JP2003124795A - 半導体集積回路およびその給電方法 - Google Patents

半導体集積回路およびその給電方法

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JP2003124795A
JP2003124795A JP2001314718A JP2001314718A JP2003124795A JP 2003124795 A JP2003124795 A JP 2003124795A JP 2001314718 A JP2001314718 A JP 2001314718A JP 2001314718 A JP2001314718 A JP 2001314718A JP 2003124795 A JP2003124795 A JP 2003124795A
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Masayoshi Yagyu
正義 柳生
Shigeo Omae
重雄 大前
Tatsuya Saito
達也 斉藤
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Hitachi Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は,電源電流が時間と共に変化する集
積回路を含んだ回路装置に関しており,集積回路外実装
部品の電源給電系配線を強化しなくても集積回路を安定
に動作させることができる集積回路の電源供給方法を提
供することを目的としている。 【解決手段】 集積回路4内にダミー電流経路3を設
け,集積回路4に流れ込む電源電流Iの時間変化がほぼ
ゼロになるように,ダミー電流経路3の電流量Ibを負
荷電流変化検出部2からの信号によって調整する。 【効果】 集積回路外実装部品の電源配線を流れる電流
の時間変化がほぼゼロになるので,集積回路外実装部品
の電源給電系寄生インダクタンスに起因する電源電圧変
動を抑制することができ,集積回路を安定に動作させる
ことができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は高速に動作する回路
装置に関し,特に半導体集積回路の電源電圧変動に代表
される電気的なノイズを防ぐために利用する電源給電方
法に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体集積回路はサーバ計算機,パーソ
ナルコンピュータ,携帯電話等,非常に多くの装置に組
み込まれて利用されている。特にサーバ計算機やパーソ
ナルコンピュータに代表される,高速に信号を処理する
装置では,その高機能化とも相まって非常に動作速度が
速く、また回路数が多い半導体集積回路が使われる。こ
の様な半導体集積回路においては,回路がスイッチング
動作をする時に,その切り替わり電流に起因する電気的
ノイズ,すなわち電源電圧揺れが発生する。この電源電
圧揺れは回路動作が速いほど,また同時に切り替わる回
路数が多いほど大きくなる。半導体集積回路の電源電圧
が変動すると回路動作速度の劣化や誤動作の問題を引き
起こす。
【0003】図3は従来の技術の問題点を説明するため
の図である。図3では半導体集積回路4に集積された負
荷回路1に対して集積回路の外に配置された電源6から
電力を供給している状態を示している。負荷回路1は,
集積回路4内に配置される論理ゲートやクロック分配回
路,PLL回路等から構成されるのが一般的である。I
aは負荷回路1に流れる電源電流,Vlは負荷回路1の
電源間に生じる電圧である。電源電圧変動を減少させる
ためのバイパスコンデンサ8が集積回路4の近傍に配置
されている。寄生インダクタンス5は,電源6とバイパ
スコンデンサ8との間に配置されるプリント基板やLS
Iパッケージ等の実装部品の電源給電配線インピーダン
スを表している。同様に寄生インダクタンス7は,バイ
パスコンデンサ8と集積回路4との間の実装部品の電源
給電配線に起因するインピーダンスである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】図4は,図3で示した
電源電流Iaと電源電圧Vlの変化の様子を示してい
る。
【0005】電源電流Iaの変化は,集積回路4がCM
OS技術を用いて実現されている場合に特に顕著であ
る。集積回路4に含まれる論理の動作状態が,例えばス
リープモードから演算モードに切り替わる場合には,負
荷回路1内の論理回路のうち切り替わり動作をする回路
の数が増加するために,集積回路4の消費電力が増大
し,電源電流Iaも増加する。
【0006】図4(a)のように電源電流が変化する
と,寄生インダクタンス5,7の影響により,図4
(b)のように電源電圧が変動する。電源電圧が変動す
ると負荷回路1に含まれる回路の動作速度が低下し,集
積回路4の性能が劣化する。また動作速度の低下が著し
い場合は論理的に誤動作を生じることもある。
【0007】通常の設計においては,電源6と集積回路
4との間の距離をできる限り短く設計し,またこの間の
電源給電配線の幅や厚さを大きくすることで,寄生イン
ダクタンス5,7を極力小さくするが,まったくなくす
ることはできない。このため,電源電圧Vlの変化もゼ
ロにはできない。バイパスコンデンサ8を配置すること
は,寄生インダクタンス5を流れる電流の急峻な過渡変
化を減少させる効果があるので,寄生インダクタンス5
で生じる電源電圧変動の低減には効果があるが,寄生イ
ンダクタンス7を流れる電流の過渡的変化の低減には効
果がなく,この部分で生じる電源電圧変動は抑制できな
い。
【0008】本発明の目的は,電源電流が過渡的に変化
する半導体集積回路を用いる回路装置において,集積回
路外実装部品の電源給電系を強化しなくても,電源電圧
の変動をなくすることができ,回路性能の劣化を生じさ
せることがない,半導体集積回路の給電方法を提供する
ことにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明では,集積回路内に負荷回路とは別のダミー電
流経路と,負荷回路の電流変化を検出する手段とを設
け,負荷回路の電流とダミー電流経路の電流の合計値が
ほぼ一定となるように,ダミー電流経路の電流量を調整
する電源給電方法を用いる。
【0010】本発明による電源給電方法を用いることに
より,集積回路の電源端子に流れ込む電流値の時間変化
をほぼなくすることができるため,集積回路外の実装系
部品に起因する給電系を特別に強化しなくても負荷回路
の電源電圧変動をなくすることができ,集積回路の性能
劣化や誤動作の問題を解決できる。
【0011】
【発明の実施の形態】以下,本発明の実施例を説明す
る。
【0012】図1は,本発明による半導体集積回路の給
電方法を示すブロック図である。図3で説明した例に対
し,負荷電流変化検出部2とダミー電流経路3とが,集
積回路4の中に追加されている。ダミー電流経路3には
電源電流Ibが流れ,集積回路4全体の電源電流Iは負
荷回路1の電流Iaとダミー電流経路の電流Ibの合計
になる。
【0013】図2は,図1の実施例における電源電流の
時間変化の様子を表している。本発明による給電方法で
は,ダミー電流経路3の電流量Ibを,負荷回路1の電
流量Iaと相補的になるように調整し,IaとIbの和
であるところの,集積回路4の電流Iの時間変化がおお
むねゼロになるようにする。これにより,実装系部品の
電源給電系に起因する寄生インダクタンス5,7を流れ
る電流Iの時間変化がほぼゼロになるので,負荷回路1
の電源電圧Vlの変動もほぼゼロにできる。
【0014】本発明において,ダミー電流経路3は集積
回路4の中に配置されており,かつ負荷回路1の極近傍
に配置するようにする。集積回路4の外部,例えばバイ
パスコンデンサ8の近くにダミー電流経路3を配置する
と,ダミー電流経路3と負荷回路1との間の距離が数m
mから数cm程度離れてしまうので,寄生インダクタン
ス7の影響が無視できなくなり,寄生インダクタンス7
を流れる電流の時間変化が原因となる電源電圧変動を充
分に抑制できなくなる。集積回路4の内部にダミー電流
経路3を配置する場合には,ダミー電流経路3を負荷回
路1の極近く,例えば数十μmから数百μm程度に配置
することで,負荷回路1とダミー電流経路3との間の集
積回路内電源配線インピーダンスの影響をより良く取り
除くことができるようになる。
【0015】次に,ダミー電流経路3の構成方法を説明
する。
【0016】図5は,ダミー電流経路3の第1の具体的
構成方法を示す図である。図5(a)は3個のNMOS
トランジスタ51,52,53がそれぞれドレイン端子
とソース端子を並列接続した状態を示している。ゲート
端子54,55,56は,図1に示した負荷電流変化検
出部2からの制御信号を受け取るために用いる。図5
(b)は,ゲート端子54〜56の電圧レベルの時間変
化と,ダミー電流経路3を流れる電流Ibの時間変化の
一例を示している。トランジスタ51〜53は,ゲート
端子54〜56の電圧レベルによりオン,またはオフの
状態を取る。ダミー電流経路3を流れる電流Ibは,ト
ランジスタ51〜53を流れる電流I1〜I3の合計に
なる。トランジスタがオン状態の時に流れる電流値I1
〜I3は,それぞれのトランジスタのゲート幅と閾値電
圧を調整することで任意の値に設計できる。
【0017】この構成例では3個のトランジスタを並列
接続する場合を示したが,トランジスタ数は1個以上任
意の個数で良い。回路を構成しているNMOSトランジ
スタの一部または全部がPMOSトランジスタであって
も本構成例と同様にダミー電流経路を作ることができる
のは明らかである。
【0018】図6は,ダミー電流経路3の第2の具体的
構成方法を示す図である。図6(a)では,1個のNM
OSトランジスタ61にて,ダミー電流経路3を構成し
ている。ダミー電流Ibはトランジスタのドレイン端子
からソース端子に向かって流れる。ゲート端子62は,
図1に示した負荷電流変化検出部2からの制御信号を受
け取るために用いる。図6(b)は,トランジスタ61
のゲート・ソース間電圧Vgsと,ダミー電流Ibとの
関係を示している。本構成例においては,NMOSトラ
ンジスタのゲート・ソース間直流電圧値を動的に調整す
ることでダミー電流量Ibを制御する。本構成例におい
ても図5の場合と同様に,トランジスタ61のゲート幅
と閾値電圧を調整することで,設計段階でダミー電流量
Ibを調整することが可能である。
【0019】本構成例において,NMOSトランジスタ
の変わりにPMOSトランジスタを用いても,同様の方
法でダミー電流経路を作ることができるのは明らかであ
る。
【0020】図7は,ダミー電流経路3の第3の具体的
構成方法を示す図である。図7(a)では,1個のNM
OSトランジスタ71にて,ダミー電流経路3を構成し
ている。ダミー電流Ibはトランジスタのドレイン端子
からソース端子に向かって流れる。ゲート端子72は,
図1に示した負荷電流変化検出部2からの制御信号を受
け取るために用いる。図7(b)は,トランジスタ71
のゲート・ソース間電圧Vgsの時間変化の一例を示し
ている。図7(c)は,図7(b)のようにVgsが変
化した場合に対応した,ダミー電流値Ibの時間変化の
様子を示している。本構成例においては,Vgsが,ト
ランジスタ71を充分オンする電圧レベルHをTon時
間持続し,トランジスタ71を充分オフする電圧レベル
LをToff時間持続し,これらの状態を交互に繰り返
すことで,ダミー電流Ibの時間平均値を所望の値に調
整する。Ibの時間平均値はTonとToffの時間比
を調整することで変更できる。本構成例においても図5
の場合と同様に,トランジスタ71のゲート幅と閾値電
圧を調整することで,トランジスタ71がオンしている
状態での電流量を設計段階で調整することが可能であ
る。
【0021】本実施例において,NMOSトランジスタ
の変わりにPMOSトランジスタを用いても,同様の構
成でダミー電流経路を作ることができるのは明らかであ
る。
【0022】図17は,ダミー電流経路3の第4の具体
的構成方法を示す図である。本構成例では,170〜1
74で示したn段の論理回路を直列接続し,最終段出力
を初段回路の入力に戻すリング型発振器を用いてダミー
電流経路3を作っている。175〜179は各論理回路
の出力端子に接続する負荷容量である。端子17aは,
図1に示した負荷電流変化検出部2からの制御信号を受
け取るために用いる。17aに論理的ハイレベルを与え
るとリング発振器の発振が止まり,ダミー電流Ibが流
れなくなる。17aに論理的ローレベルを与えるとリン
グ発振器の発振が始まる。ダミー電流量Ibは,170
〜174で示す各回路のトランジスタのゲート幅,17
5〜179の負荷容量値,リング発振器の段数nで決ま
るリング発振器の消費電力と,電源電圧値とで調整でき
る。リング発振器のループ内に含まれる否定出力回路の
段数が奇数段である条件を満たす範囲内で,nは自由に
決定して良い。
【0023】本実施例において,170〜174の論理
回路は,負荷回路1を構成するために用意したトランジ
スタの一部であるが負荷回路1の論理機能実現のために
は使用しなかったトランジスタを利用して作っても良
い。または,負荷回路1とはまったく別に,ダミー電流
経路3を構成するためのトランジスタを用意しても良
い。負荷容量175〜179はなくても良い。論理回路
171〜174はそれぞれがことなる論理機能,消費電
力を有する回路であっても良い。
【0024】次に,負荷電流変化検出部2の構成方法を
説明する。
【0025】図8は,負荷電流変化検出部2の第1の構
成方法を示す図である。本実施例では,負荷電流変化検
出部2は負荷回路1に含まれる論理信号の一部を利用し
て実現される。すなわち,ダミー電流経路3に与える制
御信号81として,負荷回路1の論理ブロックに対する
演算開始命令,演算停止命令,データ転送開始命令,デ
ータ転送停止命令,スリープモードから通常モードへの
状態変更命令,等の信号を利用する。これらの信号のい
ずれか一つを単独で使っても良いし,複数の信号から論
理演算によって制御信号81を生成しても良い。
【0026】図9は,負荷電流変化検出部2の第2の構
成方法を示す図である。本実施例では,負荷電流変化検
出部2は,基準電圧発生手段91と差動アンプ93とか
ら構成される。差動アンプ93の入力端子92は,負荷
回路1の電源線に接続され,負荷回路1の電源電位Vl
の変化を検出する。差動アンプ93は,端子92に伝え
られるVlの変化と基準電圧発生手段91からの信号と
の差をダミー電流経路3に伝える。負荷回路1の電流I
aが変化すると負荷回路1の電源電圧Vlも変化するの
で,本構成によって負荷電流Iaの変化を検出できる。
【0027】図15に,基準電圧発生手段91の実施例
を示す。図15(a)は,抵抗およびダイオードを用い
た構成例である。端子151および端子152をそれぞ
れ集積回路4中のいずれかの正側電源および負側電源に
接続し,端子153から基準電圧を発生する。図15
(b)は,直列接続した2つの抵抗を用いた構成例であ
る。端子154および端子155をそれぞれ集積回路4
中のいずれかの正側電源および負側電源に接続し,端子
156から基準電圧を発生する。図15(c)は,基準
電圧を集積回路4の外部から,端子157を介してバイ
アス電圧として与える場合の構成例である。
【0028】図18に,図9で示した差動アンプ93の
実施例を示す。図18(a)においてpまたはnで示し
たトランジスタはそれぞれpMOSトランジスタ,nM
OSトランジスタを示す。18a,18bが入力端子,
18cが出力端子である。端子181,182を半導体
集積回路内の正側電源に接続する。端子183,184
を半導体集積回路内の負側電源に接続する。図18
(b)は図18(a)で示した回路のシンボル185を
表す図である。本図における記号185を図9における
差動アンプ93として使用する。
【0029】図10は,負荷電流変化検出部2の第3の
構成方法を示す図である。本実施例では,負荷電流変化
検出部2は,負荷回路1の電源線に直列に接続された抵
抗101と差動アンプ103とから構成される。差動ア
ンプ103の2つの入力端子102a,102bは,抵
抗101の両端に接続され,負荷回路1の電源電流Ia
の変化を抵抗101の電圧降下の変化として検出する。
差動アンプ103は,抵抗101の電圧降下の変化をダ
ミー電流経路3に伝える。本実施例における差動アンプ
103としては,例えば先に図18で説明した回路を使
用することができる。
【0030】ここまでで,ダミー電流経路3と,負荷電
流変化検出部2の構成方法を説明した。次に,これらの
手段を組み合わせて実現する本発明の実施例の具体的回
路構成を順次説明する。
【0031】図11は,本発明の第1の実施例である。
ダミー電流経路3は,図5で説明した回路を使用してい
る。本実施例において,負荷回路1は3つの論理ブロッ
ク111〜113に分かれている。論理ブロックは,例
えば111が加算器論理,112が減算器論理,113
が乗算器論理,等に対応する。負荷電流変化検出部は2
1〜23であり,図8で説明した実施例を使用してい
る。論理ブロック111〜113の負荷電流Ia1〜I
a3の変化を示す信号は,各論理ブロックの負荷電流変
化検出部21〜23から出力される。制御信号はトラン
ジスタ51〜53のゲート端子へ接続されてそれぞれの
トランジスタのオン・オフを制御する。ダミー電流経路
3の電流Ib1〜Ib3はそれぞれ論理ブロック111
〜113の集積度から決まる消費電流Ia1〜Ia3に
応じて,Ia1(t)+Ib1(t)=一定,Ia2
(t)+Ib2(t)=一定,Ia3(t)+Ib3
(t)=一定,となるように決定する。ここで(t)
は,Ia1〜Ia3,Ib1〜Ib3が時間によって変
化することを意味している。
【0032】図12は,本発明の第2の実施例である。
ダミー電流経路3は,図5で説明した回路を使用してい
る。負荷電流変化検出部2は,図9で説明した回路を使
用しており,差動アンプ93の出力がさらにA/D変換
器121へ接続されている。負荷回路1の電源電流Ia
の変化に応じたアナログレベル信号がA/D変換器へ入
力され,3ビットのディジタル信号に変換される。変換
されたディジタル信号はダミー電流経路3のトランジス
タに伝えられる。ここで,各トランジスタ51〜53が
オンの時に流れる電流Ib1〜Ib3を,例えばIb2
=Ib1×2,Ib3=Ib1×4,になるように設計
しておけば,3個のトランジスタのオン・オフを組み合
わせることで,Iaの変化に応じてIbを,0,Ib1
×1,Ib1×2, 。。。 ,Ib1×7の8通りに
調整することが可能になる。A/D変換器121の出力
ビット数とダミー電流経路3のトランジスタ数を増やす
ことで,よりきめ細かくIbを調整できるようになるこ
とは明らかである。
【0033】図19に,A/D変換回路121の実施例
を示す。本実施例によって,アナログ信号を3ビットの
エンコードされたディジタル出力信号に変換できる。図
19(a)はA/D変換回路の全体構成を示す図であ
る。負荷電流変化検出部2からの信号は,端子190に
伝えられる。ダミー電流経路3へのディジタル制御信号
は端子192〜194を使って出力する。端子191は
例えば半導体集積回路中の負側電源に接続する。Vre
f1は基準電圧であり,例えば図15で説明した方法等
によって生成する。195はエンコーダであり,例えば
図19(b)のような回路で実現できる。図19(b)
において,(1)〜(7)はコンパレータの出力信号を
意味している。197はORゲートである。196はコ
ンパレータ回路であり,例えば図21のような回路で実
現できる。図21において,185は先に図18で説明
した回路である。215はインバータ回路である。21
1,212が入力端子,213が出力端子である。
【0034】図12の実施例において,負荷電流変化検
出部2に図9ではなく図10の回路を使っても良い。
【0035】図12の実施例において,A/D変換器1
21を省略し,負荷電流変化検出部2の出力を直接ダミ
ー電流経路3に伝えても良い。この時,ダミー電流経路
3に含まれるトランジスタは1個である必要はなく,集
積回路4内の数ヵ所に配置された複数個のトランジスタ
に同じ出力信号を伝えても良い。
【0036】本実施例では,ダミー電流経路3の電流I
bは離散的な値を取るため,集積回路4の電源電流Iの
時間変化を完全になくすることはできない。しかし,ダ
ミー電流経路を有しない場合の電源電流変化よりは少な
くすることができるので,本実施例によって電源電圧変
動を抑制することができる。
【0037】図13は,本発明の第3の実施例である。
ダミー電流経路3は,図6で説明した回路を使用してい
る。負荷電流変化検出部2は,図9で説明した手段を使
用している。本実施例において,負荷電流変化検出部2
とNMOSトランジスタ132との組合わせでシリーズ
型レギュレータを構成している。差動アンプ131は互
いに相補の関係にある2つの出力を有しており,それぞ
れトランジスタ132とトランジスタ61のゲート端子
へ接続されている。この構成により,電流Ia,Ibは
それぞれ図13(b),図13(c)に示すように互い
に相補な関係になるため,集積回路の電流Iを図13
(d)のように一定に制御することができる。本実施例
において,トランジスタ61のソース端子と負側電源と
の間にはダミー負荷133が接続されている。ダミー負
荷133の電圧降下Vdと負荷回路1の電圧降下Vlを
ほぼ等しく設定することで,トランジスタ61と132
のドレイン・ソース間電圧をほぼ同じにすることがで
き,Ia,Ibの制御が容易になる。
【0038】図20に,差動アンプ131の実施例を示
す。本図において,回路185は,先に図18で説明し
た差動アンプ回路である。201,202は入力端子で
ある。203,204は出力端子である。
【0039】図16に,ダミー負荷133の構成例を示
す。図16(a)はダイオード2個を直列接続した回路
例である。端子161をトランジスタ61のソース端子
へ,端子162を負側電源へ,それぞれ接続する。図1
6(b)はダイオードと抵抗を直列接続した回路例であ
る。端子163をトランジスタ61のソース端子へ,端
子164を負側電源へ,それぞれ接続する。
【0040】図13の実施例において,負荷電流変化検
出部2に図9の回路ではなく図10の回路を使っても良
い。
【0041】図14は,本発明の第4の実施例である。
ダミー電流経路3は,図7で説明した回路を使用してい
る。本実施例においても,図13の実施例と同様の目的
でダミー負荷133を使用している。負荷電流変化検出
部2は,図10で説明した回路を使用している。本実施
例において,負荷電流変化検出部2,コンパレータ14
1,のこぎり波発生回路142,インダクタ143,ダ
イオード144,コンデンサ145,NMOSトランジ
スタ146との組合わせでスイッチング型レギュレータ
を構成している。差動アンプ103の出力電圧v1との
こぎり波発生回路142の出力電圧v2との関係を図1
4(b)に示す。v1よりもv2が高い電圧レベルを有
している時間をT1,低い電圧レベルを有している時間
をT2と定義する。v1は,負荷回路1の電源電流Ia
の変化に応じて電圧レベルを変えるので,T1とT2の
比もIaの変化に応じて変わる。コンパレータ141の
出力端子の電圧信号v3,v4を図14(c),図14
(d)に示す。v3は,T1の時間は高レベル,T2の
時間は低レベルになる。v4はv3と逆の電圧波形にな
る。トランジスタ146を流れる電流Ia2,負荷回路
1の電源電流Iaの波形を図14(e)に示す。Ia2
はv3の波形に対応して図のような矩形波になる。Ia
は素子143,144,145によってIa2を平滑化
した波形になる。この時,T1,T2の比に応じてIa
も変化する。ダミー電流経路3を流れる電流Ibは,電
圧v4に対応して図14(f)の波形になる。IaとI
bは互いに相補な関係にあるので,図14(g)に示す
ように,IaとIbの和である,集積回路4の電流Iの
時間変化をなくすることができる。
【0042】図22に,コンパレータ141の実施例を
示す。図において,185で示した回路は図18で説明
した差動アンプである。215はインバータ回路であ
る。211,212が入力端子,213,214が出力
端子である。
【0043】図23に,のこぎり波発生回路142の実
施例を示す。図において,185は図18で説明した差
動アンプ回路である。Vref2,Vref3はそれぞ
れ基準電圧であり,例えば図15に示した方法等で生成
する。端子230からのこぎり波電圧波形を出力する。
本実施例における発振周波数fは,およそ,f=1/
(2C(R1+R2))×(R3/R4)となる。ま
た,C×R1によって出力波形の立ち下がり時間を,C
×R2によって立ち上がり時間をそれぞれ調整する。R
3>R4の条件を満たすと自己発振を始める。これらの
条件を満たす範囲内で,必要とする発振周波数に応じ
て,C,R1〜R4の値を求めることができる。
【0044】以上説明した本発明による給電方法は,集
積回路内の複数個所に用意しても良い。この構成の場合
は,集積回路内の場所による電源電流変動の違いに応じ
てダミー電流量を調整できるようになるため,本発明の
給電方法を集積回路内の一カ所のみに配置する場合より
も電源電圧変動を精度良く補正できる。
【0045】本発明の全ての実施例において,負荷電流
変化検出部2は半導体集積回路4に内蔵されている状態
で動作を説明しているが,負荷電流変化検出部2は半導
体集積回路4の外部に配置していてもよい。
【0046】
【発明の効果】本発明によれば,電源電流量が時間と共
に変化する集積回路を使用する装置において,集積回路
内にダミー電流経路を設け,集積回路に流れ込む電源電
流の時間変化がほぼゼロになるようにダミー電流経路の
電流量を調整する手段を用いることによって,集積回路
外実装部品の電源給電系インピーダンスに起因する電源
電圧変動の影響を低減することができるので,電源電圧
ノイズによる性能劣化が少ない集積回路装置を実現する
ことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例の構成を示すブロック図。
【図2】本発明の実施例による電源電流の時間変化を示
すグラフ図。
【図3】集積回路への給電方法の問題点を示すためのブ
ロック図。
【図4】(a)図3の集積回路への給電方法における電
源電流の時間変化を示すグラフ図。(b)図3の集積回
路への給電方法における負荷回路に発生する電圧の時間
変化を示すグラフ図。
【図5】(a)ダミー電流経路の,第1の具体的構成方
法を示す回路図。(b)制御端子の電圧レベルと電流値
との関係を示すグラフ図。
【図6】(a)ダミー電流経路の,第2の具体的構成方
法を示す回路図。(b)制御端子の電圧レベルと電流値
との関係を示すグラフ図。
【図7】(a)ダミー電流経路の,第3の具体的構成方
法を示す回路図。(b)制御端子の電圧レベルの時間変
化の例を示すグラフ図。(c)ダミー電流経路の電流値
の時間変化の例を示すグラフ図。
【図8】負荷電流変化検出部の第1の構成方法を示すブ
ロック図。
【図9】負荷電流変化検出部の第2の構成方法を示すブ
ロック図。
【図10】負荷電流変化検出部の第3の構成方法を示す
ブロック図。
【図11】本発明の第1の実施例を示す回路図。
【図12】本発明の第2の実施例を示す回路図。
【図13】(a)本発明の第3の実施例を示す回路図。
(b)電流の時間変化を示すグラフ図。(c)電流の時
間変化を示すグラフ図。(d)電流の時間変化を示すグ
ラフ図。
【図14】(a)本発明の第4の実施例を示す回路図。
(b)電圧の時間変化を示すグラフ図。(c)電圧の時
間変化を示すグラフ図。(d)電圧の時間変化を示すグ
ラフ図。(e)電流の時間変化を示すグラフ図。(f)
電流の時間変化を示すグラフ図。(g)電流の時間変化
を示す図。
【図15】(a)基準電圧の発生方法を示す回路図。
(b)基準電圧の発生方法を示す回路図。(c)基準電
圧の発生方法を示す回路図。
【図16】(a)ダミー電流経路の負荷を示す回路図。
(b)ダミー電流経路の負荷を示す回路図。
【図17】ダミー電流経路の,第4の具体的構成方法を
示す回路図。
【図18】(a)差動アンプの回路例を示す回路図。
(b)差動アンプのシンボルを示す回路図。
【図19】(a)A/D変換回路の構成を示す回路図。
(b)エンコーダの構成を示す回路図。
【図20】反転出力端子つき差動アンプの実施例を示す
回路図。
【図21】コンパレータの実施例を示す回路図。
【図22】反転出力端子つきコンパレータの実施例を示
す回路図。
【図23】のこぎり波発生回路の実施例を示す回路図。
【符号の説明】
1…半導体負荷回路 2…負荷電流変化検出部 3…ダミー電流経路 4…半導体集積回路 5,7…寄生インダクタンス 6…電源 8…バイパスコンデンサ I…半導体集積回路の電源電流 Ia…負荷回路の電源電流 Ib…ダミー電流経路の電源電流。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01L 21/8238 H01L 27/08 321H 27/04 27/04 B 27/092 (72)発明者 斉藤 達也 東京都国分寺市東恋ケ窪一丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内 Fターム(参考) 5F038 BB04 EZ08 EZ20 5F048 AA02 AB03 AB08 AB10 AC01 AC03 CC09 5H410 BB01 BB05 CC02 CC10 DD02 EA11 FF03 FF05 FF26 5H430 BB02 BB09 BB12 CC03 EE06 EE13 FF01 FF08 FF13 GG03 HH03 5J056 BB40 CC00 CC03 CC04 CC09 CC16 DD13 DD26 DD27 DD28 DD51 DD53 DD54 DD55 EE13

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】負荷回路と,ダミー電流経路と,上記負荷
    回路の電源電流の変化を検出する負荷電流変化検出手段
    とを準備し,上記負荷回路と上記ダミー電流経路とは同
    一の半導体集積回路内に配置されており,上記負荷電流
    変化検出手段からの信号により,上記負荷回路の電流と
    上記ダミー電流経路の電流の合計値がほぼ一定となるよ
    うに上記ダミー電流経路の電流値を制御することを特徴
    とする半導体集積回路の給電方法。
  2. 【請求項2】上記電源電流変化検出手段は,上記負荷回
    路の電源電圧を検出する手段と,基準電圧を発生する手
    段と,該電源電圧と該基準電圧との差を電源電流変化検
    出手段の出力として発生する手段とを有しており,上記
    ダミー電流経路は,1個以上複数個のトランジスタから
    構成されており,それぞれのトランジスタのドレイン端
    子およびソース端子は互いに接続されており,ドレイン
    端子は該負荷回路の第1の電源に接続されており,ソー
    ス端子は該負荷回路の第2の電源に接続されており,上
    記電源電流変化検出手段からの信号により電流量を制御
    することを特徴とする請求項1記載の半導体集積回路の
    給電方法。
  3. 【請求項3】負荷回路と、ダミー電流経路と、上記負荷
    回路の電源電流の変化を検出する負荷電流変化検出回路
    とを有する半導体集積回路であって、上記負荷電流変化
    検出回路からの信号により,上記負荷回路の電流と上記
    ダミー電流経路の電流の合計値がほぼ一定となるように
    上記ダミー電流経路の電流値を制御することを特徴とす
    る半導体集積回路。
  4. 【請求項4】上記電源電流変化検出回路は,上記負荷回
    路の電源電圧を検出する手段と,基準電圧を発生する手
    段と,該電源電圧と該基準電圧との差を電源電流変化検
    出手段の出力として発生する手段とを有しており,上記
    ダミー電流経路は,1個以上複数個のトランジスタから
    構成されており,それぞれのトランジスタのドレイン端
    子およびソース端子は互いに接続されており,ドレイン
    端子は該負荷回路の第1の電源に接続されており,ソー
    ス端子は該負荷回路の第2の電源に接続されており,上
    記電源電流変化検出手段からの信号により電流量を制御
    することを特徴とする請求項3記載の半導体集積回路。
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