JP2003112933A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2003112933A5
JP2003112933A5 JP2001309953A JP2001309953A JP2003112933A5 JP 2003112933 A5 JP2003112933 A5 JP 2003112933A5 JP 2001309953 A JP2001309953 A JP 2001309953A JP 2001309953 A JP2001309953 A JP 2001309953A JP 2003112933 A5 JP2003112933 A5 JP 2003112933A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
quartz glass
glass body
hydrogen
synthetic quartz
furnace
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2001309953A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP4066632B2 (ja
JP2003112933A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2001309953A priority Critical patent/JP4066632B2/ja
Priority claimed from JP2001309953A external-priority patent/JP4066632B2/ja
Publication of JP2003112933A publication Critical patent/JP2003112933A/ja
Publication of JP2003112933A5 publication Critical patent/JP2003112933A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4066632B2 publication Critical patent/JP4066632B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

JP2001309953A 2001-10-05 2001-10-05 合成石英ガラス光学体およびその製造方法 Expired - Fee Related JP4066632B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001309953A JP4066632B2 (ja) 2001-10-05 2001-10-05 合成石英ガラス光学体およびその製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001309953A JP4066632B2 (ja) 2001-10-05 2001-10-05 合成石英ガラス光学体およびその製造方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2003112933A JP2003112933A (ja) 2003-04-18
JP2003112933A5 true JP2003112933A5 (zh) 2005-06-02
JP4066632B2 JP4066632B2 (ja) 2008-03-26

Family

ID=19129016

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001309953A Expired - Fee Related JP4066632B2 (ja) 2001-10-05 2001-10-05 合成石英ガラス光学体およびその製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4066632B2 (zh)

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5106090B2 (ja) * 2007-12-26 2012-12-26 信越石英株式会社 光触媒用シリカガラス及びその製造方法
US8268740B2 (en) * 2008-02-07 2012-09-18 Corning Incorporated Halide free glasses having low OH, OD concentrations
US9067814B2 (en) * 2009-01-19 2015-06-30 Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Method of producing synthetic quartz glass for excimer laser
JP5609050B2 (ja) * 2009-09-18 2014-10-22 住友電気工業株式会社 合成石英ガラス母材の製造方法及び合成石英ガラス母材
WO2011052610A1 (ja) * 2009-10-30 2011-05-05 旭硝子株式会社 深紫外線用光学部材およびその製造方法
WO2017103123A2 (de) 2015-12-18 2017-06-22 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Herstellung von quarzglaskörpern mit taupunktkontrolle im schmelzofen
TWI794150B (zh) 2015-12-18 2023-03-01 德商何瑞斯廓格拉斯公司 自二氧化矽顆粒製備石英玻璃體
KR20180095619A (ko) 2015-12-18 2018-08-27 헤래우스 크바르츠글라스 게엠베하 ＆ 컴파니 케이지 실리카 유리 제조 동안 규소 함량의 증가
US10730780B2 (en) 2015-12-18 2020-08-04 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Preparation of a quartz glass body in a multi-chamber oven
US11053152B2 (en) 2015-12-18 2021-07-06 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Spray granulation of silicon dioxide in the preparation of quartz glass
JP6881776B2 (ja) 2015-12-18 2021-06-02 ヘレウス クワルツグラス ゲーエムベーハー ウント コンパニー カーゲー 不透明石英ガラス体の調製
US11339076B2 (en) 2015-12-18 2022-05-24 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Preparation of carbon-doped silicon dioxide granulate as an intermediate in the preparation of quartz glass
WO2017103115A2 (de) * 2015-12-18 2017-06-22 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Herstellung eines quarzglaskörpers in einem schmelztiegel aus refraktärmetall
KR102337364B1 (ko) * 2016-06-01 2021-12-09 신에쯔 세끼에이 가부시키가이샤 자외선ｓｍｄ형 ｌｅｄ소자의 기밀봉지용 석영유리 부재 및 자외선ｌｅｄ용 석영유리 부재의 제조방법
JP2017216389A (ja) * 2016-06-01 2017-12-07 信越石英株式会社 紫外線ｓｍｄ型ｌｅｄ素子の気密封止用シリカガラス部材
JP6789011B2 (ja) * 2016-07-01 2020-11-25 信越石英株式会社 紫外線ｌｅｄ用石英ガラス部材の製造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2003112933A5 (zh)
CN1163944C (zh) 放电灯及其制造方法
KR20070120083A (ko) 반도체 웨이퍼 처리용 석영 유리 홀더 및 그 제조 방법
WO2002083556A3 (en) Purification of carbon filaments and their use in storing hydrogen
JPS5858292B2 (ja) シリカガラスの製造方法
KR20090029179A (ko) 반도체 제조에 사용되는 석영 유리의 구성요소와 이를 제조하는 방법
JP4117641B2 (ja) 合成石英粉の処理方法およびその石英ガラス製品
JP5366303B2 (ja) 放電灯用合成シリカガラス、それで作成した放電灯ランプ及び該放電灯ランプを備えた放電灯装置、並びに前記放電灯用合成シリカガラスの製造方法
JPS6026055B2 (ja) 石英ガラスおよびその製造方法
US9593034B2 (en) Method for producing iron-doped silica glass
JP2016534020A5 (zh)
JP2009051677A (ja) 耐化学性シリカガラス及び耐化学性シリカガラスの製造方法
JPH06305767A (ja) 耐失透性放電灯用シリカガラス
JP2005523863A5 (zh)
TW200400370A (en) Lower-loss base material for optical fibres and manufacturing method thereof
JPH02157127A (ja) モノリシック　シリカ　エーロゲルの製造方法および石英ガラス平板
JP3574577B2 (ja) 高粘性合成石英ガラスおよびその製造方法
CN105859112B (zh) 一种光敏石英管的处理工艺
CN101412583A (zh) 掺镝的硫系玻璃及其制备方法
CN110921673A (zh) 一种生产光纤级四氯化硅的方法
JPH07215735A (ja) 紫外線吸収性が良く、かつ可視光透過性の高いシリカガラスおよびその製造方法
JPS5860603A (ja) 六方晶窒化硼素の高純度化方法
JPH1160264A (ja) 高出力真空紫外線用合成シリカガラス大型板材およびその製造方法
JP4955605B2 (ja) シリカ系ガラス発泡体及び浄化装置
JP2009046328A (ja) 光触媒用シリカガラス及び光触媒用シリカガラスの製造方法