JP2003027233A - コーティング装置用加工品支持体 - Google Patents

コーティング装置用加工品支持体

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JP2003027233A
JP2003027233A JP2002128608A JP2002128608A JP2003027233A JP 2003027233 A JP2003027233 A JP 2003027233A JP 2002128608 A JP2002128608 A JP 2002128608A JP 2002128608 A JP2002128608 A JP 2002128608A JP 2003027233 A JP2003027233 A JP 2003027233A
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    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 加工品（５）の均一なコーティングを保証す
る。 【解決手段】 加工品ホルダ（３）がターンテーブル
（２）の縁に回転可能に取付けられ、それらが駆動可能
なシャフト（１）に調整可能な間隔を空け連続して締付
け固定されている。加工品ホルダ（３）の間欠運転のた
め、ターンテーブル（２）の１回転ごとに、駆動装置
（８）のドライバフィンガー（１６）が駆動ホイール
（６）に係合し、加工品ホルダ（３）がターンテーブル
の回転と逆方向に、ある特定の角度分、ターンテーブル
（２）に対し回転する。ドライバフィンガー（１６）の
再調整を不要にするため、ターンテーブル（２）間の間
隔を変える場合、前記ドライバフィンガーは、シャフト
（１）方向に移動不能だが前記シャフトの周りを回転可
能にターンテーブル（２）に取付けられた回転リング
（９）の延在部（１１）に締付け固定される。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の分野】この発明は、請求項１の導入部に従った
コーティング装置用加工品支持体に関し、特に真空コー
ティング装置に使われるものに関する。この種の加工品
支持体は普通、比較的多数の加工品を保持しており、均
一なコーティングを保証するため、たとえば複数の基本
運動、一般に円運動を重ね合せて生成した合成運動をし
ながらそれらがコーティング源を通過して同時に回転す
る、というような方法で保持している。
【０００２】
【従来の技術】シャフトに平行でターンテーブルに隣接
して通るロッドに、駆動体が各々取付けられている加工
品支持体は公知である。これには、加工品の長さに合せ
てターンテーブル間の間隔を変更する場合、駆動体もそ
れに応じて移動させなければならず、再調整を必要とす
るので、かなりの手間を必然的に伴い、特に試運転を数
回行なわなければならない、という短所がある。ターン
テーブルを変更する場合、駆動体も変更するか、または
少なくとも再調整する必要がある。調整が正確に行なわ
れなければ、重大な結果を招く場合がある。
【０００３】汎用タイプの公知の解決策に設計上は似て
いるが、ターンテーブル間の間隔を変更したり、または
ターンテーブルを交換する可能性は提供されない解決策
が、たとえばＤＥ−Ａ−１９８ ０３ ２７８に記載さ
れている。とりわけ、ＷＯ−Ａ−００／３６ １７８に
は、駆動体が各ターンテーブルに連係し、その駆動体が
前記ターンテーブルの上面に回転可能に支持されている
汎用タイプの加工品支持体が記載されている。しかし、
この駆動体はターンテーブルにしっかりとは接続されて
いないので、加工品支持体に変更を加える際には、原則
として、再取付けおよび再調整する必要がある。
【０００４】
【発明の概要】この発明の目的は、それぞれの加工品の
形状、および、たとえばターンテーブル間の間隔の変
更、またはターンテーブルの交換といったコーティング
工程に関するその他の要件に、簡単に、手間をあまりか
けることなく対応することができる、汎用タイプの加工
品支持体を提供することにある。
【０００５】この目的は、請求項１の特徴部の、この発
明に従った特徴により達成される。この発明により達成
される利点は特に、それぞれの駆動体を１度だけ調整す
ればよいという点にある。特に、ターンテーブル間の間
隔を変更したり、または個々のターンテーブルを交換し
たりしても、再調整する必要はない。その１度の調整で
すら、装置の他の構成要素を含む必要なく、個々のター
ンテーブルに対して行なうことができる。この発明に従
って形成されたターンテーブルは一般に、既存のコーテ
ィング装置に簡単に組込むことができる。
【０００６】この発明により、各々の場合にコンパクト
で頑強な装置を形成する個々の構成ブロックから、特に
ターンテーブルから加工品支持体を組立てることができ
る。これらはモジュール原理に従って組立てることがで
き、力を伝達するシャフト／ターンテーブルの嵌め合せ
と、ターンテーブルの外径をほぼ同等にすることとを除
けば、特に互いに調整する必要はない。たとえば、ター
ンテーブルは、装置の他の部品を適合させる必要なく、
このように異なるように形成することができる。
【０００７】特に、同一の加工品支持体において異なっ
た設計のターンテーブルを同時に使用できる。ターンテ
ーブルは、たとえばそれぞれの加工品の形状に対応する
ため、異なるピッチ、すなわち、異なる数の加工品ホル
ダを設けることができ、または、その上に並べられる加
工品のコーティングに関する特殊要件、たとえば加工品
の間欠的な、または連続した回転に対応して形成するこ
とができる。また、この発明に従って形成されたターン
テーブルと従来方法で形成されたターンテーブルとを１
台の加工品支持体に組合せることも可能である。
【０００８】いずれの場合も、駆動装置は加工品の軌跡
の完全にまたはほぼ外側に取付けることができ、駆動体
はターンテーブルの縁から加工品ホルダに係合できるの
で、コーティング工程を妨げたり加工品に部分的に重な
る構成要素は必要とされない。しかし同時に、駆動装置
がコンパクトに形成および構成されているので、この発
明に従って形成されたターンテーブルは、従来のターン
テーブルと比較すると同じか、またはわずかに高いだけ
である。以下に、単なる実施例を示す図面を参照して、
この発明を詳しく説明する。
【０００９】
【詳細な説明】垂直なシャフト１は、その軸と一致する
主回転軸の周りを図２の矢印に従って１回転するよう駆
動させることができ、真空チャンバ内に静止して、また
はたとえば回転可能など可動に構成可能なベース（図示
せず）に回転可能に取付けられている。ターンテーブル
２が、間隔を空けて連続して、シャフト１に回転不能に
締付け固定されており、各々の場合、テーブルはその縁
付近に複数の加工品ホルダ３を保持している。これらは
シャフト１から同じ距離だけ離れており、各々の場合、
主回転軸に平行な回転軸の周りを回転できるように、タ
ーンテーブル２上に軸ジャーナル４により取付けられて
いる。重量および材料を節減し、プラズマまたは妨げら
れない粒子の衝撃によりできるだけ均一なコーティング
を加工品に施すため、ターンテーブルは軽量に設計する
こともでき、例としてスポークタイプのターンテーブル
としてもよい。
【００１０】加工品ホルダ３は、それぞれのターンテー
ブル２の周縁に均一に分布され、正多角形、この場合は
八角形を形成しており、その中心に主回転軸が位置して
いる。使用中、加工品ホルダ３の各々は加工品５（図
１、二点鎖線）を保持する。連続するターンテーブル２
間の間隔は、加工品の長さに応じて変更できる。シャフ
ト１のプロファイルが円形である場合、ターンテーブル
２をシャフト１に締付け固定するには、たとえば、スロ
ット／ラグ嵌合手段または同様に簡単な嵌合手段、また
はクランプねじのような着脱可能なねじ接続を用いて行
なうことができる。その他の形状のプロファイルを有す
る場合、シャフトにターンテーブルを締付け固定させる
ための付加的手段は、一般に不必要である。ターンテー
ブル２の位置を固定するため、たとえばスリーブ（図示
せず）のようなスペーサをシャフトに押込み、各々の場
合、シャフト下端の周りに設けられた突起、またはター
ンテーブル２のうちの１つの上に置いて使用することが
できる。
【００１１】加工品ホルダ３の各々は駆動ホイール６を
有し、これは、軸ジャーナル４の上端に配され、その回
転軸と同軸で、歯７を有している。これらは例にあるよ
うに、周縁に規則正しく配置され、外側に突出し、間隔
によって分けられている。
【００１２】ターンテーブル２には駆動装置８も取付け
られている。これは、シャフト１と同軸でリング保持部
材１０によって保持される回転リング９を含んでいる。
リング保持部材１０は、ターンテーブル２の下側に対し
前記回転リングの内側に締付け固定され、外側にぐるり
とわたった棚状突起で回転リング９を下から把持し、そ
れが主回転軸に平行には動かないものの前記軸の周りを
回転できるようにしている。さらに、駆動装置８は延在
部１１を有し、これは回転リング９から外側に突出し、
釘１２を保持している。その釘１２はシャフト１と平行
に上を向き、これに締付けリング１３が、締付けねじ１
４によって締付けられている。ターンテーブル２の縁に
向けられたドライバフィンガー１６の形をした駆動体
が、締付けリング１３のスロットに保持され、長さ方向
に移動可能ではあるが止めねじ１５で固定されるように
なっている。締付けねじ１４と止めねじ１５とがクラン
プねじであり、ドライバフィンガー１６はばね鋼の細片
である。
【００１３】ドライバフィンガー１６の位置は数箇所で
調整できる。締付けねじ１４を緩めた後、締付けリング
１３を釘１２沿いに、すなわちシャフト１と平行に押込
んで、それに対して垂直な平面で回転させることができ
る。その有効長さは、止めねじ１５を緩めた後、長さ方
向に移動させることで調整できる。
【００１４】延在部１１は、釘１２に加え、外側から入
り江状に形成された窪み１７を有しており、そこを通っ
て、ベースに固定されシャフト１に平行なロッド１８が
突出ている。これはシャフト１に取付けられたすべての
ターンテーブル２の駆動装置８に係合する止め具として
機能し、それらがその角度位置に対して固定され、それ
ぞれのターンテーブル２とともに回転しないように係合
している。
【００１５】シャフト１とそれに締付け固定されたター
ンテーブル２が主回転軸を中心に回転する際、加工品ホ
ルダ３の各々は、その円形の軌跡に従い、１回転するう
ちに１回、ドライバフィンガー１６と接触する。前記ド
ライバフィンガーは駆動ホイール６上の歯７の１つに一
時的に係合し、対応する加工品ホルダ３を、ターンテー
ブル２に対しターンテーブル２の回転方向とは逆の方向
に、係合が解除されるときに、ターンテーブル２の回転
方向にある次の歯が、最初に述べた歯が係合前に占めて
いた位置をほぼ占めるような具合に回転させる。ターン
テーブル２に対し、加工品ホルダ３は、ドライバフィン
ガー１６と駆動ホイール６との係合により、連続する２
つの歯の間の角度差、この例では６０°、の分だけ、タ
ーンテーブル２の回転方向とは逆方向にこのように回転
する。駆動体はターンテーブル２のみに接続されている
ので、その調整は、装置の他の部品とは関係なく、孤立
のターンテーブルに対して行なうことができる。たとえ
ば、シャフト１に沿って垂直に連続して配置されたター
ンテーブル２の間隔を変えるために、その取外し、およ
び再取付けを行なう場合も、駆動体を再調整する必要は
ない。
【００１６】駆動装置は、すべてのターンテーブルの場
合だけでなく個々のターンテーブルの場合にも、上記以
外の方法で形成することができる。したがって、ターン
テーブルの回転方向の一方側において有効な止め具１つ
で十分であるため、延在部に窪みを設ける必要はない。
駆動ホイールは各々、連続歯システムを有することがで
き、または、マルタ十字もしくは摩擦車の形にもでき、
これらは異なった設計であってもよい。駆動体は、ドラ
イバフィンガーの形にする代わりにドライバリングの形
にすることもできる。これは、ターンテーブルの縁を辿
り、内部に歯システムを有するもので、この場合製造が
特に簡単なため、歯のついたプロファイルを有する円柱
状の金属シートの形にすることが好ましい。この歯シス
テムは、加工品ホルダが間欠的にではなく連続して回転
するように、駆動ホイールの歯システムと係合する。
【００１７】特に、連続して回転する加工品ホルダを有
するターンテーブルには、駆動装置または加工品ホルダ
が詰まった場合にターンテーブルに多大な損傷をきたさ
ないように、予め規定した破壊点を設けることが好まし
い。これは、延在部が断面積を減じた点を有し、ある特
定のトルクを上回った場合、そこが壊れて、ターンテー
ブルを回転させながら同時にその誤動作を示すように行
なうことができる。延在部に弾力性を持たせたり、また
は継ぎ手により締付けることによって、同様の効果を達
成できる。一方、またはさらに、シャフト／ターンテー
ブルの嵌め合せと、加工品ホルダの駆動ホイールまたは
軸ジャーナルとに、所定の破壊点を設けることも可能で
ある。後者は経済的な使い捨て部品として設計してもよ
い。
【００１８】継ぎ手を使うことで、ワイヤ、特に規定さ
れた剪断強度を有する銅線を用いて前記継ぎ手を固定
し、その破壊負荷を上回った場合に前記継ぎ手が折曲が
る動きを行なうようにすることで、所定の破壊点を設計
することが可能である。この場合、壊れた所定の破壊点
は、コーティング装置のオペレータによってあまり手間
をかけずにその場で簡単に修理できる。所定の破壊点
は、たとえば駆動ホイールのような他の力伝達部品に
も、規定された剪断強度を有するワイヤで接続された２
つまたはそれ以上の構成要素から前記破壊点を作ること
により、同様に設けることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 この発明に従った加工品支持体の一部分の一
部断面側面図である。
【図２】 図１の加工品支持体の平面図である。
【符号の説明】
１ シャフト、２ ターンテーブル、３ 加工品支持
体、４ 軸ジャーナル、５ 加工品、６ 駆動ホイー
ル、７ 歯、８ 駆動装置、９ 回転リング、１０リン
グ保持部材、１１ 延在部、１２ 釘、１３ 締付けリ
ング、１４ 締付けねじ、１５ 止めねじ、１６ ドラ
イバフィンガー、１７ 窪み、１８ ロッド。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 アントーン・クンツ リヒテンシュタイン、エフ・エル−9497 トリーゼンベルク、グーファー、406 Ｆターム(参考） 4K029 JA03 4K030 GA09

Claims (16)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 少なくとも１つの駆動可能なシャフト
    （１）が主回転軸の周りを回転可能に固定され、そのシ
    ャフトに複数のターンテーブル（２）が回転不能に取付
    けられ、そのターンテーブルは軸方向に調節可能な間隔
    で離れており、その各々が前記主回転軸に平行な回転軸
    の周りを回転可能に前記ターンテーブル（２）上に取付
    けられた少なくとも１つの加工品ホルダ（３）を保持し
    ているベースと、少なくとも１つの加工品ホルダ（３）
    と少なくとも間欠的に係合し、それをその回転軸を中心
    として回転させるように各々がターンテーブル（２）と
    連係する駆動体とを含む、コーティング装置用加工品支
    持体であって、ターンテーブル（２）と連係する前記駆
    動体は、前記主回転軸の周りを回転できるがそれ以外は
    前記ターンテーブル（２）上を移動不能に締付け固定さ
    れかつその回転を一方側に限定し前記ベースに固定され
    ている止め具と協力する駆動装置（８）に属すことを特
    徴とする、加工品支持体。
  2. 【請求項２】 前記駆動体は、各々の場合、前記少なく
    とも１つの加工品ホルダ（３）の前記主回転軸から遠い
    方を向いた面に係合することを特徴とする、請求項１に
    記載の加工品支持体。
  3. 【請求項３】 前記加工品ホルダ（３）に対する前記駆
    動体の位置は調節可能であることを特徴とする、請求項
    １または２に記載の加工品支持体。
  4. 【請求項４】 すべての駆動装置（８）用の前記止め具
    は、前記シャフト（１）に平行なロッド（１８）によ
    り、それらの各々が前記ターンテーブル（２）のそれぞ
    れの縁から突出し前記ロッド（１８）に係合する延在部
    （１１）を有するようにすることで、形成されることを
    特徴とする、請求項１から３のいずれかに記載の加工品
    支持体。
  5. 【請求項５】 前記延在部（１１）は、前記ロッド（１
    ８）を受ける入り江状の窪み（１７）を有することを特
    徴とする、請求項４に記載の加工品支持体。
  6. 【請求項６】 前記駆動装置（８）は、各々の場合、前
    記ターンテーブル（２）の下側に取付けられることを特
    徴とする、請求項１から５のいずれかに記載の加工品支
    持体。
  7. 【請求項７】 前記駆動装置（８）は、前記ターンテー
    ブル（２）と同軸の回転リング（９）を含むことを特徴
    とする、請求項１から６のいずれかに記載の加工品支持
    体。
  8. 【請求項８】 前記ターンテーブル（２）の下側で、リ
    ング保持部材（１０）が前記回転リング（９）の内側に
    締付け固定され、前記回転リングの下を把持することを
    特徴とする、請求項６または７に記載の加工品支持体。
  9. 【請求項９】 少なくとも１つのターンテーブル（２）
    の前記駆動体が、前記少なくとも１つの加工品ホルダ
    （３）と間欠的に係合することを特徴とする、請求項１
    から８のいずれかに記載の加工品支持体。
  10. 【請求項１０】 ドライバフィンガー（１６）の形の前
    記駆動体が、前記ターンテーブル（２）の縁に向けられ
    ていることを特徴とする、請求項９に記載の加工品支持
    体。
  11. 【請求項１１】 前記ドライバフィンガー（１６）は、
    前記シャフト（１）にほぼ平行な釘（１２）に締付けね
    じ（１４）によって締付け固定される締付けリング（１
    ３）の上に載置されることを特徴とする、請求項１０に
    記載の加工品支持体。
  12. 【請求項１２】 前記ドライバフィンガー（１６）は、
    前記締付けリング（１３）の上に長さ方向に移動できる
    よう取付けられ、止めねじ（１５）によって固定できる
    ことを特徴とする、請求項１１に記載の加工品支持体。
  13. 【請求項１３】 少なくとも１つのターンテーブルの前
    記駆動体が、前記少なくとも１つの加工品ホルダと連続
    して係合することを特徴とする、請求項１から８のいず
    れかに記載の加工品支持体。
  14. 【請求項１４】 前記駆動体が内部歯システムを有する
    ドライバリングの形をしており、特に、歯のついたプロ
    ファイルを有する円柱状の金属シートの形をしているこ
    とを特徴とする、請求項１３に記載の加工品支持体。
  15. 【請求項１５】 少なくとも１つの所定の破壊点が少な
    くとも１つのターンテーブル（２）上に設けられ、その
    所定の破壊点において、前記シャフト（１）と前記ター
    ンテーブル（２）との間、または前記止め具と前記少な
    くとも１つの加工品ホルダ（３）との間の、前記駆動装
    置（８）を介した力の伝達が、過負荷の場合中断される
    ことを特徴とした、請求項１から１４のいずれかに記載
    の加工品支持体。
  16. 【請求項１６】 その駆動体が前記少なくとも１つの加
    工品ホルダ（３）に間欠的に係合する少なくとも１つの
    ターンテーブル（２）と、その駆動体が前記少なくとも
    １つの加工品ホルダに連続して係合している少なくとも
    もう１つのターンテーブルとを有することを特徴とす
    る、請求項１から１５のいずれかに記載の加工品支持
    体。
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Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102004027989B4 (de) * 2004-06-09 2007-05-10 Esser, Stefan, Dr.-Ing. Werkstückträgervorrichtung zum Halten von Werkstücken
KR101296928B1 (ko) 2005-08-29 2013-08-20 오를리콘 트레이딩 아크티엔게젤샤프트, 트뤼프바흐 워크피스 캐리어 장치
US7770336B2 (en) * 2006-08-10 2010-08-10 Martinrea International Inc. Multiple-level rotary work surface
US8361290B2 (en) * 2006-09-05 2013-01-29 Oerlikon Trading, Ag, Trubbach Coating removal installation and method of operating it
US7988787B2 (en) * 2007-08-27 2011-08-02 Caterpillar Inc. Workpiece support system and method
EP2297375B1 (en) * 2008-06-11 2015-04-08 Oerlikon Surface Solutions AG, Trübbach Workpiece carrier
CN101886248B (zh) * 2009-05-15 2013-08-21 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 溅镀式镀膜装置
US9088085B2 (en) * 2012-09-21 2015-07-21 Novellus Systems, Inc. High temperature electrode connections
CZ25582U1 (cs) 2013-03-14 2013-06-24 Hvm Plasma, Spol.S R.O. Rotacní stolek pro depozici tenkých povrchových vrstev na substráty
WO2016081407A1 (en) * 2014-11-17 2016-05-26 Integrated 3D Metallizing, Llc Integrated 3d metallizer
CN104609171B (zh) * 2015-01-26 2016-09-28 中核(天津)科技发展有限公司 用于电机定子发黑中的自动送料装置
CN104651795B (zh) * 2015-03-10 2017-01-11 丹阳市鼎新机械设备有限公司 一种镜片真空镀膜机用旋转台
CN105234028B (zh) * 2015-11-11 2017-12-15 中核(天津)科技发展有限公司 定子发黑装置的传动装置
WO2017200933A1 (en) * 2016-05-16 2017-11-23 Integrated 3D Metallizing, Llc Integrated 3d metallizer
US10648073B2 (en) * 2016-11-29 2020-05-12 National Kaohsiung University Of Science And Technology Method of preparing fiber sensing devices through low-temperature magnetic control sputtering
EP3508611B1 (en) 2018-01-04 2023-03-15 Raytheon Technologies Corporation Metallic coating process for combustor panels using a barrel configuration
TW201946214A (zh) 2018-04-28 2019-12-01 美商應用材料股份有限公司 用於旋轉料架處理腔室的原位晶圓旋轉
CN109280896B (zh) * 2018-11-30 2023-08-18 深圳天成真空技术有限公司 真空镀膜机
DE102019135183A1 (de) * 2019-12-19 2021-06-24 Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfäffikon Haltesystem zum Halten von Substraten
CN112570216B (zh) * 2020-11-20 2022-07-26 陈勇 一种旋转式杯口边缘涂料加工装置
CN115121412A (zh) * 2022-07-27 2022-09-30 博众精工科技股份有限公司 一种涂油设备

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0428860A (ja) * 1990-05-24 1992-01-31 Nano Tec Kk イオンプレーティング装置用回転テーブル
JPH0444358U (ja) * 1990-08-08 1992-04-15
JPH06322537A (ja) * 1993-05-14 1994-11-22 Kobe Steel Ltd 被処理物回転機構を有するイオンプレーティング装置
DE19803278A1 (de) * 1998-01-29 1999-08-05 Bosch Gmbh Robert Werkstückträger und Anlagen zur Behandlung und/oder Beschichtung von Werkstücken sowie damit hergestellte Beschichtungen
WO2000036178A1 (de) * 1998-12-15 2000-06-22 Unaxis Balzers Aktiengesellschaft Planetensystem-werkstückträger und verfahren zur oberflächenbehandlung von werkstücken

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0428860A (ja) * 1990-05-24 1992-01-31 Nano Tec Kk イオンプレーティング装置用回転テーブル
JPH0444358U (ja) * 1990-08-08 1992-04-15
JPH06322537A (ja) * 1993-05-14 1994-11-22 Kobe Steel Ltd 被処理物回転機構を有するイオンプレーティング装置
DE19803278A1 (de) * 1998-01-29 1999-08-05 Bosch Gmbh Robert Werkstückträger und Anlagen zur Behandlung und/oder Beschichtung von Werkstücken sowie damit hergestellte Beschichtungen
WO2000036178A1 (de) * 1998-12-15 2000-06-22 Unaxis Balzers Aktiengesellschaft Planetensystem-werkstückträger und verfahren zur oberflächenbehandlung von werkstücken

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