JP2003215528A - Lcd検査プローブの位置合わせ方法及び装置 - Google Patents
Lcd検査プローブの位置合わせ方法及び装置Info
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Abstract
度で得ることができ、しかも温度ドリフトや外乱に影響
を受けにくいものとする。 【解決手段】LCD基板の端子群とプローブ治具のプロ
ーブ群とを電気的に接続して、プローブ治具に設けられ
たマークと、LCD基板のマークとを重ねるように光学
的にビデオカメラ501、503により読み取り、両マ
ークを所定の位置関係に位置制御する。このとき、撮像
装置がパレットの内部に埋設されている。
Description
ス(LCD基板と称する)の接続パターン等にプローブ
を接触させて、試験、検査等を行うのに利用される装置
に係わり、特に、接続精度を向上させたLCD検査プロ
ーブの位置合せ方法及び装置に関する。
場合、LCD基板をパレット上に平面的に載置し、この
パレットを平面的にX軸方向、Y軸方向、回転(θ)方
向に位置調整し、所定位置に設置されているプローブを
近付けて、LCD基板の接続パターンに電気的接触を行
い、試験、検査を行っている。
方向用のステージ、Y軸方向用のステージ、θ方向用の
ステージを積み重ねることにより構成されている。そし
て、パレット及びその上面のLCD基板を位置調整する
場合、ビデオカメラにより監視しており、LCD基板の
位置パターンを写し出して調整作業を行っている。
う場合、その基準となる基準データは、メモリに記憶さ
れており画像比較結果得られた誤差データにより調整を
行っている。この調整が終わると、プローブ治具が下降
されて、LCD基板の接続パターンに電気的に接続され
る。よって、上記の調整作業のときに比較対象とされる
基準データは、プローブ治具の位置をメモリのデータ上
で表していることになる。
システムは、パレット上のLCD基板をビデオカメラで
監視して、そのパターンをメモリの基準データと比較し
て、X、Y、θ方向の調整を行い、この調整の完了の
後、プローブ治具を下降させて接続パターンにプローブ
を接続している。しかし、この方式は、メモリの基準デ
ータが正確にプローブ治具の位置に対応していること、
及びビデオカメラの撮影情報が正確であることが前提と
なる。
とプローブ治具の位置との相互関係は極めて高精度でな
ければならず、組み立て精度に厳格なものが要求され
る。また温度ドリフト等によりビデオカメラの撮影条件
に狂いが生じることがあり、そのときは再度初期設定処
理を行うか、基準データの調整を行う必要が生じる。
基板の位置合わせを、高精度で得ることができ、しかも
温度ドリフトや外乱に影響を受けにくくしたLCD検査
プローブの位置合せ装置を提供することを目的とする。
位置決め保持されたLCD基板に対して、プローブ治具
を近づけて、LCD基板の端子群とプローブ治具のプロ
ーブ群とを電気的に接続して前記LCD基板の検査を行
なうために、前記パレットを通じて前記LCD基板とプ
ローブ治具との位置合わせを行なう方式として、プロー
ブ治具に設けられたマークとLCD基板のマークとを、
前記パレットの内部に埋設されている光学的な撮像手段
により撮影して、そのずれ情報に基づいて両マークが所
定の位置関係となるように、前記LCD基板を保持して
いる前記パレットを搭載した調整テーブルを位置制御す
ることを特徴とする。
て読み取られるために、カメラの取り付け精度は関係な
く、また、温度ドリフト等による電気的変化があって
も、精度よくプローブをLCD基板の端子に位置合わせ
を行うことができる。
参照して説明する。図1はこの発明の前提となる例を示
す図である。100はLCD基板であり、このLCD基
板は、パレット200上に精度良く位置決めされて保持
されている。パレット200は、さらに調整テーブル装
置300上に精度良く位置決めされて載置されている。
このパレット200は例えば透明な材質により構成され
ている。調整テーブル装置300は、平面的に直交する
X軸、Y軸方向のテーブルと、回転方向(θ方向)のテ
ーブルを有する(図3参照)。この調整テーブル装置3
00は、パターン比較及び制御装置503により制御さ
れる。
下降して、そのプローブをLCD基板100の端子に電
気的に接続することができる。プローブ治具400の機
械的駆動装置及び調整テーブル装置300の機械的駆動
装置については図示していないが周知の機構がある。
板100の端子に電気的に接続する場合、その位置合わ
せが行われる。この位置合わせを行うための、監視位置
情報は、次のように得られる。即ち、ビデオカメラ50
1、502がプローブ治具400のマークと、LCD基
板100のマークとを撮像して、そのマーク画像の位置
誤差を監視することにより得られる。ビデオカメラ50
1、502からの撮像信号は、パターン比較及び制御装
置503に入力される。パターン比較及び制御装置50
3は、プローブ治具400のマークとこれに対応するL
CD基板100のマークとが所定の関係になるように、
調整テーブル装置300を制御する。
するLCD基板100のマークとは、例えばモニタ50
4に表示される。例えばマークM11がビデオカメラ5
01により撮像されたプローブ治具400のマークであ
り、マークM21が同じくビデオカメラ501により撮
像されたLCD基板100のマークである。この例では
マークM1は格子状であり、マークM21は四角形であ
る。マークM21が格子に合致した状態となったときに
位置合わせが完了する。
のプローブとLCD基板100の所定の端子とが接続さ
れると、プローブを通して各種の電気的試験が行われ
る。例えば、所定の画像を表示させてその様子を別の監
視カメラで撮像して画像処理により確認を行う等の試験
である。このときは、バックライト600がオンし、液
晶表示機能が発揮されるように設定される。
られているマークと、プローブ治具400に設けられて
いるマークとをビデオカメラで撮像し、照準媒体として
利用しながら位置合わせをおこなっている点に特徴があ
る。
理的に示している。LCD基板100は、2枚の透明ガ
ラス101、102間に液晶103を封じ込めたもので
あり、液晶セルを制御するために、ガラス102には透
明電極から導出した多数の端子群が導出されている。端
子群は、横2000本、縦500本程も存在する。ここ
でガラス102の4つの角部には、マークM21、M2
2、M23、M24が塗布されている。図2(C)は、
LCD基板100がパレット200に載置された状態を
示している。
D基板100とビデオカメラ501、502の配置例を
示している。ビデオカメラ501、502は、それぞれ
LCD基板100に設けられているマークとプローブ治
具400に設けられているマークとを重ねて撮像しなけ
ればならない。したがって、プローブ治具400の角部
には、例えば透明板(例えばガラス)401、402、
403、404が設けられ、この透明板401、40
2、403、404に格子のマークが塗布されている。
これにより、ビデオカメラ501、502は、プローブ
治具400に設けられているマークとLCD基板100
に設けられているマークとを重ねて撮像することができ
る。図3(A)はビデオカメラ501が、透明板401
に設けられている格子のマークとLCD基板100に設
けられているマークM21とを重ねて撮像した状態を示
している。この状態は理想的な位置合わせ状態を示して
いるが、位置ずれが生じている場合には、格子の四角形
に対して四角形のマークM21が傾いている。
記した例では、ビデオカメラ501、502がプローブ
治具400の上部に設置されていた。しかし、図4
(A)の例では、プリズム701、702により光軸の
向きを変えて、サイドからビデオカメラを配置できるよ
うにした例である。この例では、マークを読み取るため
の照明は、自己照明でありビデオカメラ501、502
側から照明光を照射している。
示すように、本来備えらえているバックライト600の
光を照明として利用してもよい。この場合、当然、調整
テーブル300は、バックライト600の光がマークの
光路を通るようにフレーム枠となっている。
る。上記した実施例では、ビデオカメラ501、502
は、プローブ治具400の上側に配置されている。しか
し、調整テーブルの下側に配置されてもよい。このよう
な配置の場合、プローブ治具400を移動させたり、パ
レット200を移動させたりして作業を行う側にカメラ
がないので空間的な余裕があり作業が容易となる。図5
(A)の例の場合、プリズム701、ビデオカメラ50
1、702、ビデオカメラ502を調整テーブル300
の下側に配置している。また、プローブ治具400の上
側には、マークに対応する位置に、プリズム803、8
04を配置し、それぞれのプリズム803、804を介
して光源801、802により照明を行うようにしてい
る。光源801、802、プリズム803、804を省
略して、カメラ側から自己照明をおこなってもよい。
る。この実施例は、パレット200とビデオカメラ50
1、502を一体化して、周辺の簡素化を図ったもので
ある。パレット200は、厚みが大きくなるが、ビデオ
カメラ支持するための機構が不要となる。パレット20
0において、LCD基板100のマークに対応する各位
置には、厚み方向と側部方向に連続する断面L字状の穴
が開設されている。穴221、222の角部にはプリズ
ム701、702が配置されマーク位置を通る光をビデ
オカメラに導くようにしている。この実施例においても
照明方法は、バックライトを利用してもよく、自己照明
であってもよい。
る。図5(B)の実施例と若干異なる。この実施例は、
先のプリズム701、702に変えてハーフミラー71
1、712が利用されている。さらにパレット200の
穴221、222は、ハーフミラー711、712を介
してバックライト600からの光も通過できるように構
成されている。これによりバックライト600の照明を
利用してマークの位置合わせ作業を行うことができる。
501、502は、対向する位置に配置されいるかのよ
うに示した。これは構成をわかり安くするためであり、
実際にはビデオカメラ501、502は、図6(B)に
示すすように、併設して配列されている。
きさ(面積)については触れていない。したがって、図
6(B)に示すビデオカメラ501、502間の距離L
1(LCD基板のマーク間の距離に対応)については説
明していない。しかしこのシステムは、LCD基板の大
きさに応じて、各種の距離L2、L3でビデオカメラを
配置可能なパレットが用意されている。即ち、図7に示
すように、パレット200A、200Bは、それぞれ異
なる大きさのLCD基板100A、100Bを保持する
ことができる。そしてそれぞれのLCD基板100A、
100Bのマーク間隔は異なるので、それぞれに応じた
間隔でビデオカメラ551、552、及び561、56
2を取り付けることができるようになっている。なお、
試験装置において、このような大きさの異なるパレット
に交換された場合は、当然、LCD基板の端子に対応す
る大きさのプローブ治具に交換される。
めに、原理的に示した例である。上記した実施例におい
ては、ビデオカメラ501、502がパターンの画像情
報を取り込み、この画像情報により位置合わせ制御を行
うものとした。しかし、図8に示すように、粗調整と、
精密な微調整とを区別して位置合わせを行ってもよい。
即ち、901、902は粗調整用のビデオカメラであ
る。粗調整が行われるときは、ビデオカメラ901、9
02により取り込まれた画像情報により調整テーブルの
制御が行われる。この調整は、簡単な調整であり、例え
ば格子の中に四角のマークがほぼ位置すればよいものと
されている。この調整が終わると、続いてビデオカメラ
501、502により取り込まれた画像情報により調整
テーブルの制御が行われる。この調整は高精度で位置合
わせが行われる。
8(B)に示すように、格子マークに対して粗調整側で
は四角マークが十分小さく、微調整側では四角マークが
大きく形成されている。
記した例に限らず、図9に示すような各種のマークを利
用することができる。斜線を付したマークが例えばLC
D基板100に設けられているマーク、白抜きのマーク
がプローブ治具400のマークである。
やガラス材にマークを塗布しておくものとして説明した
が、開設穴による穴の形状を選定してマークとしてもよ
い。また切抜きによる形状でマークとしてもよい。
プローブ治具とLCD基板の位置合わせを高精度で得る
ことができ、しかも温度ドリフトや外乱に影響を受けに
くいシステムを構築でいる。
す説明図。
例を示す図。
テーブル、400…プローブ治具、501、502…ビ
デオカメラ、503…パターン比較及び制御装置、50
4…モニタ、600…バックライト。
Claims (2)
- 【請求項1】パレットに位置決め保持されたLCD基板
に対して、プローブ治具を近づけて、LCD基板の端子
群とプローブ治具のプローブ群とを電気的に接続して前
記LCD基板の検査を行なうために、前記パレットを通
じて前記LCD基板とプローブ治具との位置合わせを行
なう方式として、 プローブ治具に設けられたマークとLCD基板のマーク
とを、前記パレットの内部に埋設されている光学的な撮
像手段により撮影して、そのずれ情報に基づいて両マー
クが所定の位置関係となるように、前記LCD基板を保
持している前記パレットを搭載した調整テーブルを位置
制御することを特徴とするLCD検査プローブの位置合
わせ方法。 - 【請求項2】平面的な直交するX軸、Y軸方向及び回転
方向への位置調整が可能な調整テーブル装置と、 前記調整テーブル装置の上面に載置されたパレットと、 前記パレットに保持されるLCD基板と、 前記LCD基板の角部の少なくとも2箇所の光透過部に
付された第1のマークと、 前記パレットの上側で、前記LCD基板の端子に対応し
たプローブを有し、このプローブを前記LCD基板に近
接して接触することができる上下可動自在なプローブ装
置と、 前記プローブ装置の一部の光透過部に設けられ、前記L
CD基板の第1のマークに対応した位置であって、前記
第1のマークと組み合わせることができる第2のマーク
と、 前記パレットに埋設されており、前記第1と第2のマー
クを光学的に重ねて撮影する撮影手段と、 前記撮影手段により撮像された前記第1と第2のマーク
の画像情報から所定の位置関係のずれを検出して、前記
ずれ量に応じて前記調整テーブル装置を制御し、前記ず
れ量をなくすための制御手段とを具備したことを特徴と
するLCD検査プローブの位置合わせ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002315946A JP3639828B2 (ja) | 2002-10-30 | 2002-10-30 | Lcd検査プローブの位置合わせ方法及び装置 |
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KR100795510B1 (ko) | 2006-04-04 | 2008-01-16 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 페이스트 도포장치의 도포 위치 검사방법 |
KR101129708B1 (ko) | 2010-05-28 | 2012-03-28 | 조영창 | 프로브 유닛의 블럭 베이스 검사장치, 및 이를 이용한 프로브 유닛의 블럭 베이스 검사방법 |
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CN109000888A (zh) * | 2018-06-14 | 2018-12-14 | 广东速美达自动化股份有限公司 | 一种屏幕对位系统及标定方法 |
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- 2002-10-30 JP JP2002315946A patent/JP3639828B2/ja not_active Expired - Fee Related
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