JP2003189632A - 電力用半導体素子 - Google Patents

電力用半導体素子

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 GND電位の変動により、パワー素子駆動回
路が制御信号を誤認識して誤動作することがあった。 【解決手段】 モータ等の誘導性負荷を駆動する電力変
換装置におけるP側おびN側の駆動用パワー素子の双方
の制御を同時に行う機能を有する電力用半導体装置にお
いてパワー素子駆動回路へ駆動信号を供給する入力信号
処理回路と、P側およびN側の駆動回路の間にレベルシ
フト回路(37、38、39、46、47、48)を挿入
して、P側およびN側の駆動回路のGND線と、入力信
号処理回路のGND線とを電気的に絶縁した。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、電力変換装置に
て使用されるHVIC(High Voltage IntegratedCircui
t)に関するものである。
【0002】
【従来の技術】電力変換回路としては古典的であるモー
タ駆動インバータ装置の回路図を図10に示し、その基
本的な動作を以下に述べる。インバータ用駆動電源23
のP側(高圧側)とN側(低圧)の間には、各U、V、W相
のパワー素子(17、18、19、20、21、22)が
接続されており、それらの各パワー素子と並列にFWD
(Free Wheel Doide:31、32、33、34、35、3
6)が接続される。そして各々のパワー素子の制御信号
を生成するマイコン等の制御信号生成回路1に入力信号
処理回路(2、3、4)が接続され、それらの入力信号処
理回路は電源30より給電される。
【0003】各相のパワー素子の駆動用に各相毎にパワ
ー素子駆動回路(11、12、13、14、15、16)
および専用電源(24、25、26、27、28、29)
が接続される。入力信号処理回路とパワー素子駆動回路
でのGND電位が異なるため、両者の結合用にフォトカ
プラ(5、6、7、8、9、10)を用いている。
【0004】そして実際のインバータでは、駆動方式に
従ってU、V、W各相のP側(17、19、21)とN側
(18、20、22)の各パワー素子をスイッチングさせ
ることにより、モータ制御を実現している。
【0005】次に、図10の回路図を元にHVICを用
いた場合のインバータ回路例を図11に示す。HVIC
は、入力信号処理回路(2〜4)、パワー素子駆動回路
(11〜16)およびフォトカプラと同等の機能を有する
レベルシフト回路(37、38、39)から構成され、ま
た、本例では、U、V、Wの各相毎に1チップ化(5
0、51、52)した回路構成となっている。
【0006】HVIC化するメリットとしては、チップ
内へレベルシフトを組み込むことでフォトカプラを用い
たものに比べて信頼性を高くでき、又、電源数およびイ
ンバータ搭載部品点数の削減により安価なシステムを提
供できるなどが挙げられる。
【0007】図11のごとく、駆動電源を外部電源30
のみとした場合には、別途付加する部品としては各々の
相のP側パワー素子(17、19、21)の駆動回路(1
1、13、15)の電源用にブートストラップダイオー
ド(40、41、42)とブートストラップコンデンサ
(43、44、45)のみとなる。
【0008】HVICを用いた場合のインバータ回路の
簡略図を図12に示す。本例はインバータ駆動用の制御
信号生成回路から各U、V、W相のHVIC(50、5
1、52)へ制御信号が伝達され、パワー素子(17、1
8、19、20、21、22)を駆動する回路例であ
る。この回路構成では、HVIC(50〜52)の各GN
Dとパワー素子(18、20、22)の各エミッタ端子が
U、V、W相毎に接続されている。L1〜L12は後述
する寄生インダクタンスである。
【0009】この図12の回路の基板実装例を図13に
示す。インバータ回路では、アプリケーションによりP
−N間電圧、パワー素子電流定格等の規格値が異なる
が、一般的には高電圧・大電流を扱うインバータ回路の
動作はパワー素子を用いた高速スイッチングにより実現
しているため、インバータ自体での電力損失を出来るだ
け小さくするように強く要請されている。この損失は通
常、ジュール熱となりインバータ外部へ放出される。
【0010】図13では、U相のパワー素子18のエミ
ッタは、ボンディングワイヤを通じて、HVICのGN
DとFWD(32)のアノードに接続されている。また、
FWD(32)のアノードを経由してボンディングワイヤに
てパスバー(PB)のN電極(54)に接続されている。イ
ンバータ回路の損失は、DCロスとスイッチングロスの
2つに分けることができる。
【0011】DCロスとは、パワー素子で発生する損失
と、ボンディングワイヤ等の配線で発生する損失から成
る。パワー素子で発生する分は、P電極からP側パワー
素子、負荷(インダクタンス)、N側パワー素子を経由し
てN電極へ定常的に流れる電流によるものである。
【0012】図14にパワー素子での損失を発生させる
電流径路を図示している。配線などでの損失は電流と電
気抵抗によって決まるため、大電流になればなるほど、
配線の電気抵抗を下げなければならない。
【0013】一方、スイッチングロスは、パワー素子が
ON→OFFとOFF→ONする際にパワー素子から発
生する損失と、FWDから発生する損失との合計であ
り、一般的に、パワー素子のスイッチング速度が速いほ
ど、また、P−N間電圧が低いほどパワー素子での損失
分は低くなる。以上から、インバータ回路を高圧・大電
流領域で使用するには、損失の低減が重要となり、特に
パワー素子はスイッチング速度の向上のために種々の改
良が続けられている。
【0014】パスバーはインバータで発生する損失の一
部となっているため、そのパスバーの形状は、電気抵抗
を下げるため、できるだけ太く、短くする必要がある
が、定格電流を保証するために最低限必要な大きさであ
るパワー素子やその他の部品をパッケージに載せる必要
があり、組み立て作業の効率化を考慮すると、一般的に
は図13に示したような形状が考えられる。
【0015】N電極(54)には、L7、L8に示すよう
な寄生インダクタが存在する。また、パワー素子とFW
Dとパスバー(PB)間のワイヤボンドにはそれぞれL
1、L2、L3、L4、L5、L6なる寄生インダクタ
も存在する。また、U相、V相、W相駆動のHVIC
(50、51、52)の各々のGNDノードA点、B点、
C点と、各パワー素子との間には、各々のHVICのG
ND端子からパワー素子のエミッタ端子までのワイヤボ
ンドおよび、基板(55)の配線パターンによる寄生イン
ダクタンスL9、L10、L11が存在し、また、各々
のHVICのGND端子間を結ぶ配線パターンによる寄
生インダクタンスL12(U相−V相間)、L13(V相
−W相間)も存在する。
【0016】
【発明が解決しようとする課題】図12の回路におい
て、インバータ動作を行うと、L1〜L13の寄生イン
ダクタンスにより誤動作が発生する場合がある。この誤
動作発生のメカニズムを図14および図15を用いて説
明する。
【0017】図14では、U相のP側のパワー素子(1
7)とV相のN側のパワー素子(20)がON状態にあ
り、その状態では矢印に示した径路で電流が流れてい
る。次に図15に示すように、U相のP側のパワー素子
(17)がONからOFFに切り替った後も、インダクタ
ンスの負荷(60)に蓄えられていたエネルギーによって
電流が流れ続けようとする。この時、U相のN側のパワ
ー素子(18)はOFF状態であるが、これと並列に接続
されたFWD(32)が、前記電流に対し、順バイアス状
態であるため、負荷(60)→V相N側パワー素子(20)
→N電極の寄生インダクタンス(L7)→U相N側FWD
(32)→負荷(60)の径路で電流が流れる。また、この
図15を図12と照らし合わせてみるとわかるように、
寄生インダクタンスL1、L2、L3、L4、L9、L
10、L12にも電流が流れている。
【0018】この場合、各インダクタンスLに対しては
次式で表される電圧Vが発生する。 V=L×(di/dt) di/dt:電流変化率
【0019】これより、図12に示す、U相駆動用のH
VIC(50)のGNDノード点AとV相駆動用のHVI
C(51)のGNDノードB点との間に電位差が発生して
いることになる。図12の制御信号生成回路(1)から
は、各相のHVIC(50〜52)にデジタルの制御信号
が送出されるが、前述のGND電位の変動により、各相
のHVIC(50〜52)がその制御信号を誤認識して誤
動作を引き起こすことがあった。
【0020】この発明は、GND電位の変動による制御
信号を誤認識をなくすようにした電力用半導体装置を提
供するものである。
【0021】
【課題を解決するための手段】本発明は、モータ等の誘
導性負荷を駆動する電力変換装置におけるP側おびN側
の駆動用パワー素子の双方の制御を同時に行う機能を有
する電力用半導体装置においてパワー素子駆動回路へ駆
動信号を供給する入力信号処理回路と、P側およびN側
の駆動回路の間にレベルシフト回路を挿入して、P側お
よびN側の駆動回路のGND線と、入力信号処理回路の
GND線とを電気的に絶縁したことを特徴とする。
【0022】
【発明の実施の形態】実施形態1 図1に本発明の第1実施形態を示す。これは本発明を適
用したHVICを3個(50、51、52)用いたモータ
駆動用インバータ装置の回路図である。図10の従来例
と比較すると、主な変更点としてはU、V、W各相に用
いられていたフォトカプラ(5〜10)がレベルシフト回
路(37、38、39、46、47、48)に置き換わ
り、また、U、V、Wの相毎にパワー素子制御回路がH
VIC化されたものとなっていることと、U、V、Wの
P側駆動回路の電源が別電源(24、26、8)であった
ものが、ブートストラップ回路方式によりコンデンサ
(43、44、45)とダイオード(40、41、42)に
て構成されており、従来の回路よりも少ない電源数にて
回路を構成している点である。
【0023】これにより、トランスによる方式よりも部
品点数の削減による低コスト化が見込める。また、P側
とN側の駆動回路を同じ半導体上に集積しているので、
P側駆動回路とN側駆動回路の伝播遅延時間の差を小さ
くでき、インバータ装置でのデッドタイムを従来回路よ
りも縮めることができる。
【0024】本方式によるIC外部電源構成を、図7、
図8、図9に示す。尚、これらの図ではU相のみを示
し、他の相も回路構成は同じになる。
【0025】図7では、入力信号処理回路(2)の電源
(30)より、ダイオード(91)およびコンデンサ(94)
よりなるブートストラップ回路を通じてP側のパワー素
子駆動回路(11)に給電し、同様に、イオード(92)お
よびコンデンサ(95)よりなるブートストラップ回路を
通じてN側のパワー素子駆動回路(12)に給電してい
る。この構成では電源数が少ないので、インバータ装置
としての部品点数は減るが、起動時や制御方法に制約が
ある。
【0026】図8は、N側のパワー素子駆動回路(12)
にのみN側駆動電源(25)を備え、P側のパワー素子駆
動回路(11)へはダイオード(40)およびコンデンサ
(43)よりなるブートストラップ回路を通じて給電して
いる。この構成では図7の回路に比べ部品点数削減効果
は小さいが、起動時や制御方法の制約が緩くなる。図1
ではこの給電方式を採用している。
【0027】図9は、P側およびN側パワー素子駆動回
路(11、12)への給電にそれぞれ独立した電源(2
4、25)を用いており、部品点数は最も多いが、起動
時や制御方法の制約がなく、使いやすいという特長があ
る。
【0028】次に図1の回路図の動作を述べる。このモ
ータ駆動用インバータ装置を制御するための制御信号が
制御信号生成回路(1)で生成され、U、V、W各相のパ
ワー素子駆動用の各HVIC(50、51、52)に入力
される。これらのHVICは各々の入力信号処理回路
(2、3、4)には共通の電源(30)が接続されており、
N側の各パワー素子駆動回路(12、14、16)には個
別に電源(25、27、29)が接続される。
【0029】一方、U相のHVIC(50)内のP側のパ
ワー素子駆動回路(11)へは、N側のパワー素子駆動回
路(12)の電源(25)から、ダイオード(40)およびコ
ンデンサ(43)よりなるブートストラップ回路を通じて
給電される。他のV、W相のHVIC(51、52)にお
いても同様に給電される。
【0030】U、V、W相はそれぞれ共通の回路構成と
なっており、動作も同じなので、以下、代表例としてU
相についてその動作を詳細に示す。HVIC(50)に入
力された信号は、入力信号処理回路(2)で信号処理され
た後、P側、N側別々のレベルシフト回路(37、46)
に入る。
【0031】N側レベルシフト回路(46)に入力される
信号は、電源(30)の負極性側(GND)を基準電位とし
た電圧振幅の信号であり、その信号を、電源(25)の負
極側を基準電位とした電圧振幅の信号にレベルシフトす
る。そして、P側レベルシフト回路(37)は、入力され
た信号を、コンデンサ(43)の負極性側を基準電位とし
た電圧振幅の信号にレベルシフトする。
【0032】図1のN端子からU、W相のパワー素子へ
の径路の中に、パッケージに存在する寄生インダクタン
スをL7、L8として回路図に図示している。この電力
半導体装置がスイッチング動作を行うと、モータの負荷
電流が前述の寄生インダクタンスに流れて、負荷電流の
スイッチング時のdi/dtにより電圧が発生し、U、V、
W各相のN側に接続されている電源(25、27、29)
の負極性側や、パワー素子(32、34、36)のエミッ
タ端子側やHVIC(50、51、52)のN側パワー素
子駆動回路(12、14、16)のGND側の各々のノー
ドで電位差が生じる。
【0033】ところが、N側のパワー素子駆動回路12
のGND(つまり各相のN側電位)と入力信号処理回路2
のGNDとは、レベルシフト回路(46)で電気的に絶縁
されているため、入力信号処理回路(2)の電源(30)の
負電極が接続されているHVIC(50)のGNDノード
は、パワー素子動作時のN側電位変動の影響を受けない
ので、誤動作は起こらない。他のHVICについても同
様のことがいえる。
【0034】実施形態2 図2に本発明の第2実施形態を示す。この図2において
は、図1と同様にU、V、W各相とも同じ機能を持つた
めU相のみを示している。この図2では、レベルシフト
回路(37、46)の後段にロジックフイルタ・RSラッ
チ回路(71、72)を挿入している。
【0035】パワー素子の動作により、電源(25)およ
びコンデンサ(43)の端子電圧が変動するが、急激な電
圧変動があると、それらの端子電圧を受けるレベルシフ
ト回路(46、37)が誤動作する。ロジックフイルタ・
RSラッチ回路(71、72)は、レベルシフト回路より
出力される誤信号を除去することでパワー素子の誤動作
を避ける。
【0036】実施形態3 図3に本発明の第3実施形態を示す。この図3では、レ
ベルシフト回路の前段に電流パルス列変換回路(73)を
挿入している。入力信号処理回路(2)よりの電圧振幅信
号を、レベルシフト回路(37、46)が扱うと、レベル
シフト回路の動作時の消費電流が大きくなる。そこで、
前記電圧振幅信号を、電流パルス列変換回路(73)に
て、電圧振幅信号からパルス信号に変換し、そのパルス
信号に対してレベルシフト回路がレベルシフトする。こ
の回路構成では、レベルシフト回路での消費電流を低減
できる。
【0037】実施形態4 図4に本発明の第4実施形態を示す。この図4では、図
3の電流パルス列変換回路(73)に換えて電流パルス結
変換・パルス印加回路(74)を用いている。ONまたは
OFFの状態を伝達するレベルシフト回路(37、46)
をONまたはOFF状態に保持する間、電流パルス列変
換・パルス印加回路(74)よりパルス信号を周期的にレ
ベルシフト回路(37、46)に入力するようにしてい
る。これにより、パワー素子の動作により電源(25)お
よびコンデンサ(43)の端子電圧が変動しても、レベル
シフト回路(46、37)での誤動作を防止できる。
【0038】実施形態5 図5に本発明の第5実施形態を示す。図1にて用いたハ
ーフブリッジ構成の3個のHVIC(50、51、52)
を図5では、1個のHVIC(53)に集積化している。
【0039】実施形態6 図6に本発明の第6実施形態を示す。この図6では、H
VIC内のパワー素子駆動/保護回路(11A、12A)
から出力される異常信号を上位の制御回路へ伝達するた
めのP側、N側のFo(フォルト)信号出力端子を追加し
ている。このパワー素子駆動/保護回路は図1等にある
パワー素子駆動回路(11、12)に、パワー素子での短
絡、過負荷、過電圧、過温度などを検知して異常信号を
出力できる保護回路を付加したものである。
【0040】前記Fo信号を出力するための信号伝達径
路に、前記異常信号を、所望のレベルにシフトさせるレ
ベルシフト回路(76、79)と、電流パルス列変換回路
(77、80)を設けている。この電流パルス列変換回路
は図3で用いた電流パルス列変換回路(73)と同じ機能
をなすものである。
【0041】この場合も、N極側の電源(25)およびP
側のコンデンサ(43)の電位変動により誤動作すること
があるので、レベルシフト回路(76、79)の後段にロ
ジックフイルタ・RSラッチ回路(75、78)を設けて
いる。このロジックフイルタ・RSラッチ回路も図2で
用いたものと同じである。
【0042】
【発明の効果】請求項1の発明は、入力信号処理回路
と、P側およびN側の駆動回路の間にレベルシフト回路
を挿入したことにより、N側(ローサイド)のGND線に
ノイズなどが重畳しても、入力信号処理回路のGND線
とを電気的に絶縁されているため、ノイズによる入力信
号処理回路からの信号を誤認識する誤動作を防止でき
る。
【0043】請求項2の発明は、入力信号処理回路の電
源線と、P側およびN側の駆動回路の電源線とを電気的
に絶縁したものであり、その場合は、絶縁されている電
源回路はブートストラップ回路ではなく、トランスなど
により構成されめるため、ブートストラップ回路特有
の、初期充電や制御方式の制約などの問題がなく、トラ
ンス方式との混合なので、ノイズによる誤動作のレベル
を抑えながら低コストの方式を選択できる。
【0044】請求項3の発明は、入力信号処理回路と、
P側およびN側の駆動回路とで全ての電源線を電気的に
絶縁したものであり、その場合は、絶縁されている電源
回路はブートストラップ回路ではなく、トランスなどに
より構成され、その結果、ブートストラップ回路特有
の、初期充電や制御方式の制約などの問題がなく、安定
した動作が期待できる。
【0045】請求項4の発明は、入力信号処理回路に対
して外部より、P側とN側のパワー素子を同時にONさ
せるような誤信号が入力された場合に、この信号を無効
にするような機能を持つインターロック回路を備えるの
で、P/Nのパワー素子の短絡を防止できる。
【0046】請求項5の発明は、レベルシフト回路の後
段に、ロジックフイルタおよびRSラッチ回路を備えた
ので、電源およびGND電位の変動に起因してレベルシ
フト回路から出力される誤信号を除去できる。
【0047】請求項6の発明は、入力信号処理回路より
出力される電圧振幅信号を電流パルス列に変換するため
の電流パルス列変換回路を、前記入力信号処理回路の後
段に接続したので、レベルシフト回路での消費電流を低
減できる。
【0048】請求項7の発明は、レベルシフト回路をO
NまたはOFF状態に保持する間、パルス信号を周期的
にレベルシフト回路に入力するパルス印加機能を上記電
流パルス列変換回路に備えたので、パワー素子の動作に
より電源などの端子電圧が変動しても、レベルシフト回
路での誤認識を防止でき、誤動作がなくなる。
【0049】請求項8の発明は、P側、N側のパワー素
子の短絡、過負荷、過電圧などの異常を検知する保護回
路を備え、この回路からの検知信号を第2のレベルシフ
ト回路を通じて外部の制御回路へ出力するようにしたの
で、パワー素子での異常を確実に検知でき故障を回避で
きる。
【0050】請求項9の発明は、上記保護回路より出力
される電圧振幅信号を電流パルス列に変換するための電
流パルス列変換回路を、第2のレベルシフト回路の前段
に備えたので、第2のレベルシフト回路での消費電流を
低減できる。
【0051】請求項10の発明は、電源およびGND電
位の変動に起因して第2のレベルシフト回路から出力さ
れる誤信号を除去するために、第2のレベルシフト回路
の後段に、ロジックフイルタおよびRSラッチ回路を備
えたので、電源およびGND電位の変動に起因してレベ
ルシフト回路から出力される誤信号を除去できる。
【0052】請求項11の発明は、P側、N側の組みの
駆動回路を1つの電力用半導体装置に複数個集積したの
で、実装基板面積の縮小により低コスト化が図れる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の電力半導体装置の第1実施形態を示
した回路図
【図2】 本発明の電力半導体装置の第2実施形態を示
した回路図
【図3】 本発明の電力半導体装置の第3実施形態を示
した回路図
【図4】 本発明の電力半導体装置の第4実施形態を示
した回路図
【図5】 本発明の電力半導体装置の第5実施形態を示
した回路図
【図6】 本発明の電力半導体装置の第6実施形態を示
した回路図
【図7】 P側およびN側パワー素子駆動回路への給電
にブートストラップ電源を用いた回路図
【図8】 P側パワー素子駆動回路の給電にのみブート
ストラップ電源を用いた回路図
【図9】 P側およびN側パワー素子駆動回路への給電
にそれぞれ独立電源を用いた回路図
【図10】 従来のディスクリート部品を用いた場合の
電力用半導体の回路図
【図11】 図10の電力用半導体を従来のハーフブリ
ッジ構成のHVICで置き換えた回路図
【図12】 図11の回路構成に含まれる寄生インダク
タンスを示した回路図
【図13】 電力半導体装置を基板に実装した場合の実
装図
【図14】 電力半導体装置の動作時の電流径路を示し
た図
【図15】 電力半導体装置の動作時の電流径路を示し
た図
【符号の説明】
1 制御信号生成回路、2〜4 入力信号処理回路、1
1〜16 パワー素子駆動回路、11A、12A パワ
ー素子駆動/保護回路、17〜22 パワー素子、23
P−N電源、25、27、29 N側駆動電源、30
入力信号処理回路電源、31〜36 フリーホイール
ダイオード、37〜39 P側用レベルシフト回路、4
6〜48 N側用レベルシフト回路、50〜53 HV
IC、71、72、75、78 ロジックフイルタとR
Sラッチ回路、73、77、80電流パルス列変換回
路、76、79 レベルシフト回路、60 負荷、54
N電極、55 基板、L 寄生インダクタンス

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 モータ等の誘導性負荷を駆動する電力変
    換装置におけるP側おびN側の駆動用パワー素子の双方
    の制御を同時に行う機能を有する電力用半導体装置にお
    いて、 パワー素子駆動回路へ駆動信号を供給する入力信号処理
    回路と、P側およびN側の駆動回路の間にレベルシフト
    回路を挿入して、P側およびN側の駆動回路のGND線
    と、入力信号処理回路のGND線とを電気的に絶縁した
    ことを特徴とする電力用半導体装置。
  2. 【請求項2】 入力信号処理回路の電源線と、P側およ
    びN側の駆動回路の電源線とを電気的に絶縁した請求項
    1記載の電力用半導体装置。
  3. 【請求項3】 入力信号処理回路と、P側およびN側の
    駆動回路とで全ての電源線を電気的に絶縁した請求項1
    記載の電力用半導体装置。
  4. 【請求項4】 入力信号処理回路に対して外部より、P
    側とN側のパワー素子を同時にONさせるような誤信号
    が入力された場合に、この信号を無効にするような機能
    を持つインターロック回路を内部に含む請求項1〜3の
    いずれかに記載の電力用半導体装置。
  5. 【請求項5】 電源およびGND電位の変動に起因して
    レベルシフト回路から出力される誤信号を除去するため
    に、レベルシフト回路の後段に、ロジックフイルタおよ
    びRSラッチ回路を備えた請求項1〜4のいずれかに記
    載の電力用半導体装置。
  6. 【請求項6】 入力信号処理回路より出力される電圧振
    幅信号を電流パルス列に変換するための電流パルス列変
    換回路を、前記入力信号処理回路の後段に接続した請求
    項1〜5のいずれかに記載の電力用半導体装置。
  7. 【請求項7】 レベルシフト回路をONまたはOFF状
    態に保持する間、パルス信号を周期的にレベルシフト回
    路に入力するパルス印加機能を上記電流パルス列変換回
    路に備えた請求項6に記載の電力用半導体装置。
  8. 【請求項8】 P側、N側のパワー素子の短絡、過負
    荷、過電圧などの異常を検知する保護回路を備え、この
    回路からの検知信号を第2のレベルシフト回路を通じて
    外部の制御回路へ出力する請求項1〜7のいずれかに記
    載の電力用半導体装置。
  9. 【請求項9】 上記保護回路より出力される電圧振幅信
    号を電流パルス列に変換するための電流パルス列変換回
    路を、前記第2のレベルシフト回路の前段に備えた請求
    項8に記載の電力用半導体装置。
  10. 【請求項10】 電源およびGND電位の変動に起因し
    て第2のレベルシフト回路から出力される誤信号を除去
    するために、第2のレベルシフト回路の後段に、ロジッ
    クフイルタおよびRSラッチ回路を備えた請求項8また
    は9に記載の電力用半導体装置。
  11. 【請求項11】 P側、N側の組みの駆動回路を1つの
    電力用半導体装置に複数個集積した請求項1〜10のい
    ずれかに記載の電力用半導体装置。
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