JP2003059994A - サンプルの検査方法及び検査装置並びに検査装置の管理方法 - Google Patents
サンプルの検査方法及び検査装置並びに検査装置の管理方法Info
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- JP2003059994A JP2003059994A JP2001241070A JP2001241070A JP2003059994A JP 2003059994 A JP2003059994 A JP 2003059994A JP 2001241070 A JP2001241070 A JP 2001241070A JP 2001241070 A JP2001241070 A JP 2001241070A JP 2003059994 A JP2003059994 A JP 2003059994A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】作業者の負担を軽減し、自動化ラインの停止時
間を最小限にして効率的運用を行うことを可能としたサ
ンプルの検査方法及び検査装置並びに検査装置の管理方
法を提供する。 【解決手段】被検査サンプルを検査装置によって自動的
に検査する方法において、複数の被検査サンプルを連続
して測定している検査途中に、自動的に標準サンプルの
測定を行い、その結果をもとに前記検査装置を自動管理
しながら被検査サンプルを連続測定するようにした。
間を最小限にして効率的運用を行うことを可能としたサ
ンプルの検査方法及び検査装置並びに検査装置の管理方
法を提供する。 【解決手段】被検査サンプルを検査装置によって自動的
に検査する方法において、複数の被検査サンプルを連続
して測定している検査途中に、自動的に標準サンプルの
測定を行い、その結果をもとに前記検査装置を自動管理
しながら被検査サンプルを連続測定するようにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、サンプル、例えば
ウェーハの検査方法及び検査装置並びに検査装置の管理
方法に関する。
ウェーハの検査方法及び検査装置並びに検査装置の管理
方法に関する。
【０００２】
【関連技術】デバイスを形成する半導体ウェーハの品質
として重要であり、かつ基本的な特性（品質）として抵
抗率、酸素濃度（格子間酸素濃度）などがある。これら
のウェーハ特性はデバイスの設計に応じて品質規格が定
まっており、ウェーハ製造工程ではその規格に基づき製
造し、品質を保証する必要がある。
として重要であり、かつ基本的な特性（品質）として抵
抗率、酸素濃度（格子間酸素濃度）などがある。これら
のウェーハ特性はデバイスの設計に応じて品質規格が定
まっており、ウェーハ製造工程ではその規格に基づき製
造し、品質を保証する必要がある。
【０００３】これらの品質は、例えば抵抗率などは４探
針法を用いた抵抗率測定機が用いられ、酸素濃度（及び
炭素濃度）の測定では赤外吸収法を用いたＦＴ−ＩＲ(F
ourier Transform Infrared Spectroscopy)などが用い
られ評価されている。これらの測定装置については、被
検査サンプルの自動測定（自動化）が進んでいる。図７
は従来のサンプルの自動測定の一例を示す説明図であ
る。
針法を用いた抵抗率測定機が用いられ、酸素濃度（及び
炭素濃度）の測定では赤外吸収法を用いたＦＴ−ＩＲ(F
ourier Transform Infrared Spectroscopy)などが用い
られ評価されている。これらの測定装置については、被
検査サンプルの自動測定（自動化）が進んでいる。図７
は従来のサンプルの自動測定の一例を示す説明図であ
る。
【０００４】図７に示されるように、被検査用サンプル
（ウェーハ）Ｓ1〜Ｓ7にあらかじめＩＤ番号を印字させ
ておき、各測定装置毎に各被検査サンプルＳ1〜Ｓ7のＩ
Ｄ番号読み取り、上位ホストコンピュータ（図示せず）
と通信し、その測定レシピの確認及び測定した結果（測
定値）を測定した被検査サンプルと１対１で対応させ保
存することが可能となり、測定結果を取り扱う上で非常
に効率的に運用することが出来ており、夜間運転等作業
の省力化に大きな貢献をしている。
（ウェーハ）Ｓ1〜Ｓ7にあらかじめＩＤ番号を印字させ
ておき、各測定装置毎に各被検査サンプルＳ1〜Ｓ7のＩ
Ｄ番号読み取り、上位ホストコンピュータ（図示せず）
と通信し、その測定レシピの確認及び測定した結果（測
定値）を測定した被検査サンプルと１対１で対応させ保
存することが可能となり、測定結果を取り扱う上で非常
に効率的に運用することが出来ており、夜間運転等作業
の省力化に大きな貢献をしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記検査装置
等では、測定値の信頼性を確認するため、例えば１日当
たり数回、標準サンプル（日常管理サンプル）ＳAを測
定するといった日常点検を行わなければならず、例え
ば、図７に示すような自動化ラインでも、一旦装置を止
めて、校正・点検を行わなくてはならない。この様な測
定機管理は自動化ラインの停止時間が長くなり効率的運
用に支障をきたしていた。特に複数の測定装置を連続的
に配置した自動検査ラインでは、それぞれの装置を校正
・点検する必要があり、作業的にたいへんであった。作
業者の負担を減らし自動化での稼働時間を長くすること
が必要であった。
等では、測定値の信頼性を確認するため、例えば１日当
たり数回、標準サンプル（日常管理サンプル）ＳAを測
定するといった日常点検を行わなければならず、例え
ば、図７に示すような自動化ラインでも、一旦装置を止
めて、校正・点検を行わなくてはならない。この様な測
定機管理は自動化ラインの停止時間が長くなり効率的運
用に支障をきたしていた。特に複数の測定装置を連続的
に配置した自動検査ラインでは、それぞれの装置を校正
・点検する必要があり、作業的にたいへんであった。作
業者の負担を減らし自動化での稼働時間を長くすること
が必要であった。
【０００６】図８は従来の自動化ラインの工程順の一例
を示す工程図である。例えば、図８に示すように、Ｎ
ｏ．１測定装置１２、例えば４探針式抵抗率測定装置と
Ｎｏ．２測定装置１４、例えばＦＴ−ＩＲによる酸素濃
度測定装置を連続的に配置した自動検査ライン１０で
は、まず、抵抗率測定装置１２、酸素濃度測定装置１４
とすべての装置を一旦停止し、自動測定モード（通常測
定モード又は被検査サンプル測定モードなどということ
がある）にある装置を標準サンプル測定モードに切り替
えなければならない。次にローダ１６及びローダ兼アン
ローダ１８も一旦停止し、装置設定を変えなければなら
ない。例えば、自動供給モードにある装置を標準サンプ
ル供給モードに切り替える。さらには、工程中に流れて
いる被検査サンプルＳ1〜Ｓ7を全て測定終了するまで待
つか又は取り除かなければならない。これらの段取りを
実施した後、標準サンプルをセットし測定が始まる。標
準サンプルＳAを測定した後は測定値を管理図に記入し
たり測定機の異常判断を行わなければならない。なお、
図８において、２０はアンローダである。
を示す工程図である。例えば、図８に示すように、Ｎ
ｏ．１測定装置１２、例えば４探針式抵抗率測定装置と
Ｎｏ．２測定装置１４、例えばＦＴ−ＩＲによる酸素濃
度測定装置を連続的に配置した自動検査ライン１０で
は、まず、抵抗率測定装置１２、酸素濃度測定装置１４
とすべての装置を一旦停止し、自動測定モード（通常測
定モード又は被検査サンプル測定モードなどということ
がある）にある装置を標準サンプル測定モードに切り替
えなければならない。次にローダ１６及びローダ兼アン
ローダ１８も一旦停止し、装置設定を変えなければなら
ない。例えば、自動供給モードにある装置を標準サンプ
ル供給モードに切り替える。さらには、工程中に流れて
いる被検査サンプルＳ1〜Ｓ7を全て測定終了するまで待
つか又は取り除かなければならない。これらの段取りを
実施した後、標準サンプルをセットし測定が始まる。標
準サンプルＳAを測定した後は測定値を管理図に記入し
たり測定機の異常判断を行わなければならない。なお、
図８において、２０はアンローダである。
【０００７】そこで、本発明は、作業者の負担を軽減
し、自動化ラインの停止時間を最小限にして効率的運用
を行うことを可能としたサンプルの検査方法及び検査装
置並びに検査装置の管理方法を提供することを目的とす
る。
し、自動化ラインの停止時間を最小限にして効率的運用
を行うことを可能としたサンプルの検査方法及び検査装
置並びに検査装置の管理方法を提供することを目的とす
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明のサンプルの検査
方法の第１の態様は、被検査サンプルを検査装置によっ
て自動的に検査する方法において、複数の被検査サンプ
ルを連続して測定している検査途中に、自動的に標準サ
ンプルの測定を行い、その結果をもとに前記検査装置を
自動管理しながら、被検査サンプルを連続的に測定検査
するものである。
方法の第１の態様は、被検査サンプルを検査装置によっ
て自動的に検査する方法において、複数の被検査サンプ
ルを連続して測定している検査途中に、自動的に標準サ
ンプルの測定を行い、その結果をもとに前記検査装置を
自動管理しながら、被検査サンプルを連続的に測定検査
するものである。
【０００９】このように、被検査サンプルの測定途中
に、自動的に標準サンプルを測定し、その結果をもとに
装置管理（点検や校正）を行えば、装置を止めることな
く連続的に被検査サンプルを評価でき、また作業者の負
担は低減する。
に、自動的に標準サンプルを測定し、その結果をもとに
装置管理（点検や校正）を行えば、装置を止めることな
く連続的に被検査サンプルを評価でき、また作業者の負
担は低減する。
【００１０】本発明のサンプルの検査方法の第２の態様
は、被検査サンプルのＩＤ番号及びそのＩＤ番号に対応
した検査レシピ及び標準サンプルの測定結果による校正
基準・管理基準を記憶したホストコンピュータ、検査装
置本体及びＩＤ番号認識装置を有する検査装置によって
被検査サンプルを自動的に検査するにあたり、前記被検
査サンプル及び標準サンプルにＩＤ番号を付与し、前記
被検査サンプル及び標準サンプルに付与されたＩＤ番号
をＩＤ番号認識装置により確認し、そのＩＤ番号及びそ
のＩＤ番号に対応した検査レシピをホストコンピュータ
に照合し測定するとともに、前記標準サンプルのＩＤ番
号を認識すると、当該ＩＤ番号の標準サンプルの測定結
果による校正基準・管理基準をホストコンピュータに照
合し、その照合結果にもとづき、前記検査装置本体を管
理しつつ前記被検査サンプルを連続測定するものであ
る。
は、被検査サンプルのＩＤ番号及びそのＩＤ番号に対応
した検査レシピ及び標準サンプルの測定結果による校正
基準・管理基準を記憶したホストコンピュータ、検査装
置本体及びＩＤ番号認識装置を有する検査装置によって
被検査サンプルを自動的に検査するにあたり、前記被検
査サンプル及び標準サンプルにＩＤ番号を付与し、前記
被検査サンプル及び標準サンプルに付与されたＩＤ番号
をＩＤ番号認識装置により確認し、そのＩＤ番号及びそ
のＩＤ番号に対応した検査レシピをホストコンピュータ
に照合し測定するとともに、前記標準サンプルのＩＤ番
号を認識すると、当該ＩＤ番号の標準サンプルの測定結
果による校正基準・管理基準をホストコンピュータに照
合し、その照合結果にもとづき、前記検査装置本体を管
理しつつ前記被検査サンプルを連続測定するものであ
る。
【００１１】このように、ＩＤ番号を付与した標準サン
プルを用いる事で、不規則に標準サンプルを流したとし
ても、認識装置によりＩＤ番号を認識し、ホストコンピ
ュータで適切な処理に切り替えられ、装置を止める事な
く連続測定できる。
プルを用いる事で、不規則に標準サンプルを流したとし
ても、認識装置によりＩＤ番号を認識し、ホストコンピ
ュータで適切な処理に切り替えられ、装置を止める事な
く連続測定できる。
【００１２】本発明のサンプルの検査装置は、被検査サ
ンプルを自動検査する検査装置であって、少なくとも前
記被検査サンプル及び標準サンプルのＩＤ番号及びその
ＩＤ番号に対応した検査レシピ及び標準サンプルの測定
結果による校正基準・管理基準を記憶したホストコンピ
ュータと、ＩＤ番号が付与された被検査サンプル及び標
準サンプルをセットしておくローダと、前記被検査サン
プル及び標準サンプルに付与されたＩＤ番号を認識する
ＩＤ番号認識装置と、前記被検査サンプル及び標準サン
プルの品質を検査する検査装置本体と、前記被検査サン
プル及び標準サンプルを排出するアンローダを有し、前
記標準サンプルのＩＤ番号を認識すると、当該ＩＤ番号
の標準サンプルの測定結果による校正基準・管理基準を
ホストコンピュータに照合し、その照合結果にもとづ
き、前記検査装置本体を管理しつつ被検査サンプルを連
続測定するように作動することを特徴とする。このよう
な自動化ラインシステムを構築すれば、自動で検査でき
る。
ンプルを自動検査する検査装置であって、少なくとも前
記被検査サンプル及び標準サンプルのＩＤ番号及びその
ＩＤ番号に対応した検査レシピ及び標準サンプルの測定
結果による校正基準・管理基準を記憶したホストコンピ
ュータと、ＩＤ番号が付与された被検査サンプル及び標
準サンプルをセットしておくローダと、前記被検査サン
プル及び標準サンプルに付与されたＩＤ番号を認識する
ＩＤ番号認識装置と、前記被検査サンプル及び標準サン
プルの品質を検査する検査装置本体と、前記被検査サン
プル及び標準サンプルを排出するアンローダを有し、前
記標準サンプルのＩＤ番号を認識すると、当該ＩＤ番号
の標準サンプルの測定結果による校正基準・管理基準を
ホストコンピュータに照合し、その照合結果にもとづ
き、前記検査装置本体を管理しつつ被検査サンプルを連
続測定するように作動することを特徴とする。このよう
な自動化ラインシステムを構築すれば、自動で検査でき
る。
【００１３】なお、前記ＩＤ番号が付与された被検査サ
ンプル及び標準サンプルをセットしておくローダは、少
なくとも２つ以上の供給部を具備し、被検査サンプルを
供給する供給カセットと標準サンプルを供給する専用カ
セットを有することが好ましい。
ンプル及び標準サンプルをセットしておくローダは、少
なくとも２つ以上の供給部を具備し、被検査サンプルを
供給する供給カセットと標準サンプルを供給する専用カ
セットを有することが好ましい。
【００１４】ＩＤ番号を認識する方式であるので、ロー
ダをわざわざ区別する必要はないが、このように少なく
とも２つ以上の供給部があれば、任意の時間に標準サン
プルを測定しやすくなる。つまり任意の時間で専用カセ
ットからサンプルを供給するようにすれば何時も決まっ
た時間に測定機の管理ができる。
ダをわざわざ区別する必要はないが、このように少なく
とも２つ以上の供給部があれば、任意の時間に標準サン
プルを測定しやすくなる。つまり任意の時間で専用カセ
ットからサンプルを供給するようにすれば何時も決まっ
た時間に測定機の管理ができる。
【００１５】そこで、本発明の検査装置にはタイマーを
さらに設置しておき、所定の時間になるとローダ又は標
準サンプル専用カセットから標準サンプルを自動供給す
るようにすると好ましい。
さらに設置しておき、所定の時間になるとローダ又は標
準サンプル専用カセットから標準サンプルを自動供給す
るようにすると好ましい。
【００１６】また、ＩＤ番号が付与された被検査サンプ
ル及び標準サンプルを排出するアンローダは、少なくと
も２つ以上の排出部を具備し、被検査サンプルを排出す
る排出カセットと標準サンプルを排出する専用カセット
を有することが好ましい。
ル及び標準サンプルを排出するアンローダは、少なくと
も２つ以上の排出部を具備し、被検査サンプルを排出す
る排出カセットと標準サンプルを排出する専用カセット
を有することが好ましい。
【００１７】このようにすることで、測定後に、被検査
サンプルと標準サンプルが混合する事がなく仕分け作業
が不用になる。
サンプルと標準サンプルが混合する事がなく仕分け作業
が不用になる。
【００１８】なお、該サンプルの品質を検査する検査装
置本体が、酸素濃度測定装置、炭素濃度測定装置又は抵
抗率測定装置のうち少なくともひとつの装置であるよう
にするのが好適である。
置本体が、酸素濃度測定装置、炭素濃度測定装置又は抵
抗率測定装置のうち少なくともひとつの装置であるよう
にするのが好適である。
【００１９】これは、上記した各品質が半導体ウェーハ
の品質として重要であり、かつ基本的な特性（品質）で
あり、またＦＴ−ＩＲなどの校正は検量線などで校正で
きるため、自動校正が行いやすいためである。
の品質として重要であり、かつ基本的な特性（品質）で
あり、またＦＴ−ＩＲなどの校正は検量線などで校正で
きるため、自動校正が行いやすいためである。
【００２０】本発明の検査装置の管理方法は、標準サン
プルのＩＤ番号及びそのＩＤ番号に対応した測定レシピ
及び標準サンプルの測定結果による校正基準・管理基準
を記憶したホストコンピュータ、検査装置本体及びＩＤ
番号認識装置を有する検査装置を自動的に校正・点検す
る管理方法であって、標準サンプルにＩＤ番号を付与し
ておき、前記検査装置本体に搬入された当該標準サンプ
ルに対して、当該検査装置本体に付設された前記ＩＤ番
号認識装置で当該標準サンプルのＩＤ番号を自動的に認
識し、そのＩＤ番号により測定レシピをホストコンピュ
ータに照合し、該測定レシピに従い測定し、その測定結
果により装置の校正・点検を行うことを特徴とする。こ
のようにすることで、信頼性の高い検査装置の管理が行
える。
プルのＩＤ番号及びそのＩＤ番号に対応した測定レシピ
及び標準サンプルの測定結果による校正基準・管理基準
を記憶したホストコンピュータ、検査装置本体及びＩＤ
番号認識装置を有する検査装置を自動的に校正・点検す
る管理方法であって、標準サンプルにＩＤ番号を付与し
ておき、前記検査装置本体に搬入された当該標準サンプ
ルに対して、当該検査装置本体に付設された前記ＩＤ番
号認識装置で当該標準サンプルのＩＤ番号を自動的に認
識し、そのＩＤ番号により測定レシピをホストコンピュ
ータに照合し、該測定レシピに従い測定し、その測定結
果により装置の校正・点検を行うことを特徴とする。こ
のようにすることで、信頼性の高い検査装置の管理が行
える。
【００２１】上記した被検査サンプル及び標準サンプル
に用いられるサンプルとしては、ウェーハ、例えばシリ
コンウェーハ等の半導体ウェーハ、石英ウェーハ、光デ
ィスク等を例示することができる。
に用いられるサンプルとしては、ウェーハ、例えばシリ
コンウェーハ等の半導体ウェーハ、石英ウェーハ、光デ
ィスク等を例示することができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を添付
図面に基づいて説明するが、図示例は例示的に示される
もので、本発明の技術思想から逸脱しない限り種々の変
形が可能なことはいうまでもない。
図面に基づいて説明するが、図示例は例示的に示される
もので、本発明の技術思想から逸脱しない限り種々の変
形が可能なことはいうまでもない。
【００２３】図１は、本発明のサンプルの検査装置の一
つの実施の形態を示す全体配置図である。同図におい
て、３０は本発明にかかわるサンプルの検査装置で、ホ
ストコンピュータ３２を有している。該ホストコンピュ
ータ３２は、少なくとも被検査サンプルＳ及び標準サン
プルＳAのＩＤ番号及びそのＩＤ番号に対応した検査レ
シピ、及び管理基準、すなわち標準サンプルＳAの測定
結果による校正基準及び管理基準を記憶している。上記
ホストコンピュータ３２には、ローダ３４、ＩＤ番号認
識装置３６、検査装置本体３８、及びアンローダ４０が
導線Ｌ1，Ｌ2，Ｌ 3及びＬ4によって電気的に接続されて
いる。
つの実施の形態を示す全体配置図である。同図におい
て、３０は本発明にかかわるサンプルの検査装置で、ホ
ストコンピュータ３２を有している。該ホストコンピュ
ータ３２は、少なくとも被検査サンプルＳ及び標準サン
プルＳAのＩＤ番号及びそのＩＤ番号に対応した検査レ
シピ、及び管理基準、すなわち標準サンプルＳAの測定
結果による校正基準及び管理基準を記憶している。上記
ホストコンピュータ３２には、ローダ３４、ＩＤ番号認
識装置３６、検査装置本体３８、及びアンローダ４０が
導線Ｌ1，Ｌ2，Ｌ 3及びＬ4によって電気的に接続されて
いる。
【００２４】上記ローダ３４には、供給カセット４２及
び専用カセット４４が設けられている。この供給カセッ
ト４２にはＩＤ番号Ｎが付与された被検査サンプルＳが
セットされ、専用カセット４４には同様にＩＤ番号Ｎが
付与された標準サンプルＳAがセットされる。４６は供
給カセット４２及び専用カセット４４に隣接して設けら
れたロボットアームで、供給カセット４２にセットされ
た被検査サンプルＳ及び専用カセット４４にセットされ
た標準サンプルＳAを次工程、即ちＩＤ番号認識装置３
６に搬送するように作動する。
び専用カセット４４が設けられている。この供給カセッ
ト４２にはＩＤ番号Ｎが付与された被検査サンプルＳが
セットされ、専用カセット４４には同様にＩＤ番号Ｎが
付与された標準サンプルＳAがセットされる。４６は供
給カセット４２及び専用カセット４４に隣接して設けら
れたロボットアームで、供給カセット４２にセットされ
た被検査サンプルＳ及び専用カセット４４にセットされ
た標準サンプルＳAを次工程、即ちＩＤ番号認識装置３
６に搬送するように作動する。
【００２５】上記被検査サンプルＳにはあらかじめＩＤ
番号Ｎを刻印しておき、また、そのＩＤ番号Ｎと測定条
件（測定レシピ）をホストコンピュータ３２に登録して
おく。
番号Ｎを刻印しておき、また、そのＩＤ番号Ｎと測定条
件（測定レシピ）をホストコンピュータ３２に登録して
おく。
【００２６】また、上記標準サンプルＳAについても、
あらかじめＩＤ番号Ｎを刻印しておき、そのＩＤ番号Ｎ
と測定条件、及び標準値をホストコンピュータ３２に登
録する。
あらかじめＩＤ番号Ｎを刻印しておき、そのＩＤ番号Ｎ
と測定条件、及び標準値をホストコンピュータ３２に登
録する。
【００２７】図１ではウェーハ状の被検査サンプルＳを
セットする供給カセット４２及び標準サンプルＳAをセ
ットする専用カセット４４がそれぞれ１基ずつ設けられ
ている場合が示されているが、ローダ３４に設けられる
カセット４２，４４の数は限定されず、被検査サンプル
Ｓ及び標準サンプルＳAを同じカセットにセットしても
良い。但し、少なくとも２基以上のカセット４２，４４
があればサンプルＳ，ＳAの取扱いがしやすい。
セットする供給カセット４２及び標準サンプルＳAをセ
ットする専用カセット４４がそれぞれ１基ずつ設けられ
ている場合が示されているが、ローダ３４に設けられる
カセット４２，４４の数は限定されず、被検査サンプル
Ｓ及び標準サンプルＳAを同じカセットにセットしても
良い。但し、少なくとも２基以上のカセット４２，４４
があればサンプルＳ，ＳAの取扱いがしやすい。
【００２８】例えば、通常の測定時には被検査サンプル
Ｓを供給カセット４２にセットし、供給カセット４２か
らＩＤ番号認識装置３６に被検査サンプルＳを供給す
る。標準サンプルＳA等の優先的に検査する必要のある
優先サンプルは専用カセット４４にセットし、専用カセ
ット４４に優先サンプルがセットされたら供給カセット
４２の被検査サンプルＳよりも優先的に優先サンプルを
供給するなどしても良い。
Ｓを供給カセット４２にセットし、供給カセット４２か
らＩＤ番号認識装置３６に被検査サンプルＳを供給す
る。標準サンプルＳA等の優先的に検査する必要のある
優先サンプルは専用カセット４４にセットし、専用カセ
ット４４に優先サンプルがセットされたら供給カセット
４２の被検査サンプルＳよりも優先的に優先サンプルを
供給するなどしても良い。
【００２９】また、ローダ３４にタイマーをセットすれ
ば、専用カセット４４からＩＤ番号認識装置３６へのサ
ンプル供給を設定時間内に行うことができ、作業者の作
業が重なった場合などや、逆に一定時間供給を止めるこ
とが必要な時に調整でき、作業者の負担を減らすことが
できる。
ば、専用カセット４４からＩＤ番号認識装置３６へのサ
ンプル供給を設定時間内に行うことができ、作業者の作
業が重なった場合などや、逆に一定時間供給を止めるこ
とが必要な時に調整でき、作業者の負担を減らすことが
できる。
【００３０】ＩＤ番号認識装置３６はローダ３４から搬
送されてきた被検査サンプルＳ及び標準サンプルＳAに
印字されたＩＤ番号Ｎを読み取るものである。ＩＤ番号
ＮはサンプルＳ，ＳAの決められた位置に印字してお
き、ＩＤ番号認識装置３６ではサンプルＳ，ＳAをセン
ターリングし、決められた位置のＩＤ番号Ｎを読み取る
ようにしてある。ＩＤ番号認識装置３６は、ＣＣＤカメ
ラ等による読み取り部３５と、画像処理部３７からな
り、認識したＩＤ番号Ｎをホストコンピュータ３２に送
信する。
送されてきた被検査サンプルＳ及び標準サンプルＳAに
印字されたＩＤ番号Ｎを読み取るものである。ＩＤ番号
ＮはサンプルＳ，ＳAの決められた位置に印字してお
き、ＩＤ番号認識装置３６ではサンプルＳ，ＳAをセン
ターリングし、決められた位置のＩＤ番号Ｎを読み取る
ようにしてある。ＩＤ番号認識装置３６は、ＣＣＤカメ
ラ等による読み取り部３５と、画像処理部３７からな
り、認識したＩＤ番号Ｎをホストコンピュータ３２に送
信する。
【００３１】なお、被検査サンプルＳ及び標準サンプル
ＳAへのＩＤ番号Ｎの付与はレーザーマークにより行う
事が好ましい。自動化ラインでは文字を正確に認識する
事が重要であり、レーザーマークによる印字は十分に深
く鮮明でありＩＤ番号認識装置３６で読み取りやすいた
めである。
ＳAへのＩＤ番号Ｎの付与はレーザーマークにより行う
事が好ましい。自動化ラインでは文字を正確に認識する
事が重要であり、レーザーマークによる印字は十分に深
く鮮明でありＩＤ番号認識装置３６で読み取りやすいた
めである。
【００３２】上記ホストコンピュータ３２では、ＩＤ番
号認識装置３６より送られてきたＩＤ番号Ｎをもとに、
被検査サンプルＳ及び標準サンプルＳAの識別をし、被
検査サンプルＳであれば通常測定モードのままＩＤ番号
Ｎに対応した検査レシピを検査装置本体３８に返信す
る。通常測定モードの測定レシピは通常、サンプルＳ，
ＳAの直径や、測定位置などに関する情報である。ＩＤ
番号Ｎが標準サンプルＳAのものであれば、標準サンプ
ル測定モードになる。
号認識装置３６より送られてきたＩＤ番号Ｎをもとに、
被検査サンプルＳ及び標準サンプルＳAの識別をし、被
検査サンプルＳであれば通常測定モードのままＩＤ番号
Ｎに対応した検査レシピを検査装置本体３８に返信す
る。通常測定モードの測定レシピは通常、サンプルＳ，
ＳAの直径や、測定位置などに関する情報である。ＩＤ
番号Ｎが標準サンプルＳAのものであれば、標準サンプ
ル測定モードになる。
【００３３】その後、サンプルＳ，ＳAはＩＤ番号認識
装置３６から測定部３９を有する検査装置本体３８に搬
送ベルト４８によって搬送され、ホストコンピュータ３
２の情報をもとに測定される。測定結果をＩＤ番号Ｎと
対応させホストコンピュータ３２に記録する。
装置３６から測定部３９を有する検査装置本体３８に搬
送ベルト４８によって搬送され、ホストコンピュータ３
２の情報をもとに測定される。測定結果をＩＤ番号Ｎと
対応させホストコンピュータ３２に記録する。
【００３４】上記アンローダ４０には、排出カセット５
０及び専用カセット５２が設けられている。この排出カ
セット５０には、被検査サンプルＳがセットされ、専用
カセット４４には標準サンプルＳAがセットされる。５
４は排出カセット５０及び専用カセット５２に隣接して
設けられたロボットアームで、測定したサンプルＳ，Ｓ
Aを、検査装置本体３８からアンローダ４０に排出する
ように作動する。図１ではウェーハ状のサンプルをセッ
トするカセットが２基ついている場合が示されている。
特にアンローダ４０側のカセット５０，５２の数は限定
されず、被検査サンプルＳ及び標準サンプルＳAを同じ
カセットにセットしても良い。但し、標準サンプルＳA
は繰り返し測定されるので、少なくとも２基以上のカセ
ットにし、専用のカセットに戻されるようにすれば良
い。また、このアンローダ４０側の専用カセット５２が
自動的にローダ３４側の専用カセット位置に搬送される
ようにすると好ましい。
０及び専用カセット５２が設けられている。この排出カ
セット５０には、被検査サンプルＳがセットされ、専用
カセット４４には標準サンプルＳAがセットされる。５
４は排出カセット５０及び専用カセット５２に隣接して
設けられたロボットアームで、測定したサンプルＳ，Ｓ
Aを、検査装置本体３８からアンローダ４０に排出する
ように作動する。図１ではウェーハ状のサンプルをセッ
トするカセットが２基ついている場合が示されている。
特にアンローダ４０側のカセット５０，５２の数は限定
されず、被検査サンプルＳ及び標準サンプルＳAを同じ
カセットにセットしても良い。但し、標準サンプルＳA
は繰り返し測定されるので、少なくとも２基以上のカセ
ットにし、専用のカセットに戻されるようにすれば良
い。また、このアンローダ４０側の専用カセット５２が
自動的にローダ３４側の専用カセット位置に搬送される
ようにすると好ましい。
【００３５】以上述べたような構造のサンプルの検査装
置３０を用いてサンプル、即ち被検査サンプルＳ及び標
準サンプルＳAを測定し検査する。なお、検査条件にお
いて、通常（被検査サンプル）測定モードと標準サンプ
ル測定モードは通常同じである。通常測定モードと標準
サンプル測定モードの大きな違いは、測定した結果をど
のように処理するかである。通常測定モードでは、基本
的にＩＤ番号に対応させ測定結果を単に記録しておくも
のであるが、標準サンプル測定モードでは、測定結果を
もとに自動的に管理基準と照合し、測定を続行するかま
たは校正、停止するかなどの判断および制御を行い、ま
た管理図等を作成したりもする。
置３０を用いてサンプル、即ち被検査サンプルＳ及び標
準サンプルＳAを測定し検査する。なお、検査条件にお
いて、通常（被検査サンプル）測定モードと標準サンプ
ル測定モードは通常同じである。通常測定モードと標準
サンプル測定モードの大きな違いは、測定した結果をど
のように処理するかである。通常測定モードでは、基本
的にＩＤ番号に対応させ測定結果を単に記録しておくも
のであるが、標準サンプル測定モードでは、測定結果を
もとに自動的に管理基準と照合し、測定を続行するかま
たは校正、停止するかなどの判断および制御を行い、ま
た管理図等を作成したりもする。
【００３６】上記のような測定手順を採用することによ
り、検査工程中に流れている被検査サンプルＳを全て取
り除く必要がなく標準サンプルＳAを測定することがで
きる。
り、検査工程中に流れている被検査サンプルＳを全て取
り除く必要がなく標準サンプルＳAを測定することがで
きる。
【００３７】実際の検査方法としては、通常は、図２に
示すように、通常（被検査サンプル）測定モードＭに従
って被検査サンプルＳを連続的に検査装置３０に供給し
測定する。被検査サンプルＳの供給の途中で検査装置３
０を停止する事なしに標準サンプル測定モードＭAに従
い標準サンプルＳAを供給測定し、検査装置３０を点検
する。続いて、通常測定モードＭに戻り、被検査サンプ
ルＳを連続的に検査装置３０に供給して測定する。
示すように、通常（被検査サンプル）測定モードＭに従
って被検査サンプルＳを連続的に検査装置３０に供給し
測定する。被検査サンプルＳの供給の途中で検査装置３
０を停止する事なしに標準サンプル測定モードＭAに従
い標準サンプルＳAを供給測定し、検査装置３０を点検
する。続いて、通常測定モードＭに戻り、被検査サンプ
ルＳを連続的に検査装置３０に供給して測定する。
【００３８】標準サンプルＳAの供給は、一定時間毎に
供給されるように設定しても、また特定位置（専用カセ
ット）にセットしたら優先的に測定を開始するように設
定しても良い。標準サンプルＳAの測定頻度などは任意
である。
供給されるように設定しても、また特定位置（専用カセ
ット）にセットしたら優先的に測定を開始するように設
定しても良い。標準サンプルＳAの測定頻度などは任意
である。
【００３９】検査手順を図１〜図３によって更に詳しく
説明する。図３に示すように、まず、被検査サンプルＳ
を供給カセット４２にセットし、標準サンプルＳAを専
用カセット４４にセットする（ステップ１００）。これ
らのセットされたサンプル（被検査サンプルＳ又は標準
サンプルＳA）は、ＩＤ番号認識装置３６に送られ、Ｉ
Ｄ番号認識装置３６では供給されたサンプルＳ，ＳAの
ＩＤ番号Ｎが読み取られる（ステップ１０２）。この読
み取られたＩＤ番号Ｎはホストコンピュータ３２に送ら
れて照合され、被検査サンプルＳか、標準サンプルＳA
かが判断される（ステップ１０４）。被検査サンプルＳ
であれば、測定位置などの測定レシピを受信し、通常測
定モードＭのまま測定を続ける（ステップ１０６）。標
準サンプルＳAのＩＤ番号と一致したら、自動で通常測
定モードＭから標準サンプル測定モードＭAに切り替わ
り標準サンプル測定を行う（ステップ１０８）。
説明する。図３に示すように、まず、被検査サンプルＳ
を供給カセット４２にセットし、標準サンプルＳAを専
用カセット４４にセットする（ステップ１００）。これ
らのセットされたサンプル（被検査サンプルＳ又は標準
サンプルＳA）は、ＩＤ番号認識装置３６に送られ、Ｉ
Ｄ番号認識装置３６では供給されたサンプルＳ，ＳAの
ＩＤ番号Ｎが読み取られる（ステップ１０２）。この読
み取られたＩＤ番号Ｎはホストコンピュータ３２に送ら
れて照合され、被検査サンプルＳか、標準サンプルＳA
かが判断される（ステップ１０４）。被検査サンプルＳ
であれば、測定位置などの測定レシピを受信し、通常測
定モードＭのまま測定を続ける（ステップ１０６）。標
準サンプルＳAのＩＤ番号と一致したら、自動で通常測
定モードＭから標準サンプル測定モードＭAに切り替わ
り標準サンプル測定を行う（ステップ１０８）。
【００４０】通常測定モードＭ（ステップ１０６）の処
理フローを、図４に示す。まず、測定レシピをホストコ
ンピュータ３２から受信し確認する（ステップ１０６
Ａ）。この測定レシピに従い被検査サンプルＳを測定す
る（ステップ１０６Ｂ）。この測定結果をホストコンピ
ュータ３２に送信し、ＩＤ番号Ｎと対応させ登録する
（ステップ１０６Ｃ）。そして、次のサンプルの測定に
入る（ステップ１０６Ｄ）。
理フローを、図４に示す。まず、測定レシピをホストコ
ンピュータ３２から受信し確認する（ステップ１０６
Ａ）。この測定レシピに従い被検査サンプルＳを測定す
る（ステップ１０６Ｂ）。この測定結果をホストコンピ
ュータ３２に送信し、ＩＤ番号Ｎと対応させ登録する
（ステップ１０６Ｃ）。そして、次のサンプルの測定に
入る（ステップ１０６Ｄ）。
【００４１】標準サンプル測定モードＭA（ステップ１
０８）の具体的な処理フローを図５に示す。最初に、測
定レシピをホストコンピュータ３２から受信し確認する
（ステップ１０８Ａ）。この測定レシピに従い標準サン
プルＳAを測定する（ステップ１０８Ｂ）。この測定結
果をホストコンピュータ３２に送信し、ＩＤ番号Ｎと対
応させ登録する（ステップ１０８Ｃ）。ホストコンピュ
ータ３２では、管理基準に従いこの測定結果が基準値内
か否か確認する（ステップ１０８Ｄ）。基準値外であれ
ば校正基準・管理基準にもとづき、検査装置本体を校
正、または停止する（ステップ１０８Ｆ）。基準値内で
あれば次のサンプルの測定に入る（ステップ１０８
Ｅ）。即ち、標準サンプルＳAの測定結果がホストコン
ピュータ３２に登録されている管理値以内であれば、検
査装置３０を止める事なく被検査サンプルＳを連続して
測定する。
０８）の具体的な処理フローを図５に示す。最初に、測
定レシピをホストコンピュータ３２から受信し確認する
（ステップ１０８Ａ）。この測定レシピに従い標準サン
プルＳAを測定する（ステップ１０８Ｂ）。この測定結
果をホストコンピュータ３２に送信し、ＩＤ番号Ｎと対
応させ登録する（ステップ１０８Ｃ）。ホストコンピュ
ータ３２では、管理基準に従いこの測定結果が基準値内
か否か確認する（ステップ１０８Ｄ）。基準値外であれ
ば校正基準・管理基準にもとづき、検査装置本体を校
正、または停止する（ステップ１０８Ｆ）。基準値内で
あれば次のサンプルの測定に入る（ステップ１０８
Ｅ）。即ち、標準サンプルＳAの測定結果がホストコン
ピュータ３２に登録されている管理値以内であれば、検
査装置３０を止める事なく被検査サンプルＳを連続して
測定する。
【００４２】このようにすることで、検査装置３０を連
続的に操業できる。つまり、このようなシステムにより
作業者による検査装置３０の停止・モード切り替えせず
に標準サンプルＳAを測定することができる。
続的に操業できる。つまり、このようなシステムにより
作業者による検査装置３０の停止・モード切り替えせず
に標準サンプルＳAを測定することができる。
【００４３】このように検査装置３０をホストコンピュ
ータ３２による通信制御を可能としておけば、さらに、
作業者の負担を軽減でき、測定結果を記録としての残す
ことができて確実な装置管理が可能となる。
ータ３２による通信制御を可能としておけば、さらに、
作業者の負担を軽減でき、測定結果を記録としての残す
ことができて確実な装置管理が可能となる。
【００４４】以上のように、標準サンプルによる点検・
校正作業において、作業者の負担の増加なく、自動化ラ
インの停止時間を最小にとどめ効率的運用を行うことが
できる。
校正作業において、作業者の負担の増加なく、自動化ラ
インの停止時間を最小にとどめ効率的運用を行うことが
できる。
【００４５】図１に示した例では、検査装置３０を１台
設けた場合を示したが、図６に示すように、第１及び第
２の検査装置３０Ａ，３０Ｂを２台並設しても同様に実
施できる。なお、図６において、図１と同一又は類似部
材は同一符号を用いて説明するが、第１の検査装置３０
Ａの各部材にはＡの添え字を、第２の検査装置３０Ｂの
各部材にはＢの添え字をそれぞれ付した。また、Ｌ1〜
Ｌ7はホストコンピュータと各機器を接続する導線であ
る。２台の検査装置３０Ａ，３０Ｂを並設した場合に
は、前記したアンローダ４０は検査装置３０Ａ，３０Ｂ
間のインターフェイスを兼ねており、前工程の検査装置
３０Ａからすればアンローダであり、後工程の検査装置
３０Ｂからすればローダとなるので、後工程の検査装置
３０Ｂのローダの設置を省略し、前工程の検査装置３０
Ａのアンローダ４０をローダとして利用することができ
る。つまり、排出カセット５０は、前工程の検査装置３
０Ａからすれば排出カセットの意味合いを持ち、後工程
の検査装置３０Ｂからすれば供給カセットとなる。この
排出（供給）カセット５０と専用（優先）カセット５２
の間にロボットアーム５４を設け、サンプルＳ，ＳAの
受け渡しをすることは図１の場合と同様である。
設けた場合を示したが、図６に示すように、第１及び第
２の検査装置３０Ａ，３０Ｂを２台並設しても同様に実
施できる。なお、図６において、図１と同一又は類似部
材は同一符号を用いて説明するが、第１の検査装置３０
Ａの各部材にはＡの添え字を、第２の検査装置３０Ｂの
各部材にはＢの添え字をそれぞれ付した。また、Ｌ1〜
Ｌ7はホストコンピュータと各機器を接続する導線であ
る。２台の検査装置３０Ａ，３０Ｂを並設した場合に
は、前記したアンローダ４０は検査装置３０Ａ，３０Ｂ
間のインターフェイスを兼ねており、前工程の検査装置
３０Ａからすればアンローダであり、後工程の検査装置
３０Ｂからすればローダとなるので、後工程の検査装置
３０Ｂのローダの設置を省略し、前工程の検査装置３０
Ａのアンローダ４０をローダとして利用することができ
る。つまり、排出カセット５０は、前工程の検査装置３
０Ａからすれば排出カセットの意味合いを持ち、後工程
の検査装置３０Ｂからすれば供給カセットとなる。この
排出（供給）カセット５０と専用（優先）カセット５２
の間にロボットアーム５４を設け、サンプルＳ，ＳAの
受け渡しをすることは図１の場合と同様である。
【００４６】但し、このように２台の検査装置を並設し
た場合、第１の検査工程（装置３０Ａ）用の標準サンプ
ル、第２の検査工程（装置３０Ｂ）用の標準サンプルな
ど別々にセットできるように複数のカセットを配設する
のが好ましい。
た場合、第１の検査工程（装置３０Ａ）用の標準サンプ
ル、第２の検査工程（装置３０Ｂ）用の標準サンプルな
ど別々にセットできるように複数のカセットを配設する
のが好ましい。
【００４７】
【実施例】以下に実施例をあげて本発明をさらに具体的
に説明するが、これらの実施例は例示的に示されるもの
で限定的に解釈されるべきでないことはいうまでもな
い。
に説明するが、これらの実施例は例示的に示されるもの
で限定的に解釈されるべきでないことはいうまでもな
い。
【００４８】（実施例１）図６に示すように、第１の検
査工程（装置３０Ａ）として４探針法による抵抗率測定
装置、第２の検査工程（装置３０Ｂ）としてＦＴ−ＩＲ
による酸素濃度測定装置を並列した自動化された検査工
程（ライン）に対しておこなった。抵抗率はＪＩＳ Ｈ
６０２などで標準化されている方法に準じて測定した。
酸素濃度はＡＳＴＭ Ｆ１２３などで標準化されている
方法に準じて測定した。
査工程（装置３０Ａ）として４探針法による抵抗率測定
装置、第２の検査工程（装置３０Ｂ）としてＦＴ−ＩＲ
による酸素濃度測定装置を並列した自動化された検査工
程（ライン）に対しておこなった。抵抗率はＪＩＳ Ｈ
６０２などで標準化されている方法に準じて測定した。
酸素濃度はＡＳＴＭ Ｆ１２３などで標準化されている
方法に準じて測定した。
【００４９】抵抗率や酸素濃度が未知の被検査サンプル
Ｓを連続して検査した。この被検査サンプルは高輝度平
面研削されたウェーハにレーザーマークでＩＤ番号を印
字したものである。ＩＤ番号は特に限定しないが、ＩＤ
番号；０１０００１〜０１０１００等の連番を振ってあ
る。ホストコンピュータ３２にはこれらのサンプルに対
する仕様（測定レシピ）が記憶されている。なお、この
ＩＤ番号の桁数及び記号は任意であり、特に連番で流さ
なくても良い。
Ｓを連続して検査した。この被検査サンプルは高輝度平
面研削されたウェーハにレーザーマークでＩＤ番号を印
字したものである。ＩＤ番号は特に限定しないが、ＩＤ
番号；０１０００１〜０１０１００等の連番を振ってあ
る。ホストコンピュータ３２にはこれらのサンプルに対
する仕様（測定レシピ）が記憶されている。なお、この
ＩＤ番号の桁数及び記号は任意であり、特に連番で流さ
なくても良い。
【００５０】初めに抵抗率測定装置３０Ａのローダ側に
ある供給カセット４２Ａに被検査サンプルＳをセットす
る。これは前段より自動的に供給されても良いが、本実
施例では図６のように供給カセット４２Ａと専用カセッ
ト４４Ａの２つのカセットを有するローダ３４Ａを用
い、被検査サンプルＳを供給カセット４２Ａに、専用カ
セット４４Ａには抵抗率用の標準サンプルＳAをセット
しておく。標準サンプル（日常管理サンプル）ＳAは３
水準用意した。日常管理サンプルのＩＤ番号はＳＴＤＲ
Ｅ１（標準値；５Ωｃｍ）、ＳＴＤＲＥ２（標準値；１
０Ωｃｍ）、ＳＴＤＲＥ３（標準値；２０Ωｃｍ）であ
る。
ある供給カセット４２Ａに被検査サンプルＳをセットす
る。これは前段より自動的に供給されても良いが、本実
施例では図６のように供給カセット４２Ａと専用カセッ
ト４４Ａの２つのカセットを有するローダ３４Ａを用
い、被検査サンプルＳを供給カセット４２Ａに、専用カ
セット４４Ａには抵抗率用の標準サンプルＳAをセット
しておく。標準サンプル（日常管理サンプル）ＳAは３
水準用意した。日常管理サンプルのＩＤ番号はＳＴＤＲ
Ｅ１（標準値；５Ωｃｍ）、ＳＴＤＲＥ２（標準値；１
０Ωｃｍ）、ＳＴＤＲＥ３（標準値；２０Ωｃｍ）であ
る。
【００５１】抵抗率測定装置３０Ａによって、被検査サ
ンプルＳを測定した。被検査サンプルＳはローダ３４の
供給カセット４２Ａから順次供給され、ＩＤ番号をＩＤ
番号認識装置３６Ａによって認識し、ＩＤ番号に応じ
て、測定位置などの測定レシピをホストコンピュータ３
２で照合し、それに準じて抵抗率測定装置本体３８Ａで
測定する。測定後、データをホストコンピュータ３２に
記憶し、被検査サンプルＳを抵抗率測定装置３０Ａと酸
素濃度測定装置３０Ｂの間にあるアンローダ（ローダ）
４０Ａの排出（供給）カセット５０Ａに収納する。
ンプルＳを測定した。被検査サンプルＳはローダ３４の
供給カセット４２Ａから順次供給され、ＩＤ番号をＩＤ
番号認識装置３６Ａによって認識し、ＩＤ番号に応じ
て、測定位置などの測定レシピをホストコンピュータ３
２で照合し、それに準じて抵抗率測定装置本体３８Ａで
測定する。測定後、データをホストコンピュータ３２に
記憶し、被検査サンプルＳを抵抗率測定装置３０Ａと酸
素濃度測定装置３０Ｂの間にあるアンローダ（ローダ）
４０Ａの排出（供給）カセット５０Ａに収納する。
【００５２】この様な被検査サンプルＳの測定をしてい
る途中で、専用カセット４４Ａより標準サンプル（日常
管理サンプル）ＳAを３枚連続して流した。この切り替
えはタイマーにより行った。本実施例では被検査サンプ
ルＳを測定する前及び測定してから３時間毎に標準サン
プルＳAを測定するように設定してある。
る途中で、専用カセット４４Ａより標準サンプル（日常
管理サンプル）ＳAを３枚連続して流した。この切り替
えはタイマーにより行った。本実施例では被検査サンプ
ルＳを測定する前及び測定してから３時間毎に標準サン
プルＳAを測定するように設定してある。
【００５３】ＩＤ番号識別装置３６Ａにより標準サンプ
ルＳAを自動的に認識し、標準サンプルＳAの測定モード
に入る。測定した結果及び管理基準に従い、連続測定又
は校正或いは検査装置の停止を行う。
ルＳAを自動的に認識し、標準サンプルＳAの測定モード
に入る。測定した結果及び管理基準に従い、連続測定又
は校正或いは検査装置の停止を行う。
【００５４】本実施例では、標準値に対するバラツキに
より管理している。例えば、標準サンプルＳAの標準値
（中心値）がある一定の管理幅を外れたら、校正又は検
査装置の停止をする。また、得られた１日分の測定結果
から、Ｘｂａｒ−Ｒ管理図のような一般的に用いられる
手法でも管理してある。管理基準は、その検査装置に応
じて設定する。
より管理している。例えば、標準サンプルＳAの標準値
（中心値）がある一定の管理幅を外れたら、校正又は検
査装置の停止をする。また、得られた１日分の測定結果
から、Ｘｂａｒ−Ｒ管理図のような一般的に用いられる
手法でも管理してある。管理基準は、その検査装置に応
じて設定する。
【００５５】なお、本実施例では異常が観察されず、全
てのサンプルを検査装置の停止もなく測定する事ができ
た。
てのサンプルを検査装置の停止もなく測定する事ができ
た。
【００５６】但し、管理基準や管理図から外れた場合、
抵抗率測定では、測定のプローブの磨耗などが考えられ
る。従って装置が自動停止するように設定してある。停
止後、プローブを交換し再始動する。抵抗率測定の終了
した標準サンプルＳAは、アンローダ４０Ａの専用カセ
ット５２Ａに収納される。
抵抗率測定では、測定のプローブの磨耗などが考えられ
る。従って装置が自動停止するように設定してある。停
止後、プローブを交換し再始動する。抵抗率測定の終了
した標準サンプルＳAは、アンローダ４０Ａの専用カセ
ット５２Ａに収納される。
【００５７】抵抗率測定が終了した被検査サンプルＳ
は、次に酸素濃度測定装置３０Ｂに送られる。被検査サ
ンプルＳは抵抗率測定装置３０Ａと酸素濃度測定装置３
０Ｂの間にあるアンローダ（ローダ）４０Ａの排出（供
給）カセット５０Ａから順次供給され、ＩＤ番号をＩＤ
番号認識装置３６Ｂによって識別し、ＩＤ番号に応じ
て、測定位置などの測定レシピをホストコンピュータ３
２で照合し、それに準じて酸素濃度測定装置本体３８Ｂ
で測定する。測定後、データをホストコンピュータ３２
に記憶し、被検査サンプルＳをアンローダ４０Ｂの排出
（供給）カセット５０Ｂに収納する。
は、次に酸素濃度測定装置３０Ｂに送られる。被検査サ
ンプルＳは抵抗率測定装置３０Ａと酸素濃度測定装置３
０Ｂの間にあるアンローダ（ローダ）４０Ａの排出（供
給）カセット５０Ａから順次供給され、ＩＤ番号をＩＤ
番号認識装置３６Ｂによって識別し、ＩＤ番号に応じ
て、測定位置などの測定レシピをホストコンピュータ３
２で照合し、それに準じて酸素濃度測定装置本体３８Ｂ
で測定する。測定後、データをホストコンピュータ３２
に記憶し、被検査サンプルＳをアンローダ４０Ｂの排出
（供給）カセット５０Ｂに収納する。
【００５８】この様な被検査サンプルの測定をしている
途中で、専用カセット５２Ａより標準サンプル（日常管
理サンプル）ＳAを３枚連続して流した。
途中で、専用カセット５２Ａより標準サンプル（日常管
理サンプル）ＳAを３枚連続して流した。
【００５９】標準サンプルのＩＤはＳＴＤ１（標準値；
８ｐｐｍａ−ＡＳＴＭ '７９）、ＳＴＤ２（標準値；
１３ｐｐｍａ−ＡＳＴＭ '７９）、ＳＴＤ３（標準
値；１８ｐｐｍａ−ＡＳＴＭ '７９）である。
８ｐｐｍａ−ＡＳＴＭ '７９）、ＳＴＤ２（標準値；
１３ｐｐｍａ−ＡＳＴＭ '７９）、ＳＴＤ３（標準
値；１８ｐｐｍａ−ＡＳＴＭ '７９）である。
【００６０】本装置の場合、標準サンプルはカセットに
セットした段階で優先的に流されるように設定してあ
る。本実施例では、抵抗率測定装置及び酸素濃度測定装
置の間のアンローダ（ローダ）４０Ａのカセットが２個
であり、抵抗率測定が終了した抵抗率の標準サンプルが
専用カセット５２Ａにある場合がある。これを取り外
し、酸素濃度用の標準サンプルをセットした段階で優先
的に流れるように設定した。このようにすれば、作業者
の都合によりカセットをセットすればよく、また装置を
止める事もない。
セットした段階で優先的に流されるように設定してあ
る。本実施例では、抵抗率測定装置及び酸素濃度測定装
置の間のアンローダ（ローダ）４０Ａのカセットが２個
であり、抵抗率測定が終了した抵抗率の標準サンプルが
専用カセット５２Ａにある場合がある。これを取り外
し、酸素濃度用の標準サンプルをセットした段階で優先
的に流れるように設定した。このようにすれば、作業者
の都合によりカセットをセットすればよく、また装置を
止める事もない。
【００６１】供給された標準サンプルはＩＤ番号識別装
置３６Ｂにより自動的に認識し、標準サンプル測定モー
ドＭAに入る。測定した結果及び管理基準に従い、連続
測定又は校正或いは装置の停止を行う。
置３６Ｂにより自動的に認識し、標準サンプル測定モー
ドＭAに入る。測定した結果及び管理基準に従い、連続
測定又は校正或いは装置の停止を行う。
【００６２】本実施例では、標準値に対するバラツキに
より管理している。例えば、標準サンプルの標準値（中
心値）がある一定の管理幅を外れたら、校正又は装置の
停止をする。また、得られた１日分の測定結果から、Ｘ
ｂａｒ−Ｒ管理図のような一般的に用いられる手法でも
管理してある。管理基準は、その測定機に応じて設定す
る。管理幅に収まっていれば、次のサンプル（被検査サ
ンプル又は標準サンプル）を測定する。
より管理している。例えば、標準サンプルの標準値（中
心値）がある一定の管理幅を外れたら、校正又は装置の
停止をする。また、得られた１日分の測定結果から、Ｘ
ｂａｒ−Ｒ管理図のような一般的に用いられる手法でも
管理してある。管理基準は、その測定機に応じて設定す
る。管理幅に収まっていれば、次のサンプル（被検査サ
ンプル又は標準サンプル）を測定する。
【００６３】なお、本実施例では異常が観察されず、全
てのサンプルが装置の停止もなく測定する事ができた。
てのサンプルが装置の停止もなく測定する事ができた。
【００６４】但し、管理図から外れた場合、自動的に校
正する。酸素濃度測定の場合、検査装置本体を校正する
調整手段として検量線を作成し校正するようにしてあ
る。
正する。酸素濃度測定の場合、検査装置本体を校正する
調整手段として検量線を作成し校正するようにしてあ
る。
【００６５】つまり、複数の水準（例えば１０水準）の
標準サンプル（校正用サンプル）を供給し、これにより
検量線を作成し校正するようにしてある。この校正用の
標準サンプルも自動的に流す事により処理できる。また
検量線が極端に変化した場合は、検査装置を自動停止す
るように設定してある。
標準サンプル（校正用サンプル）を供給し、これにより
検量線を作成し校正するようにしてある。この校正用の
標準サンプルも自動的に流す事により処理できる。また
検量線が極端に変化した場合は、検査装置を自動停止す
るように設定してある。
【００６６】以上のように抵抗率測定、酸素濃度測定と
連続した自動検査工程ではあるが、特に第１の検査工程
及び第２の検査工程のぞれぞれの状態を気にする事なく
それぞれ別々に点検する事ができる。
連続した自動検査工程ではあるが、特に第１の検査工程
及び第２の検査工程のぞれぞれの状態を気にする事なく
それぞれ別々に点検する事ができる。
【００６７】なお、本発明は上記実施形態に限定される
ものではない。上記実施例は単なる例示であり、本発明
の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同
一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いか
なるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
ものではない。上記実施例は単なる例示であり、本発明
の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同
一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いか
なるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【００６８】例えば、標準サンプルを抵抗率用と酸素濃
度用に別けたが、同じサンプルで兼用できれば更に好ま
しい。
度用に別けたが、同じサンプルで兼用できれば更に好ま
しい。
【００６９】また、ローダ及びアンローダの数は２つに
限定するものではなく１つでもよい。本実施例の場合、
好ましくは抵抗率測定装置と酸素濃度測定装置の間のロ
ーダ（アンローダ）は供給用カセット、抵抗率標準サン
プル用カセット、酸素濃度標準サンプル用カセットなど
３つのカセットにしても良い。
限定するものではなく１つでもよい。本実施例の場合、
好ましくは抵抗率測定装置と酸素濃度測定装置の間のロ
ーダ（アンローダ）は供給用カセット、抵抗率標準サン
プル用カセット、酸素濃度標準サンプル用カセットなど
３つのカセットにしても良い。
【００７０】
【発明の効果】以上述べたごとく、本発明のサンプルの
検査方法及び検査装置により、作業者の負担を軽減し、
自動化ラインの停止時間を最小限にして効率的運用を行
うことができる。
検査方法及び検査装置により、作業者の負担を軽減し、
自動化ラインの停止時間を最小限にして効率的運用を行
うことができる。
【図１】 本発明のサンプルの検査装置の一つの実施の
形態を示す全体配置図である。
形態を示す全体配置図である。
【図２】 本発明のサンプルの検査方法の検査フローの
１例を示す説明図である。
１例を示す説明図である。
【図３】 本発明のサンプルの検査方法の工程順の１例
を示すフローチャートである。
を示すフローチャートである。
【図４】 本発明のサンプルの検査方法における通常測
定モードの工程順の１例を示すフローチャートである。
定モードの工程順の１例を示すフローチャートである。
【図５】 本発明のサンプルの検査方法における標準サ
ンプル測定モードの工程順の１例を示すフローチャート
である。
ンプル測定モードの工程順の１例を示すフローチャート
である。
【図６】 本発明のサンプルの検査装置の他の実施の形
態を示す全体配置図である。
態を示す全体配置図である。
【図７】 従来のサンプルの検査方法の検査フローの１
例を示す説明図である。
例を示す説明図である。
【図８】 従来のサンプルの検査装置の１例を示す全体
配置図である。
配置図である。
１０：自動検査ライン、１２：抵抗率測定装置、１４：
酸素濃度測定装置、１６：ローダ、１８：ローダ兼アン
ローダ、３０Ａ：第１の検査装置（抵抗率測定装置）、
３０Ｂ：第２の検査装置（酸素濃度測定装置）、３２：
ホストコンピュータ、３４，３４Ａ：ローダ、３５：読
み取り部、３６，３６Ａ，３６Ｂ：ＩＤ番号認識装置、
３７：画像処理部、３８：検査装置本体、３８Ａ：抵抗
率測定装置本体、３８Ｂ：酸素濃度測定装置本体、３
９：測定部、４０，４０Ａ，４０Ｂ：アンローダ、４
２，４２Ａ，４２Ｂ：供給カセット、４４，４４Ａ，４
４Ｂ：専用カセット、４６：ロボットアーム、４８，４
８Ａ，４８Ｂ：搬送ベルト、５０，５０Ａ，５０Ｂ：排
出（供給）カセット、５２，５２Ａ：専用カセット、５
４：ロボットアーム、Ｌ1〜Ｌ7：導線、Ｍ：通常測定モ
ード、ＭA：標準サンプル測定モード、Ｎ：ＩＤ番号、
Ｓ：被検査サンプル、ＳA：標準サンプル。
酸素濃度測定装置、１６：ローダ、１８：ローダ兼アン
ローダ、３０Ａ：第１の検査装置（抵抗率測定装置）、
３０Ｂ：第２の検査装置（酸素濃度測定装置）、３２：
ホストコンピュータ、３４，３４Ａ：ローダ、３５：読
み取り部、３６，３６Ａ，３６Ｂ：ＩＤ番号認識装置、
３７：画像処理部、３８：検査装置本体、３８Ａ：抵抗
率測定装置本体、３８Ｂ：酸素濃度測定装置本体、３
９：測定部、４０，４０Ａ，４０Ｂ：アンローダ、４
２，４２Ａ，４２Ｂ：供給カセット、４４，４４Ａ，４
４Ｂ：専用カセット、４６：ロボットアーム、４８，４
８Ａ，４８Ｂ：搬送ベルト、５０，５０Ａ，５０Ｂ：排
出（供給）カセット、５２，５２Ａ：専用カセット、５
４：ロボットアーム、Ｌ1〜Ｌ7：導線、Ｍ：通常測定モ
ード、ＭA：標準サンプル測定モード、Ｎ：ＩＤ番号、
Ｓ：被検査サンプル、ＳA：標準サンプル。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考）
Ｇ０１Ｎ 21/35 Ｇ０１Ｎ 21/35 Ｚ
Ｆターム(参考） 2G058 GC01 GC05 GE04
2G059 AA01 AA05 BB16 CC03 CC07
DD12 DD13 EE12 HH01 MM01
MM12 MM14
4M106 AA01 CA10 CB01 DH09 DH11
DJ38
5F031 CA01 CA11 FA01 FA02 FA07
FA11 FA12 JA02 JA50 JA51
MA09 MA33 PA02
Claims (10)
- 【請求項１】 被検査サンプルを検査装置によって自動
的に検査する方法において、複数の被検査サンプルを連
続して測定している検査途中に、自動的に標準サンプル
の測定を行い、その結果をもとに前記検査装置を自動管
理しながら被検査サンプルを連続測定することを特徴と
するサンプルの検査方法。 - 【請求項２】 被検査サンプルのＩＤ番号及びそのＩＤ
番号に対応した検査レシピ及び標準サンプルの測定結果
による校正基準・管理基準を記憶したホストコンピュー
タ、検査装置本体及びＩＤ番号認識装置を有する検査装
置によって被検査サンプルを自動的に検査するにあた
り、前記被検査サンプル及び標準サンプルにＩＤ番号を
付与し、前記被検査サンプル及び標準サンプルに付与さ
れたＩＤ番号をＩＤ番号認識装置により確認し、そのＩ
Ｄ番号及びそのＩＤ番号に対応した検査レシピをホスト
コンピュータに照合し測定するとともに、前記標準サン
プルのＩＤ番号を認識すると、当該ＩＤ番号の標準サン
プルの測定結果による校正基準・管理基準をホストコン
ピュータに照合し、その照合結果にもとづき、前記検査
装置本体を管理しつつ前記被検査サンプルを連続測定す
ることを特徴とするサンプルの検査方法。 - 【請求項３】 前記被検査サンプルが被検査ウェーハで
あり、前記標準サンプルが標準ウェーハであることを特
徴とする請求項１又は２記載のサンプルの検査方法。 - 【請求項４】 被検査サンプルを自動検査する検査装置
であって、少なくとも前記被検査サンプル及び標準サン
プルのＩＤ番号及びそのＩＤ番号に対応した検査レシピ
及び標準サンプルの測定結果による校正基準・管理基準
を記憶したホストコンピュータと、ＩＤ番号が付与され
た被検査サンプル及び標準サンプルをセットしておくロ
ーダと、前記被検査サンプル及び標準サンプルに付与さ
れたＩＤ番号を認識するＩＤ番号認識装置と、前記被検
査サンプル及び標準サンプルの品質を検査する検査装置
本体と、前記被検査サンプル及び標準サンプルを排出す
るアンローダを有し、前記標準サンプルのＩＤ番号を認
識すると、当該ＩＤ番号の標準サンプルの測定結果によ
る校正基準・管理基準をホストコンピュータに照合し、
その照合結果にもとづき、前記検査装置本体を管理しつ
つ被検査サンプルを連続測定するように作動することを
特徴とするサンプルの検査装置。 - 【請求項５】 前記ＩＤ番号が付与された被検査サンプ
ル及び標準サンプルをセットしておくローダは、少なく
とも２つ以上の供給部を具備し、被検査サンプルを供給
する供給カセットと標準サンプルを供給する専用カセッ
トを有することを特徴とする請求項４記載のサンプルの
検査装置。 - 【請求項６】 タイマーがさらに設置されており、所定
の時間になると前記ローダから標準サンプルを自動供給
するように作動することを特徴とする請求項４又は５記
載のサンプルの検査装置。 - 【請求項７】 前記ＩＤ番号が付与された被検査サンプ
ル及び標準サンプルを排出するアンローダは、少なくと
も２つ以上の排出部を具備し、被検査サンプルを排出す
る排出カセットと標準サンプルを排出する専用カセット
を有することを特徴とする請求項４〜６のいずれか１項
記載のサンプルの検査装置。 - 【請求項８】 前記サンプルの品質を検査する検査装置
本体が、酸素濃度測定装置、炭素濃度測定装置又は抵抗
率測定装置のうち少なくともひとつの装置であることを
特徴とする請求項４〜７のいずれか１項記載のサンプル
の検査装置。 - 【請求項９】 前記被検査サンプルが被検査ウェーハで
あり、前記標準サンプルが標準ウェーハであることを特
徴とする請求項４〜８のいずれか１項記載のサンプルの
検査装置。 - 【請求項１０】 標準サンプルのＩＤ番号及びそのＩＤ
番号に対応した測定レシピ及び標準サンプルの測定結果
による校正基準・管理基準を記憶したホストコンピュー
タ、検査装置本体及びＩＤ番号認識装置を有する検査装
置を自動的に校正・点検する管理方法であって、標準サ
ンプルにＩＤ番号を付与しておき、前記検査装置本体に
搬入された当該標準サンプルに対して、当該検査装置本
体に付設された前記ＩＤ番号認識装置で当該標準サンプ
ルのＩＤ番号を自動的に認識し、そのＩＤ番号により測
定レシピをホストコンピュータに照合し、該測定レシピ
に従い測定し、その測定結果により装置の校正・点検を
行うことを特徴とする検査装置の管理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001241070A JP5003987B2 (ja) | 2001-08-08 | 2001-08-08 | サンプルウェーハの検査方法及び検査装置並びに検査装置の管理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001241070A JP5003987B2 (ja) | 2001-08-08 | 2001-08-08 | サンプルウェーハの検査方法及び検査装置並びに検査装置の管理方法 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003059994A true JP2003059994A (ja) | 2003-02-28 |
| JP5003987B2 JP5003987B2 (ja) | 2012-08-22 |
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ID=19071580
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001241070A Expired - Fee Related JP5003987B2 (ja) | 2001-08-08 | 2001-08-08 | サンプルウェーハの検査方法及び検査装置並びに検査装置の管理方法 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP5003987B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005233928A (ja) * | 2004-01-23 | 2005-09-02 | Horiba Ltd | 基板検査装置 |
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| JP2010286493A (ja) * | 2004-01-23 | 2010-12-24 | Horiba Ltd | 基板検査装置 |
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| JPH01187461A (ja) * | 1988-01-22 | 1989-07-26 | Toshiba Corp | 自動化学分析装置 |
-
2001
- 2001-08-08 JP JP2001241070A patent/JP5003987B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| US10365339B2 (en) | 2004-04-01 | 2019-07-30 | Liposcience, Inc. | NMR analyzers for clinical evaluation of biosamples |
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