JP2003197566A - 回転軸のアンバランス検出方法及び検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】自動的に回転軸のアンバランスの検出ができ、
その結果を迅速にフィードバックできる回転軸のアンバ
ランス検出方法及び検出装置を提供する。 【解決手段】 複数枚の回転ブレード１２を同一の回転
軸１４に間隔を隔てて固定し、複数枚の回転ブレード１
２によりダイシングを行うマルチブレードタイプのダイ
シング装置１０における回転軸のアンバランス検出方
法。ダイシング装置１０の装置本体の一部に振動センサ
１６を固定するとともに、振動センサ１６により回転軸
１４のアンバランスの検出を行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造等にお
いて、ワークの溝切り加工等を行うダイシング装置、 特
に、複数枚の回転ブレードが同一の回転軸に間隔を隔て
て固定されるマルチブレードタイプのダイシング装置に
おける回転軸のアンバランス検出方法及び検出装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】近年、半導体製造等において、ワークの
溝切り加工等を行うダイシング装置が広く使用されてい
る。このうち、複数枚の回転ブレードが同一の回転軸に
間隔を隔てて固定されるマルチブレードタイプのダイシ
ング装置は、高いスループットが得られることより、製
造工程に導入されつつある。

【０００３】特に、ＣＳＰ（Ｃｈｉｐ Ｓｉｚｅ Ｐａ
ｃｋａｇｅ）は形状が正方形のものが多く、また、ピッ
チ間誤差がシリコンウェーハより厳しくないことより、
マルチブレードタイプのダイシング装置の適用が期待さ
れている。

【０００４】上記装置において、回転ブレードは、ドー
ナツ円盤状のメタルボンドダイヤモンド砥石（ダイヤモ
ンドホイール）で、たとえば、厚さが０．１ｍｍ前後、
外周が５６ｍｍ又は７６ｍｍのものが一般的である。ま
た、回転ブレード同士のピッチ間隔は、通常５〜１８ｍ
ｍの範囲が採用される。

【０００５】上記回転ブレード同士にピッチ間隔を設け
る方法は、該回転ブレードをスペーサと交互に同一の回
転軸に固定する構成によるのが一般的である。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、回転ブ
レード及びスペーサの同心度のばらつき、回転ブレード
及びスペーサの内径と回転軸（又はフランジ）とのガ
タ、回転軸（又はフランジ）への取り付け精度のばらつ
き、等の原因で、回転ブレード先端が複数の回転ブレー
ドの間で揃わないことが多い。また、回転ブレード先端
が複数の回転ブレードの間で揃っていても、回転ブレー
ドの回転時において動バランスがとれていないこともあ
る。

【０００７】そうした場合には、回転ブレードの回転時
における回転ブレが大きくなり、ワークの破損、回転ブ
レードの破損、等の不具合を生じることになる。極端な
場合にはエア軸受手段よりなる回転軸が破壊されること
も懸念される。

【０００８】この現象は従来のシングルブレードタイプ
のダイシング装置にはなかった問題であり、マルチブレ
ードタイプのダイシング装置を使いこなす上で克服しな
ければならない課題である。ところが、これまではこれ
に対する有効な解決手段がなかった。

【０００９】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、マルチブレードタイプのダイシング装置にお
いて、自動的に回転軸のアンバランスの検出が行え、そ
の結果を迅速にフィードバックできる回転軸のアンバラ
ンス検出方法及び検出装置を提供することを目的とす
る。

【００１０】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明は、複数枚の回転ブレードを同一の回転軸に
間隔を隔てて固定し、該複数枚の回転ブレードによりダ
イシングを行うマルチブレードタイプのダイシング装置
における回転軸のアンバランス検出方法であって、前記
ダイシング装置の装置本体の一部に振動センサを固定す
るとともに、該振動センサにより回転軸のアンバランス
の検出を行うことを特徴とする。

【００１１】本発明によれば、ダイシング装置本体の一
部に固定された振動センサにより、装置の運転中に回転
軸のアンバランスの検出が行えるので、その結果が迅速
にフィードバックでき、予想されるワークの破損、回転
軸の破損、等のトラブルに速やかに対処できる。その結
果、稼働率の向上、歩留りの向上が図れる。

【００１２】本発明において、前記振動センサの固定位
置は、前記回転ブレードが連結されたモータの一部又は
前記回転ブレードの周辺に配設されるブレードカバーで
あることが好ましい。このような位置に振動センサが固
定されれば、検出感度の点で優れており、このようなダ
イシング装置における振動センシングに好適だからであ
る。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、添付図面に従って本発明に
係る回転軸のアンバランス検出方法及び検出装置の好ま
しい実施の形態について詳説する。図１は、本発明に係
る回転軸のアンバランス検出方法及び検出装置の実施の
形態を説明する概念図であり、図２は、本発明に係る回
転軸のアンバランス検出装置の他の実施の形態を説明す
る要部拡大側断面図である。図１と図２は、振動センサ
１６の固定位置が異なる点でのみ相異し、他の構成は同
一である。この点は後述する。

【００１４】ダイシング装置１０は、主にワーク支持側
３０の部分と回転ブレード支持側２０の部分とより構成
される。

【００１５】ワーク支持側３０には、ワークＷを支持す
るテーブル３２が設けられている。テーブル３２の上面
には、接着シート３４を介してワークＷが固定される。
図１において、テーブル３２は図示しない移動装置によ
り、Ｘ方向（左右方向）に移動できるようになってい
る。

【００１６】回転ブレード支持側２０において、図示し
ない装置本体にはモータ支持部２６を介してモータ２４
が取り付けられている。図１において、モータは図示し
ない移動装置によりＺ方向（上下方向）及びＹ方向（紙
面に垂直方向）に移動できるようになっている。

【００１７】モータ２４の回転軸１４の先端にはフラン
ジ２２が取り付けられ、フランジ２２の外周には複数枚
の回転ブレード１２、１２…が取り付け可能となってい
る。図２において、回転ブレード１２はスペーサ１３と
交互にフランジ２２に取り付けられることにより、複数
枚の回転ブレード１２、１２…が同一の回転軸（フラン
ジ２２）に間隔を隔てて固定される構成となる。

【００１８】回転ブレード１２は、ドーナツ円盤状のメ
タルボンドダイヤモンド砥石（ダイヤモンドホイール）
で、たとえば、厚さが０．１ｍｍ前後、外周が５６ｍｍ
又は７６ｍｍのものが使用できる。また、場合によって
はレジンボンドのダイヤモンド砥石、又は、ニッケル製
ドーナツ円盤状部材の外周部分にダイヤモンド砥粒が電
着により形成された電着砥石も使用できる。

【００１９】図２の構成では、回転ブレード１２、１２
同士のピッチ間隔は６ｍｍとなっている。このピッチ間
隔は、ＣＳＰの場合、通常５〜１８ｍｍの範囲が採用さ
れる。

【００２０】図１において、回転ブレード支持側２０の
回転ブレード１２の周辺に配設されるブレードカバー１
７には振動センサ１６が固定されている。一方、図２に
おいて、回転ブレード支持側２０の回転ブレード１２が
連結されたモータ２４の先端部分には振動センサ１６が
固定されている。

【００２１】振動センサ１６は、ダイシング装置１０の
装置本体の一部に固定されていれば、振動の検出ができ
るが、図１又は図２に示されるような箇所に固定されて
いれば、振動の検出感度の点で優れており、このような
ダイシング装置における振動センシングに好適である。

【００２２】振動センサ１６としては、加速度計、ピエ
ゾ素子で代表されるが、これ以外の振動検知手段であっ
てもよい。振動センサ１６としては、たとえば、オムロ
ン社製、型番：Ｄ７Ｆ−Ｓ０１−０５が使用できる。

【００２３】振動センサ１６にはアンプユニット１６Ａ
が接続されており、アンプユニット１６Ａからの信号
は、コントローラ４０に伝送される。コントローラ４０
は、アンプユニット１６Ａからの信号を演算処理する演
算手段４１、異常状態をディスプレーに表示する表示手
段４２、異常検出時に運転を停止させる等のコントロー
ルを行う制御手段４３、及び、各種のデータを記憶する
記憶手段４４を有する。

【００２４】上記の振動センサ１６、アンプユニット１
６Ａ及びコントローラ４０等により回転軸のアンバラン
ス検出装置１８が構成される。

【００２５】なお、ダイシング装置１０の他の構成要素
として、図１において、回転ブレード１２の近傍には研
削液噴射ノズル２８が配されており、回転ブレード１２
及びワークＷが冷却され、また研削性が維持される。 同
様に、回転ブレード１２の両側近傍には冷却水噴射ノズ
ル２９が配されており、回転ブレード１２の冷却がなさ
れる。

【００２６】次に、図１、図２の構成のダイシング装置
１０における回転軸のアンバランス検出装置１８を使用
した回転軸１４のアンバランス検出について説明する。
回転ブレード１２は、メタルボンドダイヤモンド砥石で
厚さが０．１ｍｍ、外周が５６ｍｍのものを使用し、装
置運転時の回転数は３００００ｒｐｍとした。振動セン
サ１６はモータ２４の先端部分に固定した。

【００２７】４枚の回転ブレード１２を取り付け、ワー
クＷを加工しない状態で装置を運転し、回転軸のアンバ
ランス検出装置１８の作動を確認した。その結果、４枚
の各回転ブレード１２の先端が指定許容値（たとえば、
０．０５ｍｍ程度）以上のばらつきの範囲となっている
状態ではアンバランス検出が行えた。

【００２８】ワークＷを取り付けた状態で装置を運転
し、回転軸のアンバランス検出装置１８の作動を確認し
た。この際、４枚の各回転ブレード１２の先端が指定許
容値（たとえば、０．０５ｍｍ程度）以上のばらつきの
範囲となっている状態になった場合には、コントローラ
４０（以下、図３参照）の表示手段４２に警報を表示す
るとともに、コントローラ４０の制御手段４３により装
置の運転を停止させるようにプログラムした。その結
果、正常な動作が行えることが確認された。

【００２９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ダイシング装置本体の一部に固定された振動センサによ
り、装置の運転中に回転軸のアンバランスの検出が行え
るので、その結果が迅速にフィードバックでき、予想さ
れるワークの破損、回転軸の破損、等のトラブルに速や
かに対処できる。その結果、稼働率の向上、歩留りの向
上が図れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る回転軸のアンバランス検出装置の
実施の形態を説明する概念図

【図２】本発明に係る回転軸のアンバランス検出装置の
他の実施の形態を説明する要部拡大側断面図

【符号の説明】

１０…ダイシング装置、１２…回転ブレード、１４…回
転軸、１６…振動センサ、１７…ブレードカバー、１８
…回転ブレードのアンバランス検出装置、２０…ブレー
ド支持側、２２…フランジ、２４…モータ、２６…モー
タ支持部、３０…ワーク支持側、３２…テーブル、３４
…接着シート、Ｗ…ワーク

フロントページの続き (72)発明者 今井 忍 東京都三鷹市下連雀９丁目７番１号 株式 会社東京精密内 Ｆターム(参考） 2G021 AB09 AE02 AG04

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】複数枚の回転ブレードを同一の回転軸に間
   隔を隔てて固定し、該複数枚の回転ブレードによりダイ
   シングを行うマルチブレードタイプのダイシング装置に
   おける回転軸のアンバランス検出方法であって、 前記ダイシング装置の装置本体の一部に振動センサを固
   定するとともに、該振動センサにより回転軸のアンバラ
   ンスの検出を行うことを特徴とする回転軸のアンバラン
   ス検出方法。
2. 【請求項２】前記振動センサの固定位置は、前記回転ブ
   レードが連結されたモータの一部又は前記回転ブレード
   の周辺に配設されるブレードカバーである請求項１に記
   載の回転軸のアンバランス検出方法。
3. 【請求項３】複数枚の回転ブレードが同一の回転軸に間
   隔を隔てて固定され、該複数枚の回転ブレードによりダ
   イシングが行われるマルチブレードタイプのダイシング
   装置における回転軸のアンバランス検出装置であって、 前記ダイシング装置の装置本体の一部に振動センサが固
   定されるとともに、該振動センサにより回転軸のアンバ
   ランスの検出が行われることを特徴とする回転軸のアン
   バランス検出装置。