JP2003147094A - クリーンフィルム及びその積層体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】アウトイオン、パーティクル、Ｓｎ、Ｓｉが少
ないことを定量的に示したクリーン包材およびそれを用
いた積層体を提供することを目的とする。 【解決手段】フィルムから溶出するナトリウムイオン、
カリウムイオン、マグネシウムイオン、カルシウムイオ
ン、塩素イオン、亜硝酸イオン、硝酸イオン、リン酸イ
オン、硫酸イオンの各アウトイオン量がそれぞれ０．２
０ｎｇ/ｃｍ²以下であり、内表面に付着している粒径１
μｍ以上のパーティクル数が５個/ｃｍ²以下であり、溶
出するスズが０．５ｐｇ/ｃｍ²以下、ケイ素が０．５ｎ
ｇ/ｃｍ²以下であることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、塵・埃等の付着、ハロ
ゲンイオンを始めとする化学物質の付着を極端に嫌うＩ
Ｃ、ＬＳＩ等の半導体製品、コンピュータ周辺装置の記
憶装置であるＦＤＤ、光磁気ディスクドライブ、ＨＤ
Ｄ、ＭＲ（磁気抵抗効果式）ヘッド等、メモリ媒体であ
るＦＤ、ＨＤ等の電子部品等の包装袋に好適に使用され
るものである。更に詳しくは、内容物に接触する可能性
があるシーラントフィルム層からの発塵、化学物質の溶
出等が定量的に少ない包材およびそれを用いた、包装袋
に使用可能な積層体に関する。

【０００２】

【従来の技術】ＩＣ、ＬＳＩ等の半導体製品、コンピュ
ータ周辺装置の記憶装置であるＦＤＤ、光磁気ディスク
ドライブ、ＨＤＤ、ＭＲ（磁気抵抗効果式）ヘッド等、
メモリ媒体であるＦＤ、ＨＤ等の電子部品は、極微小、
極微量の汚染物で腐食、動作不良等の障害が起こる。Ｈ
ＤＤを例に挙げると、上記汚染物は、（１）塩素イオ
ン、硫酸イオン等腐食の原因となるイオン性物質、
（２）ヘッド−ディスク間に進入して記録再生面の損傷
原因となる塵埃、（３）液滴飛散ないし表面移動によ
り、ヘッド−ディスク間に進入して製品粘着原因となる
不揮発性残さ、（４）凝縮、吸着、固体化などによりヘ
ッドに付着して浮上性に影響を及ぼしたり、ヘッド−デ
ィスク間に凝縮して粘着原因となる有機系アウトガス、
に分けられる。（１）のイオン性物質をアウトイオン、
（２）の塵埃をパーティクルとも言う。（１）〜（４）
に加え、ディスク障害につながるため、Ｓｎ、Ｓｉは禁
忌物質として知られている。このような汚染物で製品が
汚染されることをコンタミネーションというが、極微
小、極微量の汚染物が故障原因となるため、通常のコン
タミネーションと区別する意味でマイクロコンタミネー
ションとも呼ばれている。ＨＤＤのみならずこのような
電子部品を梱包する包装袋については、内容物に悪影響
を及ぼさないよう、汚染物を可能な限り少なくし、マイ
クロコンタミネーションを制御することが求められる。
しかし、クリーン包材およびクリーン包装袋と呼ばれる
包装材料は広く世の中に流布しているものの、よく実施
される方法としては、清浄なＨＤＤ媒体等に包材を密着
させ、包材から転写された物質を基盤検査機あるいはＸ
線光電子分光分析（以下ＸＰＳ）、ケイ光Ｘ線分析等の
表面分析により評価する方法があるが、包材だけではク
リーン度が測定できず、清浄な媒体等が入手困難である
上、分析自体も煩雑であった。また、電子部品のクリー
ン性評価法を包材に転用した場合、ハンドリングによる
測定値の不確かさが大きい等の原因により包材のクリー
ン性を精度良く測定できないにもかかわらず、包材のク
リーン度評価方法の規定およびクリーン性を定量的に規
定した包材はほとんどないのが現状である。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の課題
を考慮してなされたもので、アウトイオン、パーティク
ル、Ｓｎ、Ｓｉが少ないことを定量的に示したクリーン
包材およびそれを用いた積層体を提供することを目的と
するものである。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に係る
発明は、フィルムから溶出する塩素イオン、亜硝酸イオ
ン、硝酸イオン、リン酸イオン、硫酸イオンの各アウト
イオン量がそれぞれ０．２０ｎｇ/ｃｍ²以下であるもの
からなることを特徴とするクリーンフィルムである。

【０００５】次に、請求項２にかかる発明は、フィルム
から溶出するナトリウムイオン、カリウムイオン、マグ
ネシウムイオン、カルシウムイオン、塩素イオン、亜硝
酸イオン、硝酸イオン、リン酸イオン、硫酸イオンの各
アウトイオン量がそれぞれ０．２０ｎｇ/ｃｍ²以下であ
るものからなることを特徴とするクリーンフィルムであ
る。

【０００６】次に、請求項３にかかる発明は、フィルム
の内表面に付着している粒径１μｍ以上のパーティクル
数が包材１ｃｍ²当たり５個以下であることを特徴とす
るクリーンフィルムである。

【０００７】次に、請求項４にかかる発明は、フィルム
から溶出するＳｎが、０．５ｎｇ/ｃｍ²以下であること
を特徴とするクリーンフィルムである。

【０００８】次に、請求項５にかかる発明は、フィルム
から溶出するＳｉが、０．５ｎｇ/ｃｍ²以下であること
を特徴とするクリーンフィルムである。

【０００９】次に、請求項６にかかる発明は、上記請求
項１乃至請求項５にかかる発明において、前記フィルム
がポリオレフィン系樹脂からなることを特徴とするクリ
ーンフィルムである。

【００１０】次に、請求項７にかかる発明は、上記請求
項５にかかる発明において、前記ポリオレフィン系樹脂
が、メルトインデックス（ＭＩ）が０．１〜２０（ｇ/
１０分・１９０℃）の低密度ポリエチレンであることを
特徴とするクリーンフィルムである。

【００１１】次に、請求項８にかかる発明は、上記請求
項１乃至請求項７のいずれかに記載のクリーンフィルム
の片面または両面に、少なくともガスバリア層あるいは
基材層のいずれかを積層したことを特徴とする積層体で
ある。

【００１２】

【発明の実施の形態】本発明のクリーンフィルム及びそ
のクリーンフィルムを使用した積層体を、実施の形態に
沿って以下に詳細に説明する。

【００１３】図１は本発明のクリーンフィルムの巻取１
０の斜視図であり、図２（ａ）はキャスト法で製膜して
巻き取った本発明のクリーンフィルム１１のＡ−Ａ′面
の側断面図であり、図２（ｂ）はインフレーション製膜
機で樹脂をチューブ状に押出し、押出したチューブ状フ
ィルム内にクリーンエアを吹き込み、チューブ状フィル
ムの両端を製造ライン上で耳切りをせず、帯状で巻き取
った本発明のクリーンフィルム１２のＡ−Ａ′面の側断
面図である。

【００１４】本発明のクリーンフィルムは、共押し出し
構成とすることも好ましく行われる。つまり、要求され
るフィルム厚みが厚い場合、２層以上の共押し出し構成
とすることも可能である。例えば９０μｍ必要である場
合、加工方法によっては単層で９０μｍのフィルムが得
られない場合がある。そのようなときには、例えば４５
μｍ、４５μｍの２層共押し出し構成としてもよいし、
３０μｍ、３０μｍ、３０μｍの３層共押し出し構成と
してもよい。共押し出し構成の場合に用いる樹脂は、必
ずしも同じ樹脂でなくてもよいが、十分な層間強度が得
られるような樹脂を選択する必要がある。

【００１５】前記クリーンフィルム１１、１２に用いる
樹脂としては、高密度ポリエチレン（ＨＤＰＥ）、中密
度ポリエチレン（ＭＤＰＥ）、低密度ポリエチレン（Ｌ
ＤＰＥ）、直鎖状低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）な
どのポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、
ポリブテン、ポリメチルペンテンなどの単独重合体や、
エチレン、プロピレン、ブテン、メチルペンテンなどの
オレフィンから選ばれる２つ以上のモノマーの共重合
体、例えばエチレン−プロピレン共重合体等が挙げら
れ、これらの２つ以上の混合物を用いることも可能であ
り、また、ある種の官能基を導入したグラフトポリマ
ー、例えば無水マレイン酸グラフトポリプロピレンのよ
うな樹脂、エチレン−α、β不飽和カルボン酸共重合体
を主骨格とするエチレン系共重合体を用いることも可能
であるが、クリーン性の面からはメルトインデックス
（ＭＩ）が０．１〜２０で、かつ酸化防止剤、アンチブ
ロッキング剤、滑剤等の添加剤を含まないＬＤＰＥが最
適である。前記ＬＤＰＥのメルトインデックス（ＭＩ）
が０．１〜２０（ｇ/１０分・１９０℃）が好ましいと
するのは、メルトインデックス（ＭＩ）の低い樹脂を用
いたほうが、低分子量成分が少ないため成形時の熱安定
性に優れ、クリーン性が高い積層材料が得られるためで
ある。

【００１６】本発明のクリーンフィルム１１、１２とし
て、定量的に規定したアウトイオン量、溶出Ｓｎ量、溶
出Ｓｉ量、フィルム表面のパーティクル数について説明
を加える。

【００１７】アウトイオン量および溶出Ｓｎ量、パーテ
ィクルの抽出条件は同じであり、前記クリーンフィルム
１１、１２の内容物に接する面を２３±２℃の雰囲気下
で１ｃｍ²当たり０．３ｍｌの超純水で抽出することが
好ましい。

【００１８】抽出液中のイオン濃度をイオンクロマトグ
ラフ（ＩＣ）で測定した際の塩素イオン、亜硝酸イオ
ン、硝酸イオン、リン酸イオン、硫酸イオンの５種の各
アウトイオン量はそれぞれ０．２０ｎｇ/ｃｍ²以下であ
る必要があり、かつさらに、ナトリウムイオン、カリウ
ムイオン、マグネシウムイオン、カルシウムイオン、塩
素イオン、亜硝酸イオン、硝酸イオン、リン酸イオン、
硫酸イオンの９種の各アウトイオン量がそれぞれ０．２
０ｎｇ/ｃｍ²以下であることが好ましい。また、抽出液
中のＳｎ濃度を結合誘導プラズマ−質量分析計（ＩＣＰ
−ＭＳ）で測定した際に０．５ｐｇ/ｃｍ²以下であるこ
とが必要であり、また、抽出液中のパーティクル（微粒
子）数を液中パーティクルカウンターにて測定した際
に、粒径１μｍ以上のパーティクル数が５個/ｃｍ²以下
である必要がある。前記粒径１μｍ以上のパーティクル
が少なければ、粒径１μｍ未満のパーティクル数も制限
されることになるが、粒径０．３μｍ以上のパーティク
ル数は１２５個/ｃｍ²以下であることが好ましい。

【００１９】溶出Ｓｉ量の抽出条件は、前記クリーンフ
ィルム１１、１２の内容物に接する面を２３±２℃の雰
囲気下で１ｃｍ²当たり０．１ｍｌの超純水で抽出し、
抽出液中のＳｉ濃度が０．５ｎｇ/ｃｍ²以下であること
が好ましい。

【００２０】本発明では、クリーンフィルム１１、１２
の前述汚染物の不揮発性残さと有機系アウトガスについ
ては規定しなかったが、その理由としてどちらも種々の
評価手法が存在し、得られる数値は、評価手法と評価に
用いる分析装置の性能に大きく左右されることと、フィ
ルムのアウトイオン量、溶出Ｓｎ量、溶出Ｓｉ量、パー
ティクル数の規定を満たす場合には、不揮発残さと有機
系アウトガスもかなり少ないレベルに抑えることが可能
であることが挙げられるからである。

【００２１】図３（ａ）は本発明のクリーンフィルム１
１の片面に接着剤層を介してガスバリア層および基材層
を積層した積層体の断面図であり、クリーンフィルム１
１、接着剤層１３、ガスバリア層１４、接着剤層１５、
基材層１６が順次積層されており、（ｂ）は本発明のチ
ューブ状クリーンフィルム１２の片面に接着剤層を介し
てガスバリア層および基材層を積層した積層体の断面図
であり、クリーンフィルム１２、接着剤層１３、ガスバ
リア層１４、接着剤層１５、基材層１６が順次積層され
ており、（ｃ）は本発明のチューブ状クリーンフィルム
１２の両面に接着剤層を介してガスバリア層および基材
層を積層した積層体の側断面図であり、クリーンフィル
ム１２の両面に、それぞれ接着剤層１３、ガスバリア層
１４、接着剤層１５、基材層１６が順次積層されてい
る。

【００２２】前記接着剤層１３、１５に用いる接着剤と
しては、ポリウレタン系、ポリエステル系、ポリエーテ
ル系、およびそれらを主体とした混合物などが一般的に
用いられるが、Ｓｎ化合物およびＳｉ化合物を含有せ
ず、溶出成分の少ない接着剤が好ましく、かつ、塗布量
は必要最低限とすることが好ましい。接着性樹脂を用い
ることも可能であるし、何らかの表面改質によりダイレ
クトラミネーション、あるいはサンドラミネーションを
することも好ましく行われる。また、ラミネートする面
の活性を上げるために，コロナ処理，火炎処理，プラズ
マ処理、オゾン処理等の表面処理をしても構わない。サ
ンドラミネーションに用いるラミネーション用樹脂とし
ては、エチレンアクリル酸またはメタクリル酸共重合
体，エチレンアクリレートまたはメタアクリレート共重
合体，エチレン酢酸ビニル共重合体，変性マレイン酸共
重合体など用いられる。接着剤をアンカーコートしても
構わないが、クリーン性の面から好ましいのは、アンカ
ーコートをせず、酸成分等の分解が少ないポリエチレン
を用いるサンドラミネーションである。

【００２３】前記ガスバリア層１４としては、金属ある
いは金属化合物からなる薄膜層を設けたフィルム、また
はアルミニウム箔が使用される。薄膜形成材料として
は、マグネシウム、ケイ素、アルミニウム、錫、チタ
ン、亜鉛、ジルコニウム、カルシウム、ニッケル等から
選択される酸化物、窒化物、フッ化物の何れか、あるい
は２種以上の混合物が挙げられる。

【００２４】前記金属アルミニウム、酸化アルミニウム
又は酸化珪素などの薄膜層の厚みは５〜３００ｎｍ程度
が好ましく、また、アルミニウム箔の厚みは７〜１００
μｍが好ましい。

【００２５】前記基材層１６としては、二軸延伸ポリエ
チレンテレフタレートフィルム（ＰＥＴフィルム）等の
ポリエステルフィルム、二軸延伸ナイロンフィルム（Ｏ
Ｎｙフィルム）、二軸延伸ポリプロピレンフィルム（Ｏ
ＰＰフィルム）、エチレン−酢酸ビニル共重合体ケン化
物フィルム（ＥＶＯＨフィルム）などが選択され、他の
層を接着させる面にコロナ処理等を施すことでより良好
な接着強度が得られる。

【００２６】前記ガスバリア層１４及び基材層１６の積
層方法は、接着剤層１３及び１５を介して、公知のドラ
イラミネート法、ノンソルベントラミネート法などで積
層可能である。

【００２７】前記クリーンフィルム１１、１２のクリー
ン度を評価する際には、抽出作業、測定時のコンタミネ
ーションが起こらないよう、最新の注意を払う必要があ
るため、クリーンルーム内で作業を行うのが普通であ
る。また、クリーンフィルム１１、１２を製造してから
クリーンルーム内に持ち込むまでにコンタミネーション
を起こさぬよう、梱包状態にも注意を払う必要がある。

【００２８】前記クリーンルームとは、インダストリア
ルクリーンルームであり、微粒子を高性能フィルター等
で除去した高清浄環境の部屋を指し、米国規格では、粒
径が０．５μｍ以上の微粒子数（パーティクル数）が１
立方フィート中に１００個以下、１００００個以下の清
浄度の部屋を各々クラス１００、クラス１００００と呼
ぶ。

【００２９】前記クリーンフィルム１１、１２からのア
ウトイオン、溶出Ｓｎ量、溶出Ｓｉ量を評価する際に
は、抽出に用いる超純水の比抵抗が１８ｍΩ・ｃｍ以上
で、イオン、Ｓｎ、Ｓｉレベルが低く、好ましくは検出
限界以下であること、抽出中に環境からイオンを取り込
まないように、クリーンルーム環境のイオンが少ないこ
とが重要である。後者を満たすためには、ケミカルフィ
ルターを有するクリーンルーム内であることが好まし
い。さらに、通常クリーンルームは温湿度制御がなされ
ているが、温度は２３±２℃、湿度の変動が少ないこと
が好ましい。

【００３０】また、前記クリーンフィルム１１、１２の
内面に付着するパーティクル数を評価する際には、抽出
に用いる超純水のパーティクルレベルが低く、少なくと
も、超純水に含まれる粒径０．３μｍ以上のパーティク
ル数が２個/ｍｌ以下であること、さらに好ましくは、
超純水に含まれる粒径０．３μｍ以上のパーティクルが
０個/ｍｌであることと、抽出中に環境からパーティク
ルを取り込まないように、環境中の浮遊パーティクルが
少ないことが重要である。後者を満たすためには、クラ
ス１０００以下のクリーンルームであることが好まし
い。

【００３１】本発明のクリーンフィルム１１、１２から
溶出するアウトイオン量を測定する方法としては、もっ
とも一般的であるイオンクロマトグラフ（以下、ＩＣと
する）を用いる。付着するパーティクルを測定する方法
としては、液中パーティクルカウンター（以下、ＬＰＣ
とする）を用いる。溶出Ｓｎ量を測定する方法として
は、結合誘導プラズマ−質量分析計（以下、ＩＣＰ−Ｍ
Ｓ）を用いる。溶出Ｓｉ量を測定する方法としては、原
子吸光分光光度分析計（以下、ＡＡＳ）、特にはフレー
ムレスＡＡＳを用いる。以下に抽出から測定までの手順
を示す。

【００３２】第一に、コンタミネーションを起こさない
よう梱包されたクリーンフィルムを測定直前に開封す
る。フィルムが袋状でない場合には、コンタミネーショ
ンを起こさないよう、インパルスシールあるいはヒート
シールを行い、袋状にする。次に、包装袋に、袋１ｃｍ
²当たり０．３ｍｌの超純水を静かに入れ、開口部を三
つ折りにしてクリップ止めする。シールする場合には、
測定前、口部を開ける際のコンタミネーションがないよ
うに注意する。次に、包装袋を横にして、中の超純水
を、袋の内面全部に行き渡るように、ゆっくりと５回回
転させる。５回回転するのに、約３０秒かける。次に、
包装袋の面を変えて、同様の作業を行った後、包装袋
を、周囲からイオンを取り込まない環境で５分/片面静
置する。次に、ＩＣ測定、あるいはＩＣＰ−ＭＳ測定を
行う。包装袋にサンプリングチューブを入れるか、超純
水を入れたときのアウトイオンが検出限界以下である容
器に、抽出液を移してもよい。後者の場合には、包装袋
外面からの汚染を避けるため、抽出液を数ｍｌ捨ててか
ら、容器に移す。ＩＣへのサンプリング方法としては、
濃縮装置（カラム）を使用することが好ましく、濃縮量
は２ｍｌから１０ｍｌが適する。溶出Ｓｎ量測定の場合
には、加熱抽出も好ましく行われ、クリーンルーム内の
クリーンオーブンで８０℃、３０分加熱し、２３±２℃
の室温で３０分放置してから、ＩＣＰ−ＭＳ測定を行
う。

【００３３】本発明における測定対象イオンは、カチオ
ンとしてはナトリウムイオン、カリウムイオン、マグネ
シウムイオン、カルシウムイオン、アニオンとしては塩
素イオン、亜硝酸イオン、硝酸イオン、リン酸イオン、
硫酸イオンである。これらが分離可能なカラム、溶離液
を選定することが好ましい。前記測定で得られた数値か
ら、包材１ｃｍ²当たりのアウトイオン量、溶出Ｓｎ量
を計算する式を以下に示す。

【００３４】包材１ｃｍ²当たりのアウトイオン量（ｎ
ｇ/ｃｍ²）＝［包装袋のアウトイオン量（ｐｐｂ）−抽
出に用いた超純水のイオン量（ｐｐｂ）×抽出液量（ｍ
ｌ）］/超純水抽出した包装袋の表面積（ｃｍ²） 包材１ｃｍ²当たりの溶出Ｓｎ量（ｐｇ/ｃｍ²）＝［包
装袋の溶出Ｓｎ量（ｐｐｔ）×抽出液量（ｍｌ）］/超
純水抽出した包装袋の表面積（ｃｍ²）

【００３５】通常、分析では１０σを定量下限、３σを
検出限界とするが、本発明においても、３σを検出限界
とすることが好ましい。

【００３６】さらに、本発明のクリーンフィルムの溶出
Ｓｉについて、抽出から測定までの手順を示す。第一
に、コンタミネーションを起こさないよう梱包されたク
リーンフィルムを測定直前に開封する。フィルムが袋状
でない場合には、コンタミネーションを起こさないよ
う、インパルスシールあるいはヒートシールを行い、袋
状にする。次に、包装袋に、袋１ｃｍ²当たり０．１ｍ
ｌの超純水を静かに入れ、開口部を三つ折りにしてクリ
ップ止めする。シールする場合には、測定前、口部を開
ける際のコンタミネーションがないように注意する。次
に、包装袋を横にして、中の超純水を、袋の内面全部に
行き渡るように、ゆっくりと５回回転させる。５回回転
するのに、約３０秒かける。次に、包装袋の面を変え
て、同様の作業を行った後、包装袋を５分/片面静置す
る。溶出Ｓｉ量測定の場合には、加熱抽出も好ましく行
われ、クリーンルーム内のクリーンオーブンで８０℃、
３０分加熱し、２３±２℃の室温で３０分放置してか
ら、ＡＡＳ測定を行う。

【００３７】本発明のクリーンフィルムの内表面に付着
したパーティクルについて、抽出から測定までの手順を
示す。ＬＰＣは、粒径１μｍ未満のパーティクルも測定
可能であるという特徴かあるが、ハンドリングの際に発
生する気泡とパーティクルを区別することができないの
で、注意が必要である。

【００３８】本発明のクリーン包材のパーティクルの評
価手法としては、もっとも一般的である光散乱式検出器
を有する液中パーティクルカウンター（以下ＬＰＣ）を
用いる。該ＬＰＣは１μｍ未満のパーティクルも測定可
能であるという特徴があるが、ハンドリングの際に発生
する気泡とパーティクルを区別することができないの
で、注意が必要である。以下に抽出からＬＰＣ測定まで
の手順を示す。第一に、コンタミネーションを起こさな
いよう梱包されたクリーン包材あるいは包装袋を測定直
前に開封する。包材が巻き取りあるいは枚葉である場合
には、コンタミネーションを起こさないよう、インパル
スシールあるいはヒートシールを行い、三方袋状とする
ことが好ましく行われる。次に、袋形状にほぼ等しいボ
ックスに包装袋を入れ、包材１ｃｍ²当たり０．３ｍｌ
の超純水を気泡が発生しないように静かに入れ、開口部
を三つ折りしてクリップ止めする。次に、包装袋をボッ
クスごと横にして、中の超純水を、包材内面を洗うよう
に、ゆっくりと５回回転させる。５回回転するのに、約
３０秒かけると丁度よい。包材の面を変えて、同様の作
業を行った後、包装袋を、環境からパーティクルを取り
込まない環境下で、ボックスに入った包装袋を立たせた
まま、ＬＰＣ装置のサンプリング位置で１５分間静置す
る。次に、ＬＰＣ測定をする。包装袋にＬＰＣのサンプ
リングチューブを入れてサンプリングする。包装袋の抽
出液を他の容器に移すことは、ハンドリングによる気泡
が発生して精度の高い数値が得られなくなるので、好ま
しくない。ＬＰＣへのサンプリング量は１０ｍｌが好ま
しく、サンプリングの１回目をＬＰＣ装置内のフラッシ
ングとして、その後３回以上測定し、平均値を取ること
が好ましく行われる。超純水のみの測定（ブランク測
定）は、１サンプル測定する毎に必ず行い、装置内にパ
ーティクルが残留していないことを確認する。本発明に
おける測定対象パーティクル径は１μｍ以上であり、Ｌ
ＰＣ装置に１μｍと２μｍの２チャンネルが存在する場
合には、その合計をパーティクル数とする。ＬＰＣ測定
で得られた数値から、包装袋１ｃｍ²当たりのパーティ
クル量を計算する式を以下に示す。 包装1cm²当たりのパーティクル量(個/cm²)＝｛包装袋の
パーティクル量(個/ml)−抽出に用いた超純水のパーテ
ィクル量(個/ml)×抽出液量(ml)｝／超純水抽出した包
装袋の表面積(cm²)

【００３９】

【実施例】以下に本発明の実施例を示すが、本発明の技
術的範囲はこれらの実施例に限られるものではない。

【００４０】＜実施例１＞無添加ＬＤＰＥ樹脂（ＭＩ＝
２．０）を原料とし、キャスト法によりフィルム（厚み
８０μｍ）を得た。この後、得られたフィルムを、内寸
で４０×４０ｃｍの三方シールの袋に貼り合わせ、実施
例１の包装袋を得た。なお、押出成形および製袋加工
は、クラス１００００以下のクリーン環境下で行った。

【００４１】＜実施例２＞インフレーション法により、
シーラント側から無添加ＬＤＰＥ（ＭＩ＝０．８）樹脂
（厚さ７０μｍ）、接着性樹脂、Ｎｙ（厚み４０μｍ）
の順に積層した。この時、ＬＤＰＥ層は樹脂温度１７０
℃で押し出し、クリーンエアを吹き込んだ。得られたチ
ューブ状の多層フィルムをライン上で織り込み、耳切り
をせず、内面層が密着した帯状のシーラントフィルムを
得た。該フィルムを、内寸で２５×３５ｃｍの底シール
の袋に貼り合わせ、実施例２の包装袋を得た。なお、製
袋加工は、クラス１００００以下のクリーン環境下で行
った。

【００４２】＜実施例３＞インフレーション法により、
無添加ＬＤＰＥ樹脂（ＭＩ＝０．８）からなる厚さ４０
μｍのチューブ状フィルムを得た。得られたチューブ状
のフィルムをライン上で折り込み、耳切りをせず、内面
層が密着した帯状のシーラントフィルムを得た。該シー
ラントフィルムの外表面に、ＰＥＴフィルム（厚み１２
μｍ）、接着剤、Ａｌ箔（厚み７μｍ）の順に積層して
なるフィルムのＡｌ箔面をサンドラミネーション加工に
より貼り合わせた。サンドラミ時の樹脂として低密度ポ
リエチレン（ＭＩ＝８）を使用し、樹脂温度３１５℃で
厚み１０μｍで押し出し、該溶融樹脂の基材との接着面
にダイ下に設けたノズルからオゾンを含む空気を吹き付
けることによりオゾン処理し、ラミネーションした。こ
の後、得られた積層フィルムを内寸で４０×４０ｃｍの
三方シールの袋に貼り合わせ、実施例３の包装袋を得
た。なお、サンドラミネーション加工、製袋加工は、ク
ラス１００００以下のクリーン環境下で行った。

【００４３】＜実施例４＞ドライラミネーション加工に
より、ＰＥＴ（厚み１２μｍ）、接着剤、ケイ素酸化物
薄膜層を有するＰＥＴ（厚み１２μｍ）、の順に積層し
てなるフィルムを得た。次に、キャスト法により、無添
加ＬＤＰＥ（ＭＩ＝２．０）樹脂（厚み８０μｍ）、接
着剤、該積層フィルムの順に積層してなるフィルムを得
た。この際、該積層フィルムのケイ素酸化物薄膜層が接
着剤と密着するように貼り合わせた。この後、得られた
フィルムを、内寸で４０ｃｍ×４０ｃｍの三方シールの
袋に貼り合わせ、実施例４の包装袋を得た。なお、ドラ
イラミネーション加工、押出成形、製袋加工はクラス１
００００以下のクリーン環境下で行った。

【００４４】＜実施例５＞ドライラミネーション加工に
より、Ａｌ箔（厚み７μｍ）、接着剤、延伸Ｎｙ（厚み
２５μｍ）、接着剤、Ａｌ薄膜層を有するＰＥＴ（１２
μｍ）の順に積層してなるフィルムを得た。インフレー
ション法により、無添加ＬＤＰＥ樹脂（ＭＩ＝１．０）
からなる厚さ５０μｍのフィルムを得た。この時樹脂温
度１６０℃で押し出し、クリーンエアを吹き込んだ。得
られたチューブ状のフィルムをライン上で織り込み、耳
切りをせず、内面層が密着した帯状のシーラントフィル
ムを得た。次に、ドライラミネーション加工により、該
シーラントフィルム、接着剤、該積層フィルムの順に積
層してなるフィルムを得た。この際、該積層フィルムの
Ａｌ箔層が接着剤と密着するように貼り合わせた。この
後、得られたフィルムを、内寸で４０ｃｍ×４０ｃｍの
三方シールの袋に貼り合わせ、実施例５の包装袋を得
た。なお、ドライラミネーション加工、製袋加工はクラ
ス１００００以下のクリーン環境下で行った。

【００４５】＜比較例１＞無添加ＬＤＰＥ樹脂（ＭＩ＝
２．０）を原料とし、キャスト法によりフィルム（厚み
８０μｍ）を得た。この後、得られたフィルムを、内寸
で４０×４０ｃｍの三方シールの袋に貼り合わせ、比較
例１の包装袋を得た。なお、押出成形および製袋加工
は、一般環境下で行った。

【００４６】＜比較例２＞ドライラミネーション加工に
より、Ａｌ箔（厚み７μｍ）、接着剤、延伸Ｎｙ（厚み
２５μｍ）、接着剤、Ａｌ薄膜層を有するＰＥＴ（１２
μｍ）の順に積層してなるフィルムを得た。なお、接着
剤は硬化触媒としてＳｎ化合物、シランカップリング剤
を含有する。次に、キャスト法により、酸化防止剤等添
加ＬＬＤＰＥ（ＭＩ＝２．０）樹脂（厚み８０μｍ）の
フィルムを得た。次に、ドライラミネーション加工によ
り、該シーラントフィルム、接着剤、該積層フィルムの
順に積層してなるフィルムを得た。この際、該積層フィ
ルムのＡｌ箔層が接着剤と密着するように貼り合わせ
た。なお、押出成形および製袋加工は、クラス１０００
０以下のクリーンルーム内で行った。

【００４７】実施例１〜５、比較例１〜２の包装袋につ
いて、２３±２℃の環境下において、包材のシーラント
面（内容物面）を包材１ｃｍ²当たり０．３ｍｌの超純
水で抽出し、抽出液中の塩素イオン、亜硝酸イオン、硝
酸イオン、リン酸イオン、硫酸イオンのイオン濃度をＩ
Ｃ測定した。また、ＩＣ同様の抽出法で、抽出液中のＳ
ｎ濃度をＩＣＰ−ＭＳ測定した。次に、２３±２℃の環
境下において、包材のシーラント面（内容物面）を包材
１ｃｍ²当たり０．１ｍｌの超純水で抽出し、抽出液中
のＳｉ濃度をＡＡＳ測定した。次に、包材のシーラント
面（内容物面）を包材１ｃｍ²当たり０．３ｍｌの超純
水で抽出し、抽出液中の０．３〜２μｍのパーティクル
（微粒子）数をＬＰＣ測定した。アウトイオン、Ｓｎ濃
度、Ｓｉ濃度、パーティクルを測定した結果を表１に示
す。これらの測定は、クラス１０００以下のクリーンル
ーム内で実施し、アウトイオン、Ｓｎ濃度、Ｓｉ濃度測
定用サンプルの抽出はケミカルフィルター付きドラフト
内で行った。その他の条件は、本文中の記述に基づいて
測定した。

【００４８】

【表１】

【００４９】

【表２】

【００５０】表１および表２の結果より、実施例１〜５
の包装袋は、袋の内面から溶出されたアウトイオン量は
ほとんど検出限界以下、あるいは、検出されても０．１
ｎｇ/ｃｍ²以下の極少であり、かつ、袋の内表面に付着
している粒径１μｍ以上のパーティクル数もすべて５個
/ｃｍ²以下であり、非常にクリーンであることが判明し
た。一方、比較例１の包装袋は、袋の内面から溶出され
た個々のアウトイオン量および袋の内表面に付着してい
るパーティクル数は非常に多く、比較例２の包装袋はア
ウトイオン量が非常に多いことが判明した。

【００５１】次に、実施例１〜５、比較例１〜２の包装
袋について、ヘイズ試験を行った。包装袋に媒体を入れ
て、バキュームシールし、ＩＤＥＭＡ ＵＳＡスタンダ
ードＤｏｃ．Ｎｏ．Ｍ６−９８に準拠した保存条件、８
０℃、８０％、２４時間保存した後、目視、光学顕微鏡
観察、ＸＰＳ分析を行った。ＸＰＳ分析は、試料測定領
域 φ６ｍｍ±１ｍｍ、試料角度 検出器方向に対し４
５度、検出器通過エネルギー ３０ｅＶ、照射Ｘ線 Ｍ
ｇ、Ｘ線パワー １０ｋＶ−１５ｍＡ、測定ステップ
０．２ｅＶでナロースペクトルを得、スズについては５
０５〜４８２ｅＶ、シリコンについては１０８〜９６ｅ
Ｖの範囲を定量計算した。

【００５２】

【表３】

【００５３】表３の結果より、実施例１〜５、比較例１
の包装袋は、ヘイズが発生せず、ＸＰＳ分析において
も、Ｓｎ、Ｓｉは検出されなかった。一方、比較例２の
包装袋は、ヘイズが確認され、ＸＰＳ分析でも、Ｓｎ、
Ｓｉが検出されることが確認された。

【００５４】本発明のクリーン包材および包装袋は、包
材あるいは包装袋内面のアウトイオン、溶出Ｓｎ、Ｓ
ｉ、パーティクルが少ないことを定量的に示されたクリ
ーン包材およびそれを用いた包装袋である。実施例１〜
５においては、シーラント面に添加剤無添加のＬＤＰＥ
樹脂を用いることにより、かつ加工時環境をクリーンに
することにより、あるいはインフレーション成形を採用
することにより、コンタミネーションが防ぐことがで
き、アウトイオン、溶出Ｓｎ、Ｓｉ、パーティクルが少
ない、つまりはクリーン性が高い包装袋が得られること
がわかる。また、比較例１では、無添加ＬＤＰＥ樹脂を
用いても、加工環境からコンタミネーションする場合に
は、クリーン度の高い包装袋が得られないことがわか
る。比較例２では、酸化防止剤等添加ＬＬＤＰＥ樹脂を
用いることにより、クリーン環境下で成形を行っても、
イオンコンタミが多く、さらに接着剤由来の溶出Ｓｎ、
Ｓｉが検出されるため、クリーン度の高い包装袋は得ら
れないことがわかる。さらに、媒体を用いたヘイズ試験
を行わなくとも、本発明の溶出Ｓｎ、Ｓｉ評価法を用い
ることにより、非常に微量のＳｎ、Ｓｉが検出可能であ
り、媒体に悪影響を及ぼす恐れのあるサンプルかどうか
の判断が可能であることが確認できた。

【００５５】

【発明の効果】これらの結果より以下のことが言える。
本発明は以上の如き構成であり、下記に示す如き優れた
実用上の効果を有する。すなわち、本発明のクリーン包
材および包装袋は、包装袋内面からのアウトイオン、溶
出Ｓｎ、Ｓｉ、パーティクルが少なく、最高水準のクリ
ーン性を有し、ＨＤＤをはじめとする電子部品の梱包袋
として最適である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のクリーンフィルムの巻取の斜視図であ
る。

【図２】（ａ）は本発明のクリーンフィルム１１のＡ−
Ａ′面の側断面図であり、（ｂ）は本発明のチューブ状
クリーンフィルム１２のＡ−Ａ′面の側断面図である。

【図３】（ａ）は本発明のクリーンフィルム１１を使用
した積層体の側断面図であり、（ｂ）は本発明のチュー
ブ状クリーンフィルム１２を使用した積層体の側断面図
である。

【符号の説明】

１０‥‥クリーンフィルムの巻取 １１，１２‥‥クリーンフィルム １３‥‥接着剤層 １４‥‥ガスバリア層 １５‥‥接着剤層 １６‥‥基材層

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 4F071 AA14 AA18 AA88 AF05 AF53Y AH04 AH12 AH14 AH16 BB02 BC01 BC04 BC12 4F100 AK01A AK03A AK06A AR00B BA02 GB15 GB41 JA06A JD02B JL06 YY00A

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】フィルムから溶出する塩素イオン、亜硝酸
   イオン、硝酸イオン、リン酸イオン、硫酸イオンの各ア
   ウトイオン量がそれぞれ０．２０ｎｇ/ｃｍ²以下である
   ものからなることを特徴とするクリーンフィルム。
2. 【請求項２】フィルムから溶出するナトリウムイオン、
   カリウムイオン、マグネシウムイオン、カルシウムイオ
   ン、塩素イオン、亜硝酸イオン、硝酸イオン、リン酸イ
   オン、硫酸イオンの各アウトイオン量がそれぞれ０．２
   ０ｎｇ/ｃｍ²以下であるものからなることを特徴とする
   クリーンフィルム。
3. 【請求項３】フィルムの内表面に付着している粒径１μ
   ｍ以上のパーティクル数が５個/ｃｍ²以下であることを
   特徴とするクリーンフイルム。
4. 【請求項４】フィルムから溶出するスズ（Ｓｎ）が、
   ０．５ｐｇ/ｃｍ²以下であることを特徴とするクリーン
   フィルム。
5. 【請求項５】フィルムから溶出するケイ素（Ｓｉ）が、
   ０．５ｎｇ/ｃｍ²以下であることを特徴とするクリーン
   フィルム。
6. 【請求項６】前記フィルムがポリオレフィン系樹脂から
   なることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか
   に記載のクリーンフィルム。
7. 【請求項７】前記ポリオレフィン樹脂が、メルトインデ
   ックス（ＭＩ）が０．１〜２０（ｇ/１０分・１９０
   ℃）の低密度ポリエチレン樹脂であることを特徴とする
   請求項６記載のクリーンフィルム。
8. 【請求項８】請求項１乃至請求項７のいずれかに記載の
   クリーンフィルムの片面または両面に、少なくともガス
   バリヤ層あるいは基材層のいずれかを積層したことを特
   徴とする積層体。