JP2003027233A - コーティング装置用加工品支持体 - Google Patents
コーティング装置用加工品支持体Info
- Publication number
- JP2003027233A JP2003027233A JP2002128608A JP2002128608A JP2003027233A JP 2003027233 A JP2003027233 A JP 2003027233A JP 2002128608 A JP2002128608 A JP 2002128608A JP 2002128608 A JP2002128608 A JP 2002128608A JP 2003027233 A JP2003027233 A JP 2003027233A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- turntable
- drive
- support according
- workpiece
- shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims abstract description 12
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims abstract description 10
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 244000027321 Lychnis chalcedonica Species 0.000 description 1
- 229910000639 Spring steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000013011 mating Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/50—Substrate holders
- C23C14/505—Substrate holders for rotation of the substrates
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
Abstract
る。 【解決手段】 加工品ホルダ(3)がターンテーブル
(2)の縁に回転可能に取付けられ、それらが駆動可能
なシャフト(1)に調整可能な間隔を空け連続して締付
け固定されている。加工品ホルダ(3)の間欠運転のた
め、ターンテーブル(2)の1回転ごとに、駆動装置
(8)のドライバフィンガー(16)が駆動ホイール
(6)に係合し、加工品ホルダ(3)がターンテーブル
の回転と逆方向に、ある特定の角度分、ターンテーブル
(2)に対し回転する。ドライバフィンガー(16)の
再調整を不要にするため、ターンテーブル(2)間の間
隔を変える場合、前記ドライバフィンガーは、シャフト
(1)方向に移動不能だが前記シャフトの周りを回転可
能にターンテーブル(2)に取付けられた回転リング
(9)の延在部(11)に締付け固定される。
Description
コーティング装置用加工品支持体に関し、特に真空コー
ティング装置に使われるものに関する。この種の加工品
支持体は普通、比較的多数の加工品を保持しており、均
一なコーティングを保証するため、たとえば複数の基本
運動、一般に円運動を重ね合せて生成した合成運動をし
ながらそれらがコーティング源を通過して同時に回転す
る、というような方法で保持している。
して通るロッドに、駆動体が各々取付けられている加工
品支持体は公知である。これには、加工品の長さに合せ
てターンテーブル間の間隔を変更する場合、駆動体もそ
れに応じて移動させなければならず、再調整を必要とす
るので、かなりの手間を必然的に伴い、特に試運転を数
回行なわなければならない、という短所がある。ターン
テーブルを変更する場合、駆動体も変更するか、または
少なくとも再調整する必要がある。調整が正確に行なわ
れなければ、重大な結果を招く場合がある。
いるが、ターンテーブル間の間隔を変更したり、または
ターンテーブルを交換する可能性は提供されない解決策
が、たとえばDE−A−198 03 278に記載さ
れている。とりわけ、WO−A−00/36 178に
は、駆動体が各ターンテーブルに連係し、その駆動体が
前記ターンテーブルの上面に回転可能に支持されている
汎用タイプの加工品支持体が記載されている。しかし、
この駆動体はターンテーブルにしっかりとは接続されて
いないので、加工品支持体に変更を加える際には、原則
として、再取付けおよび再調整する必要がある。
形状、および、たとえばターンテーブル間の間隔の変
更、またはターンテーブルの交換といったコーティング
工程に関するその他の要件に、簡単に、手間をあまりか
けることなく対応することができる、汎用タイプの加工
品支持体を提供することにある。
明に従った特徴により達成される。この発明により達成
される利点は特に、それぞれの駆動体を1度だけ調整す
ればよいという点にある。特に、ターンテーブル間の間
隔を変更したり、または個々のターンテーブルを交換し
たりしても、再調整する必要はない。その1度の調整で
すら、装置の他の構成要素を含む必要なく、個々のター
ンテーブルに対して行なうことができる。この発明に従
って形成されたターンテーブルは一般に、既存のコーテ
ィング装置に簡単に組込むことができる。
で頑強な装置を形成する個々の構成ブロックから、特に
ターンテーブルから加工品支持体を組立てることができ
る。これらはモジュール原理に従って組立てることがで
き、力を伝達するシャフト/ターンテーブルの嵌め合せ
と、ターンテーブルの外径をほぼ同等にすることとを除
けば、特に互いに調整する必要はない。たとえば、ター
ンテーブルは、装置の他の部品を適合させる必要なく、
このように異なるように形成することができる。
た設計のターンテーブルを同時に使用できる。ターンテ
ーブルは、たとえばそれぞれの加工品の形状に対応する
ため、異なるピッチ、すなわち、異なる数の加工品ホル
ダを設けることができ、または、その上に並べられる加
工品のコーティングに関する特殊要件、たとえば加工品
の間欠的な、または連続した回転に対応して形成するこ
とができる。また、この発明に従って形成されたターン
テーブルと従来方法で形成されたターンテーブルとを1
台の加工品支持体に組合せることも可能である。
の完全にまたはほぼ外側に取付けることができ、駆動体
はターンテーブルの縁から加工品ホルダに係合できるの
で、コーティング工程を妨げたり加工品に部分的に重な
る構成要素は必要とされない。しかし同時に、駆動装置
がコンパクトに形成および構成されているので、この発
明に従って形成されたターンテーブルは、従来のターン
テーブルと比較すると同じか、またはわずかに高いだけ
である。以下に、単なる実施例を示す図面を参照して、
この発明を詳しく説明する。
主回転軸の周りを図2の矢印に従って1回転するよう駆
動させることができ、真空チャンバ内に静止して、また
はたとえば回転可能など可動に構成可能なベース(図示
せず)に回転可能に取付けられている。ターンテーブル
2が、間隔を空けて連続して、シャフト1に回転不能に
締付け固定されており、各々の場合、テーブルはその縁
付近に複数の加工品ホルダ3を保持している。これらは
シャフト1から同じ距離だけ離れており、各々の場合、
主回転軸に平行な回転軸の周りを回転できるように、タ
ーンテーブル2上に軸ジャーナル4により取付けられて
いる。重量および材料を節減し、プラズマまたは妨げら
れない粒子の衝撃によりできるだけ均一なコーティング
を加工品に施すため、ターンテーブルは軽量に設計する
こともでき、例としてスポークタイプのターンテーブル
としてもよい。
ブル2の周縁に均一に分布され、正多角形、この場合は
八角形を形成しており、その中心に主回転軸が位置して
いる。使用中、加工品ホルダ3の各々は加工品5(図
1、二点鎖線)を保持する。連続するターンテーブル2
間の間隔は、加工品の長さに応じて変更できる。シャフ
ト1のプロファイルが円形である場合、ターンテーブル
2をシャフト1に締付け固定するには、たとえば、スロ
ット/ラグ嵌合手段または同様に簡単な嵌合手段、また
はクランプねじのような着脱可能なねじ接続を用いて行
なうことができる。その他の形状のプロファイルを有す
る場合、シャフトにターンテーブルを締付け固定させる
ための付加的手段は、一般に不必要である。ターンテー
ブル2の位置を固定するため、たとえばスリーブ(図示
せず)のようなスペーサをシャフトに押込み、各々の場
合、シャフト下端の周りに設けられた突起、またはター
ンテーブル2のうちの1つの上に置いて使用することが
できる。
有し、これは、軸ジャーナル4の上端に配され、その回
転軸と同軸で、歯7を有している。これらは例にあるよ
うに、周縁に規則正しく配置され、外側に突出し、間隔
によって分けられている。
られている。これは、シャフト1と同軸でリング保持部
材10によって保持される回転リング9を含んでいる。
リング保持部材10は、ターンテーブル2の下側に対し
前記回転リングの内側に締付け固定され、外側にぐるり
とわたった棚状突起で回転リング9を下から把持し、そ
れが主回転軸に平行には動かないものの前記軸の周りを
回転できるようにしている。さらに、駆動装置8は延在
部11を有し、これは回転リング9から外側に突出し、
釘12を保持している。その釘12はシャフト1と平行
に上を向き、これに締付けリング13が、締付けねじ1
4によって締付けられている。ターンテーブル2の縁に
向けられたドライバフィンガー16の形をした駆動体
が、締付けリング13のスロットに保持され、長さ方向
に移動可能ではあるが止めねじ15で固定されるように
なっている。締付けねじ14と止めねじ15とがクラン
プねじであり、ドライバフィンガー16はばね鋼の細片
である。
調整できる。締付けねじ14を緩めた後、締付けリング
13を釘12沿いに、すなわちシャフト1と平行に押込
んで、それに対して垂直な平面で回転させることができ
る。その有効長さは、止めねじ15を緩めた後、長さ方
向に移動させることで調整できる。
り江状に形成された窪み17を有しており、そこを通っ
て、ベースに固定されシャフト1に平行なロッド18が
突出ている。これはシャフト1に取付けられたすべての
ターンテーブル2の駆動装置8に係合する止め具として
機能し、それらがその角度位置に対して固定され、それ
ぞれのターンテーブル2とともに回転しないように係合
している。
ンテーブル2が主回転軸を中心に回転する際、加工品ホ
ルダ3の各々は、その円形の軌跡に従い、1回転するう
ちに1回、ドライバフィンガー16と接触する。前記ド
ライバフィンガーは駆動ホイール6上の歯7の1つに一
時的に係合し、対応する加工品ホルダ3を、ターンテー
ブル2に対しターンテーブル2の回転方向とは逆の方向
に、係合が解除されるときに、ターンテーブル2の回転
方向にある次の歯が、最初に述べた歯が係合前に占めて
いた位置をほぼ占めるような具合に回転させる。ターン
テーブル2に対し、加工品ホルダ3は、ドライバフィン
ガー16と駆動ホイール6との係合により、連続する2
つの歯の間の角度差、この例では60°、の分だけ、タ
ーンテーブル2の回転方向とは逆方向にこのように回転
する。駆動体はターンテーブル2のみに接続されている
ので、その調整は、装置の他の部品とは関係なく、孤立
のターンテーブルに対して行なうことができる。たとえ
ば、シャフト1に沿って垂直に連続して配置されたター
ンテーブル2の間隔を変えるために、その取外し、およ
び再取付けを行なう場合も、駆動体を再調整する必要は
ない。
合だけでなく個々のターンテーブルの場合にも、上記以
外の方法で形成することができる。したがって、ターン
テーブルの回転方向の一方側において有効な止め具1つ
で十分であるため、延在部に窪みを設ける必要はない。
駆動ホイールは各々、連続歯システムを有することがで
き、または、マルタ十字もしくは摩擦車の形にもでき、
これらは異なった設計であってもよい。駆動体は、ドラ
イバフィンガーの形にする代わりにドライバリングの形
にすることもできる。これは、ターンテーブルの縁を辿
り、内部に歯システムを有するもので、この場合製造が
特に簡単なため、歯のついたプロファイルを有する円柱
状の金属シートの形にすることが好ましい。この歯シス
テムは、加工品ホルダが間欠的にではなく連続して回転
するように、駆動ホイールの歯システムと係合する。
するターンテーブルには、駆動装置または加工品ホルダ
が詰まった場合にターンテーブルに多大な損傷をきたさ
ないように、予め規定した破壊点を設けることが好まし
い。これは、延在部が断面積を減じた点を有し、ある特
定のトルクを上回った場合、そこが壊れて、ターンテー
ブルを回転させながら同時にその誤動作を示すように行
なうことができる。延在部に弾力性を持たせたり、また
は継ぎ手により締付けることによって、同様の効果を達
成できる。一方、またはさらに、シャフト/ターンテー
ブルの嵌め合せと、加工品ホルダの駆動ホイールまたは
軸ジャーナルとに、所定の破壊点を設けることも可能で
ある。後者は経済的な使い捨て部品として設計してもよ
い。
れた剪断強度を有する銅線を用いて前記継ぎ手を固定
し、その破壊負荷を上回った場合に前記継ぎ手が折曲が
る動きを行なうようにすることで、所定の破壊点を設計
することが可能である。この場合、壊れた所定の破壊点
は、コーティング装置のオペレータによってあまり手間
をかけずにその場で簡単に修理できる。所定の破壊点
は、たとえば駆動ホイールのような他の力伝達部品に
も、規定された剪断強度を有するワイヤで接続された2
つまたはそれ以上の構成要素から前記破壊点を作ること
により、同様に設けることができる。
部断面側面図である。
体、4 軸ジャーナル、5 加工品、6 駆動ホイー
ル、7 歯、8 駆動装置、9 回転リング、10リン
グ保持部材、11 延在部、12 釘、13 締付けリ
ング、14 締付けねじ、15 止めねじ、16 ドラ
イバフィンガー、17 窪み、18 ロッド。
Claims (16)
- 【請求項1】 少なくとも1つの駆動可能なシャフト
(1)が主回転軸の周りを回転可能に固定され、そのシ
ャフトに複数のターンテーブル(2)が回転不能に取付
けられ、そのターンテーブルは軸方向に調節可能な間隔
で離れており、その各々が前記主回転軸に平行な回転軸
の周りを回転可能に前記ターンテーブル(2)上に取付
けられた少なくとも1つの加工品ホルダ(3)を保持し
ているベースと、少なくとも1つの加工品ホルダ(3)
と少なくとも間欠的に係合し、それをその回転軸を中心
として回転させるように各々がターンテーブル(2)と
連係する駆動体とを含む、コーティング装置用加工品支
持体であって、ターンテーブル(2)と連係する前記駆
動体は、前記主回転軸の周りを回転できるがそれ以外は
前記ターンテーブル(2)上を移動不能に締付け固定さ
れかつその回転を一方側に限定し前記ベースに固定され
ている止め具と協力する駆動装置(8)に属すことを特
徴とする、加工品支持体。 - 【請求項2】 前記駆動体は、各々の場合、前記少なく
とも1つの加工品ホルダ(3)の前記主回転軸から遠い
方を向いた面に係合することを特徴とする、請求項1に
記載の加工品支持体。 - 【請求項3】 前記加工品ホルダ(3)に対する前記駆
動体の位置は調節可能であることを特徴とする、請求項
1または2に記載の加工品支持体。 - 【請求項4】 すべての駆動装置(8)用の前記止め具
は、前記シャフト(1)に平行なロッド(18)によ
り、それらの各々が前記ターンテーブル(2)のそれぞ
れの縁から突出し前記ロッド(18)に係合する延在部
(11)を有するようにすることで、形成されることを
特徴とする、請求項1から3のいずれかに記載の加工品
支持体。 - 【請求項5】 前記延在部(11)は、前記ロッド(1
8)を受ける入り江状の窪み(17)を有することを特
徴とする、請求項4に記載の加工品支持体。 - 【請求項6】 前記駆動装置(8)は、各々の場合、前
記ターンテーブル(2)の下側に取付けられることを特
徴とする、請求項1から5のいずれかに記載の加工品支
持体。 - 【請求項7】 前記駆動装置(8)は、前記ターンテー
ブル(2)と同軸の回転リング(9)を含むことを特徴
とする、請求項1から6のいずれかに記載の加工品支持
体。 - 【請求項8】 前記ターンテーブル(2)の下側で、リ
ング保持部材(10)が前記回転リング(9)の内側に
締付け固定され、前記回転リングの下を把持することを
特徴とする、請求項6または7に記載の加工品支持体。 - 【請求項9】 少なくとも1つのターンテーブル(2)
の前記駆動体が、前記少なくとも1つの加工品ホルダ
(3)と間欠的に係合することを特徴とする、請求項1
から8のいずれかに記載の加工品支持体。 - 【請求項10】 ドライバフィンガー(16)の形の前
記駆動体が、前記ターンテーブル(2)の縁に向けられ
ていることを特徴とする、請求項9に記載の加工品支持
体。 - 【請求項11】 前記ドライバフィンガー(16)は、
前記シャフト(1)にほぼ平行な釘(12)に締付けね
じ(14)によって締付け固定される締付けリング(1
3)の上に載置されることを特徴とする、請求項10に
記載の加工品支持体。 - 【請求項12】 前記ドライバフィンガー(16)は、
前記締付けリング(13)の上に長さ方向に移動できる
よう取付けられ、止めねじ(15)によって固定できる
ことを特徴とする、請求項11に記載の加工品支持体。 - 【請求項13】 少なくとも1つのターンテーブルの前
記駆動体が、前記少なくとも1つの加工品ホルダと連続
して係合することを特徴とする、請求項1から8のいず
れかに記載の加工品支持体。 - 【請求項14】 前記駆動体が内部歯システムを有する
ドライバリングの形をしており、特に、歯のついたプロ
ファイルを有する円柱状の金属シートの形をしているこ
とを特徴とする、請求項13に記載の加工品支持体。 - 【請求項15】 少なくとも1つの所定の破壊点が少な
くとも1つのターンテーブル(2)上に設けられ、その
所定の破壊点において、前記シャフト(1)と前記ター
ンテーブル(2)との間、または前記止め具と前記少な
くとも1つの加工品ホルダ(3)との間の、前記駆動装
置(8)を介した力の伝達が、過負荷の場合中断される
ことを特徴とした、請求項1から14のいずれかに記載
の加工品支持体。 - 【請求項16】 その駆動体が前記少なくとも1つの加
工品ホルダ(3)に間欠的に係合する少なくとも1つの
ターンテーブル(2)と、その駆動体が前記少なくとも
1つの加工品ホルダに連続して係合している少なくとも
もう1つのターンテーブルとを有することを特徴とす
る、請求項1から15のいずれかに記載の加工品支持
体。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CH20010830/01 | 2001-05-08 | ||
CH8302001 | 2001-05-08 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003027233A true JP2003027233A (ja) | 2003-01-29 |
JP4156264B2 JP4156264B2 (ja) | 2008-09-24 |
Family
ID=4540246
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002128608A Expired - Lifetime JP4156264B2 (ja) | 2001-05-08 | 2002-04-30 | コーティング装置用加工品支持体 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6761772B2 (ja) |
EP (1) | EP1256637B1 (ja) |
JP (1) | JP4156264B2 (ja) |
AT (1) | ATE311482T1 (ja) |
DE (1) | DE50205082D1 (ja) |
Families Citing this family (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102004027989B4 (de) * | 2004-06-09 | 2007-05-10 | Esser, Stefan, Dr.-Ing. | Werkstückträgervorrichtung zum Halten von Werkstücken |
JP5313673B2 (ja) | 2005-08-29 | 2013-10-09 | エルリコン トレーディング アクチェンゲゼルシャフト,トリューブバハ | 工作物支持体装置 |
US7770336B2 (en) * | 2006-08-10 | 2010-08-10 | Martinrea International Inc. | Multiple-level rotary work surface |
US8361290B2 (en) * | 2006-09-05 | 2013-01-29 | Oerlikon Trading, Ag, Trubbach | Coating removal installation and method of operating it |
US7988787B2 (en) * | 2007-08-27 | 2011-08-02 | Caterpillar Inc. | Workpiece support system and method |
WO2009149864A1 (en) * | 2008-06-11 | 2009-12-17 | Oerlikon Trading Ag, Trübbach | Workpiece carrier |
CN101886248B (zh) * | 2009-05-15 | 2013-08-21 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 溅镀式镀膜装置 |
US9088085B2 (en) * | 2012-09-21 | 2015-07-21 | Novellus Systems, Inc. | High temperature electrode connections |
CZ25582U1 (cs) | 2013-03-14 | 2013-06-24 | Hvm Plasma, Spol.S R.O. | Rotacní stolek pro depozici tenkých povrchových vrstev na substráty |
WO2016081407A1 (en) * | 2014-11-17 | 2016-05-26 | Integrated 3D Metallizing, Llc | Integrated 3d metallizer |
CN104609171B (zh) * | 2015-01-26 | 2016-09-28 | 中核(天津)科技发展有限公司 | 用于电机定子发黑中的自动送料装置 |
CN104651795B (zh) * | 2015-03-10 | 2017-01-11 | 丹阳市鼎新机械设备有限公司 | 一种镜片真空镀膜机用旋转台 |
CN105234028B (zh) * | 2015-11-11 | 2017-12-15 | 中核(天津)科技发展有限公司 | 定子发黑装置的传动装置 |
US11028472B2 (en) * | 2016-05-16 | 2021-06-08 | Integrated 3D Metallizing, Llc | Integrated 3D metallizer |
US10648073B2 (en) * | 2016-11-29 | 2020-05-12 | National Kaohsiung University Of Science And Technology | Method of preparing fiber sensing devices through low-temperature magnetic control sputtering |
EP3508611B1 (en) | 2018-01-04 | 2023-03-15 | Raytheon Technologies Corporation | Metallic coating process for combustor panels using a barrel configuration |
TW201946214A (zh) * | 2018-04-28 | 2019-12-01 | 美商應用材料股份有限公司 | 用於旋轉料架處理腔室的原位晶圓旋轉 |
CN109280896B (zh) * | 2018-11-30 | 2023-08-18 | 深圳天成真空技术有限公司 | 真空镀膜机 |
DE102019135183A1 (de) * | 2019-12-19 | 2021-06-24 | Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfäffikon | Haltesystem zum Halten von Substraten |
CN112570216B (zh) * | 2020-11-20 | 2022-07-26 | 陈勇 | 一种旋转式杯口边缘涂料加工装置 |
CN115121412A (zh) * | 2022-07-27 | 2022-09-30 | 博众精工科技股份有限公司 | 一种涂油设备 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0428860A (ja) * | 1990-05-24 | 1992-01-31 | Nano Tec Kk | イオンプレーティング装置用回転テーブル |
JPH0444358U (ja) * | 1990-08-08 | 1992-04-15 | ||
JPH06322537A (ja) * | 1993-05-14 | 1994-11-22 | Kobe Steel Ltd | 被処理物回転機構を有するイオンプレーティング装置 |
DE19803278A1 (de) * | 1998-01-29 | 1999-08-05 | Bosch Gmbh Robert | Werkstückträger und Anlagen zur Behandlung und/oder Beschichtung von Werkstücken sowie damit hergestellte Beschichtungen |
WO2000036178A1 (de) * | 1998-12-15 | 2000-06-22 | Unaxis Balzers Aktiengesellschaft | Planetensystem-werkstückträger und verfahren zur oberflächenbehandlung von werkstücken |
-
2002
- 2002-04-18 AT AT02405317T patent/ATE311482T1/de not_active IP Right Cessation
- 2002-04-18 DE DE50205082T patent/DE50205082D1/de not_active Expired - Lifetime
- 2002-04-18 EP EP02405317A patent/EP1256637B1/de not_active Expired - Lifetime
- 2002-04-30 JP JP2002128608A patent/JP4156264B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2002-05-08 US US10/141,432 patent/US6761772B2/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0428860A (ja) * | 1990-05-24 | 1992-01-31 | Nano Tec Kk | イオンプレーティング装置用回転テーブル |
JPH0444358U (ja) * | 1990-08-08 | 1992-04-15 | ||
JPH06322537A (ja) * | 1993-05-14 | 1994-11-22 | Kobe Steel Ltd | 被処理物回転機構を有するイオンプレーティング装置 |
DE19803278A1 (de) * | 1998-01-29 | 1999-08-05 | Bosch Gmbh Robert | Werkstückträger und Anlagen zur Behandlung und/oder Beschichtung von Werkstücken sowie damit hergestellte Beschichtungen |
WO2000036178A1 (de) * | 1998-12-15 | 2000-06-22 | Unaxis Balzers Aktiengesellschaft | Planetensystem-werkstückträger und verfahren zur oberflächenbehandlung von werkstücken |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4156264B2 (ja) | 2008-09-24 |
EP1256637B1 (de) | 2005-11-30 |
US20030015136A1 (en) | 2003-01-23 |
US6761772B2 (en) | 2004-07-13 |
EP1256637A1 (de) | 2002-11-13 |
ATE311482T1 (de) | 2005-12-15 |
DE50205082D1 (de) | 2006-01-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2003027233A (ja) | コーティング装置用加工品支持体 | |
TWI655072B (zh) | 用於加工機械的壓輥的調整裝置,特別是開槽機,以及加工機械,特別是具有此種調整裝置的開槽機 | |
CN203426818U (zh) | 角向磨光机和与其相关的凸缘螺母、动力工具和成套工具 | |
KR20130133772A (ko) | 튜브 형태 또는 원형 섹션 몸체를 절단하기 위한 머시닝 장치 | |
JPH02112808A (ja) | 急速交換可能な作動ロールを有する圧延装置 | |
US20020092395A1 (en) | Clamping device for a tubular component, especially by means of moveable jaws | |
US9004384B2 (en) | Osteobiologic milling machine | |
WO2004108322A8 (de) | Handhabungsgerät zum handhaben eines werkstücks während eines umformprozesses | |
US4640553A (en) | Brake system for cutters of surface cleaning cutter cage | |
RU2607059C2 (ru) | Устройство для позиционирования заготовок для зажимных или центровальных узлов | |
JP5749374B1 (ja) | スプレーユニットおよび塗装システム | |
KR200389713Y1 (ko) | 파이프 회전장치 | |
DE112011103390T5 (de) | Abrichtungsvorrichtung | |
US20130219692A1 (en) | Device and method for holding a tool bit | |
JP2000190038A5 (ja) | ||
US7328510B2 (en) | Elbow rotator | |
JPH10211524A (ja) | 曲げ加工装置 | |
KR20150005543A (ko) | 천연 또는 응집된 석재료의 슬래브를 교정하기 위한 장치 | |
JP7118553B2 (ja) | 帯状ヤスリの支持具 | |
NL192783C (nl) | Inrichting voor het uitwendig rotatiesymmetrisch bewerken van staaf- of buismateriaal. | |
JP2003039230A (ja) | トリミング装置 | |
JPH11104748A (ja) | キャップ成形装置 | |
SU1093493A1 (ru) | Станок дл шлифовани измерительных поверхностей губок штангенциркулей | |
US6904635B2 (en) | Saw-mounted deburring product | |
KR20130078254A (ko) | 파이프용 면취기 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050217 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080212 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080508 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080610 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080709 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110718 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4156264 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110718 Year of fee payment: 3 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110718 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110718 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120718 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120718 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130718 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |