JP2003097543A - 動圧軸受及びその製造方法 - Google Patents
動圧軸受及びその製造方法Info
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- F16C33/02—Parts of sliding-contact bearings
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 例え軸が円錐モードの振れ回り動作があった
としても動圧溝の損傷が少なく、電解エッチング加工に
際して対称性を維持するための位置合わせ精度を簡便化
し、動圧軸受としても高性能を発揮することのできる動
圧軸受及びその製造方法を提供する。 【解決手段】 スリーブ１の内周面１ｂに段部１ａを設
けて該段部内周面にラジアル動圧溝３を形成する場合、
前記動圧溝３の軸方向幅Ｌが、段部の軸方向幅Ｄよりも
少し小さく形成する。また、このスリーブ１の動圧溝３
は、電解エッチング加工により形成する。
としても動圧溝の損傷が少なく、電解エッチング加工に
際して対称性を維持するための位置合わせ精度を簡便化
し、動圧軸受としても高性能を発揮することのできる動
圧軸受及びその製造方法を提供する。 【解決手段】 スリーブ１の内周面１ｂに段部１ａを設
けて該段部内周面にラジアル動圧溝３を形成する場合、
前記動圧溝３の軸方向幅Ｌが、段部の軸方向幅Ｄよりも
少し小さく形成する。また、このスリーブ１の動圧溝３
は、電解エッチング加工により形成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、動圧軸受、特
に、軸を嵌め入れるスリーブ内周面に動圧溝を形成した
動圧軸受であって、高精度で且つ製作コストを低減し、
軸受損傷の割合も低い動圧軸受とその製造方法に関す
る。
に、軸を嵌め入れるスリーブ内周面に動圧溝を形成した
動圧軸受であって、高精度で且つ製作コストを低減し、
軸受損傷の割合も低い動圧軸受とその製造方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】情報機器等では、高速回転するスピンド
ルモータの軸受装置として、スリーブに軸を嵌めて相対
回転させ、スリーブ内周面或いは軸外周面のいずれかに
ヘリングボーン型或いはスパイラル型の動圧溝を形成し
た動圧軸受が使用される。例えば、図９に示すように、
ステータコイル２０を設置したスリーブ２１の内周面
に、ヘリングボーンタイプの動圧溝２３，２３を形成
し、強磁性体（図示省略）を前記ステータコイル２０に
対向配置されるよう該スリーブ２１に軸２５を嵌め入
れ、ステータコイル２０に電流を通して軸２５を高速回
転させる動圧軸受が使用される。このような動圧軸受
は、軸２５に図示しないがポリゴンミラーや光ディスク
を取り付け、レーザ光を反射させ情報を記録したり取り
出したりするための装置に利用される。
ルモータの軸受装置として、スリーブに軸を嵌めて相対
回転させ、スリーブ内周面或いは軸外周面のいずれかに
ヘリングボーン型或いはスパイラル型の動圧溝を形成し
た動圧軸受が使用される。例えば、図９に示すように、
ステータコイル２０を設置したスリーブ２１の内周面
に、ヘリングボーンタイプの動圧溝２３，２３を形成
し、強磁性体（図示省略）を前記ステータコイル２０に
対向配置されるよう該スリーブ２１に軸２５を嵌め入
れ、ステータコイル２０に電流を通して軸２５を高速回
転させる動圧軸受が使用される。このような動圧軸受
は、軸２５に図示しないがポリゴンミラーや光ディスク
を取り付け、レーザ光を反射させ情報を記録したり取り
出したりするための装置に利用される。
【０００３】前記スリーブ２１の内周面２１ｂには、図
１０及び図１１に示すように、若干径を小さくした段部
２１ａに軸受部２２を設け、該段部２１ａの軸受部２２
の内周面にヘリングボーンタイプやスパイラル或いはＶ
状の動圧溝２３が形成されている。或いは、スリーブ２
１の内周面２１ｂに動圧溝２３を設ける代わりに軸２５
の外周面に動圧溝を形成することもある。このような動
圧溝２３は、通常、転造による塑性加工で形成される。
しかし、近年の高精度化、高速化に対応させるため電解
エッチング加工で動圧溝を形成する例があるが、ステン
レス鋼等の場合エッチング加工すると時間がかかるた
め、アルミ合金製のスリーブの軸受面にボール転造によ
り塑性加工し、ホーニング加工後にアルマイト処理によ
り陽極酸化皮膜を形成する動圧軸受が提案されている
（特開平８−２４７１３８号）。
１０及び図１１に示すように、若干径を小さくした段部
２１ａに軸受部２２を設け、該段部２１ａの軸受部２２
の内周面にヘリングボーンタイプやスパイラル或いはＶ
状の動圧溝２３が形成されている。或いは、スリーブ２
１の内周面２１ｂに動圧溝２３を設ける代わりに軸２５
の外周面に動圧溝を形成することもある。このような動
圧溝２３は、通常、転造による塑性加工で形成される。
しかし、近年の高精度化、高速化に対応させるため電解
エッチング加工で動圧溝を形成する例があるが、ステン
レス鋼等の場合エッチング加工すると時間がかかるた
め、アルミ合金製のスリーブの軸受面にボール転造によ
り塑性加工し、ホーニング加工後にアルマイト処理によ
り陽極酸化皮膜を形成する動圧軸受が提案されている
（特開平８−２４７１３８号）。
【０００４】また、スリーブ内周面に動圧溝を形成した
動圧軸受としては、軸受隙間の潤滑油不足を解消して耐
久性を向上させたり、軸受剛性を高くする手段として、
図１２（Ａ）に示すように、多孔質の軸受本体３１と、
該軸受本体に含浸された潤滑油又は潤滑グリースと、該
軸受本体の軸受面に傾斜して設けられた動圧溝３３とを
備え、軸受隙間に形成された潤滑油の動圧油膜によって
回転軸を非接触に支持すると共に、軸受面の開孔部を介
して潤滑油を軸受本体３２の内部と軸受隙間との間で循
環させる軸受装置が提案され（特開平１１−８２４７９
号）、更に、この場合、図１２（Ｂ）に示すように、一
方の傾斜溝３３ａと他方の傾斜溝３３ｂとの間に平滑部
３４を設けた動圧溝３３としている。
動圧軸受としては、軸受隙間の潤滑油不足を解消して耐
久性を向上させたり、軸受剛性を高くする手段として、
図１２（Ａ）に示すように、多孔質の軸受本体３１と、
該軸受本体に含浸された潤滑油又は潤滑グリースと、該
軸受本体の軸受面に傾斜して設けられた動圧溝３３とを
備え、軸受隙間に形成された潤滑油の動圧油膜によって
回転軸を非接触に支持すると共に、軸受面の開孔部を介
して潤滑油を軸受本体３２の内部と軸受隙間との間で循
環させる軸受装置が提案され（特開平１１−８２４７９
号）、更に、この場合、図１２（Ｂ）に示すように、一
方の傾斜溝３３ａと他方の傾斜溝３３ｂとの間に平滑部
３４を設けた動圧溝３３としている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記するように、従来
のスリーブ２１の内周面２１ｂの段部２１ａに設ける軸
受部２２の動圧溝２３は、いずれにしてもこの軸受部２
２の端部から端部までの幅Ｄ全体に形成されている。こ
のため、図１１に示すように、特に、モータの起動時や
停止時に軸２５が円錐モード（コニカルモード、或いは
みそ摺り運動）で回転すると、軸２５が段部２１ａの端
部２１ｃ，２１ｃを損傷させる。このような円錐モード
による回転で繰り返し軸受部２２を設けた段部２１ａの
端部２１ｃ、２１ｃを傷つけると、動圧軸受としての性
能を低下させ、ひいては機器の性能や寿命にも悪影響を
及ぼすという問題がある。また、従来はスリーブ２１の
内周面に形成する動圧溝２３は、上記するように転造に
よる塑性加工で形成され、その後に加工のリーマ通し，
ボール通し，ホーニング加工等により仕上げ加工を要し
ており、製造コストも高いという問題があった。
のスリーブ２１の内周面２１ｂの段部２１ａに設ける軸
受部２２の動圧溝２３は、いずれにしてもこの軸受部２
２の端部から端部までの幅Ｄ全体に形成されている。こ
のため、図１１に示すように、特に、モータの起動時や
停止時に軸２５が円錐モード（コニカルモード、或いは
みそ摺り運動）で回転すると、軸２５が段部２１ａの端
部２１ｃ，２１ｃを損傷させる。このような円錐モード
による回転で繰り返し軸受部２２を設けた段部２１ａの
端部２１ｃ、２１ｃを傷つけると、動圧軸受としての性
能を低下させ、ひいては機器の性能や寿命にも悪影響を
及ぼすという問題がある。また、従来はスリーブ２１の
内周面に形成する動圧溝２３は、上記するように転造に
よる塑性加工で形成され、その後に加工のリーマ通し，
ボール通し，ホーニング加工等により仕上げ加工を要し
ており、製造コストも高いという問題があった。
【０００６】また、動圧溝加工として用いられるエッチ
ング加工は高精度ではあるが、製造コストは依然として
高くなっている。更に、動圧溝を電解エッチング加工を
施すことがあるが、従来の加工法ではワークに対する電
極の位置合わせが高精度で実施しないとパターンの対称
性が崩れ、流体流れを起こす、という問題があった。
ング加工は高精度ではあるが、製造コストは依然として
高くなっている。更に、動圧溝を電解エッチング加工を
施すことがあるが、従来の加工法ではワークに対する電
極の位置合わせが高精度で実施しないとパターンの対称
性が崩れ、流体流れを起こす、という問題があった。
【０００７】この発明は、上記する課題に対処するため
になされたものであり、例え軸が円錐モードの振れ回り
動作があったとしても動圧溝の損傷が少なく、電解エッ
チング加工に際して対称性を維持するための位置合わせ
精度を簡便化し、動圧軸受としても高性能を発揮するこ
とのできる動圧軸受及びその製造方法を提供することを
目的としている。
になされたものであり、例え軸が円錐モードの振れ回り
動作があったとしても動圧溝の損傷が少なく、電解エッ
チング加工に際して対称性を維持するための位置合わせ
精度を簡便化し、動圧軸受としても高性能を発揮するこ
とのできる動圧軸受及びその製造方法を提供することを
目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】即ち、この発明は、上記
する課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、
スリーブの内周面にスリーブ内径より小径の内周面で形
成され、所定の幅を持つとともに、その内周面に動圧溝
を形成した軸受部を有する動圧軸受において、該軸受部
の両端部に動圧溝の形成されていない内周面があること
を特徴としている。
する課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、
スリーブの内周面にスリーブ内径より小径の内周面で形
成され、所定の幅を持つとともに、その内周面に動圧溝
を形成した軸受部を有する動圧軸受において、該軸受部
の両端部に動圧溝の形成されていない内周面があること
を特徴としている。
【０００９】この動圧軸受によれば、動圧溝の軸方向幅
が、スリーブの内周面に設けた段部の軸方向幅よりも小
さいので、例えば回転始動時や停止時に軸がコニカルモ
ードにより回転しても、動圧軸受部分を損傷しないの
で、動圧軸受の性能に影響は及ぼさない。
が、スリーブの内周面に設けた段部の軸方向幅よりも小
さいので、例えば回転始動時や停止時に軸がコニカルモ
ードにより回転しても、動圧軸受部分を損傷しないの
で、動圧軸受の性能に影響は及ぼさない。
【００１０】また、請求項２に記載の発明は、動圧軸受
の製造方法が、前記動圧溝を電解エッチング加工により
形成されることを特徴としている。
の製造方法が、前記動圧溝を電解エッチング加工により
形成されることを特徴としている。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、この発明の具体的な実施の
形態について図面を参照しながら説明する。図１は、こ
の発明の動圧軸受を構成するスリーブ１の一部斜視図で
あり、図２はその軸方向断面図である。これらの図に示
すように、スリーブ１の内周面１ｂには、該スリーブ１
の内径より小径の内周面で形成され所定の幅を持つ段部
１ａが設けられ、該段部１ａの内周面に軸受部２が形成
されている。この軸受部２には、ヘリングボーン型の動
圧溝３が形成してある。尚、動圧溝３は、スパイラル型
或いはＶ字型であってもよい。この場合、段部１ａの幅
Ｄに対して動圧溝３の軸方向幅Ｌは、少し小さく（Ｌ＜
Ｄ）形成してある。該スリーブ１は、内径部に軸２５
（図９、図１１参照）を嵌め入れて、例えばスピンドル
モータの軸受部を構成する。従って、この段部１ａの内
周面に形成した軸受部２の両端部には動圧溝３の形成さ
れていない内周面があることになる。
形態について図面を参照しながら説明する。図１は、こ
の発明の動圧軸受を構成するスリーブ１の一部斜視図で
あり、図２はその軸方向断面図である。これらの図に示
すように、スリーブ１の内周面１ｂには、該スリーブ１
の内径より小径の内周面で形成され所定の幅を持つ段部
１ａが設けられ、該段部１ａの内周面に軸受部２が形成
されている。この軸受部２には、ヘリングボーン型の動
圧溝３が形成してある。尚、動圧溝３は、スパイラル型
或いはＶ字型であってもよい。この場合、段部１ａの幅
Ｄに対して動圧溝３の軸方向幅Ｌは、少し小さく（Ｌ＜
Ｄ）形成してある。該スリーブ１は、内径部に軸２５
（図９、図１１参照）を嵌め入れて、例えばスピンドル
モータの軸受部を構成する。従って、この段部１ａの内
周面に形成した軸受部２の両端部には動圧溝３の形成さ
れていない内周面があることになる。
【００１２】この発明の動圧軸受では、スリーブ１の内
周面の段部１ａの軸方向幅Ｄより動圧溝３の軸方向幅Ｌ
が小さいため、段部１ａの端部１ｃに接触しても軸受部
２の性能に悪影響を与えることはない。即ち、図１１に
示す従来の動圧軸受では、モータの始動時や停止時に、
軸２５の円錐モードによる振れ回りに際して、該軸２５
が段部２１ａの端部２１ｃ，２１ｃに接触して損傷を与
える、という欠点があった。しかし、この発明の動圧軸
受は、軸が振れ回り動作をしても、段部１ａの端部１ｃ
から動圧溝３の端部３ａまでは一定の平坦な距離がある
ため、動圧溝３には損傷を与えない。従って、動圧溝３
のパターンの対称性が崩れ、流体流れを起こすことも無
く、動圧軸受２の性能には影響を及ぼさない。
周面の段部１ａの軸方向幅Ｄより動圧溝３の軸方向幅Ｌ
が小さいため、段部１ａの端部１ｃに接触しても軸受部
２の性能に悪影響を与えることはない。即ち、図１１に
示す従来の動圧軸受では、モータの始動時や停止時に、
軸２５の円錐モードによる振れ回りに際して、該軸２５
が段部２１ａの端部２１ｃ，２１ｃに接触して損傷を与
える、という欠点があった。しかし、この発明の動圧軸
受は、軸が振れ回り動作をしても、段部１ａの端部１ｃ
から動圧溝３の端部３ａまでは一定の平坦な距離がある
ため、動圧溝３には損傷を与えない。従って、動圧溝３
のパターンの対称性が崩れ、流体流れを起こすことも無
く、動圧軸受２の性能には影響を及ぼさない。
【００１３】次に、前記スリーブ１の内周面に設ける動
圧溝３の形成方法について説明する。図３は、前記スリ
ーブ１の内周面に設けた段部１ａの内周面に動圧溝３を
設けるための前処理段階であるレジスト形成のためのレ
ジスト電着装置の構成を示す図である。このレジスト電
着装置は、電着槽５と、レジスト成分を含有する電着液
４と、負極と正極を有する電源６と、で構成される。ス
リーブ１は、前記電源６の負極側に接続されて電着液４
に浸漬され、正極側に正電極棒７が接続されて浸漬され
ている。
圧溝３の形成方法について説明する。図３は、前記スリ
ーブ１の内周面に設けた段部１ａの内周面に動圧溝３を
設けるための前処理段階であるレジスト形成のためのレ
ジスト電着装置の構成を示す図である。このレジスト電
着装置は、電着槽５と、レジスト成分を含有する電着液
４と、負極と正極を有する電源６と、で構成される。ス
リーブ１は、前記電源６の負極側に接続されて電着液４
に浸漬され、正極側に正電極棒７が接続されて浸漬され
ている。
【００１４】図４は、電解エッチングによる動圧溝３の
前処理加工法を示す図である。先ず、前記負極側に接続
されたスリーブ１の内周面には、予め絶縁物質８で動圧
溝３のパターンを印刷塗布する。この印刷は、スリーブ
１の内周面に形成した段部１ａの内径に合わせた型紙や
マスクを利用しても良いし、凸版印刷やオフセット印刷
等によっても良い。こうして絶縁物質8 を動圧溝３のパ
ターンとして塗布したスリーブ１は、電源の負極側に接
続され、正極側に正電極棒７が接続されて電流を流す
と、図５に示すように、絶縁物質８以外の部分に電着レ
ジスト層９が形成される。この状態で絶縁物質８を除去
すれば、図６に示すような電着レジスト層９によりエッ
チングパターンが形成される。尚、絶縁物質８は形成し
ないで段部１ａの内周面全体にレジスト層９を形成し、
レーザにより動圧溝３となるエッチングパターン部分を
除去して、エッチングパターンを形成しても良い。
前処理加工法を示す図である。先ず、前記負極側に接続
されたスリーブ１の内周面には、予め絶縁物質８で動圧
溝３のパターンを印刷塗布する。この印刷は、スリーブ
１の内周面に形成した段部１ａの内径に合わせた型紙や
マスクを利用しても良いし、凸版印刷やオフセット印刷
等によっても良い。こうして絶縁物質8 を動圧溝３のパ
ターンとして塗布したスリーブ１は、電源の負極側に接
続され、正極側に正電極棒７が接続されて電流を流す
と、図５に示すように、絶縁物質８以外の部分に電着レ
ジスト層９が形成される。この状態で絶縁物質８を除去
すれば、図６に示すような電着レジスト層９によりエッ
チングパターンが形成される。尚、絶縁物質８は形成し
ないで段部１ａの内周面全体にレジスト層９を形成し、
レーザにより動圧溝３となるエッチングパターン部分を
除去して、エッチングパターンを形成しても良い。
【００１５】次に、電解エッチング法について説明す
る。図７は、動圧溝のエッチングパターンの形成された
スリーブ１に電解エッチングを行う場合の電解エッチン
グ装置の構成を示す図である。この電解エッチング装置
は、電解槽１１と、該電解槽１１に入れた電解液１０
と、正極側にスリーブ１を接続し、負極側に電極棒１２
を接続した電源１３と、で構成される。電解槽１１に
は、例えば塩化ナトリウム（ＮａＣｌ）や硝酸ナトリウ
ム（ＮａＮＯ3 ）等の電解液１０が入っている。この電
解液１０中に所定の動圧溝３のパターンを形成したスリ
ーブ１を浸漬し、電流を流すと電解反応により動圧溝３
のパターンを形成したスリーブ１の金属表面のみが溶解
し、動圧溝３が形成される。その後、電着レジスト層９
を除去すると、電解エッチング法による動圧溝３が形成
される。
る。図７は、動圧溝のエッチングパターンの形成された
スリーブ１に電解エッチングを行う場合の電解エッチン
グ装置の構成を示す図である。この電解エッチング装置
は、電解槽１１と、該電解槽１１に入れた電解液１０
と、正極側にスリーブ１を接続し、負極側に電極棒１２
を接続した電源１３と、で構成される。電解槽１１に
は、例えば塩化ナトリウム（ＮａＣｌ）や硝酸ナトリウ
ム（ＮａＮＯ3 ）等の電解液１０が入っている。この電
解液１０中に所定の動圧溝３のパターンを形成したスリ
ーブ１を浸漬し、電流を流すと電解反応により動圧溝３
のパターンを形成したスリーブ１の金属表面のみが溶解
し、動圧溝３が形成される。その後、電着レジスト層９
を除去すると、電解エッチング法による動圧溝３が形成
される。
【００１６】上記するように、この発明の動圧軸受で
は、上記方法によりスリーブ１の段部１ａの内周面に動
圧溝3 を形成し、段部１ａの軸方向幅Ｄよりも、動圧溝
３の軸方向幅Ｌを少し小さくするものである。この場
合、動圧溝３の軸方向幅Ｌの中心線Ｏ1 が、段部１ａの
軸方向幅の中心線Ｏ0 と一致させることが理想的である
が、図８に示すように、この発明の場合、スリーブ１の
内周面にこのような段部１ａと動圧溝３の軸方向幅Ｌの
中心線Ｏ1 が、段部１ａの軸方向幅Ｄの中心線Ｏ0と一
致させることができず、多少のずれがあっても動圧軸受
２の性能には影響しない。即ち、動圧溝３の軸方向幅Ｌ
の中心線Ｏ1 と、段部１ａの軸方向幅Ｄの中心線Ｏ0 と
に多少のずれがあっても、段部１ａの軸方向幅Ｄより
も、動圧溝３の軸方向幅Ｌを少し小さくしてあるので、
動圧溝３の中心が多少ずれていても動圧軸受としての性
能には影響しない。
は、上記方法によりスリーブ１の段部１ａの内周面に動
圧溝3 を形成し、段部１ａの軸方向幅Ｄよりも、動圧溝
３の軸方向幅Ｌを少し小さくするものである。この場
合、動圧溝３の軸方向幅Ｌの中心線Ｏ1 が、段部１ａの
軸方向幅の中心線Ｏ0 と一致させることが理想的である
が、図８に示すように、この発明の場合、スリーブ１の
内周面にこのような段部１ａと動圧溝３の軸方向幅Ｌの
中心線Ｏ1 が、段部１ａの軸方向幅Ｄの中心線Ｏ0と一
致させることができず、多少のずれがあっても動圧軸受
２の性能には影響しない。即ち、動圧溝３の軸方向幅Ｌ
の中心線Ｏ1 と、段部１ａの軸方向幅Ｄの中心線Ｏ0 と
に多少のずれがあっても、段部１ａの軸方向幅Ｄより
も、動圧溝３の軸方向幅Ｌを少し小さくしてあるので、
動圧溝３の中心が多少ずれていても動圧軸受としての性
能には影響しない。
【００１７】
【発明の効果】以上、詳述したように、この発明の動圧
軸受によれば、動圧溝の端部が、平面であるので、軸が
コニカルモードで回転しても軸受性能が低下することは
ない。また、回転時、軸が当接しても、動圧軸受として
の損傷も軽減される。また、この動圧軸受の製造方法
は、電解エッチング法によるが、動圧溝の対称性は、電
極によって決定されるので加工時のワークと電極の位置
合わせ精度が簡便化され、しかも従来のようにワークに
対する電極の位置合わせ精度を高精度で実施する必要も
ない。更に、この電解加工法によれば転造による製造法
と異なり、返し等のバリも発生しないので後加工する必
要もなく加工工程も軽減され、製造コストも低減させる
ことができる。更にまた、動圧溝の対称性が、軸のコニ
カルモードによる回転によっても崩れないので、流体流
れを起こすことも無くなる。
軸受によれば、動圧溝の端部が、平面であるので、軸が
コニカルモードで回転しても軸受性能が低下することは
ない。また、回転時、軸が当接しても、動圧軸受として
の損傷も軽減される。また、この動圧軸受の製造方法
は、電解エッチング法によるが、動圧溝の対称性は、電
極によって決定されるので加工時のワークと電極の位置
合わせ精度が簡便化され、しかも従来のようにワークに
対する電極の位置合わせ精度を高精度で実施する必要も
ない。更に、この電解加工法によれば転造による製造法
と異なり、返し等のバリも発生しないので後加工する必
要もなく加工工程も軽減され、製造コストも低減させる
ことができる。更にまた、動圧溝の対称性が、軸のコニ
カルモードによる回転によっても崩れないので、流体流
れを起こすことも無くなる。
【図１】この発明の動圧軸受を構成するスリーブの一部
斜視図である。
斜視図である。
【図２】この発明の動圧軸受を構成するスリーブの軸方
向断面図である。
向断面図である。
【図３】この発明の動圧軸受を構成するスリーブ内周面
に動圧溝を設けるための前処理段階であるレジスト形成
のためのレジスト電着装置の構成を示す図である。
に動圧溝を設けるための前処理段階であるレジスト形成
のためのレジスト電着装置の構成を示す図である。
【図４】この発明の動圧軸受の製造方法を説明するため
の図であって、電解エッチングによる動圧溝の前処理加
工法である印刷やマスクにより動圧溝のパターンに絶縁
物質を塗布した状態のスリーブの断面図である。
の図であって、電解エッチングによる動圧溝の前処理加
工法である印刷やマスクにより動圧溝のパターンに絶縁
物質を塗布した状態のスリーブの断面図である。
【図５】この発明の動圧軸受の製造方法を説明するため
の図であって、絶縁物質を塗布した状態のスリーブにレ
ジストを電着した状態の断面図である。
の図であって、絶縁物質を塗布した状態のスリーブにレ
ジストを電着した状態の断面図である。
【図６】この発明の動圧軸受の製造方法を説明するため
の図であって、スリーブ内周面に塗布した絶縁物質を除
去して動圧溝のパターンを形成し、電解エッチング装置
に入れる前のスリーブの断面図である。
の図であって、スリーブ内周面に塗布した絶縁物質を除
去して動圧溝のパターンを形成し、電解エッチング装置
に入れる前のスリーブの断面図である。
【図７】動圧溝のエッチングパターンの形成されたスリ
ーブに電解エッチングを行う場合の電解エッチング装置
の構成を示す図である。
ーブに電解エッチングを行う場合の電解エッチング装置
の構成を示す図である。
【図８】この発明の動圧軸受を構成するスリーブの軸方
向断面図であって、動圧溝中心が少しずれた場合を示す
図である。
向断面図であって、動圧溝中心が少しずれた場合を示す
図である。
【図９】スピンドルモータに使用される従来の動圧軸受
の構成を示す図である。
の構成を示す図である。
【図１０】従来の動圧軸受を構成するスリーブの一部斜
視図である。
視図である。
【図１１】従来の動圧軸受を構成するスリーブの軸方向
断面図である。
断面図である。
【図１２】図１２（Ａ）は、従来の動圧軸受を構成する
スリーブの断面図であり、図１２（Ｂ）は、従来の動圧
軸受を構成するスリーブの断面図であって、動圧軸受部
を２箇所設ける場合の断面図である。
スリーブの断面図であり、図１２（Ｂ）は、従来の動圧
軸受を構成するスリーブの断面図であって、動圧軸受部
を２箇所設ける場合の断面図である。
１ スリーブ
１ａ 段部
１ｃ 段部の端部
２ 軸受部
３ 動圧溝
４ 電着液
５ 電着槽
８ 絶縁物質
９ 電着レジスト層
１０ 電解液
１１ 電解槽
Claims (2)
- 【請求項１】 スリーブの内周面にスリーブ内径より小
径の内周面で形成され、所定の幅を持つとともに、その
内周面に動圧溝を形成した軸受部を有する動圧軸受にお
いて、該軸受部の両端部に動圧溝の形成されていない内
周面があることを特徴とする動圧軸受。 - 【請求項２】 前記動圧溝は、電解エッチング加工によ
り形成されることを特徴とする動圧軸受の製造方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001290485A JP2003097543A (ja) | 2001-09-25 | 2001-09-25 | 動圧軸受及びその製造方法 |
| US10/252,381 US6779924B2 (en) | 2001-09-25 | 2002-09-24 | Dynamic pressure bearing and method of manufacturing the same |
| US10/882,283 US6904682B2 (en) | 2001-09-25 | 2004-07-02 | Dynamic pressure bearing and method of manufacturing the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001290485A JP2003097543A (ja) | 2001-09-25 | 2001-09-25 | 動圧軸受及びその製造方法 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2006281368A Division JP2007040536A (ja) | 2006-10-16 | 2006-10-16 | 動圧軸受およびその製造方法 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003097543A true JP2003097543A (ja) | 2003-04-03 |
Family
ID=19112784
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001290485A Pending JP2003097543A (ja) | 2001-09-25 | 2001-09-25 | 動圧軸受及びその製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US6779924B2 (ja) |
| JP (1) | JP2003097543A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| GB0124999D0 (en) * | 2001-10-18 | 2001-12-05 | Accentus Plc | Catalytic reactor |
| JP2006283971A (ja) * | 2005-03-11 | 2006-10-19 | Nippon Densan Corp | 流体動圧軸受およびこの流体動圧軸受を備えたスピンドルモータ |
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| US8363787B2 (en) * | 2009-03-25 | 2013-01-29 | General Electric Company | Interface for liquid metal bearing and method of making same |
| DE102009017700A1 (de) * | 2009-04-15 | 2010-10-21 | Minebea Co., Ltd. | Fluiddynamisches Lagersystem und Spindelmotor mit einem solchen Lagersystem |
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| JP2001200400A (ja) * | 2000-01-18 | 2001-07-24 | Seiko Instruments Inc | 微小溝加工方法及び流体動圧軸受の製造方法 |
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2001
- 2001-09-25 JP JP2001290485A patent/JP2003097543A/ja active Pending
-
2002
- 2002-09-24 US US10/252,381 patent/US6779924B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2004
- 2004-07-02 US US10/882,283 patent/US6904682B2/en not_active Expired - Fee Related
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|---|---|
| US6904682B2 (en) | 2005-06-14 |
| US6779924B2 (en) | 2004-08-24 |
| US20030059136A1 (en) | 2003-03-27 |
| US20040237307A1 (en) | 2004-12-02 |
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