JP2003045949A5 - - Google Patents
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Description
第１、第２の電極１２７1、１２７2上には、第１、第２の電極１２７1、１２７2と誘電体層１２５表面とを被覆するように保護膜１３０が形成されている。
しかしながら従来装置では、保護膜を交換するために静電吸着装置ごと交換すると、交換時の作業が煩雑で、交換に要するコストが高くなってしまう。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP2001229464A JP4166449B2 (ja) | 2001-07-30 | 2001-07-30 | 真空処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001229464A JP4166449B2 (ja) | 2001-07-30 | 2001-07-30 | 真空処理装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
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| JP2003045949A JP2003045949A (ja) | 2003-02-14 |
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| JP4166449B2 JP4166449B2 (ja) | 2008-10-15 |
Family
ID=19061809
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001229464A Expired - Lifetime JP4166449B2 (ja) | 2001-07-30 | 2001-07-30 | 真空処理装置 |
Country Status (1)
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| JP (1) | JP4166449B2 (ja) |
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