JP2003115526A - チップ収納トレーの位置決め機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 半導体チップを嵌め込む収納凹部が上面に形
成された矩形状のチップ収納トレーを所定位置に着脱自
在に位置決めするための位置決め機構であって、チップ
収納トレーの外形寸法のばらつきによる不都合を解消す
るようにしたものを提供する。 【解決手段】 所定位置に載置されたチップ収納トレー
１の第１の側面１ａに当接する固定板３と、第１の側面
１ａと反対側の第２の側面１ｂに接離する方向に弾性変
形可能でチップ収納トレー１を固定板３に向けて付勢す
る板バネ４と、第１の側面１ａと交差する第３の側面１
ｃに当接する固定ピン５と、第３の側面１ｃと反対側の
第４の側面１ｄに接離する方向に移動可能でチップ収納
トレー１を固定ピン５との間に挟み込む偏心ピン７及び
ビス８とから成ることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体チップを嵌
め込む収納凹部が上面に形成された矩形状のチップ収納
トレーを所定位置に着脱自在に位置決めするための位置
決め機構に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体部品の製造工程においては、ダイ
シングシートやエンボステープ上に支持された半導体チ
ップを所定位置に着脱自在に位置決めされたチップ収納
トレーに向けて移送し、その上面に形成された収納凹部
内に嵌め込む処理が行われている。チップ収納トレーを
所定位置に着脱自在に位置決めする機構としては、例え
ば、図３に示すようなものが知られている。

【０００３】この位置決め機構は、上面に多数の収納凹
部１ｅが碁盤目状に形成された複数個のチップ収納トレ
ー１（１個のみ図示）を一方向に所定間隔をおいて整列
した状態で支持するトレー支持テーブル２上に設けられ
たもので、所定位置に載置されたチップ収納トレーの第
１の側面１ａに当接する固定板３と、チップ収納トレー
１における第１の側面１ａと反対側の第２の側面１ｂに
接離する方向に弾性変形可能でチップ収納トレー１を固
定板３との間に挟み込む板バネ４と、チップ収納トレー
１における第１の側面１ａと交差する第３の側面１ｃに
当接する一対の固定ピン５と、チップ収納トレー１にお
ける第３の側面１ｃと反対側の第４の側面１ｄに当接
し、チップ収納トレー１を各固定ピン５との間に挟み込
む一対のアングル６とから成っている。

【０００４】固定板３は金属や硬質樹脂等から成り、ト
レー支持テーブル２の右側面にネジ等を介して固定され
ている。固定板３はチップ収納トレー１の第１の側面１
ａに全長にわたって当接してチップ収納トレー１の右方
向への移動を阻止する。なお、この固定板３はチップ収
納トレー１を左右方向に位置決めする際の基準となるも
のである。

【０００５】板バネ４はトレー支持テーブル２の左側面
にネジ等を介して固定され、垂直上方に向けて延びてお
り、上部に内側に向けて湾曲した断面Ｃ字形の湾曲部４
ａを有している。チップ収納トレー１をトレー支持テー
ブル２の上面に載置する際に、この湾曲部４ａが第２の
側面１ｂに押されて板バネ４が第２の側面１ｂから離れ
る方向に弾性変形し、第２の側面１ｂが湾曲部４ａを乗
り越えると板バネ４が元の状態に弾性復帰する。この状
態で、板バネ４はチップ収納トレー１を右方向に付勢し
て固定板３に押し付けるとともにチップ収納トレー１の
左方向への移動を阻止する。

【０００６】固定ピン５は金属や硬質樹脂等から成る円
柱状のもので、トレー支持テーブル２の上面に左右に間
隔をおいて立設されている。各固定ピン５はチップ収納
トレー１の第３の側面１ｃに当接してチップ収納トレー
１の前方への移動を阻止する。なお、この固定ピン５は
チップ収納トレー１を前後方向に位置決めする際の基準
となるものである。

【０００７】アングル６は金属や硬質樹脂等から成る平
面視Ｌ字形のもので、トレー支持テーブル２の上面に左
右に間隔をおいて固定されている。各アングル６はチッ
プ収納トレー１の第４の側面１ｄに当接してチップ収納
トレー１の後方への移動を阻止する。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】上述した位置決め機構
の場合、チップ収納トレー１の外形寸法のばらつきによ
ってチップ収納トレー１を装着しにくくなったり、チッ
プ収納トレー１の位置決め精度が低下したりすることが
あった。

【０００９】すなわち、チップ収納トレー１の左右方向
の寸法のばらつきについては、板バネ４の弾性によって
吸収することができるが、前後方向の寸法のばらつきに
ついては、固定ピン５及びアングル６が移動できないた
め、吸収することができない。

【００１０】したがって、チップ収納トレー１の前後方
向の寸法が所定値よりも大きい場合には、チップ収納ト
レー１を固定ピン５とアングル６の間に挿入する際の抵
抗が大きくなり、チップ収納トレー１の前後方向の寸法
が所定値よりも小さい場合には、チップ収納トレー１と
固定ピン５の間に隙間が生じるため、位置決め精度が低
下する。

【００１１】本発明は上述した問題点に鑑みてなされた
ものであって、その目的は、半導体チップを嵌め込む収
納凹部が上面に形成された矩形状のチップ収納トレーを
所定位置に着脱自在に位置決めするための位置決め機構
であって、チップ収納トレーの外形寸法のばらつきによ
る不都合を解消するようにしたものを提供することにあ
る。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上述した目的を達成する
ために、請求項１記載の発明は、半導体チップを嵌め込
む収納凹部が上面に形成された矩形状のチップ収納トレ
ーを所定位置に着脱自在に位置決めするためのものであ
って、所定位置に載置されたチップ収納トレーの第１の
側面に当接する第１の固定ストッパと、前記チップ収納
トレーにおける第１の側面と反対側の第２の側面に接離
する方向に弾性変形可能で前記チップ収納トレーを前記
第１の固定ストッパに向けて付勢する弾発部材と、前記
チップ収納トレーにおける第１の側面と交差する第３の
側面に当接する第２の固定ストッパと、前記チップ収納
トレーにおける第３の側面と反対側の第４の側面に接離
する方向に移動可能で前記チップ収納トレーを前記第２
の固定ストッパとの間に挟み込む可動ストッパとから成
ることを特徴としている。

【００１３】また、請求項２記載の発明は、請求項１記
載の発明において、前記可動ストッパが、中心軸に沿っ
て延びる貫通孔を有するとともに該貫通孔が前記中心軸
に対して偏心した円筒状の偏心ピンと、前記貫通孔を貫
通して前記偏心ピンを前記チップ収納トレーが載置され
る面に対して固定するビスとから成ることを特徴として
いる。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の具体的な実施形態
を図面を参照しながら説明する。図１は本発明の一実施
形態である位置決め機構を備えたトレー支持テーブルの
要部の斜視図、図２は図１の要部の縦断面図である。な
お、本実施形態において、上述した従来の位置決め機構
と同一の部分には同一の符号を付してあり、重複する説
明は省略してある。

【００１５】図１に示すように、この位置決め装置は、
チップ収納トレー１の第４の側面１ｄに対向するととも
に左右に間隔をおいて配された一対の偏心ピン７と、こ
の偏心ピン７をトレー支持テーブル２に対して固定する
ための一対のビス８とを備えている。偏心ピン７とビス
８により、本発明の可動ストッパが構成されている。

【００１６】図２に示すように、偏心ピン７は、中心軸
Ｃ．Ｌの方向に延びる貫通孔７ａを有しており、この貫
通孔７ａが中心軸Ｃ．Ｌに対して０．５ｍｍ偏心してい
る。ビス８は、外周部にネジ山が形成された直軸部８ａ
と、その上端部に形成された頭部８ｂとから成ってい
る。直軸部８ａは貫通孔７ａを貫通して下端部がトレー
支持テーブル２の上面に形成されたネジ孔２ａに螺合す
る。

【００１７】なお、９は位置決めピンで、チップ収納ト
レー１の誤装着を防止するためのものである。すなわ
ち、チップ収納トレー１の一つの角部は４５゜に切除さ
れており、この角部が位置決めピン９に対向した状態に
おいてはチップ収納トレー１をトレー支持テーブル２上
に装着することができるが、他の角部が位置決めピン９
に対向した状態でチップ収納トレー１をトレー支持テー
ブル２上に装着しようとすると、その角部の下面に位置
決めピン９が当接するため、チップ収納トレー１を装着
することができない。なお、位置決めピン９は、チップ
収納トレー１が載置される矩形状の領域の各角部に設け
られた孔に挿脱自在となっており、４種類のチップ収納
トレー１の誤装着を防止することができる。本実施形態
のその他の構成は上述した従来のものと同様である。

【００１８】次に、本実施形態の位置決め機構によりチ
ップ収納トレー１を位置決めする方法について説明す
る。

【００１９】まず、ドライバーでビス８を緩めて偏心ピ
ン７が回転できるようにする。次いで、偏心ピン７を固
定ピン５から離れる方向に回転させ、チップ収納トレー
１をトレー支持テーブル２上に載置する。板バネ４がチ
ップ収納トレー１の第２の側面１ｂを右方向に付勢し、
第１の側面１ａが固定板３に押し付けられてチップ収納
トレー１が左右方向に位置決めされる。

【００２０】次に、一方の偏心ピン７を第４の側面１ｄ
に接近する方向に回転させて第４の側面１ｄに押し付
け、この状態でビス８を締めて偏心ピン７をトレー支持
テーブル２に対して固定する。他方の偏心ピン７につい
ても同様にする。これによって、第３の側面１ｃが各固
定ピン５に押し付けられてチップ収納トレー１が前後方
向に位置決めされる。

【００２１】このように、偏心ピン７が第４の側面１ｄ
に接離する方向に移動可能であることにより、チップ収
納トレー１の前後方向の寸法が所定値より大きくてもチ
ップ収納トレー１を装着しにくくなることがない。ま
た、チップ収納トレー１の前後方向の寸法が所定値より
小さくても第３の側面１ｃと各固定ピン５の間に隙間が
生じることがないので、チップ収納トレー１の前後方向
の位置決め精度が低下することがない。

【００２２】本実施形態では、可動ストッパが偏心ピン
７とビス８で構成されたことにより、構造が簡素である
ため、製造コストが安価である。

【００２３】なお、本発明は上述した実施形態に限定さ
れるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で上
述した実施形態に種々の変形を施すことができる。

【００２４】

【発明の効果】以上説明したように請求項１記載の位置
決め機構によれば、可動ストッパが第４の側面に接離す
る方向に移動可能であることにより、チップ収納トレー
における第４の側面に直交する方向の寸法が所定値より
大きくてもチップ収納トレーを装着しにくくなることが
ない。また、チップ収納トレーにおける第４の側面に直
交する方向の寸法が所定値より小さくても第３の側面と
第２の固定ストッパとの間に隙間が生じることがないの
で、チップ収納トレーの同方向の位置決め精度が低下し
ない。

【００２５】また、請求項２記載の位置決め機構は、可
動ストッパが、中心軸の方向に延びる貫通孔を有すると
ともに貫通孔が中心軸に対して偏心した円筒状の偏心ピ
ンと、偏心ピンの貫通孔を貫通して偏心ピンをチップ収
納トレーが載置される面に対して固定するビスとから成
ることにより、構造が簡素であるため、製造コストが安
価である。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施形態である位置決め機構を備
えたトレー支持テーブルの要部の斜視図。

【図２】 図１の要部の縦断面図。

【図３】 従来の位置決め機構を備えたトレー支持テー
ブルの要部の斜視図。

【符号の説明】

１ チップ収納トレー ２ トレー支持テーブル ３ 固定板（第１の固定ストッパ） ４ 板バネ（弾発部材） ５ 固定ピン（第２の固定ストッパ） ７ 偏心ピン（可動ストッパの一部） ８ ビス（可動ストッパの一部）

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体チップを嵌め込む収納凹部が上面
   に形成された矩形状のチップ収納トレーを所定位置に着
   脱自在に位置決めするためのものであって、所定位置に
   載置されたチップ収納トレーの第１の側面に当接する第
   １の固定ストッパと、前記チップ収納トレーにおける第
   １の側面と反対側の第２の側面に接離する方向に弾性変
   形可能で前記チップ収納トレーを前記第１の固定ストッ
   パに向けて付勢する弾発部材と、前記チップ収納トレー
   における第１の側面と交差する第３の側面に当接する第
   ２の固定ストッパと、前記チップ収納トレーにおける第
   ３の側面と反対側の第４の側面に接離する方向に移動可
   能で前記チップ収納トレーを前記第２の固定ストッパと
   の間に挟み込む可動ストッパとから成ることを特徴とす
   るチップ収納トレーの位置決め機構。
2. 【請求項２】 前記可動ストッパは、中心軸の方向に延
   びる貫通孔を有するとともに該貫通孔が前記中心軸に対
   して偏心した円筒状の偏心ピンと、前記貫通孔を貫通し
   て前記偏心ピンを前記チップ収納トレーが載置される面
   に対して固定するビスとから成ることを特徴とする請求
   項１に記載のチップ収納トレーの位置決め機構。