CN111382586B - 一种掩模版条码扫描装置及版库及传输系统及扫描方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种掩模版条码扫描装置及版库及传输系统及扫描方法，所述掩模版条码扫描装置包括：光源单元、信号采集单元、电气处理单元及集成框架单元，所述光源单元产生条码扫描的检测光，所述信号采集单元采集所述检测光通过匀速运动状态的被测掩模版的条码区域时产生的光信号，所述电气处理单元处理采集到的所述光信号以得到电信号并转换为掩模版的信息，实现了掩模版条码的动态扫描以及掩模版信息的动态采集，提高了掩模版条码扫描效率和扫描精度，提高了该装置的通用性。

Description

一种掩模版条码扫描装置及版库及传输系统及扫描方法

技术领域

本发明涉及光刻设备技术领域，特别涉及一种掩模版条码扫描装置及版库及传输系统及扫描方法。

背景技术

掩模版传输系统中必不可少的一项是对掩模版的条码进行采集，目前，光刻设备技术领域一般采用工业相机以拍照的形式采集掩模版条码信息。在读取掩模版条码信息过程中，机械手先从掩模版版盒中取出掩模版，然后运动到掩模版条码扫描装置并进行对准操作，待条码扫描装置拍完条码照片后，机械手再启动将掩模版输送到指定位置，这就造成机械手和掩模版在镜头下拍照时会停留一段时间，这会导致工作效率低下，无法实现快速地动态扫描并识别掩模版。

发明内容

本发明的目的在于提供一种掩模版条码扫描装置及版库及传输系统及扫描方法，以解决不能动态扫描及识别掩模版条码的问题。

为解决上述技术问题，本发明提供一种掩模版条码扫描装置，用于掩模版条码的扫描与识别，所述掩模版条码扫描装置包括：

光源单元，用于产生条码扫描的检测光；

信号采集单元，用于采集所述检测光通过匀速运动状态的被测掩模版的条码区域时产生的光信号；

电气处理单元，用于处理采集到的所述光信号以得到电信号并转换为掩模版的信息；

集成框架单元，用于为所述光源单元、所述信号采集单元和所述电气处理单元提供支撑。

可选的，在所述掩模版条码扫描装置中，所述集成框架单元包括第一框架组件和第二框架组件，所述第一框架组件置于所述第二框架组件上，所述光源单元设于所述第一框架组件上，所述电气处理单元设于所述第二框架组件的内部，所述信号采集单元设于所述第二框架组件内的顶部且位于所述光源单元的下方。

可选的，在所述掩模版条码扫描装置中，所述信号采集单元包括从上到下依次排列的滤光片、第一狭缝结构、第一透镜、第二透镜及第二狭缝结构；

所述信号采集单元还包括一固定支架，所述固定支架具有一凸起，所述凸起与所述第二框架的内壁构成一具有容置空间的盒体；

所述滤光片水平的嵌在所述固定支架的上表面，设于所述滤光片下方的所述第一狭缝结构、所述第一透镜、所述第二透镜及所述第二狭缝结构从上向下依次水平安装于所述盒体内，所述固定支架的上表面设于所述第一开口处。

可选的，在所述掩模版条码扫描装置中，所述光源单元与所述滤光片、所述第一狭缝结构、所述第一透镜、所述第二透镜及所述第二狭缝结构均同轴。

可选的，在所述掩模版条码扫描装置中，所述信号采集单元还包括透明支架和弹簧，所述透明支架设于所述第一透镜和所述第二透镜之间，所述弹簧设于所述第二透镜和所述第二狭缝结构之间。

可选的，在所述掩模版条码扫描装置中，所述电气处理单元包括依次相连的光电接收器、采样电路单元、比较电路单元及通讯转换单元；

所述光电接收器用于将采集到的所述光信号转换成电流信号；

所述采样电路单元用于将所述电流信号转换为电压信号；

所述比较电路单元用于将所述电压信号与比较电路单元设定的阈值电压信号进行比较，得到一比较后的电压信号，并将所述比较后的电压信号传送至所述通讯转换单元；

所述通讯转换单元用于将所述比较后的电压信号转换成电信号。

可选的，在所述掩模版条码扫描装置中，所述电气处理单元还包括一信号输出接口，所述信号输出接口与所述通讯转换单元相连，所述第二框架组件的底部设有第二开口，所述信号输出接口通过所述第二开口与外部的上位机端相连，所述信号输出接口用于接收所述通讯转换单元输出的所述电信号，并将所述电信号向外部的上位机端输出。

可选的，在所述掩模版条码扫描装置中，所述电气处理单元还包括一外罩，所述光电接收器、采样电路单元、比较电路单元及通讯转换单元设于所述外罩内，所述信号输出接口设于所述外罩上。

可选的，在所述掩模版条码扫描装置中，所述掩模版条码扫描装置还包括一供电单元，所述供电单元设于所述第二框架组件的内部，所述供电单元用于给所述光源单元、所述信号采集单元及所述电气处理单元供电。

可选的，在所述掩模版条码扫描装置中，所述第二框架组件包括：框盖和框体，所述框盖安装在所述框体的侧面。

可选的，在所述掩模版条码扫描装置中，所述第一框架组件包括支撑杆和光源固定部件，所述支撑杆和所述光源固定部件相连并构成一夹角，所述光源固定部件通过所述支撑杆与所述第二框架组件相连。

可选的，在所述掩模版条码扫描装置中，所述光源单元为LED光源，所述光源单元卡扣在所述光源固定部件上。

可选的，在所述掩模版条码扫描装置中，所述光源固定部件上设有一机械接口，所述机械接口用于所述掩模版条码扫描装置与外部设备对接。

本发明还提供一种掩模版版库，包括：掩模版版盒、版库框架及所述掩模版条码扫描装置，所述掩模版条码扫描装置安装在所述版库框架内，所述版库框架的顶部为开口结构，所述掩模版版盒穿过所述开口结构，并置于所述掩模版条码扫描装置上。

可选的，在所述掩模版版库中，所述掩模版条码扫描装置和所述掩模版版盒的数量相同且均大于或者等于1个，若所述掩模版条码扫描装置和所述掩模版版盒的数量为多个，所述掩模版条码扫描装置和所述掩模版版盒相对应，多个所述掩模版条码扫描装置并排放置，所述掩模版版盒均置于对应的所述掩模版条码扫描装置上。

可选的，在所述掩模版版库中，所述掩模版版盒通过所述掩模版条码扫描装置上的机械接口与对应的所述掩模版条码扫描装置实现对接。

可选的，在所述掩模版版库中，所述掩模版版盒内的两相对侧壁上设有多对水平支架，每对的两个水平支架在同一平面上，所述支架构成的平面上放置掩模版。

本发明还提供一种掩模版传输系统，包括：机械手单元和所述掩模版版库，所述掩模版版库位于所述机械手单元侧，所述机械手单元包括：取放掩模版机械手，所述取放掩模版机械手用于从所述掩模版版库的掩模版版盒中取出掩模版并匀速运动通过所述掩模版版库的掩模版条码扫描装置的条码扫描区域后放回所述掩模版版盒中。

可选的，在所述掩模版传输系统中，所述掩模版版库的数量大于或者等于1个，若所述掩模版版库的数量为多个，多个所述掩模版版库均分布在所述机械手单元侧。

可选的，在所述掩模版传输系统中，所述机械手单元还包括：交换掩模版机械手，所述交换掩模版机械手和所述取放掩模版机械手相连，所述交换掩模版机械手用于接过所述取放掩模版机械手上的所述掩模版并把所述掩模版送到指定位置。

可选的，在所述掩模版传输系统中，所述掩模版传输系统还包括预对准单元，所述预对准单元设于所述机械手单元侧，所述预对准单元用于补偿所述机械手单元对掩模版的定位误差。

本发明还提供一种使用所述掩模版传输系统的掩模版扫描方法，包括以下步骤：

启动掩模版条码扫描装置的光源单元，利用取放掩模版机械手取出所述掩模版版库上的掩模版盒中的掩模版，并且带动所述掩模版匀速运动通过所述条码扫描区域；

在掩模版通过所述条码扫描区域的过程中，利用所述信号采集单元采集透过掩模版的光，生成对应的所述光信号并传送给所述电气处理单元；

利用所述电气处理单元对采集到的所述光信号进行处理以得到电信号。

综上，本发明提供了一种掩模版条码扫描装置及版库及传输系统及扫描方法，所述掩模版条码扫描装置包括：光源单元、信号采集单元、电气处理单元及集成框架单元，所述光源单元产生条码扫描的检测光，所述信号采集单元采集所述检测光通过匀速运动状态的被测掩模版的条码区域时产生的光信号，所述电气处理单元处理采集到的所述光信号以得到电信号并转换为掩模版的信息，实现了掩模版条码的动态扫描以及掩模版信息的动态采集，提高了条码扫描效率和扫描精度，提高了该装置的通用性。进一步的，所述集成框架单元上设有一机械接口，通过所述机械接口可以实现与外部设备的直接对接，安装方便。进一步的，该装置为一体化结构，集成度高，体积比较占优势，降低了设备的制造成本，从而提高了该装置的产品竞争力。进一步的，所述传输系统包括机械手单元，所述机械手单元包括一取放掩模版机械手，所述取放掩模版机械手只需要拿取掩模版一次并带动所述掩模版匀速通过所述掩模版条码扫描装置的条码扫描区域，提高了所述机械手单元的取版效率。

附图说明

图1是本发明实施例提供的掩模版条码扫描装置示意图；

图2是本发明实施例提供的掩模版条码扫描装置内部结构示意图；

图3是本发明实施例提供的掩模版扫描示意图；

图4是本发明实施例提供的电气处理单元示意图；

图5是本发明实施例提供的掩模版版库示意图；

图6是本发明实施例提供的掩模版传输系统示意图；

图7是本发明实施例提供的掩模版扫描方法流程图。

其中，

10-掩模版条码扫描装置，11-掩模版版盒，12-版库框架，100-光源单元，20-集成框架单元，110-第一开口，120-第二开口，130-信号采集单元，131-固定支架，132-滤光片，133-第一狭缝结构，134-第一透镜,135-第二透镜，136-第二狭缝结构，137-透明支架，138-弹簧，140-电气处理单元，141-光电接收器，142-采样电路单元，143-比较电路单元，144-通讯转换单元，200-第一框架组件，201-支撑杆，202-光源固定部件，203-机械接口，210-第二框架组件，211-框体，212-框罩，300-掩模版版库，301-掩模版外版库，302-掩模版内版库，310-机械手单元，311-取放掩模版机械手，312-交换掩模版机械手。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本发明提出的一种掩模版条码扫描装置及版库及传输系统及扫描方法作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。此外，附图所展示的结构往往是实际结构的一部分。特别的，各附图需要展示的侧重点不同，有时会采用不同的比例。

参考图1，图2和图3，图1是本发明实施例提供的掩模版条码扫描装置示意图，图2是本发明实施例提供的掩模版条码扫描装置内部结构示意图，图3是本发明实施例提供的掩模版版库示意图。本发明提供一种掩模版条码扫描装置，用于掩模版条码的扫描与识别，所述掩模版条码扫描装置包括：光源单元100、信号采集单元130、电气处理单元140及集成框架单元20，所述光源单元100用于产生条码扫描的检测光；所述信号采集单元130用于采集所述检测光通过匀速运动状态的被测掩模版的条码区域时产生的光信号；所述电气处理单元140用于处理采集到的所述光信号以得到电信号并转换为掩模版的信息；所述集成框架单元20用于为所述光源单元100、所述信号采集单元130和所述电气处理单元140提供支撑。从图3中可以看出，所述光源单元100与所述信号采集单元130之间为所述掩模版条码扫描装置的条码扫描区域，被测掩模版匀速运动通过所述条码扫描区域，同时，所述信号采集单元130采集到被测掩模版匀速运动通过所述条码扫描区域时透过的检测光，所述电气处理单元140将采集到的所述光信号转换为对应的电信号并最终转换为掩模版的信息，实现了掩模版条码的动态扫描以及掩模版信息的动态采集，提高了条码扫描效率和扫描精度，提高了该装置的通用性。

在本实施例中，所述集成框架单元20包括第一框架组件200和第二框架组件210，所述第一框架组200件置于所述第二框架组件210上，所述光源单元100设于所述第一框架组件200上，所述电气处理单元140设于所述第二框架组件210的内部，所述信号采集单元130设于所述第二框架组件210内的顶部且位于所述光源单元100的下方。

可选的，所述第二框架组件210的顶部设有第一开口110，所述光源单元100发出的光能够通过所述第一开口110投射在所述信号采集单元130上。

从图2中可以看出，所述信号采集单元130从上到下依次包括滤光片132、第一狭缝结构133、第一透镜134、第二透镜135及第二狭缝结构136。

优选的，所述信号采集单元130还包括一固定支架131，所述固定支架131具有一凸起，所述凸起与所述第二框架210的内壁构成一具有容置空间的盒体。所述滤光片132水平地嵌在所述固定支架131的上表面，所述第一狭缝结构133、所述第一透镜134、所述第二透镜135及所述第二狭缝结构136均水平地安装于所述盒体内，所述固定支架131的上表面设于所述第一开口110处。

进一步的，所述信号采集单元130还包括透明支架137和弹簧138，所述透明支架137设于所述第一透镜134和所述第二透镜135之间，所述弹簧138设于所述第二透镜135和所述第二狭缝结构136之间。所述透明支架137和所述弹簧138的设置进一步的起到固定和支撑所述信号采集单元130的上述各个部件的作用。

优选的，所述电气处理单元140还包括一信号输出接口，所述信号输出接口与所述通讯转换单元140相连，所述第二框架组件210的底部设有第二开口120，所述信号输出接口通过所述第二开口120与外部的上位机端相连，所述信号输出接口用于向外部的上位机端输出所述电信号。一般的通讯转换单元都会配备对应的信号输出接口，如RS-485或者RS232等，因为数字处理器(上位机端)能接收的的电平与所述比较电路单元的电平一般是不匹配的，本申请文件对所述信号输出接口的类型不做任何限定。

在本实施例中，参考图4，图4是本发明实施例提供的电气处理单元示意图，所述电气处理单元140包括依次相连的光电接收器141、采样电路单元142、比较电路单元143及通讯转换单元144。所述光电接收器141用于将采集到的所述光信号转换成电流信号；所述采样电路单元142用于将所述电流信号转换为电压信号；所述比较电路单元143用于将所述电压信号与比较电路单元143设定的阈值电压信号进行比较，得到一比较后的电压信号，并将所述比较后的电压信号传送至所述通讯转换单元144；所述通讯转换单元144用于将所述比较后的电压信号转换成电信号，在本实施例中，所述电信号还需要经过所述信号输出接口之后才能传输到上位机端。

进一步的，所述光源单元100、所述滤光片132、所述第一狭缝结构133、所述第一透镜134、所述第二透镜135及所述第二狭缝结构136均同轴。

在本实施例中，当光源单元100发出的光照射到掩模版上的条码时，条码的镀铬处挡住光线，同时非镀铬处透过光线。透过的光线经过所述滤光片132和第一狭缝结构133，再经过所述第一透镜134和所述第二透镜135的处理后经过第二狭缝结构136。所述第一狭缝结构133和所述第二狭缝结构136的缝隙宽度和缝隙安装位置根据实际情况做相应的调节。所述第一狭缝结构133用于限制进入的光强度，其宽度可根据实际掩模版条码宽度调整并且优选大于所述第二狭缝结构136的宽度；所述第二狭缝结构136用于最终限制照射到所述光电接收器上面的光线强度，其宽度可适当小一些，同时优选大于所述光电接收器的实际最小接收宽度。所述第一狭缝结构133和所述第二狭缝结构136的方向一致，两狭缝结构以及两透镜的中心重合，而且两狭缝结构上的狭缝长度方向与掩模版条码方向一致。

进一步的，所述电气处理单元140还包括一外罩，所述光电接收器141、采样电路单元142、比较电路单元143及通讯转换单元144设于所述外罩内，所述信号输出接口设于所述外罩上。所述外罩用于保护内部的所述光电接收器141、采样电路单元142、比较电路单元143及通讯转换单元144。

优选的，所述掩模版条码扫描装置还包括一供电单元(未图示)，所述供电单元设于所述第二框架组件210的内部，所述供电单元用于给所述光源单元100、所述信号采集单元130及所述电气处理单元140供电。所述第二框架组件210包括：框盖212和框体213，所述框盖212安装在所述框体的侧面213。所述信号采集单元130、所述电气处理单元140及所述供电单元均置于所述框体213内并通过所述框盖212固定。

进一步的，从图2可以看出，所述第二框架组件210包括：框盖和框体，所述框盖安装在所述框体的侧面。

在本实施例中，所述第一框架组件200包括支撑杆201和光源固定部件202，所述支撑杆201和所述光源固定部件202相连并构成一夹角，所述光源固定部件202通过所述支撑杆201与所述第二框架组件210相连。

优选的，所述光源单元100为LED光源，所述光源单元100卡扣在所述光源固定部件202上。LED光源的寿命长、光效高、无辐射与低功耗，发光纯度高。LED光源无需灯罩滤光，光波长误差一般在10纳米以内。本申请对所述光源单元的类型不做任何限定。

所述光源固定部件202上设有一机械接口203，所述机械接口203用于所述掩模版条码扫描装置与外部设备对接，通过所述机械接口可以实现与外部设备的直接对接，使得所述掩模版扫描装置和外部设备之间的安装更加快捷方便。

参考图5，图5是本发明实施例提供的掩模版版库示意图，本发明还提供一种掩模版版库，包括：掩模版版盒11、版库框架12及所述掩模版条码扫描装置10，所述掩模版条码扫描装置10安装在所述版库框架12内，所述版库框架12的顶部为开口结构，所述掩模版版盒11穿过所述开口结构，并置于所述掩模版条码扫描装置10上。

进一步的，所述掩模版条码扫描装置10和所述掩模版版盒11的数量相同且均大于或者等于1个，若所述掩模版条码扫描装置10和所述掩模版版盒11的数量为多个，所述掩模版条码扫描装置10和所述掩模版版盒11相对应，多个所述掩模版条码扫描装置10并排放置，所述掩模版版盒11均置于对应的所述掩模版条码扫描装置10上。在本实施例中，从图4中可以看出，所述掩模版条码扫描装置10的数量为2个，对应的所述掩模版版盒11的数量也为2个。设有两个所述掩模版条码扫描装置10，满足了所述掩模版版库的特殊工作需求，提高了工作效率，同时也相对的缩小了所述掩模版版库的体积。

进一步的，所述掩模版版盒11通过所述掩模版条码扫描装置10上的机械接口203与对应的所述掩模版条码扫描装置10实现对接，所述掩模版条码装置10安装在所述掩模版版库中只需要通过所述机械接口203，使得所述掩模版条码装置成为一体化结构，集成度高，体积比较占优势，降低了设备的制造成本，从而提高了该装置的产品竞争力。

在本实例中，所述掩模版版盒11内的两相对侧壁上设有多对水平支架，每对的两个水平支架在同一平面上，所述支架构成的平面上放置掩模版。目前通用的所述掩模版版盒11一般分为单槽和六槽这两种，即所述掩模版版盒11内的两相对侧壁上设有一对水平支架或者六对水平支架，两相对侧的水平支架形成一个槽。多槽的设计使得掩模版可以直接从对应所在槽的高度进入所述掩模版条码扫描装置上的条码扫描区域进行扫描，不必再进入到指定高度的条码扫描工位进行扫描。此外，多槽的设计可以一次性放置多个掩模版，这样可以节约所述掩模版盒11的数量，相对的减小了所述掩模版版库的体积，从而节约了所述掩模版版库机台的成本。

参考图6，图6是本发明实施例提供的掩模版传输系统示意图，本发明还提供一种掩模版传输系统，包括：机械手单元310和所述掩模版版库300，所述掩模版版库300位于所述机械手单元310侧，所述机械手单元310包括：取放掩模版机械手311，所述取放掩模版机械手311用于从所述掩模版版库的掩模版版盒11中取出掩模版并匀速运动通过所述掩模版版库的掩模版条码扫描装置10的条码扫描区域后放回所述掩模版版盒11中。所述取放掩模版机械手311只需要拿取掩模版一次并带动所述掩模版匀速通过所述条码扫描区域，提高了所述机械手单元310的取版效率，此外，因为所述光源单元100发出的检测光的光强会受到掩膜版运动速度的影响，所以掩膜版匀速通过所述掩膜版条码扫描装置10的条码扫描区域可以保证所述掩膜版条码扫描装置10能够准确识别掩膜版上的条码，这提高了所述掩膜版条码扫描装置10扫描以及识别掩膜版的精确性。

从图5中可以看出，在本实施例中，所述掩模版外版库301上设有两个所述掩模版扫描装置10，所述掩模版内版库302上设有一个所述掩模版扫描装置10。进一步的，所述掩模版版库300的数量大于或者等于1个，若所述掩模版版库300的数量为多个，多个所述掩模版版库300均分布在所述机械手单元310侧。

优选的，所述机械手单元310还包括：交换掩模版机械手312，所述交换掩模版机械手312和所述取放掩模版机械手311相连，所述交换掩模版机械手312用于接过所述取放掩模版机械手311上的所述掩模版并把所述掩模版送到指定位置。掩模版通过所述条码扫描区域的扫描工作一般只需要所述使用到取放掩模版机械手311。

优选的，所述掩模版传输系统还包括预对准单元(未图示)，所述预对准单元设于所述机械手单元310侧，所述预对准单元用于补偿所述机械手单元对掩模版的定位误差，从而使得所述机械手单元310取放掩模版更精准，从而提高了所述掩模版传输系统的工作效率，同时也保护了掩模版的安全。

本发明还提供一种使用所述掩模版传输系统的掩模版扫描方法，参考图7，图7是本发明实施例提供的掩模版扫描方法流程图，所述掩模版扫描方法包括以下步骤：

S10：启动光源单元100，利用取放掩模版机械手311取出所述掩模版版库300上的掩模版盒11中的掩模版，并且带动所述掩模版匀速运动通过条码扫描区域。

具体地，以设于所述掩模版外版库301的所述掩模版扫描装置为例，所述取放掩模版机械手311取完掩模版后，带掩模版离开掩模版外版库301的过程中会从所述掩模版扫描装置10的条码扫描区域穿过，实现了掩模版条码的动态扫描以及动态采集，提高了条码扫描效率，提高了该装置的通用性。另外，掩膜版在掩模版机械手311的辅助下匀速运动通过所述掩膜版条码扫描装置10的条码扫描区域，可以保证所述掩膜版条码扫描装置10能够准确识别掩膜版上的条码，这提高了所述掩膜版条码扫描装置10的扫描精度。

S20：在掩模版通过所述条码扫描区域的过程中，利用所述信号采集单元130采集透过掩模版的光，生成对应的所述光信号并传送给所述电气处理单元140。

具体地，在所述取放掩模版机械手311运动的过程中(采取匀速运动)，所述光源单元100透过掩模版条码明暗相间的条纹，通过狭缝衍射和透镜折射，将掩模版上面每一格条码对应转换成光电接收器上面的所述光信号。

S30：利用所述电气处理单元140对采集到的所述光信号进行处理以得到电信号。

具体地，所述电气处理单元140会对接收到的所述光信号进行一系列转换处理：首先，所述光电接收器141将所述光信号转换为电流信号，所述采样电路单元142将所述电流信号转换为电压信号；接着，所述比较电路单元143会将所述电压信号与设定的阈值电压信号进行比较，以判断电路中的电压信号是否超过设定阈值，最后，所述通信转换单元144将所述比较后的电压信号转换为与所述信号输出接口匹配的电信号。所述信号输出接口向上位机端输出的所述条码电信息是数字信号，所述上位机端(一般是数字处理器)接收到所述条码电信息(数字信号)之后再进行处理，最后获得所述掩模版的条码信息。

综上，本发明提供了一种掩模版条码扫描装置及版库及传输系统及扫描方法，所述掩模版条码扫描装置包括：光源单元、信号采集单元、电气处理单元及集成框架单元，所述光源单元产生条码扫描的检测光，所述信号采集单元采集所述检测光通过匀速运动状态的被测掩模版的条码区域时产生的光信号，所述电气处理单元处理采集到的所述光信号以得到电信号并转换为掩模版的信息，实现了掩模版条码的动态扫描以及掩模版信息的动态采集，提高了条码扫描效率和扫描精度，提高了该装置的通用性。进一步的，所述集成框架单元上设有一机械接口，通过所述机械接口可以实现与外部设备的直接对接，安装方便。进一步的，该装置为一体化结构，集成度高，体积比较占优势，降低了设备的制造成本，从而提高了该装置的产品竞争力。进一步的，所述传输系统包括机械手单元，所述机械手单元包括一取放掩模版机械手，所述取放掩模版机械手只需要拿取掩模版一次并带动所述掩模版匀速通过所述掩模版条码扫描装置上的条码扫描区域，提高了所述机械手单元的取版效率。

上述描述仅是对本发明较佳实施例的描述，并非对本发明范围的任何限定，本发明领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。

Claims (22)

1.一种掩模版条码扫描装置，用于掩模版条码的扫描与识别，其特征在于，所述掩模版条码扫描装置包括：

光源单元，用于产生条码扫描的检测光；

信号采集单元，用于采集所述检测光通过匀速运动状态的被测掩模版的条码区域时产生的光信号；

电气处理单元，用于处理采集到的所述光信号以得到电信号并转换为掩模版的信息；

集成框架单元，包括第一框架组件和第二框架组件，所述第一框架组件置于所述第二框架组件上，所述光源单元设于所述第一框架组件上，所述信号采集单元设于所述第二框架组件内的顶部且位于所述光源单元的下方。

2.根据权利要求1所述的掩模版条码扫描装置，其特征在于，所述电气处理单元设于所述第二框架组件的内部。

3.根据权利要求2所述的掩模版条码扫描装置，其特征在于，所述第二框架组件的顶部设有第一开口，所述光源单元发出的检测光能够通过所述第一开口投射在所述信号采集单元上；所述信号采集单元包括从上到下依次排列的滤光片、第一狭缝结构、第一透镜、第二透镜及第二狭缝结构；

所述信号采集单元还包括一固定支架，所述固定支架具有一凸起，所述凸起与所述第二框架的内壁构成一具有容置空间的盒体；

所述滤光片水平地嵌在所述固定支架的上表面，所述第一狭缝结构、所述第一透镜、所述第二透镜及所述第二狭缝结构从上向下依次水平地安装于所述盒体内，所述固定支架的上表面设于所述第一开口处。

4.根据权利要求3所述的掩模版条码扫描装置，其特征在于，所述光源单元与所述滤光片、所述第一狭缝结构、所述第一透镜、所述第二透镜及所述第二狭缝结构均同轴。

5.根据权利要求4所述的掩模版条码扫描装置，其特征在于，所述信号采集单元还包括透明支架和弹簧，所述透明支架设于所述第一透镜和所述第二透镜之间，所述弹簧设于所述第二透镜和所述第二狭缝结构之间。

6.根据权利要求2所述的掩模版条码扫描装置，其特征在于，所述电气处理单元包括依次相连的光电接收器、采样电路单元、比较电路单元及通讯转换单元；

所述光电接收器用于将采集到的所述光信号转换成电流信号；

所述采样电路单元用于将所述电流信号转换为电压信号；

所述比较电路单元用于将所述电压信号与比较电路单元设定的阈值电压信号进行比较，得到一比较后的电压信号，并将所述比较后的电压信号传送至所述通讯转换单元；

所述通讯转换单元用于将所述比较后的电压信号转换成电信号。

7.根据权利要求6所述的掩模版条码扫描装置，其特征在于，所述电气处理单元还包括一信号输出接口，所述信号输出接口与所述通讯转换单元相连，所述第二框架组件的底部设有第二开口，所述信号输出接口通过所述第二开口与外部的上位机端相连，所述信号输出接口用于接收所述通讯转换单元输出的所述电信号，并将所述电信号向外部的上位机端输出。

8.根据权利要求7所述的掩模版条码扫描装置，其特征在于，所述电气处理单元还包括一外罩，所述光电接收器、采样电路单元、比较电路单元及通讯转换单元设于所述外罩内，所述信号输出接口设于所述外罩上。

9.根据权利要求2所述的掩模版条码扫描装置，其特征在于，所述掩模版条码扫描装置还包括一供电单元，所述供电单元设于所述第二框架组件的内部，所述供电单元用于给所述光源单元、所述信号采集单元及所述电气处理单元供电。

10.根据权利要求9所述的掩模版条码扫描装置，其特征在于，所述第二框架组件包括：框盖和框体，所述框盖安装在所述框体的侧面。

11.根据权利要求2所述的掩模版条码扫描装置，其特征在于，所述第一框架组件包括支撑杆和光源固定部件，所述支撑杆和所述光源固定部件相连并构成一夹角，所述光源固定部件通过所述支撑杆与所述第二框架组件相连。

12.根据权利要求11所述的掩模版条码扫描装置，其特征在于，所述光源单元为LED光源，所述光源单元卡扣在所述光源固定部件上。

13.根据权利要求12所述的掩模版条码扫描装置，其特征在于，所述光源固定部件上设有一机械接口，所述机械接口用于所述掩模版条码扫描装置与外部设备对接。

14.一种掩模版版库，其特征在于，包括：掩模版版盒、版库框架及如权利要求1-13中任一项所述的掩模版条码扫描装置，所述掩模版条码扫描装置安装在所述版库框架内，所述版库框架的顶部为开口结构，所述掩模版版盒穿过所述开口结构，并置于所述掩模版条码扫描装置上。

15.根据权利要求14所述的掩模版版库，其特征在于，所述掩模版条码扫描装置和所述掩模版版盒的数量相同且均大于或者等于1个，若所述掩模版条码扫描装置和所述掩模版版盒的数量为多个，所述掩模版条码扫描装置和所述掩模版版盒相对应，多个所述掩模版条码扫描装置并排放置，所述掩模版版盒均置于对应的所述掩模版条码扫描装置上。

16.根据权利要求15所述的掩模版版库，其特征在于，所述掩模版版盒通过所述掩模版条码扫描装置上的机械接口与对应的所述掩模版条码扫描装置实现对接。

17.根据权利要求16所述的掩模版版库，其特征在于，所述掩模版版盒内的两相对侧壁上设有多对水平支架，每对的两个水平支架在同一平面上，所述支架构成的平面上放置掩模版。

18.一种掩模版传输系统，其特征在于，包括：机械手单元和如权利要求14-17中任一项所述的掩模版版库，所述掩模版版库位于所述机械手单元侧，所述机械手单元包括：取放掩模版机械手，所述取放掩模版机械手用于从所述掩模版版库的掩模版版盒中取出掩模版并匀速运动通过所述掩模版版库的掩模版条码扫描装置的条码扫描区域后放回所述掩模版版盒中。

19.根据权利要求18所述的掩模版传输系统，其特征在于，所述掩模版版库的数量大于或者等于1个，若所述掩模版版库的数量为多个，多个所述掩模版版库均分布在所述机械手单元侧。

20.根据权利要求18所述的掩模版传输系统，其特征在于，所述机械手单元还包括：交换掩模版机械手，所述交换掩模版机械手和所述取放掩模版机械手相连，所述交换掩模版机械手用于接过所述取放掩模版机械手上的所述掩模版并把所述掩模版送到指定位置。

21.根据权利要求18所述的掩模版传输系统，其特征在于，所述掩模版传输系统还包括预对准单元，所述预对准单元设于所述机械手单元侧，所述预对准单元用于补偿所述机械手单元对掩模版的定位误差。

22.一种使用权利要求18-21任一项所述的掩模版传输系统的掩模版扫描方法，其特征在于，包括以下步骤：

启动掩模版条码扫描装置的光源单元，利用取放掩模版机械手取出所述掩模版版库上的掩模版版盒中的掩模版，并且带动所述掩模版匀速运动通过所述条码扫描区域；

在掩模版通过所述条码扫描区域的过程中，利用所述信号采集单元采集透过掩模版的光，生成对应的所述光信号并传送给所述电气处理单元；

利用所述电气处理单元对采集到的所述光信号进行处理以得到电信号。

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