JP2003207790A

JP2003207790A - 表示板用ガラス基板のシール材硬化方法及びその硬化装置

Info

Publication number: JP2003207790A
Application number: JP2002006043A
Authority: JP
Inventors: Kazuhiro Sakai; 和宏坂井; Shigenori Kobayashi; 茂法小林; Toshio Nishidate; 敏男西舘; Toshiyuki Kunieda; 利之国枝
Original assignee: Iwasaki Denki KK
Current assignee: Iwasaki Denki KK
Priority date: 2002-01-15
Filing date: 2002-01-15
Publication date: 2003-07-25
Anticipated expiration: 2022-01-15
Also published as: JP4134559B2

Abstract

(57)【要約】【課題】本発明は、液晶表示板等のガラス基板を用いた
表示板の製造方法の改良に関し、表示板を製作する際シ
ール材の良好な硬化特性を得ることができ、ガラス基板
の貼り合わせ特性が極めて優れた紫外線による硬化方法
を提供するものである。また、製作の際ガラス基板の熱
的影響が殆どなく極めて生産性が高い紫外線による硬化
方法を提供するものである。【解決手段】本発明は、ガラス基板に紫外線反応性のシ
ール材を塗布し、重ね合せて表示板を形成する２枚のガ
ラス基板に紫外線を照射してシール材を硬化させる方法
において、ガラス基板のシール材に対して斜め方向から
紫外線を照射することを特徴とする表示板用ガラス基板
のシール材の硬化方法である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示板（ＬＣ
Ｄ）等のシール材を介して重ね合わされた表示板を構成
する２枚のガラス基板に紫外線を照射して、該シール材
を硬化させる方法および硬化装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ＬＣＤ等の表示板は、カラーフィルタ、
透明電極、配向膜等から構成された第１のガラス基板
と、薄膜トランジスタ、透明電極、配向膜等から構成さ
れた第２のガラス基板との間にスペーサー等を散布して
貼り合わせ、液晶を封入して構成されている。当初、２
枚のガラス基板を貼り合わせるためのシール材として、
熱硬化型樹脂が使用されていた。しかし、貼り合わせに
要する時間を短縮するために、少なくとも紫外線反応性
を有する（紫外線プラス熱等）シール材が使用されるよ
うになっている。

【０００３】紫外線反応性を有するシール材を使用する
場合、ガラス基板の周辺部の紫外線が遮光されないよう
な位置にシール材を塗布し、カラーフィルタ等から構成
された上面のガラス基板の上方から被照射面が均一の照
度分布になるように紫外線を照射するための紫外線照射
装置を配置している。そして、メタルハライドランプ等
の光源から紫外線照射してシール材を硬化させている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】近年、ＬＣＤ等の表示
板の大型化に伴って、ガラス基板における表示部の有効
面積が大きくなり、ガラス基板上のパターン化された基
板、つまり表示部の周囲まで各種配線等のパターンが配
置されている。また、紫外線照射側の上面のガラス基板
にはカラーフィルタ、透明電極、配向膜のほかに、紫外
線を遮断するクロム等で構成されるブラックマトリクス
が表示板の端部まで配置されている。

【０００５】そこで、従来の照射方法を用いて、ガラス
基板の上方から均一に紫外線を照射しても、ブラックマ
トリクスによって遮光されたシール材には紫外線が照射
されず、ブラックマトリクスからはみ出た僅かなシール
材にのみに照射され、良好な硬化特性を得ることができ
ないという欠点がある。これにより、ガラス基板の貼り
合わせの信頼性が小さいという問題となっている。ま
た、紫外線照射時に発生する熱により表示板の表示部を
保護するため、照射装置とガラス基板との間（ガラス基
板の数ミリ上）にクロム等の黒色金属を被着したガラス
マスク等が使用されている。しかし、ガラスマスクが黒
色であるために蓄熱してしまい、マスク自身の温度が上
昇すると共に、マスクの僅かな下方に位置する表示基板
の温度が上昇してしまうという問題がある。さらに、２
枚のガラス基板に温度差が生じて、歪みによってギャッ
プ差が生じて、表示ムラが発生してしまうという問題も
ある。

【０００６】本発明は、前記に鑑みてなされたものであ
り、液晶表示板等のガラス基板を用いた表示板の製造方
法の改良に関し、表示板を製作する際シール材の良好な
硬化特性を得ることができ、ガラス基板の貼り合わせ特
性が極めて優れた紫外線による硬化方法を提供するもの
である。また、製作の際ガラス基板の熱的影響が殆どな
く極めて生産性が高い紫外線による硬化方法を提供する
ものである。また、液晶表示板等のガラス基板を用いた
表示板の製造装置の改良に関し、表示板を製作する際シ
ール材の良好な硬化特性を得ることができ、ガラス基板
の貼り合わせ特性が極めて優れた紫外線による硬化装置
を提供するものである。また、製作の際ガラス基板の熱
的影響が殆どなく極めて生産性が高い紫外線による硬化
装置を提供するものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明に係る表示板の硬化方法および硬化装置の要
旨は次の手段を有する。表示板等の硬化装置（方法）に
おいて、被処理物としてのガラス基板と紫外線照射装置
とからなり、装置稼動前の静止状態では照射装置と基板
との位置関係は筐体状の照射装置の下方から平板状の基
板に対する照射方向である中心軸はほぼ垂直となってい
る。そして、装置が稼動すると、基板の周辺部に形成さ
れたブラックマトリクス等に対して、上方から基板に対
して垂直に紫外線を照射してブラックマトリクスからは
み出た僅かなシール材を硬化（仮止め）させる。次に、
照射装置を基板に対する垂直状態から装置の中心軸から
所定の角度傾斜させ（回動させ）、基板に対して斜め方
向から（約１５度から４５度方向）紫外線を照射して、
基板の周辺部に形成されたシール材を硬化する。また、
硬化特性を上げるために照射装置をガラス基板に沿って
移動させる。なお照射装置は静止してガラス基板を移動
させてもよい。さらに、ガラス基板上のパターン化され
た複数枚の表示板の端面に紫外線を照射するために、照
射装置を往復移動させる。この際の反転時には照射装置
を往路時とは対称に角度を可変して復路移動させる。な
お、前記同様にガラス基板を移動させてもよい。

【０００８】本発明に係る硬化装置および硬化方法は、
照射装置（方法）の照射角度を傾斜する手段（方法）で
あり、該装置（方法）を傾斜して移動させるか、基板自
体を移動させる手段（方法）であり、該装置（方法）は
往復移動しかつ反転時に照射角度を可変して移動させる
か、基板自体を移動させる手段（方法）である。そし
て、前記一連の可変及び移動手段（方法）より構成され
ている。

【０００９】前記紫外線照射装置が可変及び移動の際
に、ガラス基板の周辺部のうち照射量が少ない移動方向
に平行な周辺部には次の手段（方法）を採用している。
硬化装置の照射装置とガラス基板との空間部に、照射装
置等の移動方向と平行に紫外線反射材としての補助反射
鏡を設置する。また、被硬化物を載置、移動させる露光
ステージに紫外線反射材を設置して、該反射材にガラス
基板を載置することにより、基板を透過した紫外線をシ
ール材に反射させて照射する。さらに、照射装置とガラ
ス基板との間で基板の僅かな上方に配置したマスクにの
表面あるいは裏面に光反射特性を有するように処理す
る。

【００１０】上記手段（方法）によると、垂直方向から
の紫外線照射によってブラックマトリクスからはみ出た
シール材が硬化される。次に、ブラックマトリクスを避
けてシール材に斜めから紫外線が照射される。また、照
射装置あるいはガラス基板を移動させて、照射装置が向
けられた端面に順次紫外線が照射される。さらに、移動
方向を反転させると共に照射角度を対称に可変させて、
表示板の縦端面と反対方向の縦端面に順次紫外線が照射
される。

【００１１】照射装置の移動方向と平行な表示板の横端
面は、補助反射鏡である紫外線反射材によって斜めに反
射、照射される。また、ガラス基板を反射材に載置して
いるので、ガラス基板を透過した紫外線がシール材の下
方に反射、照射される。さらに、反射特性を有したマス
クに紫外線が照射されると、マスク遮光部分において、
紫外線、可視光線及び赤外線が反射されて、マスクの過
度の温度が防止される。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づき説明する。まず、本発明に使用される表示板用
ガラス基板の構成を図１の模式図に示す。図中１は第１
のガラス基板であり、カラーフィルタ２、透明電極３、
配向膜４、ブラックマトリクス５等から構成されてい
る。６は第２のガラス基板であり薄膜トランジスタ７、
配向膜８等から構成されている。この２枚のガラス基板
の間に液晶層１１が介在され、スペーサ１２を散布し、
少なくとも紫外線反応性を有するシール材１３をガラス
基板上にパターン化された複数の基板（表示板）に塗布
して重ね合わせている。なお、シール材にもスペーサー
を含有させている場合がある。

【００１３】シール材１３は第１のガラス基板１の周囲
にあるブラックマトリクス５の真下に塗布されている。
なお、大部分はブラックマトリクスの真下にあるが、僅
かにブラックマトリクスからはみ出ている。そこで、従
来技術のように、紫外線照射装置をガラス基板の上方
に、照射装置の中心軸が垂直となるように配置して、紫
外線をガラス基板に照射すると、ブラックマトリクスに
遮光されてシール材に紫外線が到達せず、良好な硬化特
性が得られない。

【００１４】図２は本発明に係る硬化装置に用いる紫外
線照射装置及び表示板用ガラス基板を模式的に示す説明
図である。図中２１は筐体状に形成した金属製の照射器
であり、照射器内にはアルミニウム製あるいは紫外線を
選択的に反射させる特性を有する膜を施したガラス製の
桶状の放物面状あるいは楕円面状の反射鏡２２を紙面の
垂直方向に配置している。また、反射鏡の内面には直管
状の紫外線ランプ２３が取り付けられており、ランプか
らの放射光は直接あるいは反射鏡により反射されて下面
にほとんどの紫外線が放射される。なお、一部の紫外線
はランプ長手方向に斜め方向に放射されるようになって
いる。また、照射器の下面開口部には石英ガラス２４が
設置され、その下部の熱線カットフィルタ２５により熱
線としての赤外線を吸収している。

【００１５】硬化装置としての照射器２１の下面には、
表示板用ガラス基板２６が搬送装置等を介して前工程か
ら搬入され、一連の硬化処理を行なった後に後工程に搬
出されるようになっている。また、後述するようにガラ
ス基板の上方には僅かな空間を介してガラスマスク（図
示せず）が配置されている。

【００１６】そして、本発明に係る硬化装置（硬化方
法）は、紫外線照射装置の照射器本体の中心軸と平板状
のガラス基板とがなす角度θを所定の範囲、例えば０゜
＜θ≦４５゜の範囲、要すれば１５゜＜θ≦４５゜に選
定して傾斜させるように構成し、斜め方向からガラス基
板に紫外線を照射するようにしている。

【００１７】図３は照射器本体の可動手段により傾斜し
ている状態を示し、図４は露光ステージに載置したガラ
ス基板及びガラスマスクの拡大説明図である。照射器２
１は中心軸の角度θがガラス基板２６に対して約３０゜
傾斜しており、ガラスマスク２７が基板２６の上方に数
ミリの間隔をおいて配置されている。なお、図４中２６
ａは第１のガラス基板、２６ｂは第２のガラス基板、２
６ｃはシール材を示す。また、２８は照射器２１の反射
鏡２２及びランプ２３の端部に沿って平行に配置された
補助反射鏡であり、高純度アルミ等の紫外線反射材であ
る。なお、ガラスマスク２７にアルミ蒸着膜などの光反
射特性を有する膜２７ａを形成することにより、放射光
によるマスクの過度の温度上昇を防止し、ガラス基板の
温度上昇や熱による歪みの発生を防止できる。

【００１８】

【実施例】次に、本発明に係る実施例を図５に基づき説
明する。図５は表示板用ガラス基板のシール材硬化装置
（方法）の説明図であり、図５（ａ）から図５（ｊ）に
示す照射器の一連の動作説明図である。図５（ａ）は硬
化装置の稼動前の静止状態を示す図であり、照射器本体
の中心軸とガラス基板とはほぼ垂直に保持されている。
そして、照射器から紫外線をガラス基板に照射して周辺
部のブラックマトリクスからはみ出たシール材を硬化し
て、仮止めする。次に、図５（ｂ），図５（ｃ）に示す
ように、照射器が可動手段により回動して照射器本体の
中心軸とガラス基板とのなす角度θが例えば３０゜とな
る位置に停止する。また、照射器を傾斜させた状態でガ
ラス基板に紫外線を照射して周辺部を硬化し、かつ図５
（ｄ）に示すように、照射器を傾斜させた状態でガラス
基板に沿って横方向に移動しながらガラス基板の縦方向
のシール材に紫外線が照射される。そして、照射器から
の照射方向に対応するガラス基板上のパターン化された
複数の表示板の周辺部端面の内部に紫外線が均一に照射
され、図５（ｅ）のまで移動して停止する。

【００１９】そして、図５（ｅ）のガラス基板の最端部
まで移動して、一時停止し、照射器の照射角度を図５
（ｆ），図５（ｇ）に示すように往路時とは対称となる
ように回動させ（３０°×２）、停止し照射器を傾斜さ
せた状態でガラス基板に紫外線を照射して対向する側の
周辺部を硬化し、かつ図５（ｈ）に示すように、照射器
を傾斜させた状態でガラス基板に沿って横方向に移動し
ながらガラス基板の対向側の縦方向のシール材に紫外線
が照射される。そして、図５（ｉ）に示す当初の位置に
到達次第、照射器は回動して傾斜状態から図５（ｊ）に
示す照射器本体の中心軸とガラス基板とがほぼ垂直に保
持される位置に復帰する。このような反復動作をあらか
じめ設定したガラス基板のシール材が硬化するまで繰り
返すことになる。なお、照射器とガラス基板との傾斜角
度を設定するための回動および移動は、照射器を傾斜、
移動することなく、搬送装置等においてガラス基板を傾
斜したり、移動しながら照射器から紫外線を照射するよ
うに構成してもよい。

【００２０】また、照射器が可変及び移動の際に、ガラ
ス基板の周辺部のうち照射量が少ない移動方向に平行な
周辺部への紫外線照射を十分行なうために、照射器の移
動方向と平行に高純度アルミ板を用いて側面側の補助反
射鏡を設置している。これは、照射器からの照射が向け
られない基板の両端面に対して、補助反射鏡により斜め
方向から反射して放射される。また、補助反射鏡は、所
定の角度を設定することにより反射特性をより高めるこ
とができる。このようにして、ガラス基板上のパターン
化された複数の表示板の周辺部端面の内部に斜め方向か
ら紫外線を照射して、ブラックマトリクスの真下のシー
ル材を効率よく硬化させることができる。

【００２１】また、露光ステージ等のガラス基板を載置
する箇所に紫外線反射材を形成することにより、ガラス
基板を透過した紫外線がシール材の下方から反射、照射
されるので、基板上の配線等のファインパターンで遮光
される部分も効率よく照射可能となる。この反射材は高
純度アルミ等が使用される。また、ガラスマスクに光反
射特性を有する処理を施すことによって、放射光による
マスクの蓄熱を防ぎ、マスク下方のガラス基板の温度上
昇や歪みを抑制することができる。この光反射特性を有
する処理は、高純度アルミ蒸着などで実施できる。

【００２２】次に、本発明に係る表示板用ガラス基板の
シール材硬化試験結果について説明する。試験条件は、
以下の通りである。・紫外線ランプ：メタルハライドランプ（岩崎電気(株)
製M08-L41）・紫外線照射装置：コールドミラー集光照射器（同上製
UE081-401-01C）・基板に対する照射角度：０゜及び３０゜・補助反射鏡：高純度アルミ板・照度計：岩崎電気(株)製UVPF-A1/PD-365 ・紫外線照度：１００ｍＷ／ｃｍ² ・照射時間：３５秒・ガラス基板：ＬＣＤ用基板（５０ｍｍ×５０ｍｍ）・シール材：協立化学産業(株)製ワールドロックNo.D70
E3 ・硬化性評価：シール材の硬化深度と反応率ここで、硬化深度とはブラックマトリクスの端部を基準
とした際の基板内部方向の距離をいう。

【００２３】上記の試験方法（装置）を図６（ｃ）に模
式的に示す。1000mm×1000mmの基板の端部に50mm×50mm
のＬＣＤ用基板を載置して、該基板上にメタルハライド
ランプを内蔵した紫外線照射装置を配置し、所定角度で
照射した場合の硬化深度に対する反応率を測定した。な
お、ＬＣＤ用基板は半分の面にブラックマトリクスを形
成し、基板の中央部にシール材を塗布した。また、図中
Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄは紫外線の照射方向（４方向）を示す。

【００２４】図６（ａ），図６（ｂ）に照射角度（装置
の傾斜角度）がゼロおよび３０度の場合の測定結果を示
す。照射角度がゼロ、すなわち基板に対して垂直に紫外
線を照射する場合、各方向からの反応率は硬化深度が１
５０〜４００μｍでは反応率が４０％未満である。これ
に対して、照射角度が３０度、すなわち基板に対して斜
め方向から紫外線を照射する場合、Ｃ方向からでは硬化
深度が９００μｍでも反応率は９０％以上であり、その
他の方向からでも１５０〜４００μｍでは反応率は９０
％である。すなわち、９００μｍ以下の領域ではいずれ
の方向からの放射でも反応率６０％以上であることが確
認できた。これにより、ガラス基板の端部から４００μ
ｍ内部でも反応率は約９０％以上という良好な硬化特性
が認められる。また、貼り合わせ特性も簡単に剥がれと
いうことがなく、十分な貼り合わせ強度を有することを
確認した。

【００２５】本発明の他の実施例としては、図７に示す
ように紫外線照射装置の照射角度を常に変化させなが
ら、基板上を移動して紫外線を照射する装置（方法）が
ある。例えば、ガラス基板と紫外線照射装置のなす角度
θを−９０゜＜θ＜９０゜の範囲で常に可変させながら
紫外線照射を行なうようにする。

【００２６】また、図８に示すように、紫外線照射装置
を所定角度傾斜させて固定し、紫外線照射装置を水平方
向に回転させながら、紫外線照射する。さらに、ガラス
基板を水平方向に回転させ、紫外線照射する装置、方法
が考えられる。

【００２７】さらに、他の実施例について説明する。前
記したようにこの種の硬化装置では、紫外線照射時に紫
外線及び熱から表示部を保護するために、照射装置とガ
ラス基板との間ガラスマスクが配置される。本発明に係
る実施例では、マスクの表面に光反射特性を有する処理
を施しているが、その実験結果について、従来例と対比
して説明する。試験装置は前記のシール材硬化試験装置
を利用して、マスク自体の温度およびその下方に配置す
るＬＣＤ基板の温度を測定した。測定結果は表１の通り
である。本発明に係るガラスマスクは、その下面にクロ
ム処理、上面に鏡面アルミ処理を施している。一方、従
来品はその表面にクロム処理のみ施している。紫外線照
射装置の真下に上記のガラスマスクを設置し、かつマス
ク下方にＬＣＤ基板を配置し、紫外線を１００，１５
０，２００ｍＷ／ｃｍ² の照度で約６０秒照射した場合
の各々の温度上昇（deg）を熱電対で測定した。表１に
示すように、鏡面処理を行なうことによりガラスマスク
自体の温度上昇を抑制できる。また、ＬＣＤ基板の温度
上昇を抑え、かつ基板の上面と下面との温度差を小さく
することができ、歪み等の発生を防止できることを確認
した。

【００２８】

【表１】（注）単位：ｄｅｇ

【００２９】

【発明の効果】以上のように、本発明は、液晶表示板等
の表示板用ガラス基板のシール材硬化方法及びその硬化
装置を得ることができ、その産業上の利用価値は大きい
ものがある。すなわち、重ね合わされた表示板を構成す
る２枚のガラス基板に紫外線を照射しシール材を硬化さ
せる方法によると、ブラックマトリクス等を避けて斜め
から紫外線を照射するので、効率よく、確実に硬化させ
ることができる。また、傾斜して往復移動し反転時に照
射角度を対称に可働させるので、照射器が対向するガラ
ス基板の両端面の内部に紫外線が均一に照射され、シー
ル材を硬化させることができる。

【００３０】また、硬化装置内に補助反射鏡を配置する
ことにより、照射器が向けられないガラス基板の横端面
は斜め方向から反射されて照射されるので、シール材を
十分硬化させることができる。さらに、露光ステージに
設置した紫外線反射材により、ガラス基板を透過した紫
外線をシール材の下方から反射させて照射させので、配
線等のファインパターンで遮光される部分のシール材も
硬化させることができる。

【００３１】ガラスマスクに光反射処理を行ない、放射
光によるマスクの温度上場を抑制し、マスク下方のガラ
ス基板の温度上昇を抑制し、かつ歪み等の発生を防止で
きる等の利点がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】表示板用ガラス基板の一例を示す模式図であ
る。

【図２】本発明に係る紫外線硬化装置を模式的に示す説
明図である。

【図３】本発明に係る硬化装置の可動状態を示す説明図
である。

【図４】同じく図３に示すガラス基板及びガラスマスク
の拡大説明図である。

【図５】本発明に係る実施例を示す図であり、図５
（ａ）〜図５（ｊ）は照射器の一連の動作状態を示す図
である。

【図６】本発明と従来例との実験結果を示す図である。
図６（ａ）は従来例の特性図、図６（ｂ）は本発明の特
性図、図６（ｃ）は実験装置の模式図である。

【図７】本発明の他の実施例を示す説明図である。

【図８】本発明の他の実施例を示す説明図である。

【符号の説明】

２１紫外線照射器２２反射鏡２３紫外線ランプ２４石英ガラス２５熱線カットフィルタ２６表示板用ガラス基板２６ａ第１のガラス基板２６ｂ第２のガラス基板２６ｃシール材２７ガラスマスク２７ａアルミ蒸着膜２８補助反射鏡

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者国枝利之東京都墨田区亀沢２−４−12 アイグラフィックス株式会社内Ｆターム(参考） 2H088 FA03 FA30 HA01 HA02 HA03 HA08 HA12 HA14 MA04 MA20 2H089 LA14 LA41 NA09 NA37 NA39 NA44 NA60 PA15 QA12 QA16 TA01 TA02 TA04 TA09 TA12 TA18 5G435 AA14 AA17 BB12 CC09 CC12 EE37 FF13 GG12 HH14 HH20 KK05 KK10

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ガラス基板に紫外線反応性のシール材を塗
布し、重ね合せて表示板を形成する２枚のガラス基板に
紫外線を照射してシール材を硬化させる方法において、
ガラス基板のシール材に対して斜め方向から紫外線を照
射することを特徴とする表示板用ガラス基板のシール材
の硬化方法。
【請求項２】前記ガラス基板上にパターン化された表示
板の周辺部が遮光され、該遮光部分に塗布された紫外線
反応性のシール材を硬化すること特徴とする請求項１項
記載の表示板用ガラス基板のシール材の硬化方法。
【請求項３】紫外線反応性を有するシール材が塗布さ
れ、重ね合わされた表示板を構成する２枚のガラス基板
に紫外線を照射して、シール材を硬化させる方法であっ
て、紫外線が照射される側であるガラス基板上にパター
ン化された表示板の複数のシール部分が遮光され、該部
分に塗布された紫外線反応性を有するシール材を硬化さ
せる方法において、ガラス基板のシール材に対して所定
の角度を有して斜め方向から紫外線を照射することを特
徴とする表示板用ガラス基板のシール材の硬化方法。
【請求項４】紫外線照射装置と表示板用ガラス基板を載
置する露光ステージとからなる硬化装置において、紫外線照射装置からガラス基板に対して照射される紫外
線は斜め方向から入射されることを特徴とする表示板用
ガラス基板のシール材の硬化装置。
【請求項５】前記紫外線照射装置を傾斜し、あるいはガ
ラス基板を傾斜し、かつ移動しながら紫外線を照射する
ことを特徴とする請求項４項記載の表示板用ガラス基板
のシール材の硬化装置。
【請求項６】前記紫外線照射装置あるいはガラス基板を
往復移動し、反転時に紫外線照射装置あるいはガラス基
板を往路時と対称な角度に傾けて移動しながら紫外線を
照射するこを特徴とする請求項４項又は５項記載の表示
板用ガラス基板のシール材の硬化装置。
【請求項７】前記照射装置と露光ステージとの空間部の
側面に補助反射鏡を配置することを特徴とする請求項４
項乃至６項記載の表示板用ガラス基板のシール材の硬化
装置。
【請求項８】前記露光ステージのガラス基板が位置する
箇所に紫外線反射材を設置することを特徴とする請求項
４項乃至７項記載の表示板用ガラス基板のシール材の硬
化装置。
【請求項９】前記照射装置とガラス基板との間に配置し
たガラスマスクの表面に光反射特性を有するように処理
することを特徴とする請求項４項乃至８項記載の表示板
用ガラス基板のシール材の硬化装置。
【請求項１０】紫外線照射装置とガラス基板を載置する
露光ステージとからなり、前記照射装置は照射角度可変
機構を有することを特徴とする表示板用ガラス基板のシ
ール材硬化装置。
【請求項１１】前記照射装置は往復移動する可動機構と
角度反転機構とを有することを特徴とする請求項１０項
記載の表示板用ガラス基板のシール材硬化装置。