JP2003050570A - 平面表示装置 - Google Patents

平面表示装置

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JP2003050570A
JP2003050570A JP2001365597A JP2001365597A JP2003050570A JP 2003050570 A JP2003050570 A JP 2003050570A JP 2001365597 A JP2001365597 A JP 2001365597A JP 2001365597 A JP2001365597 A JP 2001365597A JP 2003050570 A JP2003050570 A JP 2003050570A
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gate
display device
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signal
inverter
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JP2001365597A
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English (en)
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Naohiko Endo
尚彦 遠藤
Toshihiro Ninomiya
利博 二ノ宮
Satoru Ishida
知 石田
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】周辺駆動回路の特性劣化を抑制し、高信頼性を
有する平面表示装置を実現する。 【解決手段】周辺駆動回路を構成するバッファは、複数
段のCMOS型インバータを含み、奇数番目のインバー
タのn型TFTはダブルゲート構造、偶数段目のインバ
ータのn型TFTはシングルゲート構造とする。また
は、奇数段目のインバータのn型TFTのゲート幅ある
いはゲート長を、偶数段目のインバータのn型TFTの
それより大きくする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、平面表示装置に関
し、特に、駆動回路が画素TFTの形成される基板と同
一基板上に一体的に形成される駆動回路一体型平面表示
装置に関する。
【0002】
【従来の技術】プラズマ、発光ダイオード、液晶等を用
いた平面表示装置は、表示部の薄型化が可能であり、事
務機器やコンピュータ等の表示装置あるいは特殊な表示
装置への用途として要求が高まっている。
【0003】特に、非晶質であるアモルファスシリコン
(a−Si)または多結晶であるポリシリコン(p−S
i)を用いた薄膜トランジスタ(TFT;Thin F
ilm Transistor)を画素スイッチング素
子としてマトリクス状に配置し、表示素子と接続して表
示を行う平面表示装置は、表示品位が高く、低消費電力
であるため、その開発が盛んに行われている。
【0004】特に、p−Siを用いたTFTは、a−S
iを用いたTFTに比べ移動度が10〜100倍程度高
く、その利点を活かして画素スイッチング素子として用
いるだけでなく、周辺駆動回路を画素スイッチング素子
と同一基板上に一体的に形成することを可能とし、これ
により低コストで高性能な平面表示装置を実現できる。
【0005】この周辺駆動回路のうち、一部のTFTに
は電圧源から10V以上の高い電圧がドレイン部に印加
されるものがある。周辺駆動回路に配置されるバッファ
を例にとると、図9に示すような導電型の異なる一対の
TFTで構成されたCMOS型インバータが複数段接続
されて形成されている。このTFTに比較的大きなドレ
イン電圧を印加した場合、チャネル領域とドレイン領域
の接合部分に電界が集中し、この電界によりキャリア
(電子又はホール)が加速され、ホット・キャリアが発
生しやすくなる。特に、poly-Siでは、ホールより電子
の方が移動度が大きい。そのため、通常のLCD動作をさ
せる電圧範囲では、ホット・ホールはほとんど発生せ
ず、それよりはホット・エレクトロンの方がより発生し
やすい。
【0006】このホット・キャリアは非常に高いエネル
ギーをもつため、ゲート絶縁膜とチャネル領域、チャネ
ル領域とドレイン領域の界面付近のpoly-Si結晶の質を
劣化させ、TFTのしきい値電圧を変動させたり、移動
度を低下させる等、TFTの安定的な動作を妨げる原因
となり、TFTの信頼性、耐久性を低下させる不具合を
生じさせる。このような現象は、当然のことながら、nc
h-TFTではホット・エレクトロンに起因し、pch-TFTでは
ホット・ホールに起因している。しかしながら、上述の
ようにpoly-Si中ではホールの移動度は電子より小さい
ため、pch-TFTではホット・ホールの発生は実際的には
少なく、従ってその信頼性、耐久性の低下はほとんど問
題ならない。実際、問題になるのはホット・エレクトロ
ンが発生するnch-TFTのみである。
【0007】この信頼性の低下は、周辺駆動回路を構成
するTFTのうち、n型TFTがOFF状態でソース・
ドレイン間に大きな電圧が加えられたときに顕著に現わ
れる。特に、線形領域(3極管領域)の移動度への影響
が大きく、図10に示すように、動作時間が長くなるに
つれて、電流値、移動度共に大きく低下する。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】このようなTFTを用
いてインバータでバッファを構成した場合、n型TFT
の特性劣化が著しいと次段のインバータへの出力信号に
なまりを生じる。なまりの生じた信号を次から次へと伝
播していくと、最終段のインバータでは所望の出力信号
を得られなくなる恐れがある。結果として、表示画面上
にゴーストやクロストークが発生するなどして良好な表
示動作を得られない。
【0009】そこで、本発明では上記技術問題に鑑み、
インバータの特性劣化を抑制し、動作の信頼性が確保さ
れた表示装置を提供することを目的としている。また、
本発明は特性劣化した後も所望の動作が長時間保たれる
表示装置を提供することを目的としている。
【0010】
【課題を解決するための手段】この発明は、絶縁基板上
に配置される複数の信号線と、前記信号線に略直交して
配置される複数の走査線と、前記信号線および前記走査
線の各交点付近に配置されるスイッチング素子と、前記
スイッチング素子を介して接続される画素電極と、前記
画素電極に対向配置される対向電極と、これら電極間に
保持される光変調層と、前記信号線および前記走査線を
駆動する駆動回路と、を備えた平面表示装置であって、
前記駆動回路は、一対のn型TFTおよびp型TFTで
構成されるCMOS型インバータを複数段備えたバッフ
ァを備え、前記バッファは、ソース電極とドレイン電極
間に複数のゲート電極が直列に配置された構造のn型T
FTとソース電極とドレイン電極間に1のゲート電極が
配置された構造のn型TFTとを交互に配置して構成さ
れることを特徴とする。
【0011】
【発明の実施の形態】以下、本発明について液晶表示装
置を例にとり、図面を参照して詳細に説明する。図1
(a)は、液晶表示装置の概略平面図、同図(b)は同
図(a)のアレイ基板の一部概略拡大図を示し、図2
は、この液晶表示装置の駆動回路の一部拡大図を示す。
【0012】図1に示すように、透明絶縁基板100上
配置される複数の信号線101と、信号線101とは電
気的に絶縁され、信号線101と略直交して配置される
複数の走査線102と、これら交点付近に配置されるス
イッチング素子としての画素TFTと、この画素TFT
に接続される表示画素Pとを備えて構成される。表示画
素Pは、画素TFTに電気的に接続される画素電極10
3と、画素電極に対向配置される対向電極104と、こ
れら電極間に光変調層105として液晶材料を保持して
なる。
【0013】画素TFTはp−Siを用いて形成され、
また、信号線101を駆動する信号線駆動回路110、
および走査線102を駆動する走査線駆動回路120も
半導体層にp−Siを用いた薄膜トランジスタを用いて
構成され、画素TFTが形成される基板と同一基板上に
同時形成される。
【0014】この実施例の液晶表示装置1は、例えばV
ライン反転駆動する10.4型XGAの液晶表示装置で
あって、画面を4分割した領域がそれぞれ同時に駆動さ
れる。そして各領域は、信号線24本を1ブロックとし
て、32ブロックの信号線に区分され、ブロック単位で
順次駆動される。
【0015】上記の画面を4分割した領域は同じように
動作するので、このうち一領域について以下に詳細に説
明する。
【0016】信号線駆動回路110は、図1(b)に示
すように、外部駆動回路から供給されるアナログ映像信
号を伝送するビデオバス115と、複数段のフリップフ
ロップ回路FFn(n=0〜32)からなるシフトレジ
スタ回路111と、フリップフロップ回路FFnの各段
に対応して配置され、1信号線に対して後述する極性の
異なる2ビデオバスラインを選択するよう制御する極性
選択回路112と、隣接するフリップフロップ回路FF
nの出力の重なり部分を除去した信号を出力回路に出力
するパルスカット回路113と、パルスカット回路11
3から入力された信号に基づきアナログ映像信号のサン
プリングのタイミングを制御する信号を出力する出力回
路114と、ビデオバス115と信号線とを出力回路1
14の出力に基づいて電気的に接続する信号線選択回路
116とから構成される。
【0017】ビデオバス115は、図2に示すように基
準電圧に対して正極性のアナログ映像信号を伝送する正
極性用ビデオバスラインと、負極性のアナログ映像信号
を伝送する負極性用ビデオバスラインと、を備える。ビ
デオバス115は、一ブロックに対応する本数のビデオ
バスラインを備え、ここでは、正極性、負極性ビデオバ
スラインをそれぞれ12本ずつ備え、計24本のビデオ
バスラインが1領域に配置される。
【0018】信号線選択回路116は、各ブロックの信
号線に対応して32段のアナログスイッチ回路ASWn
(n=1〜32)を備え、ブロック毎に順次信号線を選
択するよう構成される。つまり、一信号線に導電型の異
なる一対のTFT、p型TFT PSWm(m=1,
2)およびn型TFT NSWmが配置され、隣接する
2信号線を一組として12組のアナログスイッチがアナ
ログスイッチ回路ASWn1段を構成する。そして、こ
の12組のアナログスイッチは、それぞれ対応する正極
性と負極性のビデオバスラインに接続される。つまり、
1組の正極性、負極性用ビデオバスラインに対して、各
ブロックの1組のアナログスイッチが接続される。ま
た、各アナログスイッチの各々のTFTは導電型毎に同
一のビデオバスラインに接続され、ここではp型TFT
PSW1,PSW2は同一の正極性用ビデオバスライ
ンに接続し、n型TFT NSW1,NSW2は同一の
負極性用ビデオバスラインに接続される。さらに、各ア
ナログスイッチを構成するTFTの制御端子(ゲート)
は、ある1/32水平表示期間において、一方の信号線
に接続されるp型TFT PSW1と他方の信号線に接
続されるn型TFT NSW2が同時にON状態、一方
の信号線に接続されるn型TFT NSW1と他方の信
号線に接続されるp型TFT PSW2がOFF状態と
なるよう制御され、フレーム毎に各信号線印加電圧の極
性反転を実現することができる。
【0019】このようなアナログスイッチを用いること
で、ビデオバスラインの本数を半減させることができ
る。
【0020】ところで、これら駆動回路110、120
には、インバータが多数形成されており、複数段のイン
バータで構成されるバッファを備える。例えば、出力回
路114を構成する32ブロックの各バッファ回路BU
Fnには偶数段のインバータでなるバッファおよび奇数
段のインバータでなるバッファを複数個備えている。
【0021】詳しく説明すると、アナログスイッチのp
型TFT PSWmのゲートと接続するバッファは偶数
段、n型TFT NSWmのゲートと接続するバッファ
は奇数段のインバータで構成される。一例として図2に
は3段のインバータでなるバッファ、4段のインバータ
でなるバッファとを備えたバッファ回路BUFnが記載
される。
【0022】[実施例1]図3はインバータを偶数段、
ここでは4段接続してなるバッファを示す。このバッフ
ァは、図3(a)に示すように、画素TFTが形成され
る基板と同一基板上に、p型TFTおよびn型TFTか
らなるCMOS型インバータで構成され、奇数段目のn
型TFTはソース電極およびドレイン電極間に2つのゲ
ート電極を直列に備えた構造(以下、ダブルゲート構造
とする)、偶数段目はソース電極およびドレイン電極間
に1のゲート電極を備えた構造(以下、シングルゲート
構造とする)となるよう、ダブルゲート構造とシングル
ゲート構造のn型TFTが交互に接続される。また、p
型TFTは各段ともシングルゲート構造で構成される。
【0023】また、ここでは初段のインバータへ入力さ
れる信号は、1水平走査期間のうち1ブロック分の信号
線を選択する期間にHighレベル、1水平走査期間の
うち他のブロックの信号線を選択する期間にLowレベ
ルを出力する信号である。したがって、初段のインバー
タへは図3(b)に図示するように、Lowレベルを
出力する期間がHighレベルを出力する期間よりも長
い信号であって、本実施例においては、デューティ比が
1:31となるような信号が入力される。
【0024】本実施例においては、複数本の信号線毎
(ブロック毎)に駆動する表示装置について説明した
が、1信号線毎に順次駆動する表示装置においては、例
えば、本実施例の画面全体を4分割した各領域の信号線
に対応して順次駆動する場合には、デューティ比が1:
767となるような信号が入力される。
【0025】1水平走査期間のうちデータ転送期間につ
いてのデューティ比について説明したが、ブランキング
期間についてもHighレベル期間よりもLowレベル
期間が長い信号が出力される。
【0026】このように、各水平走査期間において、初
段のインバータへLowレベル期間がHighレベル期
間に比べて長い信号が入力されるデバイスにおいて、少
なくとも奇数段目のCMOS型インバータのn型TFT
をダブルゲート構造により構成する。また、このn型T
FTのゲート電極のうち、ドレイン電極側のゲート電極
を、ソース電極側のゲート電極よりもL長を長く構成す
る。図4は、奇数段目と偶数段目のインバータの略平面
図である。奇数段目のインバータのうち、n型TFTの
みダブルゲート構造で構成され、偶数段目のn型TF
T、各段のp型TFTはシングルゲート構造で構成され
る。
【0027】図5に、このバッファの奇数段目のインバ
ータの概略断面図を示す。このインバータはn型TFT
とp型TFTとから構成されるCMOS型インバータで
ある。そして、例えば、ガラス等の絶縁基板100上に
ポリシリコン半導体膜からなる半導体層106と、ゲー
ト絶縁膜107を介して配置されるゲート電極108と
を備えたトップゲート構造のTFTである。また、p型
TFT,n型TFT共にLDD(Lightly Do
ped Drain)領域を有していない。
【0028】図3(b)は、動作開始後20万秒後の
初段のインバータの出力を示す図である。このように、
長時間の駆動後でも出力波形が一定しており、長時間使
用に対して十分な信頼性が得られる。
【0029】これに対して、図3(b)´はバッファ
のn型TFTをシングルゲート構造で形成した場合の動
作開始後5万秒後の初段のインバータの出力を示す図で
ある。初段のインバータへの入力波形(同図)に対し
て、出力波形の一部になまりを生じている。
【0030】このように、奇数段目のCMOS型インバ
ータのn型TFTをダブルゲート構造により構成するこ
とで、経時変化によるインバータの特性劣化を抑えるこ
とができる。
【0031】また、このダブルゲート構造のゲート電極
のゲート長を異ならせる、特にドレイン電極側のゲート
電極をソース電極側のゲート電極よりも長く構成するこ
とにより、n型TFTの特性劣化をより抑えることが可
能となる。
【0032】また、上述の実施例においては、出力特性
劣化の著しいn型TFTをダブルゲート構造とするもの
について説明したが、これに限定されずソース電極およ
びドレイン電極間に2以上のゲート電極を備えた構造で
あってもよい。そして、特性劣化の起こりやすいn型T
FTのゲート電極のうち最もドレイン電極側のゲート電
極のゲート長を他のゲート電極のゲート長よりも大きく
設定することが望ましい。また、特性劣化の起こりやす
いn型TFTのゲート電極のうち最もドレイン電極側の
ゲート電極のゲート長を、他のn型TFTのゲート電極
のゲート長よりも長く構成することにより、上述と同様
の効果を得ることができる。
【0033】また、奇数段目のCMOS型インバータの
n型TFTのゲート長の合計値は、偶数段目のCMOS
型インバータのn型TFTのゲート長と比し、同等かそ
れ以上となるよう設定することが望ましい。
【0034】また、上述の実施例においては、LDD領
域のない構造のTFTを用いて説明したが、LDD領域
を有するものであってもよい。
【0035】[実施例2]次に、第2の実施形態に係る
バッファについて図6を用いて説明する。図6は、バッ
ファのうち奇数段目のインバータと偶数段目のインバー
タの略平面図である。
【0036】この実施例のバッファは、奇数段目のイン
バータのn型TFTのゲート長GL1が、偶数段目のイ
ンバータのn型TFTのゲート長GL2よりも幅広とな
るよう構成する。ここでは、例えば、奇数段目のインバ
ータのn型TFTのゲート長GL1が15μmであるの
に対し、偶数段目のインバータのn型TFTのゲート長
GL2が4.5μmとなるよう形成されている。
【0037】図7に、偶数段目のインバータのn型TF
Tのゲート長GL2を4.5μm、各段のp型TFTの
ゲート長を4.5μmとし、奇数段目のインバータのn
型TFTのゲート長GL1を変化させた時の駆動時間と
コントラストとの関係を図示する。このバッファのイン
バータは、LDD領域の形成されないTFTにより構成
されている。
【0038】図7により、奇数段目のゲート長GL1が
9μm以上の場合には、駆動時間1万秒後においても十
分なコントラスト比を保つことが可能である。
【0039】このように特性劣化の起こり易い奇数段目
のn型TFTのゲート長GL1を大きくすることで、バ
ッファの出力特性劣化を遅らせることが可能となる。
【0040】この実施例においては、奇数段目のインバ
ータのn型TFTのゲート長GL1を9μm以上、偶数
段目のn型TFTのゲート長GL2に対して2倍以上と
することで、奇数段目のインバータの特性劣化を抑える
ことができ、さらにこれを用いたバッファの経時変化に
対する出力特性劣化を遅らせることが可能となる。
【0041】また、望ましくは、奇数段目のインバータ
のn型TFTのゲート長GL1は、偶数段目のn型TF
Tのゲート長GL2の10倍以下であり、さらに望まし
くは4倍以下とすることが望ましい。
【0042】[実施例3]次に、各インバータを構成す
るn型TFTにLDD領域を設けた場合について説明す
る。図8は、このバッファを用いて駆動した場合の表示
装置の駆動時間とコントラストを示す図である。図8に
おいて、バッファの奇数段目のインバータのn型TFT
のゲート長GL1を4.5、6、9、11.5μmと変
化させている。
【0043】このように、経時変化に対して特性劣化の
現われるn型TFTのゲート長GL1を6μm以上とす
ることで、n型TFTの特性劣化を遅らせることが可能
となる。
【0044】また、偶数段目のインバータに対して奇数
段目のインバータのn型TFTのゲート長GL1を4/
3倍以上とすることで、奇数段目のインバータの特性劣
化を遅らせることができ、さらにこれを用いたバッファ
の経時変化に対する特性劣化を遅らせることが可能とな
る。
【0045】[実施例4]次に、第4の実施形態に係る
バッファについて図11を用いて説明する。図11は、
バッファのうち奇数段目のインバータと偶数段目のイン
バータの略平面図である。
【0046】この実施例のバッファは、奇数段目のイン
バータのn型TFTのゲート幅GWn1が、偶数段目の
インバータのn型TFTのゲート幅GWn2よりも幅広
となるよう構成する。ここでは、偶数段目のインバータ
のn型TFTのゲート幅GWn2は、各段のインバータ
のp型TFTのゲート幅GWp1,2と同じ幅で形成さ
れ、例えば、奇数段目のインバータのn型TFTのゲー
ト幅GWn1が10μmであるのに対し、偶数段目のイ
ンバータのn型TFTのゲート幅GWn2が12.5μ
mとなるよう形成されている。
【0047】図12(a)は、初段のインバータへ入力
される信号波形を示す図で、上述の実施例と同様にLo
wレベルを出力する期間がHighレベルを出力する期
間よりも長い信号である。図12(b)は、本実施例の
インバータの動作開始後10000時間後の初段のイン
バータの出力波形を示す図である。このように、長時間
使用後でもn型TFTの特性劣化が進行しても、次段の
インバータへLowレベルまたはHighレベルかの判
定ができる程度の信号が出力されるため、正しい信号出
力を行うことができる。したがって、画像表示に不良を
生じることなく表示動作を行うことが可能となる。
【0048】比較例として、図12(c)は各段のイン
バータを構成するTFTのゲート幅GWn,GWpを例
えば10μmと同じ大きさにした場合の初段のインバー
タの10000時間後の出力波形を示す。図12(c)
に示すように電圧が十分下がりきらず、信号を正しく次
段に転送することができない。
【0049】このように特性劣化の起こり易い奇数段目
のn型TFTのゲート幅GLn1を大きくすることで、
次段のインバータに正しく信号を供給することが可能と
なる。つまり初期状態において奇数段目のn型TFTの
ゲート幅GWnを対応するp型TFTのゲート幅GWp
よりも大きくすることで、n型TFTのオン電流値を大
きくすることが可能となり、p型TFTのリーク電流値
レベルまでオン電流値が減少するまでの時間を従来構造
の場合と比べて長くすることができる。
【0050】このように製品保証期間内において対して
常にp型TFTのリーク電流値よりもn型TFTのオン
電流値を大きくなるようあらかじめ設定することで、n
型TFTの特性劣化が進行しても次段に正常に信号を伝
播することが可能となり、表示不良の発生を抑制された
平面表示装置を実現することができる。
【0051】また、上述の実施例においては、LDD領
域のない構造のTFTを用いて説明したが、LDD領域
を有するものであってもよい。
【0052】上述の実施例においては、光変調層として
液晶材料を用いた液晶表示装置を例にとり説明したが、
これに限定されず、光変調層に有機発光体を備えた有機
EL表示装置等の平面表示装置全般に適用することがで
きる。
【0053】以上説明したように、特性劣化の進行が著
しいTFTのチャネル領域の幅を他のTFTよりも大き
くすることで、長時間の使用後もゴーストやクロストー
ク、線欠陥の発生が抑制され、高信頼性を有する表示装
置を実現することができる。尚、上述の実施形態中ゲー
ト電極とは走査線のうち半導体層上に形成される部分を
さし、またチャネル領域とは、半導体層のうち不純物を
低濃度含むか実質的に真性な状態の領域で、ゲート電極
と対向する部分をさす。
【0054】
【発明の効果】この発明によれば、経時変化に対し動作
の信頼性の確保された表示装置が実現される。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1(a)は、本発明の一実施例の液晶表示装
置の概略平面図、同図(b)は、一部拡大概略図であ
る。
【図2】図2は、本発明の一実施例の液晶表示装置の一
部拡大平面図である。
【図3】図3(a)は、本発明の実施例1のバッファを
示す図で、同図(b)はその信号波形を示す図である。
【図4】図4は、本発明の実施例1の駆動回路の一部を
示す図で、図3(a)のバッファの偶数段目のインバー
タと奇数段目のインバータの略平面図である。
【図5】図5は、本発明の実施例1の奇数段目のインバ
ータの概略断面図である。
【図6】図6は、本発明の実施例2のバッファの一部を
示す略平面図である。
【図7】図7は、本発明の実施例2の表示装置の駆動時
間とコントラストとの関係を示す図である。
【図8】図8は、本発明の実施例3の表示装置の駆動時
間とコントラストとの関係を示す図である。
【図9】図9は、従来の駆動回路を示す一部回路図であ
る。
【図10】図10は、従来のn型TFTの特性劣化示す
図である。
【図11】図11は、本発明の実施例4のバッファの一
部を示す略平面図である。
【図12】図12(a)(b)は、本発明の実施例4の
信号波形を示す図で、また同図(c)は従来構造の場合
の信号波形を示す図である。
【符号の説明】
1・・・平面表示装置 100・・・絶縁基板 101・・・信号線 102・・・走査線 103・・・画素電極 104・・・対向電極 105・・・光変調層 108・・・ゲート電極 114・・・バッファ回路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G09G 3/20 621 G09G 3/20 621M 5F110 623 623B H01L 27/08 331 H01L 27/08 331E 29/786 29/78 614 612B 613A 617N (72)発明者 石田 知 埼玉県深谷市幡羅町一丁目9番地2 株式 会社東芝深谷工場内 Fターム(参考) 2H092 GA12 GA59 JA25 JA38 KA04 NA11 PA06 2H093 NA16 NC10 NC12 NC13 NC34 ND48 NE03 NE07 5C006 AC21 AF50 BB16 BC11 BC20 BF27 BF32 BF34 EB05 FA21 5C080 AA05 AA06 AA10 BB05 DD05 DD10 DD28 FF11 JJ03 JJ04 JJ05 JJ06 5F048 AB05 AC04 BA16 BB02 BB03 BB05 BC06 BC16 BG05 5F110 AA30 BB02 BB04 CC02 DD02 EE28 GG02 GG13 GG28 HM15 NN78

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】絶縁基板上に配置される複数の信号線と、
    前記信号線に略直交して配置される複数の走査線と、前
    記信号線および前記走査線の各交点付近に配置されるス
    イッチング素子と、前記スイッチング素子を介して接続
    される画素電極と、前記画素電極に対向配置される対向
    電極と、これら電極間に保持される光変調層と、前記信
    号線および前記走査線を駆動する駆動回路と、を備えた
    平面表示装置であって、前記駆動回路は、一対のn型T
    FTおよびp型TFTで構成されるCMOS型インバー
    タを複数段備えたバッファを備え、前記バッファは、ソ
    ース電極とドレイン電極間に複数のゲート電極が直列に
    配置された構造のn型TFTとソース電極とドレイン電
    極間に1のゲート電極が配置された構造のn型TFTと
    を交互に配置して構成されることを特徴とする平面表示
    装置。
  2. 【請求項2】絶縁基板上に配置される複数の信号線と、
    前記信号線に略直交して配置される複数の走査線と、前
    記信号線および前記走査線の各交点付近に配置されるス
    イッチング素子と、前記スイッチング素子を介して接続
    される画素電極と、前記画素電極に対向配置される対向
    電極と、これら電極間に保持される光変調層と、前記信
    号線および前記走査線を駆動する駆動回路と、を備えた
    平面表示装置であって、前記駆動回路は、CMOS型イ
    ンバータを複数段備えたバッファを備え、各水平走査期
    間において、初段のインバータへ入力される信号は、L
    ow信号が入力される期間がHigh信号が入力される
    期間よりも長く、奇数段目の前記CMOS型インバータ
    は、ソース電極とドレイン電極間に複数のゲート電極が
    直列に配置された構造のn型TFTを有し、偶数段目の
    前記CMOS型インバータはソース電極とドレイン電極
    間に1のゲート電極を備えた構造のn型TFTを有する
    ことを特徴とする平面表示装置。
  3. 【請求項3】各前記奇数段目の前記n型TFTの複数の
    ゲート電極は、それぞれゲート長が異なることを特徴と
    する請求項2記載の平面表示装置。
  4. 【請求項4】前記奇数段目の前記n型TFTの複数の前
    記ゲート電極のうち、最も前記ドレイン電極側のゲート
    長が他のゲート電極のゲート長よりも長くなるよう形成
    されていることを特徴とする請求項3記載の平面表示装
    置。
  5. 【請求項5】前記奇数段目の前記n型TFTの複数の前
    記ゲート電極のゲート長の合計値は偶数段目の前記n型
    TFTのゲート長より大きく設定されることを特徴とす
    る請求項2記載の平面表示装置。
  6. 【請求項6】絶縁基板上に配置される複数の信号線と、
    前記信号線に略直交して配置される複数の走査線と、前
    記信号線および前記走査線の各交点付近に配置されるス
    イッチング素子と、前記スイッチング素子を介して接続
    される画素電極と、前記画素電極に対向配置される対向
    電極と、これら電極間に保持される光変調層と、前記信
    号線および前記走査線を駆動する駆動回路と、を備えた
    平面表示装置であって、前記駆動回路は、CMOS型イ
    ンバータを複数段備えたバッファを備え、各水平走査期
    間において、初段のCMOS型インバータへ入力される
    信号は、Low信号が入力される期間がHigh信号が
    入力される期間よりも長く、前記バッファの奇数段目の
    CMOS型インバータのn型TFTのゲート長は、偶数
    段目のCMOS型インバータのn型TFTのゲート長よ
    りも長いことを特徴とする平面表示装置。
  7. 【請求項7】前記バッファのCMOS型インバータは複
    数のゲート電極を備えたTFTから構成されることを特
    徴とする請求項6記載の平面表示装置。
  8. 【請求項8】絶縁基板上に配置される複数の信号線と、
    前記信号線に略直交して配置される複数の走査線と、前
    記信号線および前記走査線の各交点付近に配置されるス
    イッチング素子と、前記スイッチング素子を介して接続
    される画素電極と、前記画素電極に対向配置される対向
    電極と、これら電極間に保持される光変調層と、前記信
    号線および前記走査線を駆動する駆動回路と、を備えた
    平面表示装置であって、前記駆動回路は、CMOS型イ
    ンバータを複数段備えたバッファを備え、各水平走査期
    間において、初段のCMOS型インバータへ入力される
    信号は、Low信号が入力される期間がHigh信号が
    入力される期間よりも長く、前記バッファの奇数段目の
    CMOS型インバータのn型TFTのゲート幅は、偶数
    段目のCMOS型インバータのn型TFTのゲート幅よ
    りも大きいことを特徴とする平面表示装置。
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