JP2003185021A - 浅いｓ字型メタルシール - Google Patents
浅いｓ字型メタルシールInfo
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
- F16J15/00—Sealings
- F16J15/02—Sealings between relatively-stationary surfaces
- F16J15/06—Sealings between relatively-stationary surfaces with solid packing compressed between sealing surfaces
- F16J15/08—Sealings between relatively-stationary surfaces with solid packing compressed between sealing surfaces with exclusively metal packing
- F16J15/0887—Sealings between relatively-stationary surfaces with solid packing compressed between sealing surfaces with exclusively metal packing the sealing effect being obtained by elastic deformation of the packing
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L23/00—Flanged joints
- F16L23/16—Flanged joints characterised by the sealing means
- F16L23/18—Flanged joints characterised by the sealing means the sealing means being rings
- F16L23/20—Flanged joints characterised by the sealing means the sealing means being rings made exclusively of metal
Abstract
(57)【要約】
【課題】 比較的安価で製造できる、信頼性の高いメタ
ルシールを提供することにある。 【解決手段】 このメタルシールは、第１環状端部と、
第２環状端部と、第３環状中央部とを含む。第１環状端
部は、第１部材との間に第１環状シール壁を形成するよ
う、第１方向を向き第１平面内に位置する第１環状シー
ル面を有する。第２環状端部は、第２部材との間に第２
環状シール壁を形成するよう、方向を向き第１平面に平
行な第２平面内に位置する第２環状シール面を有する。
第３環状中央部は、長手方向中心軸を備えた中央通路を
有するリングを形成しており、メタルシールのねじり応
力により第１及び第２環状シール面に実質的に垂直に印
可されるシール荷重の大部分が歪むよう、第１及び第２
環状端部が第３環状中央部に対し互いに反対側の両端部
にそれぞれ隣接して配置された円錐台形状である。
ルシールを提供することにある。 【解決手段】 このメタルシールは、第１環状端部と、
第２環状端部と、第３環状中央部とを含む。第１環状端
部は、第１部材との間に第１環状シール壁を形成するよ
う、第１方向を向き第１平面内に位置する第１環状シー
ル面を有する。第２環状端部は、第２部材との間に第２
環状シール壁を形成するよう、方向を向き第１平面に平
行な第２平面内に位置する第２環状シール面を有する。
第３環状中央部は、長手方向中心軸を備えた中央通路を
有するリングを形成しており、メタルシールのねじり応
力により第１及び第２環状シール面に実質的に垂直に印
可されるシール荷重の大部分が歪むよう、第１及び第２
環状端部が第３環状中央部に対し互いに反対側の両端部
にそれぞれ隣接して配置された円錐台形状である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、一対の部材間を密
封するためのメタルシールに関する。特に、本発明は、
有効荷重を狭い帯域上に集中させて、漏れを分子レベル
で最小限に抑えるのに十分な幅で高性能のシール壁を形
成することにより（密封領域が狭ければ接触応力が高く
なる）、信頼性の高い密封状態を提供するシールに関す
る。
封するためのメタルシールに関する。特に、本発明は、
有効荷重を狭い帯域上に集中させて、漏れを分子レベル
で最小限に抑えるのに十分な幅で高性能のシール壁を形
成することにより（密封領域が狭ければ接触応力が高く
なる）、信頼性の高い密封状態を提供するシールに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】典型的な静止型シールアセンブリは、第
１嵌合面を備える第１部材と、適した密封材料(例え
ば、金属Ｏリング)で形成した環状シールと、第２嵌合
面を備える第２部材とを有する。これら部材の第１及び
第２嵌合面を介して、機械的荷重がシールに印可され
る。通常、この機械的荷重が、複数の留め具の締付けに
よりトルクとしてかけられると、シール面とシール面と
の間に、圧縮としても周知の変位が生じる。これら当接
面の総荷重により、２つのシール壁が形成される。
１嵌合面を備える第１部材と、適した密封材料(例え
ば、金属Ｏリング)で形成した環状シールと、第２嵌合
面を備える第２部材とを有する。これら部材の第１及び
第２嵌合面を介して、機械的荷重がシールに印可され
る。通常、この機械的荷重が、複数の留め具の締付けに
よりトルクとしてかけられると、シール面とシール面と
の間に、圧縮としても周知の変位が生じる。これら当接
面の総荷重により、２つのシール壁が形成される。
【０００３】断面を矩形とする中実金属のリングを十分
な力で圧縮することにより、低い漏れ率に対する要件を
達成することができる。中実金属のリングに付随して起
こる１つの問題は、このリングの圧迫力が部材の嵌合面
を塑性変形させるほど大きくなり得るということであ
る。嵌合面のこのような塑性変形をブリネリングとい
う。ブリネリングが生じた場合、まず損傷したシール面
を補修しない限り、適切に再シールできる可能性は激減
してしまう。
な力で圧縮することにより、低い漏れ率に対する要件を
達成することができる。中実金属のリングに付随して起
こる１つの問題は、このリングの圧迫力が部材の嵌合面
を塑性変形させるほど大きくなり得るということであ
る。嵌合面のこのような塑性変形をブリネリングとい
う。ブリネリングが生じた場合、まず損傷したシール面
を補修しない限り、適切に再シールできる可能性は激減
してしまう。
【０００４】したがって、静止型シールの設計には、最
大の荷重レベルと可撓性とが必要条件となる。静止型シ
ールを良好に機能させるには、圧縮された時点で、シー
ル形成するために十分に大きいが、空隙面にブリネリン
グを形成するほどには大きくない荷重レベルを生じさせ
なければならない。これまでのところ、従来技術におい
てさまざまな種類のメタルシールが開発されている。
大の荷重レベルと可撓性とが必要条件となる。静止型シ
ールを良好に機能させるには、圧縮された時点で、シー
ル形成するために十分に大きいが、空隙面にブリネリン
グを形成するほどには大きくない荷重レベルを生じさせ
なければならない。これまでのところ、従来技術におい
てさまざまな種類のメタルシールが開発されている。
【０００５】金属「Ｏ」リングが、上述した相反する設
計要件を満たす初期の開発成果であった。しかし、
「Ｏ」リングは、中実であろうと中空であろうと通常剛
性すぎるため、この種のシール弾性はかなり制限される
上、本質的に高価である。「Ｏ」リングの改良型として
開発されたのがＣ字型シールである。具体的に言えば、
「Ｏ」の一部を単純に取り除いているため、このシール
では、周方向拘束力が大幅に低下し、可撓性がより高く
なっている。しかし、基本的な「Ｃ」シールは通常、変
形して、軟質に富むメッキ材料によるコーティングを施
さなければ、ヘリウム漏れ率１×１０ｅ-9ｃｃ／秒以下
の望ましい標準真空レベルを達成することができない。
これまでいくつかのＣ字型シールが、このレベルのシー
ル完全性を得るように設計されている。
計要件を満たす初期の開発成果であった。しかし、
「Ｏ」リングは、中実であろうと中空であろうと通常剛
性すぎるため、この種のシール弾性はかなり制限される
上、本質的に高価である。「Ｏ」リングの改良型として
開発されたのがＣ字型シールである。具体的に言えば、
「Ｏ」の一部を単純に取り除いているため、このシール
では、周方向拘束力が大幅に低下し、可撓性がより高く
なっている。しかし、基本的な「Ｃ」シールは通常、変
形して、軟質に富むメッキ材料によるコーティングを施
さなければ、ヘリウム漏れ率１×１０ｅ-9ｃｃ／秒以下
の望ましい標準真空レベルを達成することができない。
これまでいくつかのＣ字型シールが、このレベルのシー
ル完全性を得るように設計されている。
【０００６】典型的な「Ｃ」シールの他に、従来技術に
よるシール例として、バネ付勢式「Ｃ」シール、三角突
起形状を特徴とするバネ付勢式「Ｃ」シール（デルタシ
ール）、変形自在な金属ガスケット、１重または多重に
畳み込んだＥシールが挙げられる。これまでの設計のい
くつかを、見合う荷重レベルまたは物理的拘束力でこの
開示装置に利用すると、シール完全性レベルが得られ
る。
よるシール例として、バネ付勢式「Ｃ」シール、三角突
起形状を特徴とするバネ付勢式「Ｃ」シール（デルタシ
ール）、変形自在な金属ガスケット、１重または多重に
畳み込んだＥシールが挙げられる。これまでの設計のい
くつかを、見合う荷重レベルまたは物理的拘束力でこの
開示装置に利用すると、シール完全性レベルが得られ
る。
【０００７】従来技術によるシールリングの例は、下記
文献に開示されている（例えば、特許文献１及び２参
照。）。しかし、この２件によるシールは、２つのシー
ル面が互いに相対移動する半動的用途に対処するもので
ある。これらの特許は、断面のより大きなものに関連し
ており、その変形方法は軸方向の曲げとねじれとの双方
を利用している。
文献に開示されている（例えば、特許文献１及び２参
照。）。しかし、この２件によるシールは、２つのシー
ル面が互いに相対移動する半動的用途に対処するもので
ある。これらの特許は、断面のより大きなものに関連し
ており、その変形方法は軸方向の曲げとねじれとの双方
を利用している。
【０００８】上記点に鑑みて、信頼性が高い耐圧シール
を提供しつつ、高温及び高圧にて使用可能な、最適化さ
れたシール領域を備える改良型メタルシールリングが要
望される。
を提供しつつ、高温及び高圧にて使用可能な、最適化さ
れたシール領域を備える改良型メタルシールリングが要
望される。
【０００９】
【特許文献１】米国特許第４，８１３，６９２号明細書
【００１０】
【特許文献２】米国特許第４，８５４，６００号明細書
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、比較
的安価で製造できる、信頼性の高いメタルシールを提供
することにある。本発明の他の目的は、断面形状が単純
であり、最小限の公差で既存の設備を利用して大量生産
が可能なメタルシールを提供することにある。
的安価で製造できる、信頼性の高いメタルシールを提供
することにある。本発明の他の目的は、断面形状が単純
であり、最小限の公差で既存の設備を利用して大量生産
が可能なメタルシールを提供することにある。
【００１２】本発明のさらに他の目的は、シール壁の幅
を最適化することにより、狭い帯域に有効荷重を集中さ
せてシールの押圧に必要な荷重を最小限にした、信頼性
の高いメタルシールを提供することにある。本発明のさ
ら他の目的は、シールの圧縮時にシール壁があまりシフ
トしないメタルシールを提供することにある。
を最適化することにより、狭い帯域に有効荷重を集中さ
せてシールの押圧に必要な荷重を最小限にした、信頼性
の高いメタルシールを提供することにある。本発明のさ
ら他の目的は、シールの圧縮時にシール壁があまりシフ
トしないメタルシールを提供することにある。
【００１３】本発明のさらに他の目的は、ヘリウム漏れ
率が１×１０ｅ-9ｃｃ／秒以下であるメタルシールを提
供することにある。
率が１×１０ｅ-9ｃｃ／秒以下であるメタルシールを提
供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】上記の目的は、シール押
圧に必要な荷重を最も効果的に利用しながら、狭い帯域
に有効荷重を集中させて、漏れを最小限に抑えるのに十
分な幅でシール壁を形成するメタルシールを提供するこ
とにより達成され得る。本発明のメタルシールは、第１
環状端部と、第２環状端部と、第３環状中央部とを含
む。第１環状端部は、第１部材に当接して第１部材との
間に第１環状シール壁を形成するよう、第１方向を向
き、第１平面内に位置する第１環状シール面を有する。
第２環状端部は、第２部材に当接して第２部材との間に
第２環状シール壁を形成するよう、第１軸方向とは反対
の第２方向を向き、第１平面に実質的に平行な第２平面
内に位置する第２環状シール面を有する。第３環状中央
部は、第１環状端部と第２環状端部との間に延在して、
長手方向中心軸を備えた中央通路を有するリングを形成
している。第３環状中央部は、メタルシールのねじり応
力により第１及び第２環状シール面に実質的に垂直に印
可されるシール荷重の大部分が歪むよう、第１及び第２
環状端部が第３環状中央部に対し互いに反対側の両端部
にそれぞれ隣接して配置された円錐台形状チューブであ
る。
圧に必要な荷重を最も効果的に利用しながら、狭い帯域
に有効荷重を集中させて、漏れを最小限に抑えるのに十
分な幅でシール壁を形成するメタルシールを提供するこ
とにより達成され得る。本発明のメタルシールは、第１
環状端部と、第２環状端部と、第３環状中央部とを含
む。第１環状端部は、第１部材に当接して第１部材との
間に第１環状シール壁を形成するよう、第１方向を向
き、第１平面内に位置する第１環状シール面を有する。
第２環状端部は、第２部材に当接して第２部材との間に
第２環状シール壁を形成するよう、第１軸方向とは反対
の第２方向を向き、第１平面に実質的に平行な第２平面
内に位置する第２環状シール面を有する。第３環状中央
部は、第１環状端部と第２環状端部との間に延在して、
長手方向中心軸を備えた中央通路を有するリングを形成
している。第３環状中央部は、メタルシールのねじり応
力により第１及び第２環状シール面に実質的に垂直に印
可されるシール荷重の大部分が歪むよう、第１及び第２
環状端部が第３環状中央部に対し互いに反対側の両端部
にそれぞれ隣接して配置された円錐台形状チューブであ
る。
【００１５】第１及び第２シール面は、長手方向中心軸
に実質的に平行である第１及び第２方向に向いていても
よく、また、長手方向中心軸に対して実質的に半径方向
である第１及び第２方向に向いていてもよく、さらに、
第１シール面と第２シール面との間で長手方向中心軸に
垂直に測定される第２距離と実質的に等しい、長手方向
中心軸に平行に測定される第１距離をあけて配置されて
いてもよい。
に実質的に平行である第１及び第２方向に向いていても
よく、また、長手方向中心軸に対して実質的に半径方向
である第１及び第２方向に向いていてもよく、さらに、
第１シール面と第２シール面との間で長手方向中心軸に
垂直に測定される第２距離と実質的に等しい、長手方向
中心軸に平行に測定される第１距離をあけて配置されて
いてもよい。
【００１６】また、第１及び第２シール面は凸状湾曲面
であってもよく、この凸状湾曲面は、シールの一方の自
由端から環状中央部まで延在していてもよく、約６０°
の円弧を描いて延在していてもよい。第３環状中央部
は、長手方向中心軸に対して約４５°で傾斜していても
よい。シールは、耐食合金で形成されてもよく、ニッケ
ル系合金、銅系合金、スズ、アルミニウム系合金及びス
テンレス鋼からなる群から選択される材料で形成されて
もよい。
であってもよく、この凸状湾曲面は、シールの一方の自
由端から環状中央部まで延在していてもよく、約６０°
の円弧を描いて延在していてもよい。第３環状中央部
は、長手方向中心軸に対して約４５°で傾斜していても
よい。シールは、耐食合金で形成されてもよく、ニッケ
ル系合金、銅系合金、スズ、アルミニウム系合金及びス
テンレス鋼からなる群から選択される材料で形成されて
もよい。
【００１７】第１及び第２環状端部は、互いに反転して
いる、実質的に同じ断面プロファイルを有していてもよ
い。また、第３環状中央部は、直線状の断面プロファイ
ルを有していてもよい。以上のみならず、本発明の他の
目的、特徴、態様及び利点が、添付の図面と併せて本発
明の好適な実施形態を開示する以下の詳述から当業者に
は明白になるであろう。
いる、実質的に同じ断面プロファイルを有していてもよ
い。また、第３環状中央部は、直線状の断面プロファイ
ルを有していてもよい。以上のみならず、本発明の他の
目的、特徴、態様及び利点が、添付の図面と併せて本発
明の好適な実施形態を開示する以下の詳述から当業者に
は明白になるであろう。
【００１８】
【発明の実施の形態】図１〜図４を参照すると、本発明
の第１実施形態による浅いメタルシール１０が示されて
いる。浅いメタルシール１０は、円形として示されてい
る。しかし、浅いメタルシール１０を円形以外のリンク
形状として、種々の高さのものに製造できる。また、図
示する浅いメタルシール１０の厚さは、例示のために誇
張したものである。
の第１実施形態による浅いメタルシール１０が示されて
いる。浅いメタルシール１０は、円形として示されてい
る。しかし、浅いメタルシール１０を円形以外のリンク
形状として、種々の高さのものに製造できる。また、図
示する浅いメタルシール１０の厚さは、例示のために誇
張したものである。
【００１９】浅いメタルシール１０の目的は、２つの対
向する部材の間、例えば、金属と金属、金属とセラミッ
ク、セラミックとセラミック、または重要な流体及び/
または気体の密封に一般に使用される適した材料のあら
ゆる組合わせの間にシールを設けることである。さら
に、メタルシール１０は、あらゆる流体制御または気密
用途におけるフランジ間または構成要素間に使用するこ
とができる。メタルシール１０を使用する最も典型的な
位置は、溝内、カウンタボア内、または、密封対象であ
る構成要素を固定分離している比較的平坦な表面間であ
る。メタルシール１０は、円形または非円形に製造する
ことが可能であり、その高さはさまざまでよい。
向する部材の間、例えば、金属と金属、金属とセラミッ
ク、セラミックとセラミック、または重要な流体及び/
または気体の密封に一般に使用される適した材料のあら
ゆる組合わせの間にシールを設けることである。さら
に、メタルシール１０は、あらゆる流体制御または気密
用途におけるフランジ間または構成要素間に使用するこ
とができる。メタルシール１０を使用する最も典型的な
位置は、溝内、カウンタボア内、または、密封対象であ
る構成要素を固定分離している比較的平坦な表面間であ
る。メタルシール１０は、円形または非円形に製造する
ことが可能であり、その高さはさまざまでよい。
【００２０】以下に詳述するように、本発明による浅い
メタルシール１０は、狭い帯域上に有効荷重を集中させ
ることにより（密封領域が狭ければ接触応力が高くな
る）、２つの部材の間を高い信頼性で密封するものであ
る。この狭いシール帯域または表面が、分子レベルで漏
れを最小限に抑えるのに十分な幅の高性能シール壁とな
る。シールと複数の嵌合面との間で密着させなければな
らないシール壁幅を最小限に抑えることにより、圧縮荷
重を増加させなくとも、高性能の密封を実現することが
できる。言い換えれば、本発明による浅いメタルシール
１０を用いると、シール１０の実質的に平行な表面を２
つの空隙面に密着させることで、制御された接触応力
（環帯面積当たりの荷重）を得ることができる。
メタルシール１０は、狭い帯域上に有効荷重を集中させ
ることにより（密封領域が狭ければ接触応力が高くな
る）、２つの部材の間を高い信頼性で密封するものであ
る。この狭いシール帯域または表面が、分子レベルで漏
れを最小限に抑えるのに十分な幅の高性能シール壁とな
る。シールと複数の嵌合面との間で密着させなければな
らないシール壁幅を最小限に抑えることにより、圧縮荷
重を増加させなくとも、高性能の密封を実現することが
できる。言い換えれば、本発明による浅いメタルシール
１０を用いると、シール１０の実質的に平行な表面を２
つの空隙面に密着させることで、制御された接触応力
（環帯面積当たりの荷重）を得ることができる。
【００２１】本発明による浅いメタルシール１０は、広
範囲の密封性能を目的に使用できるように設計されてい
る。本発明による浅いメタルシール１０は特に、半導体
装置産業、真空装置産業、データ記憶デバイス産業、ま
たは他の、高い信頼性及び／または極めて高い密封性
（ヘリウム漏れ率が１×１０ｅ-9ｃｃ／秒以下）が求め
られるあらゆる産業に適用可能である。本発明による浅
いメタルシール１０はまた、この基本的形状が、シール
グランド寸法や有効なボルト荷重に役立つ用途のいずれ
にも適用可能である。例えば、浅いメタルシール１０
を、超高真空（ＵＨＶ）産業、航空宇宙産業、発電産
業、及び他の、上述した機能性が必要であるあらゆる業
界で必要とされる広範囲の用途に利用することができ
る。
範囲の密封性能を目的に使用できるように設計されてい
る。本発明による浅いメタルシール１０は特に、半導体
装置産業、真空装置産業、データ記憶デバイス産業、ま
たは他の、高い信頼性及び／または極めて高い密封性
（ヘリウム漏れ率が１×１０ｅ-9ｃｃ／秒以下）が求め
られるあらゆる産業に適用可能である。本発明による浅
いメタルシール１０はまた、この基本的形状が、シール
グランド寸法や有効なボルト荷重に役立つ用途のいずれ
にも適用可能である。例えば、浅いメタルシール１０
を、超高真空（ＵＨＶ）産業、航空宇宙産業、発電産
業、及び他の、上述した機能性が必要であるあらゆる業
界で必要とされる広範囲の用途に利用することができ
る。
【００２２】具体的に言えば、浅いメタルシール１０に
より、流出量が.０１ＳＣＦＭ／直径インチであり、漏
れ率が１×１０ｅ-9ｃｃ／秒以下である高い信頼性及び
耐圧を備えた、高圧力、高温シールが得られる。本発明
による浅いメタルシール１０は、広範囲の圧縮力または
周方向１インチ当たりのポンド数（ＰＣＩ）において機
能するように設計されている。
より、流出量が.０１ＳＣＦＭ／直径インチであり、漏
れ率が１×１０ｅ-9ｃｃ／秒以下である高い信頼性及び
耐圧を備えた、高圧力、高温シールが得られる。本発明
による浅いメタルシール１０は、広範囲の圧縮力または
周方向１インチ当たりのポンド数（ＰＣＩ）において機
能するように設計されている。
【００２３】浅いメタルシール１０は、図４に示すよう
に、一様な断面プロファイルを有する。本発明において
「断面プロファイル」とは、環状シールの１点のみを通
過する長手方向の平面により画定される環状シールの一
部の部分的断面形状をいう。浅いメタルシール１０は、
プレスされると図４に示すような断面プロファイルを有
する環状部材を形成するように作用する延性合金で構成
されている。例えば、浅いメタルシール１０の主材料
は、スズ、ニッケル、アルミニウム、銅、ステンレス
鋼、インコネル（登録商標）及び他の密封完全性を改良
するニッケル系合金などの延性合金または金属構成要素
で構成されている。好ましくは、シール１０の基材を、
ニッケル系合金、銅系合金、スズ、アルミニウム系合金
及びステンレス鋼からなる群から選択される耐食合金で
形成する。任意に、より軟質な延性コーティングを基材
（延性合金）の周囲に用いることもできる。こうした延
性コーティングの例として、アルミニウム、ニッケルイ
ンジウム、銀、ＰＦＡ、ＰＴＦＥなどが挙げられるが、
これらに限定されるものではない。延性コーティングの
厚さは、好ましくは約０．００１インチ〜０．００６イ
ンチ（０．２５ｍｍ〜１．５ｍｍ）である。この延性コ
ーティングでシール面全体をカバーすることも、または
これをシール面の一部のみに適用することも可能であ
る。他の金属構成要素及び非金属化合物も同様にコーテ
ィングとして使用可能である。
に、一様な断面プロファイルを有する。本発明において
「断面プロファイル」とは、環状シールの１点のみを通
過する長手方向の平面により画定される環状シールの一
部の部分的断面形状をいう。浅いメタルシール１０は、
プレスされると図４に示すような断面プロファイルを有
する環状部材を形成するように作用する延性合金で構成
されている。例えば、浅いメタルシール１０の主材料
は、スズ、ニッケル、アルミニウム、銅、ステンレス
鋼、インコネル（登録商標）及び他の密封完全性を改良
するニッケル系合金などの延性合金または金属構成要素
で構成されている。好ましくは、シール１０の基材を、
ニッケル系合金、銅系合金、スズ、アルミニウム系合金
及びステンレス鋼からなる群から選択される耐食合金で
形成する。任意に、より軟質な延性コーティングを基材
（延性合金）の周囲に用いることもできる。こうした延
性コーティングの例として、アルミニウム、ニッケルイ
ンジウム、銀、ＰＦＡ、ＰＴＦＥなどが挙げられるが、
これらに限定されるものではない。延性コーティングの
厚さは、好ましくは約０．００１インチ〜０．００６イ
ンチ（０．２５ｍｍ〜１．５ｍｍ）である。この延性コ
ーティングでシール面全体をカバーすることも、または
これをシール面の一部のみに適用することも可能であ
る。他の金属構成要素及び非金属化合物も同様にコーテ
ィングとして使用可能である。
【００２４】浅いメタルシール１０では、空隙とシール
とを合わせた公差範囲を許容できるものとしてシール剛
性を設計することにより、シール空隙の公差を考慮に入
れている。シールの断面プロファイルを図４に示すよう
に設計して、この部分の偏位を制御する。断面（厚さ、
シール界面における曲率半径、角度、高さ及び半径方向
幅）を変更することにより、シールグランドの深さがさ
まざまであり、それぞれ具体的な耐力を備えた種々のコ
ーティング、すなわち、そのコーティングが所与幅に塑
性変形する条件が整うように荷重を増減する必要がある
コーティングを施したシールが機能するように、荷重を
調節することができる。
とを合わせた公差範囲を許容できるものとしてシール剛
性を設計することにより、シール空隙の公差を考慮に入
れている。シールの断面プロファイルを図４に示すよう
に設計して、この部分の偏位を制御する。断面（厚さ、
シール界面における曲率半径、角度、高さ及び半径方向
幅）を変更することにより、シールグランドの深さがさ
まざまであり、それぞれ具体的な耐力を備えた種々のコ
ーティング、すなわち、そのコーティングが所与幅に塑
性変形する条件が整うように荷重を増減する必要がある
コーティングを施したシールが機能するように、荷重を
調節することができる。
【００２５】図５及び図６に示すように、本発明の第１
実施形態によるシールアセンブリ１２は、使用されてい
る状態のメタルシール１０を示すために線図として図示
されている。具体的に言えば、シールアセンブリ１２
は、シール１０と当接する、第１嵌合または当接面１６
を具備する第１部材１４と、第２嵌合または当接面２０
を具備する第１部材１８とを含む。第１及び第２部材１
４，１８は、複数の留め具またはボルト２２で互いに連
結されている。第１及び第２部材１４，１８は、その間
にシールを形成する必要のある２つの部材または装置で
あればいずれのものでもよい。したがって、第１及び第
２部材１４，１８についての具体的な構造については図
示しない。
実施形態によるシールアセンブリ１２は、使用されてい
る状態のメタルシール１０を示すために線図として図示
されている。具体的に言えば、シールアセンブリ１２
は、シール１０と当接する、第１嵌合または当接面１６
を具備する第１部材１４と、第２嵌合または当接面２０
を具備する第１部材１８とを含む。第１及び第２部材１
４，１８は、複数の留め具またはボルト２２で互いに連
結されている。第１及び第２部材１４，１８は、その間
にシールを形成する必要のある２つの部材または装置で
あればいずれのものでもよい。したがって、第１及び第
２部材１４，１８についての具体的な構造については図
示しない。
【００２６】例えば、メタルシール１０は、他の例とし
て、高温及び／または高圧気密用途に対する効果的で低
コストなシールを実現できるよう構成することができ
る。こうした他の例は、本明細書中に例示する高精度漏
れ完全性型のものと同様に構成することができる。浅い
メタルシール１０は、１枚のシート材料で形成したワン
ピース単一部材である。任意に、メタルシール１０の基
材上に軟質コーティングを施すことができる。浅いメタ
ルシール１０の断面プロファイルは、３つの環状部分に
区分することができる。すなわち、第１環状端部３１、
第２環状端部３２及び第３環状中央部３３である。図示
した実施形態では、第１及び第２環状端部３１，３２
は、曲線状の断面プロファイルを有しており、第３環状
中央部３３は直線状の断面プロファイルを有している。
したがって、環状端部及び中央部３１〜３３は、ややＳ
字型形状の断面を形成するように構成されている。この
Ｓ字型形状断面は、好ましくは、メタルシール１０の周
囲全体に沿って一様である。本実施形態では、第３環状
中央部３３は、円錐台形状である。しかし、第３環状中
央部３３を曲線状の断面プロファイルとし、軸方向視し
て非円形部分とすることも可能である。いずれの場合
も、第３環状中央部３３の形状は円錐台状である。本発
明において「円錐台形状」とは、第１及び第２環状端部
を有しており、その一方の端部が、もう一方の端部の直
径または横方向寸法を上回る直径または横方向寸法を有
し、第１環状端部と第２環状端部との間の環状部分が波
形になっていない部分をいう。
て、高温及び／または高圧気密用途に対する効果的で低
コストなシールを実現できるよう構成することができ
る。こうした他の例は、本明細書中に例示する高精度漏
れ完全性型のものと同様に構成することができる。浅い
メタルシール１０は、１枚のシート材料で形成したワン
ピース単一部材である。任意に、メタルシール１０の基
材上に軟質コーティングを施すことができる。浅いメタ
ルシール１０の断面プロファイルは、３つの環状部分に
区分することができる。すなわち、第１環状端部３１、
第２環状端部３２及び第３環状中央部３３である。図示
した実施形態では、第１及び第２環状端部３１，３２
は、曲線状の断面プロファイルを有しており、第３環状
中央部３３は直線状の断面プロファイルを有している。
したがって、環状端部及び中央部３１〜３３は、ややＳ
字型形状の断面を形成するように構成されている。この
Ｓ字型形状断面は、好ましくは、メタルシール１０の周
囲全体に沿って一様である。本実施形態では、第３環状
中央部３３は、円錐台形状である。しかし、第３環状中
央部３３を曲線状の断面プロファイルとし、軸方向視し
て非円形部分とすることも可能である。いずれの場合
も、第３環状中央部３３の形状は円錐台状である。本発
明において「円錐台形状」とは、第１及び第２環状端部
を有しており、その一方の端部が、もう一方の端部の直
径または横方向寸法を上回る直径または横方向寸法を有
し、第１環状端部と第２環状端部との間の環状部分が波
形になっていない部分をいう。
【００２７】第１環状端部３１は、第１軸方向Ａ1を向
き、第１平坦当接面Ｐ1内に位置する第１環状シール面
３４を有する。この第１環状シール面３４が、第１部材
１４が具備する第１当接面１６に当接して、その間に第
１環状シール壁Ｄ1を形成する。第２環状端部３２は、
第１軸方向Ａ1と反対向きである第２軸方向Ａ2を向き、
第１平坦当接面Ｐ1に実質的に平行な第２平坦当接面Ｐ2
内に位置する第２環状シール面３６を有する。この第２
環状シール面３６が、第２部材１８が具備する第２当接
面２０と当接して、その間に第２環状シール壁Ｄ2を形
成する。第３環状中央部３３は、第１環状端部３１と第
２環状端部３２との間に延在して、長手方向中心軸Ｃを
具備する中央通路３８を有するリングを形成している。
き、第１平坦当接面Ｐ1内に位置する第１環状シール面
３４を有する。この第１環状シール面３４が、第１部材
１４が具備する第１当接面１６に当接して、その間に第
１環状シール壁Ｄ1を形成する。第２環状端部３２は、
第１軸方向Ａ1と反対向きである第２軸方向Ａ2を向き、
第１平坦当接面Ｐ1に実質的に平行な第２平坦当接面Ｐ2
内に位置する第２環状シール面３６を有する。この第２
環状シール面３６が、第２部材１８が具備する第２当接
面２０と当接して、その間に第２環状シール壁Ｄ2を形
成する。第３環状中央部３３は、第１環状端部３１と第
２環状端部３２との間に延在して、長手方向中心軸Ｃを
具備する中央通路３８を有するリングを形成している。
【００２８】第１及び第２シール面３４，３６は、好ま
しくは、約６０°の円弧を描いて延在する同じ曲率（湾
曲線）の凸状湾曲面である。言い換えれば、第１及び第
２シール面３４，３６は、シール１０の圧縮前において
は半径方向の幅を持たない環状シールラインＳ1，Ｓ2で
ある。留め具２２を締付けるとメタルシール１０に荷重
がかかるため、メタルシール１０は圧縮されて、主に捻
り力により塑性変形を起こす。これにより、メタルシー
ル１０と第１及び第２部材１４，１８との間に一対の環
状シール壁Ｄ1，Ｄ2が形成される。メタルシール１０の
変形量は、シール１０の第１及び第２シール面３４，３
６の間における高さの約１０％〜２５％である。シール
１０が圧縮され終わると、第１及び第２シール面３４，
３６が変形されて、環状シール壁Ｄ1，Ｄ2に対応する平
坦なシール面が形成される。第１及び第２シール面３
４，３６に形成される環状シール壁Ｄ1，Ｄ2の最小有効
幅は、約０．００５インチ〜約０．０４０インチ（約
１．３ｍｍ〜約１０ｍｍ）である。
しくは、約６０°の円弧を描いて延在する同じ曲率（湾
曲線）の凸状湾曲面である。言い換えれば、第１及び第
２シール面３４，３６は、シール１０の圧縮前において
は半径方向の幅を持たない環状シールラインＳ1，Ｓ2で
ある。留め具２２を締付けるとメタルシール１０に荷重
がかかるため、メタルシール１０は圧縮されて、主に捻
り力により塑性変形を起こす。これにより、メタルシー
ル１０と第１及び第２部材１４，１８との間に一対の環
状シール壁Ｄ1，Ｄ2が形成される。メタルシール１０の
変形量は、シール１０の第１及び第２シール面３４，３
６の間における高さの約１０％〜２５％である。シール
１０が圧縮され終わると、第１及び第２シール面３４，
３６が変形されて、環状シール壁Ｄ1，Ｄ2に対応する平
坦なシール面が形成される。第１及び第２シール面３
４，３６に形成される環状シール壁Ｄ1，Ｄ2の最小有効
幅は、約０．００５インチ〜約０．０４０インチ（約
１．３ｍｍ〜約１０ｍｍ）である。
【００２９】第１シール面３４と第２シール面３６と
は、長手方向中心軸Ｃに平行に測定される第１距離また
は高さｄ1をあけて位置している。この第１距離または
高さｄ1は、長手方向中心軸Ｃに垂直に測定される、第
１シール面３４と第２シール面３６との間の第２距離
（ｄ2）よりも短い。本実施形態では、第１距離ｄ1と第
２距離ｄ2とは実質的に等しい。
は、長手方向中心軸Ｃに平行に測定される第１距離また
は高さｄ1をあけて位置している。この第１距離または
高さｄ1は、長手方向中心軸Ｃに垂直に測定される、第
１シール面３４と第２シール面３６との間の第２距離
（ｄ2）よりも短い。本実施形態では、第１距離ｄ1と第
２距離ｄ2とは実質的に等しい。
【００３０】第３環状中央部３３は円錐台形状チューブ
である。第１及び第２環状端部３１，３２は、この第３
環状中央部３３の軸方向に反対側の位置する両端部に隣
接して配置されている。こうして配置することにより、
第１及び第２環状シール面３４，３６に実質的に垂直に
印可されるシール荷重の大部分は、メタルシール１０の
ねじり応力により歪んでしまう。言い換えれば、軸方向
につぶれる、または折り曲げられることによるメタルシ
ール１０の変形量は、上記特許文献１及び２に開示され
ているＳ字型形状シールの場合と同じように、５０％未
満である。メタルシール１０のつぶれる量または折り曲
げられる量は、約２０％であることが好ましい。第３環
状中央部３３は、好ましくは、第１及び第２平面Ｐ1及
びＰ2に対して約４５°傾斜している。
である。第１及び第２環状端部３１，３２は、この第３
環状中央部３３の軸方向に反対側の位置する両端部に隣
接して配置されている。こうして配置することにより、
第１及び第２環状シール面３４，３６に実質的に垂直に
印可されるシール荷重の大部分は、メタルシール１０の
ねじり応力により歪んでしまう。言い換えれば、軸方向
につぶれる、または折り曲げられることによるメタルシ
ール１０の変形量は、上記特許文献１及び２に開示され
ているＳ字型形状シールの場合と同じように、５０％未
満である。メタルシール１０のつぶれる量または折り曲
げられる量は、約２０％であることが好ましい。第３環
状中央部３３は、好ましくは、第１及び第２平面Ｐ1及
びＰ2に対して約４５°傾斜している。
【００３１】シール１０の形状及び寸法面における特徴
を、図４に具体的に示す。まず図２を参照すると、シー
ル１０の外周は、シール１０の用途に応じて、所望する
いずれの形状でもよい。すなわち、シール１０の外径に
制限はない。シール１０の内径は、少なくとも約０．１
５０インチ（３７．５ｍｍ）以上でなければならない。
シール１０の自由な軸方向高さｄ1は、通常、約０．０
３０インチ〜約０．２５０インチ（約７．６ｍｍ〜約６
２．５ｍｍ）である。シール１０の一例において、高さ
ｄ1は０．０３５インチ（８．７ｍｍ）、外径は０．３
１５インチ（７８．８ｍｍ）、内径は０．２４５インチ
（６１．３ｍｍ）である。
を、図４に具体的に示す。まず図２を参照すると、シー
ル１０の外周は、シール１０の用途に応じて、所望する
いずれの形状でもよい。すなわち、シール１０の外径に
制限はない。シール１０の内径は、少なくとも約０．１
５０インチ（３７．５ｍｍ）以上でなければならない。
シール１０の自由な軸方向高さｄ1は、通常、約０．０
３０インチ〜約０．２５０インチ（約７．６ｍｍ〜約６
２．５ｍｍ）である。シール１０の一例において、高さ
ｄ1は０．０３５インチ（８．７ｍｍ）、外径は０．３
１５インチ（７８．８ｍｍ）、内径は０．２４５インチ
（６１．３ｍｍ）である。
【００３２】この実施形態において、第１及び第２シー
ル面３４，３６の第１及び第２方向Ａ1及びＡ2は、長手
方向中心軸Ｃに実質的に平行な方向に向いている。シー
ル１１０は、他の例として、図７に示すように、長手方
向中心軸Ｃに実質的に垂直に向く第１及び第２シール面
１３４，１３６を有することができる。言い換えれば、
第１及び第２シール面１３４，１３６は、長手方向中心
軸Ｃに向かう方向、またはこれから遠ざかる方向に向い
ている同軸シール面である。メタルシール１１０は、そ
の断面が回転移動されている点を除き、上述したシール
１０とほぼ同じものである。シール１１０と上述のシー
ル１０との類似点を鑑み、本明細書ではシール１１０に
ついての詳しい説明及び例示を省略する。メタルシール
１１０は、第１環状端部１３１、第２環状端部１３２及
び環状中央部１３３を有する。
ル面３４，３６の第１及び第２方向Ａ1及びＡ2は、長手
方向中心軸Ｃに実質的に平行な方向に向いている。シー
ル１１０は、他の例として、図７に示すように、長手方
向中心軸Ｃに実質的に垂直に向く第１及び第２シール面
１３４，１３６を有することができる。言い換えれば、
第１及び第２シール面１３４，１３６は、長手方向中心
軸Ｃに向かう方向、またはこれから遠ざかる方向に向い
ている同軸シール面である。メタルシール１１０は、そ
の断面が回転移動されている点を除き、上述したシール
１０とほぼ同じものである。シール１１０と上述のシー
ル１０との類似点を鑑み、本明細書ではシール１１０に
ついての詳しい説明及び例示を省略する。メタルシール
１１０は、第１環状端部１３１、第２環状端部１３２及
び環状中央部１３３を有する。
【００３３】本明細書では、メタルシール１１０の一部
のみを図示するが、シール１１０が、円形または非円形
とすることができる連続したリングであることは明白で
ある。好ましくは、メタルシール１１０の断面は、一様
である。本発明において「実質的に」、「約」及び「お
よそ」などの程度を示す用語は、最終結果が大幅に変化
しない程度に、こうした用語に修飾された条件に妥当量
の偏差を含むことを意味している。こうした程度を示す
用語が、その用語で修飾する条件の意味を否定するもの
でない場合には、これらの用語を、修飾された条件に対
する少なくとも±５％の偏差を含むものとして解釈すべ
きである。
のみを図示するが、シール１１０が、円形または非円形
とすることができる連続したリングであることは明白で
ある。好ましくは、メタルシール１１０の断面は、一様
である。本発明において「実質的に」、「約」及び「お
よそ」などの程度を示す用語は、最終結果が大幅に変化
しない程度に、こうした用語に修飾された条件に妥当量
の偏差を含むことを意味している。こうした程度を示す
用語が、その用語で修飾する条件の意味を否定するもの
でない場合には、これらの用語を、修飾された条件に対
する少なくとも±５％の偏差を含むものとして解釈すべ
きである。
【００３４】以上、選択した実施形態のみを用いて本発
明を例示したが、特許請求の範囲に定められる本発明の
範囲を逸脱することなく、さまざまな変更及び修正を本
明細書に加えてもよい。図示したシール１０に対して考
えられる変更例は、寸法、形状、高さ、コーティング、
熱膨張率を一致させるように選択する基材、圧力または
真空シール、適合材料を選択することによる何らかの流
体の密封、または他の所与用途に対してシール１０を構
成するために通常用いられる変形すべてにわたる。本発
明による断面のもう１つの利点は、内径及び外径に対し
てシールできることであり、他の使用法及び産業にも利
用可能となり得る。さらに、本発明による実施形態に関
する上述は例示のみを目的とするものであって、添付し
た請求の範囲及びその等価物によって定められる本発明
を何ら制限するものではない。
明を例示したが、特許請求の範囲に定められる本発明の
範囲を逸脱することなく、さまざまな変更及び修正を本
明細書に加えてもよい。図示したシール１０に対して考
えられる変更例は、寸法、形状、高さ、コーティング、
熱膨張率を一致させるように選択する基材、圧力または
真空シール、適合材料を選択することによる何らかの流
体の密封、または他の所与用途に対してシール１０を構
成するために通常用いられる変形すべてにわたる。本発
明による断面のもう１つの利点は、内径及び外径に対し
てシールできることであり、他の使用法及び産業にも利
用可能となり得る。さらに、本発明による実施形態に関
する上述は例示のみを目的とするものであって、添付し
た請求の範囲及びその等価物によって定められる本発明
を何ら制限するものではない。
【図１】本発明の一実施形態による浅いメタルシールを
示す側面図であり、例示のためにシールの厚さを誇張し
たものである。
示す側面図であり、例示のためにシールの厚さを誇張し
たものである。
【図２】図１の浅いメタルシールを示す平面図である。
【図３】図２のIII−III線に沿って見た場合の、図１及
び図２の浅いメタルシールを示す断面図である。
び図２の浅いメタルシールを示す断面図である。
【図４】メタルシールを圧縮する前、すなわち荷重して
いない状態にある、図１〜図３のメタルシールを示す拡
大断面プロファイルである。
いない状態にある、図１〜図３のメタルシールを示す拡
大断面プロファイルである。
【図５】図１〜図４のメタルシールを示す分解組立て長
手方向断面図である。留め具で互いに連結されると、軸
方向にメタルシールを押圧して間に環状シールを形成す
る、一対の嵌合部材を有するシールアセンブリを併せて
図示したものである。
手方向断面図である。留め具で互いに連結されると、軸
方向にメタルシールを押圧して間に環状シールを形成す
る、一対の嵌合部材を有するシールアセンブリを併せて
図示したものである。
【図６】嵌合部材とメタルシールとを示す、図５に類似
した長手方向断面図であるが、嵌合部材が、留め具で互
いに連結されて、間に環状シールを形成するようにメタ
ルシールを押圧した後の状態を示すものである。
した長手方向断面図であるが、嵌合部材が、留め具で互
いに連結されて、間に環状シールを形成するようにメタ
ルシールを押圧した後の状態を示すものである。
【図７】本発明の他の実施形態による浅いメタルシール
を示す長手方向断面図である。
を示す長手方向断面図である。
１０ メタルシール
１２ シールアセンブリ
１４ 第１部材
１６ 第１当接面
１８ 第２部材
２０ 第２当接面
２２ 留め具またはボルト
３１ 第１環状端部
３２ 第２環状端部
３３ 環状中央部
３４ 第１環状シール面
３６ 第２環状シール面
３８ 中央通路
１１０ メタルシール
１３１ 第１環状端部
１３２ 第２環状端部
１３３ 環状中央部
１３４ 第１シール面
１３６ 第２シール面
フロントページの続き
(72)発明者 ステファン ビー． ローランド
アメリカ合衆国，メリーランド州 20723,
ローレル，マウンテン ローレル ウェイ
＃１デー 9787
Ｆターム(参考） 3J040 BA03 EA03 EA05 EA18 FA01
HA06
Claims (12)
- 【請求項１】第１部材に当接して前記第１部材との間に
第１環状シール壁を形成するよう、第１方向を向き、第
１当接面内に位置する第１環状シール面を有する第１環
状端部と、 第２部材に当接して前記第２部材との間に第２環状シー
ル壁を形成するよう、前記第１軸方向とは反対向きの第
２方向を向き、前記第１当接面と実質的に平行である第
２当接面内に位置する第２環状シール面を有する第２環
状端部と、 長手方向中心軸を備えた中央通路を有するリングを形成
するよう、前記第１環状端部と第２環状端部との間に延
在する第３環状中央部とを含むメタルシールであって、 前記３環状中央部は、前記メタルシールのねじり応力に
より前記第１及び第２環状シール面に実質的に垂直に印
可されるシール荷重の大部分が歪むよう、前記第１及び
第２環状端部が前記第３環状中央部に対し互いに反対側
の両端部にそれぞれ隣接して配置された円錐台形状であ
る、メタルシール。 - 【請求項２】前記第１及び第２シール面は、前記長手方
向中心軸に実質的に平行である前記第１及び第２方向に
向いている、請求項１に記載のメタルシール。 - 【請求項３】前記第１及び第２シール面は、前記長手方
向中心軸に対して実質的に半径方向である前記第１及び
第２方向に向いている、請求項１に記載のメタルシー
ル。 - 【請求項４】前記第１及び第２シール面は、前記第１シ
ール面と第２シール面との間で前記長手方向中心軸に垂
直に測定される第２距離と実質的に等しい、前記長手方
向中心軸に平行に測定される第１距離をあけて配置され
ている、請求項１〜３のいずれか１項に記載のメタルシ
ール。 - 【請求項５】前記第１及び第２シール面は、凸状湾曲面
である、請求項１〜４のいずれか１項に記載のメタルシ
ール。 - 【請求項６】前記凸状湾曲面は、前記シールの一方の自
由端から前記環状中央部まで延在している、請求項５に
記載のメタルシール。 - 【請求項７】前記凸状湾曲面は、約６０°の円弧を描い
て延在している、請求項５または６に記載のメタルシー
ル。 - 【請求項８】前記第３環状中央部は、前記長手方向中心
軸に対して約４５°で傾斜している、請求項１〜７のい
ずれか１項に記載のメタルシール。 - 【請求項９】前記シールは、耐食合金で形成されてい
る、請求項１〜８のいずれか１項に記載のメタルシー
ル。 - 【請求項１０】前記シールは、ニッケル系合金、銅系合
金、スズ、アルミニウム系合金及びステンレス鋼からな
る群から選択される材料で形成されている、請求項１〜
９のいずれか１項に記載のメタルシール。 - 【請求項１１】前記第１及び第２環状端部は、互いに反
転している、実質的に同じ断面プロファイルを有する、
請求項１〜１０のいずれか１項に記載のメタルシール。 - 【請求項１２】前記第３環状中央部は、直線状の断面プ
ロファイルを有する、請求項１〜１１のいずれか１項に
記載のメタルシール。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US10/005178 | 2001-12-07 | ||
| US10/005,178 US7004478B2 (en) | 2001-12-07 | 2001-12-07 | Shallow metallic s-seal |
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|---|---|
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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| JP (1) | JP4440530B2 (ja) |
| DE (1) | DE10256489A1 (ja) |
| FR (1) | FR2833333B1 (ja) |
| GB (1) | GB2382851B (ja) |
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|---|---|---|---|---|
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| US6983940B2 (en) * | 2003-07-29 | 2006-01-10 | American Seal And Engineering Company, Inc. | Metallic seal |
| US20050173870A1 (en) * | 2004-02-05 | 2005-08-11 | Seagate Technology Llc | Heat-assisted hermetic spring seal |
| GB2412412A (en) * | 2004-03-26 | 2005-09-28 | Boc Group Plc | A seal for a vacuum pump |
| DE102004039473A1 (de) * | 2004-08-14 | 2006-03-23 | Ihi Charging Systems International Gmbh | Dichtung |
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