JP2003044114A - 検査システム - Google Patents
検査システムInfo
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- JP2003044114A JP2003044114A JP2001228181A JP2001228181A JP2003044114A JP 2003044114 A JP2003044114 A JP 2003044114A JP 2001228181 A JP2001228181 A JP 2001228181A JP 2001228181 A JP2001228181 A JP 2001228181A JP 2003044114 A JP2003044114 A JP 2003044114A
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
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Abstract
(57)【要約】
【課題】電子装置等の検査に用いられる公知の最適試験
スケジュール作成装置は、定常的な試験工程においてそ
の効果を発揮するが、実際の様々な制約条件を考慮した
ものではない。 【解決手段】本発明の検査システムでは、検査対象と測
定器との測定経路を形成する測定経路生成手段と、検査
に関する情報を保持するデータベースと、データベース
の情報を用い検査シーケンスを生成する検査スケジュー
リング手段と、検査シーケンスに従って検査対象、測定
経路設定手段、及び測定器を制御するコントローラとを
備える。このシステムでは検査スケジューリング手段が
与えられる様々な条件に応じて検査シーケンスを計算で
きるので、リソースの効率的な利用が可能となる。
スケジュール作成装置は、定常的な試験工程においてそ
の効果を発揮するが、実際の様々な制約条件を考慮した
ものではない。 【解決手段】本発明の検査システムでは、検査対象と測
定器との測定経路を形成する測定経路生成手段と、検査
に関する情報を保持するデータベースと、データベース
の情報を用い検査シーケンスを生成する検査スケジュー
リング手段と、検査シーケンスに従って検査対象、測定
経路設定手段、及び測定器を制御するコントローラとを
備える。このシステムでは検査スケジューリング手段が
与えられる様々な条件に応じて検査シーケンスを計算で
きるので、リソースの効率的な利用が可能となる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は電子機器等の検査シ
ステムに関し、特に、測定器などのリソースを効率的に
利用することができる検査システムに関する。
ステムに関し、特に、測定器などのリソースを効率的に
利用することができる検査システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】電子部品、電子装置等の試験または検査
において、それぞれの部品、装置によって検査工程が異
なり、また同じ時期に多種類の部品、装置を検査する場
合、最適な検査のスケジュールを作成することが非常に
困難になる場合がある。このため、例えば特開平１０−
２０７９４３では、最適試験スケジュール作成装置とし
て、試験装置マスタＤＢ、部品マスタＤＢ、カレンダー
マスタＤＢ、処理方法に関するルール手段、工程管理手
段等を備えた構成が開示されている。これにより、膨大
な量の試験パターンを同時に組み合わせて処理するこ
と、および現実の時間に即した進捗状況の入力を不用と
することが可能となる。
において、それぞれの部品、装置によって検査工程が異
なり、また同じ時期に多種類の部品、装置を検査する場
合、最適な検査のスケジュールを作成することが非常に
困難になる場合がある。このため、例えば特開平１０−
２０７９４３では、最適試験スケジュール作成装置とし
て、試験装置マスタＤＢ、部品マスタＤＢ、カレンダー
マスタＤＢ、処理方法に関するルール手段、工程管理手
段等を備えた構成が開示されている。これにより、膨大
な量の試験パターンを同時に組み合わせて処理するこ
と、および現実の時間に即した進捗状況の入力を不用と
することが可能となる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記公報の発
明では、膨大な工程を最適に処理する最適スケジュール
を生成できるとの記載はあるが、実際の試験操作につい
ては開示がない。また、予め各種の条件が整えられた定
常的な試験工程においてその効果を発揮するが、実際に
試験を行うに際して発生する様々な制約条件を考慮した
ものではない。
明では、膨大な工程を最適に処理する最適スケジュール
を生成できるとの記載はあるが、実際の試験操作につい
ては開示がない。また、予め各種の条件が整えられた定
常的な試験工程においてその効果を発揮するが、実際に
試験を行うに際して発生する様々な制約条件を考慮した
ものではない。
【０００４】以上に鑑み、本発明は、実際の検査の実施
工程も含むコントロールを可能にし、かつ様々な予期し
ない制約条件においても、その条件下で電子装置等の検
査を効率的かつフレキシブルに実施できる検査システム
を提案することを目的とする。
工程も含むコントロールを可能にし、かつ様々な予期し
ない制約条件においても、その条件下で電子装置等の検
査を効率的かつフレキシブルに実施できる検査システム
を提案することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発
明の検査システムは、所定の検査シーケンスに従って測
定を実行する検査システムであって、検査対象と測定器
との測定経路を形成する測定経路生成手段と、検査に関
する情報を保持するデータベースと、データベースの情
報を用い、検査シーケンスを生成する検査スケジューリ
ング手段と、検査シーケンスに従って検査対象、測定経
路設定手段、及び測定器を制御するコントローラを備え
る。
明の検査システムは、所定の検査シーケンスに従って測
定を実行する検査システムであって、検査対象と測定器
との測定経路を形成する測定経路生成手段と、検査に関
する情報を保持するデータベースと、データベースの情
報を用い、検査シーケンスを生成する検査スケジューリ
ング手段と、検査シーケンスに従って検査対象、測定経
路設定手段、及び測定器を制御するコントローラを備え
る。
【０００６】データベースは、検査対象、測定項目、測
定器、検査対象と測定器の間の測定経路に関するデータ
を保持することができ、また、検査対象の標準検査手順
に関するデータを保持することができる。
定器、検査対象と測定器の間の測定経路に関するデータ
を保持することができ、また、検査対象の標準検査手順
に関するデータを保持することができる。
【０００７】検査スケジューリング手段は、検査システ
ムに配置された検査対象および測定器に関する情報、デ
ータベースに保持されたデータ、及び設定された条件に
基づき、測定項目とその順序を決定し、検査シーケンス
を生成することができる。また該検査スケジューリング
手段は、検査対象、および測定項目が指定されると、必
要な測定器を表示することができ、配置された測定器の
稼働率が最も大きくなるように検査シーケンスを生成す
ることができる。
ムに配置された検査対象および測定器に関する情報、デ
ータベースに保持されたデータ、及び設定された条件に
基づき、測定項目とその順序を決定し、検査シーケンス
を生成することができる。また該検査スケジューリング
手段は、検査対象、および測定項目が指定されると、必
要な測定器を表示することができ、配置された測定器の
稼働率が最も大きくなるように検査シーケンスを生成す
ることができる。
【０００８】また、測定項目の測定時間がデータベース
に保持されており、トータルの検査時間が与えられたと
き、検査スケジューリング手段は、該所定時間内で最も
多くの検査項目を実行する検査シーケンスを生成するこ
とができる。
に保持されており、トータルの検査時間が与えられたと
き、検査スケジューリング手段は、該所定時間内で最も
多くの検査項目を実行する検査シーケンスを生成するこ
とができる。
【０００９】コントローラは検査スケジューリング手段
が生成する検査シーケンスをデータベースに記憶させる
ことができ、検査対象を所定の測定項目毎に検査可能な
状態に設定することができる。
が生成する検査シーケンスをデータベースに記憶させる
ことができ、検査対象を所定の測定項目毎に検査可能な
状態に設定することができる。
【００１０】またコントローラは、測定結果を規定値と
比較しその合否判断を前記データベースに記憶させ、測
定項目毎の測定時間を算出し、前記データベースに記憶
させ、測定対象毎に未測定の測定項目と測定済みの測定
項目を前記データベースに記憶させることができる。上
記測定時間の平均値を計算、データベースに記憶させる
こともできる。
比較しその合否判断を前記データベースに記憶させ、測
定項目毎の測定時間を算出し、前記データベースに記憶
させ、測定対象毎に未測定の測定項目と測定済みの測定
項目を前記データベースに記憶させることができる。上
記測定時間の平均値を計算、データベースに記憶させる
こともできる。
【００１１】このような構成により、測定器の効率的な
運用が可能になり、またフレキシブルな検査が可能にな
る。
運用が可能になり、またフレキシブルな検査が可能にな
る。
【００１２】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の検査システムの
基本構成を示すブロック図である。複数の検査対象１〜
ｎが配置され、各検査対象はコントローラ１４に接続し
ている。検査対象１〜ｎは測定経路生成手段１１に接続
している。また各種測定器１００〜ｍも測定経路生成手
段１１に接続している。測定経路生成手段１１は、検査
対象と測定器の測定経路を形成する。コントローラ１４
は、検査対象１〜ｎ、測定経路生成手段１１および測定
器１００〜ｍと接続し、検査時の各種動作を制御する。
基本構成を示すブロック図である。複数の検査対象１〜
ｎが配置され、各検査対象はコントローラ１４に接続し
ている。検査対象１〜ｎは測定経路生成手段１１に接続
している。また各種測定器１００〜ｍも測定経路生成手
段１１に接続している。測定経路生成手段１１は、検査
対象と測定器の測定経路を形成する。コントローラ１４
は、検査対象１〜ｎ、測定経路生成手段１１および測定
器１００〜ｍと接続し、検査時の各種動作を制御する。
【００１３】コントローラ１４には、該検査システムに
関する各種データおよび検査シーケンスを保持するデー
タベース１２と、設定条件に合った測定項目とその順序
を決定して検査シーケンスを生成する検査スケジューリ
ング手段１３が接続する。上記測定経路生成手段１１
は、測定器と検査対象の装置とを接続する光導波路、無
線線路、及びこれらを切り換えるスイッチ、フィルタな
どを備える。
関する各種データおよび検査シーケンスを保持するデー
タベース１２と、設定条件に合った測定項目とその順序
を決定して検査シーケンスを生成する検査スケジューリ
ング手段１３が接続する。上記測定経路生成手段１１
は、測定器と検査対象の装置とを接続する光導波路、無
線線路、及びこれらを切り換えるスイッチ、フィルタな
どを備える。
【００１４】図２は、データベース１２の内容の一例を
示すブロック図である。データベース（ＤＢ）１２は、
例えば標準検査手順ＤＢ、検査手順ＤＢ、測定項目Ｄ
Ｂ、測定器ＤＢ、測定経路ＤＢ、および検査対象ＤＢを
備えている。
示すブロック図である。データベース（ＤＢ）１２は、
例えば標準検査手順ＤＢ、検査手順ＤＢ、測定項目Ｄ
Ｂ、測定器ＤＢ、測定経路ＤＢ、および検査対象ＤＢを
備えている。
【００１５】標準検査手順ＤＢは、各検査対象の標準の
測定項目とその順序に関する内容である。検査手順ＤＢ
は、測定手順を決定するためのスケジュール条件と、こ
の条件に基づく測定項目の順序を記録したものである。
測定項目ＤＢでは、各測定項目に対応する測定器の構
成、測定条件、測定器と測定対象の測定経路、測定手
順、測定値と測定値分布、測定時間、ＮＧ発生率、測定
の優先順位が記録されている。測定器ＤＢは、各測定器
の制御方法（例えばレベル設定、周波数範囲設定、状態
の読みだし、測定の開始・停止の指示、結果の読みだし
など）、価格（レンタル費用、リース費用、または簿
価）、消費電力、配置の有無、稼働率（使用頻度）が記
録されている。測定経路ＤＢは、制御方法（測定経路生
成手段１１中のリレースイッチ等の駆動方法）が記録さ
れており、検査対象ＤＢは、制御方法（状態のモニタ、
検査対象のレベルの設定、また所定の電波を出力させる
こと等）と、各検査対象のの測定結果、及び合否結果が
記録されたものである。
測定項目とその順序に関する内容である。検査手順ＤＢ
は、測定手順を決定するためのスケジュール条件と、こ
の条件に基づく測定項目の順序を記録したものである。
測定項目ＤＢでは、各測定項目に対応する測定器の構
成、測定条件、測定器と測定対象の測定経路、測定手
順、測定値と測定値分布、測定時間、ＮＧ発生率、測定
の優先順位が記録されている。測定器ＤＢは、各測定器
の制御方法（例えばレベル設定、周波数範囲設定、状態
の読みだし、測定の開始・停止の指示、結果の読みだし
など）、価格（レンタル費用、リース費用、または簿
価）、消費電力、配置の有無、稼働率（使用頻度）が記
録されている。測定経路ＤＢは、制御方法（測定経路生
成手段１１中のリレースイッチ等の駆動方法）が記録さ
れており、検査対象ＤＢは、制御方法（状態のモニタ、
検査対象のレベルの設定、また所定の電波を出力させる
こと等）と、各検査対象のの測定結果、及び合否結果が
記録されたものである。
【００１６】上記本発明の検査システムの動作は、例え
ば以下のとおりである。まず、所定の検査対象の品質を
検査するために、本システムに配置される検査対象（装
置の名称、および／または識別番号など）、その測定項
目、測定条件、測定手順、さらに本システムに配置する
測定器に関するデータをデータベース１２に記録する。
データベース１２に、予め上記事項が入力されている場
合も可能であり、その場合はデータベース中の必要事項
を指定する。一方、検査スケジューリング手段１３は、
検査対象、その測定項目が指定された場合、必要な測定
器の名称を表示することができる。逆に、検査スケジュ
ーリング手段１３は、測定器を指定した場合、測定可能
な検査対象（予めデータベースに登録されているもの）
とその測定項目を表示することができる。
ば以下のとおりである。まず、所定の検査対象の品質を
検査するために、本システムに配置される検査対象（装
置の名称、および／または識別番号など）、その測定項
目、測定条件、測定手順、さらに本システムに配置する
測定器に関するデータをデータベース１２に記録する。
データベース１２に、予め上記事項が入力されている場
合も可能であり、その場合はデータベース中の必要事項
を指定する。一方、検査スケジューリング手段１３は、
検査対象、その測定項目が指定された場合、必要な測定
器の名称を表示することができる。逆に、検査スケジュ
ーリング手段１３は、測定器を指定した場合、測定可能
な検査対象（予めデータベースに登録されているもの）
とその測定項目を表示することができる。
【００１７】実行の指示を受けると、コントローラ１４
は、検査スケジューリング手段１３に検査シーケンスを
生成するよう指示し、この検査シーケンスをデータベー
スに記憶すると共に、データベース１２内の各種情報に
従って検査対象１〜ｎと測定経路生成手段１１と測定器
１００〜ｍを制御して、自動測定を実行する。コントロ
ーラ１４は、各測定項目についての検査結果をデータベ
ース１２に記録し、また同時に過去の測定結果を併せて
統計処理を行い、測定値の分布及び平均値を求め、それ
らをデータベース１２に記録する。
は、検査スケジューリング手段１３に検査シーケンスを
生成するよう指示し、この検査シーケンスをデータベー
スに記憶すると共に、データベース１２内の各種情報に
従って検査対象１〜ｎと測定経路生成手段１１と測定器
１００〜ｍを制御して、自動測定を実行する。コントロ
ーラ１４は、各測定項目についての検査結果をデータベ
ース１２に記録し、また同時に過去の測定結果を併せて
統計処理を行い、測定値の分布及び平均値を求め、それ
らをデータベース１２に記録する。
【００１８】上述の動作は、主に定常的、標準的な検査
に対応するものであるが、本発明の検査システムは、非
定常的または特別な条件下における検査にも対応でき
る。例えば、本検査システムに配置された測定器が不足
し、同システムに配置された検査対象装置の必要な測定
項目をすべて測定できない場合、検査スケジューリング
手段１３は、与えられた測定器と配置された検査対象と
その測定項目を認識し、最適な検査シーケンスを計算す
ることができる。検査の実行において、測定器は可能な
範囲の項目を測定し、測定済みの項目につきその結果を
記録し、未測定の項目は各検査対象ごとに記憶される。
に対応するものであるが、本発明の検査システムは、非
定常的または特別な条件下における検査にも対応でき
る。例えば、本検査システムに配置された測定器が不足
し、同システムに配置された検査対象装置の必要な測定
項目をすべて測定できない場合、検査スケジューリング
手段１３は、与えられた測定器と配置された検査対象と
その測定項目を認識し、最適な検査シーケンスを計算す
ることができる。検査の実行において、測定器は可能な
範囲の項目を測定し、測定済みの項目につきその結果を
記録し、未測定の項目は各検査対象ごとに記憶される。
【００１９】また、検査時間の制限がある場合、検査ス
ケジューリング手段１３は、検査時間が設定されると、
データベース中に記憶された測定項目の測定時間データ
に基づき、所定時間内に収まる検査項目の組み合わせを
計算し、検査シーケンスを決定する。この検査シーケン
スでは複数の測定器をパラレルに動作させ、所定の時間
内でなるべく多くの測定項目の測定を可能とすることが
できる。コントローラはこの検査シーケンスに従って検
査を実行する。さらに、本検査システムでは、各測定器
に対してレンタル費、リース費などが記憶されており、
また総予算が所定額に制限されている場合、その予算で
収まる検査項目を抽出して検査シーケンスを作成するこ
とができる。また同様に、測定器や測定のための設備の
簿価なども記憶させておくことができ、一定の予算内
で、所定の検査対象の測定項目を測定できる検査システ
ムを構築できる。
ケジューリング手段１３は、検査時間が設定されると、
データベース中に記憶された測定項目の測定時間データ
に基づき、所定時間内に収まる検査項目の組み合わせを
計算し、検査シーケンスを決定する。この検査シーケン
スでは複数の測定器をパラレルに動作させ、所定の時間
内でなるべく多くの測定項目の測定を可能とすることが
できる。コントローラはこの検査シーケンスに従って検
査を実行する。さらに、本検査システムでは、各測定器
に対してレンタル費、リース費などが記憶されており、
また総予算が所定額に制限されている場合、その予算で
収まる検査項目を抽出して検査シーケンスを作成するこ
とができる。また同様に、測定器や測定のための設備の
簿価なども記憶させておくことができ、一定の予算内
で、所定の検査対象の測定項目を測定できる検査システ
ムを構築できる。
【００２０】その他、使用できる総消費電力に制限を設
け、この範囲内に収まる検査項目、測定器を抽出し、検
査シーケンスを計算、実行することができる。もちろ
ん、測定項目に優先順位をあらかじめ与えておくことに
より、優先順位にしたがって、他の条件と組み合わせ
て、検査シーケンスを計算することができる。また測定
値の分布の広がりが大きいものや、ＮＧ発生率の高いも
のを優先して抽出し、検査シーケンスを作成することも
可能である。さらに、上記条件の複合的適応により、さ
らに効率的で効果的な検査手順の決定が可能となる。
け、この範囲内に収まる検査項目、測定器を抽出し、検
査シーケンスを計算、実行することができる。もちろ
ん、測定項目に優先順位をあらかじめ与えておくことに
より、優先順位にしたがって、他の条件と組み合わせ
て、検査シーケンスを計算することができる。また測定
値の分布の広がりが大きいものや、ＮＧ発生率の高いも
のを優先して抽出し、検査シーケンスを作成することも
可能である。さらに、上記条件の複合的適応により、さ
らに効率的で効果的な検査手順の決定が可能となる。
【００２１】また、本検査システムでは、検査のスター
トを検出し、時間計測を開始し、測定後の測定結果より
規定値に対する合否判断が終了した時点で時間計測を終
了し、その経過時間を求める測定時間測定手段を備える
ことができる。また測定項目毎に計測した測定時間の分
布及び平均値を算出し、記録する手段を有することがで
きる。
トを検出し、時間計測を開始し、測定後の測定結果より
規定値に対する合否判断が終了した時点で時間計測を終
了し、その経過時間を求める測定時間測定手段を備える
ことができる。また測定項目毎に計測した測定時間の分
布及び平均値を算出し、記録する手段を有することがで
きる。
【００２２】
【発明の効果】以上のように、本検査システムでは、デ
ータベースに入力、記憶されたリソース情報や測定結果
のデータ、および各種条件に従って、検査スケジューリ
ング手段が最適な検査シーケンスを計算できるので、検
査時間や測定器などの検査システムリソースを効率的に
利用することが可能となる。また、状況に応じてフレキ
シブルな検査および検査システムの構築が可能になる。
ータベースに入力、記憶されたリソース情報や測定結果
のデータ、および各種条件に従って、検査スケジューリ
ング手段が最適な検査シーケンスを計算できるので、検
査時間や測定器などの検査システムリソースを効率的に
利用することが可能となる。また、状況に応じてフレキ
シブルな検査および検査システムの構築が可能になる。
【図１】本発明の検査システムの構成例を示すブロック
図。
図。
【図２】本発明の検査システムのデータベースの内容の
例を示す図。
例を示す図。
１１ 測定経路生成手段
１２ データベース
１３ 検査スケジューリング手段
１４ コントローラ
Claims (12)
- 【請求項１】 所定の測定項目を測定器を用い検査シー
ケンスに従って測定する検査システムであって、 検査対象と測定器との測定経路を形成する測定経路生成
手段と、 検査に関する情報を保持するデータベースと、 該データベースの情報を用い、検査シーケンスを生成す
る検査スケジューリング手段と、 前記検査シーケンスに従って検査対象、測定経路設定手
段、及び測定器を制御するコントローラとを備える検査
システム。 - 【請求項２】 前記データベースは、検査対象、測定項
目、測定器、検査対象と測定器の間の測定経路に関する
データを保持する請求項１記載の検査システム。 - 【請求項３】 前記データベースは、検査対象の標準検
査手順に関するデータを保持する請求項１または２記載
の検査システム。 - 【請求項４】 前記検査スケジューリング手段は、前記
検査システムに配置された検査対象および測定器に関す
る情報、データベースに保持されたデータ、及び設定さ
れた条件に基づき、測定項目とその順序を決定し、検査
シーケンスを生成する請求項１、２、または３記載の検
査システム。 - 【請求項５】 前記検査スケジューリング手段は、検査
対象、および測定項目が指定されると、必要な測定器を
表示することができる請求項１記載の検査システム。 - 【請求項６】 前記検査スケジューリング手段は、配置
された測定器の稼働率が最も大きくなるように検査シー
ケンスを生成することができる請求項４記載の検査シス
テム。 - 【請求項７】 測定項目の測定時間がデータベースに保
持されており、トータルの検査時間が与えられたとき、
前記検査スケジューリング手段は、該所定時間内で最も
多くの検査項目を実行する検査シーケンスを生成するこ
とができる請求項４記載の検査システム。 - 【請求項８】 前記コントローラは前記検査スケジュー
リング手段が生成する検査シーケンスをデータベースに
記憶させることができる請求項１記載の検査システム。 - 【請求項９】 前記コントローラは前記検査対象を所定
の測定項目毎に検査可能な状態に設定する請求項１記載
の検査システム。 - 【請求項１０】 前記コントローラは測定結果を規定値
と比較しその合否判断を前記データベースに記憶させる
請求項１記載の検査システム。 - 【請求項１１】 前記コントローラは測定項目毎の測定
時間を算出し、前記データベースに記憶させる請求項１
記載の検査システム。 - 【請求項１２】 前記コントローラは測定対象毎に未測
定の測定項目と測定済みの測定項目を前記データベース
に記憶させる請求項１記載の検査システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001228181A JP2003044114A (ja) | 2001-07-27 | 2001-07-27 | 検査システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001228181A JP2003044114A (ja) | 2001-07-27 | 2001-07-27 | 検査システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003044114A true JP2003044114A (ja) | 2003-02-14 |
Family
ID=19060727
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001228181A Pending JP2003044114A (ja) | 2001-07-27 | 2001-07-27 | 検査システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003044114A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005195340A (ja) * | 2003-12-26 | 2005-07-21 | Hitachi Sci Syst Ltd | 電子線装置による半導体ウェハの検査方法 |
| JP2010133940A (ja) * | 2008-10-28 | 2010-06-17 | General Electric Co <Ge> | 複数のセンサにわたる複数の入力の測定を効率的に同期化する方法 |
| JP2011159003A (ja) * | 2010-01-29 | 2011-08-18 | Fujitsu Ltd | 健康診断スケジューリング装置、健康診断スケジューリングプログラムおよび健康診断スケジューリング方法 |
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| JP2014532862A (ja) * | 2011-10-28 | 2014-12-08 | テラダイン・インコーポレーテッドＴｅｒａｄｙｎｅ Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | 構成可能なインターフェースを有する試験機器 |
| JP2015049106A (ja) * | 2013-08-30 | 2015-03-16 | 住友電工デバイス・イノベーション株式会社 | 試験装置 |
| CN112698608A (zh) * | 2020-12-29 | 2021-04-23 | 宁波恒达高智能科技股份有限公司 | 一种定时器开关数据采集系统 |
| CN113657694A (zh) * | 2020-05-12 | 2021-11-16 | 鸿富锦精密电子(天津)有限公司 | 测试路径统筹方法、电子设备及存储介质 |
-
2001
- 2001-07-27 JP JP2001228181A patent/JP2003044114A/ja active Pending
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