JP2003132675A - 半導体メモリ装置 - Google Patents

半導体メモリ装置

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JP2003132675A
JP2003132675A JP2001329005A JP2001329005A JP2003132675A JP 2003132675 A JP2003132675 A JP 2003132675A JP 2001329005 A JP2001329005 A JP 2001329005A JP 2001329005 A JP2001329005 A JP 2001329005A JP 2003132675 A JP2003132675 A JP 2003132675A
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Koichi Mizugaki
浩一 水垣
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Seiko Epson Corp
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    • GPHYSICS
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 外部から供給されるアドレスにアドレススキ
ューが発生したとしても、適正なATD信号を生成する
ことができるようにする。 【解決手段】 ATD信号の立ち上がりから立ち下がり
までのHレベルの期間(すなわち、ATD信号のパルス
幅)を、予め設定されているアドレススキュー許容範囲
以上の長さとなるように設定すると共に、リフレッシュ
動作が開始された際のATD信号の立ち上がりのタイミ
ングからリフレッシュ動作が終了するまでの期間以下の
長さとなるように設定する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体メモリ装置
内でのアドレス遷移信号のパルス幅の設定に関するもの
である。
【0002】
【従来の技術】半導体メモリ装置としては、DRAMや
SRAMが用いられている。良く知られているように、
DRAMはSRAMに比べて安価で大容量であるが、リ
フレッシュ動作が必要である。一方、SRAMはリフレ
ッシュ動作は不要で使い易いが、DRAMに比べて高価
であり、また容量が小さい。
【0003】DRAMとSRAMの利点を両方備えた半
導体メモリ装置として、擬似SRAM(VSRAMある
いはPSRAMと呼ばれる)が知られている。擬似SR
AMは、DRAMと同じダイナミック型メモリセルを含
むメモリセルアレイを備えているとともに、リフレッシ
ュ制御部を内蔵しており、リフレッシュ動作を内部で実
行している。このため、擬似SRAMに接続される外部
装置(例えばCPU)は、リフレッシュ動作を意識せず
に擬似SRAMにアクセス(データの読み出しや書き込
み)することが可能である。このような擬似SRAMの
特徴は、「リフレッシュの透過性」と呼ばれる。
【0004】ところで、擬似SRAMの中には、外部ク
ロック信号の入力を必要としないものが存在する。この
ような擬似SRAMでは、外部装置(例えばCPU)か
ら供給されるアドレスの中のいずれか1ビット以上が変
化したことを検出し、その検出結果に基づいてアドレス
遷移信号を生成するアドレス遷移検出回路を備えてお
り、そのアドレス遷移信号を外部クロック信号の代わり
として用いている。このようなアドレス遷移検出回路を
備えた擬似SRAMに対しては、外部装置(例えばCP
U)は、通常の非同期型SRAMと同じ手順でアクセス
することが可能となる。
【0005】なお、以下の説明では、アドレス遷移検出
回路を「ATD回路」と呼び、アドレス遷移信号を「A
TD信号」と呼ぶ場合がある。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】さて、外部装置(例え
ばCPU)から擬似SRAMに供給されるアドレスは、
通常、複数本(例えば、20本)の信号線を用いてパラ
レルに供給され、各々、1本の信号線が1ビットに相当
している。従って、アドレスが或る値から別の値に変化
する場合には、各信号線を介して供給される各ビットの
うち、変化すべきビットは、一斉に同時に変化すること
が好ましい。
【0007】このように、変化すべき各ビットが一斉に
同時に変化するようになっていれば、擬似SRAMとし
て、上述したようなATD回路を備えた擬似SRAMを
用いる場合、アドレスが変化した際に、ATD回路はそ
のアドレス変化を正しく検出することができ、適正なA
TD信号を生成することができるからである。
【0008】しかしながら、実際には、回路素子や信号
線のばらつきなどによって、各ビットの間には位相差や
タイミング差を生じ、アドレスが変化した際に、変化す
べき各ビットは、ずれたタイミングで変化してしまう場
合がある。このようなタイミングのずれを、一般にはア
ドレススキューと呼ぶ。
【0009】従来においては、このようなアドレススキ
ューが発生すると、ATD回路は、アドレス変化を正し
く検出することができず、適正なATD信号を生成する
ことができない場合があった。
【0010】図20は、従来において、アドレススキュ
ーが発生した場合におけるATD信号とそのATD信号
に基づいて実行される外部アクセスの様子を示すタイミ
ングチャートである。
【0011】例えば、擬似SRAMに供給されるアドレ
スがA0〜A19の20ビットあり、そのうち、A0〜
A9のビットは図20(a)に示すように変化し、A1
0のビットは図20(b)に示すように変化し、A11
〜A19のビットは図20(c)に示すように変化して
いるものとする。従って、この場合、A10以外のビッ
トは時刻t1で変化しているのに対し、A10のビット
はそれよりも遅い時刻t2で変化しており、A10のビ
ットだけ他のビットに比べて変化のタイミングがずれて
おり、アドレススキューが発生している。
【0012】従来においては、このようなアドレススキ
ューが発生した場合、ATD回路は、図20(d)に示
すように、時刻t1でのA10以外のビットの変化を検
出して、ATD信号として一定幅のパルスを立ち上げ、
続いて、時刻t2でのA10のビットの変化を検出し
て、再度、一定幅のパルスを立ち上げることになる。
【0013】従って、本来なら、アドレスの変化を検出
して、ATD信号として1つのパルスを立ち上げるべき
ところを、短時間の間に2つのパルスを立ち上げてしま
うことになり、適正なATD信号が生成されないことに
なる。
【0014】ATD信号は、前述したとおり、擬似SR
AMでは、外部クロック信号の代わりとして用いられる
ものであり、メモリセルアレイに対する外部アクセス動
作やリフレッシュ動作の基準タイミングとなるものであ
る。具体的には、例えば、ATD信号の立ち上がりタイ
ミングに基づいて、リフレッシュ動作は開始され、AT
D信号の立ち上がりタイミングに基づいて、原則的に外
部アクセス動作が開始されるようになっている。
【0015】従って、そのようなATD信号が適正に生
成されないとすると、外部アクセス動作やリフレッシュ
動作が誤動作を起こしてしまい、最悪の場合、メモリセ
ルアレイ内の一部メモリセルにおいて、データ破壊が生
じてしまう恐れがあった。
【0016】なお、従来においては、ATD信号のパル
ス幅は、そのパルス幅が長くなると、後述するようにア
クセス時間が長くなるため、ノイズが吸収できる程度の
数nsecに設定されていた。
【0017】従って、本発明の目的は、上記した従来技
術の問題点を解決し、外部から供給されるアドレスにア
ドレススキューが発生したとしても、適正なアドレス遷
移信号を生成することができる半導体メモリ装置を提供
することにある。
【0018】
【課題を解決するための手段およびその作用・効果】上
記した目的の少なくとも一部を達成するために、本発明
の第1の半導体メモリ装置は、ダイナミック型メモリセ
ルを有するメモリセルアレイと、外部から供給されたア
ドレスのいずれか1ビット以上に変化があるか否かを検
出すると共に、第1の状態にある場合に前記アドレス変
化が検出されたときには、第2の状態に変化し、該第2
の状態に変化後、所定の基準期間経過したときには前記
第1の状態に変化するアドレス遷移検出信号を生成する
アドレス遷移検出部と、前記アドレス遷移検出信号にお
ける前記第1の状態から前記第2の状態への変化のタイ
ミングに基づいて、前記メモリセルアレイにおける所望
のメモリセルに対してリフレッシュ動作を開始するリフ
レッシュ制御部と、前記アドレス遷移検出信号における
前記第2の状態から前記第1の状態への変化のタイミン
グまたは前記リフレッシュ動作の終了のタイミングに基
づいて、前記メモリセルアレイにおける前記アドレスに
対応するメモリセルに対して外部アクセス動作を開始す
る外部アクセス制御部と、を備え、前記基準期間は、前
記アドレスに対する予め設定されたアドレススキューの
許容期間以上で、かつ、前記第2の状態に変化した後か
ら前記リフレッシュ動作が終了するまでの期間以下の長
さに設定されていることを要旨とする。
【0019】このように、本発明の第1の半導体メモリ
装置では、アドレス遷移検出信号における第1の状態か
ら第2の状態への変化のタイミングに基づいてリフレッ
シュ動作を開始し、アドレス遷移検出信号における第2
の状態から第1の状態への変化のタイミングまたはリフ
レッシュ動作の終了のタイミングに基づいて外部アクセ
ス動作を開始することと、アドレススキューの許容範囲
が予め設定されていることを前提として、アドレス遷移
検出信号の基準期間(第1の状態から第2の状態への変
化タイミングから、第2の状態から第1の状態への変化
タイミングまでの期間)を、アドレススキューの許容期
間以上で、かつ、第2の状態に変化した後からリフレッ
シュ動作が終了するまでの期間以下の長さに設定するよ
うにしている。
【0020】従って、本発明の第1の半導体メモリ装置
によれば、アドレス遷移検出信号の基準期間はアドレス
スキューが発生したとしても、アドレス遷移検出信号と
して第1の状態から第2の状態に変化することはないた
め、アドレス遷移検出信号の基準期間をアドレススキュ
ー許容範囲以上の長さに設定することによって、アドレ
ス遷移検出信号として短時間の間に状態が複数回変化す
ることがなく、適正なアドレス遷移検出信号を生成する
ことができる。
【0021】また、外部アクセス動作はアドレス遷移検
出信号の第2の状態から第1の状態への変化のタイミン
グに基づいて開始されるため、アドレス遷移検出信号の
基準期間をアドレススキュー許容範囲以上の長さに設定
することによって、外部アクセス動作が開始してからの
アドレススキューが発生する確率は極めて低くなり、外
部アクセス動作はアドレススキューの発生による影響を
受けることなく、正常に行うことができる。
【0022】さらにまた、アクセス時間は、通常、アド
レス変化があった時点(すなわち、アドレス遷移検出信
号の第1の状態から第2の状態への変化のタイミング)
からカウントするが、アドレス遷移検出信号の基準期間
が長くなると、外部アクセス動作の開始時刻も遅れるた
め、その分、アクセス時間が長くなってしまう。しかし
ながら、例えば、メモリセルアレイの同じブロックに対
しリフレッシュと外部アクセスの要求が同時期に発生し
た場合には、外部アクセス動作はリフレッシュ動作の終
了のタイミングに基づいて開始されるため、アクセス時
間の最大値は、アドレス変化があった時点からリフレッ
シュ動作が終了する時点までの期間より短くなることは
ない。よって、本発明の第1の半導体メモリ装置によれ
ば、アドレス遷移検出信号の基準期間を、第2の状態に
変化した後からリフレッシュ動作が終了するまでの期間
以下の長さに設定しているので、アクセス時間の最大値
を、リフレッシュと外部アクセスの要求が同時期に発生
した場合における上記アクセス時間の範囲内に抑えるこ
とができ、それ以上長くなることはない。
【0023】本発明の第2の半導体メモリ装置は、ダイ
ナミック型メモリセルを有するメモリセルアレイと、外
部から供給されたアドレスのいずれか1ビット以上に変
化があるか否かを検出すると共に、第1の状態にある場
合に前記アドレス変化が検出されたときには、第2の状
態に変化し、該第2の状態に変化後、所定の基準期間経
過したときには前記第1の状態に変化するアドレス遷移
検出信号を生成するアドレス遷移検出部と、前記アドレ
ス遷移検出信号における前記第1の状態から前記第2の
状態への変化のタイミングに基づいて、前記メモリセル
アレイにおける所望のメモリセルに対してリフレッシュ
動作を開始するリフレッシュ制御部と、前記アドレス遷
移検出信号における前記第2の状態から前記第1の状態
への変化のタイミングまたは前記リフレッシュ動作の終
了のタイミングに基づいて、前記メモリセルアレイにお
ける前記アドレスに対応するメモリセルに対して外部ア
クセス動作を開始する外部アクセス制御部と、を備え、
前記基準期間は、前記アドレスに対する予め設定された
アドレススキューの許容期間以上の特定の長さに設定さ
れていると共に、前記アドレス遷移検出部は、前記アド
レス遷移検出信号が前記第2の状態にある場合に、前記
アドレス変化が検出されたときには、前記基準期間を延
長することを要旨とする。
【0024】このように、本発明の第2の半導体メモリ
装置では、アドレス遷移検出信号の基準期間を、アドレ
ススキューの許容期間以上の特定の長さに設定するよう
にしている。そして、アドレス遷移検出信号が第2の状
態にある場合に、アドレス変化が検出されたときには、
アドレス遷移検出信号の基準期間を延長するようにして
いる。
【0025】従って、本発明の第2の半導体メモリ装置
によれば、アドレス遷移検出信号が第2の状態にあると
きに、アドレススキューが発生すれば、自動的にアドレ
ス遷移検出信号の基準期間が延長されるので、アドレス
遷移検出信号として短時間の間に状態が複数回変化する
ことがなく、適正なアドレス遷移検出信号を生成するこ
とができる。
【0026】また、上述したとおり、外部アクセス動作
はアドレス遷移検出信号の第2の状態から第1の状態へ
の変化のタイミングに基づいて開始されるため、外部ア
クセス動作開始後に、アドレススキューが発生する確率
は極めて低くなり、外部アクセス動作はアドレススキュ
ーの発生による影響を受けることなく、正常に行うこと
ができる。
【0027】さらにまた、アドレススキューが発生して
いる間は、アドレスは不定であるため、アドレススキュ
ーの発生により、アドレス遷移検出信号の基準期間が延
長されて、その分、外部アクセス動作の開始時刻が遅れ
たとしても、アドレススキュー発生時における最後のア
ドレス変化の時点からカウントした実質的なアクセス時
間は長くならないため、上記の如く、基準期間が延長さ
れても問題はない。
【0028】本発明の第2の半導体メモリ装置におい
て、前記アドレス遷移検出部は、前記アドレス遷移検出
信号が前記第2の状態にある場合に、前記アドレス変化
が検出されたときには、その検出時点から所定の期間、
前記第2の状態が維持されるように、前記基準期間を延
長することが好ましい。
【0029】このように構成することによって、アドレ
ススキューが発生しても、アドレス変化の検出時点から
上記所定の期間の間はアドレス遷移検出信号として第2
の状態が維持されることが保証されるため、アドレス遷
移検出信号は、アドレススキューを確実に吸収すること
ができる。
【0030】なお、本発明は、上記した半導体メモリ装
置などの態様で実現できる他、例えば、上記半導体メモ
リ装置を用いた電子機器などの態様で実現することもで
き、また、アドレス遷移検出信号生成方法などの方法発
明としての態様で実現することも可能である。
【0031】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態を実施
例に基づいて以下の順序で説明する。 A.メモリチップの端子構成と動作状態の概要: B.メモリチップ内部の全体構成: C.ATD信号の生成: D.リフレッシュ制御部および外部アクセス制御部の構
成および動作: E.ATD信号に基づく外部アクセスおよびリフレッシ
ュの動作: F.本発明の他の実施例: G.電子機器への適用例: H.変形例:
【0032】A.メモリチップの端子構成と動作状態の
概要:図1は、本発明の一実施例としてのメモリチップ
300の端子の構成を示す説明図である。メモリチップ
300は、以下のような端子を有している。
【0033】 A0〜A19:アドレス入力端子(20本), #CS:チップセレクト入力端子, ZZ:スヌーズ入力端子, #WE:ライトイネーブル入力端子, #OE:アウトプットイネーブル入力端子, #LB:下位バイトイネーブル入力端子, #UB:上位バイトイネーブル入力端子, IO0〜IO15:入出力データ端子(16本)。
【0034】なお、以下の説明では、端子名と信号名と
に同じ符号を用いている。端子名(信号名)の先頭に
「#」が付されているものは、負論理であることを意味
している。アドレス入力端子A0〜A19と入出力デー
タ端子IO0〜IO15はそれぞれ複数本設けられてい
るが、図1では簡略化されて描かれている。
【0035】このメモリチップ300は、通常の非同期
型SRAMと同じ手順でアクセスすることが可能な擬似
SRAM(VSRAM)として構成されている。ただ
し、SRAMと異なり、ダイナミック型のメモリセルが
用いられているので、所定期間内にリフレッシュが必要
となる。このため、メモリチップ300には、リフレッ
シュタイマ70を含むリフレッシュ制御部が内蔵されて
いる。本明細書では、外部装置(制御装置)からのデー
タの読み出しや書き込みの動作を「外部アクセス」と呼
び、内蔵されたリフレッシュ制御部によるリフレッシュ
動作を「内部リフレッシュ」または単に「リフレッシ
ュ」と呼ぶ。
【0036】メモリチップ300の内部には、入力され
たアドレスA0〜A19の中のいずれか1ビット以上が
変化したことを検出するためのアドレス遷移検出回路1
10が設けられている。そして、メモリチップ300内
の回路は、アドレス遷移検出回路110から供給される
アドレス遷移信号に基づいて動作する。例えば、外部ア
クセスと内部リフレッシュとの調停は、アドレス遷移信
号に基づいて行われる。
【0037】図1に示すチップセレクト信号#CSとス
ヌーズ信号ZZは、メモリチップ300の動作状態を制
御するための信号である。図2は、チップセレクト信号
#CSとスヌーズ信号ZZの信号レベルに応じたメモリ
チップ300の動作状態の区分を示す説明図である。な
お、本明細書において、「Hレベル」は2値信号の2つ
のレベルのうちの「1」レベルを意味し、「Lレベル」
は「0」レベルを意味している。
【0038】チップセレクト信号#CSがLレベル(ア
クティブ)でスヌーズ信号ZZがHレベルのときは、リ
ード/ライト・オペレーションサイクル(以下、単に
「オペレーションサイクル」または「リード/ライトサ
イクル」と呼ぶ)が行われる。オペレーションサイクル
では、外部アクセスの実行が可能であり、適時、内部リ
フレッシュが実行される。
【0039】チップセレクト信号#CSとスヌーズ信号
ZZが共にHレベルのときには、スタンバイサイクルが
行われる。スタンバイサイクルでは、外部アクセスの実
行が禁止されるため、すべてのワード線が非活性状態と
される。但し、内部リフレッシュが行われるときには、
リフレッシュアドレスで指定されたワード線は活性化さ
れる。
【0040】チップセレクト信号#CSがHレベル(非
アクティブ)のときにスヌーズ信号ZZがLレベルにな
ると、メモリチップ300はスヌーズ状態(「パワーダ
ウン状態」とも呼ぶ)に移行する。スヌーズ状態では、
リフレッシュ動作に必要な回路以外は停止している。ス
ヌーズ状態での消費電力は極めて少ないので、メモリ内
のデータのバックアップに適している。
【0041】なお、リフレッシュ動作は、オペレーショ
ンサイクルとスタンバイサイクルでは第1のリフレッシ
ュモードに従って実行され、スヌーズ状態では第2のリ
フレッシュモードに従って実行される。第1のリフレッ
シュモードでは、リフレッシュタイマ70がリフレッシ
ュタイミング信号を発生した後に、ATD信号に同期し
てリフレッシュ動作が開始される。一方、第2のリフレ
ッシュモードでは、リフレッシュタイマ70がリフレッ
シュタイミング信号を発生すると直ちにリフレッシュ動
作が開始される。第2のリフレッシュモードでのリフレ
ッシュ動作はATD信号と非同期に行われるので、アド
レスA0〜A19の入力は不要である。このように、こ
のメモリチップ300は、3つの動作状態にそれぞれ適
したリフレッシュモードに従ってリフレッシュを実行す
る。
【0042】図1に示すアドレスA0〜A19は、20
ビットであり、1メガワードのアドレスを指定する。ま
た、入出力データIO0〜IO15は、1ワード分の1
6ビットのデータである。すなわち、アドレスA0〜A
19の1つの値は16ビット(1ワード)に対応してお
り、一度に16ビットの入出力データIO0〜IO15
を入出力することができる。
【0043】オペレーションサイクルにおいては、ライ
トイネーブル信号#WEがLレベルになるとライトサイ
クルが実行され、Hレベルになるとリードサイクルが実
行される。また、アウトプットイネーブル信号#OEが
Lレベルになると、入出力データ端子IO0〜IO15
からの出力が可能になる。下位バイトイネーブル信号#
LBや上位バイトイネーブル入力信号#UBは、1ワー
ド(16ビット)の下位バイトと上位バイトとのうちの
いずれか1バイトのみに関して読み出しや書き込みを行
うための制御信号である。例えば、下位バイトイネーブ
ル信号#LBをLレベルに設定し、上位バイトイネーブ
ル信号#UBをHレベルに設定すると、1ワードの下位
8ビットのみに関して読み出しや書き込みが行われる。
なお、図1では、電源端子は省略されている。
【0044】図3は、メモリチップ300の動作の概要
を示すタイミングチャートである。図2に示した3つの
動作状態(オペレーション、スタンバイ、スヌーズ)の
いずれであるかは、チップセレクト信号#CSとスヌー
ズ信号ZZの変化に応じて、随時判断される。図3の最
初の3つのサイクルは、オペレーションサイクルであ
る。オペレーションサイクルでは、ライトイネーブル信
号#WEのレベルに応じて読み出し(リードサイクル)
と書き込み(ライトサイクル)のいずれかが実行され
る。なお、ATD信号の最短周期Tc(すなわち、アド
レスA0〜A19の変化の最短周期)は、このメモリチ
ップ300のサイクルタイム(「サイクル周期」とも呼
ばれる)に相当する。サイクルタイムTcは、例えば約
50nsから約100nsの範囲の値に設定される。
【0045】図3の4番目のサイクルでは、チップセレ
クト信号#CSがHレベルに立ち上がっているので、ス
タンバイサイクルが開始される。5番目のサイクルで
は、さらに、スヌーズ信号ZZがLレベルに下がってい
るので、メモリチップ300はスヌーズ状態となる。な
お、図3(a)に示すように、アドレスA0〜A19が
変化しない場合には、ATD信号は生成されない。
【0046】B.メモリチップ内部の全体構成:図4
は、メモリチップ300の構成を示すブロック図であ
る。このメモリチップ300は、データ入出力バッファ
10と、メモリセルアレイ20と、アドレスバッファ6
0とを備えている。
【0047】メモリセルアレイ20は、4つのブロック
20A〜20Dに区分されている。第1のブロック20
Aは、メモリセルサブアレイ22Aと、行デコーダ24
Aと、列デコーダ26Aと、ゲート28Aとを備えてい
る。他のブロック20B〜20Dも同様である。各ブロ
ック20A〜20Dの構成はほぼ同じなので、以下では
主に第1のブロック20Aと、これに関連する他の回路
について説明する。
【0048】1つのブロック20Aの構成は、典型的な
DRAMのメモリセルアレイと同じである。すなわち、
サブアレイ22Aは、1トランジスタ1キャパシタ型の
複数のメモリセルがマトリクス状に配列されたものであ
る。各メモリセルには、ワード線とビット線対(データ
線対とも呼ばれる)とが接続されている。行デコーダ2
4Aは、行ドライバを含んでおり、供給される行アドレ
スに従ってサブアレイ22A内の複数本のワード線のう
ちの1本を選択して活性化する。列デコーダ26Aは、
列ドライバを含んでおり、供給される列アドレスに従っ
てサブアレイ22A内の複数組のビット線対の中の1ワ
ード(16ビット)分のビット線対を同時に選択する。
また、ゲート28Aは、読み出し回路や書き込み回路を
含んでおり、データ入出力バッファ10とサブアレイ2
2Aと間のデータのやり取りを可能とする。なお、ブロ
ック20A内には、図示しないプリチャージ回路やセン
スアンプなども設けられている。
【0049】アドレスバッファ60は、外部装置から与
えられた20ビットのアドレスA0〜A19を他の内部
回路に供給する回路である。最も下位の2ビットのアド
レスA0〜A1は、4つのブロック20A〜20Dのう
ちのいずれか1つを選択するためのブロックアドレスと
して用いられる。また、ブロックアドレスA0〜A1よ
りも上位の6ビットのアドレスA2〜A7は列アドレス
として用いられ、最も上位の12ビットのアドレスA8
〜A19は行アドレスとして用いられる。従って、ブロ
ックアドレスA0〜A1によって4つのブロック20A
〜20Dのうちの1つが選択され、選択されたブロック
の中から、列アドレスA2〜A7と行アドレスA8〜A
19とによって1ワード(16ビット)分のメモリセル
が選択される。選択されたメモリセルに対応する1ワー
ド分のデータは、データ入出力バッファ10を介して読
み出され、あるいは書き込まれる。すなわち、外部装置
は、1つのアドレスA0〜A19を入力することによ
り、1つのブロック内の1ワード分のメモリセルに同時
にアクセスすることが可能である。
【0050】各ブロック20A〜20Dには、それぞ
れ、行プリデコーダ30A〜30Dと、ブロックコント
ローラ40A〜40Dと、リフレッシュ要求信号発生回
路50A〜50Dとがこの順に接続されている。メモリ
チップ300内には、さらに、リフレッシュタイマ70
と、リフレッシュカウンタコントローラ90と、リフレ
ッシュカウンタ100と、ATD(アドレス遷移検出)
回路110と、が設けられている。
【0051】これらのうち、ATD回路110は、本発
明の特徴部分を成す回路であって、外部装置から供給さ
れた20ビットのアドレスA0〜A19の中のいずれか
1ビット以上に変化があるか否かを検出し、そのアドレ
ス変化に応じたATD信号を生成する。なお、ATD回
路110の構成および動作については後ほど詳しく説明
する。
【0052】リフレッシュタイマ70は、一定のリフレ
ッシュ周期毎にリフレッシュタイミング信号RFTMを
発生する回路である。リフレッシュタイマ70は、例え
ばリングオシレータによって構成される。リフレッシュ
周期は、例えば約32μsに設定されている。
【0053】リフレッシュ要求信号発生回路50A〜5
0Dは、リフレッシュタイマ70から供給されるリフレ
ッシュタイミング信号RFTMとATD回路110から
供給されるATD信号とに応じて、各ブロック20A〜
20Dのためのリフレッシュ要求信号RFREQ0〜R
FREQ3を発生する。このリフレッシュ要求信号RF
REQ0〜RFREQ3は、対応するブロックコントロ
ーラ40A〜40Dにそれぞれ供給される。
【0054】ブロックコントローラ40A〜40Dに
は、リフレッシュ要求信号RFREQ0〜RFREQ3
やATD信号とともに、外部装置から与えられたブロッ
クアドレスA0〜A1が供給されている。リフレッシュ
要求信号RFREQ0〜RFREQ3は、4つのブロッ
ク20A〜20Dにおいてリフレッシュ動作を開始すべ
きことを意味している。また、オペレーションサイクル
では、ブロックアドレスA0〜A1は、4つのブロック
20A〜20Dのいずれに外部アクセスが要求されてい
るかを示している。そこで、ブロックコントローラ40
A〜40Dは、これらの信号RFREQ0〜RFREQ
3,A0〜A1に応じて、4つのブロックに対する内部
リフレッシュと外部アクセスとを調停する。この調停
は、具体的には、リフレッシュ実施信号#RF0〜#R
F3と外部アクセス実施信号#EX0〜#EX3との出
力レベルをそれぞれ設定することによって行われる。
【0055】行プリデコーダ30A〜30Dは、リフレ
ッシュ実施信号#RF0〜#RF3と外部アクセス実施
信号#EX0〜#EX3のレベルに応じて、リフレッシ
ュカウンタ100から与えられたリフレッシュアドレス
RFA8〜RFA19と外部装置から与えられた行アド
レスA8〜A19とのうちの一方を選択して、行デコー
ダ24A〜24Dに供給する。この2種類のアドレスR
FA8〜RFA19,A8〜A19の選択は、行プリデ
コーダ毎に独立に行われる。例えば、リフレッシュ要求
がある場合に、第1のブロック20Aに対して外部アク
セスの要求があったときには、まず、全ての行プリデコ
ーダ30A〜30Dは、リフレッシュアドレスRFA8
〜RFA19を選択して対応するブロック20A〜20
Dにそれぞれ供給し、第1の行プリデコーダ30Aは、
第1のブロック20Aに対するリフレッシュの終了後
に、行アドレスA8〜A19を選択して第1のブロック
20Aに供給する。
【0056】なお、リフレッシュ要求信号発生回路50
A〜50Dと、ブロックコントローラ40A〜40D
と、行プリデコーダ30A〜30Dの構成および動作に
ついては、さらに後述する。
【0057】リフレッシュカウンタコントローラ90
は、4つのブロック20A〜20Dのすべてにおいて、
同一のリフレッシュアドレスRFA8〜RFA19に従
ってリフレッシュ動作が完了したか否かを検出する。こ
の検出は、4つのリフレッシュ要求信号RFREQ0〜
RFREQ3のレベル変化を調べることによって行われ
る。4つのブロック20A〜20Dにおけるリフレッシ
ュ動作が完了すると、リフレッシュカウンタコントロー
ラ90は、リフレッシュカウンタ100にカウントアッ
プ信号#CNTUPを供給する。リフレッシュカウンタ
100は、このカウントアップ信号#CNTUPに応じ
てリフレッシュアドレスRFA8〜RFA19の値を1
つカウントアップする。
【0058】メモリチップ300は、図4に示す回路の
他に、チップセレクト信号#CSやスヌーズ信号ZZに
従ってチップ内の回路の動作状態を制御するコントロー
ラや、各種のイネーブル信号#WE,#OE,#LB,
#UBに応じて入出力状態を制御するコントローラなど
を有しているが、図4では、図示の便宜上省略されてい
る。
【0059】なお、本実施例においては、図4に示した
回路のうちで、メモリセルアレイ20は本発明における
「メモリセルアレイ」に、ATD回路110は「アドレ
ス遷移検出部」に、それぞれ相当する。また、行プリデ
コーダ30A〜30D,ブロックコントローラ40A〜
40D,リフレッシュ要求信号発生回路50A〜50
D,リフレッシュタイマ70,リフレッシュカウンタコ
ントローラ90およびリフレッシュカウンタ100で構
成される回路部分は、本発明における「リフレッシュ制
御部」に相当し、行プリデコーダ30A〜30D,ブロ
ックコントローラ40A〜40Dおよびアドレスバッフ
ァ60で構成される回路部分は、「外部アクセス制御
部」に相当する。従って、行プリデコーダ30A〜30
Dおよびブロックコントローラ40A〜40Dは、「リ
フレッシュ制御部」としても、「外部アクセス制御部」
としても、機能することになる。
【0060】C.ATD信号の生成:それでは、本発明
の特徴であるATD信号の立ち上がりから立ち下がりま
でのHレベルの期間(すなわち、ATD信号のパルス
幅)の設定の仕方について詳細に説明する。
【0061】前述したように、ATD回路を備えた擬似
SRAMにおいては、ATD信号を外部クロック信号の
代わりとして用い、メモリセルアレイに対する外部アク
セス動作やリフレッシュ動作の基準タイミングとしてお
り、これは本実施例においても同様である。
【0062】すなわち、本実施例においては、後ほど詳
しく述べるとおり、ATD回路110の生成するATD
信号の立ち上がりのタイミングに基づいて、リフレッシ
ュ動作を開始するようにしており、また、ATD信号の
立ち上がりのタイミングに基づいて、外部アクセス動作
を開始するようにしている。
【0063】しかしながら、メモリセルアレイにおける
同じブロックに対して、リフレッシュの要求と外部アク
セスの要求が同時期に発生した場合には、まず、ATD
信号の立ち上がりのタイミングに基づいてリフレッシュ
動作を開始した後、そのリフレッシュ動作の終了を待っ
てから、外部アクセス動作を開始するようにしている。
【0064】また、一方において、外部装置(例えばC
PU)から半導体メモリ装置に供給されるアドレスに
は、前述したように、回路素子や信号線のばらつきなど
によって、アドレススキューが発生する場合がある。そ
のため、一般的に、半導体メモリ装置では、そのような
アドレススキューの発生を前提として、予め、どの程度
のアドレススキューまで動作保証をするか、つまり、ど
の程度のアドレススキューまで許容するかを示すアドレ
ススキュー許容範囲が設定されている。その許容範囲
は、通常は、10〜20nsec程度である。
【0065】そこで、本実施例においては、このような
ATD信号に対する外部アクセス動作およびリフレッシ
ュ動作の基準タイミングの取り方や、予め設定されてい
るアドレススキュー許容範囲などの前提を踏まえた上
で、アドレススキュー発生による影響を排除する目的
で、ATD信号の立ち上がりから立ち下がりまでのHレ
ベルの期間(すなわち、ATD信号のパルス幅)を、予
め設定されているアドレススキュー許容範囲以上の長さ
となるように設定すると共に、リフレッシュ動作が開始
された際のATD信号の立ち上がりのタイミングからリ
フレッシュ動作が終了するまでの期間以下の長さとなる
ように設定している。
【0066】それでは、次に、Hレベルの期間を上述し
たような期間に設定したATD信号を、ATD回路11
0によってどのようにして生成するかについて、具体的
に説明する。
【0067】図5は、図4におけるATD回路110の
構成を示すブロック図である。ATD回路110は、2
0ビットのアドレスA0〜A19の各ビットに対応した
20個の遷移検出回路111と、20入力ORゲート1
16と、アドレススキューを吸収するためのアドレスス
キューバッファ回路117と、を備えている。各遷移検
出回路111は、インバータ112と、2つのパルス発
生回路113,114と、ORゲート115とを有して
いる。パルス発生回路113,114としては、例えば
ワンショットマルチバイブレータが使用される。また、
アドレススキューバッファ回路117としては、インバ
ータ118,120と、遅延回路119と、RSラッチ
121とを有している。
【0068】図6は、図5におけるアドレススキューバ
ッファ回路117内の遅延回路119の構成を示す回路
図である。図6に示すように、遅延回路119は、直列
に接続された4つのインバータ122〜125で構成さ
れており、各インバータがそれぞれ遅延素子を成してい
る。
【0069】第1のパルス発生回路113は、アドレス
ビットA0の立ち上がりエッジに応じて、所定のパルス
幅を有するパルスを1つ生成する。また、インバータ1
12と第2のパルス発生回路114は、アドレスビット
A0の立ち下がりエッジに応じて、所定のパルス幅を有
するパルスを1つ生成する。従って、ORゲート115
からは、アドレスビットA0の立ち上がりエッジと立ち
下がりエッジの各エッジ毎に、パルスが1つずつ出力さ
れる。これは、他のアドレスビットA1〜A19につい
ても同様である。
【0070】20入力ORゲート116には、20個の
遷移検出回路111の出力が入力されている。従って、
20ビットの行アドレスA0〜A19の中の1つ以上の
ビットのレベルが変化すると、ORゲート116から
は、図7(a)に示すような、パルス状のOATD信号
が出力される。
【0071】図7は、図5および図6における要部信号
のレベル変化を示すタイミングチャートである。
【0072】アドレススキューバッファ回路117で
は、インバータ118がOATD信号の極性を反転さ
せ、図7(b)に示すようなSATD信号を生成し、R
Sラッチ121のセット端子と遅延回路119に入力さ
せる。遅延回路119では、SATD信号を4つのイン
バータ122〜125によって順次遅延する。この遅延
回路119を介することにより、SATD信号は、図7
(c)〜(f)に示すように、波形を維持したままで、
極性を反転させながら、時間tdだけ遅延し、DATD
信号となる。続いて、インバータ120が、このDAT
D信号の極性を反転させ、図7(g)に示すようなRA
TD信号を生成し、RSラッチ121のリセット端子に
入力させる。この結果、RSラッチ121では、SAT
D信号の立ち下がりによってセット状態となり、その
後、RATD信号の立ち下がりによってリセット状態と
なる。従って、RSラッチ121の出力端子Qからは、
図7(h)に示すように、SATD信号の立ち下がりに
よってLレベルからHレベルに立ち上がり、RATD信
号の立ち下がりによってHレベルからLレベルに立ち下
がるATD信号が出力される。
【0073】このATD信号の立ち上がりから立ち下が
りまでのHレベルの期間は、一定となっており、その長
さは、遅延回路119における遅延時間を適正に調整す
ることによって、容易に設定することができる。すなわ
ち、本実施例においては、最終的に得られるATD信号
のHレベルの期間が、アドレススキュー許容範囲以上
で、かつ、リフレッシュ動作が開始された際のATD信
号の立ち上がりのタイミングからリフレッシュ動作が終
了するまでの期間以下の長さTWとなるように、遅延回
路119における遅延時間を設定している。
【0074】以上のようなATD回路110を用いるこ
とによって、Hレベルの期間を上述した長さに設定した
ATD信号を生成することができる。
【0075】図8は、アドレススキューが発生した場合
の図5および図6における要部信号のレベル変化を示す
タイミングチャートである。
【0076】アドレススキューが発生すると、ORゲー
ト116から出力されるOATD信号としては、例え
ば、図8(a)に示すように、短時間の間に2つのパル
スが立ち上がることになる。しかしながら、アドレスス
キューバッファ回路117では、このようなOATD信
号の極性を反転させたSATD信号(図8(b))がR
Sラッチ121のセット端子に入力され、SATD信号
を遅延して反転させたRATD信号(図8(g))がR
Sラッチ121のリセット端子に、それぞれ、入力され
る。そのため、RSラッチ121では、SATD信号
の、極性反転された1つ目のパルスの立ち下がりによっ
てセット状態となり、その後、RATD信号の1つ目の
パルスの立ち下がりによってリセット状態となり、RS
ラッチ121の出力端子Qからは、図8(h)に示すよ
うに、SATD信号の、極性反転された1つ目のパルス
の立ち下がりによってLレベルからHレベルに立ち上が
り、RATD信号の1つ目のパルスの立ち下がりによっ
てHレベルからLレベルに立ち下がるATD信号が出力
される。
【0077】このとき、ATD信号のHレベルの期間
は、前述したとおり、遅延回路119によって、アドレ
ススキュー許容範囲以上で、かつ、リフレッシュ動作が
開始された際のATD信号の立ち上がりのタイミングか
らリフレッシュ動作が終了するまでの期間以下の長さT
Wとなるように設定されているため、上記した如くアド
レススキューが発生しても、そのアドレススキューの長
さはHレベルの期間の長さTWよりも短く、図8(b)
に示すSATD信号の、極性反転された2つ目のパルス
の立ち下がりは、図8(g)に示すRATD信号の1つ
目のパルスの立ち下がりよりも後になることはない。つ
まり、RSラッチ121のセット端子に入力されるSA
TD信号の、極性反転された2つ目のパルスは、RSラ
ッチ121がセット状態にあるときに立ち下がることに
なるので、RSラッチ121の状態は、SATD信号
の、極性反転された2つ目のパルスの立ち下がりによっ
ては何ら変化しない。よって、上記したようなアドレス
スキューが発生したとしても、RSラッチ121の出力
端子Qから最終的に出力されるATD信号としては、短
時間の間に2つのパルスが立ち上がることはない。
【0078】ちなみに、RSラッチ121のリセット端
子に入力されるRATD信号の2つ目のパルスも、RS
ラッチ121がリセット状態にあるときに立ち下がるこ
とになるので、RSラッチ121の状態は、RATD信
号の2つ目のパルスの立ち下がりによっても何ら変化し
ない。
【0079】従って、以上のようなATD回路110を
用いることによって、アドレススキューが発生したとし
ても、短時間の間に2つのパルスが立ち上がるようなA
TD信号を生成することはなく、適正なATD信号を生
成することができる。
【0080】以上説明したように、本実施例によれば、
ATD信号のHレベルの期間はアドレススキューが発生
したとしても、ATD信号として新たなパルスが立ち上
がることはないため、ATD信号のHレベルの期間をア
ドレススキュー許容範囲以上の長さに設定することによ
って、ATD信号として短時間の間に2つのパルスが立
ち上がることがなく、適正なATD信号を生成すること
ができる。
【0081】また、本実施例によれば、上述したとお
り、外部アクセス動作はATD信号の立ち下がりのタイ
ミングに基づいて開始されるため、ATD信号のHレベ
ルの期間をアドレススキュー許容範囲以上の長さに設定
することによって、外部アクセス動作が開始してからの
アドレススキューが発生する確率は極めて低くなり、外
部アクセス動作はアドレススキューの発生による影響を
受けることなく、正常に行うことができる。
【0082】一方、アクセス時間は、通常、アドレス変
化があった時点(すなわち、ATD信号の立ち上がり時
点)からカウントするが、ATD信号のHレベルの期間
が長くなると、外部アクセス動作の開始時刻も遅れるた
め、その分、アクセス時間が長くなってしまう。しかし
ながら、上述したとおり、メモリセルアレイの同じブロ
ックに対しリフレッシュと外部アクセスの要求が同時期
に発生した場合には、外部アクセス動作は必ずリフレッ
シュ動作の終了を待ってから開始するため、アクセス時
間の最大値は、このときのアクセス時間、すなわち、ア
ドレス変化があった時点(すなわち、ATD信号の立ち
上がり時点)からリフレッシュ動作が終了する時点まで
の期間より短くなることはない。よって、本実施例によ
れば、上記したように、ATD信号のHレベルの期間
を、リフレッシュ動作が開始された際のATD信号の立
ち上がりのタイミングからリフレッシュ動作が終了する
までの期間以下の長さに設定しているので、アクセス時
間の最大値を、上述のリフレッシュと外部アクセスの要
求が同時期に発生した場合におけるアクセス時間の範囲
内に抑えることができ、それ以上長くなることはない。
【0083】D.リフレッシュ制御部および外部アクセ
ス制御部の構成および動作:図9は、図4の第1のブロ
ックコントローラ40Aの構成を示すブロック図であ
る。なお、他のブロックコントローラ40B〜40Dも
図9と同じ構成を有している。
【0084】ブロックコントローラ40Aは、外部アク
セス実施信号#EX0を発生させる外部アクセス実施信
号発生回路42と、リフレッシュ実施信号#RF0を発
生させるリフレッシュ実施信号発生回路44と、リフレ
ッシュ実施信号#RF0に応じてリセット信号RST0
を発生させるリセット信号発生回路46とを備えてい
る。外部アクセス実施信号発生回路42には、チップセ
レクト信号#CSと、ブロックアドレスA0〜A1と、
ATD信号と、リフレッシュ要求信号発生回路50Aか
らのリフレッシュ要求信号RFREQ0とが供給されて
いる。また、リフレッシュ実施信号発生回路44には、
ATD信号と、リフレッシュ要求信号発生回路50Aか
らのリフレッシュ要求信号RFREQ0とが供給されて
いる。
【0085】リフレッシュ要求信号発生回路50Aに
は、スヌーズ信号ZZとリフレッシュタイミング信号R
FTMとATD信号とが入力されている。リフレッシュ
要求信号発生回路50Aは、スヌーズ信号ZZがLレベ
ルのとき(すなわち、スヌーズ状態)には、リフレッシ
ュタイミング信号RFTMの立ち上がりエッジに応じて
直ちにリフレッシュ要求信号RFREQ0をHレベルに
立ち上げる。一方、スヌーズ信号ZZがHレベル(すな
わち、オペレーションサイクルおよびスタンバイサイク
ル)のときには、リフレッシュタイミング信号RFTM
が立ち上がった後に発生するATD信号の立ち上がりの
タイミングに応じてリフレッシュ要求信号RFREQ0
をHレベルに立ち上げる。
【0086】図9のリフレッシュ実施信号発生回路44
は、ATD信号がHレベルであって、リフレッシュ要求
信号発生回路50Aからのリフレッシュ要求信号RFR
EQ0がHレベル(アクティブ)のときには、第1のブ
ロック20Aに対してリフレッシュが要求されていると
して、リフレッシュ実施信号#RF0をアクティブ(L
レベル)に設定する。なお、リフレッシュ実施信号#R
F0がアクティブ(Lレベル)になると、ブロック20
A(図4)内のリフレッシュアドレスRFA8〜RFA
19によって選択されたワード線が活性化され、そのワ
ード線上のすべてのメモリセルについてリフレッシュが
実施される。ATD信号がHレベルであっても、リフレ
ッシュ要求信号RFREQ0がLレベル(非アクティ
ブ)場合には、ブロック20Aに対するリフレッシュ要
求が無いものとして、リフレッシュ実施信号#RF0を
非アクティブ(Hレベル)に設定する。
【0087】図9のリセット信号発生回路46は、リフ
レッシュ実施信号#RF0の立ち上がりエッジに応じ
て、短パルス状のリセット信号RST0を発生する。こ
のリセット信号発生回路46は、例えばワンショットマ
ルチバイブレータで構成される。リフレッシュ要求信号
発生回路50Aは、リセット信号発生回路46から供給
されたリセット信号RST0に従ってリフレッシュ要求
信号RFREQ0をLレベルに戻す。これにより、ブロ
ック20Aに対するリフレッシュ要求が解除される。
【0088】図10は、図9の外部アクセス実施信号発
生回路42の構成を示すブロック図である。外部アクセ
ス実施信号発生回路42は、RSラッチ410およびイ
ンバータ411と、セット信号生成回路420と、リセ
ット信号生成回路430とを備えている。セット信号生
成回路420からの出力信号Q420はRSラッチ41
0のセット端子Sに入力され、リセット信号生成回路4
30からの出力信号Q430はRSラッチ410のリセ
ット端子Rに入力される。
【0089】セット信号生成回路420は、インバータ
421,425,427とデコーダ422と3入力AN
Dゲート423とパルス発生回路424とANDゲート
426を備えている。デコーダ422は、供給されるブ
ロックアドレスA0〜A1の値が第1のブロック20A
を示す”0”となる場合には、その出力をHレベルと
し、他の場合にはLレベルとする。ANDゲート426
には、インバータ427によって極性反転されたリフレ
ッシュ要求信号RFREQ0と、デコーダ422の出力
信号とが入力され、その出力は、3入力ANDゲート4
23に与えられる。3入力ANDゲート423には、A
NDゲート426からの出力信号の他、インバータ42
5によって極性反転されたATD信号と、インバータ4
21によって極性反転されたチップセレクト信号#CS
とが入力されている。そして、ANDゲート423の出
力は、パルス発生回路424に与えられる。
【0090】セット信号生成回路420は、基本的に、
第1のブロックコントローラ40Aに関連する第1のブ
ロック20Aに対して外部アクセスが要求されている際
に、ATD信号の立ち下がりのタイミングに基づいて、
外部アクセス実施信号#EX0をアクティブ(Lレベ
ル)に設定する。すなわち、セット信号生成回路420
は、チップセレクト信号#CSがLレベル(アクティ
ブ)であり、かつ、ブロックアドレスA0〜A1の値
が”0”のときには、ブロック20Aに対して外部アク
セスが要求されているものと判断し、ATD信号の立ち
下がりのタイミングに基づいて、RSラッチ410のセ
ット端子Sにパルス信号Q420を供給する。
【0091】RSラッチ410およびインバータ411
は、パルス信号Q420に従って外部アクセス実施信号
#EX0をアクティブ(Lレベル)に設定する。なお、
外部アクセス実施信号#EX0がアクティブ(Lレベ
ル)になると、ブロック20A(図4)内の行アドレス
A8〜A19によって選択されたワード線が活性化さ
れ、外部アクセスが実施される。
【0092】リセット信号生成回路430は、2つのパ
ルス発生回路434,438と2入力ORゲート436
とを備えている。第1のパルス発生回路434は、チッ
プセレクト信号#CSの立ち上がりエッジに伴いパルス
を発生させる回路である。2入力ORゲート436に
は、ATD信号と第1のパルス発生回路434の出力信
号とが入力されている。そして、ORゲート436の出
力は、第2のパルス発生回路438に与えられる。
【0093】従って、リセット信号生成回路430は、
ATD信号がHレベルに立ち上がったとき、または、チ
ップセレクト信号#CSがHレベル(非アクティブ)に
立ち上がったときに、RSラッチ410のリセット端子
Rにパルス信号Q430を供給する。RSラッチ410
およびインバータ411は、パルス信号Q430に従っ
て外部アクセス実施信号#EX0を非アクティブ(Hレ
ベル)に設定する。
【0094】一方、前述したとおり、ATD信号は、そ
のHレベルの期間(すなわち、ATD信号のパルス幅)
を、リフレッシュ動作が開始された際のATD信号の立
ち上がりのタイミングからリフレッシュ動作が終了する
までの期間、つまり、例えば、図12(k)に示すリフ
レッシュ要求信号RFREQ0のHレベルの期間(すな
わち、リフレッシュ要求信号RFREQ0のパルス幅)
RW以下の長さTWとなるように設定されている。従っ
て、ATD信号はリフレッシュ要求信号RFREQ0の
立ち下がりと同時か、それよりも早いタイミングで立ち
下がることになる。
【0095】従って、第1のブロックコントローラ40
Aに関連する第1のブロック20Aに対して外部アクセ
スが要求されている際に、同じ第1のブロック20Aに
対して、リフレッシュも要求されている場合には、AT
D信号の立ち下がりのタイミングではなく、リフレッシ
ュ要求信号RFREQ0の立ち下がりのタイミングに基
づいて、外部アクセス実施信号#EX0をアクティブ
(Lレベル)に設定する。すなわち、セット信号生成回
路420は、チップセレクト信号#CSがLレベル(ア
クティブ)であり、かつ、ブロックアドレスA0〜A1
の値が”0”のときであって、リフレッシュ要求信号R
FREQ0がHレベル(アクティブ)のときには、ブロ
ック20Aに対して外部アクセスとリフレッシュが要求
されているものと判断し、ATD信号の立ち下がりのタ
イミングに代えて、リフレッシュ要求信号RFREQ0
の立ち下がりのタイミングに基づいて、RSラッチ41
0のセット端子Sにパルス信号Q420を供給する。
【0096】この結果、ブロック20Aに対して外部ア
クセスの要求があり、リフレッシュの要求もある場合に
は、外部アクセス実施信号#EX0は、ATD信号がL
レベルに立ち下がっても、ブロック20Aに対するリフ
レッシュが終了するまで非アクティブ(Hレベル)のま
ま保持され、リフレッシュが終了し、リフレッシュ要求
信号RFREQ0がLレベル(非アクティブ)に立ち下
がった後に、アクティブ(Lレベル)に設定される。こ
うして外部アクセス実施信号#EX0がアクティブ(L
レベル)になると、ブロック20Aに対する外部アクセ
ス動作が開始される。
【0097】ブロックコントローラ40A(図9)から
出力された外部アクセス実施信号#EX0やリフレッシ
ュ実施信号#RF0は、ブロック20A内の行プリデコ
ーダ30A(図4)に供給される。
【0098】図11は、図4の第1の行プリデコーダ3
0Aの構成を示すブロック図である。行プリデコーダ3
0Aは、2つのスイッチ&ラッチ回路34,36と、判
定回路38とを備えている。なお、他の行プリデコーダ
30B〜30Dも図11と同じ構成を有している。
【0099】判定回路38には、ブロックコントローラ
40Aから外部アクセス実施信号#EX0とリフレッシ
ュ実施信号#RF0とが供給されている。判定回路38
は、第1のスイッチ&ラッチ回路34に外部アクセス実
施信号#EX0に応じた制御信号LEXを供給し、第2
のスイッチ&ラッチ回路36にリフレッシュ実施信号#
RF0に応じた制御信号LRFを供給する。
【0100】外部アクセス実施信号#EX0がアクティ
ブ(Lレベル)の場合には、第1のスイッチ&ラッチ回
路34は、制御信号LEXに従って、外部装置から供給
された行アドレスA8〜A19をラッチして第1のブロ
ック20A内の行デコーダ24Aに供給する。また、こ
の場合には、第2のスイッチ&ラッチ回路36は、制御
信号LRFに従って、その出力を禁止している。
【0101】一方、リフレッシュ実施信号#RF0がア
クティブ(Lレベル)の場合には、第2のスイッチ&ラ
ッチ回路36は、制御信号LRFに従って、リフレッシ
ュカウンタ100(図4)から供給されたリフレッシュ
アドレスRFA8〜RFA19をラッチして行デコーダ
24Aに供給する。また、この場合には、第1のスイッ
チ&ラッチ回路34は、制御信号LEXに従って、その
出力を禁止している。
【0102】なお、ブロックコントローラ40A(図
9)は、2つの実施信号#EX0,#RF0を同時にア
クティブ(Lレベル)にすることが無いように構成され
ている。2つの実施信号#EX0,#RF0がいずれも
非アクティブ(Hレベル)のときには、行プリデコーダ
30Aは、行デコーダ24AにアドレスA8〜A19,
RFA8〜RFA19を供給しない。
【0103】このように、行プリデコーダ30Aは、2
つの実施信号#EX0,#RF0のレベルに応じて、行
アドレスA8〜A19とリフレッシュアドレスRFA8
〜RFA19とのうちの一方を選択して、ブロック20
A(図4)内の行デコーダ24Aに供給する。そして、
行デコーダ24Aは、行プリデコーダ30Aから行アド
レスA8〜A19またはリフレッシュアドレスRFA8
〜RFA19が供給されているときに、各アドレスA8
〜A19またはRFA8〜RFA19に従って選択され
るブロック20A内の1本のワード線を活性化状態とす
る。
【0104】E.ATD信号に基づく外部アクセスおよ
びリフレッシュの動作:それでは、オペレーションサイ
クルにおいて、上述したような適正に生成されたATD
信号に基づいて、外部アクセス動作およびリフレッシュ
動作がどのように行われるかについて、具体的に説明す
る。
【0105】図12は、オペレーションサイクルにおい
てリフレッシュ要求があった場合の第1のブロックコン
トローラ40A(図9)の動作を示すタイミングチャー
トである。オペレーションサイクルでは、チップセレク
ト信号#CS(図12(b))がLレベル(アクティ
ブ)となり、かつ、スヌーズ信号ZZ(図12(c))
がHレベルとなる。時刻t1〜t7では、ATD信号
(図12(a))の立ち上がりエッジが形成されてお
り、各時刻から始まるオペレーションサイクルは7つ連
続している。そして、この7つの連続するオペレーショ
ンサイクル期間中に、リフレッシュ要求が生じている。
【0106】時刻t1から始まる第1のサイクルでは、
ブロックアドレスA0〜A1(図12(d))の値が”
0”となっており、第1のブロック20Aに対する外部
アクセスが要求されている。一方、このサイクルでは、
まだ、リフレッシュが要求されておらず、すなわち、図
9のリフレッシュ要求信号発生回路50Aに与えられる
リフレッシュタイミング信号RFTM(図12(j))
がLレベルのままであり、第1のブロックコントローラ
40A内の外部アクセス実施信号発生回路42およびリ
フレッシュ実施信号発生回路44に与えられるリフレッ
シュ要求信号RFREQ0(図12(k))もLレベル
のままである。
【0107】従って、図10のセット信号生成回路42
0では、ATD信号の立ち下がりのタイミングに基づい
て、パルス信号Q420を出力する(図12(f))。
そして、RSラッチ410およびインバータ411は、
パルス信号Q420に応じて外部アクセス実施信号#E
X0(図12(i))をLレベル(アクティブ)に設定
する。
【0108】また、図9のリフレッシュ実施信号発生回
路44から出力されるリフレッシュ実施信号#RF0
(図12(l))はHレベル(非アクティブ)のままで
あり、リセット信号発生回路46から出力されるリセッ
ト信号RST0(図12(m))はLレベルのままであ
る。
【0109】時刻t2から始まる第2のサイクルでは、
ブロックアドレスA0〜A1の値が”0”から”1”に
変化しており、また、行アドレスA8〜A19(図12
(e))の値が”p”から”q”に変化している。従っ
て、ATD信号は、そのアドレス変化に従ってLレベル
からHレベルに立ち上がり、図10のリセット信号生成
回路430は、そのATD信号の立ち上がりのタイミン
グに応じてパルス信号Q430(図12(h))を出力
する。RSラッチ410およびインバータ411は、パ
ルス信号Q430に応じて外部アクセス実施信号#EX
0をHレベル(非アクティブ)に設定する。
【0110】しかしながら、前述の如く、ブロックアド
レスA0〜A1の値は第2のブロック20Bを示す”
1”になっているため、第1のブロック20Aに対する
外部アクセスは要求されていない。従って、図10のセ
ット信号生成回路420は、その後、ATD信号が立ち
下がっても、パルス信号Q420を出力しない(図12
(f))。そのため、RSラッチ410およびインバー
タ411も、外部アクセス実施信号#EX0(図12
(i))をHレベル(非アクティブ)のまま保持する。
【0111】一方、図12(j)に示すように、第2の
サイクル期間中に、リフレッシュタイミング信号RFT
MがHレベルに立ち上がっている。リフレッシュ要求信
号発生回路50A(図9)は、ATD信号(図12
(a))の次の立ち上がりエッジ(時刻t3)に同期し
て、リフレッシュ要求信号RFREQ0(図12
(k))をHレベルに設定し、第1のブロック20Aに
対してリフレッシュを要求する。なお、前述のように、
リフレッシュ要求信号RFREQ0は、第1のブロック
20Aにおいてリフレッシュが終了するまでHレベルに
保たれる。
【0112】時刻t3から始まる第3のサイクルでは、
上述した如く、リフレッシュ要求信号RFREQ0がH
レベルに設定されており、第1のブロック20Aに対し
てリフレッシュが要求されているが、ブロックアドレス
A0〜A1の値が”0”となっており、第1のブロック
20Aに対して外部アクセスも要求されている。このと
き、図9のリフレッシュ実施信号発生回路44は、リフ
レッシュ要求信号RFREQ0とATD信号に基づい
て、リフレッシュ実施信号#RF0(図12(l))を
Lレベル(アクティブ)に設定し、第1のブロック20
Aではリフレッシュ動作が優先して実施される。
【0113】このとき、図11の第1の行プリデコーダ
30Aは、リフレッシュアドレスRFA8〜RFA19
を選択して第1の行デコーダ24Aに供給する。従っ
て、第1のブロック20Aでは、リフレッシュアドレス
RFA8〜RFA19(図12(n))によって選択さ
れた”n”番目のワード線が活性化され、そのワード線
上のすべてのメモリセルについてリフレッシュが実施さ
れる。
【0114】第3のサイクルにおいて、リフレッシュ動
作を行うために十分な時間が経過すると、リフレッシュ
実施信号発生回路44は、リフレッシュ実施信号#RF
0をHレベル(非アクティブ)に立ち上げる。リセット
信号発生回路46は、リフレッシュ実施信号#RF0の
立ち上がりエッジに応じて短パルス状のリセット信号R
ST0(図12(m))を発生する。そして、リフレッ
シュ要求信号発生回路50A(図9)は、リセット信号
RST0に応じて、リフレッシュ要求信号RFREQを
Lレベルに戻す。これにより、第1のブロック20Aに
関するリフレッシュ動作が完了する。
【0115】一方、前述したとおり、第3のサイクルで
は、ブロックアドレスA0〜A1の値が”0”となって
おり、第1のブロック20Aに対して外部アクセスも要
求されているので、図10のセット信号生成回路420
は、第1のブロック20Aに関するリフレッシュ動作の
完了を待って、リフレッシュ要求信号RFREQ(図1
2(k))の立ち下がりのタイミングに基づいて、パル
ス信号Q420を出力する(図12(f))。そして、
RSラッチ410およびインバータ411は、パルス信
号Q420に応じて外部アクセス実施信号#EX0(図
12(i))をLレベル(アクティブ)に設定する。
【0116】時刻t4から始まる第4のサイクルでは、
ブロックアドレスA0〜A1の値が”0”から”1”に
変化している。従って、図10のリセット信号生成回路
430は、第2のサイクルと同様に、ATD信号の立ち
上がりのタイミングに応じてパルス信号Q430(図1
2(h))を出力し、RSラッチ410およびインバー
タ411は、パルス信号Q430に応じて外部アクセス
実施信号#EX0をHレベル(非アクティブ)に設定す
る。
【0117】また、ブロックアドレスA0〜A1の値は
第2のブロック20Bを示す”1”になっており、第1
のブロック20Aに対する外部アクセスは要求されてい
ないので、図10のセット信号生成回路420は、第2
のサイクルと同様に、その後、ATD信号が立ち下がっ
ても、パルス信号Q420を出力せず(図12
(f))、RSラッチ410およびインバータ411
も、外部アクセス実施信号#EX0(図12(i))を
Hレベル(非アクティブ)のまま保持する。
【0118】時刻t5から始まる第5のサイクルでは、
ブロックアドレスA0〜A1の値が”0”に変化してお
り、第1のブロック20Aに対する外部アクセスが要求
されている。このとき、第1および第3のサイクルと同
様に、パルス信号Q420が出力され、図10のセット
信号生成回路420では、ATD信号の立ち下がりのタ
イミングに基づいて、パルス信号Q420を出力し(図
12(f))、RSラッチ410およびインバータ41
1は、パルス信号Q420に応じて外部アクセス実施信
号#EX0(図12(i))をLレベル(アクティブ)
に設定する。
【0119】時刻t6から始まる第6のサイクルでは、
ブロックアドレスA0〜A1の値が”0”のままである
が、行アドレスA8〜A19の値は”q”から”r”に
変化している。従って、図10のリセット信号生成回路
430は、第2および第4のサイクルと同様に、ATD
信号の立ち上がりのタイミングに応じてパルス信号Q4
30(図12(h))を出力し、RSラッチ410およ
びインバータ411は、パルス信号Q430に応じて外
部アクセス実施信号#EX0をHレベル(非アクティ
ブ)に設定する。
【0120】しかし、このとき、上記の如く、ブロック
アドレスA0〜A1の値は”0”のままであり、第1の
ブロック20Aに対する外部アクセスが要求されている
ので、その後、図10のセット信号生成回路420が、
ATD信号の立ち下がりのタイミングに基づいて、パル
ス信号Q420を出力し(図12(f))、RSラッチ
410およびインバータ411は、パルス信号Q420
に応じて外部アクセス実施信号#EX0(図12
(i))を再度Lレベル(アクティブ)に設定する。
【0121】時刻t7から始まる第7のサイクルでは、
ブロックアドレスA0〜A1の値が”0”から”2”に
変化している。従って、図10のリセット信号生成回路
430は、第2、第4および第6のサイクルと同様に、
ATD信号の立ち上がりのタイミングに応じてパルス信
号Q430(図12(h))を出力し、RSラッチ41
0およびインバータ411は、パルス信号Q430に応
じて外部アクセス実施信号#EX0をHレベル(非アク
ティブ)に設定する。
【0122】また、上記の如くブロックアドレスA0〜
A1の値は第3のブロック20Cを示す”2”に変化し
ており、第1のブロック20Aに対する外部アクセスは
要求されていないので、図10のセット信号生成回路4
20は、第2および第4のサイクルと同様に、その後、
ATD信号が立ち下がっても、パルス信号Q420を出
力せず(図12(f))、RSラッチ410およびイン
バータ411も、外部アクセス実施信号#EX0(図1
2(i))をHレベル(非アクティブ)のまま保持す
る。
【0123】時刻t8の前に、チップセレクト信号#C
SはHレベル(非アクティブ)に立ち上がっている。こ
のとき、図10のリセット信号生成回路430内の第1
のパルス発生回路434はパルス信号Q434(図12
(g))を出力するので、リセット信号生成回路430
からはパルス信号Q430が出力される。しかし、こR
Sラッチ410はリセット状態であるので、パルス信号
Q430が入力されても、RSラッチ410の状態は変
化せず、従って、外部アクセス実施信号#EX0(図1
2(i))はHレベル(非アクティブ)のまま保持され
る。
【0124】図13は、図12に示すオペレーションサ
イクルにおける各ブロックコントローラ40A〜40D
の動作とワード線の状態を示すタイミングチャートであ
る。図13(a)〜(e),(r)は、図12(a)〜
(e),(n)と同じである。また、第1のブロックコ
ントローラ40Aに関する各信号#EX0(図13
(f)),RFREQ0(図13(j))は、図12
(i),(k)と同じである。その他、図13(g)〜
(i)は、各ブロックコントローラ40B〜40Dから
出力される外部アクセス実施信号#EX1〜#EX3を
示しており、図13(k)〜(m)は、各ブロックコン
トローラ40B〜40Dから出力されるリフレッシュ実
施信号♯RF1〜♯RF3を示している。さらに、図1
3(n)〜(q)は、各ブロック20A〜20D(図
4)のサブアレイ22A〜22D内のワード線WLの状
態を示している。なお、各サブアレイ内には、複数本の
ワード線が含まれているが、1つのサブアレイ内では2
本以上のワード線は同時に活性化されない。例えば、図
13(n)では、サブアレイ22A内で順次活性化され
る異なるワード線が同じタイミングチャート上に描かれ
ている。Hレベルに立ち上がっているワード線WLp,
WLn,WLq,WLrは、活性化された異なるワード
線をそれぞれ示している。
【0125】第1のサイクルでは、第1のブロック20
Aに対して外部アクセスが要求されているので(図13
(d))、図13(f)〜(i)に示すように、第1の
外部アクセス実施信号#EX0のみがLレベル(アクテ
ィブ)に設定され、第1のサブアレイ22A内のメモリ
セルに対して外部アクセスが実施される。従って、第1
のサイクルでは、図13(n)〜(q)に示すように、
第1のサブアレイ22A内の、行アドレスA8〜A19
(図13(e))によって選択された”p”番目のワー
ド線WLpのみが活性化され、他のサブアレイ22B〜
22D内のワード線はいずれも活性化されない。
【0126】第2のサイクルでは、ブロックアドレスA
0〜A1の値が第2のブロック20Bを示す”1”に変
化しており(図13(d))、第2のブロック20Bに
対する外部アクセスが要求されている。従って、第2の
ブロックコントローラ40Bは、ATD信号の立ち下が
りのタイミングに基づいて、第2の外部アクセス実施信
号#EX1(図13(g))をLレベル(アクティブ)
に設定し、それにより、第2のサブアレイ22B内のメ
モリセルに対して外部アクセスが実施される。よって、
第2のサイクルでは、図13(n)〜(q)に示すよう
に、第1のサブアレイ22A内の”p”番目のワード線
WLpが非活性化され、第2のサブアレイ22B内の、
行アドレスA8〜A19(図13(e))によって選択
された”q”番目のワード線WLqのみが活性化され
る。
【0127】また、前述したように、第2のサイクル期
間中に、リフレッシュタイミング信号RFTM(図12
(j))がHレベルに立ち上がると、第3のサイクルで
は、リフレッシュ要求信号RFREQ0(図12
(k))と同様に、他のすべてのリフレッシュ要求信号
RFREQ1〜RFREQ3もHレベルに設定され、各
ブロック20A〜20Dに対するリフレッシュが要求さ
れる。
【0128】従って、第3のサイクルでは、外部アクセ
スが要求されているか否かに関わらず、まず、すべての
ブロック20A〜20Dにおいて、リフレッシュが実施
される。すなわち、第3のサイクルでは、まず、すべて
の外部アクセス実施信号#EX0〜#EX3(図13
(f)〜(i))はHレベル(非アクティブ)に設定さ
れたまま、すべてのリフレッシュ実施信号#RF0〜#
RF3(図13(j)〜(m))がLレベル(アクティ
ブ)に設定される。これにより、第3のサイクルでは、
すべてのサブアレイ22A〜22D内の、リフレッシュ
アドレスRFA8〜RFA19(図13(r))によっ
て選択された”n”番目のワード線WLnが活性化され
(図13(n)〜(q))、そのワード線WLn上のす
べてのメモリセルについてリフレッシュが実施される。
その後、リフレッシュ実施信号#RF0〜#RF3がH
レベルに立ち上がると、リフレッシュ要求信号RFRE
Q0(図12(k))と同様に、他のすべてのリフレッ
シュ要求信号RFREQ1〜RFREQ3もLレベルに
戻り、すべてのブロック20A〜20Dに関するリフレ
ッシュ動作が完了する。図4のリフレッシュカウンタコ
ントローラ90は、すべてのリフレッシュ要求信号RF
REQ0〜RFREQ3がLレベルに戻ると、カウント
アップ信号#CNTUPを発生する。
【0129】こうして、第3のサイクルにおいて、すべ
てのブロック20A〜20Dに関するリフレッシュ動作
が完了すると、図12で述べたとおり、続いて、第3の
サイクルにおいて外部アクセスの要求されている第1の
ブロック20Aについてのみ、外部アクセス実施信号#
EX0(図13(f))がLレベル(アクティブ)に設
定され、第1のブロック20Aに対して外部アクセスが
開始される。従って、第3のサイクルでは、すべてのサ
ブアレイ22A〜22D内の”n”番目のワード線WL
nが非活性化された後、第1のサブアレイ22A内の、
行アドレスA8〜A19(図13(e))によって選択
された”q”番目のワード線WLqのみが活性化され、
他のサブアレイ22B〜22D内のワード線はいずれも
活性化されない。
【0130】第4のサイクルでは、第2のサイクルと同
様に、ブロックアドレスA0〜A1の値が第2のブロッ
ク20Bを示す”1”に変化しており(図13
(d))、第2のブロック20Bに対する外部アクセス
が要求されている。よって、図13(f)〜(i)に示
すように、第2の外部アクセス実施信号#EX1のみが
Lレベル(アクティブ)に設定され、第2のサブアレイ
22B内のメモリセルに対して外部アクセスが実施され
る。従って、第4のサイクルでは、図13(n)〜
(q)に示すように、第1のサブアレイ22A内の”
q”番目のワード線WLqが非活性化され、第2のサブ
アレイ22B内の”q”番目のワード線WLqのみが活
性化される。
【0131】第5および第6のサイクルでは、第1のサ
イクルと同様に、第1のブロック20Aに対して外部ア
クセスが要求されているので(図13(d))、図13
(f)〜(i)に示すように、第1の外部アクセス実施
信号#EX0のみがLレベル(アクティブ)に設定さ
れ、第1のサブアレイ22A内のメモリセルに対して外
部アクセスが実施される。従って、第5のサイクルで
は、図13(n)〜(q)に示すように、第2のサブア
レイ22B内の”q”番目のワード線WLqが非活性化
され、第1のサブアレイ22A内の”q”番目のワード
線WLqのみが活性化される。また、第6のサイクルで
は、第1のサブアレイ22A内の”q”番目のワード線
WLqが非活性化された後、同じ第1のサブアレイ22
A内の、行アドレスA8〜A19(図13(e))によ
って選択された”r”番目のワード線WLrのみが活性
化される。
【0132】また、第7のサイクルでは、ブロックアド
レスA0〜A1の値が第3のブロック20Cを示す”
2”に変化しており(図13(d))、第3のブロック
20Cに対する外部アクセスが要求されている。従っ
て、第3のブロックコントローラ40Cは、外部アクセ
ス実施信号#EX2(図13(h))をLレベル(アク
ティブ)に設定し、それにより、第3のサブアレイ22
C内のメモリセルに対して外部アクセスが実施される。
よって、第7のサイクルでは、図13(n)〜(q)に
示すように、第1のサブアレイ22A内の”r”番目の
ワード線WLrが非活性化され、第3のサブアレイ22
C内の”r”番目のワード線WLrのみが活性化され
る。
【0133】以上説明したように、本実施例では、外部
アクセスの要求がある場合には、基本的に、ATD信号
の立ち下がりのタイミングに基づいて、外部アクセス動
作が開始される。一方、リフレッシュの要求がある場合
には、外部アクセスが要求されているか否かに関わら
ず、ATD信号の立ち上がりのタイミングに基づいて、
すべてのブロックにおいて一斉にリフレッシュ動作が開
始される。そして、リフレッシュ動作が終了した後、外
部アクセスが要求されているブロックについてのみ、外
部アクセスが開始される。このようにして、適正に生成
されたATD信号に基づいて、外部アクセス動作やリフ
レッシュ動作が実行されることになる。
【0134】F.本発明の他の実施例:さて、以上説明
した実施例においては、ATD信号の立ち上がりから立
ち下がりまでのHレベルの期間(すなわち、ATD信号
のパルス幅)は、予め設定されているアドレススキュー
許容範囲以上の長さで、かつ、リフレッシュ動作が開始
された際のATD信号の立ち上がりのタイミングからリ
フレッシュ動作が終了するまでの期間以下の長さとなる
ように設定されていた。すなわち、ATD信号のHレベ
ルの期間の終わり(つまり、ATD信号の立ち下がり)
は、アクセス時間が必要以上に長くならないようにする
ために、リフレッシュ動作の終了と同時期か、それより
も前となるように、設定されていた。
【0135】しかしながら、実際にアドレススキューが
発生する場合には、このようなATD信号のHレベルの
期間の終わりを、アドレススキューの発生に従って延長
するようにしても良い。そのような実施例について以下
説明する。
【0136】すなわち、本実施例においては、基本的に
は、ATD信号のHレベルの期間を、上記と同様に、予
め設定されているアドレススキュー許容範囲以上の特定
の長さになるように設定する。その上で、Hレベルの期
間中に、アドレススキューによるアドレス変化があった
場合には、そのアドレス変化があった後から所定の期
間、Hレベルを維持するように、Hレベルの期間を延長
するようにする。
【0137】それでは、このように、アドレススキュー
の発生に応じてHレベルの期間が延長するようなATD
信号を、ATD回路110によってどのようにして生成
するかについて、具体的に説明する。
【0138】本実施例におけるATD回路110の構成
は、図5に示した構成とほぼ同様であるが、アドレスス
キューバッファ回路117内で用いられる遅延回路11
9の構成が、図6に示した構成と異なる。
【0139】図14は、本発明の他の実施例としての半
導体メモリ装置で用いるアドレススキューバッファ回路
内の遅延回路の構成を示す回路図である。図14に示す
ように、遅延回路119’は、NANDゲートとインバ
ータのペア(126と127,128と129,130
と131および132と133)を4段にわたって直列
に接続し、最後段にさらにANDゲート134を接続し
て構成されており、各インバータがそれぞれ遅延素子を
成している。
【0140】図15は、図5および図14における要部
信号のレベル変化を示すタイミングチャートである。
【0141】アドレスの変化に従って、図5のORゲー
ト116から、図15(a)に示すような、パルス状の
OATD信号が出力されると、アドレススキューバッフ
ァ回路117では、インバータ118がOATD信号の
極性を反転させ、図15(b)に示すようなSATD信
号を生成し、RSラッチ121のセット端子と遅延回路
119’に入力させる。遅延回路119’では、まず、
SATD信号を1段目のNANDゲート126とインバ
ータ127のペアによって遅延し、図15(c)に示す
ような1_ATD信号を生成する。続いて、2〜4段目
のNANDゲートとインバータのペア(128と12
9,130と131および132と133)によって、
図15(c)〜(f)に示すように、1_ATD信号の
立ち上がりエッジを順次遅延して、Lレベルの期間を延
ばしていく。こうして得られた4_ATD信号と先に得
られたSATD信号とをANDゲート134に入力し、
両者の論理積を取って、図15(g)に示すようなDA
TD信号を生成する。
【0142】こうして、SATD信号は、この遅延回路
119’を介することにより、立ち下がりエッジが遅延
して、Lレベルの期間が延びたDATD信号となる。続
いて、図5のインバータ120が、このDATD信号の
極性を反転させ、図15(h)に示すようなRATD信
号を生成し、RSラッチ121のリセット端子に入力さ
せる。この結果、RSラッチ121では、SATD信号
の立ち下がりによってセット状態となり、その後、RA
TD信号の立ち下がりによってリセット状態となる。従
って、RSラッチ121の出力端子Qからは、図15
(i)に示すように、SATD信号の立ち下がりによっ
てLレベルからHレベルに立ち上がり、RATD信号の
立ち下がりによってHレベルからLレベルに立ち下がる
ATD信号が出力される。
【0143】このATD信号の立ち上がりから立ち下が
りまでのHレベルの期間は、基本的には一定となってお
り、その長さは、遅延回路119’における遅延時間を
適正に調整することによって、容易に設定することがで
きる。
【0144】上述したように、本実施例においては、最
終的に得られるATD信号のHレベルの期間が、基本的
には、アドレススキュー許容範囲以上の特定の長さTW
となるように、遅延回路119’における遅延時間を設
定している。
【0145】図16は、アドレススキューが発生した場
合の図5および図14における要部信号のレベル変化を
示すタイミングチャートである。
【0146】アドレススキューが発生すると、ORゲー
ト116から出力されるOATD信号としては、例え
ば、図16(a)に示すように、短時間の間に2つのパ
ルスが立ち上がることになる。このようなOATD信号
は、アドレススキューバッファ回路117において、イ
ンバータ118により極性が反転されて、SATD信号
(図16(b))としてRSラッチ121のセット端子
と遅延回路119’に入力される。極性反転された2つ
のパルスを有するSATD信号は、遅延回路119’に
おいて、前述したとおり、1段目のNANDゲート12
6とインバータ127のペアによって遅延され、図16
(c)に示すような1_ATD信号となる。極性反転さ
れた2つのパルスを有する1_ATD信号は、2〜4段
目のNANDゲートとインバータのペア(128と12
9,130と131および132と133)によって、
極性反転された1つ目のパルスの立ち上がりエッジと2
つ目のパルスの立ち上がりエッジが、それぞれ、図16
(c)〜(f)に示すように順次遅延されて、各々のパ
ルスのLレベルの期間がそれぞれ延ばされる。そして、
こうしてLレベルの期間が延ばされた2つのパルスを有
する4_ATD信号は、ANDゲート134により、極
性反転された2つのパルスを有するSATD信号との論
理積をとることによって、極性反転されたLレベルの期
間の長い1つのパルスに融合され、図16(g)に示す
ようなDATD信号となる。このようなDATD信号が
極性反転されると、図16(h)に示すようなHレベル
の期間が長いRATD信号が得られる。従って、このよ
うなRATD信号がRSラッチ121のリセット端子に
入力されると、RSラッチ121では、SATD信号
の、極性反転された1つ目のパルスの立ち下がりによっ
てセット状態となり、その後、RATD信号の立ち下が
りによってリセット状態となるため、RSラッチ121
の出力端子Qからは、図16(i)に示すように、SA
TD信号の、極性反転された1つ目のパルスの立ち下が
りによってLレベルからHレベルに立ち上がり、RAT
D信号の立ち下がりによってHレベルからLレベルに立
ち下がる、Hレベルの期間の長いATD信号が出力され
る。
【0147】このように、アドレスキューが発生して、
OATD信号として短時間の間に2つのパルスが立ち上
がると、遅延回路119’によって、それぞれのパルス
の後ろ側のエッジ(1_ATD信号〜4_ATD信号で
は立ち上がりエッジ)が遅延され、最終的には2つのパ
ルスは融合されてパルス幅の長い1つのパルスとなり、
RATD信号としてRSラッチ121のリセット信号と
して用いられる。この結果、SATD信号の、極性反転
された1つ目のパルスの立ち下がりで立ち上がって、H
レベルとなったATD信号は、アドレスキューの発生に
より、Hレベルの期間が、上記した特定の長さTWを超
えて、RATD信号の立ち下がりまで延長されることに
なる。また、このとき、アドレスキューの発生によるア
ドレス変化に基づいて、OATD信号において(図16
(a))、2つ目のパルスが立ち上がると、その時点か
ら、少なくとも上記した特定の長さTW分は、Hレベル
の期間が維持されるように、ATD信号のHレベルの期
間は延長されることになる。
【0148】また、本実施例では、アドレスキューの発
生によってATD信号のHレベルの期間が延長された場
合、その延長されたHレベルの期間中に、さらにアドレ
スキューが発生すると、ATD信号のHレベルの期間は
さらに延長されることになる。
【0149】図17は、アドレススキューが連続して発
生した場合の図5および図14における要部信号のレベ
ル変化を示すタイミングチャートである。
【0150】図17に示すように、アドレスキューが連
続して発生して、OATD信号として(図17
(a))、1つ目のパルスが立ち上がった後、2つ目の
パルスが立ち上がると、それによって、ATD信号のH
レベルの期間は、2つ目のパルスの立ち上がりの時点か
ら上記した特定の長さTW分、Hレベルの期間が維持さ
れて、延長される(図17(h))。さらに、OATD
信号として、2つ目のパルスが立ち上がった後、ATD
信号の、延長されたHレベルの期間中に、3つ目のパル
スが立ち上がると、それによって、ATD信号のHレベ
ルの期間は、3つ目のパルスの立ち上がりの時点からさ
らに上記した特定の長さTW分、Hレベルの期間が維持
されて、さらに延長される(図17(h))。
【0151】このように、アドレスキューが連続して発
生すると、そのアドレススキューが発生した分、ATD
信号のHレベルの期間が連続して延長されることにな
る。
【0152】なお、本実施例において、リフレッシュ制
御部および外部アクセス制御部の構成および動作は、前
述の実施例と同様であるので、説明は省略する。また、
上記したようにして生成されたATD信号に基づく外部
アクセスおよびリフレッシュの動作についても、前述の
実施例の説明から容易に推察できるので、説明は省略す
る。
【0153】以上説明したように、本実施例によれば、
アドレススキューが発生すると、自動的にATD信号の
Hレベルの期間が延長されるので、ATD信号として短
時間の間に状態が複数のパルスが立ち上がることがな
く、適正なATD信号を生成することができる。
【0154】また、外部アクセス動作はATD信号の立
ち下がりのタイミングに基づいて開始されるため、外部
アクセス動作開始後に、アドレススキューが発生する確
率は極めて低くなり、外部アクセス動作はアドレススキ
ューの発生による影響を受けることなく、正常に行うこ
とができる。
【0155】また、アドレススキューが発生している間
は、アドレスは不定であるため、アドレススキューの発
生により、ATD信号のHレベルの期間が延長されて、
その分、外部アクセス動作の開始時刻が遅れたとして
も、アドレススキュー発生時における最後のアドレス変
化の時点からカウントした実質的なアクセス時間は長く
ならないため、このようにATD信号のHレベルの期間
が延長されても問題はない。
【0156】さらにまた、アドレススキューが発生して
も、アドレス変化の検出時点(すなわち、OATD信号
のパルスの立ち上がり時点)から上記した特定の長さT
W分は、ATD信号としてHレベルが維持されることが
保証されるため、ATD信号はアドレススキューを確実
に吸収することができる。
【0157】G.電子機器への適用例:図18は、本発
明による半導体メモリ装置を利用した電子機器の一実施
例としての携帯電話機の斜視図である。この携帯電話機
600は、本体部610と、蓋部620とを備えてい
る。本体部610には、キーボード612と、液晶表示
部614と、受話部616と、本体アンテナ部618と
が設けられている。また、蓋部620には、送話部62
2が設けられている。
【0158】図19は、図18の携帯電話機600の電
気的構成を示すブロック図である。CPU630には、
バスラインを介して、キーボード612と、液晶表示部
614を駆動するためのLCDドライバ632と、SR
AM640と、VSRAM642と、EEPROM64
4とが接続されている。
【0159】SRAM640は、例えば高速なキャッシ
ュメモリとして利用される。また、VSRAM642
は、例えば画像処理用の作業メモリとして利用される。
このVSRAM642(擬似SRAMあるいは仮想SR
AMと呼ばれる)としては、上述したメモリチップ30
0を採用することができる。EEPROM644は、携
帯電話機600の各種の設定値を格納するために利用さ
れる。
【0160】携帯電話機600の動作を一時的に停止さ
せるときには、VSRAM642をスヌーズ状態に維持
しておくことができる。こうすれば、VSRAM642
が内部リフレッシュを自動的に行うので、VSRAM6
42内のデータを消失させずに保持しておくことが可能
である。特に、本実施例のメモリチップ300は比較的
大容量なので、画像データなどの大量のデータを長時間
保持し続けることができるという利点がある。
【0161】H.変形例:なお、この発明は上記の実施
例や実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱
しない範囲において種々の態様において実施することが
可能であり、例えば次のような変形も可能である。
【0162】(1)上記した実施例では、ATD信号
は、アドレスの変化時に、LレベルからHレベルへ立ち
上がるようになっているが、反対に、アドレスの変化時
に、HレベルからLレベルへ立ち下がるように、ATD
信号を構成するようにしても良い。そのような場合、リ
フレッシュ動作は、ATD信号の立ち下がりのタイミン
グに基づいて開始されることになり、外部アクセス動作
は、ATD信号の立ち上がりのタイミングに基づいて開
始されることになる。また、ATD信号の期間の設定
も、ATD信号の立ち下がりから立ち上がりまでのLレ
ベルの期間を、上述した如く設定することになる。
【0163】(2)上記した実施例のうち、最初の実施
例では、ATD信号のHレベルの期間は、一定となって
いたが、本発明はこれに限定されるものではなく、アド
レススキュー許容範囲以上で、かつ、リフレッシュ動作
が開始された際のATD信号の立ち上がりのタイミング
からリフレッシュ動作が終了するまでの期間以下の長さ
の範囲であれば、可変してもよい。
【0164】(3)上記した実施例では、メモリセルア
レイ20は4つのブロック20A〜20Dに区分されて
いるが、メモリセルアレイ20は1つのブロックとして
扱われてもよい。この場合には、図4においてブロック
毎に設けられている行プリデコーダ30A〜30Dと、
ブロックコントローラ40A〜40Dと、リフレッシュ
要求信号発生回路50A〜50Dとを、1つずつ備えて
いればよい。また、この場合、アドレスは、ブロックア
ドレスを含まず、行アドレスおよび列アドレスを含むこ
ととなる。
【0165】(4)上記した実施例では、アドレスのう
ち、最も下位の2ビットのアドレスA0〜A1はブロッ
クアドレスとして、ブロックアドレスA0〜A1よりも
上位の6ビットのアドレスA2〜A7は列アドレスとし
て、最も上位の12ビットのアドレスA8〜A19は行
アドレスとして、それぞれ用いるようにしていたが、本
発明はこれに限定されるものではなく、ブロックアドレ
ス,列アドレスおよび行アドレスと、各ビットと、の組
み合わせは任意に設定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例としてのメモリチップ300
の端子の構成を示す説明図である。
【図2】チップセレクト信号#CSとスヌーズ信号ZZ
の信号レベルに応じたメモリチップ300の動作状態の
区分を示す説明図である。
【図3】メモリチップ300の動作の概要を示すタイミ
ングチャートである。
【図4】メモリチップ300の構成を示すブロック図で
ある。
【図5】図4におけるATD回路110の構成を示すブ
ロック図である。
【図6】図5におけるアドレススキューバッファ回路1
17内の遅延回路119の構成を示す回路図である。
【図7】図5および図6における要部信号のレベル変化
を示すタイミングチャートである。
【図8】アドレススキューが発生した場合の図5および
図6における要部信号のレベル変化を示すタイミングチ
ャートである。
【図9】図4の第1のブロックコントローラ40Aの構
成を示すブロック図である。
【図10】図9の外部アクセス実施信号発生回路42の
構成を示すブロック図である。
【図11】図4の第1の行プリデコーダ30Aの構成を
示すブロック図である。
【図12】オペレーションサイクルにおいてリフレッシ
ュ要求があった場合の第1のブロックコントローラ40
Aの動作を示すタイミングチャートである。
【図13】図12に示すオペレーションサイクルにおけ
る各ブロックコントローラ40A〜40Dの動作とワー
ド線の状態を示すタイミングチャートである。
【図14】本発明の他の実施例としての半導体メモリ装
置で用いるアドレススキューバッファ回路内の遅延回路
の構成を示す回路図である。
【図15】図5および図14における要部信号のレベル
変化を示すタイミングチャートである。
【図16】アドレススキューが発生した場合の図5およ
び図14における要部信号のレベル変化を示すタイミン
グチャートである。
【図17】アドレススキューが連続して発生した場合の
図5および図14における要部信号のレベル変化を示す
タイミングチャートである。
【図18】本発明による半導体メモリ装置を利用した電
子機器の一実施例としての携帯電話機の斜視図である。
【図19】図18の携帯電話機600の電気的構成を示
すブロック図である。
【図20】従来において、アドレススキューが発生した
場合におけるATD信号とそのATD信号に基づいて実
行される外部アクセスの様子を示すタイミングチャート
である。
【符号の説明】
10…データ入出力バッファ 20…メモリセルアレイ 20A〜20D…ブロック 22A〜22D…メモリセルサブアレイ 24A〜24D…行デコーダ 26A〜26D…列デコーダ 28A〜18D…ゲート 30A〜30D…行プリデコーダ 34,36…スイッチ&ラッチ回路 38…判定回路 40A〜40D…ブロックコントローラ 42…外部アクセス実施信号発生回路 44…リフレッシュ実施信号発生回路 46…リセット信号発生回路 50A〜50D…リフレッシュ要求信号発生回路 60…アドレスバッファ 70…リフレッシュタイマ 90…リフレッシュカウンタコントローラ 100…リフレッシュカウンタ 110…アドレス遷移検出回路(ATD回路) 111…遷移検出回路 112…インバータ 113,114…パルス発生回路 115,116…ORゲート 117…アドレススキューバッファ回路 118,120…インバータ 119…遅延回路 121…RSラッチ 122〜125…インバータ 126…NANDゲート 127…インバータ 134…ANDゲート 300…メモリチップ 410…RSラッチ 411…インバータ 420…セット信号生成回路 421,425,427…インバータ 421…インバータ 422…デコーダ 423…ANDゲート 424…パルス発生回路 425…インバータ 426…ANDゲート 427…インバータ 430…リセット信号生成回路 434,438…パルス発生回路 436…ORゲート 600…携帯電話機 610…本体部 612…キーボード 614…液晶表示部 616…受話部 618…本体アンテナ部 620…蓋部 622…送話部 630…CPU 632…LCDドライバ 640…SRAM 642…VSRAM 644…EEPROM

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 半導体メモリ装置であって、 ダイナミック型メモリセルを有するメモリセルアレイ
    と、 外部から供給されたアドレスのいずれか1ビット以上に
    変化があるか否かを検出すると共に、第1の状態にある
    場合に前記アドレス変化が検出されたときには、第2の
    状態に変化し、該第2の状態に変化後、所定の基準期間
    経過したときには前記第1の状態に変化するアドレス遷
    移検出信号を生成するアドレス遷移検出部と、 前記アドレス遷移検出信号における前記第1の状態から
    前記第2の状態への変化のタイミングに基づいて、前記
    メモリセルアレイにおける所望のメモリセルに対してリ
    フレッシュ動作を開始するリフレッシュ制御部と、 前記アドレス遷移検出信号における前記第2の状態から
    前記第1の状態への変化のタイミングまたは前記リフレ
    ッシュ動作の終了のタイミングに基づいて、前記メモリ
    セルアレイにおける前記アドレスに対応するメモリセル
    に対して外部アクセス動作を開始する外部アクセス制御
    部と、 を備え、 前記基準期間は、前記アドレスに対する予め設定された
    アドレススキューの許容期間以上で、かつ、前記第2の
    状態に変化した後から前記リフレッシュ動作が終了する
    までの期間以下の長さに設定されていることを特徴とす
    る半導体メモリ装置。
  2. 【請求項2】 半導体メモリ装置であって、 ダイナミック型メモリセルを有するメモリセルアレイ
    と、 外部から供給されたアドレスのいずれか1ビット以上に
    変化があるか否かを検出すると共に、第1の状態にある
    場合に前記アドレス変化が検出されたときには、第2の
    状態に変化し、該第2の状態に変化後、所定の基準期間
    経過したときには前記第1の状態に変化するアドレス遷
    移検出信号を生成するアドレス遷移検出部と、 前記アドレス遷移検出信号における前記第1の状態から
    前記第2の状態への変化のタイミングに基づいて、前記
    メモリセルアレイにおける所望のメモリセルに対してリ
    フレッシュ動作を開始するリフレッシュ制御部と、 前記アドレス遷移検出信号における前記第2の状態から
    前記第1の状態への変化のタイミングまたは前記リフレ
    ッシュ動作の終了のタイミングに基づいて、前記メモリ
    セルアレイにおける前記アドレスに対応するメモリセル
    に対して外部アクセス動作を開始する外部アクセス制御
    部と、 を備え、 前記基準期間は、前記アドレスに対する予め設定された
    アドレススキューの許容期間以上の特定の長さに設定さ
    れていると共に、 前記アドレス遷移検出部は、前記アドレス遷移検出信号
    が前記第2の状態にある場合に、前記アドレス変化が検
    出されたときには、前記基準期間を延長することを特徴
    とする半導体メモリ装置。
  3. 【請求項3】 請求項2に記載の半導体メモリ装置にお
    いて、 前記アドレス遷移検出部は、前記アドレス遷移検出信号
    が前記第2の状態にある場合に、前記アドレス変化が検
    出されたときには、その検出時点から所定の期間、前記
    第2の状態が維持されるように、前記基準期間を延長す
    ることを特徴とする半導体メモリ装置。
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