形
態を示す系統図である。
態を示す系統図である。
１ タンク
２ 調合槽
１０ 比率設定器
Ｐ−１，Ｐ−２，Ｐ−５ 圧力計
Ｏ−５ 酸素濃度計
Ｖ−３，Ｖ−４ 流量調整弁
Ｖ−６，Ｖ−７ 開閉弁
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考）
Ｃ０７Ｃ 67/62 Ｃ０７Ｃ 67/62
69/54 69/54 Ｚ
Ｆターム(参考） 4G068 AA01 AB01 AC16 AC20 AF01
AF31 AF40
4G075 AA54 AA65 CA63 DA02 DA18
4H006 AA02 AD41 BC50 BD84 BE30
BS10 KC14
Claims (13)
- 【請求項１】 化合物の製造設備及び／又は貯蔵設備
に、ガス供給源から供給ラインを通して雰囲気ガスを供
給する雰囲気ガスの供給方法において、 該製造設備及び/又は貯蔵設備の気相部におけるガス消
費量を検出し、この検出結果に基いて、該気相部のガス
消費量に見合う量の雰囲気ガスを該供給ラインから該気
相部に供給すると共に、 該供給ラインにおけるガス消費量を検出し、この検出結
果に基いて、該供給ラインのガス消費量に見合う量の雰
囲気ガスを前記ガス供給源から該供給ラインに供給する
ことを特徴とする雰囲気ガスの供給方法。 - 【請求項２】 請求項１において、該雰囲気ガスが不燃
性ガスと空気又は酸素との混合ガスであることを特徴と
する雰囲気ガスの供給方法。 - 【請求項３】 請求項２において、該不燃性ガスが窒素
ガスであることを特徴とする雰囲気ガスの供給方法。 - 【請求項４】 請求項１ないし３のいずれか１項におい
て、該化合物が易重合性であり、かつ、０〜４０℃で爆
発組成を形成し得る化合物であることを特徴とする雰囲
気ガスの供給方法。 - 【請求項５】 請求項１ないし４のいずれか１項におい
て、該化合物が、雰囲気ガス中の酸素により重合が抑制
される易重合性化合物であることを特徴とする雰囲気ガ
スの供給方法。 - 【請求項６】 請求項４又は５において、該化合物が、
（メタ）アクリル酸又はそのエステルであることを特徴
とする雰囲気ガスの供給方法。 - 【請求項７】 請求項６において、該（メタ）アクリル
酸のエステルが、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）
アクリル酸エチル、又は（メタ）アクリル酸ブチルある
ことを特徴とする雰囲気ガスの供給方法。 - 【請求項８】 請求項１ないし７のいずれか１項におい
て、該気相部の圧力を測定することにより、該気相部に
おけるガス消費量を検出することを特徴とする雰囲気ガ
スの供給方法。 - 【請求項９】 請求項１ないし８のいずれか１項におい
て、該供給ライン中の圧力を測定することにより、該供
給ラインにおけるガス消費量を検出することを特徴とす
る雰囲気ガスの供給方法。 - 【請求項１０】 請求項２ないし９のいずれか１項にお
いて、該供給ラインへ、不燃性ガスと空気又は酸素と
を、所定の比率となるように別々に供給することを特徴
とする雰囲気ガスの供給方法。 - 【請求項１１】 請求項１０において、該供給ラインへ
供給される不燃性ガスと空気又は酸素との流量比率を制
御することを特徴とする雰囲気ガスの供給方法。 - 【請求項１２】 請求項１０又は１１において、該供給
ラインに供給されるガス中の不燃性ガス濃度又は酸素濃
度を制御することを特徴とする雰囲気ガスの供給方法。 - 【請求項１３】 請求項１ないし１２のいずれか１項に
おいて、該雰囲気ガス中の酸素濃度が２〜１０体積％で
あることを特徴とする雰囲気ガスの供給方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002338249A JP4055557B2 (ja) | 2001-11-21 | 2002-11-21 | 雰囲気ガスの供給方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001356288 | 2001-11-21 | ||
| JP2001-356288 | 2001-11-21 | ||
| JP2002338249A JP4055557B2 (ja) | 2001-11-21 | 2002-11-21 | 雰囲気ガスの供給方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003231663A true JP2003231663A (ja) | 2003-08-19 |
| JP4055557B2 JP4055557B2 (ja) | 2008-03-05 |
Family
ID=27790383
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002338249A Expired - Lifetime JP4055557B2 (ja) | 2001-11-21 | 2002-11-21 | 雰囲気ガスの供給方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4055557B2 (ja) |
Cited By (8)
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| JP2010521532A (ja) * | 2007-03-23 | 2010-06-24 | ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピア | 貯蔵容器から取り出された液状モノマー相をタンクローリーまたはタンカーのタンク中に輸送する方法 |
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| JP2017095578A (ja) * | 2015-11-24 | 2017-06-01 | 三菱ケミカル株式会社 | 半導体リソグラフィー用重合体の製造方法、レジスト組成物の製造方法、およびパターンが形成された基板を製造する方法 |
| WO2020040050A1 (ja) * | 2018-08-20 | 2020-02-27 | 昭和電工株式会社 | 組成物、組成物の製造方法および不飽和化合物の製造方法 |
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-
2002
- 2002-11-21 JP JP2002338249A patent/JP4055557B2/ja not_active Expired - Lifetime
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|---|---|
| JP4055557B2 (ja) | 2008-03-05 |
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