JP2003200350A

JP2003200350A - 硬質炭素被覆膜の脱膜方法及び再生方法並びに再生基材

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Publication number: JP2003200350A
Application number: JP2001396544A
Authority: JP
Inventors: Norihiro Katou; 範博加藤; Masaru Sonobe; 園部　　勝
Original assignee: Nachi Fujikoshi Corp
Current assignee: Nachi Fujikoshi Corp
Priority date: 2001-12-27
Filing date: 2001-12-27
Publication date: 2003-07-15
Anticipated expiration: 2021-12-27
Also published as: JP3997084B2

Abstract

(57)【要約】【課題】切削工具、金型等の基材上に被覆された硬質
炭素被覆膜（ＤＬＣ）を低コストで、綺麗に除去し、再
生し、工具等として再使用する。【解決手段】高速度工具鋼や超硬合金製の基材５の表
面に直接に、あるいはＴｉＮ，ＴｉＣＮ、ＴｉＣ，Ｔｉ
ＡｌＮなどのセラミック硬質膜を成膜した上に被覆され
た硬質炭素被覆膜６に微粒の硬質粉体（微粒のアルミナ
粉体又は微粒のダイヤモンドを複合させた研磨材等）１
を空気２と共に噴射４させ硬質炭素被覆膜を脱膜する。
さらに、摩耗部を成形し、又は刃部を再生し、表面を洗
浄し、新たに硬質炭素被覆膜の処理を施すことにより工
具等として再生する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基材の表面に物理
蒸着法等により形成した硬質炭素被覆膜を脱膜する脱膜
方法、再度成膜して再使用する再生方法及び再生基材に
関する。特に、エンドミル、ドリル、タップあるいはプ
レス金型を含む高速度工具鋼、超硬合金鋼を部材とした
工具上に直接に、またはＴｉＮ、ＴｉＣＮ、ＴｉＣ、Ｔ
ｉＡｌＮ等のセラミック被覆膜を成膜した上に、物理蒸
着法等により硬質炭素被覆膜を形成した工具において、
切削加工等により刃先や表面が摩耗した後に脱膜を施し
て再度使用可能とするための再生方法および該方法によ
って得られた再生工具に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来ダイヤモンドライクカーボン（ＤＬ
Ｃ）と呼ばれている硬質炭素被覆膜は平滑で、摩擦係数
が非常に低いことから、膜特性としての潤滑性、耐溶着
性、離型性を生かして機械部品や金型、工具に広く適用
されて効果を発揮している。特に最近ではアルミおよび
アルミ合金に対する耐溶着性に優れることからアルミ加
工用切削工具にも開発されて市場に普及しつつある。
（不二越技報ＶＯＬ．５６ＮＯ．２掲載『ＤＬＣコーテ
ィング工具』）しかしながら切削工具の場合は、硬質炭
素被覆膜の効果で被削物の溶着が少ないながらも寿命限
界に達したものは、工具の刃部に加工した被削物が溶着
し、再度刃部の摩耗部分の研磨を行っても被膜の上には
切り粉の排出時に付着した溶着物が着いているため、摩
耗部の再研磨だけでは再使用の効果は期待できない。ま
たそのまま硬質炭素被覆膜を形成したとしても、加工時
に生じた切削被覆膜面近傍の溶着した被削物や切削熱に
よる被覆膜の劣化が影響して、初期被膜層と再処理形成
層との密着性が悪くなり、最悪の場合は形成層が剥離す
る場合がある。従ってこのような状態で再処理をした工
具を使用したとしても密着性の悪い状態では硬質炭素被
覆膜の効果は発揮されず本来の機能を果たすことができ
ない。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】工具の再生を目的とし
て再処理を行う場合、上記の問題を解決するためには加
工によって溶着、劣化した硬質炭素被覆膜の脱膜を行っ
た上で再度被覆膜を形成する方法が最も良い。しかし、
ＴｉＮ、ＴｉＣＮ、ＴｉＣ、ＴｉＡｌＮなどのチタン系
のセラミック被覆膜は脱膜液が開発されており、例えば
特許第２５９７９３１号公報、特開平８−３２５７５５
号公報に記載のように化学反応によって被覆膜の脱膜が
可能である。しかし硬質炭素被覆膜については化学的な
酸化還元反応に対して非常に安定な物質であるため、溶
液による脱膜方法はなく、工具母材に損傷を与えないで
硬質炭素被覆膜だけをきれいに除去する方法は現在のと
ころ確立されていない状態である。

【０００４】一方硬質炭素被覆膜系でも最も硬いとされ
ているダイヤモンド被覆膜についてはプラズマＣＶＤ法
によるドライエッチング法があり、例えば特開平５−３
３９７５８号公報においては、プラズマ中の水素イオン
による還元作用で炭素元素を原子レベル反応させて除去
する方法が開示されている。これを硬質炭素被覆膜にも
応用が可能であると考えられるが、この方法ではコスト
がかかりすぎ実用的であるとはいえない。本発明の課題
はかかる硬質炭素被覆膜を綺麗に除去し、また、コスト
の低い手段を用いて硬質炭素被覆膜を除去し、再生し、
再使用する硬質炭素被覆膜の脱膜方法及び再生方法並び
に再生基材を提供することである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明者等はまず硬質炭
素被覆膜の除去方法について研究を行い、硬質炭素被覆
膜にアルミナ粉等の硬質な粉体を用いて物理的な衝撃を
与えることにより被覆膜が除去されることを発見し、さ
らには、工具損傷が少ない状態で硬質炭素被覆膜のみが
脱膜できることを知得した。この知得により、請求項１
の発明においては、基材の表面に被覆された硬質炭素被
覆膜に微粒の硬質粉体を空気と共に噴射させ前記硬質炭
素被覆膜を脱膜させる硬質炭素被覆膜の脱膜方法を提供
することにより上記課題を解決した。また、請求項２の
発明において、前記微粒の硬質粉体は微粒のアルミナ粉
体、又は微粒のダイヤモンドを複合させた研磨材とする
のがよい。即ち、硬質炭素被覆膜の表面に微粒の硬質粉
体、例えば、アルミナ粉体、又は微粒ダイヤモンドを複
合させた研磨剤を用いたマイクロブラスト処理を基材に
損傷を与えない程度に施して硬質炭素被覆膜の脱膜を行
い、再生に適した基材表面の状態を得ることで再処理し
た被覆膜の密着性を向上させることができる。

【０００６】詳述すると、硬質炭素被覆膜（ダイヤモン
ドライクカーボン）の特徴は、被膜の硬さでマイクロビ
ッカース硬さでＨＶ５０００といわれるアモルファスカ
ーボン（非晶質硬質炭素）系のものと、比較的柔らかい
ＨＶ１０００程度の水素原子を多く含んだＣ：Ｈ（水素
含有硬質炭素）系、金属元素を含んだメタリックカーボ
ン（金属含有硬質炭素）系に大別されている。これらは
プラズマＣＶＤ法、カーボンターゲットを用いたスパッ
タリング法またはアークイオンプレーティング法で形成
できる。また最近ではカーボンを坩堝で溶解して成膜を
図るイオンプレーティング方法も提唱され（例えば特願
平１０−３４９８９０号公報）、特にアルミ加工用の工
具に適用して市場に販売されている。

【０００７】この硬質炭素系の被覆膜はＨＶ１０００〜
５０００と被覆膜の形成方法によりいろいろな硬さを膜
をつくることができ、用途に応じて任意に選択できるこ
とが特徴であるが、ＴｉＮなどのセラミック硬質膜と比
較して一般的に膜の応力が高く、１ミクロン程度の薄い
膜厚でしか形成できない。本発明者は硬質炭素被覆膜が
膜応力が高く、薄い膜であることに着目し、脱膜には一
般的に広く用いられているショットブラストによる方法
が最も安価に行えると判断した。しかしながら一般的な
数ミリの粉体の大きさを使用するショットブラスト方式
では被覆膜の除去する際の衝撃で切削工具にとって重要
である工具刃部も損傷受けることから、各種の粉体の種
類と粒径の違いを試みたところ、前述したように、本発
明においては、５〜１００ミクロンの微粒のアルミナ粉
体、また５〜５０ミクロンのは微粒ダイヤモンドを複合
させた研磨材を用いたマイクロブラスト処理（以下微粒
粉体を使用したショットブラスト処理をマイクロブラス
ト処理と称する）が工具刃部に損傷を与えないことを知
得したのである。

【０００８】さらに、超硬合金を母材とした硬質炭素被
覆膜工具にはアルミナ粉の最大粒子の平均径４４ミクロ
ン以下の微細粉体（ＪＩＳＲ６００１粒度＃１０００
以上）が適しており、高速度工具鋼を母材とした被覆工
具には最大粒子の平均径２６ミクロン以下の微粒ダイヤ
モンド（ＪＩＳＲ６００１粒度＃２０００以上）を複
合させた研磨材を用いた方が良いとの結論に至った。そ
こで、請求項３に記載の発明においては、前記基材の材
料は高速度工具鋼であって、前記微粒の硬質粉体は前記
微粒のダイヤモンドを複合させた研磨材とし、請求項４
に記載の発明においては、前記基材の材料は超硬合金で
あって、前記微粒の硬質粉体は前記微粒のアルミナ粉体
とした硬質炭素被覆膜の脱膜方法を提供するものであ
る。

【０００９】高速度工具鋼を母材とした工具に直接にア
ルミナ粉体をマイクロブラスト処理した場合は、工具刃
部の損傷なく硬質炭素被覆膜は除去されるが、高速度工
具鋼は超硬合金よりも母材が柔らかいため工具表面が梨
地状になり、再処理を施した場合に硬質炭素被覆膜本来
の機能である平滑性が失われる。以上の理由で高速度工
具鋼を母材とした工具には最大粒子の平均径２６ミクロ
ン以下の微粒ダイヤモンド（ＪＩＳＲ６００１粒度＃
２０００以上）を複合させた研磨材が好ましい。また超
硬合金を母材とした硬質炭素被覆膜工具の被覆膜の除去
にも同様な微粒ダイヤモンドを複合させた研磨材を用い
てもかまわない。また、アルミナ粉体、又は微粒ダイヤ
モンドはマイクロブラスト処理を例えば工具部材に損傷
を与えない程度に施される粒度、硬度を選択し、また、
適宜な噴射圧力を設定して脱膜処理を行うことはいうま
でもない。

【００１０】前記硬質炭素被覆膜は前述したようにアル
ミやアルミ合金加工用切削工具に有用であり、かかる場
合は請求項５に記載の発明のように前記硬質炭素被覆膜
は基材上に直接に、あるいはＴｉＮ，ＴｉＣＮ、Ｔｉ
Ｃ，ＴｉＡｌＮなどのセラミック硬質膜を成膜した上
に、硬質炭素被覆膜を被覆した硬質炭素被覆膜とするの
が好ましい。

【００１１】前述の方法で硬質炭素被覆膜を除去した基
材の表面は本来の面粗度が確保され、基材も損傷を受け
ることがない。また表面状態も劣化した膜や溶着してい
る部分もきれいに除去され、基材を使用した結果、摩耗
した部分も確認しやすい状態になる。さらに、摩耗部を
再研磨し成形して、脱脂のための洗浄工程を経て、硬質
炭素被覆膜の成形が可能となる。そこで、請求項６に記
載の発明においては、請求項１乃至５にいずれか一に記
載の硬質炭素被覆膜の脱膜方法により基材表面の硬質炭
素被覆膜のみを脱膜した後に、摩耗部を成形し、表面を
洗浄し、新たに硬質炭素被覆膜の処理を施し硬質炭素被
覆膜の再生方法を提供するものとなった。また、かかる
方法で再生された再生基材を提供する（請求項７）。ま
た、かかるものは金型等に適し、再生金型を提供する
（請求項８）。

【００１２】基材が切削工具の場合は、本発明の脱膜方
法で硬質炭素被覆膜を除去した切削工具の表面は本来の
面粗度が確保され、工具刃部も損傷を受けることがな
い。また表面状態も劣化した膜や溶着している部分もき
れいに除去され、切削工具使用で摩耗した刃部等も確認
しやすい状態になる。このような方法で脱膜した工具
は、摩耗した刃部を再度研磨で削ずることで新しい刃部
をつくり（再研磨）、さらに脱脂のための洗浄工程を経
て、硬質炭素被覆膜の形成（再処理）とすることができ
る。そこで、請求項１に記載の発明においては、前記基
材は切削工具であって、請求項１乃至５にいずれか一に
記載の硬質炭素被覆膜の脱膜方法により切削工具表面の
硬質炭素被覆膜のみを脱膜した後に、刃部を再生し、表
面を洗浄し、新たに硬質炭素被覆膜の処理を施すことに
より再生を図るようにした。さらに、かかる方法で切削
工具を再生することができる（請求項１０）。なお、硬
質炭素被覆膜の再生が充分に行われたかは、Ａスケール
ロックウエル硬度計を用いて押圧した場合に生ずる圧痕
を１００倍の倍率で観察した結果が、前記圧痕の外周１
ｍｍ以上の範囲で膜と基材との間で剥離が認められない
程度の密着性を有するようにして確認するのが好ましい
（請求項１１）。圧痕の判定基準を図３に示す。判定Ｈ
１が剥離のない状態、判定Ｈ２，３，４はそれぞれ剥離
を生じており、判定Ｈ１のものが好ましい密着性を示
す。

【００１３】

【実施例】次に本発明の方法を用いてエンドミルに硬質
炭素被覆膜を施した場合について説明する。（実施例１）実施例１は本発明品である超硬合金製エン
ドミルについての場合である。図２の（ａ）に示すよう
に、超硬合金を母材２１とした外径１０ｍｍの２枚刃の
無処理エンドミルに、イオンプレーティング溶解法によ
りセラミック硬質膜２２であるＴｉＣを形成し、さらに
炭素を原料として硬質炭素被覆膜３０を被覆した。そし
て密着性の評価として工具の表面にＡスケールロックウ
エル硬度計を押圧し、生じた圧痕を１００倍の倍率で観
察した結果、圧痕の外周１ｍｍ以上の範囲で膜と工具母
材との間で剥離が認められなかった。図３に示す剥離試
験での判定はＨ１に示すものであった。

【００１４】このエンドミルを用いて、圧延アルミ合金
Ａ５０５２を以下の条件で加工した。（１）切削加工切削工具：外径１０ｍｍ２枚刃超硬合金エンドミル切削条件：ドライ（エアブロー）加工方法：側面切削（ダウンカット）切削速度：３１４ｍ／ｍｉｎ（１００００ｍｉｎ−１）送り速度：０．２ｍｍ／刃（４０００ｍｍ／ｍｉｎ）切り込み：Ａａ＝１０ｍｍＡｒ＝２．５ｍｍ切削長：３ｍ被削材：Ａ５０５２

【００１５】さらに、上記切削加工後に、本発明である
脱膜方法により脱膜を行うべく、以下の条件で硬質炭素
系被覆膜が完全にとれるまでマイクロブラスト処理を施
した。図１は本発明の一実施例を示すマイクロブラスト
処理装置の模式図である。図１に示すように、噴射装置
３は粉体１と圧力空気２とを混合し、圧力空気により粉
体を空気とともに粉体噴射４するようにされている。こ
の噴射装置３をエンドミル５の刃部６に被覆された硬質
炭素被覆膜７に向かって下記の噴射距離Ｌで矢印８の方
向に移動しながら粉体を噴射する。粉体の種類等は次の
通りである。（２）マイクロブラスト処理粉体の種類：アルミナ粉＃２０００（ＪＩＳＲ６００
１粒度）噴射圧力：０．１ＭＰａ噴射距離：噴射ノズルと工具間１００ｍｍ噴射移動速度：８５０ｍｍ／ｍｉｎ噴射時間：３０秒

【００１６】その後工具刃部の摩耗部分を研磨して、工
具をアルカリ洗浄で脱脂をおこない、再度イオンプレー
ティング溶解法により硬質炭素被覆膜のみの形成を行っ
た。そして密着性の評価として再処理を施した工具の表
面にＡスケールロックウエル硬度計を押圧し、生じた圧
痕を１００倍の倍率で観察した結果、圧痕の外周１ｍｍ
以上の範囲で硬質炭素被覆膜とセラミック硬質膜（Ｔｉ
Ｃ）の間で剥離は認められなかった。本発明方法におい
て脱膜を行い、再処理を施した硬質炭素被覆膜は切削に
耐えうるに十分な密着性であることが確認できた。（図
３に示す剥離試験での判定はＨ１）そして上記切削条件
で再度加工を行った結果、摩耗の損傷状態は再処理前と
同じ状態であり、本発明の脱膜及び再生方法が新品に勝
とも劣らない性能を得られることが確認できた。

【００１７】（実施例２）実施例２は本発明品である高
速度工具鋼製エンドミルについての場合である。図２の
（ｂ）に示すように、高速度工具鋼を母材２５とした外
径１０ｍｍの２枚刃の無処理エンドミルに、イオンプレ
ーティング溶解法により炭素を原料として硬質炭素被覆
膜３０を被覆した。そして密着性の評価として工具の表
面にＡスケールロックウエル硬度計を押圧し、生じた圧
痕を１００倍の倍率で観察した結果、圧痕の外周１ｍｍ
以上の範囲で膜と工具母材との間で剥離が認められなか
った（図３に示す剥離試験で判定はＨ１）。

【００１８】その後圧延アルミ合金Ａ５０５２を以下の
条件で加工した。（１）切削加工切削工具：外径１０ｍｍ２枚刃高速度工具鋼（ハイ
ス）エンドミル切削条件：ドライ（エアブロー）加工方法：側面切削（ダウンカット）切削速度：７８．５ｍ／ｍｉｎ（２５００ｍｉｎ−１）送り速度：０．１５ｍｍ／刃（７３０ｍｍ／ｍｉｎ）切り込み：Ａａ＝１０ｍｍＡｒ＝２．５ｍｍ切削長：５ｍ被削材：Ａ５０５２

【００１９】さらに、上記切削加工後に、本発明である
脱膜方法により脱膜を行うべく、以下の条件で硬質炭素
被覆膜が完全にとれるまで前述したと同様に図１に示す
噴射装置により、硬質炭素被覆膜３０に向けて粉体を噴
射し、硬質炭素被覆膜を脱膜した。（２）マイクロブラスト処理粉体の種類：微粒ダイヤモンド＃３０００（ＪＩＳＲ
６００１粒度）を複合した軟質研磨材（マルチコーン粒
径０．５〜２ｍｍ）噴射圧力：０．５ＭＰａ噴射距離：噴射ノズルと工具間２０ｍｍ噴射時間：３０秒

【００２０】その後工具刃部の摩耗部分を研磨して、工
具をアルカリ洗浄で脱脂をおこない、再度イオンプレー
ティング溶解法により硬質炭素系被覆膜のみの形成を行
った。そして密着性の評価として再処理を施した工具の
表面にＡスケールロックウエル硬度計を押圧し、生じた
圧痕を１００倍の倍率で観察した結果、圧痕の外周１ｍ
ｍ以上の範囲で硬質炭素被覆膜と工具母材の間で剥離は
認められなかった（図３に示す剥離試験で判定はＨ
１）。本発明方法において脱膜を行い、再処理を施した
硬質炭素被覆膜は切削に耐えうるに十分な密着性である
ことが確認できた。そして上記切削条件で再度加工を行
った結果、摩耗の損傷状態は再処理前と同じ状態であ
り、本発明の脱膜及び再生方法の有効性が確認できた。

【００２１】（実施例３）実施例３は本発明を用いない
場合の比較品として超硬合金製エンドミルについて行っ
た場合について説明する。超硬合金を母材とした外径１
０ｍｍの２枚刃の無処理エンドミルに、イオンプレーテ
ィング溶解法によりセラミック硬質膜であるＴｉＣを形
成し、さらに炭素を原料として硬質炭素系被覆膜をコー
ティングを被覆した。そして密着性の評価として工具の
表面にＡスケールロックウエル硬度計を押圧し、生じた
圧痕を１００倍の倍率で観察した結果、圧痕の外周１ｍ
ｍ以上の範囲で膜と工具母材との間で剥離が認められな
かった（図３に示す剥離試験で判定はＨ１）。

【００２２】その後圧延アルミ合金Ａ５０５２を以下の
条件で加工した。（１）切削加工切削工具：外径１０ｍｍ２枚刃超硬合金エンドミル切削条件：ドライ（エアブロー）加工方法：側面切削（ダウンカット）切削速度：３１４ｍ／ｍｉｎ（１００００ｍｉｎ−１）送り速度：０．２ｍｍ／刃（４０００ｍｍ／ｍｉｎ）切り込み：Ａａ＝１０ｍｍＡｒ＝２．５ｍｍ切削長：３ｍ被削材：Ａ５０５２

【００２３】切削加工後に本発明方法による脱膜処理を
施さないで、使用した工具の刃部の摩耗部を研磨してそ
のままアルカリ洗浄で脱脂洗浄をおこない、再度イオン
プレーティング溶解法により硬質炭素被覆膜のみの形成
を行った。その結果、図３に示す剥離試験での判定はＨ
４と剥離が見られ、さらに切削試験を行ったところ、刃
部近傍の被覆膜は溶着物が原因で剥離を生じ切削に耐え
うることができず、再使用することができなかった。

【００２４】

【発明の効果】以上述べたように本発明においては、硬
質炭素被覆膜の表面に微粒の硬質粉体を用いたマイクロ
ブラスト処理を基材に損傷を与えない程度に施して硬質
炭素被覆膜の脱膜を行い、再生に適した基材表面の状態
を得られ再処理した被覆膜の密着性が向上できるので、
硬質炭素被覆膜を綺麗に除去し、さらに、物理的に硬質
炭素被覆膜を除去するため複雑な化学反応を利用したセ
ラミック硬質膜の除膜処理とは異なり廃液処理もなく、
取り扱い作業も簡単かつ安全であり、再生処理としては
環境に非常に負荷の少ない方法を提供するものとなっ
た。またコスト面でもダイヤモンドコーティング膜の脱
膜方法で使われるプラズマＣＶＤ装置のような大がかり
な設備は必要なく、安価なブラストの設備で量産ができ
るため再生コストを非常に安くすることができ、また、
再生使用しても充分使用に耐える再生基材を提供するも
のとなった。

【００２５】また、超硬合金を母材とした硬質炭素被覆
膜工具にはアルミナ粉が適しており、高速度工具鋼を母
材とした被覆工具には微粒ダイヤモンドを複合させた研
磨材を用いるようにしたので、超硬合金や高速度工具鋼
を用いた金型、切削工具に有用な再生方法を提供するも
のとなった。

【００２６】また、硬質炭素被覆膜は基材、特に切削工
具上に直接に、あるいはＴｉＮ，ＴｉＣＮ、ＴｉＣ，Ｔ
ｉＡｌＮなどのセラミック硬質膜を成膜した上に、硬質
炭素被覆膜を被覆したので、アルミやアルミ合金加工用
に適した切削工具の再生に利用できる。さらには、アル
ミのドライ加工において優れた性能を有する硬質炭素被
覆膜被覆工具の脱膜方法および該方法で得られた安価な
再生工具を提供するものとなった。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施に用いるマイクロブラスト処理装
置の模式図である。

【図２】本発明の硬質炭素被覆膜の構造を示し、（ａ）
は実施例１の超硬合金製のエンドミルの被覆、（ｂ）は
実施例２の高速度工具鋼のエンドミルの被覆の状態をし
めす説明図である。

【図３】工具等の基材に被覆された被覆膜の密着性を判
定するための剥離試験の判定基準である。

【符号の説明】１、４微粒の硬質粉体（アルミナ粉体、微粒のダイ
ヤモンドを複合させた研磨材）２空気３噴射装置（マイクロブラスト装置）５基材（工具、金型）６、３０硬質炭素被覆膜２１基材の材料（超硬合金）２２セラミック硬質膜（ＴｉＮ，ＴｉＣＮ、ＴｉＣ，
ＴｉＡｌＮ）２３基材の材料（高速度工具鋼）２１ａ、２３ｂ基材の表面

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基材の表面に被覆された硬質炭素被覆膜
に微粒の硬質粉体を空気と共に噴射させ前記硬質炭素被
覆膜を脱膜させることを特徴とする硬質炭素被覆膜の脱
膜方法。
【請求項２】前記微粒の硬質粉体は微粒のアルミナ粉
体、又は微粒のダイヤモンドを複合させた研磨材である
ことを特徴とする請求項１に記載の硬質炭素被覆膜の脱
膜方法。
【請求項３】前記基材の材料は高速度工具鋼であっ
て、前記微粒の硬質粉体は前記微粒のアルミナ粉体、又
は微粒のダイヤモンドを複合させた研磨材であることを
特徴とする請求項１に記載の硬質炭素被覆膜の脱膜方
法。
【請求項４】前記基材の材料は超硬合金であって、前
記微粒の硬質粉体は前記微粒のアルミナ粉体、又は微粒
のダイヤモンドを複合させた研磨材であることを特徴と
する請求項１に記載の硬質炭素被覆膜の脱膜方法。
【請求項５】前記硬質炭素被覆膜は基材上に直接に、
あるいはＴｉＮ，ＴｉＣＮ、ＴｉＣ，ＴｉＡｌＮなどの
セラミック硬質膜を成膜した上に、硬質炭素被覆膜を被
覆した硬質炭素被覆膜であることを特徴とする請求項１
乃至４のいずれか一に記載の硬質炭素被覆膜の脱膜方
法。
【請求項６】請求項１乃至５にいずれか一に記載の硬質
炭素被覆膜の脱膜方法により基材表面の硬質炭素被覆膜
のみを脱膜した後に、摩耗部を成形し、表面を洗浄し、
新たに硬質炭素被覆膜の処理を施すことにより再生を図
ることを特徴とする硬質炭素被覆膜の再生方法。
【請求項７】請求項６に記載の再生方法により再生さ
れたことを特徴とする再生基材。
【請求項８】前記基材は金型であること特徴とする請
求項７に記載の再生金型。
【請求項９】前記基材は切削工具であって、請求項１
乃至５にいずれか一に記載の硬質炭素被覆膜の脱膜方法
により切削工具表面の硬質炭素被覆膜のみを脱膜した後
に、刃部を再生し、表面を洗浄し、新たに硬質炭素被覆
膜の処理を施すことにより再生を図ることを特徴とする
硬質炭素被覆膜の再生方法。
【請求項１０】請求項９に記載の再生方法により再生
されたことを特徴とする再生切削工具。
【請求項１１】請求項７又は８又は１０のいずれかに
記載の再生した基材上の硬質炭素被覆膜は、Ａスケール
ロックウエル硬度計を用いて押圧した場合に生ずる圧痕
を１００倍の倍率で観察した結果が、前記圧痕の外周１
ｍｍ以上の範囲で膜と基材との間で剥離が認められない
程度の密着性を有することを特徴とする再生基材。