JP2003026326A - 被搬送物の防塵装置 - Google Patents

被搬送物の防塵装置

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Abstract

(57)【要約】 【課題】塗布ライン、印刷ライン等の塵埃を嫌う嫌塵ラ
インに設けられた搬送路を搬送される被搬送物を、低コ
ストで且つ効率的に防塵することができる。 【解決手段】ウエブ16が塵埃に最も晒され易く、高い
クリーン度が要求される搬送路20を、塗布ライン10
全体を収納する外側ケーシング14と、搬送路20に沿
って設けられた内側ケーシング24とで二重ケーシング
構造で囲み、この内側ケーシング24に清浄エアを供給
するようにした。これにより、ウエブ16が塵埃に最も
晒され易い搬送路を小容積で且つ搬送路に対応した細長
いケーシングとすることができるので、内側ケーシング
24内に供給された清浄エアの風速を落とさずに、且つ
清浄エアが流れないデッドゾーンを発生させないように
できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、被搬送物の防塵装
置に係り、高度のクリーン度が要求される嫌塵ラインの
搬送路を搬送される被搬送物の防塵に関し、特に、塗布
ライン、印刷ラインの搬送路を搬送されるウエブの防塵
に関する。
【0002】
【従来の技術】ウエブに写真感光液、磁性液、溶剤塗料
など水や溶剤を溶媒とする塗布液を塗布・乾燥等する塗
布ラインの搬送路は、ウエブが塵埃に最も晒され易く、
高いクリーン度が要求される。このため、従来は、塗布
ラインを設置する室内をクリーンルーム化するようにし
ていた。
【0003】しかし、この場合には室内全体をクリーン
ルーム仕様で設計しなくてはならず、建設設備費が嵩む
という欠点があると共に、室内全体を清浄エアで換気し
なくてはならないことから清浄エアの使用量が多く、ラ
ンニングコストも嵩むという欠点がある。
【0004】この対策として、塗布ライン全体をケーシ
ングで囲み、このケーシング内に清浄エアを供給するこ
とで換気に要する容積を小さくすることも行われてい
る。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、塗布ラ
イン全体をケーシングで囲む方法は、室内全体をクリー
ンルーム化する場合に比べるとコストを低減できるが、
ケーシング内には、ウエブやロールの他に、発塵源とな
る軸受、摺動レール、ラック、昇降装置、エアシリンダ
等が存在し、場合によっては、モータ、ベルト、ギア、
軸継ぎ手等の駆動装置が存在する。また、これらは、発
塵源になるだけでなく、埃溜まりにもなるため、クリー
ン度を上げるための障害になる。更には、清浄エアが流
れないデッドゾーンを形成し易いという問題がある。従
って、塗布ライン全体をケーシングで囲む方法であって
も、ウエブが塵埃に最も晒され易く、高いクリーン度が
要求される搬送路を、所望のクリーン度に維持できない
という問題がある。
【0006】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、塗布ライン、印刷ライン等の塵埃を嫌う嫌塵ラ
インに設けられた搬送路を搬送される被搬送物を、低コ
ストで且つ効率的に防塵することのできる被搬送物の防
塵装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決する為の手段】本発明の請求項1は、前記
目的を達成する為に、搬送路を搬送される被搬送物を防
塵する被搬送物の防塵装置において、前記搬送路が設け
られるライン全体を収納する外側ケーシングと、前記搬
送路に沿って設けられ、前記被搬送物の入口と出口及び
エア供給口とエア排出口が形成された内側ケーシング
と、前記エア供給口に清浄エアを供給する清浄エア供給
手段と、を備え、前記被搬送物が前記内側ケーシング内
を搬送されるようにしたことを特徴とする。
【0008】本発明の請求項1は、被搬送物が塵埃に最
も晒され易く、高いクリーン度が要求される搬送路を、
搬送路が設けられるライン全体を収納する外側ケーシン
グと、搬送路に沿って設けられた内側ケーシングとで二
重ケーシング構造で囲み、この内側ケーシングに清浄エ
アを供給するようにした。これにより、被搬送物が塵埃
に最も晒され易い搬送路を小容積で且つ搬送路に対応し
た細長いケーシングとすることができるので、内側ケー
シング内に供給された清浄エアの風速を落とさずに、且
つ清浄エアが流れないデッドゾーンを発生させないよう
にできる。従って、少ない清浄エアで被搬送物を効果的
に防塵することができる。また、被搬送物が塵埃に最も
晒され易い搬送路を内側ケーシングで囲むことで、外側
ケーシングのクリーン度を従来ほど高める必要がないの
で、嫌塵ライン全体に使用する清浄エアの使用量も削減
される。
【0009】本発明の請求項2は、請求項1において、
搬送路を縦方向に配設すると共に、エア供給口を内側ケ
ーシングの上部に形成し、エア排出口を内側ケーシング
の下部に形成したので、内側ケーシング内には清浄エア
のダウンフローが形成される。このダウンフローにより
内側ケーシング内の塵埃を効率的に除塵することができ
る。
【0010】本発明の請求項3は、請求項1又は2にお
いて、内側ケーシングの内と外との圧力差を検出する微
差圧計を設け、微差圧計の検出結果に基づいて前記内側
ケーシング内の圧力が外の圧力よりも高くなるようにし
たので、外側ケーシングの塵埃が内側ケーシング内に侵
入しにくいようにできる。
【0011】本発明の請求項4は、請求項1〜3の何れ
か1において、搬送路は複数のパスローラを配列して構
成されると共に、各パスローラのローラシェル部と被搬
送物のみを内側ケーシングで囲むようにしたので、塵埃
が発生し易いローラジャーナル部で発生した塵埃が内側
ケーシング内のクリーン度を低下させることがない。
【0012】本発明の請求項5は、請求項4において、
内側ケーシングとパスローラのローラジャーナル部との
間に形成される隙間から、内側ケーシング内に供給した
清浄エアの一部が排出されるようにしたので、隙間には
内側ケーシングの内から外へのエアの流れが常時発生し
ている。これにより、隙間があってもその隙間から内側
ケーシング内に塵埃が侵入しないようにできる。
【0013】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
る被搬送物の防塵装置の好ましい実施の形態について詳
説する。
【0014】図1は本発明に係る被搬送物の防塵装置を
組み込んだ塗布ラインの搬送路部分を示した側面断面図
で、図2は正面断面図である。
【0015】図1に示すように、塗布ライン10全体
は、建屋12内に設けられた外側ケーシング14内に収
納され、図示しない塗布機で塗布液が塗布されたウエブ
16(被搬送物)は、乾燥器18を通って乾燥された
後、搬送路20を介して図示しない次の機器に搬送され
る。尚、外側ケーシング14内には、乾燥器18、搬送
路20以外にも他の装置が配設されるが図1では省略し
てある。
【0016】搬送路20には、ウエブ16を搬送する多
数のパスローラ22、22…が、外側ケーシング14の
天井14A近傍から床14B近傍まで配列され、縦方向
の搬送路20が形成される。そして、この搬送路20に
沿って、ウエブ16の入口24Aと出口24B、及びエ
ア供給口24Cとエア排出口24Dが形成された長尺状
の内側ケーシング24が設けられる。これにより、搬送
路20の防塵装置は、図2から分かるように、外側ケー
シング14と内側ケーシング24との二重ケーシング構
造を有して構成される。
【0017】内側ケーシング24のエア供給口24C
は、内側ケーシング24の上部に形成され、外側ケーシ
ング14の天井14A面開口に設けられた複数のフィル
タ付き吹出器26、26…の1つに接続される。そし
て、空調給気ダクト28から送気される空調エアは、そ
れぞれのフィルタ付き吹出器26の手前に設けられたバ
ルブ30、30…によりエア量が調整されると共に、フ
ィルタで濾過されて清浄エアとなって内側ケーシング2
4内に供給される。一方、内側ケーシング24のエア排
出口24Dは、内側ケーシング24の下部に形成され
る。これにより、内側ケーシング24に供給された清浄
エアは、内側ケーシング24内をダウンフローのエア流
となって流れる。
【0018】また、内側及び外側のケーシング14、2
4とパスローラ22との関係は、図2に示すように、外
側ケーシング14の内壁面に固定された軸受32、32
に支持されるローラジャーナル部22Aは、内側ケーシ
ング24の外側になるようにして、パスローラ22のロ
ーラシェル部22Bとウエブ16のみを内側ケーシング
24で囲むように構成される。このように、パスローラ
22のうちのウエブ16が接触するローラシェル部22
Bのみを内側ケーシング24内で囲むことにより、内側
ケーシング24を搬送路20に対応させて細長く且つ小
容積にすることができる。これにより、内側ケーシング
24内に供給された清浄エアの風速を落とさずに、且つ
清浄エアが流れないデッドゾーンを発生させないように
できる。従って、少ない清浄エアで内側ケーシング24
内のクリーン度を効率的に上げることができる。また、
塵埃が発生し易く、埃溜まりになり易い軸受32やロー
ラジャーナル部22Aを内側ケーシング24の外に位置
させることで、内側ケーシング24内のクリーン度を一
層高く維持することができる。更には、前記したように
清浄エアが内側ケーシング24内をダウンフローするの
で、このダウンフローにより内側ケーシング24内の塵
埃を効率的に除塵することができる。
【0019】このように、軸受32を外側ケーシング1
4の内壁面に固定し、内側ケーシング24でローラシェ
ル部22Bとウエブ16のみを囲む構成においては、内
側ケーシング24とパスローラ22のローラジャーナル
部22Aとの間に、回転を阻害しないための隙間34、
34が形成される。しかし、内側ケーシング24内には
清浄エアが供給されることにより、ロールジャーナル部
22Aの隙間34には、内側ケーシング24の内から外
へのエアの流れが常時発生している。従って、軸受32
やローラジャーナル部22Aで発生した塵埃が内側ケー
シング24内に侵入することはない。
【0020】更に、図2に示すように、内側ケーシング
24の内と外には、内側ケーシング24の内と外の圧力
差を検出する複数の微差圧計36、36…が設けられ、
その検出結果が監視モニター38により監視される。そ
して、微差圧計36の検出結果に基づいて内側ケーシン
グ24の内側圧力が外側圧力よりも高くなるように維持
されるようにし、外側ケーシング14内のエアが内側ケ
ーシング24内に侵入しないようにする。外側ケーシン
グ14の内と外に、同様の微差圧計40、40と監視モ
ニター42を設けて、外側ケーシング14の内側の圧力
が外側の圧力よりも高くなるようにすると一層よい。内
側ケーシング24内の内側圧力を外側圧力よりも高くす
る手段としては、内側ケーシング24内に供給する清浄
エアの供給量を多くすることでも可能である。しかし、
清浄エアの使用量削減の観点からは、内側ケーシング2
4のエア排出口24D、及びウエブ16の入口24A、
出口24B、ローラジャーナル部22Aの隙間34等の
開口部の開口量を調整する開口量調整手段(図示せず)
を設け、開口量を調整することで内側ケーシング24内
の圧力を高めることが得策である。開口量調整手段とし
ては、例えば、開口量可変可能なスリット板や割りプレ
ート等を開口部に設ける方法がある。各開口部に設けた
開口量調整手段の開口量調整は、それぞれ個別に行うこ
とができるが、内側ケーシング24に供給する清浄エア
の供給量は、微差圧計36を見て調整することが好まし
い。監視モニター38と内側ケーシング24へのエア供
給量を調整するバルブ30とを信号ケーブル又は無線で
繋いで、内側ケーシング24の清浄エアの給・排気量を
遠隔操作できるようにすると便利である。
【0021】ここで使用する内側ケーシング24の材質
としては、内側ケーシング24の内部が透視できるよう
に透明プラスチック製とすると共に内側ケーシング24
の複数箇所に開閉式のメンテナンス窓を設けることが好
ましい。これにより、内側ケーシング24内のクリーン
状態が明瞭になると共にメンテナンスが容易になる。ま
た、内側ケーシング24を簡単に分割できるように、1
m程度の長さの複数の単位ケーシング24E同士を連結
する構成とし、単位ケーシング24E同士を段差・パッ
チン錠を利用したワンタッチ着脱機構により着脱できる
ようにすることが好ましい。これにより、内側ケーシン
グ24の掃除等のメンテナンスが容易になる。更には、
内側ケーシング24の各コーナ部24Fは、図2に示す
ように塵埃の溜まりにくいR形状にすることが好まし
い。
【0022】ところで、図1で示した外側ケーシング1
4の複数のフィルタ付き吹出器26のうち、内側ケーシ
ング24に接続されていない他のフィルタ付き吹出器2
6は、外側ケーシング14内のクリーン度に維持するた
めに使用される。この場合、ウエブ16が塵埃に最も晒
され易い搬送路20は、内側ケーシング24で囲まれて
いるので、外側ケーシング14内のクリーン度の程度
は、塗布ライン10全体をケーシングで囲む従来の方式
に比べて低くすることができる。また、内側ケーシング
24は搬送路20のみを囲む小容積のケーシングでよい
ので、少ない清浄エアで内側ケーシング24内のクリー
ン度を効率的にアップすることができる。従って、内側
ケーシング24と外側ケーシング14における清浄エア
使用量の合計を削減することができる。また、搬送路2
0をもうけることにより、フィルタ付き吹出器26の数
を大幅に削減できるので、防塵設備費用も大幅に削減す
ることができる。
【0023】尚、本実施の形態は、本発明の搬送路の防
塵装置を、塗布ラインに組み込んだ例で説明したが、印
刷ラインでもよく、或いは他のラインでもよい。要は、
嫌塵ラインに被搬送物の搬送路があるものであれば適用
できる。従って、被搬送物もウエブである必要はない。
【0024】
【実施例】表1の実施例は、塗布ライン全体を外側ケー
シングで囲むと共にパスローラで構成される搬送路を内
側ケーシングで囲むことにより二重ケーシング構造とし
た本発明の搬送路の防塵装置である。一方、表1の比較
例は、塗布ライン全体をケーシングで囲んだだけの従来
の搬送路の防塵装置の場合である。
【0025】そして、実施例及び比較例について、塗布
ラインの中でウエブが塵埃に最も晒され易く、高いクリ
ーン度が要求される搬送路の防塵クラスをクラス10と
するための防塵設備費用、動力消費量を比較した。防塵
設備費用、動力消費量の対比は、比較例を100とした
ときの実施例の比率で示した。
【0026】
【表1】
【0027】その結果、表1から分かるように、搬送路
の防塵クラスをクラス10とするための防塵設備費用
は、比較例の100に対して本発明は22となった。こ
の結果から、本発明の搬送路の防塵装置を採用すること
により、防塵設備費用を従来の1/4〜1/5に低減す
ることができる。これは、塗布ライン全体をケーシング
で囲む従来の場合には、ケーシング内全体のクリーン度
を、高いクリーン度が要求される搬送路のクリーン度に
合わせなくてはならず、ケーシングの天井面に多数のフ
ィルタ付き吹出器を設ける必要がある。これに対し、塗
布ラインの中でウエブが塵埃に最も晒され易く、高いク
リーン度が要求される搬送路を、内側ケーシング内で囲
み、外側ケーシングとは区画することにより、ケーシン
グの天井面に多数のフィルタ付き吹出器を大幅に削減し
ても、搬送路のクリーン度を低下させないようにでき
る。これにより、本発明は、比較例に比べてフィルタ付
き吹出器の設置数が少なくても同じクリーン度を維持す
ることができるので、防塵設備費用を大幅に削減でき
る。
【0028】また、動力消費量は、清浄エアの使用量に
略対応するが、比較例の100に対して実施例は81と
なり、本発明の搬送路の防塵装置を採用することによ
り、ランニングコストの面でも削減することができる。
【0029】更に、防塵で最も注意を払わなくてはなら
ないのは、作業者自身による汚染である。通常、塗布ラ
インの運転中は外側ケーシング内への作業者の立ち入り
は極力避けるようにしているが、故障等により立ち入り
する場合がある。この場合、従来の塗布ライン全体をケ
ーシングで囲む方法では、搬送路の塵埃クラスが悪化
し、搬送路を搬送されるウエブの防塵が不十分であっ
た。これに対し、本発明の防塵装置の場合、作業者が外
側ケーシング内に短時間立ち入っても搬送路の塵埃クラ
スの悪化が殆ど認められなかった。これにより、搬送路
を搬送されるウエブの防塵を確実に行うことができた。
【0030】また、搬送路の掃除は、塵埃クラスの悪化
に伴って行われるが、本発明の防塵装置を採用すること
により掃除の頻度を減少でき、稼働効率の向上に貢献す
ることができた。外側ケーシング内の塵埃クラスは、従
来と大差ないが、肝心の内側ケーシング内の塵埃クラス
の悪化が殆どなく、内側ケーシングの外からの塵埃侵入
もないことから搬送路の掃除周期を大幅に延ばすことが
できた。
【0031】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の搬送路の
防塵装置によれば、塗布ライン、印刷ライン等の塵埃を
嫌うラインに設けられた搬送路を搬送される被搬送物
を、低コストで且つ効率的に防塵することができる。
【0032】これにより、従来と同じ防塵クラスを得る
ための防塵設備費用、動力消費量を大幅に削減すること
ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、本発明の搬送路の防塵装置を組み込ん
だ塗布ラインの側面断面図
【図2】図2は、本発明の搬送路の防塵装置を組み込ん
だ塗布ラインの正面断面図
【符号の説明】
10…塗布ライン、12…建屋、14…外側ケーシン
グ、16…ウエブ、18…乾燥器、20…搬送路、22
…パスローラ、22A…ローラジャーナル部、22B…
ローラシェル部、24…内側ケーシング、24A…ウエ
ブの入口、24B…ウエブの出口、24C…エア供給
口、24D…エア排出口、24E…単位ケーシング、2
4F…コーナ部、26…フィルタ付き吹出器、28…空
調給気ダクト、30…バルブ、32…軸受、34…ロー
ラジャーナル部の隙間、36、40…微差圧計、38、
42…監視モニター
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小川 朋成 静岡県富士宮市大中里200番地 富士写真 フイルム株式会社内 (72)発明者 小堂 厚司 静岡県富士宮市大中里200番地 富士写真 フイルム株式会社内 Fターム(参考) 3L058 BE02 BF08 BG04 3L113 AC31 BA28

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】搬送路を搬送される被搬送物を防塵する被
    搬送物の防塵装置において、 前記搬送路が設けられるライン全体を収納する外側ケー
    シングと、 前記搬送路に沿って設けられ、前記被搬送物の入口と出
    口及びエア供給口とエア排出口が形成された内側ケーシ
    ングと、 前記エア供給口に清浄エアを供給する清浄エア供給手段
    と、 を備え、前記被搬送物が前記内側ケーシング内を搬送さ
    れるようにしたことを特徴とする被搬送物の防塵装置。
  2. 【請求項2】前記搬送路を縦方向に配設すると共に、前
    記エア供給口を前記内側ケーシングの上部に形成し、前
    記エア排出口を前記内側ケーシングの下部に形成したこ
    とを特徴とする請求項1に記載の被搬送物の防塵装置。
  3. 【請求項3】前記内側ケーシングの内と外との圧力差を
    検出する微差圧計を設け、前記微差圧計の検出結果に基
    づいて前記内側ケーシング内の圧力が外の圧力よりも高
    くなるようにしたことを特徴とする請求項1又は2に記
    載の被搬送物の防塵装置。
  4. 【請求項4】前記搬送路は複数のパスローラを配列して
    構成されると共に、前記各パスローラのローラシェル部
    と前記被搬送物のみを前記内側ケーシングで囲むように
    したことを特徴とする請求項1〜3の何れか1に記載の
    被搬送物の防塵装置。
  5. 【請求項5】前記内側ケーシングと前記パスローラのロ
    ーラジャーナル部との間に形成される隙間から、前記内
    側ケーシング内に供給した清浄エアの一部が排出される
    ようにしたことを特徴とする請求項4に記載の被搬送物
    の防塵装置。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005282953A (ja) * 2004-03-30 2005-10-13 Takasago Thermal Eng Co Ltd 差圧装置
JP2011202837A (ja) * 2010-03-25 2011-10-13 Fujifilm Corp フイルム搬送装置及び方法、フイルム製造装置及び方法
CN104162908A (zh) * 2013-05-16 2014-11-26 川崎重工业股份有限公司 具有清洁功能的板材切断装置
CN112850024A (zh) * 2021-03-05 2021-05-28 苏州市力神起重运输机械制造有限公司 一种胶带输送机防尘装置

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005282953A (ja) * 2004-03-30 2005-10-13 Takasago Thermal Eng Co Ltd 差圧装置
JP4651963B2 (ja) * 2004-03-30 2011-03-16 高砂熱学工業株式会社 差圧装置
JP2011202837A (ja) * 2010-03-25 2011-10-13 Fujifilm Corp フイルム搬送装置及び方法、フイルム製造装置及び方法
CN104162908A (zh) * 2013-05-16 2014-11-26 川崎重工业股份有限公司 具有清洁功能的板材切断装置
CN112850024A (zh) * 2021-03-05 2021-05-28 苏州市力神起重运输机械制造有限公司 一种胶带输送机防尘装置
CN112850024B (zh) * 2021-03-05 2022-06-21 苏州市力神起重运输机械制造有限公司 一种胶带输送机防尘装置

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