JP2003066147A - 放射線検出装置、システム及びそれらに備えられるシンチレータパネル - Google Patents
放射線検出装置、システム及びそれらに備えられるシンチレータパネルInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 蛍光体が破損しないようにする。
【解決手段】 柱状の蛍光体の側面が互いに接続されて
なる蛍光体層１０４で発生した放射線に基づく光を光電
変換素子部１１２で電荷に変換し、当該電荷に基づいて
放射線を検出する放射線検出装置において、蛍光体層１
０４の中心から周辺に向けて蛍光体の柱径を太くする。
また、蛍光体層１０４の中心から周辺に向けて蛍光体の
丈を短くする。
なる蛍光体層１０４で発生した放射線に基づく光を光電
変換素子部１１２で電荷に変換し、当該電荷に基づいて
放射線を検出する放射線検出装置において、蛍光体層１
０４の中心から周辺に向けて蛍光体の柱径を太くする。
また、蛍光体層１０４の中心から周辺に向けて蛍光体の
丈を短くする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、放射線検出装置、
システム及びそれらに備えられるシンチレータパネルに
関し、特に、医療用診断装置、非破損検査装置などに用
いられる放射線検出装置、システム及びそれらに備えら
れるシンチレータパネルに関する。
システム及びそれらに備えられるシンチレータパネルに
関し、特に、医療用診断装置、非破損検査装置などに用
いられる放射線検出装置、システム及びそれらに備えら
れるシンチレータパネルに関する。
【０００２】なお、本明細書においては、放射線の範疇
に、Ｘ線、α線、β線、γ線などの電磁波も含むものと
して説明する。
に、Ｘ線、α線、β線、γ線などの電磁波も含むものと
して説明する。
【０００３】
【従来の技術】近年、医療機業界のデジタル化が加速し
ており、レントゲン撮影の方式もコンベンショナルなフ
ィルムスクリーン方式からＸ線デジタルラジオグラフィ
ー方式へのパラダイムシフトが進んでいる。
ており、レントゲン撮影の方式もコンベンショナルなフ
ィルムスクリーン方式からＸ線デジタルラジオグラフィ
ー方式へのパラダイムシフトが進んでいる。
【０００４】Ｘ線デジタルラジオグラフィー方式のレン
トゲン撮影用のＸ線検出装置には、アモルファスシリコ
ンなどを用いたフォトセンサー及びＴＦＴを有する光電
変換素子部を備えたセンサパネルと、柱状の蛍光体より
なる蛍光体層及び蛍光体層で発光した可視光をセンサパ
ネル側へ反射させる金属薄膜などの反射膜を備えたシン
チレータとを、透明な接着剤よりなる接着層によって接
着したものがある。
トゲン撮影用のＸ線検出装置には、アモルファスシリコ
ンなどを用いたフォトセンサー及びＴＦＴを有する光電
変換素子部を備えたセンサパネルと、柱状の蛍光体より
なる蛍光体層及び蛍光体層で発光した可視光をセンサパ
ネル側へ反射させる金属薄膜などの反射膜を備えたシン
チレータとを、透明な接着剤よりなる接着層によって接
着したものがある。
【０００５】このようなＸ線検出装置は、センサパネル
の素子構成やシンチレータの蛍光体材料の制約を受ける
ことなく、さまざまなものを用途に応じて組み合わせる
ことが可能である。
の素子構成やシンチレータの蛍光体材料の制約を受ける
ことなく、さまざまなものを用途に応じて組み合わせる
ことが可能である。
【０００６】ところで、シンチレータパネルとセンサパ
ネルとを、接着層によって接着するには、いくつかの手
法があるが、その１つに、シンチレータパネルとセンサ
パネルとの間に接着剤を塗布し、これらを対向させた状
態でシンチレータパネル上に押し当てたローラを回転さ
せることによって接着することがある。
ネルとを、接着層によって接着するには、いくつかの手
法があるが、その１つに、シンチレータパネルとセンサ
パネルとの間に接着剤を塗布し、これらを対向させた状
態でシンチレータパネル上に押し当てたローラを回転さ
せることによって接着することがある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の技術
は、ローラを押し当てることによって、蛍光体に荷重が
かかり、この一部が破損する場合があった。特に、ロー
ラ荷重が同じであっても、シンチレータパネルの周辺部
では、荷重の分散が端面で途切れるため、蛍光体の端面
近傍は必然的に中心部よりも大きな圧力がかかる。
は、ローラを押し当てることによって、蛍光体に荷重が
かかり、この一部が破損する場合があった。特に、ロー
ラ荷重が同じであっても、シンチレータパネルの周辺部
では、荷重の分散が端面で途切れるため、蛍光体の端面
近傍は必然的に中心部よりも大きな圧力がかかる。
【０００８】蛍光体が破損すると、蛍光体中で光が分散
し、撮像した画像がボケるので、これを防止することが
必要である。
し、撮像した画像がボケるので、これを防止することが
必要である。
【０００９】そこで、本発明は、製造段階で蛍光体が破
損しないようにすることを課題とする。
損しないようにすることを課題とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は、柱状の蛍光体の側面が互いに接続されて
なる蛍光体層で放射線に基づく光を発生し、当該光を光
電変換素子部で電荷に変換し、当該電荷に基づいて放射
線を検出する放射線検出装置において、前記蛍光体層の
中心から周辺に向けて蛍光体の柱径を太くすることを特
徴とする。
め、本発明は、柱状の蛍光体の側面が互いに接続されて
なる蛍光体層で放射線に基づく光を発生し、当該光を光
電変換素子部で電荷に変換し、当該電荷に基づいて放射
線を検出する放射線検出装置において、前記蛍光体層の
中心から周辺に向けて蛍光体の柱径を太くすることを特
徴とする。
【００１１】すなわち、本発明は、蛍光体層を備えるシ
ンチレータパネルと、光電変換素子部を備えるセンサパ
ネルとを、ローラを用いて貼り合わせる際に、蛍光体層
の周辺部の蛍光体に強度をもたせて破損しないようにし
ている。
ンチレータパネルと、光電変換素子部を備えるセンサパ
ネルとを、ローラを用いて貼り合わせる際に、蛍光体層
の周辺部の蛍光体に強度をもたせて破損しないようにし
ている。
【００１２】なお、蛍光体の柱径を太くすると、解像力
が落ちる傾向にあるので、解像力が要求される分野に用
いる際には、周辺部の蛍光体の丈を短くすればよい。
が落ちる傾向にあるので、解像力が要求される分野に用
いる際には、周辺部の蛍光体の丈を短くすればよい。
【００１３】また、本発明の放射線検出システムは、放
射線検出装置を備えることを特徴とする。
射線検出装置を備えることを特徴とする。
【００１４】さらに、本発明のシンチレータパネルは、
放射線検出装置に用いられる蛍光体層を備えることを特
徴とする。
放射線検出装置に用いられる蛍光体層を備えることを特
徴とする。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
図面を用いて説明する。
図面を用いて説明する。
【００１６】（実施形態１）図１は、本発明の実施形態
１の放射線検出装置の模式的な断面図である。図１にお
いて、１３０はシンチレータで、ＣｓＩからなる柱状結
晶化した蛍光体の側面が互いに接続されており放射線に
基づく光を発生するアルカリハライド蛍光体層１０４
と、アルカリハライド蛍光体層１０４を支持するための
アモルファスカーボン等よりなる基材１０１と、アルカ
リハライド蛍光体層１０４で変換された光を後述するセ
ンサパネル１００側へ反射するアルミニウム薄膜よりな
る反射層１０３と、基材１０１と反射層１０３との間に
形成されたポリイミドなどからなる絶縁保護層１０２
と、アルカリハライド蛍光体層１０４等を外気から保護
する有機樹脂よりなる保護層１０５とを備えている。
１の放射線検出装置の模式的な断面図である。図１にお
いて、１３０はシンチレータで、ＣｓＩからなる柱状結
晶化した蛍光体の側面が互いに接続されており放射線に
基づく光を発生するアルカリハライド蛍光体層１０４
と、アルカリハライド蛍光体層１０４を支持するための
アモルファスカーボン等よりなる基材１０１と、アルカ
リハライド蛍光体層１０４で変換された光を後述するセ
ンサパネル１００側へ反射するアルミニウム薄膜よりな
る反射層１０３と、基材１０１と反射層１０３との間に
形成されたポリイミドなどからなる絶縁保護層１０２
と、アルカリハライド蛍光体層１０４等を外気から保護
する有機樹脂よりなる保護層１０５とを備えている。
【００１７】また、図１において、１１０はセンサパネ
ルであり、ガラス基板１１１と、アモルファスシリコン
を用いたフォトセンサー及びＴＦＴからなる光電変換素
子部１１２と、光電変換素子部１１２で変換された電気
信号を伝送する配線部１１３と、配線部１１３を伝送さ
れた電気信号を外部に取り出す電極取り出し部１１４
と、窒化シリコン等よりなる第一の保護層１１５と、ポ
リイミド等よりなる第二の保護層１１６とを備えてい
る。
ルであり、ガラス基板１１１と、アモルファスシリコン
を用いたフォトセンサー及びＴＦＴからなる光電変換素
子部１１２と、光電変換素子部１１２で変換された電気
信号を伝送する配線部１１３と、配線部１１３を伝送さ
れた電気信号を外部に取り出す電極取り出し部１１４
と、窒化シリコン等よりなる第一の保護層１１５と、ポ
リイミド等よりなる第二の保護層１１６とを備えてい
る。
【００１８】センサパネル１００とシンチレータ１１０
とは、接着剤１２１により貼り合わされ、その周囲を封
止材１２２によって封止されている。
とは、接着剤１２１により貼り合わされ、その周囲を封
止材１２２によって封止されている。
【００１９】なお、光電変換素子部１１２は、アルカリ
ハライド蛍光体層１０４からの可視光を検知できるもの
であればよく、センサーとしてはアモルファスシリコン
などからなるＭＩＳ型のものやＰＩＮ型のもの、スイッ
チとしては、ＴＦＴやＰＩＮ型ダイオードスイッチのも
のでもよい。更にはＣＭＯＳセンサーやＣＣＤ撮像素子
を用いてもかまわない。この場合、ガラス基板１１１に
代えてクリスタルシリコンを用いることになる。
ハライド蛍光体層１０４からの可視光を検知できるもの
であればよく、センサーとしてはアモルファスシリコン
などからなるＭＩＳ型のものやＰＩＮ型のもの、スイッ
チとしては、ＴＦＴやＰＩＮ型ダイオードスイッチのも
のでもよい。更にはＣＭＯＳセンサーやＣＣＤ撮像素子
を用いてもかまわない。この場合、ガラス基板１１１に
代えてクリスタルシリコンを用いることになる。
【００２０】なお、図１に示す放射線検出装置を用途に
応じて複数枚タイリングしてもよい。さらに、シンチレ
ータパネル１３０は、図１の上から、基材１０１、絶縁
層１０２、反射層１０３、アルカリハライド蛍光体層１
０４の順になるように積層している場合を例に図示して
いるが、反射層１０３、絶縁層１０２、基材１０１、ア
ルカリハライド蛍光体層１０４の順になるように積層し
てもよい。図２は、図１のシンチレータ１３０をセンサ
パネル１１０に貼り合わせている時の断面図である。図
２には、シンチレータパネル１３０とセンサパネル１１
０との間に接着剤１２１を塗布し、これらを対向させた
状態でシンチレータパネル１３０上に押し当てたローラ
１３１を回転させることによって接着する様子を示して
いる。
応じて複数枚タイリングしてもよい。さらに、シンチレ
ータパネル１３０は、図１の上から、基材１０１、絶縁
層１０２、反射層１０３、アルカリハライド蛍光体層１
０４の順になるように積層している場合を例に図示して
いるが、反射層１０３、絶縁層１０２、基材１０１、ア
ルカリハライド蛍光体層１０４の順になるように積層し
てもよい。図２は、図１のシンチレータ１３０をセンサ
パネル１１０に貼り合わせている時の断面図である。図
２には、シンチレータパネル１３０とセンサパネル１１
０との間に接着剤１２１を塗布し、これらを対向させた
状態でシンチレータパネル１３０上に押し当てたローラ
１３１を回転させることによって接着する様子を示して
いる。
【００２１】ここで、本実施形態では、図１，図２に示
すように、柱状結晶化したアルカリハライド蛍光体層１
０４の蛍光体は、中心から周辺に向けて太く結晶化して
いる。
すように、柱状結晶化したアルカリハライド蛍光体層１
０４の蛍光体は、中心から周辺に向けて太く結晶化して
いる。
【００２２】これは、シンチレータパネル１３０上でロ
ーラ１３１を回転させたときに、アルカリハライド蛍光
体層１０４では、中心よりも周辺で大きな圧力がかかる
ので、この圧力によってアルカリハライド蛍光体層１０
４の周辺の蛍光体が破損されるのを防止するためであ
る。
ーラ１３１を回転させたときに、アルカリハライド蛍光
体層１０４では、中心よりも周辺で大きな圧力がかかる
ので、この圧力によってアルカリハライド蛍光体層１０
４の周辺の蛍光体が破損されるのを防止するためであ
る。
【００２３】さらに、アルカリハライド蛍光体層１０４
は、中心から周辺に向けて蛍光体の丈を短くし、上面が
例えばドーム状になるようにしている。このことについ
て以下説明する。
は、中心から周辺に向けて蛍光体の丈を短くし、上面が
例えばドーム状になるようにしている。このことについ
て以下説明する。
【００２４】図５は、蛍光体の柱径と解像力（contrast
transfer function：ＣＴＦ）との関係を示す図であ
る。図５では、横軸に柱径、縦軸に解像力を示してい
る。図５に示す通り、蛍光体の柱径が太くなるほど解像
力は低下する。
transfer function：ＣＴＦ）との関係を示す図であ
る。図５では、横軸に柱径、縦軸に解像力を示してい
る。図５に示す通り、蛍光体の柱径が太くなるほど解像
力は低下する。
【００２５】ここで、柱径とは、後述するレーザー顕微
鏡の表面形状測定モードでの測定によって得られた蛍光
体層１０４の上面からの画像に仮想的な直線を描いて、
その直線と各蛍光体の側面との交点を出し、隣あう交点
の距離の平均としている。
鏡の表面形状測定モードでの測定によって得られた蛍光
体層１０４の上面からの画像に仮想的な直線を描いて、
その直線と各蛍光体の側面との交点を出し、隣あう交点
の距離の平均としている。
【００２６】また、蛍光体の柱径が同じ場合には、蛍光
体の丈が長いほど解像力が向上する。
体の丈が長いほど解像力が向上する。
【００２７】図６は、蛍光体の丈と輝度との関係を示す
図である。図６では、横軸に柱の丈、縦軸に輝度を示し
ている。図６に示す通り、蛍光体の丈が長くなるほど輝
度は高まる。
図である。図６では、横軸に柱の丈、縦軸に輝度を示し
ている。図６に示す通り、蛍光体の丈が長くなるほど輝
度は高まる。
【００２８】また、蛍光体の丈が同じ場合には、蛍光体
の柱径が太いほど輝度が向上する。
の柱径が太いほど輝度が向上する。
【００２９】なお、輝度は、蛍光体の丈がほぼ６００μ
ｍで飽和するので、それ以上の高さでは逆に輝度は減少
していくと考えられる。
ｍで飽和するので、それ以上の高さでは逆に輝度は減少
していくと考えられる。
【００３０】このような事情を考慮すると、蛍光体は、
柱径が３μｍ〜１５μｍ、丈が３００μｍ〜６００μｍ
で、光電変換素子部の大きさや基材１０１の大きさ等に
応じて決定するとよい。
柱径が３μｍ〜１５μｍ、丈が３００μｍ〜６００μｍ
で、光電変換素子部の大きさや基材１０１の大きさ等に
応じて決定するとよい。
【００３１】ちなみに、図５，図６に示すデータは、ア
ルカリハライド蛍光体蒸着後レーザー顕微鏡（キーエン
ス製ＶＫ−８５００）で表面上に生じた段差を測定し、
柱の境界形状を確認する方法で行った。丈の測定は段差
部を設け、レーザー顕微鏡（キーエンス製）で測定する
ことで行った。
ルカリハライド蛍光体蒸着後レーザー顕微鏡（キーエン
ス製ＶＫ−８５００）で表面上に生じた段差を測定し、
柱の境界形状を確認する方法で行った。丈の測定は段差
部を設け、レーザー顕微鏡（キーエンス製）で測定する
ことで行った。
【００３２】つぎに、アルカリハライド蛍光体層１０４
を形成する手法について説明する。
を形成する手法について説明する。
【００３３】図７は、アルカリハライド蛍光体層１０４
を形成するための蒸着装置の模式的な断面図である。図
７において、４０１は真空チャンバー、４０２は基材１
０１を加熱するためのヒーターで、複数が束になってい
る。更にこのヒーター４０２の束は、外側ほど密になっ
ている。４０３は熱反射板で、ヒーター４０２からの熱
を基材１０１側に反射させるためのものである。４０４
は基材１０１を支えるためのホルダー、４０５は回転
軸、４０６はモーターで基材１０１等を回転させるもの
である。
を形成するための蒸着装置の模式的な断面図である。図
７において、４０１は真空チャンバー、４０２は基材１
０１を加熱するためのヒーターで、複数が束になってい
る。更にこのヒーター４０２の束は、外側ほど密になっ
ている。４０３は熱反射板で、ヒーター４０２からの熱
を基材１０１側に反射させるためのものである。４０４
は基材１０１を支えるためのホルダー、４０５は回転
軸、４０６はモーターで基材１０１等を回転させるもの
である。
【００３４】また、４０７はアルカリハライド蛍光体原
料、４０８はアルカリハライド蛍光体原料４０７を加熱
蒸発させるための加熱ボートで上下横方向にシフトが可
能になっている。４０９は排気管で図示しないポンプに
つながっており、真空チャンバー４０１の内部全体を真
空にしているものである。
料、４０８はアルカリハライド蛍光体原料４０７を加熱
蒸発させるための加熱ボートで上下横方向にシフトが可
能になっている。４０９は排気管で図示しないポンプに
つながっており、真空チャンバー４０１の内部全体を真
空にしているものである。
【００３５】加熱ボート４０８を加熱していくと、加熱
ボート４０８内のアルカリハライド蛍光体原料４０７は
溶けて蒸発を始め、基材１０１に蒸着されていく。
ボート４０８内のアルカリハライド蛍光体原料４０７は
溶けて蒸発を始め、基材１０１に蒸着されていく。
【００３６】さらに、Ｔｌなどをドーピングする場合は
ハロゲン化した材料を図示しない別の加熱ボートに入れ
て、独立で蒸発をさせればよい。アルカリハライド蛍光
体、特にＣｓＩは、基材１０１の温度が高くなるほど柱
径が大きくなる傾向にある。また、材料は蒸発源、つま
り加熱ボート４０８から空間に３次元的に蒸発していく
ため、蒸発源から近いほど厚くなる。
ハロゲン化した材料を図示しない別の加熱ボートに入れ
て、独立で蒸発をさせればよい。アルカリハライド蛍光
体、特にＣｓＩは、基材１０１の温度が高くなるほど柱
径が大きくなる傾向にある。また、材料は蒸発源、つま
り加熱ボート４０８から空間に３次元的に蒸発していく
ため、蒸発源から近いほど厚くなる。
【００３７】ここでは、ヒーター４０２が外側に密集し
ており、基材１０１は外側ほど熱くなる傾向にあるた
め、蒸着を行えば、外側に向かって柱径が太くなる。
ており、基材１０１は外側ほど熱くなる傾向にあるた
め、蒸着を行えば、外側に向かって柱径が太くなる。
【００３８】さらに、ヒーター４０２を複数のブロック
に分けて独立制御すれば柱径の微妙なコントロールも可
能となる。加熱ボート４０８は基本的に基材１０１の中
心部にセットされるため、蒸着すれば基材１０１の中心
に蒸着されるアルカリハライド蛍光体は厚くなる。
に分けて独立制御すれば柱径の微妙なコントロールも可
能となる。加熱ボート４０８は基本的に基材１０１の中
心部にセットされるため、蒸着すれば基材１０１の中心
に蒸着されるアルカリハライド蛍光体は厚くなる。
【００３９】さらに、加熱ボート４０８を上下及び基材
１０１の中心部から外側にシフトさせれば、基材１０１
を回転させたときに、膜厚分布を微妙にコントロールす
ることも可能となる。
１０１の中心部から外側にシフトさせれば、基材１０１
を回転させたときに、膜厚分布を微妙にコントロールす
ることも可能となる。
【００４０】ここでいう、アルカリハライド蛍光体は、
Ｔｌ、ＮａをドープしたＣｓＩ、ＮａＩ、ＣｓＢｒなど
をいう。
Ｔｌ、ＮａをドープしたＣｓＩ、ＮａＩ、ＣｓＢｒなど
をいう。
【００４１】ちなみに、基材１０１等は、アルカリハラ
イド蛍光体層１０４の上面の形状に沿って湾曲するよう
になるが、基材１０１の大きさを、□４５０としたとき
に、アルカリハライド蛍光体層１０４の柱径は中心でほ
ぼ６μｍ、端部でほぼ９μｍ、アルカリハライド蛍光体
層１０４の中心の丈をほぼ５５０μｍ、端部の丈を５０
０μｍとなるようにドーム状にすれば、輝度の分布はほ
ぼフラット、解像力は１．５ｌｐで１０％以内に抑える
ことができる。
イド蛍光体層１０４の上面の形状に沿って湾曲するよう
になるが、基材１０１の大きさを、□４５０としたとき
に、アルカリハライド蛍光体層１０４の柱径は中心でほ
ぼ６μｍ、端部でほぼ９μｍ、アルカリハライド蛍光体
層１０４の中心の丈をほぼ５５０μｍ、端部の丈を５０
０μｍとなるようにドーム状にすれば、輝度の分布はほ
ぼフラット、解像力は１．５ｌｐで１０％以内に抑える
ことができる。
【００４２】（実施形態２）図３は、本発明の実施形態
２の放射線検出装置の模式的な断面図である。なお、図
３において、図１で示した部分と同様の部分には同一符
号を付している。
２の放射線検出装置の模式的な断面図である。なお、図
３において、図１で示した部分と同様の部分には同一符
号を付している。
【００４３】図３に示す放射線検出装置は、図１の基材
１０１の下面形状をアルカリハライド蛍光体層１０４の
上面形状に合わせて、ローラ１３１の回転面である基材
１０１の上面が、フラットになるようにしている。な
お、基材１０１にはアルミニウムを用いている。
１０１の下面形状をアルカリハライド蛍光体層１０４の
上面形状に合わせて、ローラ１３１の回転面である基材
１０１の上面が、フラットになるようにしている。な
お、基材１０１にはアルミニウムを用いている。
【００４４】このように、ローラ１３１の回転面がフラ
ットであれば、アルカリハライド蛍光体層１０４の柱径
や高さは、実施形態１で説明したような数値に限定され
ず、ローラ１３１の回転の際にシンチレータパネル１３
０側にかかる応力等に応じたものとすることができる。
ットであれば、アルカリハライド蛍光体層１０４の柱径
や高さは、実施形態１で説明したような数値に限定され
ず、ローラ１３１の回転の際にシンチレータパネル１３
０側にかかる応力等に応じたものとすることができる。
【００４５】（実施形態３）図４は、本発明の実施形態
３の放射線検出装置の構成図である。図４において、１
０６は反射層１０３を水分から保護するための保護用の
フィルム、１２３は保護用フィルム１０６を反射層１０
３と接着する接着層である。なお、図４において、図１
で示した部分と同様の部分には同一符号を付している。
３の放射線検出装置の構成図である。図４において、１
０６は反射層１０３を水分から保護するための保護用の
フィルム、１２３は保護用フィルム１０６を反射層１０
３と接着する接着層である。なお、図４において、図１
で示した部分と同様の部分には同一符号を付している。
【００４６】本実施形態では、アルカリハライド蛍光体
層１０４を、直接センサパネル１１０に蒸着しており、
センサパネル１１０との光学カップリングの際のストレ
スをかけないようにしている。
層１０４を、直接センサパネル１１０に蒸着しており、
センサパネル１１０との光学カップリングの際のストレ
スをかけないようにしている。
【００４７】ところで、保護フィルム１０６は、例えば
図２のように、ローラ１３１を用いて反射層１０３に接
着している。この場合にも、アルカリハライド蛍光体層
１０４を、図１等に示すようにすることで、破損防止を
している。
図２のように、ローラ１３１を用いて反射層１０３に接
着している。この場合にも、アルカリハライド蛍光体層
１０４を、図１等に示すようにすることで、破損防止を
している。
【００４８】（実施形態４）図８は、本発明の実施形態
４の放射線検出システムの模式的な構成図である。Ｘ線
チューブ６０５０で発生したＸ線６０６０は患者あるい
は被験者６０６１の胸部６０６２を透過し、実施形態１
〜３のいずれかで説明した放射線検出装置６０４０に入
射する。
４の放射線検出システムの模式的な構成図である。Ｘ線
チューブ６０５０で発生したＸ線６０６０は患者あるい
は被験者６０６１の胸部６０６２を透過し、実施形態１
〜３のいずれかで説明した放射線検出装置６０４０に入
射する。
【００４９】この入射したＸ線には患者６０６１の体内
部の情報が含まれている。Ｘ線の入射に対応して蛍光体
は発光し、これを光電変換して電気的情報を得る。この
情報は、ディジタルに変換されイメージプロセッサ６０
７０により画像処理され制御室のディスプレイ６０８０
で観察できる。
部の情報が含まれている。Ｘ線の入射に対応して蛍光体
は発光し、これを光電変換して電気的情報を得る。この
情報は、ディジタルに変換されイメージプロセッサ６０
７０により画像処理され制御室のディスプレイ６０８０
で観察できる。
【００５０】また、この情報は電話回線６０９０等の伝
送手段により遠隔地へ転送でき、別の場所のドクタール
ームなどディスプレイ６０８１に表示もしくは光ディス
ク等の保存手段に保存することができ、遠隔地の医師が
診断することも可能である。またフィルムプロセッサ６
１００によりフィルム６１１０に記録することもでき
る。
送手段により遠隔地へ転送でき、別の場所のドクタール
ームなどディスプレイ６０８１に表示もしくは光ディス
ク等の保存手段に保存することができ、遠隔地の医師が
診断することも可能である。またフィルムプロセッサ６
１００によりフィルム６１１０に記録することもでき
る。
【００５１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
蛍光体に強度をもたせたので、製造段階で蛍光体が破損
しないようになり、ボケのない画像を得ることができ
る。
蛍光体に強度をもたせたので、製造段階で蛍光体が破損
しないようになり、ボケのない画像を得ることができ
る。
【図１】本発明の実施形態１の放射線検出装置の模式的
な断面図である。
な断面図である。
【図２】図１のシンチレータ１３０をセンサパネル１１
０に貼り合わせている時の断面図である。
０に貼り合わせている時の断面図である。
【図３】本発明の実施形態２の放射線検出装置の模式的
な断面図である。
な断面図である。
【図４】本発明の実施形態３の放射線検出装置の構成図
である
である
【図５】蛍光体の柱径と解像力（contrast transfer fu
nction：ＣＴＦ）との関係を示す図である。
nction：ＣＴＦ）との関係を示す図である。
【図６】蛍光体の丈と輝度との関係を示す図である。
【図７】アルカリハライド蛍光体層１０４を形成するた
めの蒸着装置の模式的な断面図である。
めの蒸着装置の模式的な断面図である。
【図８】本発明の実施形態４の放射線検出システムの模
式的な構成図である。
式的な構成図である。
１０１ 基材
１０２ 絶縁保護層
１０３ 反射層
１０４ アルカリハライド蛍光体層
１０５ 保護層
１０６ フィルム
１１１ ガラス基板
１１２ 光電変換素子部
１１３ 配線部
１１４ 電極取り出し部
１１５ 第一の保護層
１１６ 第二の保護層
１２１ 接着層
１２２ 封止部
１１０ センサパネル
１３０ シンチレータ
４０１ 真空チャンバー
４０２ ヒーター
４０３ 熱反射板
４０４ ホルダー
４０５ 回転軸
４０６ モーター
４０７ アルカリハライド蛍光体原料
４０８ 加熱ボート
４０９ 排気管
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考）
Ｃ０９Ｋ 11/61 ＣＰＦ Ｃ０９Ｋ 11/61 ＣＰＦ
Ｈ０１Ｌ 27/14 Ｈ０４Ｎ 5/321
31/09 Ｈ０１Ｌ 31/00 Ａ
Ｈ０４Ｎ 5/321 27/14 Ｋ
Ｄ
(72)発明者 小川 善広
東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ
ノン株式会社内
Ｆターム(参考） 2G088 EE01 FF02 GG10 GG16 GG19
GG20 JJ05 JJ09 JJ37
4H001 CA04 CA08 XA53 XA55
4M118 AA08 AA10 AB01 BA04 BA05
BA10 BA14 CA32 CB06 CB11
FB09 FB13 GA10 GD14 HA20
HA21
5C024 AX12 CX37 GX02
5F088 BB03 BB07 EA04 HA15 LA08
Claims (7)
- 【請求項１】 柱状の蛍光体の側面が互いに接続されて
なる蛍光体層で放射線に基づく光を発生し、当該光を光
電変換素子部で電荷に変換し、当該電荷に基づいて放射
線を検出する放射線検出装置において、 前記蛍光体層の中心から周辺に向けて蛍光体の柱径を太
くすることを特徴とする放射線検出装置。 - 【請求項２】 さらに、前記蛍光体層の中心から周辺に
向けて蛍光体の丈を短くすることを特徴とする請求項１
記載の放射線検出装置。 - 【請求項３】 前記蛍光体層と前記光電変換素子部と
は、これらの間に接着剤を塗布し、いずれか一方の側に
押し当てたローラを回転させることによって加圧接着さ
れていることを特徴とする請求項１又は２記載の放射線
検出装置。 - 【請求項４】 前記蛍光体層の放射線入射面側には、当
該蛍光体層を支持する基材が備えられており、この基材
の放射線入射面が平坦になるように蛍光体層側の面を前
記蛍光体の丈に応じた形状にすることを特徴とする請求
項２又は３記載の放射線検出装置。 - 【請求項５】 前記蛍光体は、アルカリハライド蛍光体
であることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項
記載の放射線検出装置。 - 【請求項６】 請求項１から５のいずれか１項記載の放
射線検出装置を備えることを特徴とする放射線検出シス
テム。 - 【請求項７】 請求項１から５のいずれか１項記載の放
射線検出装置に用いられる蛍光体層を備えることを特徴
とするシンチレータパネル。
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| US11/008,950 US6974955B2 (en) | 2001-08-27 | 2004-12-13 | Radiation detection device and system, and scintillator panel provided to the same |
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- 2002-08-26 CN CNB02142070XA patent/CN1207575C/zh not_active Expired - Fee Related
-
2004
- 2004-12-13 US US11/008,950 patent/US6974955B2/en not_active Expired - Fee Related
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