JP2003017855A - Manufacturing method of multilayer printed-wiring board - Google Patents

Manufacturing method of multilayer printed-wiring board

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JP2003017855A
JP2003017855A JP2001199733A JP2001199733A JP2003017855A JP 2003017855 A JP2003017855 A JP 2003017855A JP 2001199733 A JP2001199733 A JP 2001199733A JP 2001199733 A JP2001199733 A JP 2001199733A JP 2003017855 A JP2003017855 A JP 2003017855A
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copper foil
wiring board
resin
wiring
multilayer printed
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Hideaki Fukuju
英明 福寿
Hiroshi Fukukawa
弘 福川
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Kyocera Chemical Corp
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Kyocera Chemical Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing a multilayer printed-wiring board suing an interlayer connection system due to a conductive bump with proper productivity and at a low cost. SOLUTION: A wiring board 13 has wiring layers 12 on both main surfaces, and forms a conductive bump 14 at a specific position on the wiring layers. Resin sheets 17 and 18 with copper foil have a resin layer on one main surface of the copper foil. Each conductive bump formation surface is made to oppose each resin layer of each of resin sheets 17 and 18 with copper foil for passing between a pair of heating and pressing rollers, thus heating and pressing the wiring board 13 and resin sheets 17 and 18 in one piece, and hence forming a laminated sheet, where the tip of the conductive bump 14 passes through the resin layer of each of the resin sheets with copper foil for joining to the copper foil.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、多層プリント配線
板の製造方法に係り、さらに詳しくは、いわゆる導電性
バンプによる層間接続部を備えた多層プリント配線板の
製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a multilayer printed wiring board, and more particularly to a method for manufacturing a multilayer printed wiring board having an interlayer connecting portion formed by so-called conductive bumps.

【0002】[0002]

【従来の技術】マルチメディア時代に対応して、半導体
ICの高集積化が一段と進んでおり、それに伴い、小型
化、薄型化、軽量化、高密度化、低コスト化など、プリ
ント配線板に対する要求もますます厳しいものとなって
きている。
2. Description of the Related Art In response to the multimedia era, semiconductor ICs are becoming more highly integrated, and along with this, miniaturization, thinning, weight reduction, high density, cost reduction, etc. are applied to printed wiring boards. The demands are becoming more stringent.

【0003】このような要求に応えるものとして、ビル
ドアップ型多層プリント配線板と称する基板技術が開発
され、なかでも、銅箔に突起状の導電性バンプを形成
し、この導電性バンプを絶縁性のシートの厚さ方向に貫
通させて層間の電気的な接続を行う方式のものが注目さ
れている。
In order to meet such a demand, a substrate technology called a build-up type multilayer printed wiring board has been developed. Among them, a projecting conductive bump is formed on a copper foil, and the conductive bump is insulated. Attention has been paid to a method of making an electrical connection between layers by penetrating the sheet in the thickness direction.

【0004】図5に、この方式によるビルドアップ型多
層プリント配線板の代表的な製造工程の例を示す。同図
に示すように、この例においては、まず、両面銅張積層
板などを用いて両面に第1および第2の配線層101、
102が設けられた配線基板103を用意する(図5
(a))。
FIG. 5 shows an example of a typical manufacturing process of a build-up type multilayer printed wiring board according to this method. As shown in the figure, in this example, first, a double-sided copper-clad laminate is used to form the first and second wiring layers 101 on both surfaces,
A wiring board 103 provided with 102 is prepared (FIG. 5).
(A)).

【0005】一方、銅箔104を用意し、その所定位置
に銀ペーストなどの導電性ペーストを印刷し硬化させて
導電性バンプ105を形成する(図5(b))。
On the other hand, a copper foil 104 is prepared, and a conductive paste such as a silver paste is printed and cured at a predetermined position on the copper foil 104 to form a conductive bump 105 (FIG. 5B).

【0006】次いで、この導電性バンプ105の形成面
上に絶縁シート(例えばプリプレグ)106を積層し加
圧して、導電性バンプ105を絶縁シート106に貫通
させるとともに、露出した導電性バンプ105の先端が
圧潰されるように塑性変形させる(図5(c))。
Next, an insulating sheet (for example, prepreg) 106 is laminated on the surface on which the conductive bumps 105 are formed, and pressure is applied to penetrate the conductive bumps 105 into the insulating sheet 106 and the exposed tips of the conductive bumps 105. Is plastically deformed so as to be crushed (FIG. 5 (c)).

【0007】続いて、このように銅箔105と絶縁シー
ト106を一体化した積層体を、配線基板103と、導
電性バンプ105の先端と配線基板103に設けられた
第1の配線層101が対向するように積層し、加熱加圧
を行う(図5(d))。この加熱加圧により、絶縁シー
ト106が硬化して、銅箔104および絶縁シート10
6からなる積層体と配線基板103とが一体化されると
ともに、導電性バンプ105の先端が第1の配線層10
1に接合される。
Subsequently, the laminated body in which the copper foil 105 and the insulating sheet 106 are integrated as described above is formed on the wiring board 103, the tips of the conductive bumps 105, and the first wiring layer 101 provided on the wiring board 103. The layers are laminated so as to face each other, and heated and pressed (FIG. 5D). By this heating and pressing, the insulating sheet 106 is cured, and the copper foil 104 and the insulating sheet 10 are
6 is integrated with the wiring board 103, and the tips of the conductive bumps 105 are formed on the first wiring layer 10.
It is joined to 1.

【0008】この後、銅箔104に常法によりパターニ
ングを行い第3の配線層107を形成することにより、
第1の配線層101と第3の配線層107が導電性バン
プ105により層間接続された多層プリント配線板が得
られる(図5(e))。
Thereafter, the copper foil 104 is patterned by a conventional method to form the third wiring layer 107,
A multilayer printed wiring board in which the first wiring layer 101 and the third wiring layer 107 are interlayer-connected by the conductive bumps 105 is obtained (FIG. 5 (e)).

【0009】なお、より配線層の多い多層プリント配線
板を製造する場合には、配線基板103としてより多層
の配線基板を用いるか、あるいは、第2の配線層102
や第3の配線層107上に上記と同様にして第4、第5
……の配線層をさらに設ける。
When manufacturing a multilayer printed wiring board having more wiring layers, a wiring board having more layers is used as the wiring board 103, or the second wiring layer 102 is used.
And the fourth and fifth wiring layers 107 on the third wiring layer 107 in the same manner as above.
Further wiring layers are provided.

【0010】このように形成される多層プリント配線板
は、配線層間の接続抵抗が小さく、また、ランドパター
ンの微細化を図ることができるため、高密度配線、高密
度実装が可能で、しかも、他の方式に比べ、製造工程や
その管理も容易であるなどの特徴を有している。
The multilayer printed wiring board thus formed has a low connection resistance between the wiring layers and can make the land pattern finer, so that high-density wiring and high-density mounting are possible. Compared to other methods, it has features such as easy manufacturing process and management.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな方式では、生産性やコストの面でなお改善すべき点
があった。
However, in such a method, there are still points to be improved in terms of productivity and cost.

【0012】すなわち、上記方式では、図4(d)に示
す加熱加圧工程は、銅箔105と絶縁シート106との
積層体を配線基板103と積層し、これらを加熱加圧プ
レス装置の熱盤間にクッション材を介して挟み込み、加
熱加圧することにより行われている。このような加熱加
圧プレス装置を用いる方法は、時間がかかり生産性の点
で不利である。また、クッション材などの副資材を必要
するため、製造コストも高くなる。
That is, in the above-mentioned method, in the heating / pressurizing step shown in FIG. 4 (d), a laminated body of the copper foil 105 and the insulating sheet 106 is laminated on the wiring board 103, and these are heated by the heating / pressurizing device. It is performed by sandwiching it between the boards via a cushion material and applying heat and pressure. The method using such a heating / pressing apparatus is time-consuming and disadvantageous in terms of productivity. Moreover, since auxiliary materials such as a cushion material are required, the manufacturing cost becomes high.

【0013】本発明はこのような点に対処してなされた
もので、導電性バンプによる層間接続方式を用いた多層
プリント配線板を生産性よく、かつ、低コストで製造す
ることができる多層プリント配線板の製造方法を提供す
ることを目的とする。
The present invention has been made in consideration of such a point, and a multilayer printed wiring board using an interlayer connection system using conductive bumps can be manufactured with high productivity and at low cost. It is an object to provide a method for manufacturing a wiring board.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記の目
的を達成するため鋭意研究を重ねた結果、配線層上に予
め層間接続のための導電性バンプを形成した配線基板
と、後述するような銅箔付き樹脂シートとを、加熱加圧
ローラ間に通過させて一体化させることにより、上記目
的が達成されることを見出し、本発明を完成したもので
ある。
The inventors of the present invention have conducted extensive studies to achieve the above object, and as a result, a wiring board having conductive bumps previously formed for interlayer connection on a wiring layer, and The present invention has been completed by finding that the above-mentioned object can be achieved by passing such a copper foil-containing resin sheet between heating and pressure rollers and integrating them.

【0015】すなわち、上記課題を解決するため、本願
の請求項1に記載された発明は、一主面に配線層を有し
この配線層上の所定位置に導電性バンプを形成してなる
配線基板と、銅箔の一主面に樹脂層を備えてなる銅箔付
き樹脂シートを、前記導電性バンプ形成面と前記樹脂層
を対向させて一対の加熱加圧ローラ間に通過させること
により一体に加熱加圧して、前記導電性バンプの先端が
前記銅箔付き樹脂シートの樹脂層を貫通して前記銅箔に
接合した積層板を形成する工程を含むことを特徴とする
多層プリント配線板の製造方法である。
That is, in order to solve the above-mentioned problems, the invention described in claim 1 of the present application is a wiring having a wiring layer on one main surface and forming conductive bumps at predetermined positions on the wiring layer. A substrate and a resin sheet with a copper foil having a resin layer on one principal surface of the copper foil are integrated by passing the conductive bump forming surface and the resin layer between a pair of heating and pressing rollers. Of the multi-layer printed wiring board, which comprises heating and pressurizing to form a laminated board in which the tip of the conductive bump penetrates the resin layer of the resin sheet with the copper foil and is bonded to the copper foil. It is a manufacturing method.

【0016】上記課題を解決するため、両主面に配線層
を有しこれらの各配線層上の所定位置に導電性バンプを
形成してなる配線基板と、銅箔の一主面に樹脂層を備え
てなる銅箔付き樹脂シート2枚を、前記各導電性バンプ
形成面と前記各銅箔付き樹脂シートの樹脂層をそれぞれ
対向させて一対の加熱加圧ローラ間に通過させることに
より一体に加熱加圧して、前記導電性バンプの先端が対
向する前記銅箔付き樹脂シートの樹脂層を貫通して前記
銅箔に接合した積層板を形成する工程を含むことを特徴
とする多層プリント配線板の製造方法である。
In order to solve the above problems, a wiring substrate having wiring layers on both main surfaces and conductive bumps formed at predetermined positions on each of these wiring layers, and a resin layer on one main surface of a copper foil. Two resin sheets with a copper foil, each of which is provided with the above, are passed integrally between a pair of heating and pressing rollers with the conductive bump formation surface and the resin layer of each of the resin sheets with a copper foil facing each other. A multilayer printed wiring board comprising a step of heating and pressurizing to form a laminated board bonded to the copper foil by penetrating a resin layer of the resin sheet with the copper foil facing the tips of the conductive bumps. Is a manufacturing method.

【0017】請求項1および請求項2記載の発明の多層
プリント配線板の製造方法においては、配線基板と銅箔
付き樹脂シートが一対の加熱加圧ローラ間を通過する間
に加熱加圧されて一体化されるとともに、導電性バンプ
の先端が銅箔付き樹脂シートの樹脂層を貫通して銅箔に
接合される。したがって、従来の加熱加圧プレス装置を
用いる方法に比べ、加熱加圧成形工程に要する時間を短
縮することができ、生産性を高めることができる。ま
た、従来の方法のようにクッション材などの副資材を必
要としないため、製造コストも低減することができる。
In the method for manufacturing a multilayer printed wiring board according to the first and second aspects of the present invention, the wiring board and the resin sheet with copper foil are heated and pressed while passing between a pair of heating and pressing rollers. While being integrated, the tips of the conductive bumps penetrate the resin layer of the resin sheet with copper foil and are bonded to the copper foil. Therefore, the time required for the heating and pressurizing step can be shortened and the productivity can be improved as compared with the conventional method using the heating and pressurizing apparatus. Further, unlike the conventional method, auxiliary materials such as a cushion material are not required, so that the manufacturing cost can be reduced.

【0018】本発明において、前記配線基板は、請求項
3に記載したように、少なくとも1つの内層配線層を有
していてもよい。
In the present invention, the wiring board may have at least one inner wiring layer as described in claim 3.

【0019】また、前記導電性バンプの形成は、請求項
4に記載したように、導電性ペーストをスクリーン印刷
し硬化させる方法を用いることができる。このような方
法によれば、銅箔との接合面積を従来より小さくするこ
とができ、ランド面積を縮小して配線パターンのさらな
るファインパターン化を図ることができる。
The conductive bumps can be formed by a method of screen-printing and hardening a conductive paste as described in claim 4. According to such a method, the bonding area with the copper foil can be made smaller than in the conventional case, and the land area can be reduced to achieve a finer wiring pattern.

【0020】[0020]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照しながら説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0021】図1は、本発明に係る多層プリント配線板
の製造方法の一実施形態を模式的に示す図である。
FIG. 1 is a diagram schematically showing an embodiment of a method for manufacturing a multilayer printed wiring board according to the present invention.

【0022】本実施形態においては、まず、両主面に配
線層11、12を有する配線基板13の各配線層11、
12上に、導電性ペーストをスクリーン印刷して円錐状
の導電性バンプ14を形成する(図1(a))。
In this embodiment, first, each wiring layer 11 of the wiring substrate 13 having the wiring layers 11 and 12 on both main surfaces,
A conductive paste is screen-printed on 12 to form conical conductive bumps 14 (FIG. 1A).

【0023】配線基板13としては、従来より多層プリ
ント配線板の材料として使用されている、両面に銅箔を
貼り合わせたガラスエポキシ銅張積層板やガラスポリイ
ミド銅張積層板などの両面銅張積層板の両面の銅箔に所
要の配線パターンを形成したもの、あるいは、その片面
もしくは両面に絶縁シートを介して銅箔をさらに積層一
体化して多層化し、それらの銅箔に所要の配線パターン
を形成したものなどが使用される。
The wiring board 13 is a double-sided copper-clad laminate such as a glass epoxy copper-clad laminate or a glass-polyimide copper-clad laminate which is conventionally used as a material for a multilayer printed wiring board and has copper foils bonded to both sides. A board with the required wiring pattern formed on both sides of the board, or one layer or both sides of which copper foil is further laminated and integrated through an insulating sheet to form a multilayer, and the required wiring pattern is formed on those copper foils. Used are used.

【0024】また、導電性バンプ14の形成に使用する
導電性ペーストとしては、銀、金、銅、ニッケル、白
金、タングステン、モリブデン、パラジウム、ロジウ
ム、半田粉などから選ばれた少なくとも1種の導電性粉
末と、ポリカーボネート樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリ
エステル樹脂、フェノキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリ
イミド樹脂などの樹脂系またはガラスフリット系のバイ
ンダ成分とを混合したものなどが挙げられる。
The conductive paste used for forming the conductive bumps 14 is at least one conductive material selected from silver, gold, copper, nickel, platinum, tungsten, molybdenum, palladium, rhodium, solder powder and the like. And a resin frit such as a polycarbonate resin, a polysulfone resin, a polyester resin, a phenoxy resin, a phenol resin, or a polyimide resin, or a glass frit binder component.

【0025】なお、導電性バンプ14は、上記のような
導電性ペーストをスクリーン印刷する方法の他、銅、
金、銀、錫、半田などの金属をメッキするいわゆる電鋳
法、同様の金属からなる層を設けエッチングするいわゆ
るエッチング法、同様の金属からなる細線を接合させる
方法などにより形成するようにしてもよい。
The conductive bumps 14 can be formed by copper, in addition to the above-described method of screen-printing the conductive paste.
It may be formed by a so-called electroforming method of plating a metal such as gold, silver, tin or solder, a so-called etching method of forming a layer made of a similar metal and etching, a method of joining fine wires made of a similar metal, or the like. Good.

【0026】しかしながら、導電性ペーストをスクリー
ン印刷する方法では、導電性バンプ14は、少なくとも
底面の面積が先端部より大きい形状(通常、円錐状)に
形成されるため、ランド面積を縮小することができ、そ
れにより配線パターンのさらなる微細化を図ることがで
きるため、高密度化の点でより有利である。
However, in the method of screen-printing the conductive paste, since the conductive bumps 14 are formed in a shape in which at least the bottom surface is larger than the tip (usually a conical shape), the land area can be reduced. Since it is possible to further miniaturize the wiring pattern, it is more advantageous in terms of high density.

【0027】次に、このように導電性バンプ14が形成
された配線基板13を、銅箔17a、18aの一主面に
樹脂層17b、18bを設けた銅箔付き樹脂シート1
7、18と、導電性バンプ形成面15、16と各樹脂層
17b、18bを対向させて一対の加熱加圧ローラ間に
通過させることにより一体に加熱加圧して、導電性バン
プ14の先端が各銅箔付き樹脂シート17、18の各樹
脂層17b、18bを貫通して各銅箔17a、18aに
接合した積層板19を得る(図1(b))。
Next, the wiring board 13 on which the conductive bumps 14 are formed in this manner is used as a resin sheet 1 with a copper foil in which resin layers 17b and 18b are provided on one main surface of the copper foils 17a and 18a.
7, 18 and the conductive bump forming surfaces 15 and 16 and the resin layers 17b and 18b are opposed to each other and passed between a pair of heating and pressing rollers to integrally heat and press the tips of the conductive bumps 14. A laminated board 19 is obtained which penetrates through the resin layers 17b and 18b of the resin sheets 17 and 18 with copper foils and is bonded to the copper foils 17a and 18a (FIG. 1 (b)).

【0028】この工程の実施にあたっては、例えば図2
に示すような装置を使用することができる。すなわち、
図2は、本工程に使用される装置の一例を概略的に示す
図である。図2において、201および202は、1対
の加熱加圧ローラを示し、その両側には、導電性バンプ
14が形成された配線基板13を図面矢印方向へと搬送
する搬送コンベア203、204が配設されている。ま
た、これらの搬送コンベア203、204の上流側の搬
送コンベア203の上方および下方には、銅箔付き樹脂
シート17、18を供給するための銅箔付き樹脂シート
供給ローラ205、206が配置されている。
In carrying out this process, for example, as shown in FIG.
A device as shown in can be used. That is,
FIG. 2 is a diagram schematically showing an example of an apparatus used in this step. In FIG. 2, 201 and 202 denote a pair of heating and pressing rollers, and on both sides thereof, conveyors 203 and 204 for conveying the wiring board 13 on which the conductive bumps 14 are formed are conveyed in the arrow direction of the drawing. It is set up. Further, resin sheet supply rollers 205 and 206 with copper foil for supplying the resin sheets 17 and 18 with copper foil are arranged above and below the conveyor 203 on the upstream side of the conveyors 203 and 204. There is.

【0029】このような装置においては、導電性バンプ
14が形成された配線基板13は、搬送コンベア203
によって搬送され、銅箔付き樹脂シート供給ローラ20
5、206から引き出された銅箔付き樹脂シート17、
18とともに、各導電性バンプ形成面15、16と各銅
箔付き樹脂シート17、18の樹脂層17b、18bが
対向した状態で1対の加熱加圧ローラ201、202間
に通され、一体に加熱加圧されて、導電性バンプ14の
先端が各銅箔付き樹脂シート17、18の各樹脂層17
b、18bを貫通して各銅箔17a、18aに接合した
積層板19とされ、搬送コンベア204によって搬送さ
れる。
In such an apparatus, the wiring board 13 on which the conductive bumps 14 are formed is transferred to the transfer conveyor 203.
The resin sheet supply roller 20 with the copper foil
Resin sheet 17 with copper foil drawn out from 5, 206,
Along with 18, the conductive bump forming surfaces 15 and 16 and the resin layers 17b and 18b of the resin sheets 17 and 18 with copper foils are passed between a pair of heating and pressing rollers 201 and 202 so as to be integrated. When heated and pressed, the tips of the conductive bumps 14 have respective resin layers 17 of the resin sheets 17 and 18 with copper foils.
The laminated plate 19 is formed by penetrating b and 18b and joined to the copper foils 17a and 18a, and is conveyed by the conveyer conveyor 204.

【0030】なお、ここで使用する銅箔付き樹脂シート
17、18としては、銅箔の一主面に、例えば、半硬化
状態に保持されたエポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、これ
らの変性樹脂などの熱硬化性樹脂、あるいは、ポリカー
ボネート樹脂、ポリスルホン樹脂、熱可塑性ポリイミド
樹脂、4フッ化ポリエチレン樹脂、6フッ化ポリプロピ
レン樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂などの熱可
塑性樹脂からなる、厚さ30μm〜200μm程度の樹脂層
を設けたものが挙げられる。樹脂層には、絶縁性の無機
系もしくは有機系の充填剤を含有していてもよい。
As the resin sheets with copper foil 17 and 18 used here, for example, epoxy resin, polyimide resin, and their modified resins, which are held in a semi-cured state, are formed on one main surface of the copper foil. A resin having a thickness of about 30 μm to 200 μm, which is made of a curable resin or a thermoplastic resin such as a polycarbonate resin, a polysulfone resin, a thermoplastic polyimide resin, a tetrafluoropolyethylene resin, a hexafluoropolypropylene resin, or a polyetheretherketone resin. The thing which provided the layer is mentioned. The resin layer may contain an insulating inorganic or organic filler.

【0031】このようにして得られた積層板19は、必
要に応じて、加熱室に収容するなどして、銅箔付き樹脂
シート17、18の樹脂層17a、18aを十分に硬化
させた後、各銅箔17a、18aを常法によりパターニ
ングして所要の配線層20、21を形成し、多層プリン
ト配線板を得る(図1(c))。
The laminated plate 19 thus obtained is housed in a heating chamber, if necessary, to sufficiently cure the resin layers 17a and 18a of the resin sheets 17 and 18 with copper foil. The respective copper foils 17a, 18a are patterned by a conventional method to form the required wiring layers 20, 21 to obtain a multilayer printed wiring board (FIG. 1 (c)).

【0032】このような製造方法においては、各配線層
11、12上に導電性バンプ14を形成した配線基板1
3と銅箔付き樹脂シート17、18を一対の加熱加圧ロ
ーラ201、202間に通過させることにより加熱加圧
して一体化させるので、従来の加熱加圧プレス装置を用
いる方法に比べ、加熱加圧一体化工程に要する時間を短
縮することができ、生産性を高めることができる。ま
た、従来の方法のようにクッション材などの副資材を必
要としないため、製造コストも低減することができる。
In such a manufacturing method, the wiring board 1 in which the conductive bumps 14 are formed on the respective wiring layers 11 and 12
3 and the copper foil-attached resin sheets 17 and 18 are passed between a pair of heating and pressing rollers 201 and 202 to be heated and pressed to be integrated, so that heating and pressurizing devices are used in comparison with the conventional method. The time required for the pressure integration step can be shortened and the productivity can be improved. Further, unlike the conventional method, auxiliary materials such as a cushion material are not required, so that the manufacturing cost can be reduced.

【0033】特に、図1(b)に示す工程を図2に示す
装置を用いて行った場合には、配線基板13と銅箔付き
樹脂シート17、18の、積層と一体化を同時に行うこ
とができるだけでなく、複数の配線基板13に対し銅箔
付き樹脂シート17、18を連続的に積層一体化するこ
とができるため、製造効率をより高めることができる。
In particular, when the step shown in FIG. 1B is performed using the apparatus shown in FIG. 2, the wiring board 13 and the resin sheets 17 and 18 with copper foil should be laminated and integrated at the same time. In addition, the resin sheets 17 and 18 with copper foil can be continuously laminated and integrated on the plurality of wiring boards 13, so that the manufacturing efficiency can be further improved.

【0034】なお、以上説明した例では、配線基板13
の両主面上に2つの配線層20、21を一括して多層化
しているが、本発明においては、まず、配線基板13の
一方の配線層11上に導電性バンプ14を形成し、この
両導電性バンプ形成面15に銅箔付き樹脂シート17を
積層し一体化した後、他方の配線層12上に同様に導電
性バンプ14を形成し、この両導電性バンプ形成面16
に銅箔付き樹脂シート18を積層して一体化するように
してもよい。
In the example described above, the wiring board 13
The two wiring layers 20 and 21 are collectively multilayered on both main surfaces of the above. In the present invention, first, the conductive bump 14 is formed on one wiring layer 11 of the wiring substrate 13, and After the copper foil-coated resin sheet 17 is laminated and integrated on both conductive bump forming surfaces 15, conductive bumps 14 are similarly formed on the other wiring layer 12, and both conductive bump forming surfaces 16 are formed.
Alternatively, the resin sheet with copper foil 18 may be laminated and integrated.

【0035】また、本発明においては、図3に示すよう
に、配線基板13の一方の配線層11上にのみ新たな配
線層20を設けるようにしてもよい。
Further, in the present invention, as shown in FIG. 3, a new wiring layer 20 may be provided only on one wiring layer 11 of the wiring board 13.

【0036】また、必要ならば、このようにして形成さ
れた配線層20、21上にさらに、上記と同様の工程を
繰り返すようにしてもよく、より配線層の多い多層プリ
ント配線板を得ることができる。図4は、このような方
法によって製造された多層プリント配線板の一例を示し
たもので、前記実施形態で得られた多層プリント配線板
の配線層20、21上にさらに新たな配線層22、23
が設けられており、かつ、配線層20と配線層22間お
よび配線層21と配線層23間が、それぞれ配線層2
0、21上に設けられた導電性バンプ14によって電気
的に接合された構造を有している。なお、図4におい
て、24および25は、配線層22、23を形成するた
めに積層された、銅箔付き樹脂シート17、18と同様
に構成される銅箔付き樹脂シートを示している。
If necessary, the steps similar to those described above may be repeated on the wiring layers 20 and 21 thus formed to obtain a multilayer printed wiring board having more wiring layers. You can FIG. 4 shows an example of a multilayer printed wiring board manufactured by such a method, in which a new wiring layer 22, on the wiring layers 20 and 21 of the multilayer printed wiring board obtained in the above embodiment, 23
Are provided, and between the wiring layer 20 and the wiring layer 22 and between the wiring layer 21 and the wiring layer 23, respectively, the wiring layer 2
It has a structure in which it is electrically joined by the conductive bumps 14 provided on the parts 0 and 21. Note that, in FIG. 4, reference numerals 24 and 25 denote resin sheets with copper foil, which are laminated to form the wiring layers 22 and 23 and are configured in the same manner as the resin sheets with copper foil 17 and 18.

【0037】[0037]

【実施例】次に、本発明の実施例を記載する。EXAMPLES Next, examples of the present invention will be described.

【0038】実施例 エポキシビニルエステル樹脂(昭和高分子社製 商品名
VR-60M-3X;エポキシ基の33%をメタクリル酸でエステ
ル化したエポキシ樹脂)100重量部、ベンゾイルパーオ
キサイド(分解温度105℃)1重量部、および硬化剤とし
てジアミノジフェニルメタン3重量部を、メチルエチル
ケトンとエチルセロソルブの混合溶剤(混合重量比40:6
0)80重量部に溶解させた。この組成物を厚さ18μmの
銅箔の粗化面側にロールコータにより塗布し、130℃の
温度で加熱乾燥して半硬化させ、厚さ60μmの銅箔付き
樹脂シートを作製してロールに巻き取った。
Example Epoxy vinyl ester resin (trade name of Showa High Polymer Co., Ltd.
VR-60M-3X; 100 parts by weight of epoxy resin in which 33% of epoxy groups are esterified with methacrylic acid), 1 part by weight of benzoyl peroxide (decomposition temperature 105 ° C), and 3 parts by weight of diaminodiphenylmethane as a curing agent, methyl ethyl ketone And ethyl cellosolve mixed solvent (mixed weight ratio 40: 6
0) Dissolved in 80 parts by weight. This composition is applied to the roughened surface side of a copper foil having a thickness of 18 μm by a roll coater, dried by heating at a temperature of 130 ° C. and semi-cured, and a resin sheet with a copper foil having a thickness of 60 μm is produced and rolled. I wound up.

【0039】一方、予めスルーホール形成された、銅箔
厚さ18μm、板厚0.4mmのガラスエポキシ両面銅張積層
板(東芝ケミカル社製 商品名TLC-555M)の各銅箔を
パターニングして両面に配線層を有する配線基板を作成
した後、この両面配線基板の各配線層上の所要位置に、
導電性ペースト(東芝ケミカル社製 商品名MS-89)を
スクリーン印刷し、底面の直径約100μm、高さ約120μ
mの円錐状の導電性バンプを形成した。
On the other hand, each copper foil of a copper-epoxy double-sided copper-clad laminate (trade name TLC-555M manufactured by Toshiba Chemical Co., Ltd.) having a copper foil thickness of 18 μm and a plate thickness of 0.4 mm, which has been through-hole formed in advance, is patterned on both sides. After creating a wiring board having a wiring layer in, at the required position on each wiring layer of this double-sided wiring board,
Conductive paste (Toshiba Chemical Co., Ltd., trade name MS-89) is screen-printed to a bottom diameter of about 100 μm and a height of about 120 μ.
m conical conductive bumps were formed.

【0040】次いで、図2に示す装置により、上記配線
基板と2つのローラから引き出した上記銅箔付き樹脂シ
ートを、配線基板の各導電性バンプ形成面に各銅箔付き
樹脂シートの樹脂面をそれぞれ対向させて130℃に加熱
した加熱加圧ローラ間に通過させて一体化した後、所定
の大きさに裁断し、さらに160℃で1時間加熱した。冷却
後、両面の銅箔をパターニングして、厚さ0.48mmの4層
プリント配線板を得た。
Next, by using the apparatus shown in FIG. 2, the resin sheet with the copper foil pulled out from the wiring board and the two rollers is attached to the conductive bump forming surface of the wiring board with the resin surface of the resin sheet with the copper foil. After being passed between the heating and pressing rollers which are opposed to each other and heated to 130 ° C. to be integrated, they were cut into a predetermined size and further heated at 160 ° C. for 1 hour. After cooling, the copper foils on both sides were patterned to obtain a 4-layer printed wiring board having a thickness of 0.48 mm.

【0041】得られた4層プリント配線板について、導
通試験を行ったところ、全ての接続に不具合は認められ
なかった。
When a continuity test was conducted on the obtained four-layer printed wiring board, no problems were found in all the connections.

【0042】なお、本発明は、上記実施例に限定される
ものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で変形して
実施することができることはいうまでもない。
It is needless to say that the present invention is not limited to the above-mentioned embodiments and can be modified and carried out within the scope not departing from the spirit of the invention.

【0043】[0043]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の多層プリ
ント配線板の製造方法によれば、配線層上に予め層間接
続のための導電性バンプを形成した配線基板と銅箔付き
樹脂シートとを一対の加熱加圧ローラ間に通過させるこ
とにより加熱加圧して一体化させるので、従来の加熱加
圧プレス装置を用いる方法に比べ、加熱加圧成形工程に
要する時間を短縮することができ、生産性を高めること
ができる。また、従来の方法のようにクッション材など
の副資材を必要としないため、製造コストを低減するこ
とができる。
As described above, according to the method for manufacturing a multilayer printed wiring board of the present invention, a wiring board having conductive bumps previously formed on the wiring layer for interlayer connection and a resin sheet with a copper foil are provided. Since it is heated and pressed by passing it between a pair of heating and pressing rollers to be integrated, it is possible to reduce the time required for the heating and pressing molding process, as compared with the method using a conventional heating and pressing machine. Productivity can be increased. Further, unlike the conventional method, auxiliary materials such as a cushion material are not required, so that the manufacturing cost can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の多層プリント配線板の製造方法の一実
施形態を模式的に説明する図。
FIG. 1 is a diagram schematically illustrating an embodiment of a method for manufacturing a multilayer printed wiring board according to the present invention.

【図2】本発明に使用される装置の一例を概略的に示す
図。
FIG. 2 is a diagram schematically showing an example of an apparatus used in the present invention.

【図3】本発明の他の実施形態による多層プリント配線
板の一例を示す概略断面図。
FIG. 3 is a schematic sectional view showing an example of a multilayer printed wiring board according to another embodiment of the present invention.

【図4】本発明のさらに他の実施形態による多層プリン
ト配線板の一例を示す概略断面図。
FIG. 4 is a schematic sectional view showing an example of a multilayer printed wiring board according to still another embodiment of the present invention.

【図5】従来の多層プリント配線板の製造方法を模式的
に説明する図。
FIG. 5 is a diagram schematically illustrating a conventional method for manufacturing a multilayer printed wiring board.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11、12、20、21、22、23………配線層 13………配線基板 14………導電性バンプ 15、16………導電性バンプ形成面 17、18、24、25………銅箔付き樹脂シート 17a、18a………銅箔 17b、18b………樹脂層 201、202………加熱加圧ローラ 203、204………搬送コンベア 11, 12, 20, 21, 22, 23 ... Wiring layer 13 ………… Wiring board 14 ... Conductive bump 15, 16 ......... Conductive bump formation surface 17, 18, 24, 25 ... Resin sheet with copper foil 17a, 18a ......... Copper foil 17b, 18b ......... Resin layer 201, 202 ......... Heat pressure roller 203, 204 ... Transport conveyor

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 5E346 AA32 AA43 CC04 CC09 CC10 CC32 DD02 DD12 DD32 EE33 FF35 GG19 GG28 HH32    ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    F-term (reference) 5E346 AA32 AA43 CC04 CC09 CC10                       CC32 DD02 DD12 DD32 EE33                       FF35 GG19 GG28 HH32

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 一主面に配線層を有しこの配線層上の所
定位置に導電性バンプを形成してなる配線基板と、銅箔
の一主面に樹脂層を備えてなる銅箔付き樹脂シートを、
前記導電性バンプ形成面と前記樹脂層を対向させて一対
の加熱加圧ローラ間に通過させることにより一体に加熱
加圧して、前記導電性バンプの先端が前記銅箔付き樹脂
シートの樹脂層を貫通して前記銅箔に接合した積層板を
形成する工程を含むことを特徴とする多層プリント配線
板の製造方法。
1. A wiring board having a wiring layer on one main surface and conductive bumps formed at predetermined positions on the wiring layer, and a copper foil having a resin layer on one main surface of the copper foil. Resin sheet,
The conductive bump forming surface and the resin layer are opposed to each other and are heated and pressed together by passing between a pair of heating and pressing rollers, and the tips of the conductive bumps form the resin layer of the resin sheet with the copper foil. A method of manufacturing a multilayer printed wiring board, comprising the step of forming a laminated board that penetrates and is bonded to the copper foil.
【請求項2】 両主面に配線層を有しこれらの各配線層
上の所定位置に導電性バンプを形成してなる配線基板
と、銅箔の一主面に樹脂層を備えてなる銅箔付き樹脂シ
ート2枚を、前記各導電性バンプ形成面と前記各銅箔付
き樹脂シートの樹脂層をそれぞれ対向させて一対の加熱
加圧ローラ間に通過させることにより一体に加熱加圧し
て、前記導電性バンプの先端が対向する前記銅箔付き樹
脂シートの樹脂層を貫通して前記銅箔に接合した積層板
を形成する工程を含むことを特徴とする多層プリント配
線板の製造方法。
2. A wiring board having wiring layers on both main surfaces and conductive bumps formed at predetermined positions on each of these wiring layers; and copper having a resin layer on one main surface of a copper foil. The two resin sheets with foil are integrally heat-pressed by passing the conductive bump forming surface and the resin layer of each resin sheet with copper foil, respectively, and passing them between a pair of heating and pressing rollers. A method for manufacturing a multilayer printed wiring board, comprising the step of forming a laminated board bonded to the copper foil by penetrating a resin layer of the resin sheet with a copper foil, the tips of the conductive bumps facing each other.
【請求項3】 前記配線基板は、少なくとも1つの内層
配線層を有することを特徴とする請求項1または2記載
の多層プリント配線板の製造方法。
3. The method for manufacturing a multilayer printed wiring board according to claim 1, wherein the wiring board has at least one inner wiring layer.
【請求項4】 前記導電性バンプの形成は、導電性ペー
ストをスクリーン印刷し硬化させることからなることを
特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載の多層プ
リント配線板の製造方法。
4. The method for manufacturing a multilayer printed wiring board according to claim 1, wherein the conductive bumps are formed by screen-printing and curing a conductive paste.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007097366A1 (en) * 2006-02-21 2007-08-30 Nippon Steel Chemical Co., Ltd. Multilayer printed wiring board and method for manufacturing same
US7393720B2 (en) 2004-09-29 2008-07-01 Unimicron Technology Corp. Method for fabricating electrical interconnect structure
KR100887387B1 (en) 2007-08-24 2009-03-06 삼성전기주식회사 Apparatus and method for manufacturing printed circuit board
KR101009115B1 (en) * 2008-06-24 2011-01-18 삼성전기주식회사 A device comprising a release -elastic belt for manufacturing a printed circuit board
KR20220076002A (en) * 2020-11-30 2022-06-08 한국생산기술연구원 Thermo-compression Bonding Apparatus

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7393720B2 (en) 2004-09-29 2008-07-01 Unimicron Technology Corp. Method for fabricating electrical interconnect structure
WO2007097366A1 (en) * 2006-02-21 2007-08-30 Nippon Steel Chemical Co., Ltd. Multilayer printed wiring board and method for manufacturing same
KR101262135B1 (en) 2006-02-21 2013-05-14 신닛테츠 수미킨 가가쿠 가부시키가이샤 Multilayer printed wiring board and method for manufacturing same
KR100887387B1 (en) 2007-08-24 2009-03-06 삼성전기주식회사 Apparatus and method for manufacturing printed circuit board
KR101009115B1 (en) * 2008-06-24 2011-01-18 삼성전기주식회사 A device comprising a release -elastic belt for manufacturing a printed circuit board
KR20220076002A (en) * 2020-11-30 2022-06-08 한국생산기술연구원 Thermo-compression Bonding Apparatus
KR102513154B1 (en) 2020-11-30 2023-03-24 한국생산기술연구원 Thermo-compression Bonding Apparatus

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