JP2003062529A - 測定選別装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 製品を確実に測定結果に基づき区分け分類す
ることができ、誤分類による品質の低下を防止すること
ができる測定選別装置を提供する。 【解決手段】 半導体装置の測定部２２での測定結果に
応じて半導体装置を区分け搬送するロータリーシュート
２３と、このロータリーシュート２３で区分け搬送され
た半導体装置をそれぞれ収納する複数の容器２４を備
え、測定部２２の製品出口に対して設けられたロータリ
ーシュート２３の取入口３６から取り入れた測定終了後
の半導体装置を、ロータリーシュート２３により区分け
搬送して送出口３７から測定結果に応じて対応する容器
２４に送出し、区分けするもので、ロータリーシュート
２３の送出口３７と各容器２４の間に、半導体装置の通
過を検知する通過センサ４２と半導体装置の測定結果に
応じて開閉動作するシャッタ４３とを有する区分けシュ
ート２５が配設されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体装置
を測定した特性毎に区分け、選別するのに好適する測定
選別装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来技術を、図２を参照して説明する。
図２は側面図であり、図２において、測定選別装置１
は、半導体装置等の製品の特性を測定する測定部２と、
測定済みの製品を区分け搬送するロータリーシュート３
と、搬送された製品をそれぞれ収納する複数の容器４を
備えている。そして、測定部２で特性が測定された製品
の半導体装置は、測定部２の測定シュート５を経て測定
部２の下方に設けられた仕切板６に形成された測定シュ
ート５直下の製品排出口７から測定部外に排出されるよ
うになっている。

【０００３】また、ロータリーシュート３は、駆動機構
８が内装された基台９と、この基台９に立設され駆動機
構８によって回動駆動される回動軸１０と、回動軸１０
に固定された支持アーム１１と、支持アーム１１によっ
て傾斜支持され、内部に搬送路１２が設けられた搬送管
１３を備えてなるもので、測定部２に対し、回動軸１０
の軸中心Ｙが製品排出口７を通り、また搬送管１３の上
端の取入口１４が製品排出口７の直下に開口するように
配置されている。さらにロータリーシュート３は、回動
軸１０が回動することにより支持アーム１１に支持され
た搬送管１３が回動し、これによって搬送管１３の下端
に開口する送出口１５が、回動軸１０の軸中心Ｙを中心
とする所定半径の同一円周上に所定間隔で配置された複
数の容器４の各取込み口１６に臨むようになっている。

【０００４】また、測定選別装置１は、ロータリーシュ
ート３の動作を制御する制御部１７を備えており、この
制御部１７では、測定部２での半導体装置の測定結果に
基づき駆動機構８を制御し、支持アーム１１、すなわち
搬送管１３を所定角度だけ回動させて、送出口１５を測
定結果に対応する容器４の取込み口１６に臨ませるよう
にする。これにより、測定を終了した半導体装置は、製
品排出口７からロータリーシュート３の取入口１４に、
さらに搬送管１３の搬送路１２から送出口１５へと移動
し、送出口１５が臨む取込み口１６を経て測定結果に対
応する容器４に送り込まれ、収納される。これを繰り返
すことにより、半導体装置は所要の特性毎に区分けされ
て対応する容器４に集められる。

【０００５】しかしながら上記の従来技術においては、
制御部１７の制御に基づいて支持アーム１１が所定角度
だけ回動し、搬送管１３の送出口１５を対応する容器４
の取込み口１６に臨ませるが、支持アーム１１の停止位
置がずれてしまった場合には、送出口１５が対応する容
器４の取込み口１６に正確に臨まず、隣接する容器４の
取込み口１６にも臨むことになり、半導体装置が誤分類
されてしまうことになる。このため、良品と不良品とに
選別する場合には、良品が不良品として、逆に不良品が
良品として選別されてしまい、選別の意味をなさないこ
とになって、著しく品質を低下させてしまうことになっ
てしまう事態が発生する。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上記のような状況に鑑
みて本発明はなされたもので、その目的とするところは
製品を確実に測定結果に基づき区分け分類することがで
き、誤分類による品質の低下を防止することができ、製
品品質を大幅に向上させることができる測定選別装置を
提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明の測定選別装置
は、製品の測定部と、この測定部での測定結果に応じて
前記製品を区分け搬送する区分け搬送機構と、この区分
け搬送機構で区分け搬送された前記製品をそれぞれ収納
する複数の容器を備え、前記測定部の製品出口に対して
設けられた前記区分け搬送機構の取入口から取り入れた
測定終了後の製品を、前記区分け搬送機構により区分け
搬送して送出口から測定結果に応じて対応する容器に送
出し、区分けする測定選別装置において、前記区分け搬
送機構の送出口と前記容器の間に、前記製品の検出手段
と、開閉手段が設けられていることを特徴とするもので
あり、さらに、前記検出手段と前記開閉手段が、各容器
の取込口に設けられていることを特徴とするものであ
り、さらに、前記検出手段が、製品の通過を検出するも
のであり、前記開閉手段が、製品の測定結果に対応して
開閉動作するものであることを特徴とするものである。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下本発明の一実施形態を、図１
に示す側面図を参照して説明する。

【０００９】図１において、測定選別装置２１は、半導
体装置等の製品の特性を測定する測定部２２と、測定済
みの製品を区分け搬送するロータリーシュート２３と、
搬送された製品をそれぞれ収納する複数の容器２４を備
え、またロータリーシュート２３と容器２４の間に区分
けシュート２５を備え、またさらに装置各部の動作を制
御する制御部２６を備えて構成されている。そして測定
部２２では、製品、例えば半導体装置の所定の特性を測
定し、その測定結果が制御部２６に出力されようになっ
ており、さらに制御部２６では、測定した半導体装置
が、予め設定した特性値による区分の何れに属するかを
判断し、判断結果に基づく制御信号をロータリーシュー
ト２３と区分けシュート２５に出力するようになってい
る。

【００１０】一方、測定部２２で所定の特性測定が行わ
れた半導体装置は、測定部２２の測定シュート２７を経
て、測定部２２の下方に設けられたロータリーシュート
２３との間を仕切る仕切板２８に形成された測定シュー
ト２７直下の製品排出口２９から測定部外に排出される
ようになっている。

【００１１】また、仕切板２８の下方に配置されたロー
タリーシュート２３は、駆動機構３０が内装された基台
３１と、この基台３１に立設され駆動機構３０によって
回動駆動される回動軸３２と、回動軸３２に固定された
支持アーム３３と、支持アーム３３によって傾斜支持さ
れ、内部に搬送路３４が設けられた搬送管３５を備えて
なるもので、測定部２２に対し、測定シュート２７直下
の製品排出口２９を回動軸３２の軸中心Ｘが通り、搬送
管３５の上端の取入口３６が製品排出口２９の直下に開
口するように配置されている。これにより、取入口３６
は搬送管３５の回動に関係なく、常に製品排出口２９の
直下に位置する。

【００１２】さらにロータリーシュート２３は、回動軸
３２が回動することによって支持アーム３３に支持され
た搬送管３５が回動し、これによって搬送管３５の下端
に開口する送出口３７が、回動軸３２の軸中心Ｘを中心
とする所定半径の同一円周上を回動する。なお、搬送管
３５の回動制御、すなわち回動軸３２の回動制御は、制
御部２６からの制御信号のもとに駆動機構３０が制御さ
れることによって行なわれる。

【００１３】また、測定部２２での測定後に区分け搬送
された半導体装置を収納する複数の容器２４は、半導体
装置を取り込む取込口３８を有するもので、ロータリー
シュート２３の搬送管３５の送出口３７下方に、回動軸
３２の軸中心Ｘを中心とする所定半径の同一円周上に所
定間隔で配置されている。

【００１４】さらにまた、各容器２４の取込口３８の前
には、区分けシュート２５が、ロータリーシュート２３
の基台３１に固定された取付板３９に取り付けられるこ
とにより配設されている。この区分けシュート２５は、
搬送管３５と同一傾斜を有するよう、また内部に設けら
れた区分け路４０が搬送路３４の延長上に配されるよう
配置された区分け管４１と、区分け管４１の中間部分に
取着された通過センサ４２と、この通過センサ４２より
も中間部分の下端側に配置されたシャッタ４３を備えて
構成されている。

【００１５】そして、区分け管４１は、その下端開口４
４が容器２４の取込口３８に臨むように、また上端開口
４５には回動してきた搬送管３５の送出口３７が臨むよ
うになっていて、また通過センサ４２は、半導体装置の
通過を検知するもので、その検知信号は制御部２６に入
力されるようになっている。一方、シャッタ４３は、区
分け路４０を横断する開閉板４６を有し、この開閉板４
６をシャッタ駆動機構４７によって駆動することで、区
分け路４０の開閉を行うもので、シャッタ駆動機構４７
の駆動は、制御部２６からの制御信号のもとに行なわれ
ようになっている。

【００１６】以上のように構成されたものでは、半導体
装置が測定部２２に送り込まれると、先ず、測定部２２
で所定の特性測定が実行され、測定結果が制御部２６に
伝達され、制御部２６で、測定した半導体装置が、予め
設定した区分の何れに属するかの判断が行なわれる。そ
して、判断結果に基づいて、ロータリーシュート２３を
測定結果に対応する容器２４が設けられている位置まで
搬送管３５を回動させるよう制御信号が駆動機構３０に
出力され、ロータリーシュート２３は所定角度だけ回動
する。また同時に、制御部２６からは、測定結果に対応
する容器２４の前に配置された区分けシュート２５に、
シャッタ４３を開動作するようにシャッタ駆動機構４７
に制御信号が駆動機構３０に出力され、該当のシャッタ
４３のみが開動作可能状態になる。

【００１７】一方、測定を終えた半導体装置は、測定シ
ュート２７から製品排出口２９直下のロータリーシュー
ト２３の取入口３６に取り入れられ、搬送管３５の傾斜
した搬送路３４を滑り落ち、所定角度だけ回動した位置
に在る送出口３７に至り、送出口３７から対応の区分け
シュート２５に送り込まれる。そして、区分けシュート
２５の通過センサ４２により半導体装置の通過が検知さ
れると、通過検知信号に基づく制御部２６からの制御信
号により、開動作可能状態のシャッタ４３を開動作さ
せ、下端開口４４から半導体装置を測定結果に対応する
容器２４に送り込み収納する。なお、半導体装置通過
後、シャッタ４３は閉動作してリセットされる。

【００１８】また、ロータリーシュート２３の支持アー
ム３３の停止位置がずれてしまい、搬送管３５の送出口
３７が隣接する区分けシュート２５の上端開口４５に誤
って臨んでしまった場合、半導体装置が隣接する区分け
シュート２５に送り込まれても、そのシャッタ４３は閉
動作状態にあるので、半導体装置は隣接する容器２４に
収納されることはない。なお、この時、隣接する区分け
シュート２５の通過センサ４２で、開動作可能状態とな
っていないまま半導体装置の通過が検知されると、その
通過検知信号をもとに制御部２６で誤動作が検出され、
誤動作の報知がなされる。

【００１９】以上の通り、上記実施形態によれば、ロー
タリーシュート２３での停止位置等が生じても半導体装
置を誤分類することなく、確実に測定結果に応じて区分
けすることができ、例えば良品と不良品との選別におい
ても、確実に良品と不良品を選別し、所定の容器２４に
それぞれ良品と不良品を収納することができる。この結
果、誤分類に基づく半導体装置の品質低下の事態を避け
ることができる。

【００２０】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、製品を確実に測定結果に基づき区分け分類す
ることができ、誤分類による品質の低下を防止すること
ができ、製品品質を大幅に向上させることができる等の
効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態を示す側面図である。

【図２】従来例を示す側面図である。

【符号の説明】

２２…測定部 ２３…ロータリーシュート ２４…容器 ２５…区分けシュート ２６…制御部 ３６…取入口 ３７…送出口 ３８…取込口 ４２…通過センサ ４３…シャッタ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 製品の測定部と、この測定部での測定結
   果に応じて前記製品を区分け搬送する区分け搬送機構
   と、この区分け搬送機構で区分け搬送された前記製品を
   それぞれ収納する複数の容器を備え、前記測定部の製品
   出口に対して設けられた前記区分け搬送機構の取入口か
   ら取り入れた測定終了後の製品を、前記区分け搬送機構
   により区分け搬送して送出口から測定結果に応じて対応
   する容器に送出し、区分けする測定選別装置において、
   前記区分け搬送機構の送出口と前記容器の間に、前記製
   品の検出手段と、開閉手段が設けられていることを特徴
   とする測定選別装置。
2. 【請求項２】 前記検出手段と前記開閉手段が、各容器
   の取込口に設けられていることを特徴とする請求項１記
   載の測定選別装置。
3. 【請求項３】 前記検出手段が、製品の通過を検出する
   ものであり、前記開閉手段が、製品の測定結果に対応し
   て開閉動作するものであることを特徴とする請求項１又
   は請求項２記載の測定選別装置。