JP2003163603A - ノイズキャンセル装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 測定信号に乗った複数の周期性ノイズを、そ
の測定信号を遅延させることなく確実に除去できるよう
にする。 【解決手段】 第１のノイズ周波数検出部１は、測定信
号をＦＦＴ処理して複数の周期性ノイズ信号の周波数を
第１の検出周波数として検出する。ノイズ信号解析部５
は、それら複数の第１の検出周波数毎に測定信号との相
互相関関数を求め、これら複数の相互相関関数に基づ
き、相互相関関数の得られた時点以降について測定信号
に乗っている複数の周期性ノイズ信号の振幅及び位相を
演算する。キャンセル信号作成部７は、各周期性ノイズ
信号に対応する複数の第１の検出周波数、振幅及び位相
から合成キャンセル信号を作成する。信号キャンセル部
３は、それら測定信号と合成キャンセル信号を演算して
それら複数の周期性ノイズ信号をキャンセルする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はノイズキャンセル装
置に係り、例えば射出成形機、押出成形機、乾燥炉、半
導体製造装置などの機械、装置から出力される温度、流
量、圧力などの測定信号に含まれる互いに周期の異なる
複数の周期性ノイズをキャンセルするノイズキャンセル
装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】射出成形機、押出成形機、乾燥炉、半導
体製造装置などの機械、装置は、商用交流電源で動作し
たり、その設置環境内に別の機器が配置されることが多
い。

【０００３】そのため、それら機械、装置から得られる
測定信号としてのアナログ信号には５０Ｈｚや６０Ｈｚ
の商用交流電圧がノーマルモードノイズとして測定値に
混入し、測定値が商用交流電圧によって変動する心配が
あった。

【０００４】さらに、５０Ｈｚや６０Ｈｚといった商用
交流電圧以外にも種々の周期性ノイズが測定値に混入す
る心配もあった。

【０００５】そして、従来、商用交流電圧などの周期性
ノイズを除去する手法として、商用交流電圧周波数を減
衰させるローパスフィルタ及びバンドエリミネーション
フィルタ（帯域阻止フィルタ）などの各種フィルタや、
商用交流電圧の複数周期を順次平均化して周期性ノイズ
の影響をキャンセルする移動平均処理が採用されてい
る。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、それら
ローパスフィルタやバンドエリミネーションフィルタを
用いてフィルタ処理を行ったり、移動平均処理を行う
と、フィルタの持つ周波数特性によって本来の測定信号
に遅れが生じ、その後に続く処理、例えば設定値との偏
差をＰＩＤ演算して操作量を得る処理が遅れるなど、応
答性に好ましくない影響を及ぼし易い難点がある。

【０００７】また、それら各種フィルタ処理や移動平均
処理では、キャンセルするノイズ信号の周波数が既知で
あることが前提であり、周波数が分からない周期性ノイ
ズや周期性ノイズの周波数が変動したり、それら周期性
ノイズが複数混入した場合、それをキャンセルし難い欠
点がある。

【０００８】本発明はそのような従来の欠点を解決する
ためになされたもので、測定信号を遅延させることなく
商用交流電圧などの周期の異なる複数の周期性ノイズを
キャンセルできるうえ、各々の周期性ノイズの周波数が
分からなくとも又は変動してもキャンセル可能なノイズ
キャンセル装置の提供を目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】そのような課題を解決す
るために本発明に係るノイズキャンセル装置は、測定信
号をＦＦＴ処理して互いに周期の異なる複数の周期性ノ
イズ信号の周波数を第１の周波数として複数検出する第
１のノイズ周波数検出部と、それらの第１の検出周波数
と測定信号とを解析し、それら各々の第１の検出周波数
と測定信号との間の相互相関関数を複数求めるととも
に、各々の相互相関関数に基づき、各相互相関関数の得
られた時点以降について各々の周期性ノイズ信号に係る
振幅及び位相を演算し、これら及びこれらに対応する第
１の検出周波数をノイズ信号情報として出力するノイズ
信号解析部と、そのノイズ信号情報からそれら複数の周
期性ノイズ信号をキャンセルするキャンセル信号を作成
するキャンセル信号作成部と、それら測定信号とキャン
セル信号を演算してそれら複数の周期性ノイズ信号をキ
ャンセルする信号キャンセル部とを有して構成されてい
る。

【００１０】そして、本発明では、複数のそれら周期性
ノイズ信号をキャンセルする合成キャンセル信号を作成
するよう上記キャンセル信号作成部を形成し、その合成
キャンセル信号を用いて複数の周期性ノイズ信号をキャ
ンセルするよう上記信号キャンセル部を形成することも
可能である。

【００１１】また、本発明は、複数のそれら相互相関関
数に基づき、これらに対応する各々ノイズ信号情報を求
めた時点における各々の周期性ノイズ信号の周波数を第
２の検出周波数として複数検出する第２のノイズ周波数
検出部を有し、各々の第２の検出周波数でこれらに対応
する各々のノイズ信号情報を再演算して出力するよう上
記ノイズ信号解析部を形成することが好ましい。

【００１２】さらに、本発明は、複数の上記第１の検出
周波数とこれらに対応する各々の第２の検出周波数とを
比較し、その第２の検出周波数がこれらに対応する第１
の検出周波数に関する許容範囲内にあれば対応する第２
の検出周波数を、その許容範囲外にあれば対応する第１
の検出周波数を上記ノイズ信号解析部に出力する検出周
波数判定部を有することが好ましい。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態を図面を
参照して説明する。図１は本発明に係るノイズキャンセ
ル装置の実施の形態を示すブロック図である。

【００１４】図１において、図示しない射出成形機、押
出成形機、乾燥炉、半導体製造装置などの機械、装置に
配置された熱電対や測温抵抗体から出力された測定信号
（図２参照）は、第１のノイズ周波数検出部１、信号キ
ャンセル部３及びノイズ信号解析部５に入力される。

【００１５】なお、以下の説明では、便宜上、測定信号
に周期性ノイズとして１個の商用交流電圧（例えば５０
Ｈｚ）に加えて周期の異なる別の１個のノイズ信号、す
なわち２個の周期性ノイズ信号が含まれているとして説
明する。

【００１６】第１のノイズ周波数検出部１は、測定信号
をＦＦＴ（Fast Fourier Transform）処理することによ
り測定信号を周波数領域のデータに変換し、得られた周
波数成分の線スペクトルにより、商用電源周波数の近傍
の周波数で突出して大きくなっている複数の線スペクト
ル周波数を商用交流電圧ノイズをはじめとする複数の周
期性ノイズとして検出し、数秒毎例えば４秒毎に、当該
第１の検出周波数としての２個のｃｏｓ波信号を出力す
るもので、ノイズ信号解析部５に接続されている。

【００１７】第１のノイズ周波数検出部１は、ｃｏｓ波
信号に代えてｓｉｎ波信号を第１の検出周波数として出
力することも可能である。

【００１８】第１のノイズ周波数検出部１については、
測定信号をＦＦＴ処理する場合、ＦＦＴ処理で求められ
るすべての周波数領域について解析することも、予測で
きる周期性ノイズの周波数を考慮した領域などを処理範
囲に設定して周波数を検出することも可能である一方、
本来の測定信号の変動として考え難い周波数領域を処理
範囲として設定しないようにすることも可能である。

【００１９】ノイズ信号解析部５は、第１のノイズ周波
数検出部１で検出された周期性ノイズ信号の周波数に関
する２個のｃｏｓ波信号及び上記測定信号を入力し、そ
れら個々のｃｏｓ波信号と測定信号との間の個々の相互
相関関数を各周期性ノイズ信号毎に求めるものであり
（図２参照）、キャンセル信号作成部７及び第２のノイ
ズ周波数検出部９に接続されている。

【００２０】ディジタル信号処理の分野では、相互相関
関数は、２つの信号（次式のｘ（ｎ）、ｙ（ｎ））の類
似度を数値として示す関数で、次式のようなｋの関数と
して定義されている。

【００２１】

【数１】

【００２２】この式のｘ（ｎ）を上述したｃｏｓ波とし
て、ｙ（ｎ＋ｋ）を上述した測定信号として求めた相互
相関関数は、その測定信号に含まれるｃｏｓ波もしくは
そのｃｏｓ波前後の周波数の周期信号として求められ、
その波形からその測定信号に含まれる周波数、振幅およ
び位相を求めることが可能となる。

【００２３】つまり、ノイズ信号解析部５は、２個のノ
イズ信号に対応した２個の相互相関関数に基づき対応す
る各ノイズ信号の振幅と位相を求め、この時点以降の各
々のノイズ信号の周波数、振幅及び位相をノイズ信号情
報１、２として出力するものである。

【００２４】すなわち、ノイズ信号解析部５は、２個の
相互相関関数の得られた時点以降について、各周期性ノ
イズ信号の振幅及び位相を予測し、第１のノイズ周波数
検出部１で検出された２個の第１の検出周波数とともに
キャンセル信号作成部７へノイズ信号情報１、２として
出力する機能を有している。

【００２５】また、ノイズ信号解析部５は、求められた
２個の相互相関関数を第２のノイズ周波数検出部９へ出
力する機能も有している。

【００２６】第２のノイズ周波数検出部９は、ノイズ信
号解析部５で求めた２個の相互相関関数を入力し、それ
ら各々の相互相関関数に基づき、各相互相関関数を求め
た時点におけるそれら各々に対応する周期性ノイズ信号
の周波数（ｃｏｓ波信号又はｓｉｎ波信号）を第２の検
出周波数として、例えば数百ｍ秒毎に再検出するもので
あり、ノイズ信号解析部５に接続されている。

【００２７】各相互相関関数から検出された対応する２
個の第２の検出周波数は、各相互相関関数を求めた時点
毎の実際の測定信号に含まれる周波数であり、第１のノ
イズ周波数検出部１からの各第１の検出周波数よりも誤
差が少なく変動にも追随している。

【００２８】そして、ノイズ信号解析部５は、上述した
機能に加えて、第２のノイズ周波数検出部９から対応す
る２個の第２の検出周波数が入力されると、それらの第
２の検出周波数に基づき２個の相互相関関数を再演算し
て求めるとともに、これらの相互相関関数に基づき対応
する２個のノイズ信号の振幅と位相を再演算し、それら
振幅、位相及び第２の検出周波数をノイズ信号情報１、
２として出力する機能を有している。

【００２９】そのため、第１のノイズ周波数検出部１に
て周波数を検出した後に次の周波数を検出するまでの
間、測定信号中に乗った各周期性ノイズ信号の周波数が
多少変動しても、キャンセル信号の元になるノイズ信号
情報１、２中の周波数の修正が可能となっている。

【００３０】キャンセル信号作成部７は、図３に示すよ
うに、それらのノイズ信号情報１、２に基づき、測定信
号に乗っているノイズ信号と周波数及び振幅が同じで逆
位相のそれら各々のノイズ信号に対応する２個のキャン
セル信号１、２を作成するとともに、それらを合成した
合成キャンセル信号を作成するものであり、信号キャン
セル部３に接続されている。

【００３１】信号キャンセル部３は、図４に示すよう
に、測定信号にキャンセル信号作成部７からの合成キャ
ンセル信号を加算する機能を有し、測定信号から２個の
周期性ノイズ信号をキャンセルした測定信号（出力信
号）を出力するものであり、例えば図示しない制御装置
の測定信号入力部に接続されている。

【００３２】上述した図１の各ブロックは、一般に、検
出機能、解析機能又は演算制御機能などを処理するＣＰ
Ｕなどや、このＣＰＵなどの動作プログラムを格納した
ＲＯＭ、それら検出機能、解析機能又は演算処理の過程
で一次的にデータを格納するＲＡＭ、及び入出力インタ
フェースＩ／Ｏなどで構成される。以下の構成でも同様
である。

【００３３】次に、上述した本発明のノイズキャンセル
装置の動作を簡単に説明する。商用交流電圧ノイズと別
の周期性ノイズが１個ずつ含まれた測定信号が第１のノ
イズ信号周波数検出部１に加えられると、その測定信号
がＦＦＴ処理されて２個の周期性ノイズ信号の周波数が
検出され、２個の第１の検出周波数がノイズ信号解析部
５へ出力される。

【００３４】ノイズ信号解析部５では、図２に示すよう
に、測定信号及び各々の第１の検出周波数の相互相関関
数を各々求め、対応する２個の相互相関関数に基づきそ
れら各々のノイズ信号の振幅及び位相を演算し、２個の
第１の検出周波数とともにそれら各々の振幅及び位相を
ノイズ信号情報１、２としてキャンセル信号作成部７へ
出力する一方、第２のノイズ周波数検出部９へそれら２
個の相互相関関数を出力する。

【００３５】第２のノイズ周波数検出部９では、各々の
相互相関関数に基づきノイズ信号の相互相関関数を求め
た時点における対応する２個の第２の検出周波数を検出
し、これらの第２の検出周波数をノイズ信号解析部５へ
出力する。

【００３６】ノイズ信号解析部５では、第２のノイズ周
波数検出部９から２個の第２の検出周波数が入力される
と、それら各々の第２の検出周波数に基づき対応する相
互相関関数を求めて振幅と位相を再演算し、これら第２
の検出周波数と再演算した振幅及び位相をノイズ信号情
報１、２としてキャンセル信号作成部７へ出力する。

【００３７】キャンセル信号作成部７では、図３に示す
ように、測定信号に乗っている２個のノイズ信号と周波
数及び振幅が同じで逆位相の各キャンセル信号１、２を
作成するとともに、これらを合成した合成キャンセル信
号を作成し、信号キャンセル部３では、図４に示すよう
に、測定信号にその合成キャンセル信号を加算し、２個
のノイズ信号をキャンセルして出力する。

【００３８】このように本発明に係るノイズキャンセル
装置は、第１のノイズ周波数検出部１にて測定信号をＦ
ＦＴ処理して商用交流電圧ノイズ信号を含む２個のノイ
ズ信号に関する２個の第１の検出周波数を検出し、ノイ
ズ信号解析部５にてそれら第１の検出周波数と測定信号
との相互相関関数を各々求め、これらの相互相関関数に
基づき、これらの相互相関関数を求めた時点以降につい
て、測定信号に乗っているノイズ信号の振幅及び位相を
求め、これら及び第１の検出周波数をノイズ信号情報
１、２として出力し、キャンセル信号作成部７ではそれ
らのノイズ信号情報１、２から周期性ノイズ信号をキャ
ンセルする合成キャンセル信号を作成し、信号キャンセ
ル部３にてそれら測定信号と合成キャンセル信号を演算
し、その商用交流電圧ノイズ信号を含むノイズ信号をキ
ャンセルするよう構成した。

【００３９】そのため、本発明では、測定信号に乗って
いる商用交流電圧を含む周期性ノイズ信号の振幅及び位
相を演算してキャンセルするから、商用交流電圧を含む
複数の周期性ノイズを確実に除去できるし、測定信号を
遅延させることがない。

【００４０】しかも、商用交流電圧を含む周期性ノイズ
信号の周波数、振幅及び位相を自動的に検出予測して合
成キャンセル信号を作成できるから、商用交流電圧や周
期性ノイズ信号の周波数が分からなくとも除去可能とな
る。

【００４１】さらに、第２のノイズ周波数検出部９に
て、それら相互相関関数に基づき、この相互相関関数を
求めた時点における各々のノイズ信号の周波数を第２の
検出周波数として再検出し、ノイズ信号解析部５ではそ
れらの第２の検出周波数によって対応する２個の相互相
関関数を求めるとともにノイズ信号の振幅及び位相を再
計算し、ノイズ信号情報１、２としてキャンセル信号作
成部７へ出力するから、ノイズ信号の周波数が多少変動
しても、合成キャンセル信号がそれに速やかに追随し、
確実にキャンセル可能となる。

【００４２】第１のノイズ周波数検出部１からの２個の
第１の検出周波数にはＦＦＴ処理時の分解能誤差が含ま
れる可能性があり、第２のノイズ周波数検出部９からの
より正確な対応する２個の第２の検出周波数を用いるこ
とにより、正確かつ確実なノイズキャンセルが可能であ
る。

【００４３】上述した構成においては、ＣＰＵの演算速
度などに起因し、第１の検出周波数により相互相関関数
を求めた時点でノイズ信号情報を第２のノイズ周波数検
出部９からの第２の検出周波数によって再計算する時間
がない場合などがあり、初回のノイズキャンセル動作は
第１の周波数検出部１からの第１の検出周波数に基づい
て行い、２回目以降のノイズキャンセル動作は第２のノ
イズ周波数検出部９からの第２の検出周波数を用いるこ
とも可能である。

【００４４】このような使用形態は、周期性ノイズの周
波数などが急激に変化しない場合や、装置自体が第２の
検出周波数を２回目以降に用いるシーケンス構成である
場合であり、第２の検出周波数を次回のノイズ信号情報
に用いても周波数の誤差が少ないと考えられるケースに
適用される。

【００４５】上述した実施の形態は、キャンセル信号作
成部７が、２個の周期性ノイズ信号毎にキャンセル信号
を作成するとともに、これらを合成した１個の合成キャ
ンセル信号を作成して信号キャンセル部３へ加えてキャ
ンセルする構成であったが、各周期性ノイズ信号に対応
したキャンセル信号を合成せずにそのまま信号キャンセ
ル部へ加えてキャンセルする構成も可能であり、信号キ
ャンセル部３はそれら合成前のキャンセル信号によって
測定信号を順次キャンセルするよう形成すればよい。

【００４６】次に、図５を参照して本発明に係るノイズ
キャンセル装置の他の実施の形態を説明する。

【００４７】図５に示す構成は、図１の構成と比較する
と、検出周波数判定部１１を有し、第１のノイズ周波数
検出部１及び第２のノイズ周波数検出部９の出力側が検
出周波数判定部１１のみに接続されており、他の構成は
図１と同様である。

【００４８】検出周波数判定部１１は、第１のノイズ周
波数検出部１と第２のノイズ周波数検出部９で検出され
た２個の第１の検出周波数及びこれらに対応する２個の
第２の検出周波数のいずれを出力するかを各々の検出周
波数毎に判定するものであり、ノイズ信号解析部５に接
続されている。

【００４９】検出周波数判定部１１は、第１のノイズ周
波数検出部１から２個の第１の検出周波数が出力される
毎に、その時点でそれらの第１の検出周波数がすでに検
出されている各々の第２の検出周波数に近い場合、例え
ば各第２の検出周波数が第１のノイズ周波数検出部１に
おける周波数分解能の範囲内である場合には、それらの
第２の検出周波数をノイズ信号解析部５に選択的に出力
して第１の検出周波数を出力せず、逆に、その第２の検
出周波数が第１の検出周波数の周波数分解能の範囲を超
えている場合には、第１のノイズ周波数検出部１からの
それらの第１の検出周波数を出力する機能を有してい
る。

【００５０】換言すれば、検出周波数判定部１１は、第
１のノイズ周波数検出部１から２個の第１の検出周波数
が出力される都度、この時点においてこれとすでに検出
されている対応する各々の第２の検出周波数とを比較
し、各々第２の検出周波数が第１の検出周波数に対する
許容範囲内にあれば、それらの第２の検出周波数を各第
１の検出周波数と同一と判定して第２の検出周波数の方
を、その許容範囲外にあれば、それらの第２の検出周波
数が各第１の検出周波数と異なっていると判定してそれ
らの第１の検出周波数の方を上記ノイズ信号解析部に選
択的に出力する機能を有している。

【００５１】選択条件であるその許容範囲としては、第
１のノイズ周波数検出部１における周波数検出分解能の
誤差範囲内とする以外に、第２の周波数を第１の周波数
と同一と判定する任意の許容範囲を設定する方法なども
可能である。

【００５２】そして、図５に示す構成では、測定信号が
入力されると、第１及び第２のノイズ周波数検出部１、
９が２個の第１及び第２の検出周波数を検出周波数判定
部１１へ出力し、検出周波数判定部１１が、２個の第１
の検出周波数の入力時点において、これらとすでに検出
されている各第２の検出周波数とを比較し、各々第２の
検出周波数がこれらに対応する第１の検出周波数と同一
であると判定すると第２の検出周波数を、周波数が異な
ると判定すると第１の検出周波数をノイズ信号解析部５
へ出力する。

【００５３】ノイズ信号解析部５は、検出周波数判定部
１１からの２個の第１又は第２の検出周波数及び測定信
号を解析してそれらの間の各々の相互相関関数を求め、
これらの相互相関関数に基づき対応する２個のノイズ信
号の振幅及び位相を演算し、２個の第１又は第２の検出
周波数とともにそれら振幅及び位相をノイズ信号情報
１、２としてキャンセル信号作成部７へ出力する。

【００５４】第２のノイズ周波数検出部９及びキャンセ
ル信号作成部７の動作は、図１の構成と同様である。

【００５５】このような図５に示す構成では、検出周波
数判定部１１が、第１のノイズ周波数検出部１で検出さ
れた２個の周波数と、すでに検出されている対応する第
２の検出周波数を比較判定し、各々同一の周波数と判定
されれば、第２の検出周波数より誤差の大きい第１の検
出周波数をノイズ信号解析部５へ出力しないため、測定
信号からノイズ信号を常に確実かつ正確にキャンセルで
きる。

【００５６】すなわち、検出周波数判定部１１を設ける
ことにより、第２のノイズ周波数検出部９が正確な周波
数を検出している状態で、第１のノイズ周波数検出部１
が検出した誤差を含む周波数をノイズ信号解析部５で使
用することを防ぐことができる。

【００５７】他方、各々のノイズ信号について急激な周
波数変動が発生し、第２のノイズ周波数検出部９で検出
できないほどノイズ信号の周波数がずれた場合、第１の
ノイズ周波数検出部１からの第１の検出周波数をノイズ
信号解析部５へ出力することが可能となり、図１の構成
で説明したように、測定信号からノイズ信号をキャンセ
ル可能である。

【００５８】そして、本発明では、キャンセルする周期
性ノイズ信号は２個に限定されず、２個以上複数の周期
性ノイズ信号のキャンセルが可能であり、第１のノイズ
周波数検出部１について、例えば検出レベルの大きな順
に周期性ノイズの周波数を検出するよう形成したり、あ
るレベルの振幅より大きな振幅の周期性ノイズの周波数
を検出するよう形成したり、周期性ノイズの数を限定し
て周波数を検出するよう形成することが可能である。

【００５９】ノイズ信号解析部５，キャンセル信号作成
部７、第２のノイズ周波数検出部９及び検出周波数判定
部１１は、除去する周期性ノイズの数に合わせて形成す
れば良い。

【００６０】さらに、上述した信号キャンセル部３は加
算機能を有するものであったが、減算機能を有するよう
形成可能であり、測定信号に含まれる商用交流電圧ノイ
ズ信号と同位相の信号をキャンセル信号として減算する
よう形成すれば良い。

【００６１】さらにまた、上述した実施の形態では、周
期性ノイズ信号として商用交流電圧ノイズ信号をキャン
セルする例を説明したが、本発明ではこれ以外に各種の
周期性ノイズ信号の除去に応用可能である。

【００６２】

【発明の効果】以上、説明したように本発明のノイズキ
ャンセル装置によれば、測定信号を遅延させることなく
商用交流電圧ノイズ信号などの複数の周期性ノイズを除
去できるうえ、各々の周期性ノイズの周波数が分からな
くとも、それらの周期性ノイズを確実に除去できる。ま
た、複数のノイズ信号の各相互相関関数を求めた時点に
おけるそれらのノイズ信号に対応する周波数を再検出す
る第２のノイズ周波数検出部を設け、ノイズ信号解析部
においてそれらの第２の検出周波数でノイズ信号の周波
数を再演算する構成では、第１の検出周波数に基づいた
複数の第２の検出周波数を使用することにより、より正
確な周波数で各々のノイズ除去が可能となるとともに、
それらの周期性ノイズ信号の周波数が変動しても速やか
に追随してキャンセル可能となる利点がある。さらに、
第１のノイズ周波数検出部１が複数の第１の検出周波数
を出力した時点において、それら各々の第１の検出周波
数とこれらに対応する第２の検出周波数とを比較し、各
々の第２の検出周波数が第１の検出周波数に対する許容
範囲内にあれば各々の第２の検出周波数を、その許容範
囲外にあれば各々の第１の検出周波数を上記ノイズ信号
解析部に出力する検出周波数判定部を有する構成では、
検出された周波数の誤差を大きくすることがなく、より
正確なノイズキャンセル動作がなされるし、第２のノイ
ズ周波数検出部９が対応できないほど速く周波数変動が
起こった場合でも、同様に確実なノイズキンセル動作を
確保できる利点がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るノイズキャンセル装置の実施の形
態を示すブロック図である。

【図２】図１のノイズキャンセル装置の動作を説明する
波形図である。

【図３】図１のノイズキャンセル装置の動作を説明する
波形図である。

【図４】図１のノイズキャンセル装置の動作を説明する
波形図である。

【図５】本発明に係るノイズキャンセル装置の他の実施
の形態を示すブロック図である。

【符号の説明】

１ 第１のノイズ周波数検出部 ３ 信号キャンセル部 ５ ノイズ信号解析部 ７ キャンセル信号作成部 ９ 第２のノイズ周波数検出部 １１ 検出周波数判定部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小場 昭範 東京都大田区久が原５丁目16番６号 理化 工業株式会社内 Ｆターム(参考） 5K052 AA03 DD01 EE38 FF31 GG19 GG57

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 測定信号をＦＦＴ処理して互いに周期の
   異なる複数の周期性ノイズ信号の周波数を第１の周波数
   として複数検出する第１のノイズ周波数検出部と、 複数の前記第１の検出周波数と前記測定信号とを解析
   し、個々の前記第１の検出周波数と測定信号との間の相
   互相関関数を複数求めるとともに、各々の相互相関関数
   に基づき、各相互相関関数の得られた時点以降について
   各々の前記周期性ノイズ信号に係る振幅及び位相を演算
   し、これら及びこれらに対応する前記第１の検出周波数
   をノイズ信号情報として出力するノイズ信号解析部と、 前記ノイズ信号情報から複数の前記周期性ノイズ信号を
   キャンセルするキャンセル信号を作成するキャンセル信
   号作成部と、 前記測定信号と前記キャンセル信号を演算して複数の前
   記周期性ノイズ信号をキャンセルする信号キャンセル部
   と、 を具備することを特徴とするノイズキャンセル装置。
2. 【請求項２】 前記キャンセル信号作成部は、複数の前
   記周期性ノイズ信号をキャンセルする合成キャンセル信
   号を作成し、前記信号キャンセル部は、前記合成キャン
   セル信号を用いてキャンセルするよう形成された請求項
   １記載のノイズキャンセル装置。
3. 【請求項３】 複数の前記相互相関関数に基づき、対応
   する各々の前記ノイズ信号情報を求めた時点における各
   々の前記周期性ノイズ信号の周波数を第２の検出周波数
   として複数検出する第２のノイズ周波数検出部を有し、
   前記ノイズ信号解析部は、各々の前記第２の検出周波数
   でこれらに対応する各々の前記ノイズ信号情報を再演算
   して出力するものである請求項１又は２記載のノイズキ
   ャンセル装置。
4. 【請求項４】 複数の前記第１の検出周波数とこれらに
   対応する各々の第２の検出周波数とを比較し、各々の前
   記第２の検出周波数がこれらに対応する前記第１の検出
   周波数に関する許容範囲内にあれば対応する前記第２の
   検出周波数を、前記許容範囲外にあれば対応する前記第
   １の検出周波数を前記ノイズ信号解析部に出力する検出
   周波数判定部を有する請求項３記載のノイズキャンセル
   装置。