JP2003177172A

JP2003177172A - 固体ｎｍｒ測定用高速スピナー

Info

Publication number: JP2003177172A
Application number: JP2002266255A
Authority: JP
Inventors: Katsuya Hioka; 克哉樋岡
Original assignee: Jeol Ltd
Current assignee: Jeol Ltd
Priority date: 2001-10-03
Filing date: 2002-09-12
Publication date: 2003-06-27
Also published as: US6803764B2; US20030102867A1

Abstract

(57)【要約】【課題】複合型のタービンでありながら、気体の吹き付
けに対する回転効率が良く、しかも安定な高速回転を保
証できる固体ＮＭＲ測定用高速スピナーを提供する。【解決手段】ロータ部に、吹き付けられた気体を半径方
向から所定の角度だけ後方に向けて排気することによっ
てロータ部自身に回転力を与えるタービンを設けた。ま
た、ロータ部に、気体の吹き付けノズルの数よりも多
く、しかも気体の吹き付けノズルの数と互いに素となる
ような数の翼を備えたタービンを設けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、固体ＮＭＲ測定用
高速スピナーに関し、特に、気体の吹き付けに対する回
転効率が良く、しかも安定な高速回転を保証できる固体
ＮＭＲ測定用高速スピナーに関する。

【０００２】

【従来の技術】固体状態の試料のＮＭＲスペクトルに
は、双極子相互作用のような、溶液中では回転ブラウン
運動で消去されている相互作用がそのまま現れるため、
スペクトルの線幅が極端に広くなり、化学シフト項が覆
い隠されてしまう。そのため、ＮＭＲスペクトルにおい
て、測定分子の各部位のシグナルピークが分離できず、
結果的に固体ＮＭＲ法は、分子構造解析には不向きであ
ると考えられていた。

【０００３】この現象を克服し、シャープな固体ＮＭＲ
スペクトルを得る方法が、１９５８年にＥ．Ｒ．Ａｎｄ
ｒｅｗによって発見された。それは、試料管を静磁場の
方向からある角度だけ傾けて高速回転させることによ
り、異方的な相互作用を取り除き、化学シフト項を取り
出すことができるという原理であり、ＭＡＳ（Ｍａｇｉ
ｃＡｎｇｌｅＳａｍｐｌｅＳｐｉｎｎｉｎｇ）法
と呼ばれるものである。

【０００４】ＭＡＳ法を実現させるためには、静磁場中
に置かれた固体試料を高速で回転させなければならない
が、必要な回転速度とされる数ｋＨｚ〜十数ｋＨｚ程度
の回転速度を得ることは容易ではない。そこで、この回
転速度を得るために、従来、気体軸受の技術が採用さ
れ、いろいろな方式が提案されてきた。

【０００５】図６は、従来の固体ＮＭＲ測定用高速スピ
ナーを示したものである。図中１１は筒状のステータ
で、固体試料を封入したロータ１２の周囲を、わずかな
隙間を隔てて取り囲んでいる。ロータ１２の下端には、
筒状のステータ１１の底部に蓋をする役割を負ったスラ
ストステータ１３に対向して、ロータ１２のスラスト方
向の位置を保持するためのスラストロータ１４が設けら
れている。また、ロータ１２の上部には、ステータ１１
に設けられたタービンノズル１５から噴出される気体ジ
ェットによって、ロータ１２に回転力を付与するための
タービン１６が設けられている。そして、ロータ１２、
スラストロータ１４、タービン１６の３つが一体となっ
た「軸」と呼ばれる部分が、高速で回転する構成になっ
ている。

【０００６】図７は、図６の従来の固体ＮＭＲ測定用高
速スピナーをｂ線で切ったときの断面図を示したもので
ある。図７から明らかなように、ステータ１１に設けら
れた複数個の給気孔２０からステータ１１の内側に向け
て気体を連続供給することにより、ステータ１１とロー
タ１２の隙間に気体の薄い層ができ、ジャーナル気体軸
受が形成される。これにより、ステータ１１とロータ１
２の間に極めて磨擦抵抗の少ない状態が作られ、ステー
タ１１内において「軸」を高速回転させることが可能に
なる。

【０００７】また、図８は、図６の従来の固体ＮＭＲ測
定用高速スピナーをｃ線で切ったときの断面図を示した
ものである。図８から明らかなように、ステータ１１に
偏心して設けられた複数個のタービンノズル１５から噴
出される気体ジェットがタービン１６の翼に作用して、
「軸」に回転する力を与える。タービン１６に作用した
気体ジェットは方向を変え、図６に示す気体の流れ１７
となって高速スピナーの外部に放出される。

【０００８】このような静圧軸受を用いた高速スピナー
の開発は、Ｄｏｔｙ（特許文献１）を嚆矢とする。その
後、Ｂａｒｔｕｓｋａら（特許文献２）は、静圧軸受と
動圧軸受を組み合わせた高速スピナーを提案し、Ｄｏｔ
ｙら（特許文献３）は、静圧軸受の改良を試みている。

【０００９】

【特許文献１】米国特許第４，４５６，８８２号明細書

【特許文献２】米国特許第４，５１１，８４１号明細書

【特許文献３】米国特許第５，５０８，６１５号明細書

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】このような構成におい
て、従来の固体ＮＭＲ測定用高速スピナーには、いくつ
かの問題点があり、スピナーの回転速度の高速化の大き
な障害となっていた。

【００１１】まず、第１の問題点は、スピナーの回転速
度が高速になると、ジャーナル軸受部での気体の粘性に
よる抵抗が増大する一方で、気体ジェットがタービンに
作用する力の効率は低下するため、スピナーの高速回転
を得るためには、大きなエネルギーの気体ジェットを必
要とすることである。

【００１２】次に、第２の問題点は、従来のＮＭＲ用ス
ピナーでは、軸流型、ラジアル（半径流）型、複合型に
分けられる一般的なタービンのうち、気体ジェットが半
径方向からタービンに吹き付けられ、タービンに力が作
用している最中に軸方向の運動速度が変化する複合型が
用いられているが、この方式は、簡便な構造である反
面、タービンに対して軸方向の力が加わるために、軸方
向の安定性に欠け、特に高速回転を目指して気体ジェッ
トの流量を増大させると、スラストロータとスラストス
テータの接触を招くことになり、高速化の大きな障害と
なることである。

【００１３】このような２つの問題点を克服するため
に、Ｄｏｔｙら（特許文献３）は、ラジアルインフロー
型のタービンを採用している。しかしながら、ラジアル
インフロー型のタービンは、翼の形状から、強度が弱く
なるという欠点がある。ＮＭＲ用スピナーでは、被測定
試料が頻繁に交換されるので、タービンの損傷が起こり
やすく、実用性の点で不利である。

【００１４】また、このほかにも、ノズルの一周あたり
の穴数とタービンの翼の枚数とが、互いに公約数を持つ
ような関係になっていたため、タービンが一周する間
に、トルクの大きさが周期的に変動し、回転が不安定に
なるという問題があった。

【００１５】本発明の目的は、上述した点に鑑み、複合
型のタービンでありながら、気体の吹き付けに対する回
転効率が良く、安定な高速回転を保証でき、しかも高速
の回転数を正確にモニターすることのできる固体ＮＭＲ
測定用高速スピナーを提供することにある。

【００１６】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、本発明にかかる固体ＮＭＲ測定用高速スピナーは、
試料を封入可能なロータ部と、ロータ部を取り囲むステ
ータ部とから成り、該ロータ部とステータ部の隙間に気
体を供給することによって気体軸受を形成する固体ＮＭ
Ｒ測定用高速スピナーにおいて、前記ロータ部に、吹き
付けられた気体を半径方向から所定の角度だけ後方に向
けて排気することによってロータ部自身に回転力を与え
るタービンを設けたことを特徴としている。

【００１７】また、試料を封入可能なロータ部と、ロー
タ部を取り囲むステータ部とから成り、該ロータ部とス
テータ部の隙間に気体を供給することによって気体軸受
を形成する固体ＮＭＲ測定用高速スピナーにおいて、前
記ロータ部に、気体の供給孔の数よりも多く、しかも気
体の供給孔の数と互いに素となるような数の翼を備えた
タービンを設けたことを特徴としている。

【００１８】また、試料を封入可能なロータ部と、ロー
タ部を取り囲むステータ部とから成り、該ロータ部とス
テータ部の隙間に気体を供給することによって気体軸受
を形成する固体ＮＭＲ測定用高速スピナーにおいて、前
記ロータ部に、吹き付けられた気体を半径方向から所定
の角度だけ後方に向けて排気することによってロータ部
自身に回転力を与えるタービンであって、しかも、気体
の供給孔の数よりも多く、気体の供給孔の数と互いに素
となるような数の翼を備えたタービンを設けたことを特
徴としている。

【００１９】また、前記ロータ部のスラスト方向には、
ロータ部を回転させながら担持する補助スラストステー
タを設けたことを特徴としている。

【００２０】また、タービンに吹き付けられた気体が、
半径方向から後方に向けて排気される際の所定の角度
は、３０゜以上、６０゜以下であることを特徴としてい
る。

【００２１】また、ロータ部の直径は、２ｍｍ以上、４
ｍｍ以下であることを特徴としている。

【００２２】また、気体軸受の長さは、ロータ部の直径
の５０％以上、１００％以下であることを特徴としてい
る。

【００２３】また、ロータ部とステータ部の隙間は、ロ
ータ部の直径の０．６８％以上、２．１％以下であるこ
とを特徴としている。

【００２４】また、ロータ部とステータ部の隙間は、２
７μｍ以上、４２μｍ以下であることを特徴としてい
る。

【００２５】また、ロータ部とステータ部の隙間に気体
を供給する供給孔の数は、６個以上、１０個以下である
ことを特徴としている。

【００２６】また、ロータ部とステータ部の隙間に気体
を供給する供給孔の直径は、０．２ｍｍ以上、０．４ｍ
ｍ以下であることを特徴としている。

【００２７】また、ロータの一部に光を反射する金属薄
膜を付けたことを特徴としている。

【００２８】また、金属薄膜は金の薄膜であることを特
徴としている。

【００２９】また、金属薄膜の厚みは１０ｎｍ以上、１
０００ｎｍ以下であることを特徴としている。

【００３０】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、本発明の
実施の形態を説明する。図１は、本発明にかかる固体Ｎ
ＭＲ測定用高速スピナーの一実施例を示したものであ
る。ロータの形状を複雑にすることなく、気体ジェット
の吹き付けによるロータの回転の効率と安定性とを向上
させ、前述した数々の問題点を解決して、ＮＭＲ測定装
置の検出部のスピナーの回転速度の高速化を図ろうとす
る発明を示している。

【００３１】図１において、ＮＭＲ測定のための被測定
試料を内部に入れることが可能な円筒状のロータ２の一
方の端（図では右端）には、気体ジェットを受けるため
の翼と被測定試料をロータ内部に封入するための蓋とが
一体となったタービン４が取り付けられている。また、
もう一方の端（図では左端）には、被測定試料をロータ
内部に封入するためのキャップ５が取り付けられてい
る。これら３点の部品は、回転時には、一体の「軸」と
なって回転する。ロータ２の直径は２〜４ｍｍ程度であ
ることが好ましい。

【００３２】また、キャップ５に対向して、ロータ２全
体を支えるスラストステータ６が設けられている。ま
た、タービン４に対向して、ロータ２の回転を安定化さ
せ、ロータ２とスタストステータ６との間の接触を防ぐ
ための補助スラストステータ７が設けられている。これ
は、タービン４と補助スラストステータ７との隙間に滞
留する気体を、タービン４の周囲を流れる高圧ガスの流
れとともに外部に引き出させることにより、ベルヌーイ
の法則に従って、タービン４と補助スラストステータ７
との隙間の気体の静圧を低下させ、結果的に、ロータ２
とスタストステータ６との間の接触を防ごうとする意図
で設けられたものである。また、ロータ２の周囲には、
円筒状の２つのステータ（気体軸受部）１、１'が設け
られている。

【００３３】また、キャップ５に対向する位置には、ロ
ータ２の回転数を検出するための光ファイバー８が設け
られている。これについては、図４の説明の中で詳述す
る。

【００３４】次に、図２について説明する。図２（ａ）
は、図１で示した固体ＮＭＲ測定用高速スピナーの軸受
部分を、ロータの回転軸を含む平面で切った断面図、図
２（ｂ）は、図１で示した固体ＮＭＲ測定用高速スピナ
ーの軸受部分を、ロータの回転軸に直交する平面で切っ
た断面図を示したものである。

【００３５】図２（ａ）において、ステータ１とロータ
２の隙間の値（Ｃｒ）は、２７〜４２μｍ程度であるこ
とが好ましい。そして、ロータ２の直径（φＤ）に対す
る比率としては、０．６８〜２．１％程度であることが
好ましい。また、軸受部の長さ（Ｌ）は、ロータ２の直
径の５０〜１００％程度であることが好ましい。このよ
うに構成することにより、ステータ１とロータ２の隙間
の値（Ｃｒ）は、従来の一般的な静圧軸受に比べると相
当大きく、軸受部の長さ（Ｌ）は、従来の一般的な静圧
軸受に比べると比較的短くなるので、高圧気体の粘性に
よる復元力は、ロータ２に対して、ほとんど働かなくな
る。その結果、ジャーナル軸受を用いた高速スピナーに
特有な、ロータ２の回転軸がすりこぎ運動を起こす、い
わゆる振れ回り（Ｗｈｉｒｌ）現象を効果的に防ぐこと
ができる。

【００３６】ステータ１、１'には、好ましくは、個々
の直径が０．２〜０．４ｍｍ程度で、ステータ１、１'
の周方向に一列あたり６〜１０個程度から成る一列ない
し複数列の給気孔群が設けられる。これらの給気孔群か
らは、ロータ２との隙間（Ｃｒ）に向かって高圧の気体
が供給され、ステータ１、１'とロータ２との間で気体
軸受を形成して、ロータ２が保持される。図２（ｂ）の
例では、周方向に一列あたり８個の給気孔を持ってい
る。

【００３７】図３は、図１で示した固体ＮＭＲ測定用高
速スピナーのタービン付近を、ロータの回転軸に直交す
る平面で切った断面図を示したものである。

【００３８】タービン４の周囲には、タービンの半径方
向に対して斜め方向に傾斜させた複数個の給気孔を備え
たタービンノズル３が設けられている。タービンノズル
３の給気孔からタービン４に向かって吹き付けられる高
圧の気体ジェットにより、タービン４に、回転のための
トルクが与えられる。タービン４の翼は、回転方向と反
対の方向に向けて、半径方向から所定の角度αだけ傾斜
させてあるので、タービン４の翼に吹き付けられた気体
ジェットは、翼の傾斜方向に沿って流れ、半径方向と所
定の角度αを成しながら、タービン４の回転方向に対し
て後方に向かい、翼から排気される。その後、気体ジェ
ットは、更に、補助スラストステータ７に設けられた穴
を通して、大気中に放出される。なお、この所定の角度
αの値は、好ましくは、３０〜６０゜程度であり、図３
の例では、およそ４２゜に設定されている。

【００３９】このように、気体ジェットがタービン４の
翼から排気される方向を、タービン４の回転に対して半
径方向から外側後方に向けることにより、気体ジェット
がタービン４に作用する際の効率を向上させることがで
きる。

【００４０】また、本発明では、タービン４が一周する
間に、トルクの大きさが周期的に変動して、振れ回りな
ど、回転が不安定になることがないようにするために、
タービン４の翼の数は、タービンノズル３に設けられた
ノズルの穴数よりも多くし、しかも互いの数が公約数を
持たないように、互いに素となる数を選ぶように構成し
ている。

【００４１】例えば、図３の例では、タービンノズル３
に設けられたノズルの穴数が５個であるのに対して、タ
ービン４の翼の数は７枚となるように構成している。こ
れにより、タービン４の翼の数「５」とタービンノズル
３に設けられたノズルの穴数「７」とは、１以外の公約
数を持たない、互いに素となる数となるので、タービン
４の翼にかかるトルクの大きさが周期的に変動したり、
振れ回りなど、回転が不安定になったりする現象をなく
すことができる。

【００４２】図４は、図１で示した固体ＮＭＲ測定用高
速スピナーのキャップ５と光ファイバー８の関係を示し
たものである。

【００４３】キャップ５の周上の一部には、金属の薄膜
が付けてあり、所定の角度でキャップ５と対向した一対
の光ファイバー８の内の１つから、キャップ５に向け
て、光が照射される。キャップ５がロータ２と一体で回
転し、金属薄膜を付けた部分が光ファイバー８の前を通
過すると、光ファイバー８から照射された光が、金属薄
膜によって反射される。その反射光を、一対の光ファイ
バー８の内のもう１つで受光する。こうして検出される
反射光の周期をモニターすることによって、高速で回転
するロータ２の回転速度を正確に測定することができ
る。

【００４４】この金属薄膜は、上述した例では、キャッ
プ５の周上に付けられているが、本発明は、これに限定
されるものではない。たとえば、ロータ２自身の一部に
付けられていても良い。広い意味においては、キャップ
５もロータの一部分と見なすことができる。

【００４５】なお、金属薄膜が光の波長に対して極端に
薄いと、照射光を反射することができない。また逆に、
金属薄膜が厚すぎると、ロータ２の高速回転により発生
する強い遠心力のため、金属薄膜が剥離してしまう。し
たがって、金属薄膜の厚さには制限があり、好ましい厚
さは、１０〜１０００ｎｍ、より好ましくは、３０〜１
００ｎｍの範囲である。本実施例では、金属薄膜とし
て、化学的に安定で、長期に渡って反射能力が劣化しな
い金の薄膜を採用した。

【００４６】図５は、本発明の設計思想に基づいて作成
された高速スピナーの実験結果を示したものである。図
の横軸は、タービンノズル３に供給される高圧ガスの印
加圧力（単位：ｋＰａ）を示し、縦軸は、ロータ２の回
転速度（単位：ｋＨｚ）を示している。

【００４７】このデータを測定するにあたって、採用さ
れた高速スピナーの寸法と数値は、次の通りである。

【００４８】ロータの直径（φＤ）：４ｍｍ。

【００４９】軸受部の長さ（Ｌ）：２．４ｍｍ（φ
Ｄの６０％）。

【００５０】軸受の隙間（Ｃｒ）：３０μｍ（φＤ
の０．７５％）。

【００５１】給気孔数（ｎ）：８個／列。

【００５２】給気孔径：０．３ｍｍ。

【００５３】タービンの翼の角度（α）：４２゜。

【００５４】タービンの翼の数：７枚。

【００５５】タービンノズルの穴数：５個。

【００５６】図５から明らかなように、タービンノズル
３に供給される高圧ガスの印加圧力を４００ｋＰａまで
上昇させると、ロータ２の回転速度は、その印加圧力に
ほぼ正比例して、２０ｋＨｚ（毎秒２万回転に相当す
る）まで回転速度が上昇する。タービンノズル３に供給
される高圧ガスの印加圧力が４００ｋＰａを超えると、
ロータ２の回転速度の上昇は、やや飽和を示すが、それ
でも２１．５ｋＨｚ付近まで回転速度を上昇させること
が可能であった。この結果は、従来知られていた固体Ｎ
ＭＲ測定用高速スピナーの回転速度記録を大きく超える
ものであった。

【００５７】

【発明の効果】以上述べたごとく、本発明の固体ＮＭＲ
測定用高速スピナーによれば、吹き付けられた気体を半
径方向から所定の角度だけ後方に向けて排気することに
よってロータ部自身に回転力を与えるタービンを設けた
ので、気体ジェットがタービンに作用する効率が向上し
た。

【００５８】また、ロータ部に、気体の吹き付けノズル
の数よりも多く、しかも気体の吹き付けノズルの数と互
いに素となるような数の翼を備えたタービンを設けたの
で、タービン４の翼にかかるトルクの大きさが周期的に
変動したり、回転が不安定になったりすることがなくな
った。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかる固体ＮＭＲ測定用高速スピナー
の一実施例を示す図である。

【図２】本発明にかかる固体ＮＭＲ測定用高速スピナー
の軸受部分の一実施例を示す図である。

【図３】本発明にかかる固体ＮＭＲ測定用高速スピナー
のタービン部分の一実施例を示す図である。

【図４】本発明にかかる固体ＮＭＲ測定用高速スピナー
の回転速度検出器部分の一実施例を示す図である。

【図５】本発明にかかる固体ＮＭＲ測定用高速スピナー
の実験結果を示す図である。

【図６】従来の固体ＮＭＲ測定用高速スピナーを示す図
である。

【図７】従来の固体ＮＭＲ測定用高速スピナーを示す図
である。

【図８】従来の固体ＮＭＲ測定用高速スピナーを示す図
である。

【符号の説明】

１・・・ステータ、２・・・ロータ、３・・・タービンノズル、
４・・・タービン、５・・・キャップ、６・・・スラストステー
タ、７・・・補助スラストステータ、８・・・光ファイバー、
１１・・・ステータ、１２・・・ロータ、１３・・・スラストス
テータ、１４・・・キャップ、１５・・・タービンノズル、１
６・・・タービン、１７・・・気体の流れ、２０・・・給気孔。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】試料を封入可能なロータ部と、ロータ部を
取り囲むステータ部とから成り、該ロータ部とステータ
部の隙間に気体を供給することによって気体軸受を形成
する固体ＮＭＲ測定用高速スピナーにおいて、前記ロー
タ部に、吹き付けられた気体を半径方向から所定の角度
だけ後方に向けて排気することによってロータ部自身に
回転力を与えるタービンを設けたことを特徴とする固体
ＮＭＲ測定用高速スピナー。
【請求項２】試料を封入可能なロータ部と、ロータ部を
取り囲むステータ部とから成り、該ロータ部とステータ
部の隙間に気体を供給することによって気体軸受を形成
する固体ＮＭＲ測定用高速スピナーにおいて、前記ロー
タ部に、気体の供給孔の数よりも多く、しかも気体の供
給孔の数と互いに素となるような数の翼を備えたタービ
ンを設けたことを特徴とする固体ＮＭＲ測定用高速スピ
ナー。
【請求項３】試料を封入可能なロータ部と、ロータ部を
取り囲むステータ部とから成り、該ロータ部とステータ
部の隙間に気体を供給することによって気体軸受を形成
する固体ＮＭＲ測定用高速スピナーにおいて、前記ロー
タ部に、吹き付けられた気体を半径方向から所定の角度
だけ後方に向けて排気することによってロータ部自身に
回転力を与えるタービンであって、しかも、気体の供給
孔の数よりも多く、気体の供給孔の数と互いに素となる
ような数の翼を備えたタービンを設けたことを特徴とす
る固体ＮＭＲ測定用高速スピナー。
【請求項４】前記ロータ部のスラスト方向には、ロータ
部を回転させながら担持する補助スラストステータを設
けたことを特徴とする請求項１、２、または３記載の固
体ＮＭＲ測定用高速スピナー。
【請求項５】タービンに吹き付けられた気体が、半径方
向から後方に向けて排気される際の所定の角度は、３０
゜以上、６０゜以下であることを特徴とする請求項１ま
たは３記載の固体ＮＭＲ測定用高速スピナー。
【請求項６】ロータ部の直径は、２ｍｍ以上、４ｍｍ以
下であることを特徴とする請求項１、２、または３記載
の固体ＮＭＲ測定用高速スピナー。
【請求項７】気体軸受の長さは、ロータ部の直径の５０
％以上、１００％以下であることを特徴とする請求項
１、２、または３記載の固体ＮＭＲ測定用高速スピナ
ー。
【請求項８】ロータ部とステータ部の隙間は、ロータ部
の直径の０．６８％以上、２．１％以下であることを特
徴とする請求項１、２、または３記載の固体ＮＭＲ測定
用高速スピナー。
【請求項９】ロータ部とステータ部の隙間は、２７μｍ
以上、４２μｍ以下であることを特徴とする請求項１、
２、または３記載の固体ＮＭＲ測定用高速スピナー。
【請求項１０】ロータ部とステータ部の隙間に気体を供
給する供給孔の数は、６個以上、１０個以下であること
を特徴とする請求項１、２、または３記載の固体ＮＭＲ
測定用高速スピナー。
【請求項１１】ロータ部とステータ部の隙間に気体を供
給する供給孔の直径は、０．２ｍｍ以上、０．４ｍｍ以
下であることを特徴とする請求項１、２、または３記載
の固体ＮＭＲ測定用高速スピナー。
【請求項１２】ロータの一部に光を反射する金属薄膜を
付けたことを特徴とする請求項１、２、または３記載の
固体ＮＭＲ測定用高速スピナー。
【請求項１３】金属薄膜は金の薄膜であることを特徴と
する請求項１２記載の固体ＮＭＲ測定用高速スピナー。
【請求項１４】金属薄膜の厚みは１０ｎｍ以上、１００
０ｎｍ以下であることを特徴とする請求項１２記載の固
体ＮＭＲ測定用高速スピナー。