JP2003191149A - 回転ブレードの破損検出方法及び検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】自動的に回転ブレードの破損を検出でき、その
結果を迅速にフィードバックできる回転ブレードの破損
検出方法及び検出装置を提供する。 【解決手段】 複数枚の回転ブレード１２を同一の軸１
４に間隔を隔てて固定し、複数枚の回転ブレード１２に
よりダイシングを行うマルチブレードタイプのダイシン
グ装置１０における回転ブレードの破損検出方法。それ
ぞれの回転ブレード１２の刃先の近傍にセンサ１６をそ
れぞれ配し、センサ１６により回転ブレード１２の破損
を検出する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造等にお
いて、ワークの溝切り加工等を行うダイシング装置の回
転ブレードの破損検出方法及び検出装置に係り、 特に、
複数枚の回転ブレードが同一の軸に間隔を隔てて固定さ
れるマルチブレードタイプのダイシング装置における回
転ブレードの破損検出方法及び検出装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、半導体製造等において、ワークの
溝切り加工等を行うダイシング装置が広く使用されてい
る。このうち、複数枚の回転ブレードが同一の軸に間隔
を隔てて固定されるマルチブレードタイプのダイシング
装置は、高いスループットが得られることより、製造工
程に導入されつつある。

【０００３】特に、ＣＳＰ（Ｃｈｉｐ Ｓｉｚｅ Ｐａ
ｃｋａｇｅ）は形状が正方形であり、ピッチ間誤差がシ
リコンウェーハより厳しくないことより、マルチブレー
ドタイプのダイシング装置の適用が期待されている。

【０００４】ところで、回転ブレードが破損した場合、
これに気づかずに生産を続けると、不良品を生産し続け
ることとなる。そのため、従来より、回転ブレードの破
損検出方法及び検出装置が使用されている。

【０００５】この方法及び装置は、たとえば、カーフチ
ェックと称される、加工後のワークの溝形状を観察し
て、事後的に回転ブレード破損の検出を行う方法であっ
たり、光学的に回転ブレードの先端形状を測定し、回転
ブレード破損の検出を行う装置であったりする。

【０００６】上記装置としては、たとえば、本出願人に
よる特開平５−５０３６２号、特開平５−５０３６３号
が挙げられる。これらの装置は、投光手段と受光手段と
を設け、この間の光線を回転ブレードが遮光することの
有無を検出して、回転ブレード破損の検出を行う装置で
ある。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の回転ブレードの破損検出方法及び検出装置は、１枚
の回転ブレードを使用する、いわゆる、シングルブレー
ドタイプのダイシング装置には好適に使用されていた
が、マルチブレードタイプのダイシング装置に使用した
場合には、各種の不具合を生じることとなる。

【０００８】すなわち、マルチブレードタイプのダイシ
ング装置では、複数の溝が同時に形成されるので、カー
フチェックを行った際の破損ブレードの特定が煩雑とな
る。同様に、マルチブレードタイプのダイシング装置で
は、スループットが高いので、カーフチェックが追いつ
かないことも懸念される。

【０００９】また、特開平５−５０３６２号、特開平５
−５０３６３号等に開示された装置は、スペース的な制
約より、マルチブレードタイプのダイシング装置への適
用が困難である。すなわち、マルチブレードタイプのダ
イシング装置においては、回転ブレード同士の間隔を１
８ｍｍ以下、好ましくは１０ｍｍ以下とすることが一般
的であるが、この間隔では、上記装置の投光手段及び受
光手段は、回転ブレード同士の間に配置できない。

【００１０】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、マルチブレードタイプのダイシング装置にお
いて、自動的に回転ブレードの破損を検出でき、その結
果を迅速にフィードバックできる回転ブレードの破損検
出方法及び検出装置を提供することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明は、複数枚の回転ブレードを同一の軸に間隔
を隔てて固定し、該複数枚の回転ブレードによりダイシ
ングを行うマルチブレードタイプのダイシング装置にお
ける回転ブレードの破損検出方法及び検出装置であっ
て、前記それぞれの回転ブレードの刃先の近傍にセンサ
をそれぞれ配し、該センサにより回転ブレードの破損を
検出することを特徴とする。

【００１２】本発明によれば、それぞれの回転ブレード
の刃先の近傍にセンサをそれぞれ配し、該センサにより
回転ブレードの破損を自動的に検出できるので、その結
果が迅速にフィードバックでき、このトラブルに速やか
に対処できる。その結果、稼働率の向上、歩留りの向上
が図れる。

【００１３】本発明において、センサとして、渦電流方
式の近接センサを使用することが好ましい。このタイプ
のセンサは、研削液、粉塵、等の外乱に影響を受けにく
く、このようなダイシング装置における近接センシング
に好適だからである。

【００１４】また本発明において、前記回転ブレード同
士の間隔を被加工物のチップサイズとすることが好まし
い。チップサイズが小さくなり１０ｍｍ以下の間隔にお
いては、従来方式の投光手段及び受光手段による検出装
置は使用できず、本発明の検出装置の特徴が発揮できる
からである。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、添付図面に従って本発明に
係る回転ブレードの破損検出方法及び検出装置の好まし
い実施の形態について詳説する。図１は、本発明に係る
回転ブレードの破損検出装置の実施の形態を説明する概
念図であり、図２は、同要部拡大図である。なお、図１
は、図２におけるＡＡ’線矢視図でもある。

【００１６】ダイシング装置１０は、主にワーク支持側
３０の部分とブレード支持側２０の部分とより構成され
る。

【００１７】ワーク支持側３０には、ワークＷを支持す
るテーブル３２が設けられている。テーブル３２の上面
には、接着シート３４を介してワークＷが固定される。
図１において、テーブル３２は図示しない移動装置によ
り、Ｘ方向（左右方向）及びＹ方向（紙面に垂直方向）
に移動できるようになっている。

【００１８】ブレード支持側２０において、図示しない
装置本体にはモータ支持部２６を介してモータ２４が取
り付けられている。図１において、モータは図示しない
移動装置によりＺ方向（上下方向）に移動できるように
なっている。

【００１９】モータ２４の軸１４の先端にはフランジ２
２が取り付けられ、フランジ２２の外周には複数枚の回
転ブレード１２、１２…が取り付け可能となっている。
図２の構成において、回転ブレード１２はスペーサ１３
と交互にフランジ２２に取り付けられることにより、複
数枚の回転ブレード１２、１２…が同一の軸（フランジ
２２）に間隔を隔てて固定される構成となる。

【００２０】回転ブレード１２は、ドーナツ円盤状部材
の外周部分に砥粒、主にダイヤモンド砥粒が電着により
形成されたもので、たとえば、ニッケル製で厚さが０．
１ｍｍ、外周が５６ｍｍ又は７６ｍｍのものが使用でき
る。また、場合によってはレジンボンドのダイヤモンド
砥石も使用できる。

【００２１】図２の構成では、回転ブレード１２、１２
同士のピッチ間隔は６ｍｍとなっている。このピッチ間
隔は、ＣＳＰの場合、通常５〜１８ｍｍの範囲が採用さ
れる。

【００２２】図２において、モータ２４は２台設けられ
ており、それぞれの先端のフランジ２２、２２が隣接し
て向き合う、いわゆる対向配置となっている。

【００２３】ブレード支持側２０において、それぞれの
回転ブレード１２、１２…の刃先の近傍にセンサ１６、
１６…がそれぞれ配されており、センサ１６、１６…に
より回転ブレードの破損が検出できる構成となってい
る。

【００２４】センサ１６としては、渦電流方式の近接セ
ンサが使用されている。回転ブレード１２、１２同士の
ピッチ間隔は６ｍｍとなっていることより、センサ１６
は外径が２．８ｍｍの円柱形状のものが使用されてい
る。このようなセンサ１６としては、たとえば、ＫＹＥ
ＮＣＥ社製の渦電流方式近接センサ（型番：ＳＨ−３０
２）が使用できる。このようなセンサ１６であれば、ニ
ッケルのような非磁性体の検出も可能となる。

【００２５】なお、既述のように、センサ１６として
は、渦電流方式の近接センサの使用が好ましいが、これ
以外のセンサ、たとえば、レーザー方式の距離センサ、
静電容量方式の近接センサ、等各種のセンサが使用でき
る。

【００２６】渦電流方式の近接センサは、被検出対象と
の距離間隔により検知感度が左右されることより、それ
ぞれが、図示しない間隔調整手段により位置の微調整が
できるように構成されることが好ましい。間隔調整手段
としては、たとえば、雄ねじと雌ねじとの組み合わせ、
及びロックナットを使用した構成が採用できる。

【００２７】図２において、それぞれのセンサ１６の信
号ケーブルはアンプユニット１６Ａに接続され、信号が
増幅される。アンプユニット１６Ａとしては、たとえ
ば、ＫＹＥＮＣＥ社製のアンプ（型番：ＥＧ）が使用で
きる。

【００２８】アンプユニット１６Ａからの信号は、コン
トローラ４０に伝送される。コントローラ４０は、アン
プユニット１６Ａからの信号を演算処理する演算手段４
１、異常状態をディスプレーに表示する表示手段４２、
異常検出時に運転を停止させる等のコントロールを行う
制御手段４３、及び、各種のデータを記憶する記憶手段
４４を有する。

【００２９】上記のセンサ１６、アンプユニット１６Ａ
及びコントローラ４０等により回転ブレードの破損検出
装置１８が構成される。

【００３０】図１において、回転ブレード１２の近傍に
は研削液噴射ノズル２８が配されており、回転ブレード
１２及びワークＷが冷却され、また研削性が維持され
る。 同様に、回転ブレード１２の両側近傍には冷却水噴
射ノズル２９が配されており、回転ブレード１２の冷却
がなされる。

【００３１】次に、回転ブレードの破損検出装置１８を
使用した回転ブレードの破損検出について説明する。図
１、図２の構成のダイシング装置１０によりＣＳＰに溝
加工した際の回転ブレードの破損例について実測結果を
述べる。回転ブレード１２は、ニッケル製で厚さが０．
１ｍｍ、外周が５６ｍｍのものを使用し、回転数は３０
０００ｒｐｍとした。

【００３２】回転ブレードの破損検出装置１８で検出し
た回転ブレードの検出信号は、ＯＮ、ＯＦＦの二値信号
として出力される。したがって、信号の閾値のレベル及
びセンサ１６と回転ブレード１２との間隔によりＯＮ、
ＯＦＦの値は左右される。

【００３３】本実施の形態では、信号の閾値のレベル及
びセンサ１６と回転ブレード１２との間隔を最適値に調
整することにより、回転ブレード１２の１／８以上の欠
けであれば異常信号として検出できた。これにより、実
質上工程異常となる回転ブレードの破損の検出手段とし
ては十分な性能を有することが確認された。

【００３４】このように、それぞれの回転ブレード１２
の刃先の近傍にセンサ１６をそれぞれ配し、センサ１６
により回転ブレード１２の破損を自動的に検出できるの
で、その結果が迅速にフィードバックでき、このトラブ
ルに速やかに対処できる。その結果、稼働率の向上、歩
留りの向上が図れる。

【００３５】

【発明の効果】以上説明したように、複数枚の回転ブレ
ードを同一の軸に間隔を隔てて固定し、該複数枚の回転
ブレードによりダイシングを行うマルチブレードタイプ
のダイシング装置であっても、本発明の回転ブレードの
破損検出方法及び検出装置によれば、それぞれの回転ブ
レードの刃先の近傍にセンサをそれぞれ配し、該センサ
により回転ブレードの破損を自動的に検出できるので、
その結果が迅速にフィードバックでき、このトラブルに
速やかに対処できる。その結果、稼働率の向上、歩留り
の向上が図れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る回転ブレードの破損検出装置の実
施の形態を説明する概念図

【図２】本発明に係る回転ブレードの破損検出装置の要
部拡大図

【符号の説明】

１０…ダイシング装置、１２…回転ブレード、１４…
軸、１６…センサ、１８…ブレードの破損検出装置、２
０…ブレード支持側、２２…フランジ、２４…モータ、
２６…モータ支持部、３０…ワーク支持側、３２…テー
ブル、３４…接着シート、Ｗ…ワーク

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 今井 忍 東京都三鷹市下連雀９丁目７番１号 株式 会社東京精密内 Ｆターム(参考） 3C029 DD04

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】複数枚の回転ブレードを同一の軸に間隔を
   隔てて固定し、該複数枚の回転ブレードによりダイシン
   グを行うマルチブレードタイプのダイシング装置におけ
   る回転ブレードの破損検出方法であって、 前記それぞれの回転ブレードの刃先の近傍にセンサをそ
   れぞれ配し、該センサにより回転ブレードの破損を検出
   することを特徴とする回転ブレードの破損検出方法。
2. 【請求項２】前記センサとして、渦電流方式の近接セン
   サを使用する請求項１に記載の回転ブレードの破損検出
   方法。
3. 【請求項３】前記回転ブレード同士の間隔を被加工物の
   チップサイズとする請求項１又は２に記載の回転ブレー
   ドの破損検出方法。
4. 【請求項４】複数枚の回転ブレードが同一の軸に間隔を
   隔てて固定され、該複数枚の回転ブレードによりダイシ
   ングが行われるマルチブレードタイプのダイシング装置
   における回転ブレードの破損検出装置であって、 前記それぞれの回転ブレードの刃先の近傍にセンサがそ
   れぞれ配されており、該センサにより回転ブレードの破
   損が検出されることを特徴とする回転ブレードの破損検
   出装置。