JP2003066076A - 電子部品の電気特性測定方法および電気特性測定装置 - Google Patents
電子部品の電気特性測定方法および電気特性測定装置Info
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- JP2003066076A JP2003066076A JP2001257652A JP2001257652A JP2003066076A JP 2003066076 A JP2003066076 A JP 2003066076A JP 2001257652 A JP2001257652 A JP 2001257652A JP 2001257652 A JP2001257652 A JP 2001257652A JP 2003066076 A JP2003066076 A JP 2003066076A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】中継伝送路の接続部位に生じる反射を抑制して
測定精度を高める。 【解決手段】中継伝送路５の伝送路長Ｌにより、測定対
象電子部品１１の電気特性のうち前記中継伝送路５にお
ける反射係数や伝達係数が変動することに着目して、中
継伝送路５の伝送路長Ｌを測定対象電子部品１１の反射
係数が可及的に極小値に近づく、もしくは伝達係数が可
及的に極大値に近づく長さに設定したうえで、この中継
伝送路５を介して測定対象電子部品５を測定器３に接続
してその電気特性を測定する。
測定精度を高める。 【解決手段】中継伝送路５の伝送路長Ｌにより、測定対
象電子部品１１の電気特性のうち前記中継伝送路５にお
ける反射係数や伝達係数が変動することに着目して、中
継伝送路５の伝送路長Ｌを測定対象電子部品１１の反射
係数が可及的に極小値に近づく、もしくは伝達係数が可
及的に極大値に近づく長さに設定したうえで、この中継
伝送路５を介して測定対象電子部品５を測定器３に接続
してその電気特性を測定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、測定対象電子部品
を、中継伝送路を介して測定器に接続したうえで、信号
伝送時における前記測定対象電子部品の電気特性を前記
測定器によって測定する方法および装置に関する。
を、中継伝送路を介して測定器に接続したうえで、信号
伝送時における前記測定対象電子部品の電気特性を前記
測定器によって測定する方法および装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】主として高周波域の信号に対して各種処
理を行う電子部品（例えば、フィルタやアイソレータ）
においては、反射係数・伝達係数といった電気特性が所
定の規格を満たしているか否かの保証が製造主に求めら
れる。
理を行う電子部品（例えば、フィルタやアイソレータ）
においては、反射係数・伝達係数といった電気特性が所
定の規格を満たしているか否かの保証が製造主に求めら
れる。
【０００３】このような電気特性の測定は、例えば、ネ
ットワークアナライザ等の測定器を有する測定装置によ
り実施される。測定装置においては、測定対象電子部品
と測定装置とを同軸ケーブルによって接続するのが好ま
しい。しかしながら、表面実装型の電子部品等において
は、同軸ケーブルに直接接続することができない。そこ
で、測定装置の接続ポートに同軸ケーブルを接続したう
えで、さらに同軸ケーブルと測定対象電子部品との間
を、例えばマイクロストリップラインのような中継伝送
路を用いて中継することが行われる。
ットワークアナライザ等の測定器を有する測定装置によ
り実施される。測定装置においては、測定対象電子部品
と測定装置とを同軸ケーブルによって接続するのが好ま
しい。しかしながら、表面実装型の電子部品等において
は、同軸ケーブルに直接接続することができない。そこ
で、測定装置の接続ポートに同軸ケーブルを接続したう
えで、さらに同軸ケーブルと測定対象電子部品との間
を、例えばマイクロストリップラインのような中継伝送
路を用いて中継することが行われる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の電気特性測定装
置においては、中継伝送路を構成するマイクロストリッ
プライン等の特性インピーダンスの調整が問題となる。
同軸ケーブルは、その特性インピーダンスを精度高く調
整することが可能であり、測定装置との間のインピーダ
ンス整合を精度高く図ることができる。これに対して、
マイクロストリップライン等の中継伝送路はその特性イ
ンピーダンスを精度高く調整することが不可能であり、
そのために中継伝送路と同軸ケーブルとの間にインピー
ダンスの不整合を生じさせてしまうのは避けられない。
そうすると、中継伝送路と同軸ケーブルとの接続部位に
予期せぬ信号の反射が生じて測定精度を低下させてしま
ううえに、測定装置のダイナミックレンジを狭小化して
しまう。ダイナミックレンジの狭小化は、ノイズ等に起
因する偶然誤差を拡大させてしまうため、これも測定精
度を低下させる要因になる。
置においては、中継伝送路を構成するマイクロストリッ
プライン等の特性インピーダンスの調整が問題となる。
同軸ケーブルは、その特性インピーダンスを精度高く調
整することが可能であり、測定装置との間のインピーダ
ンス整合を精度高く図ることができる。これに対して、
マイクロストリップライン等の中継伝送路はその特性イ
ンピーダンスを精度高く調整することが不可能であり、
そのために中継伝送路と同軸ケーブルとの間にインピー
ダンスの不整合を生じさせてしまうのは避けられない。
そうすると、中継伝送路と同軸ケーブルとの接続部位に
予期せぬ信号の反射が生じて測定精度を低下させてしま
ううえに、測定装置のダイナミックレンジを狭小化して
しまう。ダイナミックレンジの狭小化は、ノイズ等に起
因する偶然誤差を拡大させてしまうため、これも測定精
度を低下させる要因になる。
【０００５】測定精度の低下を抑えるためにはＴＲＬ補
正等の補正を実施して中継伝送路で生じる系統的誤差を
除去することも考えられる。しかしながら、この補正方
法であっても、インピーダンス不整合に起因する反射を
抑制するものではなく、反射に起因する上記ダイナミッ
クレンジの狭小化を抑制することができない。
正等の補正を実施して中継伝送路で生じる系統的誤差を
除去することも考えられる。しかしながら、この補正方
法であっても、インピーダンス不整合に起因する反射を
抑制するものではなく、反射に起因する上記ダイナミッ
クレンジの狭小化を抑制することができない。
【０００６】したがって、本発明の主たる目的は、中継
伝送路の接続部位に生じる反射を抑制して測定精度を高
めることである。
伝送路の接続部位に生じる反射を抑制して測定精度を高
めることである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上述した目的を達成する
ためには、本発明においては、測定対象電子部品を、中
継伝送路を介して測定器に接続したうえで、信号伝送時
における前記測定対象電子部品の電気特性を前記測定器
によって測定する方法や装置において、前記中継伝送路
の伝送路長により前記電気特性のうち前記中継伝送路に
おける反射係数や伝達係数が変動することに着目して、
前記中継伝送路の伝送路長を前記反射係数が可及的に極
小値に近づく、もしくは前記伝達係数が可及的に極大値
に近づく長さに設定したうえで、この中継伝送路を介し
て前記測定対象電子部品を前記測定器に接続してその電
気特性を測定する、ことに特徴を有している。
ためには、本発明においては、測定対象電子部品を、中
継伝送路を介して測定器に接続したうえで、信号伝送時
における前記測定対象電子部品の電気特性を前記測定器
によって測定する方法や装置において、前記中継伝送路
の伝送路長により前記電気特性のうち前記中継伝送路に
おける反射係数や伝達係数が変動することに着目して、
前記中継伝送路の伝送路長を前記反射係数が可及的に極
小値に近づく、もしくは前記伝達係数が可及的に極大値
に近づく長さに設定したうえで、この中継伝送路を介し
て前記測定対象電子部品を前記測定器に接続してその電
気特性を測定する、ことに特徴を有している。
【０００８】以上説明した本発明の構成によれば、次の
作用が得られる。すなわち、中継伝送路と測定対象電子
部品との間の接続部位、ないしは中継伝送路と測定器と
の間の接続部位（中継伝送路と測定器との間に同軸ケー
ブルが介在する場合は同軸ケーブルと中継伝送路との間
の接続部位）において、インピーダンスの不整合に起因
する信号の反射が生じると、測定される測定対象電子部
品の電気特性は生じた反射量に応じて増減する。
作用が得られる。すなわち、中継伝送路と測定対象電子
部品との間の接続部位、ないしは中継伝送路と測定器と
の間の接続部位（中継伝送路と測定器との間に同軸ケー
ブルが介在する場合は同軸ケーブルと中継伝送路との間
の接続部位）において、インピーダンスの不整合に起因
する信号の反射が生じると、測定される測定対象電子部
品の電気特性は生じた反射量に応じて増減する。
【０００９】これに対して、測定対象電子部品の電気特
性を測定する場合においては、電気特性のうち前記中継
伝送路における反射係数や伝達係数の測定値は、信号周
波数により変動し、所定の周波数においてその値が極小
値や極大値となる。そこで、理論上、前記反射係数が極
小値を示す、もしくは前記伝達係数が極大値を示すと考
えられる周波数信号を測定対象電子部品に入力した場合
において、前記反射係数の測定値が可及的に極小値に近
づく、もしくは前記伝達係数の測定値が可及的に極大値
を近づくように、中継伝送路の伝送路長を設定すれば、
電気特性に対する中継伝送路における反射の影響を最も
小さくすることができる。
性を測定する場合においては、電気特性のうち前記中継
伝送路における反射係数や伝達係数の測定値は、信号周
波数により変動し、所定の周波数においてその値が極小
値や極大値となる。そこで、理論上、前記反射係数が極
小値を示す、もしくは前記伝達係数が極大値を示すと考
えられる周波数信号を測定対象電子部品に入力した場合
において、前記反射係数の測定値が可及的に極小値に近
づく、もしくは前記伝達係数の測定値が可及的に極大値
を近づくように、中継伝送路の伝送路長を設定すれば、
電気特性に対する中継伝送路における反射の影響を最も
小さくすることができる。
【００１０】このことに着目して、本発明では、中継伝
送路の伝送路長を、中継伝送路における反射係数が可及
的に極小値に近づく、もしくは伝達係数が可及的に極大
値に近づく長さに設定することで、中継伝送路の接続部
位に発生する反射の影響を最小限に抑えて測定精度を向
上させた。
送路の伝送路長を、中継伝送路における反射係数が可及
的に極小値に近づく、もしくは伝達係数が可及的に極大
値に近づく長さに設定することで、中継伝送路の接続部
位に発生する反射の影響を最小限に抑えて測定精度を向
上させた。
【００１１】なお、数１００ＭＨｚ〜数１０ＧＨｚ程度
の高周波信号伝送時における前記測定対象電子部品の電
気特性を測定する場合においては、反射の影響が多大な
ものとなる。そのため、数１００ＭＨｚ〜数１０ＧＨｚ
程度の高周波信号伝送時における前記測定対象電子部品
の電気特性を測定する方法ないし装置において本発明を
実施すれば、その作用効果はこのうえなく大きなものと
なる。
の高周波信号伝送時における前記測定対象電子部品の電
気特性を測定する場合においては、反射の影響が多大な
ものとなる。そのため、数１００ＭＨｚ〜数１０ＧＨｚ
程度の高周波信号伝送時における前記測定対象電子部品
の電気特性を測定する方法ないし装置において本発明を
実施すれば、その作用効果はこのうえなく大きなものと
なる。
【００１２】また、本発明において最適となる中継伝送
路の伝送路長の具体的な算定方法としては、次のような
ものがある。すなわち、前記中継伝送路の伝送路長をＬ
とし、前記信号の中心周波数をｆとし、光速をｃとする
と、 （ｎ−０．２５）ｃ／２ｆ ＜ Ｌ ＜(ｎ＋０．２５)ｃ
／２ｆ (ｎ：自然数) の式を満たす範囲に、前記中継伝送路の伝送路長を設定
すればよい。
路の伝送路長の具体的な算定方法としては、次のような
ものがある。すなわち、前記中継伝送路の伝送路長をＬ
とし、前記信号の中心周波数をｆとし、光速をｃとする
と、 （ｎ−０．２５）ｃ／２ｆ ＜ Ｌ ＜(ｎ＋０．２５)ｃ
／２ｆ (ｎ：自然数) の式を満たす範囲に、前記中継伝送路の伝送路長を設定
すればよい。
【００１３】さらには、伝送路長におけるこのような範
囲の中でも、前記中継伝送路の伝送路長Ｌを、 Ｌ＝（ｎｃ）／（２ｆ） の式を満たす長さに設定するのが最も反射の影響を排除
することができる。
囲の中でも、前記中継伝送路の伝送路長Ｌを、 Ｌ＝（ｎｃ）／（２ｆ） の式を満たす長さに設定するのが最も反射の影響を排除
することができる。
【００１４】また、本発明において、互いに異なる周波
数を有する複数の信号を伝送した際における前記測定対
象電子部品の電気特性を測定する場合には、前記複数の
信号の中心周波数の公約数となる周波数を、前記複数の
信号全体の中心周波数とみなすのが好ましい。
数を有する複数の信号を伝送した際における前記測定対
象電子部品の電気特性を測定する場合には、前記複数の
信号の中心周波数の公約数となる周波数を、前記複数の
信号全体の中心周波数とみなすのが好ましい。
【００１５】そうすれば、周波数の異なる複数の信号を
印加した際における測定対象電子部品の電気特性を一度
に測定しても、反射の影響を最小限に抑えることができ
る。
印加した際における測定対象電子部品の電気特性を一度
に測定しても、反射の影響を最小限に抑えることができ
る。
【００１６】また、本発明において、前記信号の周波数
帯域が狭帯域でない場合には、次のようにするのが好ま
しい。すなわち、前記信号の周波数帯域を複数の周波数
域に分割したうえで、各周波数域それぞれに対応して前
記中継伝送路を複数設け、これら中継伝送路の伝送路長
を、対応する周波数域の信号を当該中継伝送路を介して
前記電子部品に伝送した際における前記反射係数が可及
的に最小値に近づく、もしくは前記伝達係数が可及的に
最大値に近づく長さに設定し、前記測定対象電子部品を
各中継伝送路を介して順次前記測定器に接続しながら、
各周波数域ごとの電気特性を測定する。
帯域が狭帯域でない場合には、次のようにするのが好ま
しい。すなわち、前記信号の周波数帯域を複数の周波数
域に分割したうえで、各周波数域それぞれに対応して前
記中継伝送路を複数設け、これら中継伝送路の伝送路長
を、対応する周波数域の信号を当該中継伝送路を介して
前記電子部品に伝送した際における前記反射係数が可及
的に最小値に近づく、もしくは前記伝達係数が可及的に
最大値に近づく長さに設定し、前記測定対象電子部品を
各中継伝送路を介して順次前記測定器に接続しながら、
各周波数域ごとの電気特性を測定する。
【００１７】そうすれば、互いに異なる周波数を有する
複数の信号を伝送した際における前記測定対象電子部品
の電気特性を測定する場合であっても、反射の影響を最
小限に排除した状態で電気特性を測定することができ
る。
複数の信号を伝送した際における前記測定対象電子部品
の電気特性を測定する場合であっても、反射の影響を最
小限に排除した状態で電気特性を測定することができ
る。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、本発明を、実施の形態を参
照してさらに詳細に説明する。
照してさらに詳細に説明する。
【００１９】本実施形態では、表面実装型の電子部品
（例えばＳＡＷフィルタ）を測定対象電子部品１１とし
て、この電子部品１１の電気特性をネットワークアナラ
イザを有する測定装置１を用いて測定する測定方法にお
いて本発明を実施している。
（例えばＳＡＷフィルタ）を測定対象電子部品１１とし
て、この電子部品１１の電気特性をネットワークアナラ
イザを有する測定装置１を用いて測定する測定方法にお
いて本発明を実施している。
【００２０】図１は本実施形態の測定装置１の構成を示
す平面図であり、図２は中継伝送路５の構成を示す平面
図であり、図３は測定対象電子部品１１の構成を示す裏
面図である。
す平面図であり、図２は中継伝送路５の構成を示す平面
図であり、図３は測定対象電子部品１１の構成を示す裏
面図である。
【００２１】測定装置１は、図１に示すように、ネット
ワークアナライザ３と、同軸ケーブル４Ａ、４Ｂと、中
継伝送路５とを備えている。
ワークアナライザ３と、同軸ケーブル４Ａ、４Ｂと、中
継伝送路５とを備えている。
【００２２】ネットワークアナライザ３は、高周波に用
いられる電子部品の電気特性を測定する測定器の一例で
あって、２ポートの入出力部（ポート１、ポート２）を
有しており、これらのポート１、２それぞれに同軸ケー
ブル４Ａ、４Ｂが接続されている。同軸ケーブル４Ａ、
４Ｂの遊端には、同軸ケーブルコネクタ６が設けられて
いる。
いられる電子部品の電気特性を測定する測定器の一例で
あって、２ポートの入出力部（ポート１、ポート２）を
有しており、これらのポート１、２それぞれに同軸ケー
ブル４Ａ、４Ｂが接続されている。同軸ケーブル４Ａ、
４Ｂの遊端には、同軸ケーブルコネクタ６が設けられて
いる。
【００２３】中継伝送路５は、マイクロストリップライ
ンの形状を有しており、図２に示すように、絶縁基板７
と、接続用配線部８と、同軸コネクタ９Ａ、９Ｂとを備
えている。接続用配線部８は、絶縁基板７の基板表面７
ａに形成されており、信号伝送路８ａ、８ｂと、接地線
路８ｃ〜８ｆとを備えている。信号伝送路８ａ、８ｂ
は、絶縁基板７の基板表面７ａにおいて、基板両端それ
ぞれから基板中央に向かって延出配置されており、その
延出端部それぞれは、基板表面７ａの中央部において所
定の離間間隔を空けて対向配置されている。このように
構成されることで、信号伝送路８ａ、８ｂは、それぞれ
伝送路長Ｌ(通常は、同一の伝送路長に設定されている)
を有して、絶縁基板７上に設けられている。
ンの形状を有しており、図２に示すように、絶縁基板７
と、接続用配線部８と、同軸コネクタ９Ａ、９Ｂとを備
えている。接続用配線部８は、絶縁基板７の基板表面７
ａに形成されており、信号伝送路８ａ、８ｂと、接地線
路８ｃ〜８ｆとを備えている。信号伝送路８ａ、８ｂ
は、絶縁基板７の基板表面７ａにおいて、基板両端それ
ぞれから基板中央に向かって延出配置されており、その
延出端部それぞれは、基板表面７ａの中央部において所
定の離間間隔を空けて対向配置されている。このように
構成されることで、信号伝送路８ａ、８ｂは、それぞれ
伝送路長Ｌ(通常は、同一の伝送路長に設定されている)
を有して、絶縁基板７上に設けられている。
【００２４】接地線路８ｃ〜８ｆは、基板表面７ａの中
央部において、信号伝送路８ａ、８ｂの両側それぞれに
設けられている。伝送路８ａ側に位置する線路８ｃ、８
ｄと、伝送路８ｂ側に位置する伝送路８ｅ、８ｆとは、
基板表面７ａの中央部において所定の離間間隔（信号伝
送路８ａ、８ｂと同等）を空けて対向配置されている。
央部において、信号伝送路８ａ、８ｂの両側それぞれに
設けられている。伝送路８ａ側に位置する線路８ｃ、８
ｄと、伝送路８ｂ側に位置する伝送路８ｅ、８ｆとは、
基板表面７ａの中央部において所定の離間間隔（信号伝
送路８ａ、８ｂと同等）を空けて対向配置されている。
【００２５】信号伝送路８ａ、８ｂは、基板端部におい
て、同軸コネクタ９Ａ、９Ｂの内部導体コンタクト（図
示省略）に接続されている。接地線路８ｃ〜８ｆは、ス
ルーホール接続部１０を介して基板裏面のグランドパタ
ーン（図示省略）に接続されており、さらには、グラン
ドパターンを介して、同軸コネクタ９Ａ、９Ｂの外部導
体コンタクト（図示省略）に接続されている。
て、同軸コネクタ９Ａ、９Ｂの内部導体コンタクト（図
示省略）に接続されている。接地線路８ｃ〜８ｆは、ス
ルーホール接続部１０を介して基板裏面のグランドパタ
ーン（図示省略）に接続されており、さらには、グラン
ドパターンを介して、同軸コネクタ９Ａ、９Ｂの外部導
体コンタクト（図示省略）に接続されている。
【００２６】測定対象電子部品１１においては、図３に
示すように、その裏面１１ａに、伝送路端子１２ａ、１
２ｂと、接地端子１２ｃ〜１２ｆとを備えている。そし
て、測定対象電子部品１１の裏面１１ａを中継伝送路５
の基板表面７ａに当接させることで、伝送路端子１２
ａ、１２ｂ、接地端子１２ｃ〜１２ｆを、信号伝送路８
ａ、８ｂ、接地線路８ｃ〜８ｆに圧着させており、これ
により測定対象電子部品１１を中継伝送路５に測定実装
するようになっている。
示すように、その裏面１１ａに、伝送路端子１２ａ、１
２ｂと、接地端子１２ｃ〜１２ｆとを備えている。そし
て、測定対象電子部品１１の裏面１１ａを中継伝送路５
の基板表面７ａに当接させることで、伝送路端子１２
ａ、１２ｂ、接地端子１２ｃ〜１２ｆを、信号伝送路８
ａ、８ｂ、接地線路８ｃ〜８ｆに圧着させており、これ
により測定対象電子部品１１を中継伝送路５に測定実装
するようになっている。
【００２７】本実施形態では、測定装置１内において測
定対象電子部品１１との間の接続部位以外で反射が生じ
る箇所として、中継伝送路５に着目する。まず、中継伝
送路５と同軸ケーブル４Ａ、４Ｂとの間の接続部位にお
いて生じる反射を図４を参照して詳細に説明する。な
お、図４においては、中継伝送路５の特性インピーダン
スをＺ1とし、同軸ケーブル４Ａ、４Ｂと測定対象電子部
品１１の特性インピーダンスとをＺ0として、両者が等
しくない（Ｚ1≠Ｚ0）としている。
定対象電子部品１１との間の接続部位以外で反射が生じ
る箇所として、中継伝送路５に着目する。まず、中継伝
送路５と同軸ケーブル４Ａ、４Ｂとの間の接続部位にお
いて生じる反射を図４を参照して詳細に説明する。な
お、図４においては、中継伝送路５の特性インピーダン
スをＺ1とし、同軸ケーブル４Ａ、４Ｂと測定対象電子部
品１１の特性インピーダンスとをＺ0として、両者が等
しくない（Ｚ1≠Ｚ0）としている。
【００２８】また、図４においては、同軸ケーブル４Ａ
から中継伝送路５(信号伝送路８ａ)を介して測定対象電
子部品１１に向かう信号線路における電磁波の伝達反射
形態を示しているが、測定対象電子部品１１から中継伝
送路５(信号伝送路８ｂ)を介して同軸ケーブル４Ｂに向
かう信号線路においても同様の反射が生じるのはいうま
でもない。
から中継伝送路５(信号伝送路８ａ)を介して測定対象電
子部品１１に向かう信号線路における電磁波の伝達反射
形態を示しているが、測定対象電子部品１１から中継伝
送路５(信号伝送路８ｂ)を介して同軸ケーブル４Ｂに向
かう信号線路においても同様の反射が生じるのはいうま
でもない。
【００２９】図４に戻って説明する。ネットワークアナ
ライザ３のポート１から同軸ケーブル４Ａを介して中継
伝送路５(信号伝送路８ａ)に向かう電磁波ａ10は同軸ケ
ーブル４Ａと信号伝送路８ａとの境界（接続部位）にお
いて一部が反射成分（ｂ10）として反射するものの、そ
の多くは伝達成分（ｃ10）として信号伝送路８ａに入射
する。信号伝送路８ａに入射した伝達成分（ｃ10）は伝
送路長（電気長）Ｌの信号伝送路８ａを通過する間にω
だけ位相が回転している。また、強度はｄ倍に減衰す
る、つまり、信号伝送路８ａによる電磁波の損失はｄで
ある。
ライザ３のポート１から同軸ケーブル４Ａを介して中継
伝送路５(信号伝送路８ａ)に向かう電磁波ａ10は同軸ケ
ーブル４Ａと信号伝送路８ａとの境界（接続部位）にお
いて一部が反射成分（ｂ10）として反射するものの、そ
の多くは伝達成分（ｃ10）として信号伝送路８ａに入射
する。信号伝送路８ａに入射した伝達成分（ｃ10）は伝
送路長（電気長）Ｌの信号伝送路８ａを通過する間にω
だけ位相が回転している。また、強度はｄ倍に減衰す
る、つまり、信号伝送路８ａによる電磁波の損失はｄで
ある。
【００３０】このような伝達形態において回転位相ω
は、 ω＝２πｆＬ1／ｃ ｃ：光速 ｆ：信号周波数 という式により求めることができる。
は、 ω＝２πｆＬ1／ｃ ｃ：光速 ｆ：信号周波数 という式により求めることができる。
【００３１】信号伝送路８ａと測定対象電子部品１１と
の境界（接続部位）に到達した伝達成分ｃ10は、この境
界において再びその一部が反射成分ｃ20として反射した
うえで、伝達成分ｂ20として測定対象電子部品１１に入
射する。反射成分ｃ20は再び信号伝送路８ａに入射して
伝送路長（電気長）Ｌの信号伝送路８ａを通過する間に
ω（ω＝２πｆＬ1／ｃ）だけ位相が回転し、強度はｄ
倍に減衰する。この状態で反射成分ｃ20は、同軸ケーブ
ル４Ａと信号伝送路８ａとの間の境界に到達し、ここ
で、同軸ケーブル４Ａへ入射する伝達成分ｂ11と信号伝
送路８ａへ反射する反射成分ｃ11に分散する。
の境界（接続部位）に到達した伝達成分ｃ10は、この境
界において再びその一部が反射成分ｃ20として反射した
うえで、伝達成分ｂ20として測定対象電子部品１１に入
射する。反射成分ｃ20は再び信号伝送路８ａに入射して
伝送路長（電気長）Ｌの信号伝送路８ａを通過する間に
ω（ω＝２πｆＬ1／ｃ）だけ位相が回転し、強度はｄ
倍に減衰する。この状態で反射成分ｃ20は、同軸ケーブ
ル４Ａと信号伝送路８ａとの間の境界に到達し、ここ
で、同軸ケーブル４Ａへ入射する伝達成分ｂ11と信号伝
送路８ａへ反射する反射成分ｃ11に分散する。
【００３２】このように、電磁波は、同軸ケーブル４
Ａ、４Ｂと中継伝送路５との間の境界（接続部位）にお
ける反射（ｃ10、ｃ11、ｃ12、…）および伝達（ｂ10、
ｂ11、ｂ 12、…）と、中継伝送路５と測定対象電子部品１
１との間の境界（接続部位）における反射（ｃ20、
ｃ21、…）および伝達（ｂ20、ｂ21、…）とを無限に繰
り返し、その結果として、電磁波に重畳しているノイズ
は拡大してしまう。
Ａ、４Ｂと中継伝送路５との間の境界（接続部位）にお
ける反射（ｃ10、ｃ11、ｃ12、…）および伝達（ｂ10、
ｂ11、ｂ 12、…）と、中継伝送路５と測定対象電子部品１
１との間の境界（接続部位）における反射（ｃ20、
ｃ21、…）および伝達（ｂ20、ｂ21、…）とを無限に繰
り返し、その結果として、電磁波に重畳しているノイズ
は拡大してしまう。
【００３３】以上説明した電磁波の伝送形態において、
同軸ケーブル４Ａから中継伝送路５（信号伝送路８ａ）
に電磁波が進入する際の反射係数Γ1は、 Γ1＝（Ｚ1−Ｚ0）／（Ｚ1＋Ｚ0） という式により求めることができる。
同軸ケーブル４Ａから中継伝送路５（信号伝送路８ａ）
に電磁波が進入する際の反射係数Γ1は、 Γ1＝（Ｚ1−Ｚ0）／（Ｚ1＋Ｚ0） という式により求めることができる。
【００３４】同様に、中継伝送路５（信号伝送路８ａ）
から測定対象電子部品１１や同軸ケーブル４Ａに電磁波
が進入する際の反射係数Γ2は、 Γ2＝（Ｚ0−Ｚ1）／（Ｚ0＋Ｚ1） という式により求めることができる。
から測定対象電子部品１１や同軸ケーブル４Ａに電磁波
が進入する際の反射係数Γ2は、 Γ2＝（Ｚ0−Ｚ1）／（Ｚ0＋Ｚ1） という式により求めることができる。
【００３５】ここで、同軸ケーブル４Ａを介して中継伝
送路５に向かう電磁波ａ10を１とすると、中継伝送路５
の反射係数ｂ1と、伝達係数ｂ2とは、 ｂ1＝ｂ10＋ｂ11＋ｂ12＋… ｂ2＝ｂ20＋ｂ21＋… という式により求めることができる。
送路５に向かう電磁波ａ10を１とすると、中継伝送路５
の反射係数ｂ1と、伝達係数ｂ2とは、 ｂ1＝ｂ10＋ｂ11＋ｂ12＋… ｂ2＝ｂ20＋ｂ21＋… という式により求めることができる。
【００３６】反射成分ｂ10、11、12、…は、それぞれ、上
記式 Γ1＝（Ｚ1−Ｚ0）／（Ｚ1＋Ｚ0）により求めるこ
とができる。同様に、伝達成分ｂ20、21、…は、上記式
Γ2＝（Ｚ0−Ｚ1）／（Ｚ0＋Ｚ1）により求めることが
できる。したがって、中継伝送路５の反射係数ｂ1と、
伝達係数ｂ2とは、 ｂ1＝Γ1＋{[Γ2(１−Γ1)(１−Γ2)ｄ2ｅj2ω]／[(１
−Γ2 2)ｄ2ｅj2ω]} ｂ2＝[(１−Γ1)(１−Γ2）ｄｅjω]／[１−Γ2 2ｄ2ｅ
j2ω] Ｅ：自然対数の底（≒２．７１８２８…） ｊ：虚数単位［√（−１）］ という式により求めることができる。
記式 Γ1＝（Ｚ1−Ｚ0）／（Ｚ1＋Ｚ0）により求めるこ
とができる。同様に、伝達成分ｂ20、21、…は、上記式
Γ2＝（Ｚ0−Ｚ1）／（Ｚ0＋Ｚ1）により求めることが
できる。したがって、中継伝送路５の反射係数ｂ1と、
伝達係数ｂ2とは、 ｂ1＝Γ1＋{[Γ2(１−Γ1)(１−Γ2)ｄ2ｅj2ω]／[(１
−Γ2 2)ｄ2ｅj2ω]} ｂ2＝[(１−Γ1)(１−Γ2）ｄｅjω]／[１−Γ2 2ｄ2ｅ
j2ω] Ｅ：自然対数の底（≒２．７１８２８…） ｊ：虚数単位［√（−１）］ という式により求めることができる。
【００３７】これらの式を基にして、中継伝送路５の反
射係数ｂ1や伝達係数ｂ2がどのように変化するかを測定
した結果を、図５に示す。図５では、その例として、反
射係数ｂ1を測定した結果を示している。また、図５で
は、Γ1＝０．０５、Γ2＝０．０５、Ｌ＝０．３ｍ、ｄ
＝０．９とした場合の反射係数ｂ1の変化を測定してい
る。
射係数ｂ1や伝達係数ｂ2がどのように変化するかを測定
した結果を、図５に示す。図５では、その例として、反
射係数ｂ1を測定した結果を示している。また、図５で
は、Γ1＝０．０５、Γ2＝０．０５、Ｌ＝０．３ｍ、ｄ
＝０．９とした場合の反射係数ｂ1の変化を測定してい
る。
【００３８】図５により明らかなように、反射係数ｂ1
は、周波数の変化に伴って、周期的に極小点（請求項に
おける極小値に相当する）を形成していることがわかる
(この測定例では、５００ＭＨｚ、１．０ＧＨｚ、１．
５ＧＨｚ、２．０ＧＨｚ)。このことは、反対に、伝達
係数ｂ2においては、周波数の変化に伴って、周期的に
極大点（＝極大値）を形成していることを示している。
は、周波数の変化に伴って、周期的に極小点（請求項に
おける極小値に相当する）を形成していることがわかる
(この測定例では、５００ＭＨｚ、１．０ＧＨｚ、１．
５ＧＨｚ、２．０ＧＨｚ)。このことは、反対に、伝達
係数ｂ2においては、周波数の変化に伴って、周期的に
極大点（＝極大値）を形成していることを示している。
【００３９】このような中継伝送路５における反射係数
ｂ1の極小点(伝達係数ｂ2の極大点)においては、中継伝
送路５と測定対象電子部品１１との間で生じる不要な反
射が最小となってノイズの拡大が少なくなる結果、測定
対象電子部品１１が有する固有の反射係数や伝達係数
を、精度高く測定することが可能となる。
ｂ1の極小点(伝達係数ｂ2の極大点)においては、中継伝
送路５と測定対象電子部品１１との間で生じる不要な反
射が最小となってノイズの拡大が少なくなる結果、測定
対象電子部品１１が有する固有の反射係数や伝達係数
を、精度高く測定することが可能となる。
【００４０】反射係数ｂ1の極小点(伝達係数ｂ2の極大
点)周波数は、次のようにして算出することができる。
すなわち、前述した反射係数ｂ1、伝達係数ｂ2の算定式 ｂ1＝Γ1＋{[Γ2(１−Γ1)(１−Γ2)ｄ2ｅj2ω]／[(１
−Γ2 2)ｄ2ｅj2ω]}、 ｂ2＝[(１−Γ1)(１−Γ2）ｄｅjω]／[１−Γ2 2ｄ2ｅ
j2ω]において、 ｂ1＝０、ｂ2＝１を代入することで求めることができ、
具体的には、 ｆ＝（ｎｃ）／（２Ｌ） ｎ：自然数 となる。
点)周波数は、次のようにして算出することができる。
すなわち、前述した反射係数ｂ1、伝達係数ｂ2の算定式 ｂ1＝Γ1＋{[Γ2(１−Γ1)(１−Γ2)ｄ2ｅj2ω]／[(１
−Γ2 2)ｄ2ｅj2ω]}、 ｂ2＝[(１−Γ1)(１−Γ2）ｄｅjω]／[１−Γ2 2ｄ2ｅ
j2ω]において、 ｂ1＝０、ｂ2＝１を代入することで求めることができ、
具体的には、 ｆ＝（ｎｃ）／（２Ｌ） ｎ：自然数 となる。
【００４１】この式において、中継伝送路５(具体的に
は信号伝送路８ａ、８ｂ)の伝送路長Ｌに着目して変形
すると、 Ｌ＝（ｎｃ）／（２ｆ） となり、この式は、伝送信号の周波数ｆを固定した場合
において、中継伝送路５の反射係数ｂ1が極小点(伝達係
数ｂ2が極大点)となる伝送路長Ｌを算出する式を示して
いる。なお、この最適伝送路長算定式においては、ｎ＝
０とすることも可能であるが、その場合には、中継伝送
路５の伝送路長が実質ゼロとなり、現実には不可能とな
る。したがって、ｎは上述したごとく自然数となる。
は信号伝送路８ａ、８ｂ)の伝送路長Ｌに着目して変形
すると、 Ｌ＝（ｎｃ）／（２ｆ） となり、この式は、伝送信号の周波数ｆを固定した場合
において、中継伝送路５の反射係数ｂ1が極小点(伝達係
数ｂ2が極大点)となる伝送路長Ｌを算出する式を示して
いる。なお、この最適伝送路長算定式においては、ｎ＝
０とすることも可能であるが、その場合には、中継伝送
路５の伝送路長が実質ゼロとなり、現実には不可能とな
る。したがって、ｎは上述したごとく自然数となる。
【００４２】伝送路長の計算を具体的にいえば、次のよ
うになる。すなわち、例えば、１ＧＨｚの信号伝播を考
えた場合には、Ｌ＝（ｎｃ）／（２ｆ）＝ｎ×０．１５
となる。つまり、（１５×ｎ）ｃｍの信号伝送路８ａ、
８ｂを有する中継伝送路５を用いれば、１ＧＨｚの信号
を処理する場合における測定対象電子部品１１の電気特
性（反射係数、伝達係数）を測定装置１によって精度高
く測定することが可能となる。
うになる。すなわち、例えば、１ＧＨｚの信号伝播を考
えた場合には、Ｌ＝（ｎｃ）／（２ｆ）＝ｎ×０．１５
となる。つまり、（１５×ｎ）ｃｍの信号伝送路８ａ、
８ｂを有する中継伝送路５を用いれば、１ＧＨｚの信号
を処理する場合における測定対象電子部品１１の電気特
性（反射係数、伝達係数）を測定装置１によって精度高
く測定することが可能となる。
【００４３】なお、伝送路長（１５×ｎ）ｃｍにおいて
は、１５、３０、４０ｃｍ等、種々の長さが設定可能で
あるが、長い伝送路長を設定した場合には、損失が大き
くなるうえ製作しにくく、かつ取り扱いが不自由になる
ので、出来る限り、短寸の伝送路長、好ましくは、最小
長さ（１５ｃｍ）を設定するのがよい。
は、１５、３０、４０ｃｍ等、種々の長さが設定可能で
あるが、長い伝送路長を設定した場合には、損失が大き
くなるうえ製作しにくく、かつ取り扱いが不自由になる
ので、出来る限り、短寸の伝送路長、好ましくは、最小
長さ（１５ｃｍ）を設定するのがよい。
【００４４】具体的な伝送路長の設定方法を図６を参照
して説明する。図６において、点線は、任意の測定対象
電子部品１１1が有する反射係数の特性を示しており、
実線は、反射係数（一方の同軸ケーブルと中継伝送路と
の間の接続面における反射係数）０．０５、損失ｄ＝
０．０５を有し、さらには信号伝送路８ａ、８ｂの伝送
路長Ｌを０．１５ｍ（＝１５ｃｍ）とした中継伝送路５
1が有する反射係数ｂ1の特性を示している。
して説明する。図６において、点線は、任意の測定対象
電子部品１１1が有する反射係数の特性を示しており、
実線は、反射係数（一方の同軸ケーブルと中継伝送路と
の間の接続面における反射係数）０．０５、損失ｄ＝
０．０５を有し、さらには信号伝送路８ａ、８ｂの伝送
路長Ｌを０．１５ｍ（＝１５ｃｍ）とした中継伝送路５
1が有する反射係数ｂ1の特性を示している。
【００４５】このデータによれば、この測定対象電子部
品１１1は、１．０ＧＨｚ付近において、反射係数が極
小点を有しており、そのため、逆に１．０ＧＨｚ付近の
信号をこの測定対象電子部品１１1に入力した際におけ
る反射係数を測定する場合には、測定結果におけるＳＮ
比が低くなって思うような測定精度が得られなくなる。
品１１1は、１．０ＧＨｚ付近において、反射係数が極
小点を有しており、そのため、逆に１．０ＧＨｚ付近の
信号をこの測定対象電子部品１１1に入力した際におけ
る反射係数を測定する場合には、測定結果におけるＳＮ
比が低くなって思うような測定精度が得られなくなる。
【００４６】これに対して、中継伝送路５1は、伝送路
長Ｌを１５ｃｍとすることにより、その反射係数ｂ
1は、１．０ＧＨｚ付近において極小点を形成してい
る。そのため、測定対象電子部品１１1における１．０
ＧＨｚ付近での反射係数を、中継伝送路５1を用いて測
定すれば、ノイズの拡大を最小限に抑制することが可能
となり、これによりＳＮ比の高い高精度の測定を実施す
ることができる。
長Ｌを１５ｃｍとすることにより、その反射係数ｂ
1は、１．０ＧＨｚ付近において極小点を形成してい
る。そのため、測定対象電子部品１１1における１．０
ＧＨｚ付近での反射係数を、中継伝送路５1を用いて測
定すれば、ノイズの拡大を最小限に抑制することが可能
となり、これによりＳＮ比の高い高精度の測定を実施す
ることができる。
【００４７】以上のように、本実施形態によれば、測定
対象電子部品１１における反射が小さくなる波長領域に
おいて、ノイズの影響を最小限に抑えることが可能とな
り、測定精度が上昇するうえに、所望する測定精度を得
るために必要な測定時間を短縮化することができて生産
性が向上する。以下、その理由を説明する。
対象電子部品１１における反射が小さくなる波長領域に
おいて、ノイズの影響を最小限に抑えることが可能とな
り、測定精度が上昇するうえに、所望する測定精度を得
るために必要な測定時間を短縮化することができて生産
性が向上する。以下、その理由を説明する。
【００４８】上述した実施形態によれば、ノイズの影響
を最小限に抑制することができるので、ノイズの影響を
低減するために従前から行っていた測定値の平均化処理
の回数を減らすことが可能となるうえに、測定操作にお
ける中間周波数帯域幅（一つの測定値を算出するのに要
する測定実施時間幅）を狭くすることなく所望の測定精
度を得ることができるようになる。これにより、単位時
間当たりの測定可能回数が増加して生産性が向上する。
を最小限に抑制することができるので、ノイズの影響を
低減するために従前から行っていた測定値の平均化処理
の回数を減らすことが可能となるうえに、測定操作にお
ける中間周波数帯域幅（一つの測定値を算出するのに要
する測定実施時間幅）を狭くすることなく所望の測定精
度を得ることができるようになる。これにより、単位時
間当たりの測定可能回数が増加して生産性が向上する。
【００４９】なお、中継伝送路５1を用いて、１．０Ｇ
Ｈｚ以外の波長域における測定対象電子部品１１1の反
射係数等の電気特性を測定する場合には特に問題なく実
施することができる。それは、１．０ＧＨｚ以外の波長
域において測定対象電子部品１１1は、反射係数が比較
的大きな値をとるため、中継伝送路５1の特性によりノ
イズが拡大したとしても、ＳＮ比はさほど低くならずに
精度の高い測定を実施することができるためである。
Ｈｚ以外の波長域における測定対象電子部品１１1の反
射係数等の電気特性を測定する場合には特に問題なく実
施することができる。それは、１．０ＧＨｚ以外の波長
域において測定対象電子部品１１1は、反射係数が比較
的大きな値をとるため、中継伝送路５1の特性によりノ
イズが拡大したとしても、ＳＮ比はさほど低くならずに
精度の高い測定を実施することができるためである。
【００５０】上述した実施の形態では、
Ｌ＝（ｎｃ）／（２ｆ）
という算定式により反射係数ｂ1が極小点(伝達係数ｂ2
が極大点)となる中継伝送路５の伝送路長Ｌを設定し
た。しかしながら、本発明においては、少なくとも、反
射係数ｂ1を小さく設定する(伝達係数ｂ2を大きく設定
する)ことができれば、その効果である測定対象電子部
品１１における反射が小さくなる波長領域におけるノイ
ズの影響の抑制を得ることができる。その点からみて、
中継伝送路５の伝送路長Ｌは、 (ｎ−０．２５)ｃ／２ｆ ＜ Ｌ ＜(ｎ＋０．２５)ｃ／
２ｆ (ｎ：自然数) の式を満たす範囲に設定すればよい。このような範囲に
伝送路長Ｌを設定することができる理由は次の通りであ
る。すなわち、伝送路長Ｌの変化により周期的に変動す
る反射係数ｂ1や伝達係数ｂ2の反復周期のうち、反射係
数ｂ1の極小点（伝達係数ｂ2の極大点）を中心として、
１／４周期内に反射係数ｂ1や伝達係数ｂ2が収まる状態
であれば、少なくとも上述したノイズの影響の抑制効果
を得ることができるためである。
が極大点)となる中継伝送路５の伝送路長Ｌを設定し
た。しかしながら、本発明においては、少なくとも、反
射係数ｂ1を小さく設定する(伝達係数ｂ2を大きく設定
する)ことができれば、その効果である測定対象電子部
品１１における反射が小さくなる波長領域におけるノイ
ズの影響の抑制を得ることができる。その点からみて、
中継伝送路５の伝送路長Ｌは、 (ｎ−０．２５)ｃ／２ｆ ＜ Ｌ ＜(ｎ＋０．２５)ｃ／
２ｆ (ｎ：自然数) の式を満たす範囲に設定すればよい。このような範囲に
伝送路長Ｌを設定することができる理由は次の通りであ
る。すなわち、伝送路長Ｌの変化により周期的に変動す
る反射係数ｂ1や伝達係数ｂ2の反復周期のうち、反射係
数ｂ1の極小点（伝達係数ｂ2の極大点）を中心として、
１／４周期内に反射係数ｂ1や伝達係数ｂ2が収まる状態
であれば、少なくとも上述したノイズの影響の抑制効果
を得ることができるためである。
【００５１】上述した実施の形態で説明したように、ｆ
＝（ｎｃ）／（２Ｌ）の条件を満たす周波数において、
中継伝送路５での反射が極小点（伝達が極大点）とな
る。この反射極小点（伝達極大点）は波長変化に対して
周期的に反復形成され、上記式においてはｎ＝１、２、
３、４、…、をそれぞれ代入した際に反射極小点（伝達
極大点）が形成される。そのため、伝送路長Ｌを最適に
設定すれば、次のことが実現できる。
＝（ｎｃ）／（２Ｌ）の条件を満たす周波数において、
中継伝送路５での反射が極小点（伝達が極大点）とな
る。この反射極小点（伝達極大点）は波長変化に対して
周期的に反復形成され、上記式においてはｎ＝１、２、
３、４、…、をそれぞれ代入した際に反射極小点（伝達
極大点）が形成される。そのため、伝送路長Ｌを最適に
設定すれば、次のことが実現できる。
【００５２】すなわち、互いに異なる周波数ｆ１、ｆ
２、…を有する複数の信号を、中継伝送路５を介して測
定対象電子部品１１に入力する際において、各信号に対
する中継伝送路５の反射係数ｂ1(f1)、ｂ1(f2)、…（伝
達係数ｂ2(f1)、ｂ2(f2)、…）を共々に極小値（極大
値）とすることができる。具体的には、次のようにして
伝送路Ｌを設定すればよい。
２、…を有する複数の信号を、中継伝送路５を介して測
定対象電子部品１１に入力する際において、各信号に対
する中継伝送路５の反射係数ｂ1(f1)、ｂ1(f2)、…（伝
達係数ｂ2(f1)、ｂ2(f2)、…）を共々に極小値（極大
値）とすることができる。具体的には、次のようにして
伝送路Ｌを設定すればよい。
【００５３】すなわち、周波数ｆ１、ｆ２、…の公約数
となる周波数を周波数ｆαとした場合に、 Ｌα＝（ｎｃ）／（２ｆα） を満たすように、中継伝送路５の伝送路長Ｌαを設定す
れば、各信号に対して中継伝送路５で生じる反射係数ｂ
1(f1)、ｂ1(f2)、…（伝達係数ｂ2(f1)、ｂ2(f2)、…）
を共々に極小点（極大点）とすることができる。具体的
な伝送路長Ｌの設定方法を図７を参照して説明する。図
７において、点線は、任意の測定対象電子部品１１2が
有する反射係数の特性を示しており、実線は、反射係数
（一方の同軸ケーブルと中継伝送路との間の接続面にお
ける反射係数）０．０５、損失ｄ＝０．０５を有し、さ
らには信号伝送路８ａ、８ｂの伝送路長Ｌを０．３０ｍ
（＝３０ｃｍ）とした中継伝送路５2が有する反射係数
ｂ1の特性を示している。
となる周波数を周波数ｆαとした場合に、 Ｌα＝（ｎｃ）／（２ｆα） を満たすように、中継伝送路５の伝送路長Ｌαを設定す
れば、各信号に対して中継伝送路５で生じる反射係数ｂ
1(f1)、ｂ1(f2)、…（伝達係数ｂ2(f1)、ｂ2(f2)、…）
を共々に極小点（極大点）とすることができる。具体的
な伝送路長Ｌの設定方法を図７を参照して説明する。図
７において、点線は、任意の測定対象電子部品１１2が
有する反射係数の特性を示しており、実線は、反射係数
（一方の同軸ケーブルと中継伝送路との間の接続面にお
ける反射係数）０．０５、損失ｄ＝０．０５を有し、さ
らには信号伝送路８ａ、８ｂの伝送路長Ｌを０．３０ｍ
（＝３０ｃｍ）とした中継伝送路５2が有する反射係数
ｂ1の特性を示している。
【００５４】このデータによれば、この測定対象電子部
品１１2は、５００ＭＨｚならびに１．０ＧＨｚ付近に
おいて、反射係数が極小点（伝達係数が極大点）を有し
ており、そのため、逆に５００ＭＨｚや１．０ＧＨｚ付
近の信号をこの測定対象電子部品１１2に入力した際に
おける反射係数（伝達係数）を測定する場合には、測定
結果におけるＳＮ比が低くなって思うような測定精度が
得られなくなる。
品１１2は、５００ＭＨｚならびに１．０ＧＨｚ付近に
おいて、反射係数が極小点（伝達係数が極大点）を有し
ており、そのため、逆に５００ＭＨｚや１．０ＧＨｚ付
近の信号をこの測定対象電子部品１１2に入力した際に
おける反射係数（伝達係数）を測定する場合には、測定
結果におけるＳＮ比が低くなって思うような測定精度が
得られなくなる。
【００５５】これに対して、中継伝送路５2は、伝送路
長Ｌを３０ｃｍとすることにより、その反射係数ｂ
1（伝達係数ｂ2）は、５００ＭＨｚ、１．０ＧＨｚ付近
において極小点（極大点）を形成している。そのため、
測定対象電子部品１１2における５００ＭＨｚ、１．０
ＧＨｚ付近での反射係数を、中継伝送路５2を用いて測
定すれば、ノイズの拡大を最小限に抑制することが可能
となり、これによりＳＮ比の高い高精度の測定を実施す
ることができる。
長Ｌを３０ｃｍとすることにより、その反射係数ｂ
1（伝達係数ｂ2）は、５００ＭＨｚ、１．０ＧＨｚ付近
において極小点（極大点）を形成している。そのため、
測定対象電子部品１１2における５００ＭＨｚ、１．０
ＧＨｚ付近での反射係数を、中継伝送路５2を用いて測
定すれば、ノイズの拡大を最小限に抑制することが可能
となり、これによりＳＮ比の高い高精度の測定を実施す
ることができる。
【００５６】なお、上述した公約数周波数ｆαが小さく
なればなるほど、中継伝送路５の伝送路長Ｌαは長くな
って実用的でなくなるため、公約数周波数ｆαは、測定
周波数ｆ１、ｆ２、…の最大公約数とするのが好まし
い。
なればなるほど、中継伝送路５の伝送路長Ｌαは長くな
って実用的でなくなるため、公約数周波数ｆαは、測定
周波数ｆ１、ｆ２、…の最大公約数とするのが好まし
い。
【００５７】しかしながら、測定周波数ｆ１、ｆ２、…
の最大公約数をしてもその値が小さく、そのために中継
伝送路５の伝送路長Ｌαが長くなって実用的でなくなる
場合には、次のようにすればよい。すなわち、複数ある
測定周波数ｆ１、ｆ２、…を、互いに隣接する一つもし
くは複数の測定周波数の集合体からなる周波数域ｆ
（ａ）、ｆ（ｂ）、…に区分する。そして、設定した周
波数域ｆ（ａ）、ｆ（ｂ）、…毎に中継伝送路５
（ａ）、５（ｂ）、…を設ける。さらには、これらの中
継伝送路５（ａ）、５（ｂ）、…それぞれの伝送路長Ｌ
（ａ）、Ｌ（ｂ）、…を、対応する周波数域ｆ（ａ）、
ｆ（ｂ）、…に対して反射係数ｂ1が極小点（伝達係数
ｂ2が極大点）となる長さに設定する。この場合、中継
伝送路５（ａ）、５（ｂ）、…それぞれの伝送路長Ｌ
（ａ）、Ｌ（ｂ）、…は、上述した実施の形態もしくは
その変形例で説明した方法によって最適な長さに設定す
ればよい。
の最大公約数をしてもその値が小さく、そのために中継
伝送路５の伝送路長Ｌαが長くなって実用的でなくなる
場合には、次のようにすればよい。すなわち、複数ある
測定周波数ｆ１、ｆ２、…を、互いに隣接する一つもし
くは複数の測定周波数の集合体からなる周波数域ｆ
（ａ）、ｆ（ｂ）、…に区分する。そして、設定した周
波数域ｆ（ａ）、ｆ（ｂ）、…毎に中継伝送路５
（ａ）、５（ｂ）、…を設ける。さらには、これらの中
継伝送路５（ａ）、５（ｂ）、…それぞれの伝送路長Ｌ
（ａ）、Ｌ（ｂ）、…を、対応する周波数域ｆ（ａ）、
ｆ（ｂ）、…に対して反射係数ｂ1が極小点（伝達係数
ｂ2が極大点）となる長さに設定する。この場合、中継
伝送路５（ａ）、５（ｂ）、…それぞれの伝送路長Ｌ
（ａ）、Ｌ（ｂ）、…は、上述した実施の形態もしくは
その変形例で説明した方法によって最適な長さに設定す
ればよい。
【００５８】具体的には、次のようにして周波数域ｆ
（ａ）、ｆ（ｂ）、…毎に中継伝送路５（ａ）、５
（ｂ）、…を設定することができる。ここでは、図８
（ａ）、（ｂ）に示すように、点線で示す反射特性Ｒを
有する測定対象電子部品１１3に対して、比較的低い反
射係数となる周波数帯ｆwd（幅ｗｄを有している）にお
いて、その反射係数(伝達係数)を測定する場合を例にし
て説明する。
（ａ）、ｆ（ｂ）、…毎に中継伝送路５（ａ）、５
（ｂ）、…を設定することができる。ここでは、図８
（ａ）、（ｂ）に示すように、点線で示す反射特性Ｒを
有する測定対象電子部品１１3に対して、比較的低い反
射係数となる周波数帯ｆwd（幅ｗｄを有している）にお
いて、その反射係数(伝達係数)を測定する場合を例にし
て説明する。
【００５９】まず、周波数帯ｆwdを互いに隣り合う二つ
の帯域に分割することで、周波数帯ｆwdを構成する各周
波数を周波数域ｆ(ａ1)と、周波数域ｆ(ｂ1)とに区分す
る。なお、図８においては、周波数域ｆ(ａ1)と、周波
数域ｆ(ｂ1)とは、互いに重なり合った周波数共有領域
を有していた。これは互いの測定精度を補完し合うため
に設けられた領域である。しかしながら、このような周
波数共有領域を設けなくともよいのはいうまでもない。
の帯域に分割することで、周波数帯ｆwdを構成する各周
波数を周波数域ｆ(ａ1)と、周波数域ｆ(ｂ1)とに区分す
る。なお、図８においては、周波数域ｆ(ａ1)と、周波
数域ｆ(ｂ1)とは、互いに重なり合った周波数共有領域
を有していた。これは互いの測定精度を補完し合うため
に設けられた領域である。しかしながら、このような周
波数共有領域を設けなくともよいのはいうまでもない。
【００６０】次に、設定した周波数域ｆ(ａ1)、(ｂ1)毎
に中継伝送路５（ａ1）、５（ｂ1）を設ける。さらに
は、これらの中継伝送路５（ａ1）、５（ｂ1）それぞれ
の伝送路長Ｌ（ａ1）、Ｌ（ｂ1）を、対応する周波数域
ｆ（ａ1）、ｆ（ｂ1）に対して反射係数ｂ1が極小点
（伝達係数ｂ2が極大点）となる長さに設定する。この
場合、中継伝送路５（ａ1）、５（ｂ1）それぞれの伝送
路長Ｌ（ａ1）、Ｌ（ｂ1）は、上述した実施の形態もし
くはその変形例で説明した方法によって最適な長さに設
定すればよい。
に中継伝送路５（ａ1）、５（ｂ1）を設ける。さらに
は、これらの中継伝送路５（ａ1）、５（ｂ1）それぞれ
の伝送路長Ｌ（ａ1）、Ｌ（ｂ1）を、対応する周波数域
ｆ（ａ1）、ｆ（ｂ1）に対して反射係数ｂ1が極小点
（伝達係数ｂ2が極大点）となる長さに設定する。この
場合、中継伝送路５（ａ1）、５（ｂ1）それぞれの伝送
路長Ｌ（ａ1）、Ｌ（ｂ1）は、上述した実施の形態もし
くはその変形例で説明した方法によって最適な長さに設
定すればよい。
【００６１】以上のようにして中継伝送路５（ａ1）、
５（ｂ1）それぞれの伝送路長Ｌ（ａ 1）、Ｌ（ｂ1）を
設定することで、中継伝送路５（ａ1）、５（ｂ1）が有
する反射係数ｂ1（伝達係数ｂ2）の極小点（極大点）
を、各周波数域ｆ(ａ1)、(ｂ1)の周波数中心位置に設定
する。そして、このような設定を実施することで、周波
数域ｆ(ａ1)、ｆ(ｂ1)における中継伝送路５（ａ1）、
５（ｂ1）の反射を任意のレベル（例えば−３０ｄＢ）
以下に抑える。
５（ｂ1）それぞれの伝送路長Ｌ（ａ 1）、Ｌ（ｂ1）を
設定することで、中継伝送路５（ａ1）、５（ｂ1）が有
する反射係数ｂ1（伝達係数ｂ2）の極小点（極大点）
を、各周波数域ｆ(ａ1)、(ｂ1)の周波数中心位置に設定
する。そして、このような設定を実施することで、周波
数域ｆ(ａ1)、ｆ(ｂ1)における中継伝送路５（ａ1）、
５（ｂ1）の反射を任意のレベル（例えば−３０ｄＢ）
以下に抑える。
【００６２】図８に示す例においては、具体的には、中
継伝送路５（ａ1）の伝送路長Ｌ（ａ1）を２０ｃｍと
し、中継伝送路５（ｂ1）の伝送路長Ｌ（ｂ1）を２３ｃ
ｍとすることで、周波数域ｆ(ａ1)、(ｂ1)における中継
伝送路５（ａ1）、５（ｂ1）の反射を−３０ｄＢ以下に
抑えている。
継伝送路５（ａ1）の伝送路長Ｌ（ａ1）を２０ｃｍと
し、中継伝送路５（ｂ1）の伝送路長Ｌ（ｂ1）を２３ｃ
ｍとすることで、周波数域ｆ(ａ1)、(ｂ1)における中継
伝送路５（ａ1）、５（ｂ1）の反射を−３０ｄＢ以下に
抑えている。
【００６３】以上のようにして中継伝送路５（ａ1）、
５（ｂ1）の伝送路長Ｌ（ａ1）、Ｌ（ｂ1）を設定した
うえで、まず、中継伝送路５（ａ1）を介して、周波数
域ｆ（ａ1）における測定対象電子部品１１3の反射係数
（伝達係数）を測定する。このとき、中継伝送路５（ａ
1）での反射が−３０ｄＢ以下に抑えているためにノイ
ズの拡大が十分に抑制される結果、周波数域ｆ（ａ1）
における測定対象電子部品１１3の反射係数（伝達係
数）を精度高く測定することができる。
５（ｂ1）の伝送路長Ｌ（ａ1）、Ｌ（ｂ1）を設定した
うえで、まず、中継伝送路５（ａ1）を介して、周波数
域ｆ（ａ1）における測定対象電子部品１１3の反射係数
（伝達係数）を測定する。このとき、中継伝送路５（ａ
1）での反射が−３０ｄＢ以下に抑えているためにノイ
ズの拡大が十分に抑制される結果、周波数域ｆ（ａ1）
における測定対象電子部品１１3の反射係数（伝達係
数）を精度高く測定することができる。
【００６４】次に、中継伝送路５（ｂ1）を介して、周
波数域ｆ（ｂ1）における測定対象電子部品１１3の反射
係数（伝達係数）を測定する。このとき、中継伝送路５
（ｂ1）での反射が−３０ｄＢ以下に抑えられているた
めにノイズの拡大が十分に抑制される結果、周波数域ｆ
（ｂ1）における測定対象電子部品１１3の反射係数（伝
達係数）を精度高く測定することができる。
波数域ｆ（ｂ1）における測定対象電子部品１１3の反射
係数（伝達係数）を測定する。このとき、中継伝送路５
（ｂ1）での反射が−３０ｄＢ以下に抑えられているた
めにノイズの拡大が十分に抑制される結果、周波数域ｆ
（ｂ1）における測定対象電子部品１１3の反射係数（伝
達係数）を精度高く測定することができる。
【００６５】なお、これら中継伝送路５（ａ1）、５
（ｂ1）を用いて、周波数帯ｆwd以外の波長域における
測定対象電子部品１１3の反射係数等の電気特性を測定
する場合には特に問題なく実施することができる。それ
は、周波数帯ｆwd以外の波長域において測定対象電子部
品１１3は、反射係数が比較的大きな値をとるため、中
継伝送路５（ａ1）、５（ｂ1）の特性によりノイズが拡
大したとしても、ＳＮ比はさほど低くならずに精度の高
い測定を実施することができるためである。
（ｂ1）を用いて、周波数帯ｆwd以外の波長域における
測定対象電子部品１１3の反射係数等の電気特性を測定
する場合には特に問題なく実施することができる。それ
は、周波数帯ｆwd以外の波長域において測定対象電子部
品１１3は、反射係数が比較的大きな値をとるため、中
継伝送路５（ａ1）、５（ｂ1）の特性によりノイズが拡
大したとしても、ＳＮ比はさほど低くならずに精度の高
い測定を実施することができるためである。
【００６６】図８に示す測定方法を実施する場合におい
ては、図９に示す測定装置１1を構成することができ
る。この測定装置１1は、ネットワークアナライザ３
と、第１の測定ステーション１３と、第２の測定ステー
ション１４と、スイッチ１５とを備えている。第１の測
定ステーション１３は、ネットワークアナライザ３に接
続された同軸ケーブル４Ａと、同軸ケーブル４Ａに接続
された中継伝送路５（ａ1）とから構成されている。
ては、図９に示す測定装置１1を構成することができ
る。この測定装置１1は、ネットワークアナライザ３
と、第１の測定ステーション１３と、第２の測定ステー
ション１４と、スイッチ１５とを備えている。第１の測
定ステーション１３は、ネットワークアナライザ３に接
続された同軸ケーブル４Ａと、同軸ケーブル４Ａに接続
された中継伝送路５（ａ1）とから構成されている。
【００６７】第２の測定ステーション１４は、ネットワ
ークアナライザ３に接続された同軸ケーブル４Ｂと、同
軸ケーブル４Ｂに接続された中継伝送路５（ｂ1）とか
ら構成されている。スイッチ１５は、ネットワークアナ
ライザ３に対して、同軸ケーブル４Ａおよび中継伝送路
５（ａ1）に対する接続状態と、同軸ケーブル４Ｂおよ
び中継伝送路５（ｂ1）に対する接続状態とを切り替え
ている。
ークアナライザ３に接続された同軸ケーブル４Ｂと、同
軸ケーブル４Ｂに接続された中継伝送路５（ｂ1）とか
ら構成されている。スイッチ１５は、ネットワークアナ
ライザ３に対して、同軸ケーブル４Ａおよび中継伝送路
５（ａ1）に対する接続状態と、同軸ケーブル４Ｂおよ
び中継伝送路５（ｂ1）に対する接続状態とを切り替え
ている。
【００６８】なお、符号１６は、緩衝ステーションであ
り、１７は、試料投入ステーションであり、１８は、良
品取り出しステーションであり、１９は、不良品取り出
しストーションである。緩衝ステーション１６は、第１
の測定ステーション１３から第２の測定ステーションに
測定対象電子部品１１3を移動する際において、一次的
に、測定対象電子部品１１3を待機させる機能を担って
いる。２０は、測定対象電子部品１１3を各ステーショ
ン間で搬送する搬送装置２０であり、２１は、以下に説
明する測定装置１1全体の動作を制御する制御部であ
る。
り、１７は、試料投入ステーションであり、１８は、良
品取り出しステーションであり、１９は、不良品取り出
しストーションである。緩衝ステーション１６は、第１
の測定ステーション１３から第２の測定ステーションに
測定対象電子部品１１3を移動する際において、一次的
に、測定対象電子部品１１3を待機させる機能を担って
いる。２０は、測定対象電子部品１１3を各ステーショ
ン間で搬送する搬送装置２０であり、２１は、以下に説
明する測定装置１1全体の動作を制御する制御部であ
る。
【００６９】この測定装置１1による測定操作は次のよ
うになる。まず、試料投入ステーション１に複数搭載さ
れた測定対象電子部品１１3、…の中から最初の測定対
象電子部品１１3を、第１の測定ステーション１３に搬
送して、中継伝送路５（ａ1）上に測定実装（圧着実
装）する。このとき同時に、スイッチ１５は、第１の測
定ステーション１３をネットワークアナライザ３に接続
する接続形態となり、これにより、第１の測定ステーシ
ョン上１３上の測定対象電子部品１１3に対して、周波
数域ｆ（ａ1）における反射係数（伝達係数）の測定が
ネットワークアナライザ３により実施され、その測定結
果は、ネットワークアナライザ３から制御部２１に出力
されて、制御部２１の図示しないメモリに記録される。
うになる。まず、試料投入ステーション１に複数搭載さ
れた測定対象電子部品１１3、…の中から最初の測定対
象電子部品１１3を、第１の測定ステーション１３に搬
送して、中継伝送路５（ａ1）上に測定実装（圧着実
装）する。このとき同時に、スイッチ１５は、第１の測
定ステーション１３をネットワークアナライザ３に接続
する接続形態となり、これにより、第１の測定ステーシ
ョン上１３上の測定対象電子部品１１3に対して、周波
数域ｆ（ａ1）における反射係数（伝達係数）の測定が
ネットワークアナライザ３により実施され、その測定結
果は、ネットワークアナライザ３から制御部２１に出力
されて、制御部２１の図示しないメモリに記録される。
【００７０】測定が終了すると、第１の測定ステーショ
ン１３上の測定対象電子部品１１3は、緩衝ステーショ
ン１６に搬送される。同時に、空いた第１の測定ステー
ション１３に対して、新たに測定対象電子部品１１3が
試料投入ステーション１７から搬送される。
ン１３上の測定対象電子部品１１3は、緩衝ステーショ
ン１６に搬送される。同時に、空いた第１の測定ステー
ション１３に対して、新たに測定対象電子部品１１3が
試料投入ステーション１７から搬送される。
【００７１】このとき、スイッチ１５は、第１の測定ス
テーション１３をネットワークアナライザ３に接続する
接続形態を維持している。そして、この状態で第１の測
定ステーション１３において、次の測定対象電子部品１
１3に対して周波数域ｆ（ａ1）における反射係数（伝達
係数）の測定がネットワークアナライザ３により実施さ
れる。
テーション１３をネットワークアナライザ３に接続する
接続形態を維持している。そして、この状態で第１の測
定ステーション１３において、次の測定対象電子部品１
１3に対して周波数域ｆ（ａ1）における反射係数（伝達
係数）の測定がネットワークアナライザ３により実施さ
れる。
【００７２】上記測定操作が第１の測定ステーション１
３で実施されている間に、緩衝ステーション１４上の測
定対象電子部品１１3を、第２の測定ステーション１４に
搬送して中継伝送路５（ｂ1）上に測定実装（圧着実
装）する。
３で実施されている間に、緩衝ステーション１４上の測
定対象電子部品１１3を、第２の測定ステーション１４に
搬送して中継伝送路５（ｂ1）上に測定実装（圧着実
装）する。
【００７３】第１の測定ステーション１３において２番
目の測定対象電子部品１１3に対する測定操作が終了す
ると、第１の測定ステーション１３上の測定対象電子部
品１１3を緩衝ステーション１６に搬送する。その際、同
時に、スイッチ１５は、その接続形態を、第２の測定ス
テーション１４をネットワークアナライザ３に接続する
接続形態に変更する。接続状態がこのように変更された
ことにより、第２の測定ステーション１４上の測定対象
電子部品１１3に対して、周波数域ｆ（ｂ1）における反
射係数（伝達係数）の測定がネットワークアナライザ３
により実施され、その測定結果が制御部２１に出力され
て、制御部２１の図示しないメモリに記録される。
目の測定対象電子部品１１3に対する測定操作が終了す
ると、第１の測定ステーション１３上の測定対象電子部
品１１3を緩衝ステーション１６に搬送する。その際、同
時に、スイッチ１５は、その接続形態を、第２の測定ス
テーション１４をネットワークアナライザ３に接続する
接続形態に変更する。接続状態がこのように変更された
ことにより、第２の測定ステーション１４上の測定対象
電子部品１１3に対して、周波数域ｆ（ｂ1）における反
射係数（伝達係数）の測定がネットワークアナライザ３
により実施され、その測定結果が制御部２１に出力され
て、制御部２１の図示しないメモリに記録される。
【００７４】制御部２１では、第１、第２の測定ステー
ション１３、１４における測定が終了した測定対象電子
部品１１3に対しては、その測定結果が良品を示すもの
か、不良品を示すものかを判断する。そして、良品であ
る場合には、その測定対象電子部品１１3Gを搬送装置２
０によって第２の測定ステーション１４から良品取り出
しステーション１８に搬送する。一方、不良品である場
合には、その測定対象電子部品１１3NGを搬送装置２０
によって第２の測定ステーション１４から不良品取り出
しステーション１９に搬送する。
ション１３、１４における測定が終了した測定対象電子
部品１１3に対しては、その測定結果が良品を示すもの
か、不良品を示すものかを判断する。そして、良品であ
る場合には、その測定対象電子部品１１3Gを搬送装置２
０によって第２の測定ステーション１４から良品取り出
しステーション１８に搬送する。一方、不良品である場
合には、その測定対象電子部品１１3NGを搬送装置２０
によって第２の測定ステーション１４から不良品取り出
しステーション１９に搬送する。
【００７５】このように、この測定装置１1によれば、
上述した測定操作および搬送操作を繰り返すことで、複
数の測定対象電子部品１1の測定操作を順次行うことが
可能となる。
上述した測定操作および搬送操作を繰り返すことで、複
数の測定対象電子部品１1の測定操作を順次行うことが
可能となる。
【００７６】そして、緩衝ステーション１６を設けるこ
とで、一方の測定ステーション１３、１４において測定
対象電子部品１１3の電気特性を測定する操作中におい
て、同時に他の測定対象電子部品１１3の搬送操作を円
滑に実施することが可能となり、これによって測定に要
する時間の短縮化を図ることができるようになる。
とで、一方の測定ステーション１３、１４において測定
対象電子部品１１3の電気特性を測定する操作中におい
て、同時に他の測定対象電子部品１１3の搬送操作を円
滑に実施することが可能となり、これによって測定に要
する時間の短縮化を図ることができるようになる。
【００７７】なお、上述した実施の形態においては、測
定対象電子部品１１が有する電気特性のうち、反射係数
や伝達係数を測定する方法および装置において本発明を
実施していたが、インピーダンス等の他の電気特性を測
定する際においても本発明を同様に実施できるのはいう
までもない。
定対象電子部品１１が有する電気特性のうち、反射係数
や伝達係数を測定する方法および装置において本発明を
実施していたが、インピーダンス等の他の電気特性を測
定する際においても本発明を同様に実施できるのはいう
までもない。
【００７８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
中継伝送路の接続部位に生じる反射を抑制して測定精度
を高めることができる。
中継伝送路の接続部位に生じる反射を抑制して測定精度
を高めることができる。
【図１】本発明の一実施形態の測定装置の構成を示す概
略図である。
略図である。
【図２】中継伝送路の構成を示す平面図である。
【図３】測定対象電子部品の構成を示す裏面図である。
【図４】中継伝送路における信号伝播形態を示す概略図
である。
である。
【図５】中継伝送路における反射と信号周波数との関係
を示す図である。
を示す図である。
【図６】中継伝送路および測定対象電子部品における反
射と信号周波数との関係を示す図である。
射と信号周波数との関係を示す図である。
【図７】中継伝送路および測定対象電子部品における反
射と信号周波数との関係を示す図である。
射と信号周波数との関係を示す図である。
【図８】本発明の変形例における測定方法の説明に供す
る図であって、中継伝送路および測定対象電子部品にお
ける反射と信号周波数との関係を示す図である。
る図であって、中継伝送路および測定対象電子部品にお
ける反射と信号周波数との関係を示す図である。
【図９】本発明の変形例である測定装置の構成を示す図
である。
である。
１ 測定装置 ３ ネットワークアナライザ ４
Ａ、４Ｂ 同軸ケーブル ５ 中継伝送路 ６ 同軸コネクタ
７ 絶縁基板 ８ 接続用配線部 ８
ａ、８ｂ 信号伝送路 ９Ａ、Ｂ 同軸コネクタ １１ 測
定対象電子部品 １３ 第１の測定ステーション １４ 第
２の測定ステーション １５ スイッチ １６ 緩
衝ステーション １７ 試料投入ステーション １８ 良
品取り出しステーション １９ 不良品取り出しステーション ２０ 搬
送装置 ２１ 制御部 Ｌ 伝
送路長
Ａ、４Ｂ 同軸ケーブル ５ 中継伝送路 ６ 同軸コネクタ
７ 絶縁基板 ８ 接続用配線部 ８
ａ、８ｂ 信号伝送路 ９Ａ、Ｂ 同軸コネクタ １１ 測
定対象電子部品 １３ 第１の測定ステーション １４ 第
２の測定ステーション １５ スイッチ １６ 緩
衝ステーション １７ 試料投入ステーション １８ 良
品取り出しステーション １９ 不良品取り出しステーション ２０ 搬
送装置 ２１ 制御部 Ｌ 伝
送路長
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フロントページの続き
Ｆターム(参考） 2G028 AA00 BB00 BF05 CG15 CG22
KQ00
2G036 AA00 BA00 CA00 CA03
2G132 AA00 AE01 AE02 AE11 AL00
AL11 AL18
Claims (14)
- 【請求項１】 測定対象電子部品を、中継伝送路を介し
て測定器に接続したうえで、信号伝送時における前記測
定対象電子部品の電気特性を前記測定器によって測定す
る方法であって、 前記中継伝送路の伝送路長により前記電気特性のうち前
記中継伝送路における反射係数が変動することに着目し
て、前記中継伝送路の伝送路長を前記反射係数が可及的
に極小値に近づく長さに設定したうえで、 この中継伝送路を介して前記測定対象電子部品を前記測
定器に接続してその電気特性を測定する、 ことを特徴とする電子部品の電気特性測定方法。 - 【請求項２】 請求項１に記載の電気特性測定方法にお
いて、 前記信号の周波数帯域を複数の周波数域に分割したうえ
で、各周波数域それぞれに対応して前記中継伝送路を複
数設け、 これら中継伝送路の伝送路長を、 対応する周波数域の信号を当該中継伝送路を介して前記
電子部品に伝送した際における前記反射係数が可及的に
最小値に近づく長さに設定し、 前記測定対象電子部品を各中継伝送路を介して順次前記
測定器に接続しながら、各周波数域ごとの電気特性を測
定する、 ことを特徴とする電気特性測定方法。 - 【請求項３】 測定対象電子部品を、中継伝送路を介し
て測定器に接続したうえで、信号伝送時における前記測
定対象電子部品の電気特性を前記測定器によって測定す
る方法であって、 前記中継伝送路の伝送路長により前記電気特性のうち前
記中継伝送路における伝達係数が変動することに着目し
て、前記中継伝送路の伝送路長を前記伝達係数が可及的
に極大値に近づく長さに設定したうえで、 この中継伝送路を介して前記測定対象電子部品を前記測
定器に接続してその電気特性を測定する、 ことを特徴とする電子部品の電気特性測定方法。 - 【請求項４】 請求項３に記載の電気特性測定方法にお
いて、 前記信号の周波数帯域を複数の周波数域に分割したうえ
で、各周波数域それぞれに対応して前記中継伝送路を複
数設け、 これら中継伝送路の伝送路長を、 対応する周波数域の信号を当該中継伝送路を介して前記
電子部品に伝送した際における前記伝達係数が可及的に
最大値に近づく長さに設定し、 前記測定対象電子部品を各中継伝送路を介して順次前記
測定器に接続しながら、各周波数域ごとの電気特性を測
定する、 ことを特徴とする電気特性測定方法。 - 【請求項５】 請求項１ないし４のいずれかに記載の電
子部品の電気特性測定方法において、 前記中継伝送路の伝送路長をＬとし、前記信号の中心周
波数をｆとし、光速をｃとすると、 (ｎ−０．２５)ｃ／２ｆ ＜ Ｌ ＜(ｎ＋０．２５)ｃ／
２ｆ (ｎ：自然数) の式を満たす範囲に、前記中継伝送路の伝送路長を設定
する、 ことを特徴とする電子部品の電気特性測定方法。 - 【請求項６】 請求項５に記載の電子部品の電気特性測
定方法において、 前記中継伝送路の伝送路長Ｌを、 Ｌ＝（ｎｃ）／（２ｆ） の式を満たす長さに設定する、 ことを特徴とする電子部品の電気特性測定方法。 - 【請求項７】 請求項５または６に記載の電子部品の電
気特性測定方法において、 互いに異なる周波数を有する複数の信号を伝送した際に
おける前記測定対象電子部品の電気特性を測定する場合
には、 前記複数の信号の中心周波数の公約数となる周波数を、
前記複数の信号全体の中心周波数とみなす、 ことを特徴とする電子部品の電気特性測定方法。 - 【請求項８】 測定対象電子部品を、中継伝送路を介し
て測定器に接続したうえで、信号伝送時における前記測
定対象電子部品の電気特性を前記測定器によって測定す
る電子部品の電気特性測定装置であって、 前記中継伝送路の伝送路長を、前記電気特性のうち前記
中継伝送路における反射係数が可及的に極小値に近づく
長さに設定する、 ことを特徴とする電子部品の電気特性測定装置。 - 【請求項９】 請求項８に記載の電気特性測定装置にお
いて、 前記信号の周波数帯域を複数の周波数域に分割したうえ
で、各周波数域それぞれに対応して前記中継伝送路を複
数設け、 これら中継伝送路の伝送路長を、 対応する周波数域の信号を、当該中継伝送路を介して前
記電子部品に伝送した際における前記反射係数が可及的
に最小値に近づく長さに設定する、 ことを特徴とする電気特性測定装置。 - 【請求項１０】 測定対象電子部品を、中継伝送路を介
して測定器に接続したうえで、信号伝送時における前記
測定対象電子部品の電気特性を前記測定器によって測定
する電子部品の電気特性測定装置であって、 前記中継伝送路の伝送路長を、前記電気特性のうち前記
中継伝送路における伝達係数が可及的に極大値に近づく
長さに設定する、 ことを特徴とする電子部品の電気特性測定装置。 - 【請求項１１】 請求項１０に記載の電気特性測定装置
において、 前記信号の周波数帯域を複数の周波数域に分割したうえ
で、各周波数域それぞれに対応して前記中継伝送路を複
数設け、 これら中継伝送路の伝送路長を、 対応する周波数域の信号を当該中継伝送路を介して前記
電子部品に伝送した際における前記伝達係数が可及的に
最大値に近づく長さに設定する、 ことを特徴とする電気特性測定装置。 - 【請求項１２】 請求項８ないし１１のいずれかに記載
の電子部品の電気特性測定装置において、 前記中継伝送路の伝送路長をＬとし、前記信号の中心周
波数をｆとし、光速をｃとすると、 (ｎ−０．２５)ｃ／２ｆ ＜ Ｌ ＜(ｎ＋０．２５)ｃ／
２ｆ (ｎ：自然数) の式を満たす範囲に、前記中継伝送路の伝送路長を設定
する、 ことを特徴とする電子部品の電気特性測定装置。 - 【請求項１３】 請求項１２に記載の電子部品の電気特
性測定装置において、 前記中継伝送路の伝送路長Ｌを、 Ｌ＝（ｎｃ）／（２ｆ） の式を満たす長さに設定する、 ことを特徴とする電子部品の電気特性測定装置。 - 【請求項１４】 請求項１２または１３に記載の電子部
品の電気特性測定装置において、 当該装置は、互いに異なる中心周波数を有する複数の信
号を伝送する際における前記測定対象電子部品の電気特
性を測定する装置であって、前記複数の信号の中心周波
数の公約数となる周波数を、前記複数の信号全体の中心
周波数とみなす、 ことを特徴とする電子部品の電気特性測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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|---|---|---|---|---|
| JP2014142191A (ja) * | 2013-01-22 | 2014-08-07 | Shin Kobe Electric Mach Co Ltd | 蓄電池状態検知方法及び蓄電池状態検知装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPH11339898A (ja) * | 1998-03-27 | 1999-12-10 | Kyocera Corp | 高周波用入出力端子および高周波回路用パッケージ |
| JP2000196301A (ja) * | 1998-12-24 | 2000-07-14 | Kyocera Corp | 誘電体導波管線路と方形導波管との接続構造 |
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2001
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