JP2003145406A

JP2003145406A - ワイヤソー

Info

Publication number: JP2003145406A
Application number: JP2001343683A
Authority: JP
Inventors: Kazuaki Sugitani; 和明杉谷
Original assignee: Sumitomo Mitsubishi Silicon Corp
Current assignee: Sumco Corp
Priority date: 2001-11-08
Filing date: 2001-11-08
Publication date: 2003-05-20
Anticipated expiration: 2021-11-08
Also published as: JP4308463B2

Abstract

(57)【要約】【課題】反りを低減した半導体ウェーハが得られるだ
けでなく、異なるロットのウェーハにおいて、反りの度
合いが調整された均一な反りが付与された半導体ウェー
ハも得られるワイヤソーを提供する。【解決手段】インゴット切断中のワイヤ１１ａ位置を
渦電流センサＳで検出し、その検出データからインゴッ
トＩへのワイヤ１１ａの切り込み位置を算出し、算出デ
ータから制御部ＣのＲＯＭ内の温度制御の目標値を選出
する。目標値は反りなし切断用、反り切断用でもよい。
次に制御部ＣはヒータＨに出力変更の指令を出し、この
目標値に冷却水の温度が達するまで芯金３４の内，外管
を流れる冷却水の温度を調整する。その結果、反りを抑
えたウェーハ、また、異なるロットで反りの度合いが調
整された均一な反りを有するウェーハを得られる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明はワイヤソー、詳し
くは半導体ウェーハの反りを制御可能としたワイヤソー
に関する。

【０００２】

【従来の技術】ワイヤソーは、ワイヤ繰出し用のボビン
から導出されたインゴット切断用のワイヤを、複数本の
ワイヤソー用グルーブローラ（以下、グルーブローラ）
にコイル状に巻き架け、これをワイヤ巻取り用のボビン
に巻き取るように構成されている。グルーブローラは、
円筒形状の台金の外周面を所定厚さのライニング材（ウ
レタンゴム）で被覆し、このライニング材の外周面に多
数条のワイヤ溝を刻設してある。グルーブローラは、そ
の軸線方向の両端部に配置された１対の軸受により回転
自在に支持されている。インゴット切断時には、ラッピ
ングオイルに遊離砥粒（以下、砥粒）を含ませたスラリ
ー状の砥液を供給しながら、高速で往復走行中のワイヤ
列に対して、単結晶シリコンインゴットを相対的に押し
付ける。この砥粒の研削作用により、このインゴットが
多数枚のウェーハに切断される。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】このようにワイヤを高
速走行させるためには、グルーブローラも高速度で回転
させる必要がある。それに伴い、グルーブローラを軸支
する各軸受が発熱し、その影響で、各軸受を支える支持
部材も熱せられて、これらの部材に部分的な熱膨張によ
る変形が起きていた。そのため、これらの部材に支えら
れたグルーブローラとインゴットとのその軸線方向の位
置が相対的にずれ、ワイヤ列を構成する各ワイヤの走行
位置も切断開始位置からは軸線方向にずれてしまってい
た。このように、切り込み深さによりその走行位置（切
断位置）が軸線方向にずれた結果、ウェーハに反りが発
生していた。この反りは、吸着固定しない状態のウェー
ハで指定された表面上の基準面とウェーハ表面の距離の
最大値と最小値との差で示される。

【０００４】そこで、発明者は、鋭意研究の結果、実際
の運転時にウェーハに反りが発生するのであれば、これ
を利用して積極的にウェーハに反りを与えた切断を行う
こと（以下、反り切断）、また、この反り（の値）を各
ロット間で均一化すれば、その後のウェーハ加工時（研
磨など）に、同じ条件で所定の制御を施せばよいことを
知見した。しかも、その具体的な制御法として、インゴ
ットへのワイヤの切り込み位置（切り込み深さ）に応じ
て、グルーブローラの軸受部に形成された冷媒流路に供
給される冷媒の温度を調整することにより、また、その
冷媒の流量を調整することにより、さらにはインゴット
を軸線方向に移動させることにより、この反り切断だけ
でなく、反り（の値）を抑えた切断も容易に行えること
を知見し、この発明を完成させた。

【０００５】

【発明の目的】この発明は、反りが低減された半導体ウ
ェーハが得られるだけでなく、異なるロットのウェーハ
において、反りの度合いが調整された均一な反りを有す
る半導体ウェーハも得られるワイヤソーを提供すること
を、その目的としている。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、複数本のグルーブローラと、各グルーブローラを回
転自在に支持する軸受と、各軸受を冷却する冷媒を供給
する冷媒供給手段とを備え、上記グルーブローラ間に架
け渡されたワイヤを往復走行させながら、インゴットを
ワイヤに相対的に押しつけることにより、このインゴッ
トを切断するワイヤソーにおいて、上記インゴットに対
するワイヤの切り込み位置を検出する位置センサと、こ
の切り込み位置に応じて設定した温度に、上記冷媒の温
度を調整する冷媒温度調整手段とを備えたワイヤソーで
ある。

【０００７】ワイヤソーとしては、インゴットを動かし
てワイヤ列に押圧、接触させて切断する構造のものでも
よい。これとは反対に、ワイヤ列を動かしてインゴット
に押圧、接触させて切断するものでもよい。また、ワイ
ヤ列の上部にインゴットの下面が当接するものでもよ
い。さらにワイヤ列の下部にインゴット上面が押し当て
られる型式のものでもよい。ワイヤソーに組み配置され
るワイヤソー用グルーブローラの本数は２本でもよい
し、３本以上でもよい。ワイヤソーにより切断されるイ
ンゴットとしては、例えばシリコン単結晶、化合物半導
体単結晶、磁性材料、石英、セラミックスなどが挙げら
れる。切断に使用される砥液としては、例えば平均粒径
５〜５０μｍのＳｉＣなどの遊離砥粒を含むものが採用
される。

【０００８】ワイヤソー用グルーブローラの構造は限定
されない。例えば、円筒形状の台金の外周面に所定厚さ
のライニング材（ウレタンゴム）を被覆し、このライニ
ング材の外周面にワイヤ溝を刻設したローラなどを採用
することができる。冷媒流路は、各軸受を冷却する部位
に設けられ、例えば軸受内部だけでなく、グルーブロー
ラの内部にも一連に設けることができる。冷媒として
は、例えば冷却水、冷却油などを採用することができ
る。位置センサとしては、渦電流センサ、レーザ変位セ
ンサなどのワイヤ列までの距離を測定する距離センサを
採用することができる。冷媒温度調整手段として、供給
する冷媒を加熱するヒータ、熱交換器などを採用するこ
とができる。また、あらかじめ切り込み位置に応じて設
定された冷媒の温度とは、実際の切断で発生した反りに
基づいて設定された温度である。半導体ウェーハの反り
量の目標値は限定されない。例えば、８インチウェーハ
の場合、３０〜４０μｍである。

【０００９】請求項２に記載の発明は、複数本のグルー
ブローラと、これらのグルーブローラを回転自在に支持
する軸受と、各軸受を冷却する冷媒を供給する冷媒供給
手段とを備え、上記グルーブローラ間に架け渡されたワ
イヤを往復走行させながら、インゴットをワイヤに相対
的に押しつけることにより、このインゴットを切断する
ワイヤソーにおいて、上記インゴットに対するワイヤの
切り込み位置を検出する位置センサと、この切り込み位
置に応じて設定した値に、上記冷媒の供給量を調整する
冷媒量調整手段とを備えたワイヤソーである。冷媒流量
調整手段としては、例えば冷媒流路の途中に設けられ、
制御装置によって弁体の開度調整が可能な電磁弁または
仕切り弁を採用することができる。また、冷媒供給用の
ポンプの出力を制御し、冷媒の供給量を調整するように
してもよい。

【００１０】請求項３に記載の発明は、複数本のグルー
ブローラと、各グルーブローラを回転自在に支持する軸
受とを備え、上記グルーブローラ間に架け渡されたワイ
ヤを往復走行させながら、インゴットをワイヤに相対的
に押しつけることにより、このインゴットを切断するワ
イヤソーにおいて、上記インゴットに対するワイヤの切
り込み位置を検出する位置センサと、上記インゴットお
よびまたはグルーブローラをグルーブローラの軸線方向
へ移動させる移動手段と、上記切り込み位置に応じて設
定した距離だけ、上記インゴットおよびまたはグルーブ
ローラをグルーブローラの軸線方向に移動させる移動量
調整手段とを備えたワイヤソーである。インゴット移動
量調整手段としては、例えば制御装置によってインゴッ
トの移動量を微細に調整することができるサーボモータ
のほか、各種のアクチュエータを採用することができ
る。

【００１１】

【作用】請求項１に記載の発明によれば、インゴットへ
のワイヤの切り込み位置を位置センサにより検出し、そ
の検出データに基づき、冷媒温度調整手段によって、あ
らかじめインゴットに対するワイヤの切り込み位置に応
じて設定された温度に達するまで、各軸受の冷媒流路を
流れる冷媒の温度を変更する。冷媒の温度を下げると、
各軸受が冷却される。また、冷媒の温度を上げることに
より、各軸受の温度を高めることができる。各軸受の温
度が低下すると、その影響で、各軸受の支持体なども冷
却され、これらの部材の熱膨張による変形が抑えられ
る。その結果、これらの部材により支持されたワイヤソ
ー用グルーブローラの軸線方向の位置、すなわちインゴ
ットに対する軸線方向の相対位置のずれが抑えられる。
グルーブローラの軸線方向の変形量が小さくなる。よっ
て、ワイヤ列を構成するワイヤ全体の走行位置のずれが
抑えられ、ウェーハの反りが小さくなる。請求項２に記
載の発明によれば、インゴットへのワイヤの切り込み位
置を位置センサにより検出し、その検出データに基づ
き、冷媒流量調整手段によって、あらかじめインゴット
に対するワイヤの切り込み位置に応じて設定された流量
に達するまで、各軸受の冷媒流路を流れる冷媒の流量を
変更する。冷媒の流量を増やすと、各軸受が冷却され
る。冷媒の流量を減らすことにより、各軸受の温度を高
めることができる。各軸受、その支持体が冷却される
と、その熱膨張による変形が抑えられる。その結果、グ
ルーブローラの軸線方向への変形、移動の幅が小さくな
る。よって、ワイヤ走行位置のずれが抑えられ、ウェー
ハの反りが小さくなる。

【００１２】一方、インゴット切断時の各軸受が高温化
すると、各軸受の支持体の温度も高まる。その結果、こ
れらの部材の熱膨張による変形が大きくなって、グルー
ブローラの軸線方向への伸びが大きくなる。これはイン
ゴットに対する相対位置のずれを意味する。その結果、
ワイヤ全体の走行位置のずれが増大し、半導体ウェーハ
の反りが大きくなる。このように、インゴットへのワイ
ヤの切り込み位置に応じて冷媒の温度制御を行うことに
より、反りが小さな半導体ウェーハが得られる。また、
インゴット１本分の半導体ウェーハを、反りの度合いが
調整された略均一な反りを有する半導体ウェーハとする
ことも可能になる。よって、異なるロットの各半導体ウ
ェーハにおいて、その後のウェーハ加工時に、同じ反り
条件で所定のウェーハ加工を施すことができる。

【００１３】また、請求項３に記載の発明によれば、イ
ンゴットへのワイヤの切り込み位置を位置センサにより
検出し、その検出データに基づき、インゴットに対する
ワイヤの切り込み位置に応じてあらかじめ設定された距
離だけ、移動手段によってインゴットをその軸線方向に
移動させる。これにより、反りを抑えた半導体ウェーハ
が得られる。また、均一な反りを有する半導体ウェーハ
も容易に得られる。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施例を図面を
参照して説明する。まず、第１の実施例を説明する。図
１は、この発明の第１の実施例に係るワイヤソーのグル
ーブローラの拡大断面図である。図２（ａ）は、この発
明の第１の実施例に係るワイヤソーの要部を拡大して示
す模式図である。図２（ｂ）は、この発明の第１の実施
例に係るワイヤソーに組み込まれたグルーブローラの部
分拡大図である。図３は、この発明の第１の実施例に係
るワイヤソーによって反り切断されたインゴットの拡大
断面図である。

【００１５】図２（ａ）において、１０はこの発明の第
１の実施例に係るワイヤソーを示している。このワイヤ
ソー１０は、ＣＺ法により引き上げられた単結晶シリコ
ン製のインゴットＩ（８インチウェーハ用）を多数枚の
ウェーハにワイヤ切断する装置である。ワイヤソー１０
は、図において正面視して逆三角形状に配置された３本
のグルーブローラ１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃを有してい
る。これらのグルーブローラ１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ間
には、１本のワイヤ１１ａが互いに平行かつ一定ピッチ
で巻きかけられている。これによって、グルーブローラ
１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ間にワイヤ列１１が現出され
る。ワイヤ列１１は、３本のグルーブローラ１２Ａ，１
２Ｂ，１２Ｃ間で駆動モータにより往復走行される。上
側に配置された２本のグルーブローラ１２Ａ，１２Ｂの
中間が、インゴットＩを切断するワイヤ列１１のインゴ
ット切断位置ａとなっている。

【００１６】インゴットＩは、カーボンベッド１９ａを
介して、インゴットＩを昇降させる昇降台１９の下面に
固定されている。この昇降台１９の下面の一部には、ワ
イヤ列１１までの距離を測定する渦電流センサ（位置セ
ンサ）Ｓが設けられている。インゴット切断位置ａの両
側の上方には、砥液をワイヤ列１１上に連続供給する砥
液供給部（図示していない）が、例えば一対配設されて
いる。これらのグルーブローラ１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ
は円筒形状でそれらの外周面は、ウレタンゴムからなる
所定厚さのライニング材１２ａ，１２ｂ，１２ｃで被覆
されている。各ライニング材１２ａ，１２ｂ，１２ｃの
外周面には、それぞれワイヤ溝１２ｄが刻設されている
（図２（ｂ））。ピアノ線などからなるワイヤ１１ａ
は、繰出し装置１３のボビン２０から導出され、供給側
のガイドローラ（図示せず）を介して、これらのグルー
ブローラ１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃに架け渡された後、導
出側のガイドローラ（図示せず）を介して、巻取り装置
１５のボビン２１に巻き取られる。繰出し装置１３およ
び巻取り装置１５の各回転軸は、駆動モータ１６，１７
の出力軸にそれぞれ連結されている。各駆動モータ１
６，１７を同期して駆動すると、一対の軸受１８に軸支
された各ボビン２０，２１が、その軸線を中心として図
２における時計回り方向または反時計回り方向に回転し
て、ワイヤ１１ａが往復走行する。

【００１７】次に、図１を参照しながら、第１の実施例
に係るワイヤソー用グルーブローラを詳細に説明する。
ここでは、グルーブローラ１２Ａを例に説明する。図１
に示すように、グルーブローラ１２Ａは、所定間隔をあ
けて配置された１対の支持体３０，３１間に、直径が異
なる多数個のベアリング（軸受）３７…を介して、回転
自在に支持されている。グルーブローラ１２Ａは床面
（ベッド３３）から所定高さ位置で水平に配置されてい
る。各支持体３０，３１はベッド３３上に立設されてい
る。これらの支持体３０，３１間には、細長い芯金３４
を内嵌した管状のライナ３５が固定状態で架け渡されて
いる。芯金３４の内部には、その全長にわたり、図外の
外管と内管（冷媒流路）とが形成されている。芯金３４
の一端部は支持体３１から外方へ突出し、この突出部分
の外周面に、外管に連結される冷却水の供給ノズル３６
ａと、内管に連結される冷却水の排出ノズル３６ｂとが
それぞれ配設されている。

【００１８】供給ノズル３６ａには、ヒータＨにより所
定温度に調整された冷却水が、ポンプ（冷媒供給手段）
Ｐによって圧送される。その後、冷却水は外管の内部流
路を芯金３４の支持体３０側へ向かって流れ、それか
ら、芯金３４の支持体３０側の端部で内管へと流れ込
む。すなわち、進行方向が反対向きになる。このよう
に、外管および内管は芯金３４の全長にわたって形成さ
れているので、冷却水を両管内に流すと、グルーブロー
ラ１２Ａだけでなく、各ベアリング３７…および支持体
３０，３１も冷却される。

【００１９】冷却水の温度は、ヒータＨとポンプＰとの
間に配置された温度センサＴによって常時測定されてい
る。また、冷却水の供給量の調整は電磁弁Ｂの弁体の開
度調整により行い、この冷却水の流量の検出は、流量セ
ンサＳ１により行う。これらの渦電流センサＳおよび流
量センサＳ１からの検出信号は制御部Ｃへ送られる。制
御部Ｃに組み込まれたＲＯＭには、あらかじめ切り込み
位置に応じて設定された冷却水の温度制御の目標値が記
憶されている。制御部Ｃは、この渦電流センサＳからの
検出データに基づき、インゴットＩへのワイヤ１１ａの
切り込み位置を算出し、その算出データからＲＯＭに記
憶された温度制御の目標値を選出する。次いで、制御部
ＣはヒータＨに対して所定の出力変更の指令を出し、選
出された目標値に冷却水の温度が達するように制御す
る。これらの構成部品、すなわち渦電流センサＳ、制御
部ＣおよびヒータＨにより、あらかじめ切り込み位置に
応じて設定された温度に達するまで冷却水の温度を変更
する冷媒温度調整手段５０が構成される。表１に、冷却
水の温度制御の目標値（反り切断用）を示す。ウェーハ
の反り量の目標値は３０〜４０μｍである。

【００２０】

【表１】

【００２１】ライナ３５の外周には、多数個のベアリン
グ３７…を介して、厚肉な円筒形状の台金３８が、この
芯金３４を中心にして回転自在に設けられている。台金
３８の外周面には、ライニング材１２ａが設けられてい
る。ライニング材１２ａはウレタンゴム製で、厚さは５
〜２０ｍｍである。このライニング材１２ａの外周面に
は、ピッチの短い平行溝である多数本のワイヤ溝１２ｄ
が刻設されている。この台金３８の支持体３０側の端面
には、環状の端板３９が固定されている。一方、台金３
８の支持体３１側の端面には、厚肉な円筒形状の端板４
０が固定されている。したがって、台金３８の回転時に
は両端板３９，４０も一体的に回転する。

【００２２】次に、このワイヤソー１０によるインゴッ
トＩの切断方法を説明する。図２に示すように、ワイヤ
ソー１０では、砥液を砥液供給部よりワイヤ列１１に供
給するとともに、駆動モータ１６により繰出し装置１３
のボビン２０を回転させて、ワイヤ１１ａを供給側のガ
イドローラを経てグルーブローラ１２Ａ，１２Ｂ，１２
Ｃに供給する。同時に、駆動モータ１７により巻取り装
置１５のボビン２１を回転させて、グルーブローラ１２
Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ、導出側のガイドローラを経てワイ
ヤ１１ａを巻き取る。そして、一定周期で、各ボビン２
０，２１の回転方向を変えることで、ワイヤ１１ａを往
復走行させる。これに伴い、２本のグルーブローラ１２
Ａ，１２Ｂが回転するとともに、両ガイドローラも回転
する。この際、図外の回転モータによってグルーブロー
ラ１２Ｃを回転させ、ワイヤ列１１の往復走行を補助す
る。

【００２３】このワイヤ列１１の往復走行時に、上方か
らインゴットＩをワイヤ列１１へ押し付けていく。これ
により、インゴットＩが何枚ものウェーハに切断され
る。すなわち、ワイヤ列１１の往復走行時に、砥液中の
遊離砥粒がワイヤ列１１のワイヤ１１ａにより切断溝の
底部に擦りつけられ、その底部が徐々に削り取られて、
最終的に多数枚のウェーハに切断される。インゴット切
断中、供給ノズル３６ａには、ヒータＨにより所定温度
に調整された冷却水が、ポンプＰによって圧送される。
供給ノズル３６ａに流れ込んだ冷却水は、外管の管内を
芯金３４の支持体３０側へ向かって流れ、芯金３４の支
持体３０側の端部に達したところで内管へ流れ込む。こ
のとき、前述したように外管および内管は、芯金３４の
全長にわたって形成されている。そのため、冷却水を芯
金３４内に流すことで、グルーブローラ１２Ａだけでな
く、このグルーブローラ１２Ａの高速回転に伴って発熱
するベアリング３７…および各支持体３０，３１も冷却
される。

【００２４】以下、この冷却水の温度制御方法を説明す
る。インゴット切断中、渦電流センサＳにより、インゴ
ットＩへのワイヤ１１ａの切り込み位置（切り込み量、
切り込み深さ）が検出される（図３参照）。その検出デ
ータに基づき、制御部ＣからヒータＨに対して、表１に
記載された各切り込み位置に応じた設定温度に達するま
で、冷却水の温度調整が行われる。その設定温度に達し
たかどうかは、温度センサＴによって検出される。すな
わち、冷却水の温度が下がると、グルーブローラ１２Ａ
の高速回転によって発熱する各ベアリング３７…および
支持体３０，３１の温度が低下し、その影響も受けてベ
ッド３３などの温度も下がる。よって、これらの部材３
０，３１，３３の熱膨張による変形が抑えられる。その
結果、各部材３０，３１，３３により支持されたグルー
ブローラ１２Ａの、インゴットＩに対する相対位置の軸
線方向への移動の幅が小さくなる。その結果、ワイヤ列
１１を構成するワイヤ１１ａ全体の緊張位置のずれが抑
えられ、ウェーハの反りが小さくなる。

【００２５】一方、この冷却水の供給によって、グルー
ブローラ１２Ａも冷やされる。そのため、インゴット切
断時のグルーブローラ１２Ａの熱膨張に伴うウェーハの
厚さムラが解消される。すなわち、インゴット切断時、
グルーブローラ１２Ａが高速回転するとベアリング３７
…が発熱して台金３８が熱膨張する。これにより、台金
３８に固着されたライニング材１２ａの各ワイヤ溝１２
ｄの間隔も大きくなる。その結果、各ワイヤ溝１２ｄに
巻回されたワイヤ１１ａの間隔も広がり、ワイヤ列１１
を構成するワイヤ１１ａの緊張位置が設定位置からず
れ、切断中のウェーハに厚さムラが起きてしまう。そこ
で、冷却水によってグルーブローラ１２Ａを冷やすこと
で、ウェーハの厚さムラを低減することができる。した
がって、前述したように冷却水の温度を下げる制御を行
えば、このウェーハの厚さムラはさらに低減される。こ
のように、インゴットＩへのワイヤ１１ａの切り込み位
置に応じて冷媒の温度制御を行うことにより、反りが小
さなウェーハが得られるだけでなく、インゴット１の１
本分のウェーハを、反りの度合いが任意に調整された略
均一な反りを有するウェーハとすることも可能になる。
よって、異なるロット内の各ウェーハにおいて、その後
のウェーハ加工時（例えば研磨時など）に、同じ反り条
件で所定のウェーハ加工を施すことができる。

【００２６】ところで、冷却水による支持体３０，３１
の温度調整は、芯金３４内の冷媒流路に供給される冷却
水の流量を変更する方法によっても行うことができる。
すなわち、制御部ＣのＲＯＭには、あらかじめ上記切り
込み位置に応じて設定された冷却水の流量制御の目標値
が記憶され、その目標値に基づき、流量センサＳ１によ
ってその流量を測定しながら、電磁弁Ｂの弁体の開度調
整を行う。これらの電磁弁Ｂ、制御部Ｃおよび流量セン
サＳ１によって、あらかじめ切り込み位置に応じて設定
された流量まで、冷却水の流量を変更する冷媒流量調整
手段５１が構成される。ここで、表２に冷却水の流量制
御の目標値（反り切断用）を示す。

【００２７】

【表２】

【００２８】次に、図４に基づき、この発明の第２の実
施例のワイヤソーを説明する。図４は、この発明の第２
の実施例に係るワイヤソーの要部模式図である。第２の
実施例のワイヤソー６０の構成の特長を説明する。制御
部ＣのＲＯＭには、あらかじめ切り込み位置に応じて設
定されたグルーブローラ１２Ａの軸線方向に向かうイン
ゴットＩの移動量の制御目標値が記憶されている。ま
た、昇降台１９が、出力軸の回転数を検出する図外の回
転センサを有するサーボモータ（移動手段）Ｍによっ
て、グルーブローラ１２Ａの軸線方向へ移動可能に設け
られている。これらの制御部Ｃ、サーボモータＭ、図外
の回転センサにより、あらかじめ切り込み位置に応じて
設定された距離分だけ、インゴットＩをグルーブローラ
１２Ａの軸線方向に移動させるインゴット移動量調整手
段７０が構成される。表３に、インゴットＩの移動量の
制御目標値（反り切断用）を示す。

【００２９】

【表３】

【００３０】次に、この第２の実施例のワイヤソー６０
の作動を説明する。インゴット切断中、インゴットＩへ
のワイヤ１１ａの切り込み位置を渦電流センサＳにより
検出し、その検出データに基づき、ＲＯＭに記憶された
インゴットＩの移動量の制御目標値の分だけ、サーボモ
ータＭにより昇降台１９をグルーブローラ１２Ａの軸線
方向へ移動させる。その際、インゴットＩの移動量は回
転センサにより検出する。その他の構成、作用および効
果は、第１の実施例から推測可能な範囲であるので、説
明を省略する。

【００３１】

【発明の効果】この発明によれば、インゴットへのワイ
ヤの切り込み位置を位置センサにより検出し、得られた
検出データに基づき、あらかじめこの切り込み位置に応
じて設定された温度に達するまで、各軸受の冷媒流路を
流れる冷媒の温度を変更したり、あらかじめこの切り込
み位置に応じて設定された流量に達するまで冷媒の流量
を変更したり、さらにはあらかじめこの切り込み位置に
応じて設定された距離だけ、インゴットをワイヤソー用
グルーブローラの軸線方向に移動させる制御を行う。こ
れにより、反りを抑えた半導体ウェーハが得られるだけ
でなく、反りの度合いが任意に調整された均一な反りを
有する半導体ウェーハを得ることも可能になる。その結
果、同一ロットの各半導体ウェーハにおいて、その後の
ウェーハ加工時に、同じ反り条件で、所定のウェーハ加
工を施すことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の第１の実施例に係るワイヤソーのワ
イヤソー用グルーブローラの拡大断面図である。

【図２】（ａ）は、この発明の第１の実施例に係るワイ
ヤソーの要部模式図である。（ｂ）は、この発明の第１
の実施例に係るワイヤソーに組み込まれたワイヤソー用
グルーブローラの部分拡大図である。

【図３】この発明の第１の実施例に係るワイヤソーによ
って反り切断されたインゴットの拡大断面図である。

【図４】この発明の第２の実施例に係るワイヤソーの要
部模式図である。

【符号の説明】

１０，６０ワイヤソー、１１ａワイヤ、１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃワイヤソー用グルーブロー
ラ、１２ａ，１２ｂ，１２ｃライニング材、１２ｄワイヤ溝、３０，３１軸受、５０冷媒温度調整手段、５１冷媒流量調整手段、７０インゴット移動量調整手段、Ｉインゴット。Ｍサーボモータ（移動手段）、Ｐポンプ（冷却供給手段）、Ｓ渦電流センサ（位置センサ）。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数本のグルーブローラと、各グルーブ
ローラを回転自在に支持する軸受と、各軸受を冷却する
冷媒を供給する冷媒供給手段とを備え、上記グルーブロ
ーラ間に架け渡されたワイヤを往復走行させながら、イ
ンゴットをワイヤに相対的に押しつけることにより、こ
のインゴットを切断するワイヤソーにおいて、上記インゴットに対するワイヤの切り込み位置を検出す
る位置センサと、この切り込み位置に応じて設定した温度に、上記冷媒の
温度を調整する冷媒温度調整手段とを備えたワイヤソ
ー。
【請求項２】複数本のグルーブローラと、これらのグ
ルーブローラを回転自在に支持する軸受と、各軸受を冷
却する冷媒を供給する冷媒供給手段とを備え、上記グル
ーブローラ間に架け渡されたワイヤを往復走行させなが
ら、インゴットをワイヤに相対的に押しつけることによ
り、このインゴットを切断するワイヤソーにおいて、上記インゴットに対するワイヤの切り込み位置を検出す
る位置センサと、この切り込み位置に応じて設定した値に、上記冷媒の供
給量を調整する冷媒量調整手段とを備えたワイヤソー。
【請求項３】複数本のグルーブローラと、各グルーブ
ローラを回転自在に支持する軸受とを備え、上記グルー
ブローラ間に架け渡されたワイヤを往復走行させなが
ら、インゴットをワイヤに相対的に押しつけることによ
り、このインゴットを切断するワイヤソーにおいて、上記インゴットに対するワイヤの切り込み位置を検出す
る位置センサと、上記インゴットおよびまたはグルーブローラをグルーブ
ローラの軸線方向へ移動させる移動手段と、上記切り込み位置に応じて設定した距離だけ、上記イン
ゴットおよびまたはグルーブローラをグルーブローラの
軸線方向に移動させる移動量調整手段とを備えたワイヤ
ソー。