JP2003158060A

JP2003158060A - 半導体露光装置

Info

Publication number: JP2003158060A
Application number: JP2001356963A
Authority: JP
Inventors: Koreyuki Kasai; 維志笠井
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 2001-11-22
Filing date: 2001-11-22
Publication date: 2003-05-30

Abstract

(57)【要約】【課題】露光装置に搬入されたレチクルが、露光処理
で使用する指定されたレチクルであるか照合する為に読
みとられるレチクルおよびレチクルカセットバーコード
に、ハードウェアに依存するような制御コードやユーザ
固有の情報が含まれていても、処理プログラムに個別対
応を行なう事なく、正しくプログラムを動作させる。【解決手段】半導体露光装置において、制御コードや
ユーザ固有情報といったバーコード情報内の不要な情報
部分を記述したマスク情報と、そのマスク情報を参照し
て、不必要なバーコード情報部分を破棄する手段を備え
ている事を特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体素子や液晶
素子等のデバイスを製造するための装置において、露光
処理に必要なマスクパターン（レチクル）の管理に用い
られる、レチクルバーコードおよびレチクルカセットバ
ーコードの読み込み処理に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造において、露光する回路が描
かれたマスクパターン（レチクル）を管理するのに、レ
チクル自身や、レチクルを収めたレチクルカセットに、
バーコードを印刷もしくは添付して使用している。

【０００３】半導体露光装置においても、このバーコー
ドを読み込み、露光装置に搬入されたレチクルが、露光
処理で使用する指定されたレチクルであるか、照合する
のに使用している。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】バーコードはユーザに
て管理されており、そのバーコード情報の記述内容は、
ユーザ毎に異なる。露光装置では、バーコード読み、照
合データ（バーコード情報）の抽出、照合、バーコード
情報の表示を行っている。

【０００５】バーコード情報に、通常の文字コードのみ
を使用している場合は問題無いが、ユーザによっては、
メタキャラクタといった制御コードを使用している場合
があり、制御コード入りバーコード情報では、ハードウ
ェアに依存して、バーコード情報の表示等で、処理プロ
グラムが正しく動作しない場合があった。

【０００６】

【課題を解決するための手段】バーコード情報を読み込
んだ際、読み込んだバーコード情報にマスクを掛ける機
能を用意する。

【０００７】（作用）バーコード情報にある、制御コー
ド等のハードウェアに依存する情報にマスクを掛ける事
で、露光装置に読み込ませたくないデータの読み込みを
回避し、正しく動作する事が可能になる。

【０００８】

【発明の実施の形態】（実施例１）図１は本発明の一実
施例に係る半導体露光装置の構成を示すブロック図であ
る。

【０００９】同図において、１０１は例えばＫｒＦやＡ
ｒＦが封入され、パルス化されたレーザ光を発光するレ
ーザ光源である。１０２はエキシマレーザ光源１０１が
発光するレーザ光を所望のビーム形状に整形し、光束の
配光特性を均一にして照射する照明系であり、ビーム整
形光学系、ハエの目レンズ等のオプティカルインテグレ
ータ、コリメータレンズ、ミラー等により構成される。

【００１０】Ｍは照明系１０２の出射光路上に配置さ
れ、集積回路パターンが形成されたマスクまたはレチク
ル、１０９はマスキングブレード、１０３は投影光学
系、Ｗはウェハであり、マスクＭに形成された集積回路
パターンはマスキングブレード１０９で決定されたエリ
アが投影光学系３を介しウェハＷ上に投影露光されるよ
うになっている。

【００１１】１０４はミラー、１０５はセンサであり、
照明系１０２が照射する光束の一部をミラー１０４によ
って、センサ１０５の光電変換面に入射させている。１
０６はセンサ１０５に入射したパルス光の光量を積算す
る光量積算回路である。１０７はＣＰＵであり、エキシ
マレーザ１０１に対して、発光タイミング等の制御指示
を行う。また、マスキングブレード制御部１１０は、Ｃ
ＰＵ１０７からの位置指令等の制御指令にしたがって、
マスキングブレード１０９を移動し、指令値に合致した
照明エリアが露光されるように制御する。

【００１２】１１１はコンソールユニットであり、本体
ＣＰＵ１０７にこの露光装置の動作に関する各種ジョブ
のパラメータを与えるためのものである。すなわち、オ
ペレータとの間で情報の授受を行うためのものである。
１１２はコンソールＣＰＵ、１１３はキーボード、１１
４はディスプレイ、１１５は各種ジョブのパラメータ等
を記憶する外部メモリであり、これらによりコンソール
ユニット１１１を構成している。

【００１３】図２は、この露光装置において、本発明を
具体化した様子を示すブロック図である。

【００１４】同図において、２０１は、図１、１１２、
１１３、１１４、１１５等の画面やキーボードといった
入出力機能をもつコンソール制御部である。２０２は、
バーコード情報を読み込んだとき、マスクをかける事
で、不必要な部分のバーコード情報を破棄する、バーコ
ード情報マスク部であり、２１０のファイル等で用意さ
れたマスク情報を参照して動作する。２０３は、コンソ
ール制御部２０１からの指示を受け、装置を構成する各
ユニットの制御部を統括するシステム制御部である。２
０４は、システム制御部２０３からの指示を受け、実際
に２２０のレチクル上にあるバーコード２２１を読み込
む、バーコード読み込み部である。

【００１５】図３は、レチクルと、レチクル上に印刷さ
れたバーコードの例を示した図である。

【００１６】同図において、３０１はパターン領域で、
露光する回路図等が印刷されている。３０２は遮光帯
で、パターン領域外に露光光が照射された場合に遮光す
るためのものである。３０３はレチクルバーコードであ
る。

【００１７】図４は、図３、３０３のレチクルバーコー
ドを拡大した図である。

【００１８】印刷されるバーコードの１文字１文字は、
幅の広い線と細い線の集まりで構成され、その線のある
無しで一意の文字が決まる。例えば、図４、４０１は
“Ａ”を、４０２は“Ｂ”を、４０３は“Ｃ”を表して
おり、他にも、情報の開始位置や終了位置、読み込みデ
ータの正当性チェックを行うためのチェックサムが用意
されている。

【００１９】図５は図２、２０２において、レチクルバ
ーコードを読み込み、マスクをかける事で、レチクルの
照合、表示に必要なレチクルＩＤを取得する処理を示し
たフローチャートである。

【００２０】ステップ５０１において、図２、２０４の
レチクルバーコード読み取り部を通じて、バーコード情
報を取得する。ステップ５０２において、図２、２１０
のマスク情報を読み込む。ステップ５０３において、マ
スク情報を元に、必要でない部分のバーコード情報を破
棄する。

【００２１】図６は、図５ステップ５０３の処理を示し
た図である。

【００２２】図６、６０１が、図５ステップ５０１で読
み込んだバーコード情報であり、“Ａ”、“Ｂ”、
“Ｃ”が、取得したいレチクルＩＤ部分で、続く“＄”
“＄”が不必要なコントロールコードを表す。また、図
６、６０２が図５ステップ５０２で取得したマスク情報
であり、“１”で表された部分が必要な文字部分で、
“０”で表された部分が不必要なデータ部分を表す。６
０１の情報に、６０２のマスクをかけることで、６０３
を得ることができる。この様にすることで、図５ステッ
プ５０４において、必要なレチクルＩＤを得る。

【００２３】本実施例では、図２、２２０のレチクル上
に印刷されたレチクルバーコードを用いて説明したが、
レチクルカセットバーコードでも、レチクルバーコード
と同様のバーコードがレチクルカセット上に印刷されて
いるだけで、処理は同様である。

【００２４】また、図７に示すように、図２、２０２の
バーコード情報マスク部を表す７０２は、図２、２０３
のシステム制御部を表す７０３、図２、２０４のバーコ
ード読み込み部を表す７０４の間に用意し、７０３のシ
ステム制御部がバーコード情報を読み込む時にマスク処
理を行ってもよい。

【００２５】なお、マスク情報２１０を、別途ファイル
等で用意せず、レチクルのパターンデザイン情報等が記
述された、レチクルファイルに保存する事も可能であ
る。

【００２６】通常、露光に使用するレチクル毎に、レチ
クルファイルが用意されているので、使用するレチクル
毎にマスク情報が異なる場合は、レチクルファイルにマ
スク情報を保存しておく事で、マスク情報の管理が簡単
に行える。

【００２７】（実施例２）実施例１では、図２、２１０
のマスク情報を、事前に用意しておく必要があったが、
マスク情報を作成する手段を用意することで、ユーザが
必要に応じて、マスク情報の作成、変更を行う事も可能
である。

【００２８】図８は、マスク情報生成部を有するバーコ
ード情報読み取りを示した図である。

【００２９】図８、８０１は図２、２０１にあたるコン
ソール制御部、図８、８０２は図２、２０２にあたるバ
ーコード情報マスク部、図８、８０３は図２、２０３の
システム制御部、図８、８０４は図２、２０４のバーコ
ード読み取り部、図８、８２０、８２１は図２、２２
０、２２１にあたるレチクルとレチクル上に印刷された
バーコードである。図８、８３０はマスク情報作成部で
あり、コンソール制御部８０１が有する入出力装置か
ら、作成したいマスク情報を設定することで、マスク情
報作成部８３０がマスク情報を作成する。

【００３０】図９は、図８、８０２において、レチクル
バーコードを読み込み、マスクをかける事でレチクルＩ
Ｄを取得する処理を示したフローチャートである。

【００３１】ステップ９０１において、図８、８０４の
レチクルバーコード読み取り部を通じて、バーコード情
報を取得する。ステップ９０２において、図８、８３０
のマスク情報作成部が作成したマスク情報を読み込む。
ステップ９０３において、マスク情報を元に、必要でな
い部分のバーコード情報を破棄する。図６で説明したマ
スク処理を行うことで、図９ステップ９０４において、
必要なレチクルＩＤを得る。

【００３２】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、バ
ーコードデータ解析部に、マスク手段を用意すること
で、装置に必要のないデータを取り除け、制御コードな
どが含まれていても、エラーや不具合の発生を回避する
事が可能になる。

【００３３】また、マスクの設定を、ユーザが任意に行
えるようにすることで、従来ユーザ毎に用意していたバ
ーコード情報処理手段に、汎用性を持たせることが可能
となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】半導体露光装置の構成図である。

【図２】本発明を具体化した様子を表すブロック図で
ある。

【図３】レチクルの１例を示した図である。

【図４】レチクルバーコードの１例を示した図であ
る。

【図５】図２、２０２のマスク処理のフロー図であ
る。

【図６】マスク処理を示す図である。

【図７】図２、２０２のマスク処理部の位置を変更し
た図である。

【図８】本発明を具体化した様子を表すブロック図で
ある。

【図９】図８、８０２のマスク処理のフロー図であ
る。

【符号の説明】

１０１レーザ光源１０２照明系１０３投影光学系１０４ミラー１０５センサ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】露光処理に使用するレチクルの照合に、
レチクルやレチクルカセットに印刷されたバーコードを
使用する半導体露光装置において、レチクルもしくはレチクルカセットバーコードを読み込
んだ際、露光装置における前記バーコード内容表示やレ
チクル照合に不必要なバーコード情報にマスクするため
の情報をもち、そのマスク情報に基づいてマスクを掛け
る手段を備えたことを特徴とする半導体露光装置。
【請求項２】請求項１において、半導体露光装置を操
作するオペレータが、任意のマスク情報を作成する事が
可能な手段を備えたことを特徴とする半導体露光装置。
【請求項３】請求項１において、バーコード情報にマ
スクする為の、マスク情報をレチクルファイルに有する
事を特徴とする半導体露光装置。