JP2003060377A - 磁気シールドルームの扉部遮蔽構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 磁気シールド性能および電波シールド性能が
向上されてなる磁気シールドルームの扉部遮蔽構造を提
供する。 【解決手段】 磁気シールドルームの扉部遮蔽構造Ｋで
あって、先端部シールド機構Ｔが、先端部磁気シールド
部３０と先端部電波シールド部４０とを有し、前記先端
部磁気シールド部３０が、扉本体５１の先端と室壁５２
との隙間５４を磁気シールドルーム外側から塞ぐ、先端
部外側シールド部材を備え、前記先端部電波シールド部
４０が、前記先端部外側シールド部材の室壁５２との当
接面側に配設された先端部扉側電波シールド部材４１
と、前記先端部扉側電波シールド部材４１に対応させて
室壁５２に配設された先端部室壁側電波シールド部材４
２とを備えてなるものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気シールドルー
ムの扉部遮蔽構造に関する。さらに詳しくは、磁気シー
ルド性能および電波シールド性能が向上されてなる磁気
シールドルームの扉部遮蔽構造に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、脳磁計測や心磁計測のように
微弱な磁気を測定・検出する場合や、半導体製造におい
て微細な回路パターンを電子線で描画する場合には、測
定磁気や電子線が外部から磁気的な影響を受けるのを防
止する必要があり、その手段として磁気シールドルーム
が用いられている。

【０００３】磁気シールドルームは、角形アルミ管など
の非磁性枠部材を箱型体に骨組みするとともに、この箱
型体の全外周面にパーマロイなどの高透磁率合金からな
る所要数の板材を隙間なく取り付けて壁面としてなるも
のとされ、地磁気や外部変動磁界の磁束を高透磁率板材
の壁に集中して流すことにより、磁束（磁気）が室内へ
漏洩するのを防止している。

【０００４】かかる磁気シールドルームにおいては、壁
面に隙間が存在するとシールド性能が低下するため、各
壁面に前記板材を隙間なく配設することが重要である
が、実際には複数の板材をその端縁部が密接するように
相互に突合わせて取り付けることは、板材の加工精度や
組立て精度から困難である。そこで、図７および図８に
示すように、板材１０１、１０１の突合わせ部１０１ａ
を高透磁率合金からなる遮蔽板１０２で覆うことによ
り、突合わせ部１０１ａに生じる隙間から磁束が室内へ
漏洩するのを防止している。

【０００５】ここで、遮蔽板１０２は、突合わせ部１０
１ａに対応した位置に配設された枠部材１０３に、板材
１０１、１０１とともにねじ留めすることにより取り付
けられている。

【０００６】具体的には、板材１０１、１０１の突合わ
せ端縁部近傍に所定間隔で穿設されたねじ挿通用透孔１
０１ｂ、１０１ｂ、…と、このねじ挿通用透孔１０１
ｂ、１０１ｂ、…に対応させて遮蔽板１０２に穿設され
たねじ挿通用透孔１０２ａ、１０２ａ、…と、ねじ挿通
用透孔１０１ｂ、１０１ｂ、…に対応させて枠部材１０
３に螺設されたねじ孔１０３ａ、１０３ａ、…とを利用
してねじ留めすることにより、板材１０１、１０１およ
び遮蔽板１０２が枠部材１０３に取り付けられている
（例えば、特開２０００−１８３５８０号公報、特開２
０００−１８３５８１号公報参照）。

【０００７】しかしながら、かかる従来の磁気シールド
ルーム用遮蔽構造は、次のような問題を有している。

【０００８】（１）ねじ留め個所が多く磁気シールドル
ームの組立作業に時間がかかる。

【０００９】（２）板材１０１および遮蔽板１０２には
それぞれねじ挿通用透孔１０１ｂおよび１０２ａを穿設
する必要があり、また枠部材１０３にはねじ孔１０３ａ
を螺設する必要があるため、それぞれの加工コストが高
くなる。

【００１０】（３）遮蔽板１０２に設けられた多数のね
じ挿通用透孔１０２ａ、１０２ａ、…により磁束の通路
が途切れて磁束が磁気シールドルーム内に漏洩するた
め、シールド性能が低下する。

【００１１】このような問題点に対処するために、出願
人は、板材および枠部材にねじ孔等を穿設することな
く、板材および遮蔽板を枠部材に取り付けられるように
した磁気シールドルーム用遮蔽構造を既に提案している
（特願２００１−１０５０８５号参照）。

【００１２】ところが、この改良された磁気シールドル
ーム用遮蔽構造においても、扉部では、可動部分がある
ために各板材の隙間を完全に塞ぐことが容易ではないと
いう問題がある。

【００１３】図９に従来の磁気シールドルームの扉部を
示す。この扉部２００においては、扉本体２０１と各室
壁２０２との隙間２０３を塞ぐように、電波シールド片
２０４が扉本体２０１の各室壁対向端面２０５に取り付
けられる一方で、扉２０１が閉められたときに各隙間２
０３を室内側および室外側の両側から塞ぐように長板状
の磁気遮蔽部材２０６が配設されるものとされ、磁気遮
蔽部材２０６は各室壁２０２の表面を被うように配設さ
れるものとされる。

【００１４】このように、従来の磁気シールドルームに
おいては、磁気シールドルーム内に設置して使用する微
小磁界測定器（例えば心磁計や脳磁計など）は超伝導量
子干渉素子センサなどを用いており、センサおよび回路
部分が外部からの電波の影響を受けると正確な測定が行
なえない場合があるなどの理由で、磁気シールドルーム
内への電波の侵入を排除する必要性が高く、扉本体２０
１と室壁２０２との隙間等に電波シールド用部材が設け
られるのが通常である。したがって、扉本体２０１と室
壁２０２との隙間を塞ぐための磁気遮蔽用部材・構造を
設置する設置スペースおよび設置態様に制約を受けるこ
とがあるという問題がある。

【００１５】その上、各室壁対向端面２０５に取り付け
られる電波シールド片２０４は、扉２０１が開けられた
ときに露出するので、外観を損なうばかりでなく、電波
シールド片２０４に誤って触れた場合に切創するおそれ
もある。さらに、磁気シールドルームが心磁計測に用い
られている場合、その部屋で計測をなす患者に非常な圧
迫感を与えるという問題もある。

【００１６】

【発明が解決しようとする課題】本発明はかかる従来技
術の課題に鑑みなされたものであって、磁気シールド性
能および電波シールド性能が向上されてなる磁気シール
ドルームの扉部遮蔽構造を提供することを目的としてい
る。

【００１７】

【課題を解決するための手段】本発明の磁気シールドル
ームの扉部遮蔽構造の第１形態は、基端部シールド機構
と先端部シールド機構とを備えてなる磁気シールドルー
ムの扉部遮蔽構造であって、前記基端部シールド機構
が、基端部磁気シールド部と基端部電波シールド部とを
有し、前記基端部磁気シールド部が、扉本体の基端と室
壁との隙間を磁気シールドルーム外側から塞ぐ、基端部
外側シールド部材を備え、前記基端部電波シールド部
が、前記基端部外側シールド部材の室壁との当接面側に
配設された基端部扉側電波シールド部材と、前記基端部
扉側電波シールド部材に対応させて室壁に配設された基
端部室壁側電波シールド部材とを備え、前記先端部シー
ルド機構が、先端部磁気シールド部と先端部電波シール
ド部とを有し、前記先端部磁気シールド部が、扉本体の
先端と室壁との隙間を磁気シールドルーム外側から塞
ぐ、先端部外側シールド部材を備え、前記先端部電波シ
ールド部が、前記先端部外側シールド部材の室壁との当
接面側に配設された先端部扉側電波シールド部材と、前
記先端部扉側電波シールド部材に対応させて室壁に配設
された先端部室壁側電波シールド部材とを備えてなるこ
とを特徴とする。

【００１８】本発明の磁気シールドルームの扉部遮蔽構
造の第２形態は、基端部シールド機構と先端部シールド
機構とを備えてなる磁気シールドルームの扉部遮蔽構造
であって、前記基端部シールド機構が、基端部磁気シー
ルド部と基端部電波シールド部とを有し、前記基端部磁
気シールド部が、扉本体の基端と室壁との隙間を磁気シ
ールドルーム外側および内側から塞ぐ、基端部外側シー
ルド部材および基端部内側シールド部材を備え、前記基
端部電波シールド部が、前記基端部外側シールド部材の
室壁との当接面側に配設された基端部扉側電波シールド
部材と、前記基端部扉側電波シールド部材に対応させて
室壁に配設された基端部室壁側電波シールド部材とを備
え、前記先端部シールド機構が、先端部磁気シールド部
と先端部電波シールド部とを有し、前記先端部磁気シー
ルド部が、扉本体の先端と室壁との隙間を磁気シールド
ルーム外側および内側から塞ぐ、先端部外側シールド部
材および先端部内側シールド部材を備え、前記先端部電
波シールド部が、前記先端部外側シールド部材の室壁と
の当接面側に配設された先端部扉側電波シールド部材
と、前記先端部扉側電波シールド部材に対応させて室壁
に配設された先端部室壁側電波シールド部材とを備えて
なることを特徴とする。

【００１９】本発明の磁気シールドルームの扉部遮蔽構
造の第１および２形態においては、外側シールド漏れ防
止手段を備えてなるのが好ましい。なお、本発明の磁気
シールドルームの扉部遮蔽構造の第２形態においては、
内側シールド漏れ防止手段を備えてなるのが好ましい。

【００２０】また、本発明の磁気シールドルームの扉部
遮蔽構造の第１および２形態においては、先端部室壁側
電波シールド部材が室壁に配設されたポケットに収納さ
れてなるのが好ましく、また基端部電波シールド部が扉
本体基端とそれに対向する室壁端面との隙間に配設され
てなるのが好ましい。

【００２１】しかして、本発明の磁気シールドルームの
扉部遮蔽構造は、磁気シールドルームに備えられる。

【００２２】

【作用】本発明は前記のごとく構成されているので、扉
部における磁気シールド性能および電波シールドが向上
される。

【００２３】また、本発明の好ましい形態においては、
先端部室壁側電波シールド部材が室壁に配設されたポケ
ットに収納されているので、扉先端部の外観が改善され
るとともに、電波シールド部材に誤って触れて切創する
おそれもなくなる。その上、磁気シールドルームが心磁
計測に用いられている場合、その部屋で計測をなす患者
に非常な圧迫感を与えるおそれもない。

【００２４】

【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照しながら本
発明を実施形態に基づいて説明するが、本発明はかかる
実施形態のみに限定されるものではない。

【００２５】本発明の一実施形態にかかる磁気シールド
ルームの扉部遮蔽構造（以下、単に遮蔽構造という）が
適用された磁気シールドルームの横断面図を図１に、そ
の要部拡大断面図を図２、図３、図４および図５に示
す。

【００２６】遮蔽構造Ｋは、図１に示すように、基端部
シールド機構Ｂと先端部シールド機構Ｔとを主要構成要
素として備えてなるものとされる。

【００２７】また、基端部シールド機構Ｂは、基端部磁
気シールド部１０と基端部電波シールド部２０とを有
し、先端部シールド機構Ｔは、先端部磁気シールド部３
０と先端部電波シールド部４０とを有してなるものとさ
れる。

【００２８】この遮蔽構造Ｋおける扉５０は、図１に示
すように、扉本体５１を室壁５２にヒンジ５３によって
開閉・支持するものとされる。この扉５０においては、
扉本体５１と室壁５２とのヒンジ５３側、つまり基端部
側の隙間５４Ａおよび反ヒンジ５３側、つまり先端部側
の隙間５４Ｂに、高透磁率合金、例えばＦｅ−４５Ｎｉ
合金、８０Ｎｉ−Ｍｏ−Ｆｅ合金、７８Ｎｉ−Ｍｏ−Ｃ
ｕ−Ｆｅ合金、７０Ｎｉ−１０Ｃｕ−１２Ｍｎ−Ｆｅ合
金などからなる長板状の隙間遮蔽部材５５Ａ、５５Ｂ、
５５Ｃ、５５Ｄを室内側および室外側の両側からあてが
うものとし、これによって、扉本体５１と室壁５２との
各隙間５４を磁気的にシールドする基端部磁気シールド
部１０と先端部磁気シールド部３０とが形成される。な
お、図１において、符号８０が付された部材は扉本体５
１のノブとされる。

【００２９】以下、基端部シールド機構Ｂの基端部磁気
シールド部１０および基端部電波シールド部２０、なら
びに先端部シールド機構Ｔの先端部磁気シールド部３０
および先端部電波シールド部４０について詳細に説明す
る。

【００３０】図２に、基端部シールド機構Ｂの磁気シー
ルド部１０および電波シールド部２０を示す。磁気シー
ルド部１０および電波シールド部２０は、ヒンジ５３
側、つまり基端部側の隙間５４Ａから室外の磁気および
電波が室内に侵入するのを防止するものとされる。

【００３１】図２に示すように、扉本体５１の室外側表
面５１ａに、隙間遮蔽部材５５Ａが扉本体５１のヒンジ
５３側端部から所定幅Ｌ₁突き出されるようにして取り
付けられて、扉本体５１が閉められたときにこの所定幅
Ｌ₁の隙間遮蔽部材５５Ａの突き出し部分によって隙間
５４Ａを室外側から塞ぐものとされ、これによって、基
端部外側磁気シールド部１０Ａが形成される。また、基
端部側の室壁５２の室内側には、隙間５４Ａを室内側か
ら塞ぐ隙間遮蔽部材５５Ｃが配設されて基端部内側磁気
シールド部１０Ｂが形成される。

【００３２】電波シールド部２０は、扉本体５１が閉め
られたときに隙間５４Ａ内に挿入されるように、隙間遮
蔽部材５５Ａに配設される扉側電波シールド部材２１
と、室壁側電波シールド部材２２とから構成される。

【００３３】扉側電波シールド部材２１は、具体的に
は、隙間遮蔽部材５５Ａと同様の高透磁率合金あるいは
銅、しんちゅう、ベリリウムカッパーなどからなる長板
状部材とされ、扉本体５１が閉められたときに室壁５２
の扉本体５１側の端面６１と所定間隔をあけて隙間５４
Ａ内に挿入されるように、隙間遮蔽部材５５Ａに垂直に
取り付けられている。

【００３４】室壁側電波シールド部材２２は、図６に示
すように、ベリリウムカッパーからなる湾曲された短冊
形状の板バネ片６３を、幅方向に多数個並べて所望の長
さＭに形成したものとされる。また、室壁側電波シール
ド部材２２は、室壁５２の扉本体５１側の端面６１に形
成される段部６１ａに、扉本体５１が閉められたときに
扉側電波シールド部材２１の一側と全長に亘って圧接す
るよう取り付けられるものとされる。

【００３５】なお、図２において、符号５３ａが付され
た部材はヒンジ５３のアームとされる。

【００３６】図３に、先端部シールド機構Ｔの磁気シー
ルド部３０および電波シールド部４０を示す。磁気シー
ルド部３０および電波シールド部４０は、反ヒンジ５３
側、つまり先端部側の隙間５４Ｂから室外の磁気および
電波が室内に侵入するのを防止するものとされる。

【００３７】図３に示すように、扉本体５１の室外側表
面５１ａに、隙間遮蔽部材５５Ｂが扉本体５１の反ヒン
ジ５３側の端部から所定幅Ｌ₂突き出されるようにして
取り付けられて、扉本体５１が閉められたときにこの所
定幅Ｌ₂の隙間遮蔽部材５５Ｂの突き出し部分が隙間５
４Ｂを室外側から塞ぐものとされ、これによって、先端
部外側磁気シールド部３０Ａが形成される。また、先端
部側の室壁５２の室内側には、隙間５４Ｂを室内側から
塞ぐ隙間遮蔽部材５５Ｄが配設されて先端部内側磁気シ
ールド部３０Ｂが形成される。

【００３８】電波シールド部４０は、電波シールド部２
０と同様、隙間遮蔽部材５５Ｂに配設される扉側電波シ
ールド部材４１と、室壁側電波シールド部材４２とから
構成される。

【００３９】扉側電波シールド部材４１は、具体的に
は、隙間遮蔽部材５５Ｂと同様の高透磁率合金あるいは
銅、しんちゅう、ベリリウムカッパーからなる長板状部
材とされ、扉本体５１が閉められたときに室壁５２の扉
本体５１側の端部６２に設けられる断面コの字形のポケ
ット６２ｂに挿入されるように、隙間遮蔽部材５５Ｂに
垂直に取り付けられるものとされる。

【００４０】室壁側電波シールド部材４２は、室壁側電
波シールド部材２２と同様、図６に示すように、ベリリ
ウムカッパーからなる湾曲された短冊形状の板バネ片６
３を、幅方向に多数個並べて所望の長さＭに形成したも
のとされて、ポケット６２ｂ内で扉側電波シールド部材
４１に両側から全長に亘って圧接するよう取り付けられ
る。

【００４１】図４に、外側シールド漏れ防止構造５６Ａ
を示し、この外側シールド漏れ防止構造５６Ａは、基端
部および先端部外側磁気シールド部１０Ａ，３０Ａのシ
ールド漏れを防止するものとされる。以下に、先端部外
側磁気シールド部３０Ａにおける場合を説明すると同時
に、基端部外側磁気シールド部１０Ａにおける場合を対
応部材の符号を（）付きで示して説明する。

【００４２】隙間遮蔽部材５５Ｂ（５５Ａ）と室壁５２
との間には、各部材の反りなどに起因して、隙間遮蔽部
材５５Ｂ（５５Ａ）が室壁５２表面から浮き上がって部
分的に接触しない非接触部分５４Ｃが存在する。つま
り、隙間遮蔽部材５５Ｂ（５５Ａ）によりシールドされ
ないで漏れの生ずる個所が存在する。

【００４３】外側シールド漏れ防止構造（外側シールド
漏れ防止手段）５６Ａは、この非接触部分５４Ｃを解消
して、外側磁気シールド部１０Ａ，３０Ａのシールド漏
れを防止するものとされる。具体的には、隙間遮蔽部材
５５Ｂ（５５Ａ）の室壁５２側表面６３に端部６４を浮
き上がり可能に貼設される外側シールド漏れ防止部材５
７Ａと、外側シールド漏れ防止部材５７Ａ端部６４の表
面６３からの浮き上がり量Ｌ₃を調節する調節機構５９
とから構成される。

【００４４】外側シールド漏れ防止部材５７Ａは、隙間
遮蔽部材５５Ｂ（５５Ａ）と同様の高透磁率合金から形
成される薄板状の部材とされる。

【００４５】調節機構５９は、隙間遮蔽部材５５Ｂ（５
５Ａ）の室壁５２対向部分６５に、扉５１の上下方向の
所定間隔で設けられるねじ透孔５９ａと、外側シールド
漏れ防止部材５７Ａに一端面を当接させてねじ透孔５９
ａに螺着されるイモねじ５９ｂとから構成される。

【００４６】次に、内側シールド漏れ防止構造（内側シ
ールド漏れ防止手段）５６Ｂを説明する（図１参照）。
内側シールド漏れ防止構造５６Ｂは、ヒンジ５３側の隙
間５４Ａを室壁５２に取り付けられる隙間遮蔽部材５５
Ｃによって室内側から塞ぐ基端部内側磁気シールド部１
０Ｂおよび反ヒンジ５３側の隙間５４Ｂを室壁５２に取
り付けられる隙間遮蔽部材５５Ｄによって室内側から塞
ぐ先端部内側磁気シールド部３０Ｂのシールド漏れを防
止するものとされる。以下に、先端部内側磁気シールド
部３０Ｂにおける場合を説明すると同時に、基端部内側
磁気シールド部１０Ｂにおける場合を対応部材の符号を
（）付きで示して説明する。

【００４７】図７に示すように、隙間遮蔽部材５５Ｄ
（５５Ｃ）と扉本体５１との間には、各部材の反りなど
に起因して、隙間遮蔽部材５５Ｄ（５５Ｃ）が扉本体５
１表面から浮き上がって部分的に接触しない非接触部分
５４Ｄが存在する。つまり、隙間遮蔽部材５５Ｄ（５５
Ｃ）によりシールドされないで漏れの生ずる個所が存在
する。

【００４８】内側シールド漏れ防止構造５６Ｂは、この
非接触部分５４Ｄを解消して、先端部および基端部内側
磁気シールド部３０Ｂ、１０Ｂのシールド漏れを防止す
るものとされる。内側シールド漏れ防止構造５６Ｂは、
具体的には、隙間遮蔽部材５５Ｄ（５５Ｃ）に設けら
れ、扉本体５１側に撓むようにして非接触部分５４Ｄを
塞ぐシールド漏れ防止部材５７Ｂと、内側シールド漏れ
防止部材５７Ｂの扉本体５１側への撓み量を調節する調
節機構７１とから構成される。

【００４９】内側シールド漏れ防止部材５７Ｂは、図５
に示すように、室壁５２に固定される隙間遮蔽部材５５
Ｄ（５５Ｃ）の自由端側端面７０を切断分離しその分離
された部分を扉本体５１の上下方向に全長に亘って摺動
自在にオーバーラップさせて形成される。

【００５０】調節機構７１は、隙間遮蔽部材５５Ｄ（５
５Ｃ）の扉本体５１対向部分７２に、扉本体５１の上下
方向の所定間隔で設けられるねじ透孔７１ａと、内側シ
ールド漏れ防止部材５７Ｂに一端面を当接させてねじ透
孔７１ａに螺着されるイモねじ７１ｂとから構成され
る。

【００５１】このように、この実施形態によれば、扉本
体５１と室壁５２との隙間５４を塞ぐ磁気シールド部１
０，３０におけるシールド漏れをシールド漏れ防止構造
５６によって防止するものとしているので、磁気シール
ドルームの扉部における磁気シールド性能を向上させる
ことができる。また、磁気シールド部１０，３０および
シールド漏れ防止構造５６が電波シールド部２０，４０
構造と共存可能な態様で設けられているので、電波シー
ルド性能を犠牲にすることなく磁気シールド性能を向上
させることが可能である。

【００５２】その上、先端部電波シールド部４０の電波
シールド部材４２は、室壁５２のポケット６２ｂ内に収
納されているので、外観を損なうことがないばかりで
く、電波シールド部材４２に誤って触れて切創するおそ
れもない。さらに、かかる構成とされていることによ
り、磁気シールドルームが心磁計測に用いられている場
合であっても、その部屋で計測をなす患者に非常な圧迫
感を与えるということもない。

【００５３】以上、本発明を実施形態に基づいて説明し
てきたが、本発明はかかる実施形態のみに限定されるも
のではなく種々改変が可能である。例えば、実施形態に
おいては、内側および外側の両方に磁気シールド部を形
成したが、要求されるシールド性能によっては、外側の
みとされてもよい。

【００５４】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
扉部における磁気シールド性能および電波シールドが向
上されるという優れた効果が得られる。

【００５５】また、本発明の好ましい形態においては、
先端部室壁側電波シールド部材が室壁に配設されたポケ
ットに収納されているので、扉先端部の外観が改善され
るとともに、電波シールド部材に誤って触れて切創する
おそれもなくなるという優れた効果が得られる。その
上、磁気シールドルームが心磁計測に用いられている場
合、その部屋で計測をなす患者に非常な圧迫感を与える
おそれもないという優れた効果も得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態にかかる磁気シールドルー
ムの扉部遮蔽構造が適用された扉部の横断面図である。

【図２】同要部拡大断面図であって、基端部シールド機
構を示す。

【図３】同要部拡大断面図であって、先端部シールド機
構を示す。

【図４】同要部拡大断面図であって、外側シールド漏れ
防止構造を示す。

【図５】同要部拡大断面図であって、内側シールド漏れ
防止構造を示す。

【図６】電波シールド部材を示す模式図であって、同
（ａ）は平面図、同（ｂ）は横断面図をそれぞれ示す。

【図７】従来の磁気シールドルーム用遮蔽構造の分解斜
視図である。

【図８】同要部断面図である。

【図９】従来の磁気シールドルーム用遮蔽構造の扉部を
示す断面図である。

【符号の説明】

１０ 基端部磁気シールド部 ２０ 基端部電波シールド部 ２１ 扉側電波シールド部材 ２２ 室壁側電波シールド部材 ３０ 先端部磁気シールド部 ４０ 先端部電波シールド部 ４１ 扉側電波シールド部材 ４２ 室壁側電波シールド部材 ５０ 扉部 ５１ 扉本体 ５２ 室壁 ５４ 隙間 ５５ 隙間遮蔽部材 ５６ シールド漏れ防止構造（手段） ５７ シールド漏れ防止部材 Ｋ 遮蔽構造 Ｂ 基端部シールド機構 Ｔ 先端部シールド機構

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基端部シールド機構と先端部シールド機
   構とを備えてなる磁気シールドルームの扉部遮蔽構造で
   あって、 前記基端部シールド機構が、基端部磁気シールド部と基
   端部電波シールド部とを有し、 前記基端部磁気シールド部が、扉本体の基端と室壁との
   隙間を磁気シールドルーム外側から塞ぐ、基端部外側シ
   ールド部材を備え、 前記基端部電波シールド部が、前記基端部外側シールド
   部材の室壁との当接面側に配設された基端部扉側電波シ
   ールド部材と、前記基端部扉側電波シールド部材に対応
   させて室壁に配設された基端部室壁側電波シールド部材
   とを備え、 前記先端部シールド機構が、先端部磁気シールド部と先
   端部電波シールド部とを有し、 前記先端部磁気シールド部が、扉本体の先端と室壁との
   隙間を磁気シールドルーム外側から塞ぐ、先端部外側シ
   ールド部材を備え、 前記先端部電波シールド部が、前記先端部外側シールド
   部材の室壁との当接面側に配設された先端部扉側電波シ
   ールド部材と、前記先端部扉側電波シールド部材に対応
   させて室壁に配設された先端部室壁側電波シールド部材
   とを備えてなることを特徴とする磁気シールドルームの
   扉部遮蔽構造。
2. 【請求項２】 基端部シールド機構と先端部シールド機
   構とを備えてなる磁気シールドルームの扉部遮蔽構造で
   あって、 前記基端部シールド機構が、基端部磁気シールド部と基
   端部電波シールド部とを有し、 前記基端部磁気シールド部が、扉本体の基端と室壁との
   隙間を磁気シールドルーム外側および内側から塞ぐ、基
   端部外側シールド部材および基端部内側シールド部材を
   備え、 前記基端部電波シールド部が、前記基端部外側シールド
   部材の室壁との当接面側に配設された基端部扉側電波シ
   ールド部材と、前記基端部扉側電波シールド部材に対応
   させて室壁に配設された基端部室壁側電波シールド部材
   とを備え、 前記先端部シールド機構が、先端部磁気シールド部と先
   端部電波シールド部とを有し、 前記先端部磁気シールド部が、扉本体の先端と室壁との
   隙間を磁気シールドルーム外側および内側から塞ぐ、先
   端部外側シールド部材および先端部内側シールド部材を
   備え、 前記先端部電波シールド部が、前記先端部外側シールド
   部材の室壁との当接面側に配設された先端部扉側電波シ
   ールド部材と、前記先端部扉側電波シールド部材に対応
   させて室壁に配設された先端部室壁側電波シールド部材
   とを備えてなることを特徴とする磁気シールドルームの
   扉部遮蔽構造。
3. 【請求項３】 外側シールド漏れ防止手段を備えてなる
   ことを特徴とする請求項１または２記載の磁気シールド
   ルームの扉部遮蔽構造。
4. 【請求項４】 内側シールド漏れ防止手段を備えてなる
   ことを特徴とする請求項２記載の磁気シールドルームの
   扉部遮蔽構造。
5. 【請求項５】 先端部室壁側電波シールド部材が室壁に
   配設されたポケットに収納されてなることを特徴とする
   請求項１または２記載の磁気シールドルームの扉部遮蔽
   構造。
6. 【請求項６】 基端部電波シールド部が扉本体基端とそ
   れに対向する室壁端面との隙間に配設されてなることを
   特徴とする請求項１または２記載の磁気シールドルーム
   の扉部遮蔽構造。
7. 【請求項７】 請求項１ないし請求項６記載の磁気シー
   ルドルームの扉部遮蔽構造を備えてなることを特徴とす
   る磁気シールドルーム。