JP2003115393A5 - - Google Patents
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- 光透過性の基板上に少なくとも第１電極、有機発光層、第２電極が順次積層されてなる有機エレクトロルミネッセンス素子において、
上記第１電極は、透明導電膜と金属膜から構成された多層膜であり、上記金属膜は、Ａｕ，Ａｇ，Ａｌ，Ｃｕ，Ｎｉ，Ｃｏ，Ｆｅ，Ｍｏ，Ｎｂ，Ｐｄ，Ｐｔから選ばれる少なくとも１種からなり、上記透明導電膜は、酸化インジウム錫、酸化インジウム−酸化亜鉛、酸化インジウム、酸化錫、酸化亜鉛から選ばれる少なくとも１種からなることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子。 - 上記多層膜は、透明導電膜、金属膜、透明導電膜の順に積層された３層膜であることを特徴とする請求項１記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
- 上記光透過性の基板は、高分子ポリマー材料からなり、可撓性を有することを特徴とする請求項１記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
- 光透過性の基板上に少なくとも第１電極、有機発光層、第２電極を順次積層する有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法において、
上記第１電極を多層膜とし、この多層膜を構成する各膜をスパッタ法により成膜することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。 - 上記スパッタ法により各膜を成膜するに際し、メタルマスクを用いてパターニングすることを特徴とする請求項４記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
- 上記有機発光層及び第２電極を真空蒸着法により成膜することを特徴とする請求項４記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
- 光透過性の基板上に少なくとも第１電極、有機発光層、第２電極が順次積層されてなる有機エレクトロルミネッセンス素子がマトリクス状に配列されてなり、
各有機エレクトロルミネッセンス素子の第１電極は、透明導電膜と金属膜から構成された多層膜であり、上記金属膜は、Ａｕ，Ａｇ，Ａｌ，Ｃｕ，Ｎｉ，Ｃｏ，Ｆｅ，Ｍｏ，Ｎｂ，Ｐｄ，Ｐｔから選ばれる少なくとも１種からなり、上記透明導電膜は、酸化インジウム錫、酸化インジウム−酸化亜鉛、酸化インジウム、酸化錫、酸化亜鉛から選ばれる少なくとも１種からなることを特徴とする画像表示装置。 - 上記多層膜は、透明導電膜、金属膜、透明導電膜の順に積層された３層膜であることを特徴とする請求項７記載の画像表示装置。
- 上記光透過性の基板は、高分子ポリマー材料からなり、可撓性を有することを特徴とする請求項７記載の画像表示装置。
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