JP2003160311A - オゾン発生器 - Google Patents
オゾン発生器Info
- Publication number
- JP2003160311A JP2003160311A JP2001357862A JP2001357862A JP2003160311A JP 2003160311 A JP2003160311 A JP 2003160311A JP 2001357862 A JP2001357862 A JP 2001357862A JP 2001357862 A JP2001357862 A JP 2001357862A JP 2003160311 A JP2003160311 A JP 2003160311A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- voltage electrode
- low
- ozone generator
- ozone
- dielectric
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B13/00—Oxygen; Ozone; Oxides or hydroxides in general
- C01B13/10—Preparation of ozone
- C01B13/11—Preparation of ozone by electric discharge
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2201/00—Preparation of ozone by electrical discharge
- C01B2201/10—Dischargers used for production of ozone
- C01B2201/12—Plate-type dischargers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2201/00—Preparation of ozone by electrical discharge
- C01B2201/20—Electrodes used for obtaining electrical discharge
- C01B2201/22—Constructional details of the electrodes
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2201/00—Preparation of ozone by electrical discharge
- C01B2201/30—Dielectrics used in the electrical dischargers
- C01B2201/32—Constructional details of the dielectrics
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2201/00—Preparation of ozone by electrical discharge
- C01B2201/70—Cooling of the discharger; Means for making cooling unnecessary
- C01B2201/74—Cooling of the discharger; Means for making cooling unnecessary by liquid
- C01B2201/76—Water
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 組立作業が簡単化されるとともに小型化さ
れ、かつ高濃度、高効率である等のオゾン発生器を得
る。 【解決手段】 この発明は、低圧電極２９は、高圧電極
８と対向した円形状の低圧電極本体２９ａと、この低圧
電極本体２９ａの片側に設けられた延設部２９ｂとから
構成され、かつこの延設部２９ｂはブロック３０を介し
て複数段に積層され、延設部２９ｂおよびブロック３０
には、冷媒通路３４に冷媒を供給する冷媒入口部、冷媒
通路３４からの冷媒を排出する冷媒出口部３５およびオ
ゾンガス通路３６からのオゾンガスを排出するオゾンガ
ス出口部３３のそれぞれが放電セル２８の積層方向に貫
通して形成されている。
れ、かつ高濃度、高効率である等のオゾン発生器を得
る。 【解決手段】 この発明は、低圧電極２９は、高圧電極
８と対向した円形状の低圧電極本体２９ａと、この低圧
電極本体２９ａの片側に設けられた延設部２９ｂとから
構成され、かつこの延設部２９ｂはブロック３０を介し
て複数段に積層され、延設部２９ｂおよびブロック３０
には、冷媒通路３４に冷媒を供給する冷媒入口部、冷媒
通路３４からの冷媒を排出する冷媒出口部３５およびオ
ゾンガス通路３６からのオゾンガスを排出するオゾンガ
ス出口部３３のそれぞれが放電セル２８の積層方向に貫
通して形成されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、低圧電極と高圧
電極との間の放電空間に交流高電圧を印加してオゾンガ
スを生じさせるオゾン発生器に関するものである。
電極との間の放電空間に交流高電圧を印加してオゾンガ
スを生じさせるオゾン発生器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図２５は例えば特許第３１１３８８５号
公報に記載された従来の積層式オゾン発生器の断面図で
ある。この直方体形状のオゾン発生器は、基台１と、こ
の基台１上に複数段に積層された放電セル２と、基台１
の両側に放電セル２の低圧電極４を挟んで積層されたブ
ロック３と、低圧電極４およびブロック３を貫通し、先
端部が螺着して基台１、放電セル２およびブロック３を
一体化した複数本の締め付けボルト５とを備えている。
放電セル２は、高圧電極８と、この高圧電極の両面に面
接触した誘電体７と、この誘電体７と放電空隙６を介し
て対向した低圧電極４とを備えている。誘電体７はガラ
スで構成されている。高圧電極８はステンレス鋼板等の
導電性薄板からなり、その一部は図示しない給電端子に
接続されている。
公報に記載された従来の積層式オゾン発生器の断面図で
ある。この直方体形状のオゾン発生器は、基台１と、こ
の基台１上に複数段に積層された放電セル２と、基台１
の両側に放電セル２の低圧電極４を挟んで積層されたブ
ロック３と、低圧電極４およびブロック３を貫通し、先
端部が螺着して基台１、放電セル２およびブロック３を
一体化した複数本の締め付けボルト５とを備えている。
放電セル２は、高圧電極８と、この高圧電極の両面に面
接触した誘電体７と、この誘電体７と放電空隙６を介し
て対向した低圧電極４とを備えている。誘電体７はガラ
スで構成されている。高圧電極８はステンレス鋼板等の
導電性薄板からなり、その一部は図示しない給電端子に
接続されている。
【０００３】放電空隙６にはスペーサ９が所定の間隔で
複数本配設されている。このスペーサ９は剛性体で構成
され、かつ図２５において紙面に対して垂直方向に延び
ている。このスペーサ９の径寸法は、オゾン発生器を締
め付けボルト５で締め付けることで必然的に決定される
放電空隙長よりも小さい値であり、スペーサ９は放電空
隙６内で浮いている。なお、放電空隙内のスペーサを弾
性体にした場合、スペーサは前記放電空隙より大きい径
になっており、スペーサは若干押し潰されるようになっ
ている。
複数本配設されている。このスペーサ９は剛性体で構成
され、かつ図２５において紙面に対して垂直方向に延び
ている。このスペーサ９の径寸法は、オゾン発生器を締
め付けボルト５で締め付けることで必然的に決定される
放電空隙長よりも小さい値であり、スペーサ９は放電空
隙６内で浮いている。なお、放電空隙内のスペーサを弾
性体にした場合、スペーサは前記放電空隙より大きい径
になっており、スペーサは若干押し潰されるようになっ
ている。
【０００４】放電空隙６は、ブロック３、低圧電極４お
よび基台１のそれぞれの端部を放電セル２の積層方向に
貫通したオゾンガス出口部１０に連通している。それぞ
れの低圧電極４には冷媒通路１１が形成されている。各
冷媒通路１１の端部は、ブロック３、低圧電極４および
基台１を貫通した冷媒出口部１２に接続されている。こ
の冷媒出口部１２はオゾン発生器の幅方向（紙面に向か
って垂直方向）の手前側に形成されている。また、オゾ
ン発生器の幅方向の奥側には冷媒通路１１に接続された
冷媒入口部（図示せず）が形成されている。
よび基台１のそれぞれの端部を放電セル２の積層方向に
貫通したオゾンガス出口部１０に連通している。それぞ
れの低圧電極４には冷媒通路１１が形成されている。各
冷媒通路１１の端部は、ブロック３、低圧電極４および
基台１を貫通した冷媒出口部１２に接続されている。こ
の冷媒出口部１２はオゾン発生器の幅方向（紙面に向か
って垂直方向）の手前側に形成されている。また、オゾ
ン発生器の幅方向の奥側には冷媒通路１１に接続された
冷媒入口部（図示せず）が形成されている。
【０００５】次に、上記構成のオゾン発生器の動作につ
いて説明する。低圧電極４と高圧電極８との間に交流高
電圧を印加すると、誘電体７を介して放電空隙６に誘電
体バリヤー放電が発生する。この放電によって、紙面の
手前側および奥側の両側に形成された酸素ガス入口部
（図示せず）から中間部で衝突するように放電空隙６に
導入された酸素ガスは一旦酸素原子に解離し、ほぼ同時
にこの酸素原子と他の酸素分子との衝突、および酸素原
子、酸素分子および壁等による三体衝突が引き起こされ
オゾンガスが生成される。そして、放電空隙６に連続し
て酸素ガスが供給されることで、放電で生成されたオゾ
ンガスは、オゾンガス出口部１０からオゾンガスとして
連続的に取り出される。
いて説明する。低圧電極４と高圧電極８との間に交流高
電圧を印加すると、誘電体７を介して放電空隙６に誘電
体バリヤー放電が発生する。この放電によって、紙面の
手前側および奥側の両側に形成された酸素ガス入口部
（図示せず）から中間部で衝突するように放電空隙６に
導入された酸素ガスは一旦酸素原子に解離し、ほぼ同時
にこの酸素原子と他の酸素分子との衝突、および酸素原
子、酸素分子および壁等による三体衝突が引き起こされ
オゾンガスが生成される。そして、放電空隙６に連続し
て酸素ガスが供給されることで、放電で生成されたオゾ
ンガスは、オゾンガス出口部１０からオゾンガスとして
連続的に取り出される。
【０００６】この放電で取り出せるオゾン発生効率は最
大で約２０％と言われている。放電電力の８０％は電極
を加熱してロスする。また、オゾンガスの発生効率は電
極温度に依存しており、電極４、８の温度（厳密にいう
と放電空隙中の酸素ガスおよびオゾンガスの温度）が低
いほど発生効率が高い。そのため、低圧電極４を冷媒で
ある冷却水等で直接冷却し、また放電空隙６の放電空隙
長を短くすることで放電空隙６中のガス温度の上昇を抑
制し、かつ電子温度を高めることでオゾン生成効率を高
め、オゾン分解を抑制して、結果として効率良く高濃度
のオゾンガスを取り出すようにしている。この例では、
冷媒が冷媒入口部からそれぞれの低圧電極４の冷媒通路
１１に流れ、冷媒出口部１２からオゾン発生器の外部に
排出されることで、低圧電極４が冷却されている。
大で約２０％と言われている。放電電力の８０％は電極
を加熱してロスする。また、オゾンガスの発生効率は電
極温度に依存しており、電極４、８の温度（厳密にいう
と放電空隙中の酸素ガスおよびオゾンガスの温度）が低
いほど発生効率が高い。そのため、低圧電極４を冷媒で
ある冷却水等で直接冷却し、また放電空隙６の放電空隙
長を短くすることで放電空隙６中のガス温度の上昇を抑
制し、かつ電子温度を高めることでオゾン生成効率を高
め、オゾン分解を抑制して、結果として効率良く高濃度
のオゾンガスを取り出すようにしている。この例では、
冷媒が冷媒入口部からそれぞれの低圧電極４の冷媒通路
１１に流れ、冷媒出口部１２からオゾン発生器の外部に
排出されることで、低圧電極４が冷却されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記構成のオゾンガス
発生器では、冷媒出口部１２および冷媒入口部と、オゾ
ンガス出口部１０とはオゾンガス発生器の両側に離れて
形成されており、またそれぞれは両側に離れた別体のブ
ロック３を貫通して形成されているので、冷媒出口部１
２、冷媒入口部およびオゾンガス出口部１０を形成する
それぞれの貫通孔の位置合わせに手間取り、組立作業に
時間がかかるという問題点があった。また、冷媒出口部
１２および冷媒入口部とオゾンガス出口部１０とがオゾ
ンガス発生器の両側に離れて形成されており、全体の構
造が大型化してしまうという問題点もあった。
発生器では、冷媒出口部１２および冷媒入口部と、オゾ
ンガス出口部１０とはオゾンガス発生器の両側に離れて
形成されており、またそれぞれは両側に離れた別体のブ
ロック３を貫通して形成されているので、冷媒出口部１
２、冷媒入口部およびオゾンガス出口部１０を形成する
それぞれの貫通孔の位置合わせに手間取り、組立作業に
時間がかかるという問題点があった。また、冷媒出口部
１２および冷媒入口部とオゾンガス出口部１０とがオゾ
ンガス発生器の両側に離れて形成されており、全体の構
造が大型化してしまうという問題点もあった。
【０００８】また、基台１、放電セル２およびブロック
３の一体化は、オゾン発生器の両端部の複数本の締め付
けボルト５でなされているので、放電セル２が円弧状に
僅かに曲がる場合があり、特に放電空隙長が０．１ｍｍ
といった短いときには、その影響を大きく受けて、放電
空隙長が不均一となり、高濃度のオゾンガスが得られな
いといった問題点もあった。
３の一体化は、オゾン発生器の両端部の複数本の締め付
けボルト５でなされているので、放電セル２が円弧状に
僅かに曲がる場合があり、特に放電空隙長が０．１ｍｍ
といった短いときには、その影響を大きく受けて、放電
空隙長が不均一となり、高濃度のオゾンガスが得られな
いといった問題点もあった。
【０００９】また、放電空隙形成用のスペーサ９は、剛
性体であり、締め付けボルト５を用いて基台１、放電セ
ル２およびブロック３を一体化したときに必然的に決定
される放電空隙長より小さい径になるように設計されて
いるが、このように設計した場合に、次のような問題点
があった。即ち、放電空隙長を小さくして高濃度のオゾ
ンガスを発生させる場合、スペーサ９に沿って流れる
（図２５において紙面に対して垂直方向）ガスの圧損よ
りも、隣接したスペーサ９を横切って流れる（図２５に
おいて紙面に沿った方向）ガスの圧損が非常に小さくな
るため、酸素ガスの多くは隣接したスペーサ９を横切っ
て流れ、酸素ガス入口部から流入した酸素ガスが端部に
あるオゾンガス出口部１０に向かって流れる、所謂ガス
の流れの「ショートパス現象」が生じてしまい、オゾン
ガス発生効率が低下してしまうという問題点があった。
性体であり、締め付けボルト５を用いて基台１、放電セ
ル２およびブロック３を一体化したときに必然的に決定
される放電空隙長より小さい径になるように設計されて
いるが、このように設計した場合に、次のような問題点
があった。即ち、放電空隙長を小さくして高濃度のオゾ
ンガスを発生させる場合、スペーサ９に沿って流れる
（図２５において紙面に対して垂直方向）ガスの圧損よ
りも、隣接したスペーサ９を横切って流れる（図２５に
おいて紙面に沿った方向）ガスの圧損が非常に小さくな
るため、酸素ガスの多くは隣接したスペーサ９を横切っ
て流れ、酸素ガス入口部から流入した酸素ガスが端部に
あるオゾンガス出口部１０に向かって流れる、所謂ガス
の流れの「ショートパス現象」が生じてしまい、オゾン
ガス発生効率が低下してしまうという問題点があった。
【００１０】ショートパスを生じさせることなく、酸素
ガスがスペーサ９に沿って流れるようにするためには、
スペーサ９に沿って流れる酸素ガスの圧損よりも、隣接
したスペーサ９を横切って流れる酸素ガスの圧損の値を
約１０倍以上にしなければならないことが分かってい
る。そして、例えば、放電空隙長が０．１ｍｍ程度のオ
ゾン発生器の場合、スペーサ９と放電空隙６との隙間を
極微小にしなければならないが、そのために求められる
スペーサ９の寸法は、製作上不可能に近い値であり、シ
ョートパスは避けられない。
ガスがスペーサ９に沿って流れるようにするためには、
スペーサ９に沿って流れる酸素ガスの圧損よりも、隣接
したスペーサ９を横切って流れる酸素ガスの圧損の値を
約１０倍以上にしなければならないことが分かってい
る。そして、例えば、放電空隙長が０．１ｍｍ程度のオ
ゾン発生器の場合、スペーサ９と放電空隙６との隙間を
極微小にしなければならないが、そのために求められる
スペーサ９の寸法は、製作上不可能に近い値であり、シ
ョートパスは避けられない。
【００１１】この発明は、上記のような問題点を解決す
ることを課題とするものであって、組立作業が簡単化さ
れるとともに小型化され、かつ高濃度、高効率である等
のオゾン発生器を得ることを目的とする。
ることを課題とするものであって、組立作業が簡単化さ
れるとともに小型化され、かつ高濃度、高効率である等
のオゾン発生器を得ることを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】この発明のオゾン発生器
では、低圧電極は、高圧電極と対向した円形状の低圧電
極本体と、この低圧電極本体の片側に設けられた延設部
とから構成され、かつこの延設部はブロックを介して複
数段に基台上に積層され、前記延設部および前記ブロッ
クには、冷媒通路に冷媒を供給する冷媒入口部、前記冷
媒通路からの冷媒を排出する冷媒出口部およびオゾンガ
ス通路からのオゾンガスを排出するオゾンガス出口部の
それぞれが放電セルの積層方向に貫通して形成されてい
る。
では、低圧電極は、高圧電極と対向した円形状の低圧電
極本体と、この低圧電極本体の片側に設けられた延設部
とから構成され、かつこの延設部はブロックを介して複
数段に基台上に積層され、前記延設部および前記ブロッ
クには、冷媒通路に冷媒を供給する冷媒入口部、前記冷
媒通路からの冷媒を排出する冷媒出口部およびオゾンガ
ス通路からのオゾンガスを排出するオゾンガス出口部の
それぞれが放電セルの積層方向に貫通して形成されてい
る。
【００１３】この発明のオゾン発生器では、交互に積層
された延設部およびブロックは、延設部およびブロック
を貫通し、基台に端部が螺着された第１の締め付けボル
トで結合され、交互に積層された、高圧電極、低圧電極
本体および誘電体は、最上階の低圧電極に接触した電極
押さえ板を貫通し、基台に端部が螺着された第２の締め
付けボルトの電極押さえ板と基台との間に作用する挟持
力で結合され、前記第１の締め付けボルトの結合力は前
記第２の締め付けボルトの結合力よりも弱い。
された延設部およびブロックは、延設部およびブロック
を貫通し、基台に端部が螺着された第１の締め付けボル
トで結合され、交互に積層された、高圧電極、低圧電極
本体および誘電体は、最上階の低圧電極に接触した電極
押さえ板を貫通し、基台に端部が螺着された第２の締め
付けボルトの電極押さえ板と基台との間に作用する挟持
力で結合され、前記第１の締め付けボルトの結合力は前
記第２の締め付けボルトの結合力よりも弱い。
【００１４】この発明のオゾン発生器では、冷媒入口
部、冷媒出口部およびオゾンガス出口部は同一線上に形
成されている。
部、冷媒出口部およびオゾンガス出口部は同一線上に形
成されている。
【００１５】この発明のオゾン発生器では、低圧電極
は、片面に凹凸面を有する第１の低圧電極部と、片面に
凹凸面を有する第２の低圧電極部とを有しており、前記
第１の低圧電極部の凹凸面と前記第２の低圧電極部の凹
凸面とを当接して冷媒通路およびオゾンガス通路が形成
されている。
は、片面に凹凸面を有する第１の低圧電極部と、片面に
凹凸面を有する第２の低圧電極部とを有しており、前記
第１の低圧電極部の凹凸面と前記第２の低圧電極部の凹
凸面とを当接して冷媒通路およびオゾンガス通路が形成
されている。
【００１６】この発明のオゾン発生器では、低圧電極
は、片面に凹凸面を有する第１の低圧電極部と、片面に
凹凸面を有する第２の低圧電極部と、前記第１の低圧電
極部と前記第２の低圧電極部との間に介在した第３の低
圧電極部とを有しており、前記第１の低圧電極部、前記
第２の低圧電極部および前記第３の低圧電極部を重ね合
わせることで冷媒通路が異なる層に分離して形成されて
いる。
は、片面に凹凸面を有する第１の低圧電極部と、片面に
凹凸面を有する第２の低圧電極部と、前記第１の低圧電
極部と前記第２の低圧電極部との間に介在した第３の低
圧電極部とを有しており、前記第１の低圧電極部、前記
第２の低圧電極部および前記第３の低圧電極部を重ね合
わせることで冷媒通路が異なる層に分離して形成されて
いる。
【００１７】この発明のオゾン発生器では、低圧電極部
同士は、加熱および加圧のみで接合されている。
同士は、加熱および加圧のみで接合されている。
【００１８】この発明のオゾン発生器では、オゾンガス
通路に対応した低圧電極の表面にスペーサ覆体が設けら
れている。
通路に対応した低圧電極の表面にスペーサ覆体が設けら
れている。
【００１９】この発明のオゾン発生器では、低圧電極の
放電空隙に面した表面は、誘電体膜で覆われている。
放電空隙に面した表面は、誘電体膜で覆われている。
【００２０】この発明のオゾン発生器では、低圧電極の
放電空隙に面した表面は、スペーサ付きの誘電体シート
が接着されている。
放電空隙に面した表面は、スペーサ付きの誘電体シート
が接着されている。
【００２１】この発明のオゾン発生器では、誘電体膜
は、セラミックまたはＳiＯ2の成分を含んだガラス状で
ある。
は、セラミックまたはＳiＯ2の成分を含んだガラス状で
ある。
【００２２】この発明のオゾン発生器では、誘電体シー
トは、セラミックまたはＳiＯ2の成分を含んだガラス状
である。
トは、セラミックまたはＳiＯ2の成分を含んだガラス状
である。
【００２３】この発明のオゾン発生器では、低圧電極ま
たは高圧電極に接触する側の誘電体の表面には、導電膜
が設けられている。
たは高圧電極に接触する側の誘電体の表面には、導電膜
が設けられている。
【００２４】この発明のオゾン発生器では、高圧電極に
接触する側の誘電体の表面に形成された導電膜は、オゾ
ンガス通路に対応した領域で導電膜が削除された削除領
域を有する。
接触する側の誘電体の表面に形成された導電膜は、オゾ
ンガス通路に対応した領域で導電膜が削除された削除領
域を有する。
【００２５】この発明のオゾン発生器では、誘電体と、
この誘電体に一体化される高圧電極または低圧電極との
間には、良熱伝導性、良電気伝導性のコンパウンドが設
けられている。
この誘電体に一体化される高圧電極または低圧電極との
間には、良熱伝導性、良電気伝導性のコンパウンドが設
けられている。
【００２６】この発明のオゾン発生器では、導電膜の外
周縁部は絶縁保護膜で被覆されている。
周縁部は絶縁保護膜で被覆されている。
【００２７】この発明のオゾン発生器では、誘電体の片
面にスペーサが設けられている。
面にスペーサが設けられている。
【００２８】この発明のオゾン発生器では、高圧電極の
外径寸法が、誘電体の外径寸法よりも小さい。
外径寸法が、誘電体の外径寸法よりも小さい。
【００２９】この発明のオゾン発生器では、ブロック
は、第１のブロック部と、この第１のブロック部に嵌着
された第２のブロック部と、前記第１のブロック部と前
記第２のブロック部との間に設けられた弾性体とを有し
ている。
は、第１のブロック部と、この第１のブロック部に嵌着
された第２のブロック部と、前記第１のブロック部と前
記第２のブロック部との間に設けられた弾性体とを有し
ている。
【００３０】
【発明の実施の形態】実施の形態１．以下、この発明の
各実施の形態１について説明するが、従来のものと同
一、または相当部材、部位については、同一符号を付し
て説明する。図１はこの発明の実施の形態１のオゾン発
生器が含まれるオゾン発生装置の構成図、図２は図１の
オゾン発生器１６のカバー２７を除いた内部構造の断面
図、図３は図２のブロック３０の断面図、図４は図１の
低圧電極の平面図、図５は図４の低圧電極のＡ−Ａ線に
沿った断面図、図６は図４の低圧電極のＢ−Ｂ線に沿っ
た断面図である。このオゾン発生装置は、オゾン発生器
１６、オゾントランス１７および高周波インバータ１８
を備えている。この高周波インバータ１８では電源入力
１９からの電力により、必要な周波数に変換され、更に
オゾン発生器１６に必要な電圧までオゾントランス１７
で昇圧され、必要な電力がオゾン発生器１６に供給され
ている。また、高周波インバータ１８は電流／電圧を制
御する機能を有し、電力注入量を制御する。オゾントラ
ンス１７から供給される高電圧は、高電圧ケーブル２０
から高圧ブッシング２１を通してオゾン発生器１６内の
高圧電極８に供給されている。また、オゾントランス１
７は基台１と低電圧ケーブル２４を通じて接続されてい
る。
各実施の形態１について説明するが、従来のものと同
一、または相当部材、部位については、同一符号を付し
て説明する。図１はこの発明の実施の形態１のオゾン発
生器が含まれるオゾン発生装置の構成図、図２は図１の
オゾン発生器１６のカバー２７を除いた内部構造の断面
図、図３は図２のブロック３０の断面図、図４は図１の
低圧電極の平面図、図５は図４の低圧電極のＡ−Ａ線に
沿った断面図、図６は図４の低圧電極のＢ−Ｂ線に沿っ
た断面図である。このオゾン発生装置は、オゾン発生器
１６、オゾントランス１７および高周波インバータ１８
を備えている。この高周波インバータ１８では電源入力
１９からの電力により、必要な周波数に変換され、更に
オゾン発生器１６に必要な電圧までオゾントランス１７
で昇圧され、必要な電力がオゾン発生器１６に供給され
ている。また、高周波インバータ１８は電流／電圧を制
御する機能を有し、電力注入量を制御する。オゾントラ
ンス１７から供給される高電圧は、高電圧ケーブル２０
から高圧ブッシング２１を通してオゾン発生器１６内の
高圧電極８に供給されている。また、オゾントランス１
７は基台１と低電圧ケーブル２４を通じて接続されてい
る。
【００３１】このオゾン発生器１６は、基台１と、この
基台１上に複数段に積層された放電セル２８と、放電セ
ル２８の低圧電極２９間に介在したブロック３０と、低
圧電極２９、ブロック３０およびブロック押さえ板３７
を貫通し、先端部が基台１に螺着され、基台１、低圧電
極２９、ブロック３０およびブロック押さえ板３７を一
体化した第１の締め付けボルト１４と、最上階の低圧電
極２９に載置された電極押さえ板３８を貫通し先端部が
基台１に螺着され電極押さえ板３８と基台１とで積層さ
れた放電セル２８を挟持した第２の締め付けボルト１５
とを備えている。この第２の締め付けボルト１５は電極
押さえ板３８の周辺部を貫通しており、放電セル２８を
貫通していない。なお、図中の符号９０は第１の締め付
けボルト１４用の貫通穴である。
基台１上に複数段に積層された放電セル２８と、放電セ
ル２８の低圧電極２９間に介在したブロック３０と、低
圧電極２９、ブロック３０およびブロック押さえ板３７
を貫通し、先端部が基台１に螺着され、基台１、低圧電
極２９、ブロック３０およびブロック押さえ板３７を一
体化した第１の締め付けボルト１４と、最上階の低圧電
極２９に載置された電極押さえ板３８を貫通し先端部が
基台１に螺着され電極押さえ板３８と基台１とで積層さ
れた放電セル２８を挟持した第２の締め付けボルト１５
とを備えている。この第２の締め付けボルト１５は電極
押さえ板３８の周辺部を貫通しており、放電セル２８を
貫通していない。なお、図中の符号９０は第１の締め付
けボルト１４用の貫通穴である。
【００３２】放電セル２８は、放電空隙６に対向した面
に誘電体膜３１が形成され円板形状をした高圧電極８
と、この高圧電極８の両面に面接触した円板形状の誘電
体７と、この誘電体７に放電空隙６を介して対向した低
圧電極２９とを備えている。誘電体７はガラスもしくは
セラミックで構成されている。高圧電極８はステンレス
鋼板等の導電性薄板からなり、その一部は給電端子３２
に接続されている。
に誘電体膜３１が形成され円板形状をした高圧電極８
と、この高圧電極８の両面に面接触した円板形状の誘電
体７と、この誘電体７に放電空隙６を介して対向した低
圧電極２９とを備えている。誘電体７はガラスもしくは
セラミックで構成されている。高圧電極８はステンレス
鋼板等の導電性薄板からなり、その一部は給電端子３２
に接続されている。
【００３３】低圧電極２９は、円形平面体の低圧電極本
体２９ａと、ブロック３０に挟まれた延設部２９ｂとか
ら構成されている。各低圧電極本体２９ａおよび延設部
２９ｂには冷媒通路３４が形成されている。各冷媒通路
３４の端部は、ブロック３０、延設部２９ｂおよび基台
１を貫通した冷媒入口部４２および冷媒出口部３５が形
成されている。この冷媒入口部４２と冷媒出口部３５と
の間にもブロック３０、延設部２９ｂおよび基台１を貫
通しているとともにオゾンガス通路３６と接続されたオ
ゾンガス出口部３３が形成されている。冷媒入口部４
２、冷媒出口部３５およびオゾンガス出口部３３は同一
線上に形成されている。なお、図１および図２では、冷
媒出口部３５およびオゾンガス出口部３３がともにブロ
ック３０、延設部２９ｂおよび基台１を貫通している様
子を示すためにずらして示されている。
体２９ａと、ブロック３０に挟まれた延設部２９ｂとか
ら構成されている。各低圧電極本体２９ａおよび延設部
２９ｂには冷媒通路３４が形成されている。各冷媒通路
３４の端部は、ブロック３０、延設部２９ｂおよび基台
１を貫通した冷媒入口部４２および冷媒出口部３５が形
成されている。この冷媒入口部４２と冷媒出口部３５と
の間にもブロック３０、延設部２９ｂおよび基台１を貫
通しているとともにオゾンガス通路３６と接続されたオ
ゾンガス出口部３３が形成されている。冷媒入口部４
２、冷媒出口部３５およびオゾンガス出口部３３は同一
線上に形成されている。なお、図１および図２では、冷
媒出口部３５およびオゾンガス出口部３３がともにブロ
ック３０、延設部２９ｂおよび基台１を貫通している様
子を示すためにずらして示されている。
【００３４】また、低圧電極２９は、第１の低圧電極部
２９Ａと第２の低圧電極部２９Ｂとから構成されてい
る。それぞれの低圧電極部２９Ａ、２９Ｂには、オゾン
ガス通路３６、冷媒通路３４形成用に数ミリ程度の凹凸
加工が予めエッチング等により施されており、またオゾ
ンガス出口部３３、冷媒出口部３５形成用に孔加工が予
めエッチング等により施されている。また、第１の低圧
電極部２９Ａおよび第２の低圧電極部２９Ｂの片面には
エッチング等により形成されたスペーサ３９が設けられ
ている。そして、この２枚の低圧電極部２９Ａ、２９Ｂ
を接合することで、オゾンガス通路３６、オゾンガス出
口部３３、冷媒通路３４、冷媒出口部３５および冷媒入
口部４２を有する低圧電極２９が形成される。２枚の低
圧電極部２９Ａ、２９Ｂの接合は、ろう付け方式が採用
されており、無酸素状態で加熱接合される。
２９Ａと第２の低圧電極部２９Ｂとから構成されてい
る。それぞれの低圧電極部２９Ａ、２９Ｂには、オゾン
ガス通路３６、冷媒通路３４形成用に数ミリ程度の凹凸
加工が予めエッチング等により施されており、またオゾ
ンガス出口部３３、冷媒出口部３５形成用に孔加工が予
めエッチング等により施されている。また、第１の低圧
電極部２９Ａおよび第２の低圧電極部２９Ｂの片面には
エッチング等により形成されたスペーサ３９が設けられ
ている。そして、この２枚の低圧電極部２９Ａ、２９Ｂ
を接合することで、オゾンガス通路３６、オゾンガス出
口部３３、冷媒通路３４、冷媒出口部３５および冷媒入
口部４２を有する低圧電極２９が形成される。２枚の低
圧電極部２９Ａ、２９Ｂの接合は、ろう付け方式が採用
されており、無酸素状態で加熱接合される。
【００３５】なお、ろう付け接合を採用したときには、
オゾンガス通路３６ではオゾンガスがろう材と酸化反応
が起こり、オゾンガスが分解し、また金属酸化物の生成
等が生じ、金属酸化物がオゾンガスに混入することでク
リーンオゾンガスが損なわれる場合がある。このような
不都合を生じさせないようにするために、金属電極であ
る低圧電極部２９Ａ、２９Ｂの接合方法として、ろう付
け接合の代わりに、低圧電極部２９Ａ、２９Ｂを互いに
重ね合わせ、合わせ面を加熱・加圧するだけで接合する
ようにしてもよい。
オゾンガス通路３６ではオゾンガスがろう材と酸化反応
が起こり、オゾンガスが分解し、また金属酸化物の生成
等が生じ、金属酸化物がオゾンガスに混入することでク
リーンオゾンガスが損なわれる場合がある。このような
不都合を生じさせないようにするために、金属電極であ
る低圧電極部２９Ａ、２９Ｂの接合方法として、ろう付
け接合の代わりに、低圧電極部２９Ａ、２９Ｂを互いに
重ね合わせ、合わせ面を加熱・加圧するだけで接合する
ようにしてもよい。
【００３６】なお、低圧電極２９の冷媒出口部３５、冷
媒入口部４２、およびオゾンガス出口部３３のそれぞれ
の気密性を保つため、図示してないが、ブロック３０と
延設部２９ｂとの間には、冷媒およびオゾンガスシール
用のパッキン等が介在している。
媒入口部４２、およびオゾンガス出口部３３のそれぞれ
の気密性を保つため、図示してないが、ブロック３０と
延設部２９ｂとの間には、冷媒およびオゾンガスシール
用のパッキン等が介在している。
【００３７】ところで、オゾン発生効率を良くするに
は、放電空隙長の精度を上げる必要があり、そのために
低圧電極本体２９ａの両面に設けられ放電空隙長を定め
るスペーサ３９の高さについて高い精度が求められる。
また、放電空隙長の精度に悪影響を与えないようにする
ために、交互に積層された延設部２９ｂおよびブロック
３０を貫通した第１の締め付けボルト１４の結合力は、
交互に積層された高圧電極８、低圧電極本体２９ａおよ
び誘電体７を結合した第２の締め付けボルト１５の結合
力よりも弱くしてある。
は、放電空隙長の精度を上げる必要があり、そのために
低圧電極本体２９ａの両面に設けられ放電空隙長を定め
るスペーサ３９の高さについて高い精度が求められる。
また、放電空隙長の精度に悪影響を与えないようにする
ために、交互に積層された延設部２９ｂおよびブロック
３０を貫通した第１の締め付けボルト１４の結合力は、
交互に積層された高圧電極８、低圧電極本体２９ａおよ
び誘電体７を結合した第２の締め付けボルト１５の結合
力よりも弱くしてある。
【００３８】以下、このオゾン発生器１６の動作につい
て説明する。高圧電極８と低圧電極２９との間に、交流
高電圧を印加すると、放電空隙６で無声（誘電体バリア
ー）放電が発生し、その放電空隙６に低圧電極本体２９
ａの全周囲から中心部に向かって酸素ガスを通すと酸素
ガスが変換されオゾンガスが発生する。このオゾンガス
はオゾンガス通路３６、オゾンガス出口部３３からオゾ
ン発生器１６の外部に排出される。このオゾン発生器１
６の動作時、冷媒である冷却水が冷媒入口部４２から冷
媒通路３４に入り、そこで低圧電極本体２９ａを冷却し
た後冷媒出口部３５からオゾン発生器１６の外部に排出
される。このように、少なくとも低圧電極本体２９ａを
冷却することで、放電空隙６内のガス温度を低く保つこ
とができ、オゾンガスの発生効率を高めている。なお、
この実施の形態では冷媒として冷却水を用いているが、
勿論水に限定されるものではない。
て説明する。高圧電極８と低圧電極２９との間に、交流
高電圧を印加すると、放電空隙６で無声（誘電体バリア
ー）放電が発生し、その放電空隙６に低圧電極本体２９
ａの全周囲から中心部に向かって酸素ガスを通すと酸素
ガスが変換されオゾンガスが発生する。このオゾンガス
はオゾンガス通路３６、オゾンガス出口部３３からオゾ
ン発生器１６の外部に排出される。このオゾン発生器１
６の動作時、冷媒である冷却水が冷媒入口部４２から冷
媒通路３４に入り、そこで低圧電極本体２９ａを冷却し
た後冷媒出口部３５からオゾン発生器１６の外部に排出
される。このように、少なくとも低圧電極本体２９ａを
冷却することで、放電空隙６内のガス温度を低く保つこ
とができ、オゾンガスの発生効率を高めている。なお、
この実施の形態では冷媒として冷却水を用いているが、
勿論水に限定されるものではない。
【００３９】上記のように、このオゾン発生器１６で
は、酸素ガスは、低圧電極本体２９ａの全周囲から放電
空隙６内に入り、そのまま低圧電極本体２９ａの中心部
に向かって流れる。酸素ガスはその途中で酸素ガスがオ
ゾンガスに変換され、そのオゾンガスは、端部が放電空
隙６の中心部に臨んだオゾンガス通路３６およびオゾン
ガス出口部３３を通じてオゾン発生器１６の外部に排出
される。このように、酸素ガスは、最小でも低圧電極本
体２９ａの半径距離の長さ分は流通し、所定の時間交流
高電圧下にさらされるので、所謂「ショートパス」でオ
ゾンガスの発生効率が低下するようなことが防止され
る。
は、酸素ガスは、低圧電極本体２９ａの全周囲から放電
空隙６内に入り、そのまま低圧電極本体２９ａの中心部
に向かって流れる。酸素ガスはその途中で酸素ガスがオ
ゾンガスに変換され、そのオゾンガスは、端部が放電空
隙６の中心部に臨んだオゾンガス通路３６およびオゾン
ガス出口部３３を通じてオゾン発生器１６の外部に排出
される。このように、酸素ガスは、最小でも低圧電極本
体２９ａの半径距離の長さ分は流通し、所定の時間交流
高電圧下にさらされるので、所謂「ショートパス」でオ
ゾンガスの発生効率が低下するようなことが防止され
る。
【００４０】また、延設部２９ｂおよびブロック３０に
は、冷媒通路３４に冷媒を供給する冷媒入口部４２、冷
媒通路３４からの冷媒を排出する冷媒出口部３５および
低圧電極２９に形成されたオゾンガス通路３６に接続さ
れたオゾンガス出口部３３のそれぞれが放電セル２８の
積層方向に貫通して形成されており、冷媒入口部４２、
冷媒出口部３５およびオゾンガス出口部３３はオゾン発
生器１６の片側に集合しているので、オゾン発生器１６
がコンパクト化される。また、冷媒入口部４２、冷媒出
口部３５およびオゾンガス出口部３３は同一直線上に形
成されているので、放電セル２８の積層作業における位
置合わせが容易となり、作業性能が向上する。
は、冷媒通路３４に冷媒を供給する冷媒入口部４２、冷
媒通路３４からの冷媒を排出する冷媒出口部３５および
低圧電極２９に形成されたオゾンガス通路３６に接続さ
れたオゾンガス出口部３３のそれぞれが放電セル２８の
積層方向に貫通して形成されており、冷媒入口部４２、
冷媒出口部３５およびオゾンガス出口部３３はオゾン発
生器１６の片側に集合しているので、オゾン発生器１６
がコンパクト化される。また、冷媒入口部４２、冷媒出
口部３５およびオゾンガス出口部３３は同一直線上に形
成されているので、放電セル２８の積層作業における位
置合わせが容易となり、作業性能が向上する。
【００４１】また、この発明のオゾン発生器によれば、
低圧電極本体２９ａおよび高圧電極８が電極押さえ板３
８および第２の締め付けボルト１５で基台１に押し付け
られ、またブロック３０で挟まれた延設部２９ｂもブロ
ック押さえ板３７と締め付けボルト５で基台１に押し付
けられ、しかもそれぞれの押し付け力は、ブロック３０
側の方が電極側よりも若干弱めであるので、ブロック３
０側の押し付け力が放電空隙長の寸法精度に悪影響を与
えるようなことはなく、放電空隙長は所定の寸法精度が
確保される。
低圧電極本体２９ａおよび高圧電極８が電極押さえ板３
８および第２の締め付けボルト１５で基台１に押し付け
られ、またブロック３０で挟まれた延設部２９ｂもブロ
ック押さえ板３７と締め付けボルト５で基台１に押し付
けられ、しかもそれぞれの押し付け力は、ブロック３０
側の方が電極側よりも若干弱めであるので、ブロック３
０側の押し付け力が放電空隙長の寸法精度に悪影響を与
えるようなことはなく、放電空隙長は所定の寸法精度が
確保される。
【００４２】実施の形態２．図７はこの発明の実施の形
態２のオゾン発生器１６の低圧電極４３の平面図、図８
は図７の低圧電極４３のＡ−Ａ線に沿った断面図、図９
は図７の低圧電極４３のＢ−Ｂ線に沿った断面図であ
る。この実施の形態では、低圧電極４３は、第１の低圧
電極部４３Ａ、第２の低圧電極部４３Ｂ、第３の低圧電
極部４３Ｃおよび第４の低圧電極部４３Ｄとから構成さ
れている。第１の低圧電極部４３Ａおよび第２の低圧電
極部４３Ｂには、冷媒通路３４形成用に数ミリ程度の凹
凸部がエッチング等により予め加工され、またオゾンガ
ス出口部３３、冷媒入口部４２および冷媒出口部３５用
の孔がエッチング等により予め加工されている。第３の
低圧電極部４３Ｃおよび第４の低圧電極部４３Ｄには、
オゾンガス通路３６形成用の数ミリ程度の凹凸部がエッ
チング等により加工され、またオゾンガス出口部３３、
冷媒入口部４２および冷媒出口部３５形成用の孔がエッ
チング等により加工されている。この４枚の低圧電極部
４３Ａ〜４３Ｄを接合することで、オゾンガス通路３
６、オゾンガス出口部３３、冷媒通路３４、冷媒出口部
３５および冷媒入口部４２を有する低圧電極４３が形成
されている。また、このときの冷媒通路３４およびオゾ
ンガス通路３６は異なる層に分離して形成されている。
なお、他の構成は、実施の形態１と同様である。
態２のオゾン発生器１６の低圧電極４３の平面図、図８
は図７の低圧電極４３のＡ−Ａ線に沿った断面図、図９
は図７の低圧電極４３のＢ−Ｂ線に沿った断面図であ
る。この実施の形態では、低圧電極４３は、第１の低圧
電極部４３Ａ、第２の低圧電極部４３Ｂ、第３の低圧電
極部４３Ｃおよび第４の低圧電極部４３Ｄとから構成さ
れている。第１の低圧電極部４３Ａおよび第２の低圧電
極部４３Ｂには、冷媒通路３４形成用に数ミリ程度の凹
凸部がエッチング等により予め加工され、またオゾンガ
ス出口部３３、冷媒入口部４２および冷媒出口部３５用
の孔がエッチング等により予め加工されている。第３の
低圧電極部４３Ｃおよび第４の低圧電極部４３Ｄには、
オゾンガス通路３６形成用の数ミリ程度の凹凸部がエッ
チング等により加工され、またオゾンガス出口部３３、
冷媒入口部４２および冷媒出口部３５形成用の孔がエッ
チング等により加工されている。この４枚の低圧電極部
４３Ａ〜４３Ｄを接合することで、オゾンガス通路３
６、オゾンガス出口部３３、冷媒通路３４、冷媒出口部
３５および冷媒入口部４２を有する低圧電極４３が形成
されている。また、このときの冷媒通路３４およびオゾ
ンガス通路３６は異なる層に分離して形成されている。
なお、他の構成は、実施の形態１と同様である。
【００４３】このように、オゾンガス通路３６の上側お
よび下側に冷媒通路３４を設けたので、冷媒通路３４を
形成する表面積がほぼ２倍に増大し、それだけオゾンガ
ス通路３６の冷却性が向上し、オゾンガス通路３６で温
度上昇によるオゾン分解が抑制され、高濃度のオゾンガ
スを取り出すことができる。なお、３枚の低圧電極部を
重ね合わせることでも、冷媒通路を２層に分離し、かつ
冷媒通路をオゾンガス通路と異なる層に設けた低圧電極
を形成することができる。また、低圧電極部の積層枚数
を５枚以上にすることで、冷媒通路が３層以上に分離し
た低圧電極を形成することもできる。
よび下側に冷媒通路３４を設けたので、冷媒通路３４を
形成する表面積がほぼ２倍に増大し、それだけオゾンガ
ス通路３６の冷却性が向上し、オゾンガス通路３６で温
度上昇によるオゾン分解が抑制され、高濃度のオゾンガ
スを取り出すことができる。なお、３枚の低圧電極部を
重ね合わせることでも、冷媒通路を２層に分離し、かつ
冷媒通路をオゾンガス通路と異なる層に設けた低圧電極
を形成することができる。また、低圧電極部の積層枚数
を５枚以上にすることで、冷媒通路が３層以上に分離し
た低圧電極を形成することもできる。
【００４４】実施の形態３．図１０はこの発明の実施の
形態３のオゾン発生器の低圧電極４４の平面図、図１１
は図１０の低圧電極４４のＡ−Ａ線に沿った断面図、図
１２は図１０の低圧電極４４のＢ−Ｂ線に沿った断面図
である。この実施の形態では、低圧電極４４の低圧電極
本体４４ａの両面の放電面にセラミックを溶射して誘電
体膜４５を形成し、さらに誘電体膜４５上にセラミック
を溶射してスペーサ４６を形成している。その他の構成
は、実施の形態１と同様である。この実施の形態では、
低圧電極４４の放電面は、誘電体膜の材料としてセラミ
ックで構成され、金属面ではない。このため、放電によ
り金属面からスパッタリングによる金属粒子がオゾンガ
スに含まれるようなことはなく、極めてクリーンなオゾ
ンガスが得られる。また、誘電体膜４５をセラミックで
形成することで、放電面がステンレスである低圧電極と
比較して低圧電極４４の熱伝導率が向上して低圧電極４
４の放熱性が向上し、放電電極面をより低温にでき、オ
ゾン取出し効率が向上する。
形態３のオゾン発生器の低圧電極４４の平面図、図１１
は図１０の低圧電極４４のＡ−Ａ線に沿った断面図、図
１２は図１０の低圧電極４４のＢ−Ｂ線に沿った断面図
である。この実施の形態では、低圧電極４４の低圧電極
本体４４ａの両面の放電面にセラミックを溶射して誘電
体膜４５を形成し、さらに誘電体膜４５上にセラミック
を溶射してスペーサ４６を形成している。その他の構成
は、実施の形態１と同様である。この実施の形態では、
低圧電極４４の放電面は、誘電体膜の材料としてセラミ
ックで構成され、金属面ではない。このため、放電によ
り金属面からスパッタリングによる金属粒子がオゾンガ
スに含まれるようなことはなく、極めてクリーンなオゾ
ンガスが得られる。また、誘電体膜４５をセラミックで
形成することで、放電面がステンレスである低圧電極と
比較して低圧電極４４の熱伝導率が向上して低圧電極４
４の放熱性が向上し、放電電極面をより低温にでき、オ
ゾン取出し効率が向上する。
【００４５】実施の形態４．図１３はこの発明の実施の
形態４のオゾン発生器１６の低圧電極４７の平面図、図
１４は図１３の低圧電極４７のＡ−Ａ線に沿った断面
図、図１５は図１３の低圧電極４７のＢ−Ｂ線に沿った
断面図である。この実施の形態では、低圧電極４７の低
圧電極本体４７ａの両面にスペーサ付のガラス誘電体４
８を貼り合せた点が実施の形態３と異なる。このよう
に、放電面では金属面を無くし、誘電体シートであるガ
ラス誘電体４８を設けることで、放電による金属面から
スパッタリングによる金属粒子がオゾンガスに含まない
ようにして、極めてクリーンなオゾンガスが得られる点
では実施の形態３と同様である。また、ガラス誘電体４
８は、セラミック溶射により形成された誘電体膜４５よ
りもコストを安くすることが出来、かつ薄いガラス膜を
形成することができる。
形態４のオゾン発生器１６の低圧電極４７の平面図、図
１４は図１３の低圧電極４７のＡ−Ａ線に沿った断面
図、図１５は図１３の低圧電極４７のＢ−Ｂ線に沿った
断面図である。この実施の形態では、低圧電極４７の低
圧電極本体４７ａの両面にスペーサ付のガラス誘電体４
８を貼り合せた点が実施の形態３と異なる。このよう
に、放電面では金属面を無くし、誘電体シートであるガ
ラス誘電体４８を設けることで、放電による金属面から
スパッタリングによる金属粒子がオゾンガスに含まない
ようにして、極めてクリーンなオゾンガスが得られる点
では実施の形態３と同様である。また、ガラス誘電体４
８は、セラミック溶射により形成された誘電体膜４５よ
りもコストを安くすることが出来、かつ薄いガラス膜を
形成することができる。
【００４６】実施の形態５．図１６はこの発明の実施の
形態５のオゾン発生器１６の断面図である。この実施の
形態では、誘電体７の高圧電極８側の面に導電膜４９が
形成されている点が実施の形態１と異なる。上記実施の
形態１〜４では、金属の高圧電極８の表面とガラスで構
成された誘電体７の面とは機械的圧力で接触しており、
高圧電極８の面と誘電体７の面とは、接触面の一部で空
隙ができ、この空隙部で不正放電（局部放電）が生じ、
誘電体７の破損、金属コンタミの発生、オゾン発生効率
の低下が生じる。しかしながら、この実施の形態では、
誘電体７の高圧電極８側の表面に、例えば銅もしくは金
等の耐オゾン性の金属からなる導電膜４９が完全に密着
するように予め塗布して形成されているので、導電膜４
９と高圧電極８とは同電位になるため、導電膜４９と高
圧電極８との間で一部空隙を有していても高圧電極８と
導電膜４９との間で不正放電（局部放電）が生じること
はなく、誘電体７の破損や不正放電による高圧電極８の
冷却効果の低下、金属コンタミの発生、高圧電極８の冷
却効果を低下させることがなくなり、オゾン発生効率の
低下を防止できる。
形態５のオゾン発生器１６の断面図である。この実施の
形態では、誘電体７の高圧電極８側の面に導電膜４９が
形成されている点が実施の形態１と異なる。上記実施の
形態１〜４では、金属の高圧電極８の表面とガラスで構
成された誘電体７の面とは機械的圧力で接触しており、
高圧電極８の面と誘電体７の面とは、接触面の一部で空
隙ができ、この空隙部で不正放電（局部放電）が生じ、
誘電体７の破損、金属コンタミの発生、オゾン発生効率
の低下が生じる。しかしながら、この実施の形態では、
誘電体７の高圧電極８側の表面に、例えば銅もしくは金
等の耐オゾン性の金属からなる導電膜４９が完全に密着
するように予め塗布して形成されているので、導電膜４
９と高圧電極８とは同電位になるため、導電膜４９と高
圧電極８との間で一部空隙を有していても高圧電極８と
導電膜４９との間で不正放電（局部放電）が生じること
はなく、誘電体７の破損や不正放電による高圧電極８の
冷却効果の低下、金属コンタミの発生、高圧電極８の冷
却効果を低下させることがなくなり、オゾン発生効率の
低下を防止できる。
【００４７】この実施の形態では高圧電極８に接触する
誘電体７の表面に導電膜４９を塗布したが、誘電体を低
圧電極に接触させたオゾン発生器においては、低圧電極
と接触する誘電体面に導電膜を塗布することで、導電膜
と低圧電極とは同電位になるため、導電膜と低圧電極と
の間での接触面の一部で空隙を有しても、導電膜と低圧
電極との間で不正放電（局部放電）が生じることはな
く、誘電体の破損、金属コンタミの発生、オゾン発生効
率の低下を防止できる。
誘電体７の表面に導電膜４９を塗布したが、誘電体を低
圧電極に接触させたオゾン発生器においては、低圧電極
と接触する誘電体面に導電膜を塗布することで、導電膜
と低圧電極とは同電位になるため、導電膜と低圧電極と
の間での接触面の一部で空隙を有しても、導電膜と低圧
電極との間で不正放電（局部放電）が生じることはな
く、誘電体の破損、金属コンタミの発生、オゾン発生効
率の低下を防止できる。
【００４８】実施の形態６．図１７はこの発明の実施の
形態６のオゾン発生器１６の要部断面図である。表面に
導電膜４９を有する誘電体７を高圧電極８に圧接した実
施の形態５の場合、誘電体７と高圧電極８との間での接
触電気抵抗や接触熱抵抗が大きくなると、冷却能力が低
下する。この実施の形態では、高圧電極８と導電膜４９
との間に電気伝導度および熱伝導度が高く、また耐オゾ
ンガス性に優れたシリコンコンパンド５０が塗り込まれ
ているので、誘電体７と高圧電極８との間での接触電気
抵抗や接触熱抵抗が小さくなり、冷却能力が向上し、よ
り高濃度のオゾンガスを発生させることができる。な
お、コンパンド５０の代わりに非常に薄い金属箔シート
を誘電体７と高圧電極８の間に挟み込むことでも電気伝
導度および熱伝導度を高めることができる。また、誘電
体が低圧電極と一体化されたオゾン発生器の場合には、
誘電体と低圧電極との間に良熱伝導性、良電気伝導性の
コンパウンドを設けるようにしてもよい。
形態６のオゾン発生器１６の要部断面図である。表面に
導電膜４９を有する誘電体７を高圧電極８に圧接した実
施の形態５の場合、誘電体７と高圧電極８との間での接
触電気抵抗や接触熱抵抗が大きくなると、冷却能力が低
下する。この実施の形態では、高圧電極８と導電膜４９
との間に電気伝導度および熱伝導度が高く、また耐オゾ
ンガス性に優れたシリコンコンパンド５０が塗り込まれ
ているので、誘電体７と高圧電極８との間での接触電気
抵抗や接触熱抵抗が小さくなり、冷却能力が向上し、よ
り高濃度のオゾンガスを発生させることができる。な
お、コンパンド５０の代わりに非常に薄い金属箔シート
を誘電体７と高圧電極８の間に挟み込むことでも電気伝
導度および熱伝導度を高めることができる。また、誘電
体が低圧電極と一体化されたオゾン発生器の場合には、
誘電体と低圧電極との間に良熱伝導性、良電気伝導性の
コンパウンドを設けるようにしてもよい。
【００４９】実施の形態７．図１８はこの発明の実施の
形態７のオゾン発生器１６の誘電体７の平面図、図１９
は図１８のＡ−Ａ線に沿った断面図である。実施の形態
６の場合、誘電体７の高圧電極８側の表面に、例えば銅
からなる導電膜４９が形成されているので、高圧電極８
と面接触した誘電体４９には高電圧の電位が印加され、
エッジ部である導電膜４９の周縁部と誘電体７の周縁部
との間でコロナ放電が発生し、金属コンタミの発生要因
となるおそれがある。この実施の形態では、導電膜４９
の周縁部であるエッジ部に、絶縁保護膜５１が被覆され
ている。このため、エッジ部でのコロナ放電の発生が防
止され、金属コンタミの発生を防止できる。
形態７のオゾン発生器１６の誘電体７の平面図、図１９
は図１８のＡ−Ａ線に沿った断面図である。実施の形態
６の場合、誘電体７の高圧電極８側の表面に、例えば銅
からなる導電膜４９が形成されているので、高圧電極８
と面接触した誘電体４９には高電圧の電位が印加され、
エッジ部である導電膜４９の周縁部と誘電体７の周縁部
との間でコロナ放電が発生し、金属コンタミの発生要因
となるおそれがある。この実施の形態では、導電膜４９
の周縁部であるエッジ部に、絶縁保護膜５１が被覆され
ている。このため、エッジ部でのコロナ放電の発生が防
止され、金属コンタミの発生を防止できる。
【００５０】また、オゾン発生器１６では、高電圧は給
電端子３２から高圧電極８に送られ、誘電体７を介して
導電膜４９と低圧電極４４との間で無声放電が発生す
る。このとき、導電膜４９の外径が高圧電極８の外径よ
りも小さい場合、高圧電極８の周縁部と誘電体７の周縁
部との間で放電を起こし、金属コンタミ発生の要因とな
る。これに対しては、高圧電極８の外径より誘電膜４９
の外径を大きくし、さらに誘電体７の外径を大きくする
ことで、高圧電極８の周縁部と誘電体７の周縁部との間
での放電を無くし、金属コンタミを防ぐことができる。
電端子３２から高圧電極８に送られ、誘電体７を介して
導電膜４９と低圧電極４４との間で無声放電が発生す
る。このとき、導電膜４９の外径が高圧電極８の外径よ
りも小さい場合、高圧電極８の周縁部と誘電体７の周縁
部との間で放電を起こし、金属コンタミ発生の要因とな
る。これに対しては、高圧電極８の外径より誘電膜４９
の外径を大きくし、さらに誘電体７の外径を大きくする
ことで、高圧電極８の周縁部と誘電体７の周縁部との間
での放電を無くし、金属コンタミを防ぐことができる。
【００５１】実施の形態８．図２０はこの発明の実施の
形態９のオゾン発生器のブロック６０の断面図であり、
実施の形態１のブロック３０の代わりにブロック６０が
用いられている。他の構成は、実施の形態１と同様であ
る。このブロック６０は、第１のブロック部６１と、第
２のブロック部６２と、第１のブロック部６１と第２の
ブロック部６２との間に介在した弾性部材である皿ばね
６３とを備えている。第１のブロック部６１には、第２
のブロック部６２の突起部６４が嵌着される凹部６５が
形成されている。また、第１のブロック部６１には、Ｏ
リング６６が嵌着された溝部６７が形成されている。こ
の実施の形態では、放電空隙長の精度を上げる必要があ
るため、放電空隙６内のスペーサの高さ精度を上げ、更
に電極全体が電極押さえ板３７と第２の締め付けボルト
１５で基台１に押し付けられ、放電空隙長の精度を向上
させている。また、ブロック６０で挟まれた延設部２９
ｂもブロック押さえ板３７と第１の締め付けボルト１４
で基台１に押し付けられているが、この押し付け力は、
放電空隙長の精度に悪影響を与えないようにするため
に、電極全体の押し付け力よりも若干弱めである。特
に、第１のブロック部６１と第２のブロック部６２との
間で、皿ばね６３を介在させてブロック６０を弾性構造
にしたことで、ブロック６０側の押し付け力は、電極側
の押し付け力よりもより確実に弱めることができ、放電
空隙長の精度をより上げることができる。
形態９のオゾン発生器のブロック６０の断面図であり、
実施の形態１のブロック３０の代わりにブロック６０が
用いられている。他の構成は、実施の形態１と同様であ
る。このブロック６０は、第１のブロック部６１と、第
２のブロック部６２と、第１のブロック部６１と第２の
ブロック部６２との間に介在した弾性部材である皿ばね
６３とを備えている。第１のブロック部６１には、第２
のブロック部６２の突起部６４が嵌着される凹部６５が
形成されている。また、第１のブロック部６１には、Ｏ
リング６６が嵌着された溝部６７が形成されている。こ
の実施の形態では、放電空隙長の精度を上げる必要があ
るため、放電空隙６内のスペーサの高さ精度を上げ、更
に電極全体が電極押さえ板３７と第２の締め付けボルト
１５で基台１に押し付けられ、放電空隙長の精度を向上
させている。また、ブロック６０で挟まれた延設部２９
ｂもブロック押さえ板３７と第１の締め付けボルト１４
で基台１に押し付けられているが、この押し付け力は、
放電空隙長の精度に悪影響を与えないようにするため
に、電極全体の押し付け力よりも若干弱めである。特
に、第１のブロック部６１と第２のブロック部６２との
間で、皿ばね６３を介在させてブロック６０を弾性構造
にしたことで、ブロック６０側の押し付け力は、電極側
の押し付け力よりもより確実に弱めることができ、放電
空隙長の精度をより上げることができる。
【００５２】実施の形態９．図２１はこの発明の実施の
形態９のオゾン発生器１６の誘電体７の平面図である。
実施の形態７の誘電体７では、誘電体７の外周部を除い
て全面に導電膜４９を形成していたのに対して、この実
施の形態の誘電体７では、低圧電極２９内で中心部から
径方向に延びたオゾンガス通路３６に対応した箇所にお
いて導電膜４９が削除された削除領域８０を有してい
る。このようにすることで、高圧電極８と面接触した導
電体４９では高圧電極８と同電位であり、その箇所に対
応した誘電体７と低圧電極２９との間では放電が生じる
が、その箇所以外では放電が生じない。この結果、オゾ
ンガス通路３６に対応した誘電体７の箇所と高圧電極８
との間では、放電が生じないので、より高濃度のオゾン
ガスを取り出すことができる。即ち、低圧電極２９のオ
ゾンガス通路３６に対応した低圧電極２９の面上で放電
を発生させると、放電熱でオゾンガス通路３６が加熱さ
れ、オゾンガスが熱で分解してオゾンガス通路３６内で
オゾンが分解し、高濃度オゾンが取り出せない不都合が
生じるが、この実施の形態のようにすることで、オゾン
の分解を抑制することができる。
形態９のオゾン発生器１６の誘電体７の平面図である。
実施の形態７の誘電体７では、誘電体７の外周部を除い
て全面に導電膜４９を形成していたのに対して、この実
施の形態の誘電体７では、低圧電極２９内で中心部から
径方向に延びたオゾンガス通路３６に対応した箇所にお
いて導電膜４９が削除された削除領域８０を有してい
る。このようにすることで、高圧電極８と面接触した導
電体４９では高圧電極８と同電位であり、その箇所に対
応した誘電体７と低圧電極２９との間では放電が生じる
が、その箇所以外では放電が生じない。この結果、オゾ
ンガス通路３６に対応した誘電体７の箇所と高圧電極８
との間では、放電が生じないので、より高濃度のオゾン
ガスを取り出すことができる。即ち、低圧電極２９のオ
ゾンガス通路３６に対応した低圧電極２９の面上で放電
を発生させると、放電熱でオゾンガス通路３６が加熱さ
れ、オゾンガスが熱で分解してオゾンガス通路３６内で
オゾンが分解し、高濃度オゾンが取り出せない不都合が
生じるが、この実施の形態のようにすることで、オゾン
の分解を抑制することができる。
【００５３】実施の形態１０．図２２はこの発明の実施
の形態１０のオゾン発生器１６の低圧電極４４の平面図
である。この実施の形態では、実施の形態４の低圧電極
４４に、さらに低圧電極４４のオゾンガス通路３６に対
応し面上にＴの字形状のスペーサ覆体７０が形成されて
いる。このスペーサ覆体７０を形成することで、オゾン
ガス通路３６に対応した低圧電極４４の面上では、放電
は生じないので、実施の形態１１と同じ理由により、よ
り高濃度のオゾンガスを取り出すことができる。
の形態１０のオゾン発生器１６の低圧電極４４の平面図
である。この実施の形態では、実施の形態４の低圧電極
４４に、さらに低圧電極４４のオゾンガス通路３６に対
応し面上にＴの字形状のスペーサ覆体７０が形成されて
いる。このスペーサ覆体７０を形成することで、オゾン
ガス通路３６に対応した低圧電極４４の面上では、放電
は生じないので、実施の形態１１と同じ理由により、よ
り高濃度のオゾンガスを取り出すことができる。
【００５４】実施の形態１１．図２３はこの発明の実施
の形態１１のオゾン発生器１６の誘電体７の平面図、図
２４は図２３の誘電体７のＡ−Ａ線に沿った断面図であ
る。上記各実施の形態では、低圧電極２９、４３、４
４、４７にスペーサ４１、４６が形成されていたが、こ
の実施の形態では、低圧電極７１に放電空隙６を介して
対向した誘電体７の表面にスペーサ７２が形成されてい
る。低圧電極２９、４３、４４、４７とスペーサ４１、
４６とを一体にした構造を採用すると、低圧電極２９、
４３、４４、４７の製造工程でスペーサ４１、４６を形
成する工程が必要であり、低圧電極２９、４３、４４、
４７の製造工程が複雑になりコストが高くなる。それに
対して、誘電体７の表面にスペーサ７２を形成した方
が、誘電体７自身が軽量で、誘電体７の片面のみのスペ
ーサ７２の形成であるため、スペーサ７２の形成工程作
業が簡略化される。
の形態１１のオゾン発生器１６の誘電体７の平面図、図
２４は図２３の誘電体７のＡ−Ａ線に沿った断面図であ
る。上記各実施の形態では、低圧電極２９、４３、４
４、４７にスペーサ４１、４６が形成されていたが、こ
の実施の形態では、低圧電極７１に放電空隙６を介して
対向した誘電体７の表面にスペーサ７２が形成されてい
る。低圧電極２９、４３、４４、４７とスペーサ４１、
４６とを一体にした構造を採用すると、低圧電極２９、
４３、４４、４７の製造工程でスペーサ４１、４６を形
成する工程が必要であり、低圧電極２９、４３、４４、
４７の製造工程が複雑になりコストが高くなる。それに
対して、誘電体７の表面にスペーサ７２を形成した方
が、誘電体７自身が軽量で、誘電体７の片面のみのスペ
ーサ７２の形成であるため、スペーサ７２の形成工程作
業が簡略化される。
【００５５】なお、上記各実施の形態では、高圧電極８
に誘電体７を接触した場合について説明したが、低圧電
極に誘電体を接触させたオゾン発生器についても、この
発明は適用できる。
に誘電体７を接触した場合について説明したが、低圧電
極に誘電体を接触させたオゾン発生器についても、この
発明は適用できる。
【００５６】
【発明の効果】以上説明したように、この発明のオゾン
発生器によれば、酸素ガスは、低圧電極本体の全周囲か
ら放電空隙内に入り、そのまま低圧電極本体の中心部に
向かって流れるようになっており、酸素ガスはその途中
で酸素ガスがオゾンガスに変換され、そのオゾンガス
は、端部が放電空隙の中心部に臨んだオゾンガス通路お
よびオゾンガス出口部を通じて外部に排出されるように
なっているので、酸素ガスは、最小でも低圧電極本体の
半径距離の長さ分は流通し、所定の時間交流高電圧下に
さらされ、所謂「ショートパス」でオゾンガスの発生効
率が低下するようなことは防止される。また、冷媒入口
部、冷媒出口部およびオゾンガス出口部はオゾン発生器
の片側に集合しているので、装置全体がコンパクト化さ
れる。
発生器によれば、酸素ガスは、低圧電極本体の全周囲か
ら放電空隙内に入り、そのまま低圧電極本体の中心部に
向かって流れるようになっており、酸素ガスはその途中
で酸素ガスがオゾンガスに変換され、そのオゾンガス
は、端部が放電空隙の中心部に臨んだオゾンガス通路お
よびオゾンガス出口部を通じて外部に排出されるように
なっているので、酸素ガスは、最小でも低圧電極本体の
半径距離の長さ分は流通し、所定の時間交流高電圧下に
さらされ、所謂「ショートパス」でオゾンガスの発生効
率が低下するようなことは防止される。また、冷媒入口
部、冷媒出口部およびオゾンガス出口部はオゾン発生器
の片側に集合しているので、装置全体がコンパクト化さ
れる。
【００５７】また、この発明のオゾン発生器によれば、
交互に積層された延設部およびブロックは、延設部およ
びブロックを貫通し、基台に端部が螺着された第１の締
め付けボルトで結合され、交互に積層された、高圧電
極、低圧電極本体および誘電体は、最上階の低圧電極に
接触した電極押さえ板を貫通し、基台に端部が螺着され
た第２の締め付けボルトの電極押さえ板と基台との間に
作用する挟持力で結合され、前記第１の締め付けボルト
の結合力は前記第２の締め付けボルトの結合力よりも弱
い。そのため、ブロック側の押し付け力が放電空隙長の
寸法精度に悪影響を与えるようなことはなく、放電空隙
長は所定の寸法精度が確保される。
交互に積層された延設部およびブロックは、延設部およ
びブロックを貫通し、基台に端部が螺着された第１の締
め付けボルトで結合され、交互に積層された、高圧電
極、低圧電極本体および誘電体は、最上階の低圧電極に
接触した電極押さえ板を貫通し、基台に端部が螺着され
た第２の締め付けボルトの電極押さえ板と基台との間に
作用する挟持力で結合され、前記第１の締め付けボルト
の結合力は前記第２の締め付けボルトの結合力よりも弱
い。そのため、ブロック側の押し付け力が放電空隙長の
寸法精度に悪影響を与えるようなことはなく、放電空隙
長は所定の寸法精度が確保される。
【００５８】また、この発明のオゾン発生器によれば、
冷媒入口部、冷媒出口部およびオゾンガス出口部は同一
線上に形成されているので、放電セルの積層作業におけ
る位置合わせが容易となり、作業性能が向上する。
冷媒入口部、冷媒出口部およびオゾンガス出口部は同一
線上に形成されているので、放電セルの積層作業におけ
る位置合わせが容易となり、作業性能が向上する。
【００５９】また、この発明のオゾン発生器によれば、
低圧電極は、片面に凹凸面を有する第１の低圧電極部
と、片面に凹凸面を有する第２の低圧電極部とを有して
おり、前記第１の低圧電極部の凹凸面と前記第２の低圧
電極部の凹凸面とを当接して冷媒通路およびオゾンガス
通路が形成されているので、第１の低圧電極部と第２の
低圧電極部とを接合することで、簡単に冷媒通路および
オゾンガス通路が形成される。
低圧電極は、片面に凹凸面を有する第１の低圧電極部
と、片面に凹凸面を有する第２の低圧電極部とを有して
おり、前記第１の低圧電極部の凹凸面と前記第２の低圧
電極部の凹凸面とを当接して冷媒通路およびオゾンガス
通路が形成されているので、第１の低圧電極部と第２の
低圧電極部とを接合することで、簡単に冷媒通路および
オゾンガス通路が形成される。
【００６０】また、この発明のオゾン発生器によれば、
低圧電極は、片面に凹凸面を有する第１の低圧電極部
と、片面に凹凸面を有する第２の低圧電極部と、前記第
１の低圧電極部と前記第２の低圧電極部との間に介在し
た第３の低圧電極部とを有しており、前記第１の低圧電
極部、前記第２の低圧電極部および前記第３の低圧電極
部を重ね合わせることで冷媒通路が異なる層に分離して
形成されるので、冷媒通路を形成する表面積がほぼ２倍
に増大し、それだけオゾンガス通路の冷却性が向上し、
オゾンガス通路で温度上昇によるオゾン分解が抑制さ
れ、高濃度のオゾンガスを取り出すことができる。
低圧電極は、片面に凹凸面を有する第１の低圧電極部
と、片面に凹凸面を有する第２の低圧電極部と、前記第
１の低圧電極部と前記第２の低圧電極部との間に介在し
た第３の低圧電極部とを有しており、前記第１の低圧電
極部、前記第２の低圧電極部および前記第３の低圧電極
部を重ね合わせることで冷媒通路が異なる層に分離して
形成されるので、冷媒通路を形成する表面積がほぼ２倍
に増大し、それだけオゾンガス通路の冷却性が向上し、
オゾンガス通路で温度上昇によるオゾン分解が抑制さ
れ、高濃度のオゾンガスを取り出すことができる。
【００６１】また、この発明のオゾン発生器によれば、
低圧電極部同士は、ろう材を用いることなく、加熱およ
び加圧のみで接合されているので、ろう付け接合を採用
したときに生じる、オゾンガスとろう材との酸化反応で
オゾンガスが分解し、また金属酸化物の生成等が生じ、
金属酸化物がオゾンガスに混入することでクリーンオゾ
ンガスが損なわれるといった不都合は生じない。
低圧電極部同士は、ろう材を用いることなく、加熱およ
び加圧のみで接合されているので、ろう付け接合を採用
したときに生じる、オゾンガスとろう材との酸化反応で
オゾンガスが分解し、また金属酸化物の生成等が生じ、
金属酸化物がオゾンガスに混入することでクリーンオゾ
ンガスが損なわれるといった不都合は生じない。
【００６２】また、この発明のオゾン発生器によれば、
オゾンガス通路に対応した低圧電極の表面にスペーサ覆
体が設けられているので、オゾンガス通路に対応した低
圧電極の面上では、放電は生じず、放電熱でオゾンガス
通路が加熱されるようなことはなく、オゾンガスの分解
が抑制され、高濃度のオゾンガスを取り出すことができ
る。
オゾンガス通路に対応した低圧電極の表面にスペーサ覆
体が設けられているので、オゾンガス通路に対応した低
圧電極の面上では、放電は生じず、放電熱でオゾンガス
通路が加熱されるようなことはなく、オゾンガスの分解
が抑制され、高濃度のオゾンガスを取り出すことができ
る。
【００６３】また、この発明のオゾン発生器によれば、
低圧電極の放電空隙に面した表面は、誘電体膜で覆われ
ているので、放電により金属面からスパッタリングによ
る金属粒子がオゾンガスに含まれるようなことはなく、
クリーンなオゾンガスが得られる。
低圧電極の放電空隙に面した表面は、誘電体膜で覆われ
ているので、放電により金属面からスパッタリングによ
る金属粒子がオゾンガスに含まれるようなことはなく、
クリーンなオゾンガスが得られる。
【００６４】また、この発明のオゾン発生器によれば、
低圧電極の放電空隙に面した表面は、スペーサ付きの誘
電体シートが接着されているので、低コストでクリーン
なオゾンガスが得られる。
低圧電極の放電空隙に面した表面は、スペーサ付きの誘
電体シートが接着されているので、低コストでクリーン
なオゾンガスが得られる。
【００６５】また、この発明のオゾン発生器によれば、
誘電体膜、誘電体シートは、セラミックまたはＳiＯ2の
成分を含んだガラス状であるので、例えば放電面がステ
ンレスである低圧電極と比較して低圧電極の熱伝導率が
向上して低圧電極の放熱性が向上し、放電電極面をより
低温にでき、オゾンガス取出し効率が向上する。
誘電体膜、誘電体シートは、セラミックまたはＳiＯ2の
成分を含んだガラス状であるので、例えば放電面がステ
ンレスである低圧電極と比較して低圧電極の熱伝導率が
向上して低圧電極の放熱性が向上し、放電電極面をより
低温にでき、オゾンガス取出し効率が向上する。
【００６６】また、この発明のオゾン発生器によれば、
低圧電極または高圧電極に接触する側の誘電体の表面に
は、導電膜が設けられているので、導電膜と、低圧電極
または高圧電極とは同電位になり、導電膜と、低圧電極
または高圧電極との間で一部空隙を有していても高圧電
極と導電膜との間で不正放電（局部放電）が生じること
はなく、誘電体の破損、金属コンタミの発生、オゾン発
生効率の低下を防止できる。
低圧電極または高圧電極に接触する側の誘電体の表面に
は、導電膜が設けられているので、導電膜と、低圧電極
または高圧電極とは同電位になり、導電膜と、低圧電極
または高圧電極との間で一部空隙を有していても高圧電
極と導電膜との間で不正放電（局部放電）が生じること
はなく、誘電体の破損、金属コンタミの発生、オゾン発
生効率の低下を防止できる。
【００６７】また、この発明のオゾン発生器によれば、
高圧電極に接触する側の誘電体の表面に形成された導電
膜は、オゾンガス通路に対応した領域で導電膜が削除さ
れた削除領域を有するので、高圧電極と面接触した導電
体では高圧電極と同電位であり、その箇所に対応した誘
電体と低圧電極との間では放電が生じるが、その箇所以
外では放電が生じない。この結果、オゾンガス通路に対
応した誘電体の箇所と高圧電極との間では、放電が生じ
ないので、より高濃度のオゾンガスを取り出すことがで
きる。
高圧電極に接触する側の誘電体の表面に形成された導電
膜は、オゾンガス通路に対応した領域で導電膜が削除さ
れた削除領域を有するので、高圧電極と面接触した導電
体では高圧電極と同電位であり、その箇所に対応した誘
電体と低圧電極との間では放電が生じるが、その箇所以
外では放電が生じない。この結果、オゾンガス通路に対
応した誘電体の箇所と高圧電極との間では、放電が生じ
ないので、より高濃度のオゾンガスを取り出すことがで
きる。
【００６８】また、この発明のオゾン発生器によれば、
誘電体と、この誘電体に一体化される高圧電極または低
圧電極との間には、良熱伝導性、良電気伝導性のコンパ
ウンドが設けられているので、誘電体と高圧電極または
低圧電極との間での接触電気抵抗や接触熱抵抗が小さく
なり、冷却能力が向上し、より高濃度のオゾンガスを発
生させることができる。
誘電体と、この誘電体に一体化される高圧電極または低
圧電極との間には、良熱伝導性、良電気伝導性のコンパ
ウンドが設けられているので、誘電体と高圧電極または
低圧電極との間での接触電気抵抗や接触熱抵抗が小さく
なり、冷却能力が向上し、より高濃度のオゾンガスを発
生させることができる。
【００６９】また、この発明のオゾン発生器によれば、
導電膜の外周縁部は絶縁保護膜で被覆されているので、
エッジ部でのコロナ放電の発生が防止され、金属コンタ
ミの発生が防止される。
導電膜の外周縁部は絶縁保護膜で被覆されているので、
エッジ部でのコロナ放電の発生が防止され、金属コンタ
ミの発生が防止される。
【００７０】また、この発明のオゾン発生器によれば、
誘電体の片面にスペーサが設けられているので、軽量な
誘電体の片面のみのスペーサの形成であり、スペーサの
形成工程作業が簡略化される。
誘電体の片面にスペーサが設けられているので、軽量な
誘電体の片面のみのスペーサの形成であり、スペーサの
形成工程作業が簡略化される。
【００７１】また、この発明のオゾン発生器によれば、
高圧電極の外径寸法が、誘電体の外径寸法よりも小さい
ので、高圧電極の周縁部と誘電体の周縁部との間での放
電を防ぐことができ、金属コンタミを防止することがで
きる。
高圧電極の外径寸法が、誘電体の外径寸法よりも小さい
ので、高圧電極の周縁部と誘電体の周縁部との間での放
電を防ぐことができ、金属コンタミを防止することがで
きる。
【００７２】また、この発明のオゾン発生器によれば、
ブロックは、第１のブロック部と、この第１のブロック
部に嵌着された第２のブロック部と、前記第１のブロッ
ク部と前記第２のブロック部との間に設けられた弾性体
とを有しているので、ブロック側の押し付け力は、電極
側の押し付け力よりもより確実に弱めることができ、放
電空隙長の精度をより上げることができる。
ブロックは、第１のブロック部と、この第１のブロック
部に嵌着された第２のブロック部と、前記第１のブロッ
ク部と前記第２のブロック部との間に設けられた弾性体
とを有しているので、ブロック側の押し付け力は、電極
側の押し付け力よりもより確実に弱めることができ、放
電空隙長の精度をより上げることができる。
【図１】 この発明の実施の形態１のオゾン発生器が含
まれるオゾン発生装置の模式図である。
まれるオゾン発生装置の模式図である。
【図２】 図１のオゾン発生器のカバーを除いた内部の
模式図である。
模式図である。
【図３】 図１のブロックの断面図である。
【図４】 図１の低圧電極の平面図である。
【図５】 図４の低圧電極のＡ−Ａ線に沿った断面図で
ある。
ある。
【図６】 図４の低圧電極のＢ−Ｂ線に沿った断面図で
ある。
ある。
【図７】 この発明の実施の形態２のオゾン発生器の低
圧電極の平面図である。
圧電極の平面図である。
【図８】 図７の低圧電極のＡ−Ａ線に沿った断面図で
ある。
ある。
【図９】 図７の低圧電極のＢ−Ｂ線に沿った断面図で
ある。
ある。
【図１０】 この発明の実施の形態３のオゾン発生器の
低圧電極の平面図である。
低圧電極の平面図である。
【図１１】 図１０の低圧電極のＡ−Ａ線に沿った断面
図である。
図である。
【図１２】 図１０の低圧電極のＢ−Ｂ線に沿った断面
図である。
図である。
【図１３】 この発明の実施の形態４のオゾン発生器の
低圧電極の平面図である。
低圧電極の平面図である。
【図１４】 図１３の低圧電極のＡ−Ａ線に沿った断面
図である。
図である。
【図１５】 図１３の低圧電極のＢ−Ｂ線に沿った断面
図である。
図である。
【図１６】 この発明の実施の形態５のオゾン発生装置
の要部模式図である。
の要部模式図である。
【図１７】 この発明の実施の形態６のオゾン発生器の
高圧電極の正面図である。
高圧電極の正面図である。
【図１８】 この発明の実施の形態７のオゾン発生器の
誘電体の平面図である。
誘電体の平面図である。
【図１９】 図１８の低圧電極のＡ−Ａ線に沿った断面
図である。
図である。
【図２０】 この発明の実施の形態８のオゾン発生器の
ブロックの断面図である。
ブロックの断面図である。
【図２１】 この発明の実施の形態９のオゾン発生器の
誘電体の平面図である。
誘電体の平面図である。
【図２２】 この発明の実施の形態１０のオゾン発生器
の誘電体の平面図である。
の誘電体の平面図である。
【図２３】 この発明の実施の形態１１のオゾン発生器
の誘電体の平面図である。
の誘電体の平面図である。
【図２４】 図２３の誘電体のＡ−Ａ線に沿った断面図
である。
である。
【図２５】 従来のオゾン発生器の模式図である。
【符号の説明】
１ 基台、６ 放電空隙、７ 誘電体、８ 高圧電極、
１４ 第１の締め付けボルト、１５ 第２の締め付けボ
ルト、１６ オゾン発生器、２８ 放電セル、２９，４
３，４４，４７ 低圧電極、２９ａ 低圧電極本体、２
９ｂ 延設部、２９Ａ 第１の低圧電極部、２９Ｂ 第
２の低圧電極部、３０，６０ ブロック、３１ 誘電体
膜、３３ オゾンガス出口部、３４ 冷媒通路、３５
冷媒出口部、３６ オゾンガス通路、３７ ブロック押
さえ板、３８ 電極押さえ板、３９，７２ スペーサ、
４２ 冷媒入口部、４３Ａ 第１の低圧電極部、４３Ｂ
第２の低圧電極部、４３Ｃ 第３の低圧電極部、４３Ｄ
第４の低圧電極部、４４ａ 低圧電極本体、４５ 誘
電体膜、４８ ガラス誘電体、４９ 導電膜、５０ コ
ンパンド、５１ 絶縁保護膜、６１ 第１のブロック
部、６２ 第２のブロック部、６３ 皿ばね、７０ ス
ペーサ覆体、８０ 削除領域。
１４ 第１の締め付けボルト、１５ 第２の締め付けボ
ルト、１６ オゾン発生器、２８ 放電セル、２９，４
３，４４，４７ 低圧電極、２９ａ 低圧電極本体、２
９ｂ 延設部、２９Ａ 第１の低圧電極部、２９Ｂ 第
２の低圧電極部、３０，６０ ブロック、３１ 誘電体
膜、３３ オゾンガス出口部、３４ 冷媒通路、３５
冷媒出口部、３６ オゾンガス通路、３７ ブロック押
さえ板、３８ 電極押さえ板、３９，７２ スペーサ、
４２ 冷媒入口部、４３Ａ 第１の低圧電極部、４３Ｂ
第２の低圧電極部、４３Ｃ 第３の低圧電極部、４３Ｄ
第４の低圧電極部、４４ａ 低圧電極本体、４５ 誘
電体膜、４８ ガラス誘電体、４９ 導電膜、５０ コ
ンパンド、５１ 絶縁保護膜、６１ 第１のブロック
部、６２ 第２のブロック部、６３ 皿ばね、７０ ス
ペーサ覆体、８０ 削除領域。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１４年７月２３日（２００２．７．２
３）
３）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１３】この発明のオゾン発生器では、交互に積層
された延設部およびブロックは、延設部およびブロック
を貫通し、基台に端部が螺着された第１の締め付けボル
トで結合され、交互に積層された、高圧電極、低圧電極
本体および誘電体は、最上階の低圧電極に接触した電極
押さえ板を貫通し、基台に端部が螺着された第２の締め
付けボルトの電極押さえ板と基台との間に作用する挟持
力で結合され、前記第１の締め付けボルトの結合力は、
前記延設部および前記ブロック間を隙間無く結合する結
合力であり、前記第２の締め付けボルトの結合力は、放
電空隙を均一にした挟持力であり、第１の締め付けボル
トの結合力は前記第２の締め付けボルトの結合力よりも
弱い。
された延設部およびブロックは、延設部およびブロック
を貫通し、基台に端部が螺着された第１の締め付けボル
トで結合され、交互に積層された、高圧電極、低圧電極
本体および誘電体は、最上階の低圧電極に接触した電極
押さえ板を貫通し、基台に端部が螺着された第２の締め
付けボルトの電極押さえ板と基台との間に作用する挟持
力で結合され、前記第１の締め付けボルトの結合力は、
前記延設部および前記ブロック間を隙間無く結合する結
合力であり、前記第２の締め付けボルトの結合力は、放
電空隙を均一にした挟持力であり、第１の締め付けボル
トの結合力は前記第２の締め付けボルトの結合力よりも
弱い。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１４】この発明のオゾン発生器では、冷媒入口
部、冷媒出口部およびオゾンガス出口部は略同一線上に
形成されている。
部、冷媒出口部およびオゾンガス出口部は略同一線上に
形成されている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正内容】
【００３６】なお、低圧電極２９の冷媒出口部３５、冷
媒入口部４２、およびオゾンガス出口部３３のそれぞれ
の気密性を保つため、図示してないが、ブロック３０と
延設部２９ｂとの間には、冷媒およびオゾンガスシール
用のパッキン等が介在している。即ち、冷媒およびオゾ
ンガスシール用のパッキン等を介在させてブロック３０
と延設部２９ｂとを交互に積層させ、それらを一括し
て、第１の締め付けボルト１４により結合させ、冷媒お
よびオゾンガスシールに対して密閉できる構造にしてい
る。
媒入口部４２、およびオゾンガス出口部３３のそれぞれ
の気密性を保つため、図示してないが、ブロック３０と
延設部２９ｂとの間には、冷媒およびオゾンガスシール
用のパッキン等が介在している。即ち、冷媒およびオゾ
ンガスシール用のパッキン等を介在させてブロック３０
と延設部２９ｂとを交互に積層させ、それらを一括し
て、第１の締め付けボルト１４により結合させ、冷媒お
よびオゾンガスシールに対して密閉できる構造にしてい
る。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正内容】
【００３７】ところで、オゾン発生効率を良くするに
は、放電空隙長の精度を上げる必要があり、そのために
低圧電極本体２９ａの両面に設けられ放電空隙長を定め
るスペーサ３９の高さについて高い精度が求められる。
第２の締め付けボルト１５は積層した複数個の放電セル
を一括して結合させ、各放電セル２８間の電極の放電空
隙６を均一に保持するに十分な結合力で締め付けてい
る。また、放電空隙長の精度に悪影響を与えないように
するために、交互に積層された延設部２９ｂおよびブロ
ック３０を貫通した第１の締め付けボルト１４の結合力
は、交互に積層された高圧電極８、低圧電極本体２９ａ
および誘電体７を結合した第２の締め付けボルト１５の
結合力よりも弱くしてある。
は、放電空隙長の精度を上げる必要があり、そのために
低圧電極本体２９ａの両面に設けられ放電空隙長を定め
るスペーサ３９の高さについて高い精度が求められる。
第２の締め付けボルト１５は積層した複数個の放電セル
を一括して結合させ、各放電セル２８間の電極の放電空
隙６を均一に保持するに十分な結合力で締め付けてい
る。また、放電空隙長の精度に悪影響を与えないように
するために、交互に積層された延設部２９ｂおよびブロ
ック３０を貫通した第１の締め付けボルト１４の結合力
は、交互に積層された高圧電極８、低圧電極本体２９ａ
および誘電体７を結合した第２の締め付けボルト１５の
結合力よりも弱くしてある。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正内容】
【００４０】また、延設部２９ｂおよびブロック３０に
は、冷媒通路３４に冷媒を供給する冷媒入口部４２、冷
媒通路３４からの冷媒を排出する冷媒出口部３５および
低圧電極２９に形成されたオゾンガス通路３６に接続さ
れたオゾンガス出口部３３のそれぞれが放電セル２８の
積層方向に貫通して形成されており、冷媒入口部４２、
冷媒出口部３５およびオゾンガス出口部３３はオゾン発
生器１６の片側に集合しているので、オゾン発生器１６
がコンパクト化される。また、冷媒入口部４２、冷媒出
口部３５およびオゾンガス出口部３３は略同一直線上に
形成されているので、放電セル２８の積層作業における
位置合わせが容易となり、作業性能が向上する。
は、冷媒通路３４に冷媒を供給する冷媒入口部４２、冷
媒通路３４からの冷媒を排出する冷媒出口部３５および
低圧電極２９に形成されたオゾンガス通路３６に接続さ
れたオゾンガス出口部３３のそれぞれが放電セル２８の
積層方向に貫通して形成されており、冷媒入口部４２、
冷媒出口部３５およびオゾンガス出口部３３はオゾン発
生器１６の片側に集合しているので、オゾン発生器１６
がコンパクト化される。また、冷媒入口部４２、冷媒出
口部３５およびオゾンガス出口部３３は略同一直線上に
形成されているので、放電セル２８の積層作業における
位置合わせが容易となり、作業性能が向上する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００４１】また、この発明のオゾン発生器によれば、
低圧電極本体２９ａおよび高圧電極８が電極押さえ板３
８および第２の締め付けボルト１５で基台１に押し付け
られ、積層した各放電セル２８の電極の放電空隙長を均
一になるようにしている。また、ブロック３０で挟まれ
た延設部２９ｂもブロック押さえ板３７と締め付けボル
ト５で基台１に押し付けられ、各放電セル２８間の冷媒
およびオゾンガスを締め付けボルトで密閉させ、冷媒、
オゾンガスを集合させる機能になっている。それぞれの
押し付け力は、放電電極側と、冷媒およびオゾンガス集
合部とに分けられている。しかもブロック３０側の方が
電極側よりも若干弱めであるので、冷媒およびオゾンガ
ス集合部の密閉機能を十分保持した状態で、ブロック３
０側の押し付け力が放電空隙長の寸法精度に悪影響を与
えるようなことはなく、放電空隙長は所定の寸法精度が
確保される。
低圧電極本体２９ａおよび高圧電極８が電極押さえ板３
８および第２の締め付けボルト１５で基台１に押し付け
られ、積層した各放電セル２８の電極の放電空隙長を均
一になるようにしている。また、ブロック３０で挟まれ
た延設部２９ｂもブロック押さえ板３７と締め付けボル
ト５で基台１に押し付けられ、各放電セル２８間の冷媒
およびオゾンガスを締め付けボルトで密閉させ、冷媒、
オゾンガスを集合させる機能になっている。それぞれの
押し付け力は、放電電極側と、冷媒およびオゾンガス集
合部とに分けられている。しかもブロック３０側の方が
電極側よりも若干弱めであるので、冷媒およびオゾンガ
ス集合部の密閉機能を十分保持した状態で、ブロック３
０側の押し付け力が放電空隙長の寸法精度に悪影響を与
えるようなことはなく、放電空隙長は所定の寸法精度が
確保される。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正内容】
【００４６】実施の形態５．図１６はこの発明の実施の
形態５のオゾン発生器１６の断面図である。この実施の
形態では、誘電体７の高圧電極８側の面に導電膜４９が
形成されている点が実施の形態１と異なる。上記実施の
形態１〜４では、金属の高圧電極８の表面とガラスで構
成された誘電体７の面とは機械的圧力で接触しており、
高圧電極８の面と誘電体７の面とは、接触面の一部で空
隙ができ、この空隙部で不正放電（局部放電）が生じ、
誘電体７の破損や不正放電による高圧電極８の冷却効果
の低下、金属コンタミの発生、オゾン発生効率の低下が
生じる。しかしながら、この実施の形態では、誘電体７
の高圧電極８側の表面に、例えば銅もしくは金等の耐オ
ゾン性の金属からなる導電膜４９が完全に密着するよう
に予め塗布して形成されているので、導電膜４９と高圧
電極８とは同電位になるため、導電膜４９と高圧電極８
との間で一部空隙を有していても高圧電極８と導電膜４
９との間で不正放電（局部放電）が生じることはなく、
誘電体７の破損や不正放電による高圧電極８の冷却効果
の低下、金属コンタミの発生、高圧電極８の冷却効果を
低下させることがなくなり、オゾン発生効率の低下を防
止できる。
形態５のオゾン発生器１６の断面図である。この実施の
形態では、誘電体７の高圧電極８側の面に導電膜４９が
形成されている点が実施の形態１と異なる。上記実施の
形態１〜４では、金属の高圧電極８の表面とガラスで構
成された誘電体７の面とは機械的圧力で接触しており、
高圧電極８の面と誘電体７の面とは、接触面の一部で空
隙ができ、この空隙部で不正放電（局部放電）が生じ、
誘電体７の破損や不正放電による高圧電極８の冷却効果
の低下、金属コンタミの発生、オゾン発生効率の低下が
生じる。しかしながら、この実施の形態では、誘電体７
の高圧電極８側の表面に、例えば銅もしくは金等の耐オ
ゾン性の金属からなる導電膜４９が完全に密着するよう
に予め塗布して形成されているので、導電膜４９と高圧
電極８とは同電位になるため、導電膜４９と高圧電極８
との間で一部空隙を有していても高圧電極８と導電膜４
９との間で不正放電（局部放電）が生じることはなく、
誘電体７の破損や不正放電による高圧電極８の冷却効果
の低下、金属コンタミの発生、高圧電極８の冷却効果を
低下させることがなくなり、オゾン発生効率の低下を防
止できる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】変更
【補正内容】
【００５７】また、この発明のオゾン発生器によれば、
交互に積層された延設部およびブロックは、延設部およ
びブロックを貫通し、基台に端部が螺着された第１の締
め付けボルトで結合され、交互に積層された、高圧電
極、低圧電極本体および誘電体は、最上階の低圧電極に
接触した電極押さえ板を貫通し、基台に端部が螺着され
た第２の締め付けボルトの電極押さえ板と基台との間に
作用する挟持力で結合され、前記第１の締め付けボルト
の結合力は、前記延設部および前記ブロック間を隙間無
く結合する結合力であり、前記第２の締め付けボルトの
結合力は、放電空隙を均一にした挟持力であり、前記第
１の締め付けボルトの結合力は前記第２の締め付けボル
トの結合力よりも弱い。そのため、ブロック側の押し付
け力が放電空隙長の寸法精度に悪影響を与えるようなこ
とはなく、放電空隙長は所定の寸法精度が確保される。
交互に積層された延設部およびブロックは、延設部およ
びブロックを貫通し、基台に端部が螺着された第１の締
め付けボルトで結合され、交互に積層された、高圧電
極、低圧電極本体および誘電体は、最上階の低圧電極に
接触した電極押さえ板を貫通し、基台に端部が螺着され
た第２の締め付けボルトの電極押さえ板と基台との間に
作用する挟持力で結合され、前記第１の締め付けボルト
の結合力は、前記延設部および前記ブロック間を隙間無
く結合する結合力であり、前記第２の締め付けボルトの
結合力は、放電空隙を均一にした挟持力であり、前記第
１の締め付けボルトの結合力は前記第２の締め付けボル
トの結合力よりも弱い。そのため、ブロック側の押し付
け力が放電空隙長の寸法精度に悪影響を与えるようなこ
とはなく、放電空隙長は所定の寸法精度が確保される。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】変更
【補正内容】
【００５８】また、この発明のオゾン発生器によれば、
冷媒入口部、冷媒出口部およびオゾンガス出口部は略同
一線上に形成されているので、放電セルの積層作業にお
ける位置合わせが容易となり、作業性能が向上する。
冷媒入口部、冷媒出口部およびオゾンガス出口部は略同
一線上に形成されているので、放電セルの積層作業にお
ける位置合わせが容易となり、作業性能が向上する。
フロントページの続き
(72)発明者 臼井 明
東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三
菱電機株式会社内
(72)発明者 小宮 弘道
東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三
菱電機株式会社内
(72)発明者 眼龍 裕司
東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三
菱電機株式会社内
(72)発明者 葛本 昌樹
東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三
菱電機株式会社内
(72)発明者 和田 昇
東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三
菱電機株式会社内
(72)発明者 太田 幸治
東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三
菱電機株式会社内
(72)発明者 八木 重典
東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三
菱電機株式会社内
(72)発明者 鐘ヶ江 裕三
東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三
菱電機株式会社内
Ｆターム(参考） 4G042 CA01 CC02 CC05 CC10 CC12
CC16 CC18 CC21
Claims (18)
- 【請求項１】 円板状の高圧電極と、この高圧電極に放
電空隙を介して対向し内部に冷媒通路が形成された低圧
電極と、前記高圧電極および前記低圧電極の一方に接触
した誘電体と、前記放電空隙内に設けられ前記放電空隙
を確保するスペーサとを備えた放電セルが複数段に積層
され、 前記高圧電極と前記低圧電極との間に交流電圧を印加し
て、前記放電空隙間に放電を生じさせることで、前記高
圧電極の周辺部から中心部に向かって前記放電空隙内を
通過する酸素ガスがオゾンガスに生成され、かつ前記放
電空隙の中心部に端部が臨んでいるとともに、低圧電極
の内部で径方向に延びたオゾンガス通路に前記オゾンガ
スが導かれるようになっているオゾン発生器であって、 前記低圧電極は、前記高圧電極と対向した円形状の低圧
電極本体と、この低圧電極本体の片側に設けられた延設
部とから構成され、かつこの延設部はブロックを介して
複数段に基台上に積層され、 前記延設部および前記ブロックには、前記冷媒通路に冷
媒を供給する冷媒入口部、前記冷媒通路からの冷媒を排
出する冷媒出口部および前記オゾンガス通路からのオゾ
ンガスを排出するオゾンガス出口部のそれぞれが前記放
電セルの積層方向に貫通して形成されているオゾン発生
器。 - 【請求項２】 交互に積層された延設部およびブロック
は、延設部およびブロックを貫通し、基台に端部が螺着
された第１の締め付けボルトで結合され、 交互に積層された、高圧電極、低圧電極本体および誘電
体は、最上階の低圧電極に接触した電極押さえ板を貫通
し、基台に端部が螺着された第２の締め付けボルトの電
極押さえ板と基台との間に作用する挟持力で結合され、 前記第１の締め付けボルトの結合力は前記第２の締め付
けボルトの結合力よりも弱い請求項１に記載のオゾン発
生器。 - 【請求項３】 冷媒入口部、冷媒出口部およびオゾンガ
ス出口部は同一線上に形成されている請求項１または請
求項２に記載のオゾン発生器。 - 【請求項４】 低圧電極は、片面に凹凸面を有する第１
の低圧電極部と、片面に凹凸面を有する第２の低圧電極
部とを有しており、前記第１の低圧電極部の凹凸面と前
記第２の低圧電極部の凹凸面とを当接して冷媒通路およ
びオゾンガス通路が形成されている請求項１ないし請求
項３の何れかに記載のオゾン発生器。 - 【請求項５】 低圧電極は、片面に凹凸面を有する第１
の低圧電極部と、片面に凹凸面を有する第２の低圧電極
部と、前記第１の低圧電極部と前記第２の低圧電極部と
の間に介在した第３の低圧電極部とを有しており、前記
第１の低圧電極部、前記第２の低圧電極部および前記第
３の低圧電極部を重ね合わせることで冷媒通路が異なる
層に分離して形成されている請求項１ないし請求項３の
何れかに記載のオゾン発生器。 - 【請求項６】 低圧電極部同士は、加熱および加圧のみ
で接合されている請求項１ないし請求項５の何れかに記
載のオゾン発生器。 - 【請求項７】 オゾンガス通路に対応した低圧電極の表
面にスペーサ覆体が設けられている請求項１ないし請求
項６の何れかに記載のオゾン発生器。 - 【請求項８】 低圧電極の放電空隙に面した表面は、誘
電体膜で覆われている請求項１ないし請求項７の何れか
に記載のオゾン発生器。 - 【請求項９】 低圧電極の放電空隙に面した表面は、ス
ペーサ付きの誘電体シートが接着されている請求項１な
いし請求項７の何れかに記載のオゾン発生器。 - 【請求項１０】 誘電体膜は、セラミックまたはＳiＯ2
の成分を含んだガラス状である請求項８に記載のオゾン
発生器。 - 【請求項１１】 誘電体シートは、セラミックまたはＳ
iＯ2の成分を含んだガラス状である請求項９に記載のオ
ゾン発生器。 - 【請求項１２】 低圧電極または高圧電極に接触する側
の誘電体の表面には、導電膜が設けられている請求項１
ないし請求項１１の何れかに記載のオゾン発生器。 - 【請求項１３】 高圧電極に接触する側の誘電体の表面
に形成された導電膜は、オゾンガス通路に対応した領域
で導電膜が削除された削除領域を有する請求項１２に記
載のオゾン発生器。 - 【請求項１４】 誘電体と、この誘電体に一体化される
高圧電極または低圧電極との間には、良熱伝導性、良電
気伝導性のコンパウンドが設けられている請求項１ない
し請求項１３の何れかに記載のオゾン発生器。 - 【請求項１５】 導電膜の外周縁部は絶縁保護膜で被覆
されている請求項１２ないし請求項１４の何れかに記載
のオゾン発生器。 - 【請求項１６】 誘電体の片面にスペーサが設けられて
いる請求項１〜８、１０〜１５の何れかに記載のオゾン
発生器。 - 【請求項１７】 高圧電極の外径寸法が、誘電体の外径
寸法よりも小さい請求項１ないし請求項１６の何れかに
記載のオゾン発生器。 - 【請求項１８】 ブロックは、第１のブロック部と、こ
の第１のブロック部に嵌着された第２のブロック部と、
前記第１のブロック部と前記第２のブロック部との間に
設けられた弾性体とを有している請求項１ないし請求項
１７の何れかに記載のオゾン発生器。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001357862A JP3513134B2 (ja) | 2001-11-22 | 2001-11-22 | オゾン発生器 |
| TW091115049A TW553894B (en) | 2001-11-22 | 2002-07-08 | Ozonizer |
| US10/190,566 US6869575B2 (en) | 2001-11-22 | 2002-07-09 | Ozonizer |
| DE60238101T DE60238101D1 (de) | 2001-11-22 | 2002-07-26 | Ozonerzeuger |
| CN02127123.2A CN1217853C (zh) | 2001-11-22 | 2002-07-26 | 臭氧发生器 |
| EP02016398A EP1314694B1 (en) | 2001-11-22 | 2002-07-26 | Ozoniser |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001357862A JP3513134B2 (ja) | 2001-11-22 | 2001-11-22 | オゾン発生器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003160311A true JP2003160311A (ja) | 2003-06-03 |
| JP3513134B2 JP3513134B2 (ja) | 2004-03-31 |
Family
ID=19169142
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001357862A Expired - Lifetime JP3513134B2 (ja) | 2001-11-22 | 2001-11-22 | オゾン発生器 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6869575B2 (ja) |
| EP (1) | EP1314694B1 (ja) |
| JP (1) | JP3513134B2 (ja) |
| CN (1) | CN1217853C (ja) |
| DE (1) | DE60238101D1 (ja) |
| TW (1) | TW553894B (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7305863B1 (ja) | 2022-12-21 | 2023-07-10 | 株式会社荏原製作所 | ガス生成装置 |
| WO2024135507A1 (ja) * | 2022-12-21 | 2024-06-27 | 株式会社荏原製作所 | ガス生成装置 |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3607890B2 (ja) * | 2001-11-22 | 2005-01-05 | 東芝三菱電機産業システム株式会社 | オゾン発生器 |
| EP1882673A1 (en) * | 2006-07-28 | 2008-01-30 | Liou, Huei-Tarng | Ozone generator |
| US20080025883A1 (en) * | 2006-07-28 | 2008-01-31 | Huei-Tarng Liou | Ozone generator |
| JP5088375B2 (ja) * | 2007-11-28 | 2012-12-05 | 東芝三菱電機産業システム株式会社 | 誘電体バリア放電装置 |
| US9039985B2 (en) | 2011-06-06 | 2015-05-26 | Mks Instruments, Inc. | Ozone generator |
| CN103387212B (zh) * | 2013-07-24 | 2015-04-22 | 北京奥隆环保科技有限责任公司 | 一种模块化板式臭氧发生器 |
| SE540004C2 (en) * | 2016-08-05 | 2018-02-20 | Ozone Inventions Ltd | OZONE GENERATOR UNIT AND SYSTEM |
| CN113353890A (zh) * | 2021-04-23 | 2021-09-07 | 张全星 | 一种臭氧发生器的放电室 |
| CN113428839A (zh) * | 2021-06-23 | 2021-09-24 | 广州创环臭氧电器设备有限公司 | 便于装配的臭氧发生器 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2983153B2 (ja) | 1994-04-28 | 1999-11-29 | 三菱電機株式会社 | オゾン発生装置 |
| US5637279A (en) * | 1994-08-31 | 1997-06-10 | Applied Science & Technology, Inc. | Ozone and other reactive gas generator cell and system |
| JP3654409B2 (ja) * | 1998-03-24 | 2005-06-02 | 住友精密工業株式会社 | オゾン発生装置用放電セル及びその製造方法 |
| US6284205B1 (en) * | 1998-08-21 | 2001-09-04 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Ozonizing unit ozone generator and ozone-processing system |
| JP3113885B2 (ja) | 1999-01-29 | 2000-12-04 | 住友精密工業株式会社 | オゾン発生装置用放電セル |
| JP4095758B2 (ja) * | 2000-06-29 | 2008-06-04 | 株式会社荏原製作所 | オゾン発生装置 |
| JP3672252B2 (ja) * | 2001-11-22 | 2005-07-20 | 東芝三菱電機産業システム株式会社 | オゾン発生器 |
-
2001
- 2001-11-22 JP JP2001357862A patent/JP3513134B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2002
- 2002-07-08 TW TW091115049A patent/TW553894B/zh not_active IP Right Cessation
- 2002-07-09 US US10/190,566 patent/US6869575B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2002-07-26 EP EP02016398A patent/EP1314694B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2002-07-26 CN CN02127123.2A patent/CN1217853C/zh not_active Expired - Lifetime
- 2002-07-26 DE DE60238101T patent/DE60238101D1/de not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7305863B1 (ja) | 2022-12-21 | 2023-07-10 | 株式会社荏原製作所 | ガス生成装置 |
| WO2024135507A1 (ja) * | 2022-12-21 | 2024-06-27 | 株式会社荏原製作所 | ガス生成装置 |
| JP2024089165A (ja) * | 2022-12-21 | 2024-07-03 | 株式会社荏原製作所 | ガス生成装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US20030095900A1 (en) | 2003-05-22 |
| CN1421379A (zh) | 2003-06-04 |
| TW553894B (en) | 2003-09-21 |
| EP1314694B1 (en) | 2010-10-27 |
| EP1314694A2 (en) | 2003-05-28 |
| JP3513134B2 (ja) | 2004-03-31 |
| DE60238101D1 (de) | 2010-12-09 |
| EP1314694A3 (en) | 2005-03-02 |
| CN1217853C (zh) | 2005-09-07 |
| US6869575B2 (en) | 2005-03-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5637279A (en) | Ozone and other reactive gas generator cell and system | |
| JP3513134B2 (ja) | オゾン発生器 | |
| EP1167287B1 (en) | Ozone generator | |
| USRE40746E1 (en) | Ozonizer | |
| JP2004142963A (ja) | オゾン発生器 | |
| JP2003160312A (ja) | オゾン発生器 | |
| CN116081577B (zh) | 一种高纯度高浓度洁净板式臭氧发生器以及系统 | |
| JP2007149645A (ja) | 燃料電池スタック構造体 | |
| JP3654409B2 (ja) | オゾン発生装置用放電セル及びその製造方法 | |
| JP4180179B2 (ja) | オゾン発生装置用放電セル | |
| WO2001094257A1 (fr) | Cellule de decharge pour generateur d'ozone | |
| JP3113885B2 (ja) | オゾン発生装置用放電セル | |
| US20030095899A1 (en) | Ozonizer | |
| JP5545776B2 (ja) | オゾン発生装置用放電セル | |
| JP4094111B2 (ja) | 誘電体バリヤ放電装置 | |
| JP5008170B2 (ja) | オゾン発生装置用放電セル | |
| JP2007119305A (ja) | オゾン発生器 | |
| CN113277479B (zh) | 应用于半导体的高纯度、高浓度、小型化臭氧发生器 | |
| JP2004224695A (ja) | オゾン発生装置用放電セル | |
| JPH10245205A (ja) | オゾン発生装置用放電セル | |
| JPH10245206A (ja) | オゾン発生装置用放電セル | |
| JP3292471B2 (ja) | オゾン発生装置用放電セル | |
| JP2007015888A (ja) | 板型放電セル | |
| JP3761819B2 (ja) | オゾン発生装置用放電セル | |
| JP2001097702A (ja) | オゾン発生装置用放電セル |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040106 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040108 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3513134 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080116 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090116 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090116 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100116 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100116 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110116 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110116 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120116 Year of fee payment: 8 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120116 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130116 Year of fee payment: 9 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130116 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140116 Year of fee payment: 10 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |