JPH0444358U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は自公転治具付蒸着装置の全体構成を示
す模式的正面図、第２図は自公転治具付蒸着装置
の模式的平面図、第３図は自公転治具付蒸着装置
の主要構成部品である自転シヤフトの詳細構造を
示す部分断面図、第４図は自公転治具付蒸着装置
の主要構成部品である公転リングの支持構造を示
す模式的部分断面図、及び第５図と第６図は被加
工物の形状の例を示す模式的斜視図である。 １……真空容器、２……蒸着源、３……公転リ
ング、５……リングギヤ、６……モータ、７……
ピニオン、８……自転シヤフト、９……被加工物
、１０……案内リング、１１……自転フランジ、
１２……調節機構、１３……軸受部、２１……ピ
ボツトピン、２２……軸受フレーム、２３……ベ
アリング、２４……支柱、２７……プランジヤ機
構、２８……脚部、３０……ボルトネジ、３２…
…ナツトネジ、３３……ナツトネジ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 真空容器と、該真空容器内に配置された蒸着
   源と、該蒸着源の蒸着法線を公点中心にして公点
   可能に配置された公転リング部材と、該公点中心
   から放射状に整列した自転軸を有しこの自転軸に
   沿つて被加工物を保持するとともに公転平面に対
   する自転軸の傾斜角が調節可能な状態で自転軸端
   において該公転リング部材に係止されている自転
   シヤフトとからなる蒸着装置。 ２ 公転リング部材の内側に配置されており且つ
   環状傾斜案内面を有する静止案内リングと、自転
   シヤフトに固着され且つ該案内面に対して回転走
   行可能に当接する自転フランジとを含む請求項１
   に記載の蒸着装置。 ３ 公転平面に対する該案内リングの高さ位置を
   調節する為の調節機構を含む請求項２に記載の蒸
   着装置。 ４ 該自転シヤフトは、異なる径を有する自転フ
   ランジを交換可能に固定できる構造である請求項
   ２に記載の蒸着装置。 ５ 蒸着源に対する公転リング部材の高さ位置を
   調節する為の調節機構を有する請求項１に記載の
   蒸着装置。 ６ 公転リング部材の表面において傾斜可能に係
   止された軸受部を有するとともに、該自転シヤフ
   トはその端部において該軸受部に着脱自在に係合
   する請求項１に記載の蒸着装置。