JP2003221218A - 鉄系酸化物微粒子を含有した真球状シリカ粒子及びその製造方法 - Google Patents

鉄系酸化物微粒子を含有した真球状シリカ粒子及びその製造方法

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JP2003221218A JP2002021222A JP2002021222A JP2003221218A JP 2003221218 A JP2003221218 A JP 2003221218A JP 2002021222 A JP2002021222 A JP 2002021222A JP 2002021222 A JP2002021222 A JP 2002021222A JP 2003221218 A JP2003221218 A JP 2003221218A
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研二 竹之内
San Abe
賛 安部
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】耐熱性、表面安定性、さらに耐水性に優れ、樹
脂とのなじみ性や分散性、流動性に優れた鉄系酸化物微
粒子を含有した真球状シリカ粒子とその製造方法を提供
すること。 【解決手段】本発明になる鉄系酸化物微粒子を含有する
真球状シリカ粒子は、鉄系酸化物微粒子とこの鉄系酸化
物微粒子を含有する酸化珪素とからなり、平均粒径が
0.05〜10μmの無孔質で真球状であることを特徴
とする。鉄系酸化物微粒子の平均粒径は、500nm以
下であり、また、鉄系酸化物と酸化珪素との合計を10
0重量%としたとき、鉄系酸化物は1〜50重量%であ
り、さらに、鉄系酸化物微粒子は、磁性酸化鉄微粒子で
あり、その保磁力が、50〜1200〔Oe〕であり、
また、シリカ粒子は、真球度が、0.8〜1.0の範囲
の真球状であることからなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、鉄系酸化物微粒子
を含有した真球状シリカ粒子に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、磁性トナー材料、電磁波吸収材
料、あるいは磁気記録媒体などに使用される磁性鉄酸化
物微粉や、耐熱性向上のためにフィラーとして樹脂中に
充填される鉄系酸化物微粒子は、湿式法によって生成さ
れることが多い。たとえば、特開平11−314919
号公報では、湿式合成マグネタイトをスラリー化した
後、続けて水可溶性アルミニウム塩を所定量添加しpH
調整し、さらにコロイダルシリカを所定量添加してpH
調整する。場合によっては、さらにシリコーンオイルお
よび/またはカップリング剤を被覆する方法を開示して
いる。また、特開平9−17582号公報では、マグネ
タイト粒子にシリカを被覆するに際して、マグネタイト
粉末の水懸濁液を加熱し、pHを調整してケイ酸水溶液
を滴下して被覆相を形成した後さらにpHを調整して所
望のシリカ被覆の黒色磁性酸化鉄粒子を得ることとして
いる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】前記のいずれの方法も
その製造プロセスは、pH調整、濾過、洗浄、乾燥など
といった複数の工程からなり、必ずしも生産性の高い方
法とは言えない。さらに、このような湿式法によって得
られたシリカ被覆粒子は、含水塩を形成しやすいため
に、耐湿性や樹脂とのなじみ性、あるいは樹脂中での分
散性や流動性が充分ではない。
【0004】本発明はこれらの事情に鑑みて成されたも
ので、上記の湿式方法とは全く異なる、金属粉末を用い
たVMC法(Vapourized Metal Co
mbution Method)により、鉄系酸化物微
粒子を含有した真球状シリカ粒子を得るものである。す
なわち、本発明の課題は、耐熱性、表面安定性、さらに
耐水性に優れ、樹脂とのなじみ性や分散性、流動性に優
れた鉄系酸化物微粒子を含有した真球状シリカ粒子とそ
の製造方法を提供することである。
【0005】
【発明を解決するための手段】本発明になる鉄系酸化物
微粒子を含有する真球状シリカ粒子は、鉄系酸化物微粒
子とこの鉄系酸化物微粒子を含有する酸化珪素とからな
り、平均粒径が0.05〜10μmの無孔質で真球状で
あることを特徴とする。鉄系酸化物微粒子の平均粒径
は、500nm以下であることが望ましく、また、鉄系
酸化物と酸化珪素との合計を100重量%としたとき、
鉄系酸化物は1〜50重量%であることが好ましい。さ
らに、鉄系酸化物微粒子は、磁性酸化鉄微粒子であり、
その保磁力が、50〜1200〔Oe〕であることが望
ましい。また、シリカ粒子は、真球度が、0.8〜1.
0の範囲の真球状であることが好ましい。
【0006】本発明になる真球状シリカ粒子の製造方法
は、鉄系金属粉末と金属珪素との混合粉末を、キャリア
ガスとともに反応室内に供給する原料供給工程と、供給
された混合粉末を反応室内で燃焼させる燃焼工程と、燃
焼させて液化または気化した混合粉末を冷却して、鉄系
酸化物微粒子を含有する真球状シリカ粒子を形成する冷
却工程とを有することを特徴とする。
【0007】
【発明の実施の形態】本発明になる鉄系酸化物微粒子を
含有する真球状シリカ粒子(以下、シリカ粒子と称す
る)は、鉄系酸化物微粒子とこの鉄系酸化物微粒子を含
有する酸化珪素とからなり、平均粒径が0.05〜10
μmの無孔質で真球状であることを特徴とする。
【0008】本発明のシリカ粒子は、その粒子の一つ一
つが真球に近い無孔質の球体である。そして、その粒子
は内部に鉄系酸化物微粒子を含む酸化珪素からなる。す
なわち、球状の酸化珪素の内部に鉄系酸化物微粒子が多
数分散保持されている。 鉄系酸化物微粒子は、鉄フェ
ライトであるマグネタイトであることが好ましいが、例
えば、磁気特性の最適化や難燃性の付与、キャリア特性
などといった要求される特性改善のために、例えば亜
鉛、コバルト、マンガン、クロム、ニッケルなどの金属
やアルミナ等の酸化物を含むこともできる。これらの金
属および/あるいは酸化物は、鉄系酸化物微粒子に対し
て0.01〜30重量%含有してもよい。
【0009】鉄系酸化物微粒子の平均粒径は、500n
m以下であることが望ましい。平均粒径が500nmを
越えると、鉄系酸化物微粒子が形成されたシリカ粒子の
表面に表出し、酸化珪素のもつ樹脂との優れた親和性が
低下することがあるために好ましくない。より好ましく
は、200nm以下である。
【0010】鉄系酸化物微粒子を含むシリカ粒子の保磁
力は、50〜1200〔Oe〕が好ましい。より好まし
くは、50〜500〔Oe〕である。
【0011】一つ一つのシリカ粒子中の鉄系酸化物の含
有量は、多ければ多いほどその特性を発揮することがで
きるが、含有量の増加によって鉄系酸化物微粒子がシリ
カ粒子表面に表出し、酸化珪素のもつ樹脂との優れた親
和性が低下する。実用的な鉄系酸化物の含有量は、鉄系
酸化物と酸化珪素との合計を100重量%としたとき、
1〜50重量%である。残りの99重量%から50重量
%が酸化珪素となる。
【0012】鉄系酸化物を含有するシリカ粒子の平均粒
径は、0.05〜10μmである。平均粒径が0.05
μm未満では作業性が極めて悪く、また10μmを越え
るシリカ粒子の製造は、設備や製造条件の上で制約も多
くかえってコスト高となる場合があるために上記の範囲
が好ましい。
【0013】本発明の鉄系酸化物微粒子を含有した真球
状シリカ粒子は、本発明者らが開発した特開昭64−7
9001号公報の方法で製造することができる。この方
法は、金属の微粉末と、金属珪素粉末とを、キャリアガ
スとともに反応容器内に供給し、この反応容器内で可燃
ガスにより形成した火炎中で、金属の微粉末と金属珪素
粉末とを燃焼酸化して液化ないし気化させ、金属酸化物
粉末の表面上に、シリコン酸化物の被覆層を形成するも
のである。
【0014】原料となる鉄系金属粉末および金属珪素粉
末は、得られる鉄系酸化物を含有したシリカ粒子の純度
を高めるために、99%以上の純度を有することが望ま
しい。また燃焼火炎中での反応を行うために、いずれの
粉末も平均粒径が1〜40μmの微粉末であることが好
ましい。平均粒径が1μm未満では取扱いが困難であ
り、であり、一方、40μmを越えると燃焼が不十分と
なり、所望のシリカ粒子を得られない場合がある。
【0015】原料粉末は、各々の粉末を予め混合して混
合物を形成してもよいし、また、所望の組成をもつ鉄と
珪素との合金粉末を用いてもよい。このようにして得ら
れた原料粉末をキャリアガスとともに容器内へ供給す
る。また、場合によっては、鉄系金属粉末と金属珪素粉
末とを、それぞれ別々にキャリアガスとともに容器内へ
供給することにしてもよい。
【0016】キャリアガスは、空気、酸素、水素、ある
いは窒素などのガスを使用することができる。しかし、
反応容器内は、燃焼性を考慮すると、酸化雰囲気とする
必要がある。従って、キャリアガスとしては、空気また
は酸素ガスを用いることが好ましい。さらに、反応容器
内で火炎を形成する可燃ガスを導入することが望まし
い。反応容器は、アルミナレンガなどの断熱材で内張り
されていることが好ましい。この反応容器内に供給され
る混合粉末の量は1時間当り1〜5kg程度が好まし
く、この場合、反応容器の容積は50〜100l程度で
あることが好ましい。反応容器には、発火源をもつこと
が好ましい。発火源はスパークを発生させるものにする
ことができる。
【0017】反応容器内では発火させて火炎を形成し、
鉄系金属粉末と金属珪素粉末とを燃焼させ、液化あるい
は気化状の酸化物となす。火炎は通常800〜1600
℃程度の高温となる。この火炎は、例えば、プロパンガ
スと酸素ガスとで形成することができる。 火炎中で生
成した鉄系酸化物は、珪素酸化物よりも先に微粒子状の
固体となって反応系中に浮遊する。すなわち、反応系に
存在する鉄系酸化物微粉末が核となり、この鉄系酸化物
微粉末の表面に、液化または気化された酸化珪素が堆積
して被覆層を形成し、本発明の鉄系酸化物微粒子を含有
するシリカ粒子が形成される。
【0018】この合成されたシリカ粒子は、燃焼排ガス
とともに採集される。この場合、一般的に、反応容器と
集塵機とを接続し、集塵機を駆動させて行うことができ
る。集塵機としては電気式集塵機、バグフィルター、捕
集ドラム式微粉末集塵装置などを用いることができる。
【0019】なお、鉄系酸化物微粒子は、鉄系金属粉末
を上記の製造装置に投入して得られるが、マグネタイト
などの鉄系酸化物粉末を用いることもできる。
【0020】以上のようにして得られた鉄系酸化物微粒
子を含有するシリカ粒子は、鉄系酸化物微粒子が酸化珪
素粒子内に取込まれているため、シリカ粉末と同様の特
性を持ち、例えば、シラン処理などの表面修飾が容易に
なる。また、表面が酸化珪素で形成されているため多く
の樹脂と親和性がよく、なじみがよい。また、図1に見
られるように真球状であり極めて細かいため、種々の粉
体の流動性改良に使用できる。さらに、高温で生成され
るために含水量が極めて低く、樹脂との混合時の流れ性
の向上を図ることができる。
【0021】以上のように、この鉄系酸化物微粒子を含
有するシリカ粒子は、非常に多くの有意な特性を有する
ことから、磁性トナー材料、電磁波吸収材料、磁気記録
媒体、塗料・顔料、さらに磁性流体材料などの広範囲な
分野で有用である。
【0022】また、得られたシリカ粒子を還元溶解する
ことにより、平均粒径が500nm以下という超微細の
鉄系酸化物微粒子のみを取出すことが出来る。この鉄系
酸化物超微粒子は、微細な球状であることから流動性や
分散性に優れるとともに、比表面積が極めて大きいとい
う特色を有する。従って、例えばフィラーとして樹脂中
に充填して、樹脂の耐熱性を向上させる、あるいは複写
機用キャリアトナーとして帯電量や電気抵抗を改善する
上で極めて好適に用いることができる。
【0023】
【実施例】以下実施例により本発明を説明する。 (実施例1)重量比率で、鉄:珪素=1:1であり、平
均粒径が10μmの鉄と珪素からなる合金粉末を原料粉
末とした。この原料粉末を図2に示す製造装置に投入し
て、鉄系酸化物微粒子を含有する真球状シリカ粒子を得
た。
【0024】図2の製造装置は、反応容器15と、原料
供給部10と、生成物分離部20とから構成されてい
る。反応容器15は内壁を耐熱レンガ5で囲まれ、側壁
に排出通路11に連通する排出口11aと、上面側には
原料供給部10に接続されているバーナ8とを有する。
原料供給部10は、混合原料粉末2を貯蔵するホッパー
1と、混合原料粉末2を搬送するキャリアガス12の通
路となるパイプ3と、可燃ガス13の導入通路のパイプ
4とが配設されている。生成物分離部20は、排出通路
11と、排出通路11途上に粉末集塵装置6および排ガ
スを排出するブロア7とが配備されている。この製造装
置を用い、まずキャリアガス(酸素)12をパイプ3を
通じて反応容器15内に導入するとともに、可燃ガス
(プロパンガス)13をパイプ4を通じて反応容器15
内に導入してバーナ8で着火して火炎9を形成し、反応
容器15を充分に乾燥させた。
【0025】キャリアガスの流量は4Nm3/時間、可
燃ガスは0.4Nm3/時間の流速で反応容器15内に
供給した。次いで上記のように調製された混合原料粉末
を、ホッパー1より前記キャリアガス13により5kg
/時間の供給速度でバーナ8を通して反応容器15内に
供給して火炎9中で燃焼させた。
【0026】鉄微粉末および金属珪素微粉末は火炎中の
燃焼により液化・気化状の酸化物となり、生成した鉄酸
化物の表面に酸化珪素が付着して被覆層を形成し、鉄系
酸化物微粒子を含有する真球状のシリカ粒子となる。
【0027】次いでブロア7を作動させて燃焼排ガスを
排出通路、集塵装置を経て系外に排出させることにより
生成物を集塵機で捕集分離した。このようにして鉄系酸
化物微粒子を含有する真球状のシリカ粒子を得た。
【0028】得られたシリカ粒子の電子顕微鏡写真を図
1に示した。図1に見られる丸い球状の粒子が、本実施
例の鉄系酸化物微粒子を含有するシリカ粒子である。各
球状の粒子内に見える、小さなより黒い粒子が鉄系酸化
物の微粒子である。そしてこれら鉄系酸化物の微粒子を
包込んで全体として大きな球状を構成しているものが二
酸化珪素である。この鉄系酸化物微粒子をX線回折によ
り同定したところマグネタイトを形成していることが分
った。
【0029】得られたシリカ粒子の平均粒径は、0.5
μmであり、その比表面積は6.1m2/gであった。
比表面積の測定はBET法((株)島津製作所製 Fl
owSorbII)によった。また、本実施例のシリカ
粒子の保磁力を測定したところ、90〔Oe〕であっ
た。 (実施例2)粒径制御条件を変更した以外は、実施例1
と同様に行って、鉄系酸化物を含有するシリカ粒子を得
た。得られたシリカ粒子の電子顕微鏡写真を図3に示し
た。本実施例では、平均粒径が6.3μmと、実施例1
に比べて10倍以上の平均粒径をもつシリカ粒子が得ら
れた。従って、その比表面積は、実施例1の約1/10
である0.5m2/gであった。また、実施例1と同様
の方法でシリカ粒子の保磁力を測定したところ、340
〔Oe〕の値が得られた。
【0030】
【発明の効果】本発明になる鉄系酸化物微粒子を含有す
る真球状シリカ粒子は、耐熱性、表面安定性、耐水性に
優れ、かつ樹脂とのなじみ性、分散性、流動性に優れて
おり、磁性トナー材料、電磁波吸収材料、磁気記録媒
体、その他塗料・顔料などにも好適に使用できる。ま
た、本発明になる鉄系酸化物微粒子を含有するシリカ粒
子はVMC法によって得られるので、従来の湿式法に比
較して極めて簡便で効率的に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例1の鉄系酸化物を含有するシリカ粒子の
構造を示す電子顕微鏡写真である。
【図2】実施例の鉄系酸化物を含有するシリカ粒子の製
造に使用された製造装置の縦断面図である。
【図3】実施例2の鉄系酸化物を含有するシリカ粒子の
構造を示す電子顕微鏡写真である。
【符号の説明】
1:ホッパー 2:混合粉末 3、4:パイプ 6:集
塵装置 8:バーナ 9:火炎
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成14年2月12日(2002.2.1
2)
【手続補正1】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図1
【補正方法】変更
【補正内容】
【図1】
【手続補正2】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図3
【補正方法】変更
【補正内容】
【図3】
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 4G072 AA35 BB07 DD03 DD04 GG01 GG03 HH01 JJ03 JJ09 MM02 MM36 RR03 TT01 UU30

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】鉄系酸化物微粒子と該鉄系酸化物微粒子を
    含有する酸化珪素とからなり、平均粒径が0.05〜1
    0μmの無孔質で真球状であることを特徴とするシリカ
    粒子。
  2. 【請求項2】前記鉄系酸化物微粒子の平均粒径は、50
    0nm以下である請求項1に記載のシリカ粒子。
  3. 【請求項3】前記鉄系酸化物と前記酸化珪素との合計を
    100重量%としたとき、前記鉄系酸化物は1〜50重
    量%である請求項1および請求項2に記載のシリカ粒
    子。
  4. 【請求項4】前記シリカ粒子の真球度は、0.8〜1.
    0である請求項1ないし請求項3に記載のシリカ粒子。
  5. 【請求項5】前記鉄系酸化物微粒子は、磁性酸化鉄微粒
    子である請求項1ないし請求項4に記載のシリカ粒子。
  6. 【請求項6】前記磁性酸化鉄の保磁力は、50〜120
    0〔Oe〕である請求項5に記載のシリカ粒子。
  7. 【請求項7】鉄系金属粉末と金属珪素との混合粉末を、 キャリアガスとともに反応室内に供給する原料供給工程
    と、 供給された前記混合粉末を反応室内で燃焼させる燃焼工
    程と、 前記燃焼させて液化または気化した混合粉末を冷却して
    鉄系酸化物微粒子を含有する真球状シリカ粒子を形成す
    る冷却工程と、を有することを特徴とするシリカ粒子の
    製造方法。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005097055A (ja) * 2003-09-26 2005-04-14 Japan Science & Technology Agency 非晶質の複合酸化物微粒子とその製造方法及び製造装置
JP5315477B1 (ja) * 2012-05-14 2013-10-16 株式会社アドマテックス シリカ粒子及びその製造方法、並びに樹脂組成物
WO2023282136A1 (ja) 2021-07-05 2023-01-12 信越化学工業株式会社 一酸化珪素の製造方法
WO2023032845A1 (ja) 2021-09-02 2023-03-09 信越化学工業株式会社 一酸化珪素粉末及びリチウムイオン二次電池用負極活物質

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005097055A (ja) * 2003-09-26 2005-04-14 Japan Science & Technology Agency 非晶質の複合酸化物微粒子とその製造方法及び製造装置
JP4515736B2 (ja) * 2003-09-26 2010-08-04 独立行政法人科学技術振興機構 非晶質の複合酸化物微粒子とその製造方法及び製造装置
JP5315477B1 (ja) * 2012-05-14 2013-10-16 株式会社アドマテックス シリカ粒子及びその製造方法、並びに樹脂組成物
WO2013171812A1 (ja) * 2012-05-14 2013-11-21 株式会社アドマテックス シリカ粒子及びその製造方法、並びに樹脂組成物
WO2023282136A1 (ja) 2021-07-05 2023-01-12 信越化学工業株式会社 一酸化珪素の製造方法
KR20240031296A (ko) 2021-07-05 2024-03-07 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 일산화규소의 제조 방법
WO2023032845A1 (ja) 2021-09-02 2023-03-09 信越化学工業株式会社 一酸化珪素粉末及びリチウムイオン二次電池用負極活物質
KR20240053051A (ko) 2021-09-02 2024-04-23 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 일산화규소 분말 및 리튬 이온 이차 전지용 부극 활물질

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