JP2003157030A - 表示装置および表示装置の製造方法 - Google Patents

表示装置および表示装置の製造方法

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JP2003157030A
JP2003157030A JP2001352738A JP2001352738A JP2003157030A JP 2003157030 A JP2003157030 A JP 2003157030A JP 2001352738 A JP2001352738 A JP 2001352738A JP 2001352738 A JP2001352738 A JP 2001352738A JP 2003157030 A JP2003157030 A JP 2003157030A
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thin film
electrode
liquid crystal
display device
film transistor
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JP2001352738A
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Inventor
Nobuitsu Takehashi
信逸 竹橋
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 反射型液晶表示装置は外部からの入射光を反
射させて表示を行うため、周囲の照度が少ない場合、表
示が見えない。またバックライトを設けて液晶表示装置
に光を透過させて表示を行う必要があり、消費電力の増
大、バックライト付加に伴う大型化が生じる。 【解決手段】 反射型液晶素子とエレクトロ・ルミネセ
ンス表示素子3および、スイッチング素子4、5を作り
込み、周囲の明暗で反射型液晶素子2とエレクトロ・ル
ミネセンス表示素子3を選択して切り替えて表示させ
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、表示装置、特に反
射型液晶方式とエレクトロ・ルミネセンス方式による表
示装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、モバイルPC、携帯電話等の携帯
端末機器において、液晶表示装置が盛んに用いられてい
る。特に液晶表示装置の中でも外部からの入射光を反射
して表示を行う反射型液晶表示装置は光源であるパック
ライト装置が不要であるため、消費電力が少なく、表示
装置も薄型となり、携帯機器等の小型、軽量化が可能な
ため注目されている。
【0003】従来の反射型液晶表示装置の構造図で反射
型液晶表示装置にはTN(ツイステッドネマティック)
方式、並びにSTN(スーパーツイステッドネマティッ
ク)方式が一般的に用いられている。
【0004】図10に従来の反射型液晶表示装置を示
す。対向基板30に設けられた偏光板31から外部より
入射した入射光32を液晶33の屈折特性に応じて屈折
率を変化させて薄膜トランジスタ34に設けられた反射
電極35によって反射させ、対向基板30に形成された
カラーフィルタ38を透過してきた射光36を見ること
によりカラー表示を行うものであるが、液晶33の屈折
率を変化させるにはアレイ基板37に画素単位で形成さ
れて薄膜トランジスタ34を駆動回路(図示せず)から
の駆動信号によって駆動させ、液晶33に加わる電圧変
化で屈折率を変化させて表示させるものである。
【0005】図11に従来のエレクトロ・ルミネセンス
表示装置の構成を示す。エレクトロ・ルミネセンス方式
による表示装置はガラス基板40上に形成された蛍光性
有機化合物を含有する有機EL層41を電子注入電極で
ある陰極42とホール注入電極である陽極43とで挟ん
だ構成を有し、蛍光発光層41に電子および正孔(ホー
ル)を注入して再結合させることにより励起子(エキシ
トン)を生成させ、こエキシトンのが失活する際の光4
4の放出(蛍光・燐光)を利用して発光させるものであ
る。このエレクトロ・ルミネセンス方式による表示装置
の特徴は10V以下の低電圧で100〜100000c
d/m2程度の高輝度の面発光が可能であり、また蛍光
物質の種類を選択することにより青色から赤色までの発
光が可能なことである。
【0006】本発明はこれら、反射型液晶表示素子とエ
レクトロ・ルミネセンス表示素子を一画素領域内に形
成、組み合わせることにより、これまでにない新しい表
示装置を実現するものである。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】本来、反射型液晶表示
装置は外部からの入射光を反射させて表示を行うため、
周囲の照度が少ない場合、表示装置の表示を識別するこ
とが困難であるため、暗い場所では反射型液晶表示装置
を搭載した携帯端末機器の表示が見えないといった課題
があった。
【0008】さらに、暗い場所で表示を見えるようにす
るためには液晶表示装置の背面より冷陰極管等の光源を
用いたバックライト装置を設けて液晶表示装置に光を透
過させて表示を行う必要があり、これにより液晶表示装
置の消費電力の増大とバックライト装置の付加によって
液晶表示装置の厚さが厚くなり、携帯端末機器の小型、
薄型、低消費電力化が困難になるといった課題かあっ
た。
【0009】本発明の目的は、上記問題点を解決するた
め、暗い場所でもバックライト装置が不要でも表示が見
やすく、消費電力が少なく、表示装置自体が薄型でかつ
軽量な表示装置を容易に実現することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明ではマトリクス状に配置された個々の一画素
内に外部の入射光を反射させて液晶層の光屈折率により
表示を行う反射型液晶素子と発光性物質に電界を印加す
ることで自己発光表示するエレクトロ・ルミネセンス表
示素子を作り込み、周囲が明るい場合は反射型液晶素子
で表示を行い、一方暗い場合は自己発光の表示が行える
エレクトロ・ルミネセンス表示素子で表示を行うといっ
た周囲の明暗によって表示方式を切り換えて表示する新
しい表示装置を実現するものであり、このことにより、
表示特性が優れ、薄型、軽量でかつ低消費電力の表示装
置を実現するものである。
【0011】
【発明の実施の形態】本発明の第1の実施例である表示
装置の画素の断面構成図を図1に示す。以下では、図1
をもとに説明する。
【0012】ガラス基板1の上には反射型液晶表示素子
2および、エレクトロ・ルミネセンス表示素子3をスイ
ッチング動作させるためのスイッチング素子である第1
の薄膜トランジスタ4と第2の薄膜トランジスタ5が設
けれられている。ガラス基板1は薄膜トランジスタ4、
5の形成面に液晶層11を挟んだ状態で透明導電層(反
射型液晶表示素子の対向電極)12とカラーフィルタ1
2aが形成された対向基板13と張り合わされている。
また、対向基板13には反射型液晶表示素子2の反射電
極が配置、位置する領域のみ選択的に偏光板12bが形
成されている構成となっている。なお、本発明のエレク
トロ・ルミネセンス表示素子3は発光した光を上面に取
り出す、いわゆるリバース構造を用いるものである。
【0013】第1の薄膜トランジスタ4のドレイン電極
6には反射型液晶表示素子2の反射電極7が、第2の薄
膜トランジスタ5のドレイン電極6にはエレクトロ・ル
ミネセンス表示素子3の陽極(ホール注入電極)8が接
続されている。反射型液晶表示素子2および、エレクト
ロ・ルミネセンス表示素子3の駆動用薄膜トランジスタ
4と5は多結晶シリコン膜を成膜してエキシマレーザー
アニール法で単結晶化させて薄膜トランジスタを形成す
る低温ポリシリコンプロセスで作製されるものである。
エレクトロ・ルミネセンス表示素子3はホールを注入す
る陽極8と電子を注入する陰極9との間に電界を印加す
ることで発光する蛍光発光層10を挟んだ構成となって
おり、陽極8には発光した光を上部へ反射させ、発光し
た光を上部より取り出せるよう反射率が高いCr等の金
属薄膜が用いられる。一方の陰極9は主に仕事関数の小
さくかつ、発光した光を透過できるITO、IZO等の
透明導電膜が用いられ、蒸着法またはスパッタリング法
により形成される。
【0014】蛍光発光層10には発光機能を有する化合
物である蛍光物質を含有させた材料、例えばトリス(8
−キノリノラト)アルミニウム(Alq3)等の金属錯体
色素、またはフェニルアントラセン誘導体、テトラアリ
ールエテン誘導体や単体物質ではキナクリドン、クマリ
ン、ルブレン、スチリル系色素等が用いられる。
【0015】また、反射型液晶表示素子2には外部から
の入射光の反射と液晶層11に電界を加え、液晶層11
の光屈折率を変化させるための反射電極7が液晶層11
と接触するよう形成されている(図1)。この反射電極
7にはAl等の比較的反射率が高く電気抵抗が低い金属
材料が用いられる。
【0016】図2に第1の実施例における動作原理を示
した画素の等価回路図を示す。
【0017】画素内には反射型液晶表示素子2と接続さ
れた第1の薄膜トランジスタ4のゲート電極4aは垂直
走査回路16からの第1の水平走査信号線17と接続さ
れ、エレクトロ・ルミネセンス表示素子3と接続された
第2の薄膜トランジスタ5のゲート電極5aは垂直走査
回路16からの第2の水平走査信号線18と接続されて
いる。このような構成において、使用環境の明るさで表
示装置の表示方式を反射型液晶表示方式とエレクトロ・
ルミネセンス表示方式に切り替える際は、例えば、反射
型液晶表示方式で表示を行う場合、反射型液晶表示素子
2と接続された第1の薄膜トランジスタ4のゲート電極
4aが接続された第1の走査信号線17のみに第1の表
示信号19を印加して、反射型液晶表示素子2の第1の
薄膜トランジスタ4のみを動作させることによって反射
型液晶表示方式の表示を行うことができる。また、一方
のエレクトロ・ルミネセンス表示方式で表示を行う場合
エレクトロ・ルミネセンス表示素子3が接続された第2
の薄膜トランジスタ5のゲート電極15が接続された第
2の走査信号線18のみに第2の表示信号20を印加し
てエレクトロ・ルミネセンス表示素子3の第2の薄膜ト
ランジスタ5のみを動作させることによってエレクトロ
・ルミネセンス表示方式の表示を行うことができるもの
である。
【0018】次に図3に第1の実施例における画素の具
体的な構成を示した平面図を示す。
【0019】図3は一つの画素領域29を図示したもの
で画素領域内29には反射型液晶表示装置2とエレクト
ロ・ルミネセンス表示素子3を駆動動作させるため複数
の薄膜トランジスタおよび、複数の水平走査信号線とそ
れぞれの表示素子の画素電極、陽極、陰極が形成されて
いる。
【0020】反射型液晶表示素子2を動作させる第1の
薄膜トランジスタ4のゲート電極4aには第1の水平走
査信号線17が接続され、第1の薄膜トランジスタ4の
ソース電極4bにはソース信号線25が接続される。第
1の薄膜トランジスタ4のドレイン電極4cには反射電
極7が接続され、反射型液晶表示素子2の第1の薄膜ト
ランジスタ4の第1の水平走査信号線17とソース信号
線25からの水平走査信号28とソース信号25aによ
って反射電極7に電圧差を生じさせ、液晶(図示せず)
に加わる電圧変化で屈折率を変化させて表示を行う。ま
た、エレクトロ・ルミネセンス表示素子3は第2の薄膜
トランジスタ5と、第3の薄膜トランジスタ6の2つの
薄膜トランジスタで構成される。第2の薄膜トランジス
タ5のゲート電極5aには第2の水平走査信号線18が
接続され、第2の薄膜トランジスタ5のソース電極5b
はソース信号線25に接続されている。第2の薄膜トラ
ンジスタ5のドレイン電極5cは第3の薄膜トランジス
タ6のゲート電極6aに接続されており、さらには第3
の薄膜トランジスタ6のソース電極6cは電源供給線2
6に、第3の薄膜トランジスタ6のドレイン電極6cは
陽極8にそれぞれ接続されている。このような構成によ
り、第3の薄膜トランジスタ6で陽極8に印可される電
源供給線26からの電圧/電流を制御することにより陽
極と陰極間の蛍光発光層10を発光させ、エレクトロ・
ルミネセンス表示が行われる。なお、エレクトロ・ルミ
ネセンス表示素子3に設けられる薄膜トランジスタの構
成数は上記のように2つに限るものではない。このよう
にして反射型液晶表示素子2とエレクトロ・ルミネセン
ス表示素子3は一つの画素領域29に形成され、それら
をR(赤)用画素、G(緑)用画素、B(青)用個々の
画素としてマトリクス状に配置させることにより、カラ
ー表示を行うことが可能である。
【0021】次に本発明の第2の実施例を図4を用いて
説明する。図4は本発明の第2の実施例による表示装置
の画素の断面構成図を示したものである。
【0022】ガラス基板1上には反射型液晶表示素子2
および、エレクトロ・ルミネセンス表示素子3が形成さ
れ、それらをスイッチング動作させるための第1の薄膜
トランジスタ4と前記第1の薄膜トランジスタから出力
されるスイッチング信号いわゆる表示信号を反射型液晶
表示素子2またはエレクトロ・ルミネセンス表示素子3
のいずれか一方のみに切り替えて表示信号送るスイッチ
ング回路22が形成されている。このスイッチング回路
22は第1の薄膜トランジスタ4と同様のプロセスで第
2、第3の薄膜トランジスタ5、24等のCMOS素子
によって構成されるものである。そしてこれらが形成さ
れたガラス基板1は薄膜トランジスタ形成面に液晶層1
1を挟んだ状態で対向電極12とカラーフィルタ12a
が形成された対向基板13と張り合わされている。対向
基板13には反射型液晶表示素子2の反射電極が配置、
位置する領域のみ選択的に偏光板12bが形成されてい
る。なお、本発明のエレクトロ・ルミネセンス表示素子
3は発光した光を上面に取り出す、いわゆるリバース構
造を用いるものである。
【0023】第1の薄膜トランジスタ4のドレイン電極
6には第2、第3の薄膜トランジスタ5、24で構成さ
れるスイッチング回路22と接続され、スイッチング回
路は個別に反射型液晶表示素子2の反射電極7および、
エレクトロ・ルミネセンス表示素子3の陽極(ホール注
入電極)8が接続されている。反射型液晶表示素子2お
よび、エレクトロ・ルミネセンス表示素子3を駆動する
第1の薄膜トランジスタ4およびスイッチング回路22
を構成する第2、第3の薄膜トランジスタ5、24は共
に多結晶シリコン膜を成膜してエキシマレーザーアニー
ル法で単結晶化させて薄膜トランジスタを形成する低温
ポリシリコンプロセスで作製されるものである。エレク
トロ・ルミネセンス表示素子3はホールを注入する陽極
8と電子を注入する陰極9との間に電界を印加すること
で発光する蛍光発光層10を挟んだ構成となっており、
陽極8には発光した光を上部へ反射させ、発光した光を
上部より取り出せるよう反射率が高いCr等の金属薄膜
が用いられる。一方の陰極9は主に仕事関数の小さくか
つ、発光した光を透過できるITO、IZO等の透明導
電膜が用いられ、蒸着法またはスパッタリング法により
形成される。
【0024】蛍光発光層10には発光機能を有する化合
物である蛍光物質を含有させた材料、例えばトリス(8
−キノリノラト)アルミニウム(Alq3)等の金属錯体色
素、またはフェニルアントラセン誘導体、テトラアリー
ルエテン誘導体や単体物質ではキナクリドン、クマリ
ン、ルブレン、スチリル系色素等が用いられる。反射型
液晶表示素子2には外部からの入射光の反射と液晶層1
1に電界を加え、液晶層11の光屈折率を変化させるた
めの反射電極7が液晶層11と接触するよう形成されて
いる。この反射電極7にはAl等の比較的反射率が高く
電気抵抗が低い金属材料が用いられる。
【0025】図5に第2の実施例における動作原理を示
した画素の等価回路図を示す。
【0026】一画素内には反射型液晶表示装置を駆動動
作させる第1の薄膜トランジスタ4および、エレクトロ
・ルミネセンス表示素子を駆動動作させる第2,第3の
薄膜トランジスタ5、6と反射型液晶表示素子の反射電
極7および、エレクトロ・ルミネセンス表示素子の陽極
9への電圧/電流を切り替えるスイッチング回路22が
形成されている。
【0027】スイッチング回路22には極性が異なる第
1のスイッチング用薄膜トランジスタ21と第2のスイ
ッチング用薄膜トランジスタ27で構成されており、そ
れら第1のスイッチング用薄膜トランジスタ21と第2
のスイッチング用薄膜トランジスタ27のゲート電極は
スイッチング信号線23と接続されている。こうして、
例えば反射型液晶表示素子に接続された第1のスイッチ
ング用薄膜トランジスタ21をPチャンネル型で、一方
のエレクトロ・ルミネセンス表示素子3に接続された第
2のスイッチング用薄膜トランジスタ27をNチャンネ
ル型とした場合、スイッチング信号線23のスイッチン
グ信号24がHIaの場合ではNチャンネル型、すなわ
ち、エレクトロ・ルミネセンス表示素子の陽極と接続さ
れた第2のスイッチング用薄膜トランジスタ27がオン
となり、エレクトロ・ルミネセンス表示素子3が表示動
作する。一方、スイッチング信号線のスイッチング信号
がLowbの場合では反射型液晶表示素の反射電極と接
続されたPチャンネル型の第1のスイッチング用薄膜ト
ランジスタ21がオンとなり、反射型液晶表示素子2が
表示動作する。このように極性が異なる薄膜トランジス
タを複数組み合わせてスイッチング回路22を構成する
ことにより、選択的に反射型液晶表示装置および、エレ
クトロ・ルミネセンス表示素子を切り替えることが可能
となる。
【0028】従って、外部環境の明暗に応じて、スイッ
チング信号変化させることで、明るい場合は反射型液晶
表示素子2に、暗い場合エレクトロ・ルミネセンス表示
素子3にと選択表示させることができる。
【0029】次に図6に第2の実施例の具体的な構成を
示した画素の平面図を示したものである。
【0030】一画素領域内29には反射型液晶表示装置
2とエレクトロ・ルミネセンス表示素子3を駆動動作さ
せるため複数の薄膜トランジスタおよび、複数の水平走
査信号線とそれぞれの表示素子の画素電極、陽極、陰極
とさらには反射型液晶表示素子2の反射電極7とエレク
トロ・ルミネセンス表示素子3の陽極8への電圧/電流
をいづれかに切り替えるスイッチング回路22、さらに
はスイッチング回路22を切り替え制御するスイッチン
グ信号線23が形成されている。
【0031】反射型液晶表示素子2を動作させる第1の
薄膜トランジスタ4のゲート電極4aとエレクトロ・ル
ミネセンス表示素子3を動作させる第2の薄膜トランジ
スタ5のゲート電極5aはともに第1の水平走査信号線
17と接続されており、また反射型液晶表示素子2の第
1の薄膜トランジスタ4のソース電極4bとエレクトロ
・ルミネセンス表示素子3の第2の薄膜トランジスタ5
のソース電極5bはソース信号線25と接続されてい
る。
【0032】さらに、反射型液晶表示素子2の第1の薄
膜トランジスタ4のドレイン電極4cおよび、エレクト
ロ・ルミネセンス表示素子3の第3の薄膜トランジスタ
6のドレイン電極6cはともにスイッチング回路22の
第1と第2のスイッチング用薄膜トランジスタ21、2
7のソース電極21bにそれぞれ接続されている。この
ソース電極21bはスイッチング回路22の第1と第2
のスイッチング用薄膜トランジスタ21、27の共通ソ
ース電極である。
【0033】スイッチング回路22の第1および、第2
の薄膜トランジスタ21、27はお互いに極性が異なる
構成となっている。たとえば、第1のスイッチング用薄
膜トランジスタ21をNch、第2のスイッチング用薄
膜トランジスタ27をPchで構成することにより、ス
イッチング信号線23にHIレベルのスイッチング信号
24aを送れば第1のスイッチング用薄膜トランジスタ
のみがONとなり、反射型液晶表示素子2の反射電極7
に電圧差が生じ、反射電極7と接する液晶(図示せず)
の屈折率を変化させて表示が行われる。
【0034】一方、スイッチング信号線23にLowレ
ベルのスイッチング信号24bを送れば第2のスイッチ
ング用薄膜トランジスタのみがONとなり、エレクトロ
・ルミネセンス表示素子3の陽極8への電圧/電流が印
可されて陽極8と陰極9間の蛍光発光層10が発光し、
エレクトロ・ルミネセンス表示が行われる。
【0035】なお、スイッチング用第1と第2の薄膜ト
ランジスタ21、27の極性は上記に限られるものでは
なく、その逆の構成でも良い。この場合、スイッチング
信号線に加えるスイッチング信号のHI、Lowをも逆
にすることにより反射型液晶表示素子2とエレクトロ・
ルミネセンス表示3の表示切り替えが可能となる。
【0036】このように反射型液晶表示素子2の第1の
薄膜トランジスタ4のドレイン電極4cとエレクトロ・
ルミネセンス表示3の第3の薄膜トランジスタ6のドレ
イン電極をスイッチング回路の第1、第2の薄膜トラン
ジスタ21、27の共通ソース電極21bに接続し、ス
イッチング信号線23にHI/Lowいずれかのレベル
のスイッチング信号線24a、24bを選択的に送るこ
とにより、反射型液晶素子2または、エレクトロ・ルミ
ネセンス表示素子3のいずれかを任意的に動作表示でき
るものである。
【0037】スイッチング回路22のスイッチング用薄
膜トランジスタ21のドレイン電極21cには反射型液
晶表示素子2の反射電極7が接続され、一方のスイッチ
ング回路22のスイッチング用薄膜トランジスタ27の
ソース電極21bにはエレクトロ・ルミネセンス表示素
子3の陽極8が接続されている。
【0038】なお、スイッチング回路22のスイッチン
グ用薄膜トランジスタ21のドレイン電極21cとソー
ス電極21bへの反射型液晶表示素子2の反射電極7と
エレクトロ・ルミネセンス表示素子3の陽極8の接続は
上記に限定されるものではなく、その逆でも良い。
【0039】このような画素構成により、第1の水平走
査信号線17から送られる水平走査信号17aとソース
信号線25からより送られるソース信号25aにより反
射型液晶表示素子2のとエレクトロ・ルミネセンス表示
素子3がともに動作し、スイッチング回路22のスイッ
チング用薄膜トランジスタのソースには第1の水平走査
信号線17が接続され、第1の薄膜トランジスタ4のソ
ース電極4bにはソース信号線25が接続される。第1
の薄膜トランジスタ4のドレイン電極4cには反射電極
7が接続され、反射型液晶表示素子2の第1の薄膜トラ
ンジスタ4の第1の水平走査信号線17とソース信号線
25からの水平走査信号28とソース信号25aによっ
て反射電極7に電圧差が生じさせ、液晶(図示せず)に
加わる電圧変化で屈折率を変化させて表示を行う。ま
た、エレクトロ・ルミネセンス表示素子3はエレクトロ
・ルミネセンス表示を行うため、たとえば、第2の薄膜
トランジスタ5と、第3の薄膜トランジスタ6の2つの
薄膜トランジスタで構成される。第2の薄膜トランジス
タ5のゲート電極5aには第2の水平走査信号線18が
接続され、第2の薄膜トランジスタ5のソース電極5b
はソース信号線25に接続されている。第2の薄膜トラ
ンジスタ5のドレイン電極5cは第3の薄膜トランジス
タ6のゲート電極6aに接続されており、さらには第3
の薄膜トランジスタ6のソース電極6cは電源供給線2
6に、第3の薄膜トランジスタ6のドレイン電極6cは
陽極8にそれぞれ接続されている。なお、エレクトロ・
ルミネセンス表示素子3に設けられる薄膜トランジスタ
は2つに限るものではない。このようにして反射型液晶
表示素子2とエレクトロ・ルミネセンス表示素子3は一
つの画素領域29に形成され、それらをR(赤)用画
素、G(緑)用画素、B(青)用画素個々にマトリクス
配置させることにより、カラー表示を行うことが可能で
ある。
【0040】次に本発明の表示装置の製造方法について
図7を用いて説明する。本製造方法は第1の実施例にお
ける表示装置の構成における表示装置の製造方法を示し
たものであり、単一画素内に反射型液晶表示素子2とそ
れをスイッチングする第1の薄膜トランジスタとエレク
トロ・ルミネセンス表示素子3とそれをスイッチングす
る第2の薄膜トランジスタをそれぞれ同一プロセスで一
括に製造するものである。
【0041】図7(A)においてガラス基板1上に両表
示素子2、3のスイッチングを行う薄膜トランジスタが
必要であるため、薄膜トランジスタの形成はまず、多結
晶シリコン膜をPE-CVD法で形成し、XeClガス
による波長308nmのエキシマレーザーを照射し、多結
晶シリコン膜を単結晶シリコン膜30に結晶成長させ
る。そして単結晶シリコン膜30を所定の形状にパター
ニングを行なったのち、単結シリコン晶膜30上にCV
D法等によってTEOS膜等によるゲート絶縁膜31を
形成する。
【0042】図7(B)においてゲート電極32となる
Al等の金属膜をスパッタ法等によって形成し、所定の
形状にパターニングを行いゲート電極32上に層間絶縁
膜33を形成する。
【0043】次に図7(C)において、単結晶シリコン
膜30およびゲート電極32と電気的な接続を行うた
め、所定の領域の層間絶縁膜33およびゲート絶縁膜3
1をエッチングしてコンタクトホール34を形成する。
【0044】次に図7(D)において、配線電極35と
なる金属膜を形成し、所定の形状にパターニングを行
い、コンタクトホール34を介して単結晶シリコン膜3
0およびゲート電極32とを電気的に接続を行う。配線
電極35となる金属にはAl等を用いることができ、ス
パッタ法によって形成するものである。これにより反射
型液晶表示素子をスイッチングする第1の薄膜トランジ
スタ4とエレクトロ・ルネセンス表示素子をスイッチン
グする第2の薄膜トランジスタ5が同時形成される。
【0045】次に図8(A)において、ガラス基板1の
表面の凹凸を平坦化するために平坦化膜36を形成し、
第1の薄膜トランジスタ4のドレイン電極6に反射型液
晶表示素子2の電極となる反射電極7と、第2の薄膜ト
ランジスタ5のドレイン電極6にエレクトロ・ルネセン
ス表示素子3電子注入電極となる陰極8を形成する。こ
れら反射電極と陰極8はAl等の金属膜で主にスパッタ
法等で形成し、所定の形状にパターニングを行う。
【0046】さらに、図8(B)において、エレクトロ
・ルネセンス表示素子3のホールを注入する陽極8の上
に蛍光発光層10を形成する。さらに蛍光発光層10の
上に陰極9を形成することで、エレクトロ・ルネセンス
表示素子3を得る。
【0047】次に図8(C)において、このガラス基板
1に液晶層11を挟んで対向電極12とカラーフィルタ
12aを形成した対向基板13と張り合わせて接着固定
する。そして、対向基板13の表面には反射型液晶表示
素子2の反射電極7上に選択的に偏光板12bを接着す
る。ことにより、本発明における表示装置を実現できる
ものである。
【0048】また、本発明における表示装置の製造方法
では図9(A)に示すように、エレクトロ・ルネセンス
表示素子3の表示輝度を高める手段としてエレクトロ・
ルネセンス表示素子3上に液晶層11を介在しないよう
に、反射型液晶表示素子2とエレクトロ・ルネセンス表
示素子3の領域を分離する隔壁37を設けても良い。さ
らには反射型液晶表示素子2の表示品質を高めるため、
エレクトロ・ルネセンス表示素子3と相対する対向基板
13の対向電極12を除去しても良い。
【0049】なお、本発明における表示装置の製造方法
によれば、前記第2の実施例における表示装置の構成に
おいても同様な製造プロセスで実現できる。
【0050】従って、これらの構成、方法により周囲が
明るい際は、反射型液晶方式で、周囲が暗い際はEL表
示方式で表示装置の表示方式を選択することにより、使
用環境の照度が著しく変化しても表示が見やすく、暗い
場合でもバックライト装置を必要としないため薄型、軽
量でかつ消費電力が少ない表示装置が実現でき、携帯機
器の小型、軽量、低消費電力化に大きく貢献できるもの
である。
【0051】
【発明の効果】本発明は上記の説明で明らかなとおり、
周囲が明るい際は、反射型液晶方式で、周囲が暗い際は
EL表示方式で表示装置の表示方式を選択することによ
り、暗い場所でもバックライト装置を必要としないた
め、薄型、軽量でかつ、消費電力が少ない薄型、軽量な
表示装置を実現することが可能となり、携帯機器の小
型、軽量、低消費電力化に大きく貢献できるものであ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例を示した断面構成図
【図2】本発明の第1の実施例における画素の等価回路
【図3】本発明の第1の実施例を示した平面図
【図4】本発明の第2の実施例を示した断面構成図
【図5】本発明の第2の実施例における画素の等価回路
【図6】本発明の第2の実施例を示した平面図
【図7】本発明の表示装置の製造方法を示した工程断面
【図8】本発明の表示装置の製造方法を示した工程断面
【図9】本発明の表示装置の製造方法を示した工程断面
【図10】本発明の従来例における反射型液晶表示装置
の断面構成図
【図11】本発明の従来例におけるエレクトロ・ルミネ
センス表示装置の断面構成図
【符号の説明】
1 ガラス基板 2 反射型液晶表示素子 3 エレクトロ・ルミネセンス表示素子 4 第1の薄膜トランジスタ 4a 第1の薄膜トランジスタのゲート電極 4b 第1の薄膜トランジスタのソース電極 4c 第1の薄膜トランジスタのドレイン電極 5 第2の薄膜トランジスタ 5a 第2の薄膜トランジスタのゲート電極 5b 第2の薄膜トランジスタのソース電極 5c 第2の薄膜トランジスタのドレイン電極 6 第3の薄膜トランジスタ 6a 第3の薄膜トランジスタのゲート電極 6b 第3の薄膜トランジスタのソース電極 6c 第3の薄膜トランジスタのドレイン電極 7 反射電極 8 陽極 9 陰極 10 蛍光発光層 11 液晶層 12 対向電極 12a カラーフィルタ 12b 偏光板 13 対向基板 16 垂直走査回路 17 第1の水平走査信号線 17a 水平走査信号 18 第2の水平走査信号線 19 第1の表示信号 20 第2の表示信号 21 第1のスイッチング用薄膜トランジスタ 22 スイッチング回路 23 スイッチング信号線 24 スイッチング信号 25 ソース信号線 25a ソース信号 26 電源供給線 27 第2のスイッチング用薄膜トランジスタ 27a 第1第2のスイッチング用薄膜トランジスタの
ゲート電極 28 水平走査信号線 29 1画素領域
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G09F 9/30 365 G09F 9/30 365Z 5F048 9/35 9/35 5F110 G09G 3/20 621 G09G 3/20 621M 622 622Q 624 624B 650 650B 680 680G 3/30 3/30 Z 3/36 3/36 H01L 21/336 H01L 27/08 331E 27/08 331 29/78 612Z 29/786 Fターム(参考) 2H091 FA14Y FC02 FC10 FC26 FC29 FC30 FD04 FD12 FD23 GA13 2H092 JA25 JA29 JA33 JA39 JA42 JA43 JA46 JB13 JB23 JB27 JB38 KA04 MA08 MA13 MA17 MA28 MA35 MA37 NA25 5C006 AF23 AF46 AF51 AF53 AF54 AF63 AF69 BB16 BB28 BC03 BC06 BC08 BC11 FA04 FA47 5C080 AA06 AA10 BB05 DD03 DD26 EE28 FF11 JJ03 JJ06 5C094 AA01 AA15 AA22 BA03 BA27 BA43 CA19 CA20 CA23 DA02 DB04 EA06 FA01 GB01 5F048 AB10 AC04 BA16 BC16 BG05 5F110 AA09 BB02 BB04 CC01 DD02 EE03 EE44 FF02 FF29 GG02 GG13 GG45 HL03 HL23 NN02 PP03 PP04

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1の基板と、前記第1の基板に対向
    し、透明導電層を有する第2の基板と、前記第1の基板
    と前記第2の基板間であって、前記第1の基板上に、マ
    トリックス状に、外部から入射した光を反射する反射電
    極と、前記反射電極と前記透明導電層との間に液晶層と
    を有する反射型液晶表示素子と、一対の電極間に少なく
    とも発光層を有するエレクトロ・ルミネッセンス素子と
    を有する表示装置であって、前記反射型液晶表示素子は
    前記反射電極と前記第2の基板上の前記透明導電層との
    間で電界を制御し、前記第1の基板上に前記反射型液晶
    表示素子と前記エレクトロ・ルミネッセンス素子とをス
    イッチング動作させるスイッチング素子を具備すること
    を特徴とする表示装置。
  2. 【請求項2】 反射型液晶素子とエレクトロ・ルミネセ
    ンス素子にそれぞれスイッチング素子が設けられ、それ
    ぞれのスイッチング素子は、異なる信号線に接続されて
    いることを特徴とする請求項1記載の表示装置。
  3. 【請求項3】 反射型液晶表示素子およびエレクトロ・
    ルミネセンス素子と、スイッチング素子との途中に、表
    示信号を前記反射型液晶表示素子またはエレクトロ・ル
    ミネセンス素子いずれかに切り替えるスイッチング回路
    が設けられていることを特徴とする請求項1記載の表示
    装置。
  4. 【請求項4】 表示装置内への外部入射光がないとき、
    前記エレクトロ・ルミネセンス素子と接続するスイッチ
    ング素子に表示信号が印加されることを特徴とする請求
    項1記載の表示装置。
  5. 【請求項5】 スイッチング素子が薄膜トランジスタで
    あることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の
    表示装置。
  6. 【請求項6】 スイッチング回路がCMOS回路で構成
    されていることを特徴とする請求項3記載の表示装置。
  7. 【請求項7】 マトリクス状に複数の画素が配置され、
    複数の画素を駆動する駆動回路が設けられたアレイ基板
    と、対向電極を備えた対向基板とを互いに接合し、両基
    板の間に電気光学物質を保持してなる表示装置におい
    て、第1および第2の薄膜トランジスタを形成する工程
    と前記第1と第2の薄膜トランジスタのゲート電極を配
    線電極層を成膜、パターニングし、垂直走査回路の水平
    走査信号配線と接続する工程と第1の薄膜トランジスタ
    のドレイン電極に第1の電極となる金属薄膜を成膜、パ
    ターニングする工程と第2の薄膜トランジスタのドレイ
    ン電極に第2の電極となる金属薄膜を成膜、パターニン
    グする工程と前記第2の薄膜トランジスタの第2の電極
    上に蛍光発光層を成膜、パターニングする工程と前記蛍
    光発光層上に第3の電極となる透明導電膜を成膜、パタ
    ーニングする工程と対向電極が形成された対向基板とを
    液晶を挟んで張り合わせする工程から成る表示装置の製
    造方法。
  8. 【請求項8】 前記第1の薄膜トランジスタの反射電極
    材料と前記第2の薄膜トランジスタの陽極材料が同一で
    あることを特徴とする請求項7記載の表示装置の製造方
    法。
  9. 【請求項9】 前記第1の電極と前記第2の電極とを分
    離する柱を形成することを特徴とする請求項7記載の表
    示装置の製造方法。
  10. 【請求項10】 第2の電極と相対する領域の対向電極
    を除去することを特徴とする請求項7記載の表示装置の
    製造方法。
  11. 【請求項11】 第3の電極上に液晶を形成しないこと
    を特徴とする請求項7記載の表示装置の製造方法。
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