JP2003048312A - インクジェット記録装置及びこれを用いたカラーフィルタ製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 インクジェット記録方式によるカラーフィル
タ製造装置において、各色複数個のインクジェットヘッ
ドを密に配置して、大面積、高精細な画素構成に対応す
る。 【解決手段】 各インクジェットヘッドに、該ヘッドの
ノズル平面に平行な一方向と該ノズル平面内の回転方向
の位置を調整・位置決め可能なアクチュエータを付設
し、該アクチュエータをアクチュエータ固定部材に取り
付けることでヘッドユニットを構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明が属する技術分野】本発明は、インクジェットヘ
ッドを色毎に複数個用いたインクジェット記録装置に関
し、さらには、該インクジェット記録装置を適用したカ
ラーフィルタの製造装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来からインクジェット記録方法は、情
報処理システムの出力手段、例えば複写機、ファクシミ
リ、電子タイプライタ、ワードプロセッサ、ワークステ
ーション等の出力端末としてのプリンタ、或いはパーソ
ナルコンピュータ、ホストコンピュータ、光ディスク装
置、ビデオ装置等に具備されるハンディまたはポータブ
ルプリンタの記録方法として利用されている。

【０００３】このインクジェット記録方法は、インクを
微小な液滴としてノズル（以下、吐出口ともいう）より
吐出して文字や図形等の記録を行うもので、高精細な画
像の出力、高速記録の手段として優れた利点を有する。
また、該方法を適用した記録装置（以下、インクジェッ
ト記録装置という）はノンインパクト型の記録装置であ
って、騒音が少ないこと、多色のインクを使うことによ
ってカラー画像記録も容易であること、さらに装置本体
の小型化や、画像の高密度化も容易であるなどの特長を
有しており、近年急速に普及しつつあるものである。

【０００４】また、近年、パーソナルコンピュータの発
達、特に携帯用のパーソナルコンピュータの発達に伴
い、液晶ディスプレイ、とりわけカラー液晶ディスブレ
イの需要が増加する傾向にある。しかしながら、さらな
る普及のためには液晶ディスプレイのコストダウンが必
要であり、特にコスト的に比重の高いカラーフィルタの
コストダウンに対する要求が高まっている。従来から、
カラーフィルタの要求特性を満足しつつ上記の要求に応
えるべく種々の方法が試みられているが、いまだ全ての
要求特性を満足する方法は確立されていない。以下に、
カラーフィルタの製造方法について、いくつか説明す
る。尚、以下の説明で用いるＲ、Ｇ、Ｂはそれぞれ赤、
緑、青を表す。

【０００５】第１のカラーフィルタの製造方法としては
染色法がある。染色法は、ガラス基板上に染色用の材料
である水溶性高分子材料を塗布し、その水溶性高分子材
料をフォトリソグラフィ工程により所望の形状にパター
ニングした後、得られたパターンを染色浴に浸潰して着
色されたパターンを得るものである。この工程を３回繰
り返すことによりガラス基板上にＲ、Ｇ、Ｂの着色部が
得られる。

【０００６】第２のカラーフィルタの製造方法としては
顔料分散法がある。顔料分散法は、近年最も多く用いら
れている方法である。この顔料分散法は、基板上に顔料
を分散した感光性樹脂層を形成し、これをパターニング
することにより単色のパターンを得るものである。さら
にこの工程を３回繰り返すことにより、Ｒ、Ｇ、Ｂの着
色部を形成する。

【０００７】第３のカラーフィルタの製造方法としては
電着法がある。電着法は、基板上に透明電極をパターニ
ングした後、その基板を顔料、樹脂、電解液等の入った
電着塗装液に浸漬して基板上に所望の色を電着させるも
のであり、この工程を３回繰り返して基板上にＲ、Ｇ、
Ｂを塗り分けた後、樹脂を熱硬化させることにより基板
上に着色部が形成される。

【０００８】第４のカラーフィルタの製造方法として
は、印刷法がある。印刷法は熱硬化型の樹脂に顔料を分
散させ、その樹脂を用いて印刷を３回繰り返すことによ
りＲ、Ｇ、Ｂを基板上に塗り分けた後、樹脂を熱硬化さ
せることで着色部を形成するものである。

【０００９】上記いずれの方法においても着色部の表面
に保護層を形成するのが一般的である。また、上記の方
法に共通している点は、Ｒ、Ｇ、Ｂの３色の着色部を形
成するために同一の工程を３回繰り返す必要があり、コ
ストが高くなることである。また工程が多いほど歩溜ま
りが低下するという問題点を有している。さらに、電着
法においては、形成可能なパターン形状が限定されるた
め、現状の技術ではＴＦＴ方式（薄膜トランジスタを画
素のスイッチングに用いたアクティブマトリクス駆動方
式）のカラー液晶ディスプレイには適用できない。ま
た、印刷法は、解像性、平滑性が悪いためファインピッ
チのパターンは形成できない。

【００１０】これらの欠点を補うべく、特開昭５９−７
５２０５号公報、特開昭６３−２３５９０１号公報、特
開昭６３−２９４５０３号公報、或いは、特開平１−２
１７３０２号公報等には、インクジェット記録方式を用
いてカラーフィルタを製造する方法が記載されている。

【００１１】具体的には、透明基板上に所定の規則性が
ある開口部を有するように遮光膜（ブラックマトリク
ス）を設け、その開口部に露出した透明基板上にインク
ジェットヘッドからインクを吐出して着色するなどの方
法が記載されている。

【００１２】インクジェット記録方式によるカラーフィ
ルタの製造方法は、必要な部分のみ着色することができ
るので材料コストを低くすることができ、さらに、３色
同時に着色が可能であるため、製造工程が短く、ゴミの
影響を受けにくい。また、製造装置コストを抑えること
ができるなどの理由から、低材料費、高歩留まりが期待
でき、他の製造方法に比較してより低コストのカラーフ
ィルタの製造が可能である。

【００１３】しかしながら、前述のインクジェット記録
方式を用いる技術においては、生産上の機能が不十分で
あった。即ち、インクの着弾位置を予め測定しておき、
製造装置にガラス基板を装着する際にはガラス基板を描
画ヘッドに対して（或いは、描画ヘッドをガラス基板に
対して）６自由度方向のアライメントを行ない、その
後、描画ヘッドとガラス基板間の隙間を一定に保ちなが
ら描画する、といったような機能がないため、高精度な
描画を行なうことができない。また、３色のインクの着
弾位置をいずれも良好に位置合わせすることは困難な場
合があるという問題があった。

【００１４】これらの問題を解決するために、特開平９
−４９９１９号では、各色とも１本ずつのインクジェッ
トヘッドを用い、各インクジェットヘッドは、予めＲ、
Ｇ、Ｂ３色のうち１色を基準に、他の２色を相対的に位
置合わせしておき、描画時には３色の描画ヘッドを相互
に固定するようにしていた。

【００１５】また、複数のインクジェットヘッドを、基
板に平行な平面内の２方向と、基板に平行な平面内での
回転の少なくとも３軸での微動機構を介して台座に取り
付けて、インクジェットヘッドの相互の位置関係を調整
するようにした、インクジェット記録方式のカラーフィ
ルタの製造装置が特開平１１−４４８１１号公報に記載
されている。しかしながら、当該公報に記載された製造
装置の微動機構は圧電素子を用いたもののみであり、各
軸の微動機構は垂直方向に３軸分以上重ねられるように
取り付けられている。また、そのノズル面と平行な平面
内での大きさは、インクジェットヘッドよりはるかに大
きく、より大画面で高精細カラーフィルタを製造するべ
くインクジェットヘッドを各色とも複数個配置しようと
した場合、微動機構部の大きさが邪魔をして、インクジ
ェットヘッドをより密に配列することができないという
問題点があった。さらに、３軸以上の微動機構としての
圧電素子を有するインクジェットヘッドを各色共複数個
用いる場合には、圧電素子を駆動させるための配線数が
多くなるだけでなく、調整用の電源電圧の可変装置も各
インクジェットヘッドに対して３台以上必要となる。こ
のように、各色とも、複数個のインクジェットヘッドを
用いようとした場合、装置構成が複雑になり、組み立て
や調整に時間を要してしまうといった問題点があった。

【００１６】

【発明が解決しようとする課題】最近では、液晶表示装
置の製造技術の進展により、ガラス基板の大型化ととも
に画面サイズの大型化と画面の高精細化が進行してい
る。従来、ガラス基板の大きさは、３６５×４６０ｍｍ
程度であったものが、５５０×６５０ｍｍ、さらには、
６８０×８８０ｍｍ、或いは、７３０×９２０ｍｍにま
で拡大してきた。それと同時に、画面サイズも、対角寸
法で１０．４インチ、１２．１インチ、１３．３イン
チ、１４．１インチ、１５．０インチ、１７．０イン
チ、１８．０インチ、２０．０インチと、年を追うごと
に大型のものが出現してきた。また、画面の解像度も、
ＶＧＡ（６４０×４８０）、ＳＶＧＡ（８００×６０
０）、ＸＧＡ（１０２４×７６８）、ＳＸＧＡ（１２８
０×１０２４）、ＳＸＧＡ＋（１５００×１０５０）、
ＵＸＧＡ（１６００×１２００）、ＱＸＧＡ（２０４８
×１５３６）と、ますます高精細になり、基板一枚あた
りの画素数は増加の一途にある。

【００１７】これら、大型基板で大画面・高精細に対応
したカラーフィルタを効率よく生産するためには、一度
にインクを吐出するノズル数を増加させる必要がある。
そのために考えられることは、一色あたり、複数本のイ
ンクジェットヘッドを用いるか、或いは、インクジェッ
トヘッド１本あたりのノズル数を増やすか、のいずれか
である。現在製品化されている長尺のインクジェットヘ
ッドは、最大でも４インチ程度であり、大型基板を効率
よく生産するためには、各色複数のインクジェットヘッ
ドを用いる必要がある。しかしながら、特開平９−４９
９１９号公報記載の方法では、一色あたり複数本のイン
クジェットヘッドを用いることに対応しておらず、ま
た、特開平１１−４４８１１号公報記載の方法では、１
つあたり数十本程度のノズル数を有するようなヘッドを
複数個用いているが、ヘッドの位置決め調整に使用され
るアクチュエータの大きさが、インクジェットヘッドの
大きさに比較して大きなものを用いていることから、イ
ンクジェットヘッドを密に配置することができず、使用
できる総ノズル数をあまり多くすることができないとい
った問題点があった。

【００１８】本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
のであり、その目的とするところは、インクジェット記
録装置において、着色領域の大面積化、高精細化に対応
し、効率よく生産可能な構成を実現することにあり、具
体的には一つのヘッドユニットに対し、複数本のインク
ジェットヘッドを高密度に取り付け可能とし、全ヘッド
のノズルを被着色基板の対応する画素に高精度に位置あ
わせ可能なインクジェット記録装置を提供し、さらに、
該装置を適用したカラーフィルタの製造装置を提供する
ことによって、より大面積・高精細なカラーフィルタを
より安価に生産することにある。

【００１９】

【課題を解決するための手段】本発明の第一は、各色毎
に複数本のインクジェットヘッドを有し、全てのインク
ジェットヘッドのノズル面が同一平面を形成するように
配置し、各インクジェットヘッドに対して、上記ノズル
平面と平行な一つの方向と該ノズル平面内の回転方向の
２方向の位置をそれぞれ調整・位置決め可能な２種類の
アクチュエータを設けたことを特徴とするインクジェッ
ト記録装置である。

【００２０】上記本発明のインクジェット記録装置にお
いては、下記の構成を好ましい態様として含む。ノズル
平面と平行な一つの方向が、インクジェットヘッドのノ
ズル列方向である。前記アクチュエータがインクジェッ
トヘッドに対してノズル面以外の部分に固定され、且
つ、各インクジェットヘッドのアクチュエータが、少な
くとも一つのアクチュエータ固定部材に相対的に位置決
め固定される。前記アクチュエータ固定部材は、少なく
ともノズル平面と平行な一つの方向とノズル平面内の回
転方向の２方向の位置を調整・位置決め可能な位置決め
調整機構によって、相対的に位置決め固定されて、装置
本体に対して取り付けられている。全インクジェットヘ
ッドの位置が、各インクジェットヘッドに付設された２
種類のアクチュエータによって、所定の基準位置に対し
て相対位置合わせされる。全インクジェットヘッドの位
置が、各インクジェットヘッドに付設された２種類のア
クチュエータとアクチュエータ固定部材の位置決め調整
機構によって、所定の基準位置に対して相対位置合わせ
される。前記アクチュエータ固定部材の中で、いずれか
一つのインクジェットヘッドの位置を基準に、各インク
ジェットヘッドの位置が、それぞれに付設された２種類
のアクチュエータによって相対位置合わせされる。前記
アクチュエータ固定部材の中で、アクチュエータ固定部
材の基準位置に対して、各インクジェットヘッドの位置
が、それぞれに付設された２種類のアクチュエータによ
って相対位置合わせされる。各インクジェットヘッドに
付設されたアクチュエータが、インクジェットヘッドよ
り小型である。前記アクチュエータが、空圧と部材の弾
性変形を利用したものである。

【００２１】また、本発明の第二は、上記本発明第一の
インクジェット記録装置を適用し、透明基板上にインク
を付与して複数色の着色部を形成することを特徴とする
カラーフィルタ製造装置である。

【００２２】本発明のインクジェット記録装置及びこれ
を適用したカラーフィルタ製造装置においては、上記構
成をとることにより、インクジェットヘッドを被着色基
板の画素に対応するように配列して固定するヘッドユニ
ットにおいて、各色複数のインクジェットヘッドをより
高密度に搭載することが可能となり、より大型の基板或
いは高精細の画素構成であっても、生産性を落とすこと
なく、着色工程を実施することができる。

【００２３】また、上記本発明においては、インクジェ
ットヘッドのノズルピッチが若干異なるものであった
り、インクジェットヘッドの位置決め基準加工精度が不
十分であっても、全てのノズルを所望の位置に調整する
ことが可能となり、常に高精度な着色が可能となる。

【００２４】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明を詳
細に説明する。また、以下の説明においては、本発明の
インクジェット記録装置の一実施形態として、カラーフ
ィルタ製造装置を構成した場合を、具体的なカラーフィ
ルタ構成と装置構成を例に挙げて説明する。よって、当
該説明における、具体的な寸法や特性は、一例であり、
本発明がこれに限定されるものではない。

【００２５】〔カラーフィルタ製造工程の説明〕先ず本
発明のカラーフィルタ製造装置による、第一のカラーフ
ィルタの製造工程を図４に示す。図中、３１は透明基
板、３２はブラックマトリックス、３３はインク受容
層、３４はフォトマスク、３５は非着色部、３６は被着
色部、３７はインク、３８は着色部、３９は保護層であ
る。以下、各工程を説明するが、図４（ａ）〜（ｄ）
は、下記の工程（ａ）〜（ｄ）に対応する断面模式図で
ある。

【００２６】工程（ａ） 透明基板３１上にブラックマトリクス３２、インク受容
層３３を形成する。透明基板３１として一般にガラス基
板が用いられるが、液晶素子用カラーフィルタとしての
透明性、機械的強度等の必要特性を有するものであれば
ガラス基板に限定されるものではない。ブラックマトリ
ックス３２はブラックストライプでも良く、その膜厚
は、通常０．１〜０．５μｍ程度であり、透明基板３１
上にクロム等金属をスパッタ或いは蒸着等により成膜
し、フォトリソ工程によりパターニングして得られる。
また、ブラックマトリックス３２はインク受容層３３上
に形成しても良く、金属以外にも黒色樹脂等を用いて形
成しても良い。

【００２７】インク受容層３３は、インク受容性を有す
る樹脂組成物からなり、好ましくは光照射によりインク
受容性が変化する感光性樹脂組成物を用いる。このよう
な樹脂組成物は、塗布により透明基板３１上に形成さ
れ、必要に応じてプリベークされる。塗布方法として
は、スピンコート、ロールコート、バーコート、スプレ
ーコート、ディップコート等の塗布方法を用いることが
できるが、特に限定されるものではない。インク受容層
３３の厚さは、通常０．３〜３．０μｍ程度である。

【００２８】工程（ｂ） インク受容層３３が感光性を有する場合には、フォトマ
スク３４を用いてパターン露光し、インク受容性の低い
（或いはない）非着色部３５とインク受容性の高い被着
色部３６を形成する。本例はネガ型の感光性樹脂組成物
でインク受容層３３を形成した場合を示す。尚、非着色
部３５はブラックマトリックス３２に重なる位置に形成
され、特に、ブラックマトリックス３２の開口部境界に
おける白抜けを防止する観点から、ブラックマトリック
ス３２の幅よりも非着色部３５が狭くなるように形成す
ることが好ましい。

【００２９】工程（ｃ） インクジェットヘッド（不図示）より、所定の着色パタ
ーンに沿って、所定の色のインク３７を被着色部３６に
吐出し、着色する。着色に使用するインク３７として
は、染料系、顔料系共に用いることが可能であり、ま
た、液状インク、ソリッドインク共に使用可能である。

【００３０】本発明で使用するインクジェット方式とし
ては、エネルギー発生素子として電気熱変換体を用いた
バブルジェット（登録商標）タイプ、或いは圧電素子を
用いたピエゾジェットタイプ等が使用可能であり、着色
面積及び着色パターンは任意に設定することができる。

【００３１】工程（ｄ） 熱処理或いは光照射等必要な処理を施してインク受容層
全体を硬化させ、非着色部３５と着色部３８からなる着
色層を形成する。次いで、必要に応じて保護層３９を形
成し、カラーフィルタを得る。保護層３９としては、光
硬化タイプ、熱硬化タイプ或いは光熱併用タイプの、第
２の樹脂組成物を用いて形成するか、或いは無機材料を
用いて蒸着またはスパッタによって形成することがで
き、カラーフィルタとした場合の透明性を有し、その後
のＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ ＴｉｎＯｘｉｄｅ）膜形成プ
ロセス、配向膜形成プロセス等に十分耐えうるものであ
れば使用できる。

【００３２】図５に、本発明のカラーフィルタ製造装置
による、第二のカラーフィルタの製造工程を図５に示
す。図中、４１はブラックマトリックス、４２は硬化型
インク、４３は着色部であり、図４と同じ部材には同じ
符号を付して説明を省略する。以下、各工程を説明する
が、図５（ａ）〜（ｃ）は、下記の工程（ａ）〜（ｃ）
に対応する断面模式図である。

【００３３】工程（ａ） 透明基板３１上に、黒色樹脂組成物を用いてブラックマ
トリックス４１を形成する。ブラックマトリックス４１
は、後述するように、隣接する着色部４３間を遮光する
と同時に、インクジェット記録方式による硬化型インク
４２の付与の際に混色防止部として機能するものであ
る。従って、解像性等のパターニング特性に加えて、染
料或いは顔料による被着色性、及び、インクジェット記
録方式に用いられるインクに対する充分な撥インク性が
要求される。好ましくは、感光性樹脂組成物を用い、パ
ターン露光によってパターニングを行う。ブラックマト
リクス４１の厚さは隔壁作用及び遮光作用を考慮すると
０．５μｍ以上が好ましい。

【００３４】工程（ｂ） ブラックマトリックス４１の開口部を被着色部として、
インクジェットヘッド（不図示）より、所定の着色パタ
ーンに沿って、所定の色の硬化型インク４２を吐出す
る。本発明において用いられる硬化型インク４２は、少
なくとも染料或いは顔料等着色剤と、熱処理或いは光照
射等エネルギー付与により硬化する樹脂等バインダー成
分と、溶媒を含有している。

【００３５】工程（ｃ） 熱処理或いは光照射等必要な処理を施して硬化型インク
４２を硬化させ、着色部４３を形成し、必要に応じて着
色部４３上に保護層３９を形成し、カラーフィルタを得
る。

【００３６】〔カラーフィルタの説明〕次に、図１２
に、以下に説明する本発明のカラーフィルタ製造装置に
より製造されたカラーフィルタのカラーパターンを示
す。それぞれ、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）のインク
により着色された着色画素１００ａ、１００ｂ、１００
ｃが一つの表示画素を形成し、各着色画素はほぼ長方形
である。尚、着色画素とは、ブラックマトリックスの開
口部内の着色部を意味する。図５の工程で製造したカラ
ーフィルタであれば、着色画素は着色部４３と一致す
る。

【００３７】図１２において、一つの着色画素の大きさ
は、長手方向をＹ方向、Ｙ方向と直角な方向をＸ方向と
すると、全て同じで、１５０μｍ×５７．５μｍであ
り、Ｙ方向には同じ色の着色画素が一直線に配列され、
Ｘ方向には隣合う着色画素の色が異なるように配列され
ている。着色画素ピッチはＸ方向、Ｙ方向とも１９０．
５μｍである。

【００３８】着色画素の個数は、Ｘ方向に各色１６００
個、Ｙ方向に１２００個で、図１３に示すように、カラ
ーフィルタの画面の大きさは、３０４．８ｍｍ×２２
８．６ｍｍで、対角線の長さが３８１．０ｍｍの１５．
０インチＵＸＧＡの液晶パネル用に対応している。

【００３９】また、上記カラーフィルタの構成に用いる
ガラス基板のサイズは、５５０ｍｍ×６５０ｍｍで、１
５．０ＵＸＧＡに対応するカラーフィルタを４面取るこ
とが可能なサイズである。

【００４０】〔装置全体構成の説明〕次に、本発明のカ
ラーフィルタ製造装置の一実施形態の構成を図１〜図３
に示す。

【００４１】図１は装置外観図（斜視図）、図２はステ
ージ周辺の詳細図、図３はインクジェットヘッド及び光
学系の配置図である。図１〜図３において、１は装置搭
載用の定盤、２は定盤１を支持し、外部振動を遮断する
ための除振台、３は定盤１上に設けられ、大ストローク
移動を行うＸＹステージ、４はＸＹステージ３上に搭載
されたθ、Ｚ−チルトアライメント用のチルトステー
ジ、５はチルトステージ４に搭載された被着色基板であ
るガラス基板（図４のパターン露光後のインク受容層３
３を備えた透明基板３１、図５のブラックマトリックス
４１が形成された透明基板３１に相当）である。６は
Ｒ、Ｇ、Ｂ各色８本ずつのインクジェットヘッドが、ノ
ズル列と平行な方向に位置調整可能なノズル列アクチュ
エータと、ノズル面内の回転方向に位置調整可能なθ方
向アクチュエータを介して、それぞれヘッド取付ベース
１２０に位置調整可能なように固定されたヘッドユニッ
トで、同じものが２セット搭載されている。従って、イ
ンクジェットヘッドの個数は、各色１６本である。ヘッ
ドユニット６の詳細な構成については後述する。

【００４２】７はガラス基板５のＸ、Ｙ、θ方向のアラ
イメント検出用光学系で、各インクジェットヘッドが吐
出するインクの着弾位置検出用としても用いる。８、８
ａ〜８ｃはＺ方向検出用光学系、１０はヘッドユニット
６をＸ方向に移動させるためのヘッドステージ、１１は
ヘッドステージ１０を支えるための支柱、１２はヘッド
ユニット６の上部に取り付けられ、ヘッドユニット全体
を回転させるためのヘッドθモータ、１３はヘッドステ
ージ１０に載置され、ヘッドθモータ１２及びヘッドユ
ニット６を支持し、さらにインク供給系の一部である三
方弁や溶存酸素計などが組み込まれた弁ボックス１４を
搭載したヘッドユニット支持アームで、ヘッドステージ
１０によりヘッドユニット６及び弁ボックス１４と一体
になって装置中央部からそれぞれ装置の端部までＸ方向
に移動可能となっている。従って、支持アーム１３、ヘ
ッドユニット６及び弁ボックス１４をヘッドステージ１
０の端部に移動させることで、ヘッドユニット６の取付
作業、交換作業を作業者が行うことが可能となってい
る。また、ヘッドステージ１０は、本実施例のように、
ヘッドユニット６が２台搭載された装置においては、こ
れら２つのユニットのＸ方向の相対位置もミクロンオー
ダで位置決めされるような機構になっている。

【００４３】尚、本実施形態においては、ヘッド取付ベ
ース１２０が本発明にかかるアクチュエータ固定部材、
ヘッドステージ１０及びヘッドθモータ１２が本発明に
かかるアクチュエータ固定部材（即ちベース１２０）の
位置決め調整機構に相当する。

【００４４】１５はインクジェットヘッドのキャップを
行ったりノズルから排出されたインクを受けるためのキ
ャップと、ノズル面に付着したインク滴を払拭するため
のワイピングブレードが組み込まれ、ヘッドユニット６
の真下まで移動可能な回復系ユニット、１６は回復系ユ
ニット内に組み込まれたワイピングブレードやキャップ
を洗浄するための洗浄系ユニット、１７はカラーフィル
タ製造装置全体を覆うように構成され、内部の温度をよ
り厳密に管理するためのサーマルチャンバ、１８はサー
マルチャンバ１７内に配置され、サーマルチャンバ１７
外から搬送されてきたガラス基板５を、カラーフィルタ
製造装置へと供給し、また、カラーフィルタ製造装置か
らサーマルチャンバ外へ基板を排出するためのガラス基
板５の搬入搬出装置、１９はサーマルチャンバ１７の外
側に配置され、サーマルチャンバ１７に開けられた穴２
７を通ったチューブ束２０によって弁ボックス１４へイ
ンクを供給・排出するように連結されたインク供給ユニ
ットで、各ヘッドユニット６にそれぞれ１台ずつ設けら
れている。インク供給ユニット１９は、インクを入れて
おくためのメインタンク２１ａ〜２１ｃ、メインポンプ
２２、サブタンク２３ａ〜２３ｃ、メイン脱気装置２４
ａ〜２４ｃなどにより構成されている。

【００４５】また、各インクジェットヘッドは、それぞ
れ独立して、図示しない電気信号用のケーブルが接続さ
れており、電気信号用のケーブルのもう一方は、サーマ
ルチャンバ１７の外部に配置された図示しないパソコン
等で構成される制御ユニットに接続される。また、各イ
ンクジェットヘッドから出ているインク供給チューブ
は、それぞれのヘッドユニットごとで、色ごとに連結さ
れ、カプラ部２６の部分では、各色イン側とアウト側の
２本ずつに束ねられている。

【００４６】また、インク供給チューブ２５はカプラ部
２６を介してもう一方の端は、三方弁、溶存酸素計等で
構成される弁ボックス１４の中の三方弁に接続される。

【００４７】弁ボックス１４からは、三方弁駆動用のケ
ーブルと溶存酸素計のセンサケーブルが束になったケー
ブル（不図示）が出ており、チューブ束２０と同様にサ
ーマルチャンバ１７に開けられた穴２７を通って外部の
制御ユニットに接続される。

【００４８】〔ヘッドユニットの構成の説明〕図６、図
７は図１〜図３に示したヘッドユニット６の上面図、底
面図である。また、図８は、ヘッドユニット内の任意の
インクジェットヘッドと、アクチュエータの関係を示す
拡大図である。また、図９はノズル列方向のアクチュエ
ータの拡大図、図１０はθ方向のアクチュエータの拡大
図である。図７において、１２１ａ〜１２１ｈはＲのイ
ンクを吐出するインクジェットヘッド、１２２ａ〜１２
２ｈはＧのインクを吐出するインクジェットヘッド、１
２３ａ〜１２３ｈはＢのインクを吐出するインクジェッ
トヘッドである。本実施形態において、各インクジェッ
トヘッドは、ノズルピッチの設計値が３００μｍ、ノズ
ル数２００個のヘッドであり、図１２、１３で示す、１
５．０ＵＸＧＡの画素ピッチに合わせるため、ヘッド取
付ベース１２０の基準面１２０ａに対し、ノズル列のな
す角が、θ＝５０．５８０°傾くように取り付けられて
いる。尚、図７においては便宜上、ノズルを８個で示し
ている。また、一番目のＲ用インクジェットヘッド１２
１ａの一番端の２００番ノズル１２１ａ２００と、２番
目のＲ用インクジェットヘッド１２１ｂの一番ノズル１
２１ｂ１のＸ方向の間隔は、各ヘッド内のノズルピッチ
のＸ方向の間隔と同じになるように設定されており、本
例の１５．０ＵＸＧＡのパネルの場合は、０．１９０５
ｍｍである。以下同様に、同一色内のインクジェットヘ
ッドのＸ方向の間隔は全て０．１９０５ｍｍとなるよう
に、位置調整されている。

【００４９】また、一番目のＲ用インクジェットヘッド
１２１ａの一番ノズル１２１ａ１と、一番目のＧ用イン
クジェットヘッド１２２ａの一番ノズル１２２ａ１との
Ｘ方向の間隔は、０．０６３５ｍｍとなるように位置決
め調整されており、同様に、一番目のＧ用インクジェッ
トヘッド１２２ａの一番ノズル１２２ａ１と、一番目の
Ｂ用インクジェットヘッド１２３ａの一番ノズル１２３
ａ１とのＸ方向の間隔は、０．０６３５ｍｍとなるよう
に位置決め調整されている。これにより、各色ごとに全
てのインクジェットヘッドのノズル２００個×８個＝１
６００個のノズルのＸ方向の間隔は０．１９０５ｍｍに
なる。

【００５０】図８〜１０で示すように、インクジェット
ヘッド１２１ａは、ノズル面の反対側の面で、インクジ
ェットヘッド取り付け部材７０に対し、２箇所のねじ穴
７２、７３にボルト７１を通して締め込むことによって
位置決め固定される。インクジェットヘッド取り付け部
材７０は、インクジェットヘッドを固定した側と反対側
で、θ方向アクチュエータ６０に対し、３箇所のねじ穴
６８、７４にボルト６９を通して締め込むことによって
位置決め固定される。さらに、θ方向アクチュエータ６
０は、インクジェットヘッド取り付け部材７０に固定さ
れたのと反対側で、ノズル列方向アクチュエータ５０に
対し、３箇所のねじ穴６６、５７にボルト６７を通して
締めこむことによって位置決め固定される。そして、ノ
ズル列方向アクチュエータ５０は、インクジェットヘッ
ド取付ベース１２０に対し、４箇所のねじ穴４０、５６
にボルト４１を通して締め込むことによって、位置決め
固定される。図８では、Ｒ用の一つのインクジェットヘ
ッド１２１ａのみについて説明したが、全てのインクジ
ェットヘッドが、同様な構成で、インクジェットヘッド
取付ベース１２０に対し、位置決め固定されている。

【００５１】図６は、ヘッドユニット６の上面図であ
り、インクジェットヘッド取付ベース１２０に対し、各
インクジェットヘッドがノズル列方向アクチュエータ５
０などを介して固定されている。インクジェットヘッド
取付ベース１２０の各インクジェットヘッドの近傍に
は、各インクジェットヘッドに接続されるインク供給チ
ューブと、電気信号線を伝達するためのケーブル、及
び、各アクチュエータを駆動させるための空圧チューブ
を通すための穴８０が開けられている。

【００５２】それぞれのアクチュエータ５０、６０、イ
ンクジェットヘッド取付部材７０、及び、インクジェッ
トヘッドは、全て、組立治具の基準面に突き当てて組付
けを行い、インクジェットヘッド取付ベース１２０に
は、位置決めピン４７ａ〜４７ｃに突き当てて固定する
ため、インクジェットヘッド取付ベース１２０の基準面
１２０ａ、１２０ｂに対する各インクジェットヘッドの
取り付け位置は、設計値に対して±２５μｍの中に収ま
るように固定することが可能である。また、インクジェ
ットヘッドの両端のノズル間の距離は５９．７ｍｍであ
り、一方のノズルが±２５μｍずれたときの回転角度
は、±８６．４秒である。従って、インクジェットヘッ
ド取付ベース１２０の基準面１２０ａ、１２０ｂに対す
るθ方向に対する取り付け位置は、±８６．４秒の中に
収まるように固定することが可能である。

【００５３】これに対し、ノズル列方向アクチュエータ
５０は、２５／ｃｏｓ５０．５８°＝３９．３７μｍよ
り、±４０μｍ、即ち、８０μｍのストロークを有して
いれば、Ｘ方向の位置調整は全て可能である。

【００５４】本実施形態を構成するノズル列方向アクチ
ュエータ５０は、ストローク１００μｍ、分解能０．５
μｍの性能を持ったものであり、当該構成において、各
インクジェットヘッドのノズル位置は、十分に調整可能
である。また、θ方向アクチュエータ６０は、最大回転
角度３００秒、分解能１．５秒である。

【００５５】上述のように組み立て及び位置合わせした
ヘッドユニット６は、図１に示すカラーフィルタ製造装
置のヘッドθモータ１２の底面に吊り下げ固定される。

【００５６】〔各アクチュエータの構成の説明〕次に、
図９、１０により、ノズル列方向アクチュエータ５０
と、θ方向アクチュエータ６０の構成について説明す
る。

【００５７】図９はノズル列方向の位置を調整するノズ
ル列アクチュエータ５０で、本体の外形は図示するよう
に１８×２０．５ｍｍで、厚さ方向は１２ｍｍの大きさ
である。５１ａ、５１ｂは板バネ部で厚さが１ｍｍ以下
となっている。５３は圧縮空気を導入するためのチュー
ブ継手であり、金属ベローズ５２の内側に圧縮空気を導
入できるような構成になっている。金属ベローズ５２
は、その内側にかかる圧力によって伸長し、ネジ穴５７
と５６の間隔が、板バネ部５１ａ、５１ｂの弾性変形に
よって広げられ、図９（ｂ）で示すような形になる。金
属ベローズ５２内の圧力を、除去して大気にもどしてや
れば、元の図９（ａ）で示すような形状に戻る。

【００５８】図１０は回転方向の位置を調整するθ方向
アクチュエータ６０で、本体の外形は図示するように１
８×２６ｍｍで、厚さ方向は１２ｍｍの大きさである。
６１ａ、６１ｂは板バネ部で、厚さが１ｍｍ以下となっ
ている。６３は圧縮空気を導入するためのチューブ継手
であり、金属ベローズ６２の内側に圧縮空気を導入でき
るような構成になっている。金属ベローズ６２は、その
内側にかかる圧力によって伸長し、ネジ穴６８が板バネ
部６１ａ、６１ｂの弾性変形によって、反時計方向に回
転し、図１０（ｂ）で示すような形になる。金属ベロー
ズ６２内の圧力を、除去して大気にもどしてやれば、元
の図１０（ａ）で示すような形状に戻る。ネジ穴６８の
ほぼ中心が回転中心であり、この回転中心と、金属ベロ
ーズ６２の中心との距離は１４ｍｍになっており、３０
０秒回転したとき、ベローズ６２の中心の変位量は１４
×ｔａｎ（３００／３６００）゜＝０．０２０３６ｍｍ
で、ほぼ２０μｍ変位することになる。

【００５９】図１１（ａ）、図１１（ｂ）に、ノズル列
方向アクチュエータ５０と、θ方向アクチュエータ６０
の、圧力−変位特性を示す。ノズル列方向アクチュエー
タ５０は圧力０．５ＭＰａをかけたとき、変位量が１０
０μｍとなる。そこに達するまでの変位量は、圧力のか
け方に比例して、図１１（ａ）に示すような量だけ変位
する。同様に、θ方向アクチュエータ６０は、圧力０．
５ＭＰａをかけたとき、回転角度が３００秒となる。そ
こに達するまでの回転量は、圧力のかけ方に比例して、
図１１（ｂ）に示すような量だけ回転する。これによっ
て、必要な変位量・回転量に対する圧力の値が求まり、
各アクチュエータに求められた圧力をかけることによっ
て、インクジェットヘッドを所望の位置に調整可能とな
る。

【００６０】尚、本例におけるインクジェットヘッド単
体の大きさは、２０×７０×２０ｍｍであり、いずれの
アクチュエータも、インクジェットとヘッドより小さな
大きさになっている。

【００６１】次に、インクジェットヘッドのノズルピッ
チが、設計値に対して異なる場合について説明する。図
７では、インクジェットヘッドのノズル数は、８個しか
示していないが、本実施形態ではノズル数は２００個、
また、ノズルピッチは設計値で３００μｍの場合で説明
する。この時、両端のノズルの間隔は、設計値で（２０
０−１）×０．３＝５９．７ｍｍとなる。ところが、実
際のインクジェットヘッドのノズルピッチを測定した場
合、製造ロットの異なるインクジェットヘッドなどで
は、両端のノズル間の距離で、５９．６７５〜５９．７
２５ｍｍと設計値に対して±２５μｍ程度のばらつきが
生じてしまう。第一のインクジェットヘッド１２１ａ
が、両端のノズル間の距離が５９．６７５ｍｍであった
場合、平均のノズルピッチは、５９．６７５／（２００
−１）＝２９９．８７４４μｍとなる。このとき、両端
のノズルピッチが設計値通りの、５９．７００ｍｍであ
った場合のヘッド角度である、ｃｏｓ^-1（１９０．５／
３００）＝５０．５８００１５５３゜で、インクジェッ
トヘッド取付ベース１２０に取り付けた場合、両端のノ
ズルのＸ方向の間隔は、５９．６７５×ｃｏｓ５０．５
８００１５５３゜＝３７．８９３６２５ｍｍとなる。即
ち、１番ノズルの中心位置を着色画素の中心に合わせた
とき、２００番ノズルの中心は、３７．８９３６２５−
０．１９０５×１９９＝０．０１５８７ｍｍだけずれる
ことになる。Ｒ、Ｇ、Ｂの一つの着色画素の大きさは６
３．５μｍ、また、インクジェットへッドのノズルから
吐出されたインク滴の直径はほぼ３０μｍ、インクの撥
水部（隣接する着色画素間）の幅は６μｍ、インクジェ
ットヘッドのノズルと基板上に着弾したインク滴の中心
位置のずれが±５μｍ以内であり、ノズルの中心位置が
１５．８７μｍずれた場合には、着色画素の中心位置か
らインク滴の端部の位置は１５．８７＋５＋１５＝３
５．８７μｍになる。一方、着色画素の中心位置から、
隣接する着色画素に近い側の撥水部の端までの距離は、
（６３．５−６）／２＋６＝３４．７５μｍである。従
って、この場合は、インク滴の端が、隣接着色画素内に
まで達し、着色したインクが混じり合い混色を生じてし
まう。これを防止するためには、ヘッドの角度を調整し
て、インクジェットヘッドの各ノズルの中心位置が着色
画素の中心位置に一致するように傾けてやる必要があ
る。

【００６２】この時、図１３で示すような、対角１５．
０インチ、ＵＸＧＡの場合の着色画素ピッチ１９０．５
μｍに、ノズルピッチを合わせるための傾け角度θは、
ｃｏｓ^-1（１９０．５／２９９．８７４４）＝５０．５
６０２８６６４゜になる。両端のノズルピッチが設計値
通りの、５９．７００ｍｍであった場合のヘッド角度
は、ｃｏｓ^-1（１９０．５／３００）＝５０．５８００
１５５３゜であり、両端のノズルピッチがずれた場合に
は、ヘッド角度を設計値から０．０１９７２８８９３゜
＝７１．０２４秒回転させる必要がある。この角度は、
本実施形態のθ方向アクチュエータ６０の調整範囲であ
る３００秒に充分入っている。

【００６３】〔ヘッド位置調整方法の説明（ノズル穴位
置を見ての調整）〕次に、インクジェットヘッド取付ベ
ース１２０に、各アクチュエータを介してインクジェッ
トヘッドを取り付けた後の調整方法について説明する。

【００６４】前述したように、先ず、インクジェットヘ
ッド取り付け部材７０に対し、各アクチュエータが位置
決めされて取り付けられたインクジェットヘッドを取り
付ける。この時、各インクジェットヘッドは、インクジ
ェットヘッド取付ベース１２０の各基準面１２０ａ、１
２０ｂに対し位置精度±２５μｍの精度で取り付けられ
ている。

【００６５】インクジェットヘッドが取り付けられたイ
ンクジェットヘッド取付ベース１２０単体に対し、各イ
ンクジェットヘッドの位置は、先ず、ノズル穴位置を見
て調整を行う。複数個のインクジェットヘッドが固定さ
れたインクジェットヘッド取付ベース１２０を、全ての
インクジェットヘッドのノズル穴位置を観察・位置測定
可能な顕微鏡に載置し、全てのインクジェットヘッド
の、１番目と２００番目すなわち両端のノズル座標を測
定する。この１番ノズルのＸ座標と、２００番ノズルの
Ｘ座標から、これら両端のノズルの間のＸ方向距離を算
出する。本実施形態は、１５．０ＵＸＧＡのカラーフィ
ルタを製造する場合であり、両端ノズル間のＸ方向距離
が、着色画素ピッチ１９０．５μｍの１９９倍、即ち、
３７．９０９５ｍｍに一致すればよい。こうなるよう
に、各インクジェットヘッドのθ方向アクチュエータ６
０によって、ヘッドの角度を調整する。この場合、イン
クジェットヘッド取付ベース１２０の基準面１２０ａと
平行な方向をＸ方向として調整する。次に、Ｒ用インク
ジェットヘッド１２１ａの１番ノズル１２１ａ１と、Ｇ
用インクジェットヘッド１２２ａの１番ノズル１２２ａ
１のＸ方向距離が画素ピッチの１／３、即ち、６３．５
μｍになるように、ノズル列方向アクチュエータ５０を
使用して調整する。同様に、Ｇ用インクジェットヘッド
１２２ａの１番ノズル１２２ａ１と、Ｂ用インクジェッ
トヘッド１２３ａの１番ノズル１２３ａ１のＸ方向距離
が６３．５μｍになるように、ノズル列方向アクチュエ
ータ５０を使用して調整する。その後、各色ごとにイン
クジェットヘッド間の間隔を、１番ノズルのＸ座標が着
色画素ピッチ１９０．５μｍ×２００＝３８．１００ｍ
ｍだけ離れた間隔になるように、ノズル列方向アクチュ
エータ５０を使用して位置を調整する。これにより、全
てのインクジェットヘッドの相対位置が固定されたこと
になる。

【００６６】〔ヘッド位置調整方法の説明（着弾位置を
見ての調整）〕次に、上述のように組み立て及び位置合
わせされたヘッドユニット６を、図１に示すカラーフィ
ルタ製造装置のヘッドθモータ１２の底面に吊り下げ固
定する。このように描画機に搭載した後、インク供給系
配管、電気信号線、空圧アクチュエータ用配管を接続す
る。その後、インクジェットヘッド内に各色のインクを
充填する。カラーフィルタ製造装置にダミー基板（不図
示）を搭載し、アライメント検出系７で基板のＸ、Ｙ、
θ方向のアライメントを行い、各インクジェットヘッド
の１番ノズルと２００番ノズルのみで、着弾位置測定の
ためのドットパターンを描画する。次に、ＸＹステージ
３を移動し、着弾位置検出系（不図示）により着弾位置
を測定する。このことによりアライメント検出系７の座
標と各インクジェットヘッドの１番ノズルと２００番ノ
ズルから吐出されたインク滴の着弾位置の座標を正確に
測定することができる。尚、この座標値は、別の基板を
搭載しても変化しないので、装置組立時、インクジェッ
トヘッド交換時等のシステムパラメータが変化した時に
行えば良い。着弾位置は、他の装置で測定しておき、こ
の測定値がカラーフィルタ製造装置に再現されるように
しても良い。

【００６７】各着弾位置座標により、各色ごとでインク
ジェットヘッドの１番ノズルの着弾位置の間隔が、ノズ
ル位置を見て調整したのと同様に、３８．１００ｍｍに
なるように、ヘッドユニットが取り付けられたヘッドθ
モータ１２を回転させることによって、二つあるヘッド
ユニット６の全体角度の調整を行う。

【００６８】各インクジェットヘッドで、ノズル位置と
ドットパターンの着弾位置の相対関係が完全に一致する
場合は、各インクジェットヘッドの位置を調整する必要
はない。インクジェットヘッドが基板と直角方向から若
干斜めに傾いて取り付けられてしまった場合や、ノズル
の加工精度や、ゴミの影響などにより、ノズルから吐出
されたインクがノズル面に対して直角方向に飛ばない
で、斜めに飛んでしまうヨレという現象を引き起こして
しまい、ノズル位置とは若干異なる位置に着弾してしま
う場合がある。そのような場合には、ノズル位置を見て
ヘッドの位置調整を行ったのと同様な方法で、１番ノズ
ルと２００番ノズルから吐出されたインクの着弾位置を
見て、インクジェットヘッドのθ方向の位置合わせと、
Ｘ方向の位置合わせを再度行う。

【００６９】以上のように調整を行うことによって、全
インクジェットヘッドのノズルから吐出されるインク
を、ガラス基板上へ、隣接する着色画素間で混色するこ
となく着弾させることができる。

【００７０】〔カラーフィルタ製造時の動作〕カラーフ
ィルタの製造時には、描画用のガラス基板５をチルトス
テージ４に搭載すると、アライメント検出系７によりガ
ラス基板５と各インクジェットヘッドとのＸ、Ｙ、θ３
方向のズレ量を検出する。この検出結果に基づき、θ成
分のズレはチルトステージ４により補正し、Ｘ方向のズ
レはＸＹステージ３のＸ位置を合わせることにより補正
する。また、Ｙ方向のズレ（印字走査方向）はＸＹステ
ージ３のＹ位置合わせ、或いは各インクジェットヘッド
からの吐出タイミング制御により行う。

【００７１】〔インクジェットヘッド交換方法〕インク
ジェットヘッドの交換は、ヘッドユニット６ごと行うよ
うな構成になっており、ヘッドステージ１０により図１
で示す２台のヘッドユニット６は、お互いに遠ざかるよ
うにそれぞれＸ方向の装置の端部まで移動して行う。

【００７２】本実施形態では、全てのインクジェットヘ
ッドをインクジェットヘッド取付ベース１２０の各基準
面に対して位置合わせを行ったが、ある一つのインクジ
ェットヘッドに対してその他の全てのインクジェットヘ
ッドの位置合わせを行うようにしても良い。

【００７３】さらに、着色画素ピッチが異なるカラーフ
ィルタ基板に対応する場合には、インクジェットヘッド
取付ベース１２０の形状を、ヘッド取付角度、取付ピッ
チ、さらには、取付個数を対応するカラーフィルタ基板
に対応するように変更する。

【００７４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
インクジェットヘッドを被着色基板の画素に対応するよ
うに配列して固定するヘッドユニットにおいて、色毎に
複数のインクジェットヘッドを搭載することが可能とな
り、より大型の基板或いは高精細の画素構成に対して
も、生産性を落とすことのないインクジェット記録装置
及び該装置を適用したカラーフィルタ製造装置を提供す
ることができる。

【００７５】また、インクジェットヘッド１個あたりの
アクチュエータの個数を、必要最小限の２個とすること
によって、配管配線を少なくすることができ、装置の簡
単化小型化、軽量化が可能で、より低コストの装置を提
供可能となる。

【００７６】よって、本発明によれば、より大面積、高
精細なカラーフィルタを生産性良く製造できるため、よ
り大画面、高精細なカラー液晶ディスプレイをより安価
に提供することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のカラーフィルタの製造装置の一実施形
態の外観を示す図である。

【図２】本発明のカラーフィルタの製造装置の一実施形
態のステージ周辺の詳細図である。

【図３】本発明のカラーフィルタの製造装置の一実施形
態のインクジェットヘッド及び光学系の配置図である。

【図４】本発明のカラーフィルタの製造装置のによるカ
ラーフィルタの製造工程の一例を示す図である。

【図５】本発明のカラーフィルタの製造装置のによるカ
ラーフィルタの製造工程の他の例の製造工程を示す図で
ある。

【図６】本発明のカラーフィルタの製造装置の一実施形
態のインクジェットヘッド取付ベースの上面図である。

【図７】本発明のカラーフィルタの製造装置の一実施形
態のインクジェットヘッド取付ベースの底面図である。

【図８】本発明のカラーフィルタの製造装置の一実施形
態のインクジェットヘッドと各アクチュエータの構成を
示す図である。

【図９】本発明のカラーフィルタの製造装置の一実施形
態のノズル列方向アクチュエータの構成を示す図であ
る。

【図１０】本発明のカラーフィルタの製造装置の一実施
形態のθ方向アクチュエータの構成を示す図である。

【図１１】本発明のカラーフィルタの製造装置の一実施
形態の各アクチュエータの圧力―変位特性を示す図であ
る。

【図１２】本発明のカラーフィルタの製造装置により製
造されるカラーフィルタの一例の画素サイズを示す図で
ある。

【図１３】本発明のカラーフィルタの製造装置により製
造されるカラーフィルタの一例の画面サイズを示す図で
ある。

【符号の説明】

１ 定盤 ２ 除振台 ３ ＸＹステージ ４ チルトステージ ５ ガラス基板 ６ ヘッドユニット ７ アライメント検出用光学系 ８、８ａ〜８ｃ Ｚ方向検出用光学系 １０ ヘッドステージ １１ 支柱 １２ ヘッドθモータ １３ 支持アーム １４ 弁ボックス １５ 回復系ユニット １６ 洗浄系ユニット １７ サーマルチャンバ １８ 搬入搬出装置 １９ インク供給ユニット ２０ チューブ束 ２１ａ〜２１ｃ メインタンク ２２ メインポンプ ２３ａ〜２３ｃ サブタンク ２４ａ〜２４ｃ メイン脱気装置 ２５ インク供給チューブ ２６ カプラ部 ２７ 穴 ３１ 透明基板 ３２ ブラックマトリクス ３３ インク受容層 ３４ フォトマスク ３５ 非着色部 ３６ 被着色部 ３７ インク ３８ 着色部 ３９ 保護層 ４１ ブラックマトリクス ４２ 硬化型インク ４３ 着色部 ５０ ノズル列アクチュエータ ５１ａ、５１ｂ、６１ａ、６１ｂ 板バネ部 ５２、６２ 金属ベローズ ５３、６３ チューブ継ぎ手 ６０ θ方向アクチュエータ ７０ インクジェットヘッド取り付け部材 ４６、６７、６９、７１ ボルト ４７ａ〜４７ｃ 位置決めピン ４５、５６、５７、６６、６８、７２、７３、７４ ネ
ジ穴 ８０ 穴 １００ａ、１００ｂ、１００ｃ 着色画素 １２０ ヘッド取付ベース １２０ａ、１２０ｂ 基準面 １２１ａ〜１２１ｈ Ｒインクジェットヘッド １２２ａ〜１２２ｈ Ｇインクジェットヘッド １２３ａ〜１２３ｈ Ｂインクジェットヘッド

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 各色毎に複数本のインクジェットヘッド
   を有し、全てのインクジェットヘッドのノズル面が同一
   平面を形成するように配置し、各インクジェットヘッド
   に対して、上記ノズル平面と平行な一つの方向と該ノズ
   ル平面内の回転方向の２方向の位置をそれぞれ調整・位
   置決め可能な２種類のアクチュエータを設けたことを特
   徴とするインクジェット記録装置。
2. 【請求項２】 ノズル平面と平行な一つの方向が、イン
   クジェットヘッドのノズル列方向である請求項１に記載
   のインクジェット記録装置。
3. 【請求項３】 前記アクチュエータがインクジェットヘ
   ッドに対してノズル面以外の部分に固定され、且つ、各
   インクジェットヘッドのアクチュエータが、少なくとも
   一つのアクチュエータ固定部材に相対的に位置決め固定
   される請求項１または２に記載のインクジェット記録装
   置。
4. 【請求項４】 前記アクチュエータ固定部材は、少なく
   ともノズル平面と平行な一つの方向とノズル平面内の回
   転方向の２方向の位置を調整・位置決め可能な位置決め
   調整機構によって、相対的に位置決め固定されて、装置
   本体に対して取り付けられている請求項３に記載のイン
   クジェット記録装置。
5. 【請求項５】 全インクジェットヘッドの位置が、各イ
   ンクジェットヘッドに付設された２種類のアクチュエー
   タによって、所定の基準位置に対して相対位置合わせさ
   れる請求項１〜４に記載のインクジェット記録装置。
6. 【請求項６】 全インクジェットヘッドの位置が、各イ
   ンクジェットヘッドに付設された２種類のアクチュエー
   タとアクチュエータ固定部材の位置決め調整機構によっ
   て、所定の基準位置に対して相対位置合わせされる請求
   項３または４に記載のインクジェット記録装置。
7. 【請求項７】 前記アクチュエータ固定部材の中で、い
   ずれか一つのインクジェットヘッドの位置を基準に、各
   インクジェットヘッドの位置が、それぞれに付設された
   ２種類のアクチュエータによって相対位置合わせされる
   請求項３または４に記載のインクジェット記録装置。
8. 【請求項８】 前記アクチュエータ固定部材の中で、ア
   クチュエータ固定部材の基準位置に対して、各インクジ
   ェットヘッドの位置が、それぞれに付設された２種類の
   アクチュエータによって相対位置合わせされる請求項３
   または４に記載のインクジェット記録装置。
9. 【請求項９】 各インクジェットヘッドに付設されたア
   クチュエータが、インクジェットヘッドより小型である
   請求項１〜８のいずれかに記載のインクジェット記録装
   置。
10. 【請求項１０】 前記アクチュエータが、空圧と部材の
    弾性変形を利用したものである請求項１〜９のいずれか
    に記載のインクジェット記録装置。
11. 【請求項１１】 請求項１〜１０のいずれかに記載のイ
    ンクジェット記録装置を適用し、透明基板上にインクを
    付与して複数色の着色部を形成することを特徴とするカ
    ラーフィルタ製造装置。