JP2003172570A - ブライン供給装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 ランニングコストを低減し、小型化しなが
ら、同時にブラインの温度を安定的に制御して装置の安
定的運用を可能にすることができるブライン供給装置を
提供する。 【解決手段】 ブラインを負荷の目標温度に適合するよ
うに調整して循環供給するブライン供給装置において、
負荷側から戻されたブラインが流れるブライン冷却流路
に設けた工業用水により冷却させる熱交換器１３と、負
荷側から戻されたブラインが流れるブライン加熱流路に
設けたヒーター２６と、冷却および加熱されたブライン
を混合する混合部３０と、ブラインの温度を検出する混
合部出口側温度センサ３２と、その出力に基づいて冷却
及び加熱されたブラインとの混合比を調整する混合調整
手段３３と、ブラインの急激な温度変動を緩和してブラ
インを適正な温度に収斂させてから負荷側に供給するた
めのタンク５とを備えている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、少なくとも１つの
負荷に対して、ブラインを前記負荷の目標温度に適合す
るように調整してから供給するためのブライン供給装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、圧縮機（コンプレッサ）、凝
縮機、膨張弁、及び熱交換器（蒸発器）から構成される
冷凍機を使用したブライン供給装置が知られている。こ
のような冷凍機を備えたブライン供給装置では、負荷か
ら戻されたブラインを前記冷凍機で負荷の目標温度に冷
却し、再び、前記負荷側に供給するようにしている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】前述のような従来の冷
凍機を備えたブライン供給装置では、冷凍機を使用して
いるために装置の消費電力などのランニングコストが高
くなってしまう、また冷凍機の存在により装置が大型化
してしまう、などの問題があった。しかし、他方、冷凍
機を使用しないでブラインを冷却することは、冷凍機な
しではブラインの高精度の温度制御が極めて困難である
ため、装置の安定的な運用ができないという問題があっ
た。

【０００４】本発明はこのような従来技術の問題点に着
目してなされたものであって、装置の消費電力などのラ
ンニングコストを低減し且つ装置を小型化しながら、同
時にブラインの温度を安定的に制御して装置の安定的運
用を可能にすることができるブライン供給装置を提供す
ることを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】このような従来技術の課
題を解決するための本発明によるブライン供給装置は、
少なくとも１つの負荷に対して、ブラインを前記負荷の
目標温度に適合するように調整して循環供給するブライ
ン供給装置において、前記負荷側から戻されたブライン
が流れるブライン冷却流路に設けられ、前記ブラインを
工業用水により冷却するための熱交換器と、前記ブライ
ン冷却流路と並列に形成された、前記負荷側から戻され
たブラインが流れるブライン加熱流路に設けられ、前記
ブラインを加熱するためのヒーターと、前記ブライン冷
却流路と前記ブライン加熱流路との接続部に設けられ、
前記熱交換器により冷却されたブラインと前記ヒーター
により加熱されたブラインとを混合するための混合部
と、前記混合部の出口側に備えられ、前記混合部からの
ブラインの温度を検出するための混合部出口側温度セン
サと、前記混合部出口側温度センサからの出力に基づい
て前記熱交換器で冷却されたブラインと前記ヒーターで
加熱されたブラインとの混合比を調整するための混合調
整手段と、前記混合部と前記負荷との間に、前記混合部
からのブラインの急激な温度変動を緩和して前記ブライ
ンを適正な温度に収斂させてから前記負荷側に供給する
ために、約１０リットル以上の容積を有するように構成
されたタンクと、を備えたことを特徴とするものであ
る。

【０００６】また、本発明のブライン供給装置において
は、前記熱交換器の出口側に備えられ、前記熱交換器か
らのブラインの温度を検出するための熱交換器出口側温
度センサを備え、前記熱交換器出口側温度センサからの
出力に基づいて前記熱交換器に供給する工業用水の流量
を調整するためのバルブを含んでいるのがよい。

【０００７】また、本発明のブライン供給装置において
は、前記加熱流路の出口側に備えられ、前記加熱流路か
らのブラインの温度を検出するための加熱流路出口側温
度センサを備え、前記加熱流路出口側温度センサからの
出力に基づいて前記ヒーターに供給する電力を調整する
電力調整手段を備えているのがよい。

【０００８】また、本発明のブライン供給装置において
は、前記混合部は、前記熱交換器で冷却されたブライン
の前記負荷側への供給と、前記ヒーターで加熱されたブ
ラインの前記負荷側への供給とを交互に切り替えるため
の三方弁を含んでいるのがよい。

【０００９】また、本発明のブライン供給装置において
は、前記タンクの出口側に備えられ、前記タンクからの
ブラインの温度を検出するためのタンク出口側温度セン
サを備え、前記混合調節手段は、前記混合部出口側温度
センサからの出力と前記タンク出口側温度センサからの
出力に基づいて、前記熱交換器で冷却されたブラインと
前記ヒーターで加熱されたブラインとの混合比を調整す
るものであるのがよい。

【００１０】また、本発明のブライン供給装置におい
て、前記ブラインは純水であり、前記タンクは、前記混
合部と前記負荷との間に設けられたイオン交換器であっ
て、前記純水の導電度を所定値以下に維持し、且つ、前
記混合部からの前記純水の急激な温度変動を緩和して前
記純水を適正な温度に収歛させてから前記負荷側に供給
するために、約１０リットル以上の容積を有するように
構成されたイオン交換器である、ことが望ましい。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を説明す
る。図１は半導体製造装置などの負荷にブラインとして
の純水を供給するための、本実施形態によるブライン供
給装置を示す配管ブロック図である。図１において、１
は半導体製造装置などの負荷、２は前記負荷１に対する
機能を終えた純水（ブライン）を前記負荷１側からブラ
イン供給装置側に戻すための戻し流路、３は前記戻し流
路２に備えられ、純水の抵抗値（導電度）を検出するた
めの抵抗率計、４は前記戻し流路２に備えられ、純水の
温度を予備的に検出するための温度センサ、５は前記戻
し流路２からの純水をいったん蓄積するための純水タン
ク、６は前記純水タンク５内の純水を次の流路７へ送り
出すためのポンプ、６ａは前記ポンプ６を駆動する電力
の周波数を変換するためのインバータ、６ｂは前記イン
バータ６ａを制御するための制御部（ＣＰＵ）、８は前
記流路７を流れる純水の温度を予備的に検出するための
温度センサ、９は前記流路７を流れる純水の流量を検出
するための流量センサ、１０は前記流路７を流れる純水
の圧力を検出してパイプ詰まりなどの異常を検知したと
きは装置全体を停止させるための圧力スイッチ、１１は
前記流路７内の純水の流れから前記ポンプ６の吐出圧力
を予備的に検出するためのポンプ吐出圧力計、である。

【００１２】また、図１において、１２は前記流路７か
ら２つに分岐した一方の純水冷却流路、１３は前記純水
冷却流路１２の途中に設けられた、純水を冷却するため
の熱交換器、１４は前記純水冷却流路１２の途中に設け
られた、前記熱交換器１３で冷却された純水の温度を検
出するための温度センサ、である。前記熱交換器１３に
は、常時、平均的な温度が例えば約２０〜２８℃に保た
れている工業用水（工場循環水）が供給されている。前
記熱交換器１３は、前記工業用水により、前記純水冷却
流路１２を流れる純水を冷却するようにしている。

【００１３】また、図１において、１５は外部から工業
用水を導入して前記熱交換器１３に供給するための冷却
水導入パイプ、１６は前記熱交換器１３において熱交換
のために使用された工業用水を外部に排出するための冷
却水排出パイプ、１７は前記冷却水排出パイプ１６の途
中に備えられた流量センサ、１８は前記冷却水排出パイ
プ１６の途中に備えられたモーターバルブ、１９は前記
熱交換器１３からの純水の温度を検出する温度センサ１
４からの出力に基づいて前記モーターバルブ１８の開度
を制御して前記熱交換器１３に供給される工業用水の流
量を調整する（これにより、前記熱交換器１３の冷却能
力を可変させる）ための制御部（ＣＰＵ）、２０は前記
冷却水導入パイプ１５と前記冷却水排出パイプ１６との
水圧差を検出してパイプ詰まりなどの異常を検知したと
きは装置全体を停止させるための冷却水差圧スイッチ、
２１は冷却水導入パイプ１５を流れる純水の圧力を予備
的に検出するための冷却水圧力計、２２は冷却水導入パ
イプ１５内の工業用水の温度を検出するための温度セン
サ、である。

【００１４】また、図１において、２５は前記流路７か
ら前記純水冷却流路１２と並列に分岐された純水加熱流
路、２６は前記純水加熱流路２５の途中に備えられたヒ
ーター、２７は前記ヒーター２６で加熱された純水の温
度を検出するための温度センサ、２８は前記温度センサ
２７からの出力に基づいて前記ヒーター２６の加熱力を
制御するための制御部（ＣＰＵ）、である。

【００１５】また、図１において、３０は前記純水冷却
流路１２と前記純水加熱流路２５とが合流して次の送り
流路３１と接続する位置に備えられたモーター駆動の三
方弁である。前記三方弁３０は、前記純水冷却流路１２
からの純水が前記送り流路３１に流れる流量と前記純水
加熱流路２５からの純水が前記送り流路３１に流れる流
量とを、それぞれバルブの開度を調整することにより可
変できるようになっている。

【００１６】また、図１において、３２は前記三方弁３
０の出口側に備えられ、前記三方弁３０で混合された純
水の温度を検出するための温度センサ、３３は前記温度
センサ３２からの出力（及び、後述するイオン交換器３
５からの純水の温度を検出する温度センサ３６からの出
力）に基づいて前記三方弁３０を制御するための制御部
（ＣＰＵ）、である。本実施形態では、前記制御部（Ｃ
ＰＵ）３３が前記三方弁３０を制御することにより、前
記純水冷却流路１２からの冷却された純水と前記純水加
熱流路２５からの加熱された純水との混合比が調整され
て、適正な温度に調整された純水が前記送り流路３１に
供給されるようになっている。

【００１７】また、図１において、３５は前記送り流路
３１の途中に備えられ、前記三方弁３０で混合された純
水の導電度を所定値以下に維持するためのイオン交換器
である。このイオン交換器３５は、図２に示すように、
筒状の容器３５ａ内の下方に備えられた円板状の網３５
ｂと前記容器３５ａ内の上方に備えられた円板状の網３
５ｃとの間に顆粒状のイオン交換樹脂３５ｄが充填され
て成るものである。

【００１８】また、図２において、３５ｅは、前記送り
流路３１からの純水を前記容器３５ａ内に流入させるた
めに、前記容器３５ａの底面と前記網３５ｂとの間に形
成された入口穴である。また、３５ｆは、前記入口穴３
５ｅから流入して前記イオン交換樹脂３５ｄを通過した
純水を前記送り流路３１に戻すために、前記容器３５ａ
の上面と前記網３５ｃとの間に形成された出口穴であ
る。このように、本実施形態の前記容器３５ａ内では、
前記入口穴３５ｅ及び出口穴３５ｆを形成するために必
要なスペースを除くほとんどのスペースに、前記イオン
交換樹脂３５ｄが充填されている。

【００１９】本実施形態では、前記三方弁３０から前記
送り流路３１に供給された純水は、前記容器３５ａの底
面近くに形成された入口穴３５ｅを介して容器３５ａ内
に流入し、その後、前記イオン交換樹脂３５ｄ内をゆっ
くりと通過して、前記容器３５ａの上面近くに形成され
た出口穴３５ｆを通って、前記送り流路３１に戻され
る。前記の純水が前記イオン交換樹脂３５ｄをゆっくり
と通過する間に、純水の温度は徐々に適度な温度に収斂
されていく。よって、本実施形態では、仮に前記三方弁
３０からの純水の温度に急激な変動が生じてしまったよ
うな場合でも、前記の純水の急激な温度変動は、純水が
前記イオン交換樹脂３５ｄ内をゆっくり通過していく間
に緩和され、純水の温度は適度なものに収斂されていく
ことになる。

【００２０】前記イオン交換器３５の容器３５ａは、例
えば、直径２２０ｍｍ、高さ３６５ｍｍで、１４リット
ルの容積を有するように形成されている。本実施形態に
おいて、前記イオン交換器３５の容積を１４リットル以
上としているのは、前記三方弁３０で混合された純水の
温度が急激に変動しても、前記純水が、この１４リット
ル以上の容積を有するイオン交換器３５の内部をゆっく
りと移動する間に、前記の急激な温度変動が徐々に緩和
されて、適切な温度に収斂されてから負荷１側に送られ
ることを可能にするためである。

【００２１】このように、本実施形態では、前記イオン
交換器３５に、前記三方弁３０からの純水の急激な温度
変動を緩和するためのバッファーの機能をも持たせてい
る。これは、本実施形態において、従来のブライン供給
装置におけるような冷凍機を使用していないことと関係
している。すなわち、従来の冷凍機を使用したブライン
供給装置では、ブラインの温度制御が冷凍機により高精
度に行われるので、負荷側に送られるブラインの温度が
急激に変動することは通常は考えられない。しかし、本
実施形態のように、冷凍機を使用しないで、工業用水を
使用した熱交換器１３とヒーター２６によりで純水（ブ
ライン）の温度を調整しようとする場合は、負荷側に供
給する純水の温度が急激に変動することがかなりの確率
で生じうる。

【００２２】特に、本実施形態のように、前記純水冷却
流路１２からの冷却された純水と前記純水加熱流路２５
からの加熱された純水とを三方弁３０を使用して機械的
に混合する場合は、例えば前記三方弁３０のバルブ開度
調整用モーターの作動タイミング遅れなどにより、前記
三方弁３０から供給される純水の温度が急激に変動して
しまうことが少なくないと予想される。

【００２３】このように純水の温度に急激な変動が生じ
うる場合は、大容量の純水タンクなどのバッファーを介
設することが必要になるが、純水タンクなどのバッファ
ーを特別に介設すると装置が大型化してしまうという問
題がある。そこで、本実施形態においては、前記三方弁
３０と前記負荷１との間に純水の導電度を所定値以下に
維持するためのイオン交換器３５を介設し、このイオン
交換器３５を１４リットル以上の容積にして、このイオ
ン交換器３５を同時にバッファーとしても機能させるこ
とにより、前記の装置の大型化の問題を回避するように
しているのである。

【００２４】なお、本発明者が実験したところでは、負
荷１側に純水を１分当たり５リットルの流量で供給する
場合における前記イオン交換器３５内の純水の移動速度
は０．００２２ｍ／ｓ、負荷１側に純水を１分当たり１
０リットルの流量で供給する場合における前記イオン交
換器３５内の純水の移動速度は０．００４４ｍ／ｓ、負
荷１側に純水を１分当たり２０リットルの流量で供給す
る場合における前記イオン交換器３５内の純水の移動速
度は０．００８８ｍ／ｓ、負荷１側に純水を１分当たり
２５リットルの流量で供給する場合における前記イオン
交換器３５内の純水の移動速度は０．０１１ｍ／ｓであ
った。純水に急激な温度変動が生じた場合でも、その純
水が前記イオン交換器３５内を例えば０．０１１ｍ／ｓ
程度の遅い移動速度で移動する場合は、その移動時間内
に前記の急激な温度変動が緩和されることになるので、
前記イオン交換器３５がバッファーの機能を十分に果た
しうることは明らかである。

【００２５】また、図１において、３６は前記イオン交
換器３５からの純水の温度を検出するための温度セン
サ、３７は前記負荷１側に送られる純水の抵抗率（導電
度）を検出するための抵抗率計、３８は前記負荷１側に
送られる純水の圧力を検出するためのブライン出口圧力
計、である。本実施形態では、前記温度センサ３６から
の信号は、前記の三方弁３０を制御するための制御部
（ＣＰＵ）３３に入力されている。前記制御部（ＣＰ
Ｕ）３３は、前記三方弁３０からの純水の温度（前記温
度センサ３２からの出力）と前記イオン交換部３５から
の純水の温度（前記温度センサ３６からの出力）とに基
づいて、前記三方弁３０を制御して、前記熱交換器１３
で冷却された純水と前記ヒーター２６で加熱された純水
との混合比を調整するようにしている。

【００２６】次に本実施形態の動作を補足的に説明す
る。本実施形態では、負荷１のブラインの目標温度（例
えば３０℃）が、工業用水（工場循環水）の温度よりも
２℃以上高いとき、ブラインである純水を、工業用水を
利用して（冷凍機を使用しないで）前記目標温度に適合
するように冷却し、負荷１に供給する。すなわち、本実
施形態は、負荷１のブラインの目標温度が工業用水の温
度と比較して２℃以下であるときは、使用しないように
している。

【００２７】また、本実施形態では、前記制御部（ＣＰ
Ｕ）１９が、前記熱交換器１３からの純水の温度を検出
する温度センサ１４からの出力に基づいて前記モーター
バルブ１８の開度を制御し、これにより、前記熱交換器
１３に供給される工業用水の通水量を調整し、前記熱交
換器１３の冷却能力を適当に可変させている。

【００２８】また、本実施形態では、負荷１から戻され
た純水は、前記純水冷却流路１２と前記純水加熱流路２
５との２つの流路に分水される。前記純水冷却流路１２
では、純水が前記負荷１のブラインの目標温度より僅か
に低い温度となるように前記熱交換器１３を制御する。
また、前記純水加熱流路２５では、純水が前記負荷１の
ブラインの目標温度よりも僅かに高い温度となるように
前記ヒーター２６を制御する。

【００２９】また、本実施形態では、前記三方弁３０
で、前記純水冷却流路１２からの純水と前記純水加熱流
路２５からの純水とを最適な混合比で混合することによ
り、前記負荷１のブラインの目標温度に調整された純水
が前記負荷１側に供給されるようにしている。

【００３０】また、本実施形態においては、特に、前記
純水冷却流路１２からの純水と前記純水加熱流路２５か
らの純水との混合比を調整するために、前記三方弁３０
のバルブ開度調整用モーターの駆動により機械的に双方
の流量を調整しているので、前記三方弁３０で混合され
た後の純水の温度が急激に変動してしまう場合がありう
る。そこで、本実施形態では、前記三方弁３０と前記負
荷１との間を結ぶ送り流路３１の途中に、約１４リット
ル以上の容積を有しておりその内部を前記純水がゆっく
りと移動するようなイオン交換器３５を介設し、このイ
オン交換器３５をバッファーとしても使用することによ
り、前記負荷１に供給される純水の温度が急激に変動し
てしまうことを回避するようにしている。

【００３１】また、本実施形態によるブライン供給装置
では、次のようなインターロック機能を装備している。 （１）本実施形態の起動時に、工業用水の温度を測定
し、設定可能な温度を、「工業用水の温度＋２℃」以上
の温度だけとしている。また、本実施形態の起動後に、
工業用水の温度が「設定済み温度−２℃」以上に上昇し
たときは、警報を発令するか又は装置を停止するように
している。

【００３２】（２）本実施形態の純水の負荷１への出口
と負荷１からの入口（戻り）との双方の位置で、純水の
比抵抗を測定する。そして、前記出口側の比抵抗が管理
値を下回る場合は、警報を発令するか又は装置を停止す
る。また、前記入口側の比抵抗が管理値を下回る場合
は、警報を発令するか又は装置を停止する。

【００３３】（３）前記純水冷却流路１２において、工
業用水の前記熱交換器１３の入口側の圧力と出口側の圧
力とを常に監視し、「入口側圧力−出口側圧力」が管理
値を下回る場合は、パイプ詰まりなどの異常が予測され
るため、警報を発令するか又は装置を停止する。

【００３４】なお、以上に説明した本実施形態では、イ
オン交換器３５として、１４リットルの容積を有するも
のを使用しているが、本発明はこれに限られるものでは
ない。少なくとも約１０リットル以上の容積を有するイ
オン交換器であれば、本実施形態について述べたような
「純水がイオン交換器内を低速度で移動する間に純水の
急激な温度変動を緩和させる」というバッファーの機能
を十分に果たすことができる。また、本発明のイオン交
換器は、図２で示すような構成のものに限られるもので
はない。また、本発明において、ブラインとして純水を
使用しない場合は、図１のイオン交換器３５の代わり
に、例えば１０リットル以上の容積を有するタンクを使
用することができる。

【００３５】また、以上の本実施形態では、負荷１から
戻された純水を、純水冷却流路１２と純水加熱流路２５
に分水し、前記純水冷却流路１２に介設した熱交換器１
３と前記純水加熱流路２５に介設したヒーター２６とを
互いに並列に接続するようにしているが、本発明はこれ
に限られるものではない。本発明においては、例えば、
前記負荷１から戻された純水をまず熱交換器で冷却し、
この冷却した純水をヒーターで加熱すること、すなわ
ち、熱交換器とヒーターとを直列に接続することも可能
である（なお、この場合は、図１の三方弁３０は不要に
なるが、ヒーターにより加熱される純水の急激な温度変
動を緩和させるために、バッファーの機能をも果たすイ
オン交換器３５を設置することはなお必要である）。

【００３６】

【発明の効果】以上に説明したように、本発明のブライ
ン供給装置においては、ブラインを、冷凍機を使用する
ことなく工業用水を利用した熱交換器を使用して冷却す
ると共にヒーターを使用して加温して適切な温度に調整
するようにしているので、従来のような冷凍機を使用し
てブラインを冷却する場合と比較して、消費電力などの
ランニングコストを大幅に低減させることができると共
に、装置を大幅に小型化することができる。

【００３７】また、本発明では、ブラインを冷凍機を使
用することなく工業用水を利用した熱交換器で冷却する
と共にヒーターで加熱するようにした結果として、ブラ
インの温度が急激に変動してしまうような場合でも、前
記ブラインが前記負荷に供給される前に、前記ブライン
を少なくとも１０リットル以上の容積を有するタンク内
をゆっくりと通過させるようにしているので、前記のブ
ラインの急激な温度変動はバッファーの機能をも有する
前記タンクにより緩和され、適切な温度に収斂された純
水を負荷側に供給することができるようになる。

【００３８】また、本発明では、ブラインとしての純水
を冷凍機を使用することなく工業用水を利用した熱交換
器で冷却すると共にヒーターで加熱するようにした結果
として、純水の温度が急激に変動してしまうような場合
でも、前記純水が前記負荷に供給される前に、前記純水
を少なくとも１０リットル以上の容積を有するイオン交
換器内をゆっくりと通過させるようにしているので、前
記の純水の急激な温度変動はバッファーの機能をも有す
る前記イオン交換器により緩和され、適切な温度に収斂
された純水を負荷側に供給することができるようにな
る。

【００３９】また、本発明において、前記熱交換器が設
けられた冷却流路と前記ヒーターが設けられた加熱流路
とを接続する部分に三方弁を設けるようにしたときは、
前記冷却流路からのブライン（純水）と前記加熱流路か
らのブライン（純水）の双方の流量調整を安定的に行う
ことができる。

【００４０】また、本発明において、前記のバッファー
の機能をも有するイオン交換器からの純水の温度を検出
する温度センサからの信号に基づいて、前記熱交換器に
より冷却された純水と前記ヒーターにより加熱された純
水との混合比を調整するようにしたときは、前記イオン
交換器のバッファー機能をも踏まえて前記の冷却された
純水と前記の加温された純水との混合比の最適な調整を
行うことが可能になる。

【００４１】また、本発明において、前記のバッファー
の機能をも有するイオン交換器からの純水の温度を検出
する温度センサからの信号に基づいて、前記熱交換器に
より冷却された純水を加熱するための前記ヒーターの加
熱力を調整するようにしたときは、前記イオン交換器の
バッファー機能をも踏まえて前記熱交換器により冷却さ
れた純水の最適な加温制御を行うことが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施形態によるブライン供給装置の
配管ブロック図。

【図２】 本実施形態で使用されるイオン交換器の構成
を説明するための図。

【符号の説明】

１ 負荷 ２ 戻り流路 ３，３７ 抵抗率計 ４，８，１４，２２，２７，３２，３６ 温度センサ ５ タンク ６ ポンプ ６ｂ，１９，２８，３３ 制御部（ＣＰＵ） ７ 流路 １２ 純水冷却流路 １３ 熱交換器 １５ 冷却水導入パイプ １６ 冷却水排出パイプ １７ 流量センサ １８ モーターバルブ ２０ 冷却水差圧スイッチ ２５ 純水加熱流路 ２６ ヒーター ３０ 三方弁 ３１ 送り流路 ３５ イオン交換器 ３５ａ 容器 ３５ｂ，３５ｃ 円板状網 ３５ｄ イオン交換樹脂 ３５ｅ 入口穴 ３５ｆ 出口穴

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高村 富夫 山口県小野田市西高泊大塚1371−７ 長州 産業株式会社内 (72)発明者 平山 唯志 山口県小野田市西高泊大塚1371−７ 長州 産業株式会社内 (72)発明者 池村 芳之 山口県厚狭郡山陽町大字山野井字新山野井 3740 長州産業株式会社真空・メカトロ機 器工場内 (72)発明者 田丸 正彦 山口県厚狭郡山陽町大字山野井字新山野井 3740 長州産業株式会社真空・メカトロ機 器工場内 (72)発明者 佐護 康実 東京都府中市四谷５丁目８番１号 アネル バ株式会社内 (72)発明者 池田 真義 東京都府中市四谷５丁目８番１号 アネル バ株式会社内 (72)発明者 金子 一秋 東京都府中市四谷５丁目８番１号 アネル バ株式会社内 (72)発明者 宮地 淳 福岡県北九州市小倉北区中島２丁目１番１ 号 東陶機器株式会社内 (72)発明者 建野 範昭 福岡県北九州市小倉北区中島２丁目１番１ 号 東陶機器株式会社内 Ｆターム(参考） 3L054 BF08 BF20

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 少なくとも１つの負荷に対して、ブライ
   ンを前記負荷の目標温度に適合するように調整して循環
   供給するブライン供給装置において、 前記負荷側から戻されたブラインが流れるブライン冷却
   流路に設けられ、前記ブラインを工業用水により冷却す
   るための熱交換器と、 前記ブライン冷却流路と並列に形成された、前記負荷側
   から戻されたブラインが流れるブライン加熱流路に設け
   られ、前記ブラインを加熱するためのヒーターと、 前記ブライン冷却流路と前記ブライン加熱流路との接続
   部に設けられ、前記熱交換器により冷却されたブライン
   と前記ヒーターにより加熱されたブラインとを混合する
   ための混合部と、 前記混合部の出口側に備えられ、前記混合部からのブラ
   インの温度を検出するための混合部出口側温度センサ
   と、 前記混合部出口側温度センサからの出力に基づいて前記
   熱交換器で冷却されたブラインと前記ヒーターで加熱さ
   れたブラインとの混合比を調整するための混合調整手段
   と、 前記混合部と前記負荷との間に、前記混合部からのブラ
   インの急激な温度変動を緩和して前記ブラインを適正な
   温度に収斂させてから前記負荷側に供給するために、約
   １０リットル以上の容積を有するように構成されたタン
   クと、を備えたことを特徴とするブライン供給装置。
2. 【請求項２】 請求項１において、前記熱交換器の出口
   側に備えられ、前記熱交換器からのブラインの温度を検
   出するための熱交換器出口側温度センサを備え、 前記熱交換器出口側温度センサからの出力に基づいて前
   記熱交換器に供給する工業用水の流量を調整するための
   バルブを含んでいる、ことを特徴とするブライン供給装
   置。
3. 【請求項３】 請求項１または２において、前記加熱流
   路の出口側に備えられ、前記加熱流路からのブラインの
   温度を検出するための加熱流路出口側温度センサを備
   え、 前記加熱流路出口側温度センサからの出力に基づいて前
   記ヒーターに供給する電力を調整する電力調整手段を備
   えた、ことを特徴とするブライン供給装置。
4. 【請求項４】 請求項１，２または３において、前記混
   合部は、前記熱交換器で冷却されたブラインの前記負荷
   側への供給と、前記ヒーターで加熱されたブラインの前
   記負荷側への供給とを交互に切り替えるための三方弁を
   含んでいる、ことを特徴とするブライン供給装置。
5. 【請求項５】 請求項１から４までのいずれかにおい
   て、前記タンクの出口側に備えられ、前記タンクからの
   ブラインの温度を検出するためのタンク出口側温度セン
   サを備え、 前記混合調節手段は、前記混合部出口側温度センサから
   の出力と前記タンク出口側温度センサからの出力に基づ
   いて、前記熱交換器で冷却されたブラインと前記ヒータ
   ーで加熱されたブラインとの混合比を調整するものであ
   る、ことを特徴とするブライン供給装置。
6. 【請求項６】 請求項１から５までのいずれかにおい
   て、 前記ブラインは純水であり、 前記タンクは、前記混合部と前記負荷との間に設けられ
   たイオン交換器であって、前記純水の導電度を所定値以
   下に維持し、且つ、前記混合部からの前記純水の急激な
   温度変動を緩和して前記純水を適正な温度に収歛させて
   から前記負荷側に供給するために、約１０リットル以上
   の容積を有するように構成されたイオン交換器である、
   ことを特徴とするブライン供給装置。