DE2951150C2 - Aus Metall bestehende Dichtvorrichtung an einem Hochvakuumverschluß - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine aus Metall bestehende Dichtvorrichtung an einem Hochvakuumverschluß, insbesondere an einem Hochvakuumventil mit einer ersten als Rotationsfläche ausgebildeten Dichtfläche und einer ebenfalls als Rotationsfläche ausgebildeten, zu der ersten Dichtfläche koaxial liegenden zweiten Dichtfläche, wobei die beiden Dichtflächen gegeneinander in Richtung ihrer Achsen verstellbar sind und zwischen den beiden Dichtflächen ein metallischer Dichtkörper angeordnet ist mit einem beim öffnen bzw. Schließen der Dichtvorrichiung an den beiden Dichtflächen abwälzbaren Querschnitt wobei der Dichtkörper aus einem praktisch nicht duktilen Werkstoff besteht und bei geschlossener Dichtvorrichtung die auf die Dichtflächen und den Dichtkörper einwirkenden Dichtkräfte diese Teile im Bereich einer ausschließlich elastischen Verformung aneinander drückt

Eine solche Dichtvorrichtung ist bekannt (DE-OS 29 09 223). Die Dichtkörper besitzen bei dieser bekannten Konstruktion einen C-förmigen, offenen Querschnitt wobei in der Regsl dieser Dichtkörper zumindest außen mit einer Schicht aus duktilem Metall überzogen ist Diese Dichtkörper liegen ferner im offenen Zustand der Dichivorrichtung an den Dichtflächen lose an. Beim wiederholten öffnen und Schließen der Dicht-"orrichtung muß damit gerechnet werden, daß die Berührung des Dichtkörpers und der beiden Dichtflächen auf verschiedenen geschlossenen Linien erfolgt, da durch die erwähnte lose Auflage des Dichtkörpers Lageänderungen der Berührungslinie zwischen Dichtkörper und Dichtflächen eintreten können, die zwar auf unterschiedliche Ursachen zurückzuführen sind, die aber bei häufiger Betätigung der Dichtvorrichtung eben wegen dieser Lageänderung unweigerlich zu Undichtigkeiten führen. Bei Verschlüssen für UHV-Anlagen wird dann von einer ausreichenden Dichtigkeit gesprochen, wenn die Leckrate kleiner ist als 1 · ICr" mbar · 1/sec. — gemessen in Helium (das entspricht in etwa einem »Loch« vom Durchmesser einiger Heliumatome). Darüber hinaus sind die hier verwendeten, offenen, C-förmigen Hohlprofile für die Dichtkörper nicht geeignet ausreichend hohe Dichtdrücke aufnehmen zu können. Die für solch hohe Dichtheiten erforderlichen Dichtkräfte führen zur plastischen Verformung dieser offenen, C-förmigen Hohlprofile, so daß nur eine geringe Anzahl von Schließvorgängen möglich ist.

Für Hochvakuumverschlüsse wurden auch schon Ganzmetallventile vorgeschlagen, bei welchen harte, metallische Dichtpartner mit vollem Querschnitt zusammenwirken (DE-OS 26 25 796, DE-OS 26 23 906 und DE-OS 25 23 152). Hier sind die dich enden Organe aus federhartem Werkstoff gefertigt, der Ventilsitz aus einer Legierung von Edelstahl mit Chrom, Nickel, Molybdän und/oder Titan. Das Absperrorgan ist dabei in Form einer ringartigen Scheibe ausgebildet, die entweder im Bereich ihres äußeren Umfanges festgehalten ist und deren innere Kante abgerundet ist oder deren äußere Kontur abgerundet ist und die mit ihrem inneren Umfang festgehalten wird. Die abgerundete Kante wirkt mit dem Dichtpartner zusammen. Das Absperrorgan ist so dabei entweder am Ventilgehäuse oder am verstellbaren Ventilteil befestigt. Durch di■■ erwähnte Abrundung der Kanten kann sich das Dichtorgan beim Betätigen des Ventils am Dichtpartner unter hohem Druck abrollen, so daß Gleiten und damit Zerstörungen des Ventils bei mangelnder Schmierung in solchen Hochvakuumventilcn unterbunden sind. Auch geringe Relativbewegungen zwischen den Dichtpartnern, die bedingt sind durch Temperaturänderungen bei geschlossenem Ventil und damit verbundenen Wärmedehnungen, können von bO solchen Ventilen aufgenommen werden, ohne daß dabei die unmittelbar in Wirkverbindung stehenden Dichtflächen Schaden erleiden. Mit solchen Ventileinrichtungen können Dichtigkeitsgrade von ' ■ 10" mbar· l/sec.gemcsscn mit Helium, über mehrere Tausend Schließunb") gen erreicht werden, ohne daß die Schüeßkraft deswegen erhöht werden müßte.

F.s ist auch eine Drosselklappe bekannt (DE-AS 22 13 893) mit einem gummiolasiisehen Sitzring und ei-

lern Dichtring auskorrosionsfestem Metall als Abdicht- !lemente. Der Dichtring ist dabei durch Aufschrumpfen in der Drosselklappenscheibe befestigt Zum sicheren jnd festen Halt sitzt dieser aufgeschrumpfte Dichtring η einer Ringnut, wobei zur Unterstützung dieses festen Sitzes der Dichtring mit der Nut noch durch eine zusätzliche Heftschweißung verbunden ist Für diese vorbelcannte Drosselklappenkonstruktion ist wesentlich, daß der Dichtring möglichst fest und unverrückbar an der Klappe befestigt ist; anstelle der erwähnten Heftschweißung können zu diesem Zweck auch profilierte Dichtringe verwendet werden, die in dazu korrespondierend ausgebildeten Nuten liegen..

Wenngleich sich die oben erwähnten Ganzmetall-Dichteinrichtungen bewährt haben, so sind sie dennoch nicht ohne Nachteil: Da diese Ganzmetall-Dichteinrichtungen in UHV-Vakuumanlagen eingesetzt werden, müssen sie zur Entgasung der Oberflächen ausgeheizt werden. Für dieses Ausheizen sind Temperaturen bis zu 450° notwendig. Zum Ausheizen dienen spezielle Heizvorrichtungen, die außen an der Dichteinrichtung angebracht würden, und die so von außen her der Dichteinrichtung die Wärme zuführen, so daß die Wä?me von außen allmählich in das Innere der Dichteinrichtung vordringt Beim nachfolgenden Abkühlen fließt dann die Wärme von innen nach außen, im einen Fall ist ein Temperaturgefälle nach innen, im anderen ein solches nach außen vorhanden. Das dabei in der Dichtvorrichtung herrschende Vakuum hat ein großes Isoliervermögen. Es treten daher in der Dichteinrichtung erhebliche Temperaturdifferenzen auf, welche während des Aufheizens bzw. Abkühlens Werte bis über 100° C erreichen können. Dadurch treten an den Bauelementen der Dichteinrichtungen Dimensionsänderungen infolge Wärmedehnungen auf, die Relativbewegungen zwischen diesen Bauelementen verursachen und die vor allem zu Schiebungen bei den bekannten Konstruktionen führen, die wiederum die Dichtflächen zerstören, sei es durch KaItschweißung oder durch Gleitreibung. Die durch die Wärmedehnung hervorgerufenen Ausgleichsbewegungen sind abci nur in begrenztem Umfang möglich, da das Dichtorgan bei den bekannten Konstruktionen ja einseitig am Rand eingespannt ist, so daß es bei diesen Ausgleichsbewegungen an der Einspannstelle brechen kann oder vielleicht auch nur Risse erhält, die jedoch ausreichen, die Ventileinrichtung undicht zu machen. Es kann aber auch geschehen, daß sich das Dichtorgan an der Einspannstelle bei entsprechend großen Ausgleichsbewegungen plastisch und damit bleibend verformt und in der Folge damit die Einrichtung undicht wird.

Aufgabe der Erfindung ist es, bei aus Metall bestehende Dichtvorrichtungen der eingangs genannten Art relativ große Ausgleichs- u. Anpassungsbewegungen zwischen den einzelnen die Dichteinrichtung bildenden Teilen zu ermöglichen, ohne daß dadurch die außerordentliche Dichtleistung dieser Dichtvorrichtung in Mitleidenschaft gezogen oder beeinträchtigt würde. Das gelingt erfindungsgemäß dadurch, daß der Dichtring an einer der beiden Dichtflächen unter einer das Abwälzen beim öffnen bzw. Schließen der Dichtvorrichtung ermöglichenden Umfangsspannung gehaltert ist und der öffnungswinkel der Dichtfläche in jenem Bereich, in welchem der Dichtring unter Umfangsspannung anliegt, kleiner ist als der Reibungswinkel, und der Dichtring einen vollwandigen Querschnitt aufweist. Dank dieser Maßnahme ist der Dichtring mit einer der Dichtflächen zwar verbunden, gegenüber dieser aber doch im hier erforderlichen Ausmaß ceweglich, so daß beim wiederholten Öffnen und Schließen der Dichtvorrichtung immer dieselben Flächenteile miteinander entlang gleicher Linien in Berührung treten. Die Verbindung zwischen Dichtring und Dichtfläche kann durch eine Schrumpf-

5 oder Dehnpreßspannung hergestellt werden, worunter das Aufziehen eines erhitzten oder abgekühlten Werkstückteiles auf einen anderen verstanden wird. Durch die nachfolgende Volumsänderung beim Abkühlen bzw. Erwärmen erzielt man einen festen Verbund zwischen

ίο diesen beiden Werkstücken unter Umfangsspannung. Hat bei der bekannten Drosselklappe (DE-AS 22 13 893) das Aufschrumpfen des Dichtringes in eine Dichtringnut und das zusätzliche Verschweißen des Dichtringes mii dieser Nut die Aufgabe, den Dichtring fest und unverrückbar am Dichtteller oder an der Drosselklappe zu halten, so soll beim Erfindungsgegenstand der unter Umfangsspannung anliegende Dichtring beweglich gehalten werden. Der gegenüber beiden Dichtflächen durch Abrollen bewegliche, vollwandige Dichtkörper besitzt einen hohen Anpassuiigsgrad, da beide mit den Dichtflächen in Wirkverbindung tretenden Ränder <ώ3 Dichtkörpers abgerundet sind und die Breite des Die! ikörpers ca. gleich ist dem doppelten Krümmungsradius dieser Ab rundungen der Ränder, kann sich der Dichtkörpc· so wohl an der einen wie auch an der anderen Dichtfläche abrollen, wenn das Dichtelement geschlossen oder geöffnet wird, oder wenn aufgrund von Wärmedehnungen solche Bewegungen auftreten, ohne daß es dabei zu Gleitreibungen kommt, die zu Kaltschweißungen und damit zur Zerstörung der Dichtfläche fuhren. Da beispielsweise das Verhältnis von Dicke (Stärke) zur Breite des Ventilkörperquerschnitts im Bereich von ca. 1 :3 bis 1:10 liegt, kann der Dichtkörper in sich selbst, und zwar in seinem elastischen Bereich Verformungen aufnehmen, die durch die auf ihn einwirkende erheblich große Dichtkraft hervorgerufen werden. Dabei bestehen sowohl die Dichtflächen wie auch der Dichtkörper aus praktisch nicht duktilen Werkstoffen, also beispielswei se aus Nickeiwerkstoffen, mit einem Nickelgehak von 35% und mehr, und Chrom und/oder Kobalt als zusätzliche Legierungsbestandteile; auch Stellite und Lieferungen von Edelstahl mit Chrom, Nickel, Molybdän und/oder Titan sind hier einzusetzen. Beim Einlaufvor gang entstehen mikroskopisch kleine plastisch: Verfor mungen an der Dichtfläche. Die bei der wiederholten Betätigung der Einrichtung auftretenden erheblichen Schließdrücke bewirken in der Folge nur eine oberflächliche Verformung im elastischen Bereich. Wird je- doch die Lage der eingefahrenen Dichtzone geändert, so führt dies zu Undichtigkeiten.

Die Zeichnungen veranschaulichen Ausführungsbeispiele der Erfindung. Es zeigt

F i R. 1 einen Längsschnitt durch ein geöffnetes Hoch-

vakuumventil;

die F i g. 2, 3 und 4 Detailausgestaltungen in einem gegenüber F i g. 1 vergrößerten Maßstab; die

Fig. 5 und 6 Detaildarstellungen einer anderen Ausführungsvariante bei geöffnetem und bei geschlossenem Ventil;

F i g. 7 ein weiteres Detail.

Die F i g. I zeigt im Längsschnitt ein Hochvakuumabsperrventil mit einem Gehäuse 1, welches einen zur Verbindung mit einer Hochvakuumpumpe dienenden Stut-

b5 zen 2 und eine öffnung 3 zum Anschluß an die zu evakuierende Einrichtung aufweist. Die eine Dichtfläche wird nun von einem kegelstumpfförmigen Dichtteller4 gebildet, der an einem geeigneten Träger 5 befestigt ist bzw.

einstückig mit diesem ausgebildet sein kann. Zur axialen Versetzung dieses kegelstumpfförmigen Dichitellers 4 gegen die anderen Dichtflächen ist der Träger 5 mit einer ein Gewinde aufweisenden Spindel verbunden, von welcher in der F i g. 1 bloß ihr oberes AnschluQende 6 sichtbar ist. Die Spindel ist in einem Gehäusedeckel 7 gelagert, der mittels Schrauben 8 fest mit dem Gehäuse 1 verbunden ist. Zur Abdichtung der Spindel ist auf der oberen öffnung des Gehäuses 1 eine Flanschplaite 9 eingelegt, an welcher ein die Spindel umschließender Metallbalg 10 dicht befestigt ist, dessen unteres Ende mit dem Träger 5 dicht verbunden ist. Zwischen der Platte 9 und dem Gehäuse I ist in einem ringförmigen Absatz ein Dichtring U eingelegt.

Die hier im Gehäuse 1 vorgesehene Dichtfläche 12 ist als Kegelflächenzone ausgebildet. Als Dichtkörper 13 ist hier ein Ring vorgesehen aus nicht duktilem Material, der auf die Dichtfläche 12 unter Dehnpreßspannung angebracht word?" ist. indem dieser Ring vor seinem Einsetzen auf eine sehr niedrige Temperatur abgekühlt wurde, so daß sich sein äußerer Durchmesser verringert hat und er auf diese Weise in diesen konischen Sitz eingepaßt werden konnte. Durch die nachfolgende Temperaturerhöhung weitet sich der Ring und verspannt sich selbsttätig auf der Kegelflächenzone 12, ohne daß es zu seiner Lagefixierung weiterer äußerer Hilfsmittel wie Halter oder dgl. bedarf. Unbeschadet dieser festen Halterung hat der Ring 13 die Möglichkeit, sich in dem hier erforderlichen Ausmaß an der Dichtfläche 1 abzurollen, wenn das Ventil betätigt wird. Fi g. 1 zeigt das geöffnete Ventil. Die Dichtflächen, die hier mit dem Dichtkörper 13 zusammen wirken, sind als Kegelflächenzonen ausgebildet. Die Erfindung ist jedoch nicht auf solche Flächenkonfigurationen beschränkt. So zeigt F i g. 2 ein Detail, das demjenigen Bereich aus F i g. 1 entspricht, daß von der strichpunktierten Linie A umschlossen ist. Dieses Detail ist in einem gegenüber Fig. 1 stark vergrößerten Maßstab dargestellt. Der als Ring ausgebildete Dichtkörper 13' mit massivem Querschnitt ist auf dem als Zylinder ausgebildeten Dichtteller 4' aufgeschrumpft. Anstelle von Kegelflächen und Zylinderflächen können auch Kugelflächenzonen oder Kombinationen aus den erwähnten Flächen verwendet werden. Dies veranschaulichen die Fig.3 und 4. In den gezeigten Fällen ist jeweils der Dichtring auf seinem Träger aufgeschrumpft. Da der öffnungswinkel der Dichtfläche in jenem Bereich, in welchem der Dichtkörper unter Umfangsspannung anliegt, kleiner ist als der Reibungswinkel, ist der feste Sitz des Dichtringes gewährleistet. Durch diesen Schrumpfsitz wird der Dichtkörper bezüglich der Dichtfläche an der er anliegt, bei jeder Temperatur und in jedem Betriebszustand der Vorrichtung in derselben Ausgangsstellung gehalten.

Da ein Torus aus nicht duktilem Werkstoff äußerst verwindungssteif ist, ist es zweckmäßig, den Dichtkörper als konische Ringscheibe auszubilden. Eine solche Ausgestaltung zeigen in vergrößertem Maßstab die F i g. 5 und 6, wobei F i g. 5 das geöffnete und F i g. 6 das geschlossene Ventil veranschaulicht. Die konische Ringscheibe, die hier den Dichtkörper 13" bildet, hat abgerundete Kanten, die mit den Dichtflächen 12"und 4" in Wirkverbindung treten, wenn das Ventil geschlossen ist (F i g. 6). Die Abrundung ist dabei so gewählt, daß der Krümmungsradius R der Abrundung etwa der halben Breite B der Ringscheibe entspricht Hier ist diese Ringscheibe auf die äußere Dichtfläche 12" unter Dehnpreßspannung angebracht, so daß es keiner zusätzlichen Halterung für die Lagefixierung dieses Dichtkörpers bedarf. Es sei nur der Vollständigkeit halber erwähnt, daß in analoger Weise dieser scheibenförmige Dichtkörper 13" auch auf die kegelförmige Dichtfläche 4" des verstellbaren Bauteiles dieses Vcntiles aufgeschrumpft sein könnte. Unabhängig davon, ob dieser Dichtkörper auf der einen oder auf der anderen Dichtfläche unter Umfangsspannung gehalten ist, sind die einzelnen Bauteile hier so aufeinander abgestimmt, daß die Mittelebene E der Ringscheibe 13" bei geöffnetem Ventil rechtwinke-

to Hg auf der Kegelflächenzone 12" steht, diese Mittelebene Zfalso mit der Flächennormalen im Berührungspunkt bzw. in der Berührungslinie zusammen fällt Wird nun die zweite Dichtfläche 4" eingefahren durch die Betätigung der Ventilspindel 6 (Pfeil 16 in den F i g. 5 und 6), so

is stößt diese Dichtfläche 4" mit ihrer mittleren Zone auf den inneren wulstartig gerundeten Rand 14 des Dichtkörpers 13". Der mittlere Durchmesser der Kegelflächenzone entspricht etwa dem Innendurchmesser (/der Ringscheibe 13". Die erste Berührung dieser Teile mit einander beim Schließen der Dichtvorrichtung zeigt F i g. 6. Die beiden Dichtflächen 4" und 12" sind hier im wesentlichen zueinander parallel.

Wird nun in der Folge ein entsprechend hoher Schlicßdruck über die Spindel 6 aufgebracht, so wandert die Dichtfläche 4" weiter in Richtung des Pfeiles 16, wobei die ancinanderliegenden Flächen oberflächlich im elastischen Bereich verformt werden, bedingt durch den hohen Druck, mit dem diese Teile gegeneinander gepreßt werden. Aufgrund der gewählten Anordnung wird die über die Spindel 6 aufgebrachte Kraft in einem hohen Übersetzungsverhältnis vergrößert, wobei dieses Übersetzungsverhältnis primär bestimmt wird durch den Winkel «, der dem öffnungswinkel der Kegelflächenzonen entspricht und der in den F i g. 5— 6 einge- tragen ist Dabei rollt der scheibenartige Dichtkörper 13", und war mit seinen beiden Rändern 14 an den jeweiligen Dichtflächen 4" und 12" ab. Der Dichtkörper 13" kann sich dabei auch mehr oder weniger in seiner Gesamtheit verformen. Das Ausmaß einer solchen Ver formung hängt unter anderem ab von seiner Stärke S. die in F i g. 6 eingetragen ist. Wenn hier von Relativbewegungen und insbesondere von Abrollen die Rede ist, so ist darauf hinzuweisen, daß diese Bewegungen und Abrollwege sehr klein sind, da ja sowohl die Dichtflä chen 4" und 12" wie auch der Dichtkörper 13" aus nicht duktilen metallischen Werkstoffen bestehen. Beispielsweise beträgt das Verhältnis der Dicke (Stärke) zur Breite des massiven Dichtkörperquerschnittes etwa 1 :3 bis 1 :10, so daß der Dichtkörper in sich selbst, und

so war in seinem elastischen Bereich, Verformungen aufnehmen kann.

Es ist aus F i g. 6 erkennbar, daß selbst relativ große axiale Bewegungen zwischen den Dichtflächen 4" und 12", die beispielsweise durch Temperaturdehnungen oder Temperaturdifferenzen bedingt sein können, ohne weiteres von dieser Dichteinrichtung aufgenommen werden können, da in einem solchen Fall der Dichtkörper 13" beidseitig auf den Dichtflächen etwas abrollt ohne daß dadurch die Dichtfähigkeit beeinträchtigt wird, denn die über die Spindel 6 aufgebrachten großen Dichtkräfte lassen solche Differenzen ohne weiteres zu. Beim gezeigten und beschriebenen Ausführungsbeispiel nach den F i g. 5 und 6 sind die Dichtflächen 4" und 12" als Kcgelzonenflächen ausgebildet Die erfindungs gemäße Aufgabe ist auch dann lösbar, wenn diese Dichtflächen als Kugeiflächenzonen ausgebildet werden, wobei dafür sowohl konkave wie auch konvexe Flächen in Frage kommen können. Auch die Verwen-

dung von Kegelzonenflächen und Kugelzonenflächcn als Dichtflächen bei einer Dichtvorrichtung ist denkbar, da ja diese Flächen beim Verschließen der Dichteinrichtung nicht unmittelbar miteinander in Wirkverbindung treten. Diese Flächen sind stets so ausgebildet, daß der Dichtkörper bzw. dessen wulstartig geformter Rand ungehindert an diesen Flächen abrollen kann, wenn die Dichteinrichtung geöffnet bzw. geschlossen wird. Wenn hier Vv,n Abrollen die Rede ist, so sind die dabei jeweils zurückgelegten Wege und Verformungen sehr klein, da hier ja harte, nicht duktile Materialien miteinander gepaart sind, wobei durch die von außen aufzubringenden Kräfte der elastisch verformbare Dereich des Materials nicht überschritten wird.

Eine zweckmäßige Anordnung liegt auch dann vor, is wenn der als konische Ringscheibe ausgebildete Dichtkörper 130 so eingesetzt ist, daß bei unbelastetem Dichtkörper oder zumindest im Augenblick der Beruhrung beim Schließvorgang der Dichtvorrichtung die Mittelebene £f des Dichtkörpers I3ö (siehe Fig.7) mit m der Flächennormalebene Nentlang der Berührungslinie A bzw. B einen Winkel β einschließt. Dank dieser Maßnähme liegen die Berührungslinien A und B zwischen dem Dichtkörper 130 und den Kegelflächenzonen 120 und 140 im Augenblick der ersten Berührung beim Schliisßvorgang etwas seitlich der Mittelebene £, und zwar in einem Fall (A) über dieser Mittelebene, auf der anderen Seite (B) unterhalb dieser Mittelebene. Wird nun der Dichtdruck axial (Pfeil 200) aufgebracht, so rollt der Dichtkörper 130 an den Dichtflächen ab, wobei sich die Perührungslinien A und B gegen die Mittelebene E hin verschieben, so daß bei geschlossener Dichtvorrichtung diese Dichtlinien A und B im wesentlichen in der Mittelebene E liegen. Die durch Temperaturänderungen und Temperaturdilferenzen beim Ausheizen der Dichteinrichtung bedingten Anpassungs- und Relativbewegungen zwischen den die Dichtung bewirkenden Teilen, können, bezogen auf die miueiebene E, positiv oder negativ sein, in beiden Fällen sind hinreichende Toleranzbereiche für die Anpassung des Dichtkörpers 130 vorhanden, ohne daß die Dichtlinien in einem solchen Falle wesentlich aus der Mittelebene £ abweichen.

Unter der Voraussetzung, daß der Krümmungsradius R des scheibenförmigen Dichtelementes kleiner ist als dessen halbe Breite kann die Einfederung über den Schließdruck so weit getrieben werden, daß die Verbindungslinie der Berührungszonen A— B durch die Querschnittsebene des Ventiles wandet, so daß in der Folge keine weitere Schließkraft erforderlich ist, um diese Stellung beibehalten zu können. Das Ventil wird da- so durch selbsttätig verriegelt und es kann nurmehr dann geöffnet werden, wenn eine gegen die Richtung des Pfeil es 200 wirkende Öffnungskraft von außen aufgebracht wird.

55

Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

65

Claims (4)

Patentansprüche:

1. Aus Metall bestehende Dichtvorrichtung an einem Hochvakuumverschluß, insbesondere an einem Hochvakuumventil mit einer ersten als Rotationsfläche ausgebildeten Dichtfläche und einer ebenfalls als Rotationsfläche ausgebildeten, zu der ersten Dichtfläche koaxial liegenden zweiten Dichtfläche, wobei die beiden Dichtflächen gegeneinander in Richtung ihrer Achsen verstellbar sind und zwischen den beiden Dichtflächen ein metallischer Dichtkörper angeordnet ist mit einem beim öffnen bzw. Schließen der Dichtvorrichtung an den beiden Dichtflächen abwälzbaren Querschnitt, wobei der Dichtring aus einem praktisch nicht duktilen Werkstoff besteht und bei geschlossener Dichtvorrichtung die auf die Dichtflächen und den Dichtkörper einwirkenden Dichtkrähe diese Teile im Bereich einer ausschüeßlich elastischen Verformung aneinander drückt, ti a durch gekennzeichnet, daß der Dichtkörper an einer der beiden Dichtflächen unter einer das Abwälzen beim öffnen bzw. Schließen der Dichtvorrichtung ermöglichenden Umfangsspannung gehaltert ist und der Öffnungswinkel der Dichtfläche in jenem Bereich; in welchem der Dichtkörper unter Umfangsspannung anliegt, kleiner ist als der Reibungswinkel, und der Dichtkörper einen vollwandigen Querschnitt aufweist.

2. Aus Metall bestehende Dichtvorrichtung nach Anspruch !,dadurch gekennzeichnet,daß der Dichtkörper als keusche Ringscheibe ausgebildet ist und die Breite der konischen Ringscheibe ca. gleich ist dem doppelten Krümmungsradius der Abrundung der mit den Dichtflächen in Walzverbindung tretenden Zonen.

3. Aus Metall bestehende Dichivorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittelebene des als konische Ringscheibe ausgebildeten Dichtkörpers bei geöffneter Dichtvorrichtung mit der Flächennormalen derjenigen Dichtflächenzone, auf der der Dichtkörper unter Umfangsspannung gehaltert ist, einen spitzen Winkel einschließt und die beim Schließen der Dichtvorrichtung auf den Dichtkörper einwirkende Kraft diesen Winkel verringert.

4. Aus Metall bestehende Dichtvorrichtung nach Anspruch 3. dadurch gekennzeichnet, daß der beim Schließen der Dichtvorrichtung vorerst positive spitze Winkel zwischen der Mittelebene der konischen Ringscheibe und der Flächennormalen durch Erhöhung der aufzubringenden Schließkraft einen negativen Wert erreicht.