JP4821276B2 - Multilayer printed wiring board manufacturing method and multilayer printed wiring board - Google Patents

Multilayer printed wiring board manufacturing method and multilayer printed wiring board Download PDF

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  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)

Description

本発明は、複数のプリント配線板が積層された多層プリント配線板の製造方法、及びその製造方法により製造される多層プリント配線板に関する。   The present invention relates to a method for manufacturing a multilayer printed wiring board in which a plurality of printed wiring boards are laminated, and a multilayer printed wiring board manufactured by the manufacturing method.

多層プリント配線板は、部品の高密度の実装を可能とし、部品間を最短距離で接続(電気的に導通することを意味する。以下、単に「接続」と言う。)できる技術として知られている。IVH(Interstitial Via Hole)は、より高密度の実装が要求される多層プリント配線板の製造に適用される技術であり、隣接層間に開けた孔に導電性材料を充填して、隣接層同士を接続することを特徴とする。IVHによれば、必要な部分のみに層間接続を形成することができ、ビアホール上にも部品を搭載できるので、自由度の高い高密度配線を可能にする。   The multilayer printed wiring board is known as a technology that enables high-density mounting of components and can connect the components in the shortest distance (meaning that they are electrically connected. Hereinafter, simply referred to as “connection”). Yes. IVH (Interstitial Via Hole) is a technology applied to the manufacture of multilayer printed wiring boards that require higher density mounting. Filling holes formed between adjacent layers with a conductive material, It is characterized by connecting. According to IVH, an interlayer connection can be formed only in a necessary portion, and a component can be mounted on a via hole, thereby enabling high-density wiring with a high degree of freedom.

IVHによる多層プリント配線板の製造方法は、例えば、特開2004−95963号公報(特許文献1)に記載されている。この製造方法では、片面に導電層を設けた絶縁性基材と接着剤層を貼り合わせた後、絶縁性基材と接着剤層に有底のビアホールを形成しこのビアホールに導電性ペースト組成物を充填するとともにその開口側にバンプを形成して配線板基材を得、この配線板基材の複数を、バンプが他の配線板基材の導電層と接触するように積層プレスして多層プリント配線板が製造されている。   A method for manufacturing a multilayer printed wiring board by IVH is described in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-95963 (Patent Document 1). In this manufacturing method, after bonding an insulating base material provided with a conductive layer on one side and an adhesive layer, a bottomed via hole is formed in the insulating base material and the adhesive layer, and a conductive paste composition is formed in the via hole. And a bump is formed on the opening side to obtain a wiring board substrate, and a plurality of the wiring board substrates are laminated and pressed so that the bumps are in contact with conductive layers of other wiring board substrates. Printed wiring boards are manufactured.

ここでは、有底のビアホールの形成(ビア開け加工)には、接続信頼性の低下を招かないため、銅箔等からなる導電層を傷めないような精密な加工が必要である。そのため、この加工に際しては高価なレーザーを用いて穴開け加工を行わなければならず、工程が複雑となり、コスト増の原因となっている。   Here, the formation of the bottomed via hole (via opening process) does not cause a decrease in connection reliability, and therefore requires a precise process that does not damage the conductive layer made of copper foil or the like. Therefore, in this processing, it is necessary to perform drilling using an expensive laser, which complicates the process and causes an increase in cost.

また、この方法では、接着剤層との貼り合せの段階及び層間接着の段階での2回の加熱が必要であり、しかも、それぞれの温度を変えなければならないので、この点からも工程は複雑となり、やはりコスト増の原因ともなる。   In addition, this method requires two heating steps in the bonding step with the adhesive layer and in the interlaminar bonding step, and each temperature must be changed. This also causes an increase in cost.

そこで、接続信頼性に優れた多層プリント配線板を、簡易な工程、低いコストで製造できる多層プリント配線板の製造方法の開発が望まれていた。
特開2004−95963号公報
Therefore, development of a method for producing a multilayer printed wiring board capable of producing a multilayer printed wiring board having excellent connection reliability with a simple process and low cost has been desired.
JP 2004-95963 A

本発明は、接続信頼性に優れた多層プリント配線板を、簡易な工程、低いコストで製造できる生産性の高い多層プリント配線板の製造方法、及びその製造方法により製造され接続信頼性に優れた多層プリント配線板を提供することを課題とする。   The present invention provides a multilayer printed wiring board excellent in connection reliability, a manufacturing method of a highly productive multilayer printed wiring board that can be manufactured at a low cost and a simple process, and is manufactured by the manufacturing method and excellent in connection reliability. It is an object to provide a multilayer printed wiring board.

本発明者は検討の結果、絶縁性基板、その1表面上に設けられた導電層、これらを貫通する孔に導電性ペースト組成物を充填してなる導電部、及び導電性ペースト組成物よりなり前記導電部の径より大きい径を有するバンプを有する配線板基材を用い、この配線板基材と他の配線板基材を、前記バンプより大きい径を有する貫通孔が形成された接着剤シートを挟持しながら、かつ接着剤シートの貫通孔内に配線板基材のバンプが挿入されるように重ね、一括して積層プレスする方法により、接続信頼性に優れた多層プリント配線板を、簡易な工程、低いコストで製造できることを見出し、本発明を完成した。   As a result of the study, the inventor comprises an insulating substrate, a conductive layer provided on one surface thereof, a conductive portion formed by filling a conductive paste composition into a hole penetrating the insulating layer, and a conductive paste composition. Using a wiring board substrate having a bump having a diameter larger than the diameter of the conductive part, an adhesive sheet in which a through hole having a diameter larger than the bump is formed between the wiring board substrate and another wiring board substrate. A multilayer printed wiring board with excellent connection reliability can be easily obtained by stacking and pressing together so that the bumps of the wiring board substrate are inserted into the through-holes of the adhesive sheet. The present invention has been completed by finding that it can be produced at a low cost and with a simple process.

本発明は、請求項1において、
絶縁性基板、その少なくとも1表面上に設けられた導電層、及び、前記絶縁性基板及び導電層を貫通する孔に導電性ペースト組成物Aを充填してなる導電部を有する配線板基材であって、前記導電部の両端に接して、導電性ペースト組成物Bよりなり前記導電部の径より大きい径を有するバンプが形成されている配線板基材a、
前記バンプに対応する位置に、前記バンプより大きい径を有する貫通孔が形成された接着剤シート、及び
絶縁性基板及びその表面上に設けられた導電層を有する配線板基材であって、前記バンプに対応する位置に導電層又は導電層と導通する部分を有する他の配線板基材b
の少なくとも3層を、
前記配線板基材aの絶縁性基板と配線板基材bの間に前記接着剤シートを挟持し、かつ前記バンプが前記接着剤シートの貫通孔内に挿入されるように積層プレスする工程を有することを特徴とする多層プリント配線板の製造方法を提供する。
The present invention according to claim 1,
A wiring board substrate having an insulating substrate, a conductive layer provided on at least one surface thereof, and a conductive portion formed by filling a conductive paste composition A in a hole penetrating the insulating substrate and the conductive layer. A wiring board substrate a in which bumps having a diameter larger than the diameter of the conductive portion are formed of the conductive paste composition B in contact with both ends of the conductive portion;
An adhesive sheet in which a through hole having a larger diameter than the bump is formed at a position corresponding to the bump, and an insulating substrate and a wiring board substrate having a conductive layer provided on the surface thereof, Other wiring board substrate b having a conductive layer or a portion conducting to the conductive layer at a position corresponding to the bump
At least three layers of
A step of laminating and pressing the adhesive sheet between the insulating substrate of the wiring board base material a and the wiring board base material b and inserting the bumps into the through holes of the adhesive sheet. A method for producing a multilayer printed wiring board is provided.

ここで、配線板基材aを構成する絶縁性基板としては、絶縁性の樹脂フィルムを使用できる。PETやポリイミドを主体とする樹脂フィルム等が例示されるが、リフロー時における耐熱性等を考慮すると、ポリイミドを主体とする樹脂フィルムの使用が好ましい。   Here, as the insulating substrate constituting the wiring board base a, an insulating resin film can be used. A resin film mainly composed of PET or polyimide is exemplified, but considering the heat resistance during reflow, etc., it is preferable to use a resin film mainly composed of polyimide.

導電層とは、絶縁性基板の表面上に形成された導電体からなる回路であって、導電層が多層プリント配線板の最外層となる場合は、この上に半導体等の素子や電子部品等が実装される。一表面上に導電層を有する絶縁性基板は、例えば、金属箔等の導電層が一表面に貼り付けられた絶縁性基板を用い、その導電層にエッチング加工を施し、導電層を形成して得ることができる。エッチング加工としては、導電層上にレジスト層の回路パターンを形成した後、導電層を腐食するエッチャントに浸漬して、回路パターン以外の部分を取り除き、その後レジスト層を除去する化学エッチング(湿式エッチング)が例示される。   A conductive layer is a circuit made of a conductor formed on the surface of an insulating substrate. When the conductive layer is the outermost layer of a multilayer printed wiring board, an element such as a semiconductor, an electronic component, etc. Is implemented. An insulating substrate having a conductive layer on one surface uses, for example, an insulating substrate having a conductive layer such as a metal foil attached to one surface, and the conductive layer is etched to form a conductive layer. Obtainable. Etching involves forming a resist layer circuit pattern on the conductive layer, then immersing the conductive layer in an etchant that corrodes, removing portions other than the circuit pattern, and then removing the resist layer (wet etching). Is exemplified.

金属箔の材質としては、その導電性、耐久性や、入手しやすさ等の観点から、銅を主体とする材質が好ましく、銅、又は、銅を主成分とする合金が例示される。銅以外にも、銀、アルミ、ニッケル等を用いてもよい。導電層が一表面に貼り付けられた絶縁性基板としては、銅箔が片面に貼付けられた銅箔付きポリイミド樹脂基材(CCL)が例示される。   The material of the metal foil is preferably a material mainly composed of copper from the viewpoint of conductivity, durability, availability, etc., and examples thereof include copper or an alloy mainly composed of copper. In addition to copper, silver, aluminum, nickel, or the like may be used. As an insulating board | substrate with which the conductive layer was affixed on the one surface, the polyimide resin base material (CCL) with a copper foil with which copper foil was affixed on the single side | surface is illustrated.

一表面上に導電層を有する絶縁性基板は、絶縁性基板の一表面上に導電性ペースト組成物を、回路パターンを形成するように塗布しても得ることができる。ここで、導電性ペースト組成物としては、導電性粒子、例えば、金属微粒子や金属フィラー、炭素微粒子等を、容易に塑性変形する樹脂に混練したものが例示される。具体的には、銀ペーストや、銀コート銅フィラー、銅フィラーやカーボン混合物のペースト等が例示され、スクリーン印刷等の手段により、絶縁性基板上に塗布される。   An insulating substrate having a conductive layer on one surface can be obtained by applying a conductive paste composition on one surface of the insulating substrate so as to form a circuit pattern. Here, examples of the conductive paste composition include those obtained by kneading conductive particles, for example, metal fine particles, metal fillers, carbon fine particles, and the like into a resin that is easily plastically deformed. Specifically, a silver paste, a silver-coated copper filler, a copper filler or a carbon mixture paste, and the like are exemplified, and are applied onto the insulating substrate by means such as screen printing.

このようにして、一表面上に導電層を有する絶縁性基板を得た後、この導電層及び絶縁性基板を貫通する孔が所定の位置、すなわち導電層の層間接続をする位置に形成される。この孔の形成には、高価なレーザーによる穴あけ加工を必要とせず、ドリル等を用いて機械的に穴あけする方法等を採用することができる。従って、有底のビアホールの形成を要する従来の方法に比べて、生産コストを低減することができる。   In this way, after an insulating substrate having a conductive layer on one surface is obtained, a hole penetrating the conductive layer and the insulating substrate is formed at a predetermined position, that is, a position where an interlayer connection of the conductive layer is made. . Formation of this hole does not require expensive laser drilling, and a method of mechanically drilling using a drill or the like can be employed. Therefore, the production cost can be reduced as compared with the conventional method that requires the formation of a bottomed via hole.

導電層及び絶縁性基板を貫通する孔を形成した後、この孔内に導電性ペースト組成物が充填され導電部が形成される。この導電性ペースト組成物を導電性ペースト組成物Aとする。導電性ペースト組成物Aの充填方法は特に限定されないが、例えば、スクリーン印刷により充填する方法が挙げられる。導電性ペースト組成物Aとしては、前記の導電層の形成に用いられる前記の導電性ペースト組成物と同様、金属微粒子や金属フィラー、炭素微粒子等を、容易に塑性変形する樹脂に混練したものが例示され、具体的には、銀ペーストや、銀コート銅フィラー、銅フィラーやカーボン混合物のペースト等が例示される。   After forming a hole penetrating the conductive layer and the insulating substrate, the conductive paste composition is filled in the hole to form a conductive portion. This conductive paste composition is referred to as “conductive paste composition A”. Although the filling method of the electrically conductive paste composition A is not specifically limited, For example, the method of filling by screen printing is mentioned. As the conductive paste composition A, similar to the conductive paste composition used for forming the conductive layer, a mixture of metal fine particles, metal filler, carbon fine particles, etc., in a resin that can be easily plastically deformed. Specific examples include silver paste, silver-coated copper filler, copper filler and carbon mixture paste.

導電部を形成した後、この前記導電部の両端に接して、すなわち絶縁性基板及び導電層の表面上であって導電部と導通される位置に、導電性ペースト組成物よりなるバンプが形成され、本発明の製造方法に用いられる配線板基材aが得られる。このバンプを形成する導電性ペースト組成物を導電性ペースト組成物Bとする。   After forming the conductive portion, bumps made of a conductive paste composition are formed in contact with both ends of the conductive portion, that is, on the surface of the insulating substrate and the conductive layer and at a position where the conductive portion is conducted. The wiring board base material a used for the manufacturing method of this invention is obtained. The conductive paste composition for forming the bumps is referred to as a conductive paste composition B.

導電性ペースト組成物よりなるバンプとは、導電性ペースト組成物の突起であり、その形成方法は特に限定されないが、例えば、絶縁性基板上にポリエチレンテレフタレート(PET)等からなる離型層を形成して、この絶縁性基板及び離型層を貫通するビアホールを形成し、このビアホールに導電性ペースト組成物を充填した後、離型層を剥がして、突出部を形成する方法が例示される。導電性ペースト組成物のバンプを形成する他の方法として、ビアホールに導電性ペースト組成物を充填した後、さらにその上に導電性ペースト組成物をスクリーン印刷で塗布する方法も挙げられる。   A bump made of a conductive paste composition is a protrusion of the conductive paste composition, and its formation method is not particularly limited. For example, a release layer made of polyethylene terephthalate (PET) or the like is formed on an insulating substrate. Then, a method of forming a projecting portion by forming a via hole penetrating the insulating substrate and the release layer, filling the via hole with a conductive paste composition, and peeling the release layer is exemplified. As another method for forming the bumps of the conductive paste composition, a method of filling the via paste with the conductive paste composition and then applying the conductive paste composition onto the via hole by screen printing is also included.

導電性ペースト組成物Bは、導電性ペースト組成物Aと同じ材質でもよい。導電部とバンプの接着性を考慮すると同じ材質であることが好ましい。従って、導電性ペースト組成物Bの材料としては、前記の導電性ペースト組成物Aについて例示したものと同様な材料が例示される。   The conductive paste composition B may be the same material as the conductive paste composition A. In consideration of the adhesiveness between the conductive portion and the bump, the same material is preferable. Therefore, as the material of the conductive paste composition B, the same materials as those exemplified for the conductive paste composition A are exemplified.

バンプは、前記導電部の径より大きい径を有することを特徴とする。バンプ径を導電部の径より大きくすることにより、導電層とバンプ間が広い面積で接するようになり、従って、導電層とバンプとの間、さらには導電部との間の接続が確実なものとなり、多層プリント配線板の接続信頼性を高めることができる。導電層と導電部の接触面積は小さいので、バンプ径が導電部の径より小さい場合は十分な接続信頼性が得られない。   The bump has a diameter larger than that of the conductive portion. By making the bump diameter larger than the diameter of the conductive part, the conductive layer and the bump come into contact with each other over a wide area. Therefore, the connection between the conductive layer and the bump and also between the conductive part is reliable. Thus, the connection reliability of the multilayer printed wiring board can be improved. Since the contact area between the conductive layer and the conductive portion is small, sufficient connection reliability cannot be obtained when the bump diameter is smaller than the diameter of the conductive portion.

好ましくは、バンプ径は導電部の径の1.2倍以上である。請求項2は、この好ましい態様に該当する。1.2倍以上とすることにより、多層プリント配線板の接続信頼性をより高めることができ、Pbフリーはんだを用いたリフロー条件にも耐えられる優れた接続信頼性が得られる。   Preferably, the bump diameter is 1.2 times or more the diameter of the conductive portion. Claim 2 corresponds to this preferable mode. By setting it to 1.2 times or more, the connection reliability of the multilayer printed wiring board can be further increased, and excellent connection reliability that can withstand reflow conditions using Pb-free solder is obtained.

バンプの高さは、接着剤シートの厚みの0.5倍から3.0倍の範囲が好ましい、0.5倍以下であると、相手側の導電層部分との接続が不良になる場合があり、3.0倍以上であると、積層プレス時に十分に押しつぶされず、導電層部分の平担性が悪くなるという問題が生じる。   The height of the bump is preferably in the range of 0.5 to 3.0 times the thickness of the adhesive sheet. If it is 0.5 or less, the connection with the other conductive layer portion may be poor. Yes, when it is 3.0 times or more, there is a problem that the flatness of the conductive layer portion is deteriorated due to insufficient crushing at the time of lamination pressing.

本発明の製造方法に用いられる接着剤シートとは、熱可塑性ポリイミド樹脂、熱可塑性ポリイミドを主体として熱硬化機能を一部有する樹脂、エポキシ樹脂やイミド系樹脂等の熱硬化性樹脂等の接着剤を主成分とするシートである。接着剤シートを構成する接着剤としては、熱可塑性ポリイミドを主体として熱硬化機能を一部有する樹脂、熱硬化性エポキシ樹脂及び熱硬化性イミド系樹脂が、加熱硬化後、充分な接着力が確保されるので好ましい。   The adhesive sheet used in the production method of the present invention is an adhesive such as a thermoplastic polyimide resin, a resin mainly composed of thermoplastic polyimide and partly having a thermosetting function, and a thermosetting resin such as an epoxy resin or an imide resin. It is a sheet | seat which has as a main component. As the adhesive that constitutes the adhesive sheet, a resin that has a thermosetting function, mainly a thermoplastic polyimide, a thermosetting epoxy resin, and a thermosetting imide resin, ensure sufficient adhesion after heat curing. This is preferable.

接着剤シートには、前記バンプに対応する位置に、前記バンプより大きい径を有する貫通孔が形成されている。前記バンプに対応する位置とは、積層プレスの際に、前記バンプと重なる位置、すなわち前記バンプが挿入される位置を意味する。   In the adhesive sheet, through holes having a larger diameter than the bumps are formed at positions corresponding to the bumps. The position corresponding to the bump means a position overlapping with the bump, that is, a position where the bump is inserted in the lamination press.

貫通孔の形成方法は特に限定ないが、ドリル等を用いて機械的に穴あけを行う方法等を採用することができる。   The method for forming the through hole is not particularly limited, and a method of mechanically drilling using a drill or the like can be employed.

貫通孔の径は、バンプ径より大きい。貫通孔の径がバンプ径より小さい場合は、接着剤シート層と配線板基材を重ねる際の位置合わせが容易でなくなり、バンプが接着剤シート層の貫通孔に挿入されなくなる場合が生じやすい。   The diameter of the through hole is larger than the bump diameter. When the diameter of the through hole is smaller than the bump diameter, alignment when the adhesive sheet layer and the wiring board substrate are overlapped is not easy, and the bump may not be inserted into the through hole of the adhesive sheet layer.

一方、貫通孔の径は、バンプの径の5倍以下であることが好ましい。5倍以上であると、積層プレス時に、接着剤シート層がバンプに接触するまで拡がりにくくなり、この両者間の間隙が解消しない可能性がある。すなわち、貫通孔の径は、バンプ径の1.0〜5.0倍が好ましい。請求項3は、この好ましい態様に該当する。   On the other hand, the diameter of the through hole is preferably not more than 5 times the diameter of the bump. If it is 5 times or more, it becomes difficult to spread until the adhesive sheet layer comes into contact with the bumps at the time of the lamination press, and there is a possibility that the gap between the two is not eliminated. That is, the diameter of the through hole is preferably 1.0 to 5.0 times the bump diameter. Claim 3 corresponds to this preferable mode.

本発明の製造方法においては、前記の配線板基材a、接着剤シート、及び他の配線板基材bの少なくとも3層を、前記配線板基材aの絶縁性基板と配線板基材bの間に前記接着剤シートを挟持し、かつ前記バンプ、すなわち配線板基材aの絶縁性基板上に形成されたバンプが前記接着剤シートの貫通孔内に挿入されるように積層プレスする。   In the production method of the present invention, at least three layers of the wiring board base material a, the adhesive sheet, and the other wiring board base material b are combined with the insulating substrate of the wiring board base material a and the wiring board base material b. The adhesive sheet is sandwiched therebetween, and the bumps, that is, the bumps formed on the insulating substrate of the wiring board base material a are laminated and pressed so as to be inserted into the through holes of the adhesive sheet.

他の配線板基材bは、絶縁性基板及びその表面上に設けられた導電層を有する配線板基材である。この絶縁性基板や導電層を形成する材質としては、配線板基材aの絶縁性基板や導電層を形成する材質として例示されたものと同様なものを例示することができる。また、配線板基材bの絶縁性基板や導電層の形成方法も、配線板基材aの場合と同様な方法を採用することができる。なお、配線板基材bの導電層は、絶縁性基板の両表面上に設けられていてもよい。   The other wiring board base material b is a wiring board base material having an insulating substrate and a conductive layer provided on the surface thereof. Examples of the material for forming the insulating substrate and the conductive layer include the same materials as those exemplified as the material for forming the insulating substrate and the conductive layer of the wiring board base material a. Moreover, the formation method of the insulating board | substrate and conductive layer of the wiring board base material b can also employ | adopt the same method as the case of the wiring board base material a. The conductive layer of the wiring board base b may be provided on both surfaces of the insulating substrate.

又、配線板基材bは、前記配線板基材aのバンプに対応する位置に、導電層又は導電層と導通する部分を有する。その結果、後述する積層プレスにより、配線板基材aのバンプと、配線板基材bの導電層又は導電層と導通する部分が接続し、配線板基材aと配線板基材bの導電層間が層間接続される。   Further, the wiring board substrate b has a conductive layer or a portion that conducts with the conductive layer at a position corresponding to the bump of the wiring board substrate a. As a result, the bumps of the wiring board substrate a and the conductive layer or the conductive layer of the wiring board substrate b are connected by a laminating press described later, and the conductive properties of the wiring board substrate a and the wiring board substrate b are connected. The layers are interconnected.

積層プレスは、配線板基材aの絶縁性基板と配線板基材bの間に接着剤シートを挟持して行われる。又、積層プレスは、前記バンプが前記接着剤シートの貫通孔内に挿入されるように行われる。すなわち、接着剤シートの貫通孔の開口部がバンプを含むように、配線板基材や接着剤シートが配置される。積層プレスは、キュアプレス等を用いて、加熱、加圧することにより行うことができる。   The lamination press is performed by sandwiching an adhesive sheet between the insulating substrate of the wiring board base material a and the wiring board base material b. The lamination press is performed so that the bumps are inserted into the through holes of the adhesive sheet. That is, the wiring board substrate and the adhesive sheet are arranged so that the opening of the through hole of the adhesive sheet includes the bump. The lamination press can be performed by heating and pressurizing using a cure press or the like.

積層プレスにより、接着剤シートを構成する接着剤がその貫通孔内に拡がり、又バンプも塑性変形して拡がるので、バンプの導電性ペースト組成物と接着剤とが接触して、貫通孔とバンプ間の間隙は解消される。又このバンプ、すなわち配線板基材aのバンプは塑性変形して、配線板基材bの導電層又は導電層と導通する部分と接触するので、配線板基材aの導電層−配線板基材aの導電部−バンプにより形成された接着剤シート内の導電部−配線板基材bの導電層又は導電層と導通する部分が接続し、配線板基材aと配線板基材bの導電層間が層間接続される。   By the lamination press, the adhesive constituting the adhesive sheet spreads in the through hole, and the bump also plastically deforms and spreads, so that the conductive paste composition of the bump and the adhesive come into contact with each other, and the through hole and the bump The gap between them is eliminated. Moreover, since this bump, ie, the bump of the wiring board base material a, is plastically deformed and comes into contact with the conductive layer or the conductive layer of the wiring board base material b, the conductive layer-wiring board base of the wiring board base material a The conductive part of the material a-the conductive part in the adhesive sheet formed by the bump-the conductive layer of the wiring board base b or the conductive layer connected to the conductive layer is connected, and the wiring board base a and the wiring board base b Conductive layers are interconnected.

本発明の製造方法においては、配線板基材a、配線板基材b及び接着剤シートの少なくとも3層が積層プレスされるが、さらに必要に応じて、配線板基材a、配線板基材b以外の配線板基材であって、導電性のバンプがその表面に設けられた配線板基材等が同時に積層プレスされてもよい。配線板基材a、配線板基材b以外の配線板基材を用いる場合も、配線板基材間に、前記と同様な接着剤シートを挟持し、接着剤シートの貫通孔にバンプを挿入するように重ね、一括して積層プレスされる。このように、一回の積層プレスにより本発明の多層プリント配線板を製造することができるので、高い生産性が得られる。   In the production method of the present invention, at least three layers of the wiring board base material a, the wiring board base material b, and the adhesive sheet are laminated and pressed. If necessary, the wiring board base material a and the wiring board base material are used. A wiring board substrate other than b, which has a conductive bump provided on the surface thereof, may be laminated and pressed at the same time. Even when a wiring board substrate other than the wiring board substrate a and the wiring board substrate b is used, an adhesive sheet similar to the above is sandwiched between the wiring board substrates, and bumps are inserted into the through holes of the adhesive sheet. Are stacked and stacked and pressed together. Thus, since the multilayer printed wiring board of this invention can be manufactured by one lamination press, high productivity is obtained.

配線板基材bとしては、例えば、絶縁性基板、その1表面上に設けられた導電層、及び、前記絶縁性基板を貫通し前記導電層を底とする孔に導電性ペースト組成物を充填してなる導電部を、前記バンプに対応する位置に有する配線板基材を挙げることができる。この導電性ペースト組成物を、導電性ペースト組成物Cとする。請求項4は、この配線板基材を用いる態様に該当する。   As the wiring board base b, for example, an insulating substrate, a conductive layer provided on one surface thereof, and a hole penetrating the insulating substrate and having the conductive layer as a bottom are filled with a conductive paste composition. The wiring board base material which has the electrically conductive part formed in the position corresponding to the said bump can be mentioned. This conductive paste composition is referred to as “conductive paste composition C”. Claim 4 corresponds to an embodiment using this wiring board substrate.

この場合、絶縁性基板を貫通し前記導電層を底とする孔に導電性ペースト組成物を充填してなる導電部の絶縁性基板側の端(すなわち前記孔の開口部に該当する部分)が、前記の、導電層と導通する部分に該当する。積層プレスの際には、絶縁性基板が接着剤シート側となるように、かつこの導電層と導通する部分が、接着剤シートの貫通孔内になるように積層される。   In this case, the end on the insulating substrate side of the conductive portion formed by filling the hole having the conductive layer at the bottom through the insulating substrate with the conductive paste composition (that is, the portion corresponding to the opening of the hole) This corresponds to the portion that is electrically connected to the conductive layer. In the laminating press, the layers are laminated so that the insulating substrate is on the adhesive sheet side, and the portion that is electrically connected to the conductive layer is in the through hole of the adhesive sheet.

導電性ペースト組成物Cを形成する材質としては、前記の導電性ペースト組成物Aの材質として例示されたものと同様なものを例示することができる。導電性ペースト組成物Cは、導電性ペースト組成物Aや導電性ペースト組成物Bと同じ組成物であってもよい。又、絶縁性基板やその1表面上に設けられた導電層を得る方法や、孔に導電性ペースト組成物を充填する方法としても、前記の配線板基材aの場合と同様な方法を挙げることができる。絶縁性基板を貫通し前記導電層を底とする孔を形成する方法としては、レーザーを用いる方法を挙げることができる。   Examples of the material for forming the conductive paste composition C include the same materials as those exemplified as the material for the conductive paste composition A. The conductive paste composition C may be the same composition as the conductive paste composition A and the conductive paste composition B. In addition, as a method for obtaining an insulating substrate and a conductive layer provided on one surface thereof, and a method for filling a hole with a conductive paste composition, the same method as in the case of the wiring board base material a is exemplified. be able to. As a method of forming the hole penetrating the insulating substrate and having the conductive layer as the bottom, a method using a laser can be exemplified.

配線板基材bとしては、又、絶縁性基板、その1表面上に設けられた導電層、及び、前記絶縁性基板及び導電層を貫通する孔に導電性ペースト組成物Cを充填してなる導電部を、前記バンプに対応する位置に有する配線板基材も例示することができる。請求項5は、この配線板基材を用いる態様に該当する。   As the wiring board base b, an insulating substrate, a conductive layer provided on one surface thereof, and a hole penetrating the insulating substrate and the conductive layer are filled with the conductive paste composition C. The wiring board base material which has a conductive part in the position corresponding to the said bump can also be illustrated. Claim 5 corresponds to an embodiment using this wiring board substrate.

この場合、絶縁性基板及び導電層を貫通する孔に導電性ペースト組成物を充填してなる導電部の絶縁性基板側の端(すなわち前記孔の絶縁性基板側の開口部に該当する部分)が、前記の、導電層と導通する部分に該当する。積層プレスの際には、絶縁性基板が接着剤シート側となるように、かつこの導電層と導通する部分が、接着剤シートの貫通孔内になるように積層される。   In this case, the end on the insulating substrate side of the conductive portion formed by filling the hole penetrating the insulating substrate and the conductive layer with the conductive paste composition (that is, the portion corresponding to the opening on the insulating substrate side of the hole). Corresponds to the portion that is electrically connected to the conductive layer. In the laminating press, the layers are laminated so that the insulating substrate is on the adhesive sheet side, and the portion that is electrically connected to the conductive layer is in the through hole of the adhesive sheet.

絶縁性基板やその1表面上に設けられた導電層を得る方法、絶縁性基板及び導電層を貫通する孔を形成する方法、孔に導電性ペースト組成物を充填する方法としても、前記の配線板基材aの場合と同様な方法を挙げることができる。   The wiring described above can also be used as a method for obtaining an insulating substrate and a conductive layer provided on one surface thereof, a method for forming a hole penetrating the insulating substrate and the conductive layer, and a method for filling the hole with a conductive paste composition. The same method as the case of the board | substrate base a can be mentioned.

配線板基材bとしては、前記例示の配線板基材bの導電部の絶縁性基板側の端に接して、導電性ペースト組成物よりなるバンプが形成されているものも用いることができる。このバンプの形成に用いられる導電性ペースト組成物を、導電性ペースト組成物Dとする。請求項6は、この配線板基材を用いる態様に該当する。   As the wiring board base b, those in which bumps made of a conductive paste composition are formed in contact with the insulating substrate side end of the conductive portion of the above-described wiring board base b can also be used. The conductive paste composition used for forming the bumps is referred to as a conductive paste composition D. Claim 6 corresponds to an embodiment using this wiring board substrate.

この場合、配線板基材bのバンプが、前記の、導電層と導通する部分に該当する。積層プレスの際には、絶縁性基板が接着剤シート側となるように、かつこのバンプが、接着剤シートの貫通孔内に挿入されるように積層される。   In this case, the bumps of the wiring board substrate b correspond to the portions that are electrically connected to the conductive layer. In the lamination press, the bumps are laminated so that the insulating substrate is on the adhesive sheet side and the bumps are inserted into the through holes of the adhesive sheet.

導電性ペースト組成物Dを形成する材質としては、前記の導電性ペースト組成物Aの材質として例示されたものと同様なものを例示することができる。導電性ペースト組成物Dは、導電性ペースト組成物A〜Cと同じ組成物であってもよい。又、バンプを形成する方法としても、前記の配線板基材aの場合と同様な方法を挙げることができる。   Examples of the material forming the conductive paste composition D include the same materials as those exemplified as the material of the conductive paste composition A. The conductive paste composition D may be the same composition as the conductive paste compositions A to C. In addition, as a method for forming the bump, the same method as in the case of the wiring board substrate a can be used.

本発明は、さらに、前記の多層プリント配線板の製造方法により製造される多層プリント配線板を提供する(請求項7)。この多層プリント配線板は、自由度の高い高密度配線を可能とする配線板であるとともに、接続信頼性に優れた配線板であり、デジタルカメラや携帯電話等の電子製品の製造に好適に用いられる。   The present invention further provides a multilayer printed wiring board manufactured by the method for manufacturing a multilayer printed wiring board. This multilayer printed wiring board is a wiring board that enables high-density wiring with a high degree of freedom, and has excellent connection reliability, and is suitably used for manufacturing electronic products such as digital cameras and mobile phones. It is done.

本発明の多層プリント配線板の製造方法によれば、接続信頼性に優れた多層プリント配線板を、簡易な工程、低いコスト、高い生産性で製造することができる。又、この製造方法により製造された多層プリント配線板は、自由度の高い高密度配線を可能とする配線板であるとともに、優れたリフロー良品率を達成できる等、接続信頼性に優れた配線板である。   According to the method for producing a multilayer printed wiring board of the present invention, a multilayer printed wiring board having excellent connection reliability can be produced with a simple process, low cost, and high productivity. In addition, the multilayer printed wiring board manufactured by this manufacturing method is a wiring board that enables high-density wiring with a high degree of freedom, and that can achieve an excellent reflow good product rate and has excellent connection reliability. It is.

次に、本発明を実施するための最良の形態を、図を用いて説明する。なお、本発明の範囲はこの形態や、後述する実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨を損なわない限り、他の形態への変更も可能である。   Next, the best mode for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings. It should be noted that the scope of the present invention is not limited to this form or the examples described later, and can be changed to other forms as long as the gist of the present invention is not impaired.

図1は、本発明の多層プリント配線板を構成する配線板基材aの模式断面図である。図1において、101は配線板基材を示し、この配線板基材101は、絶縁性基板であるポリイミドフィルム11の一表面に導電層21が設けられ、さらに、ポリイミドフィルム11および導電層21を貫通する孔31(径:R1)が設けられ、孔31中には、導電性ペースト組成物Aが充填されて、導電部が形成されている。また、孔31の両側には、導電性ペースト組成物Bを用いてバンプ41、41’(径:R2)が形成されている。図1に示すように、バンプ径R2は、ビアホール径R1よりも大きい(R2/R1>1.2)。   FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a wiring board substrate a constituting the multilayer printed wiring board of the present invention. In FIG. 1, reference numeral 101 denotes a wiring board base material. The wiring board base material 101 is provided with a conductive layer 21 on one surface of a polyimide film 11 which is an insulating substrate, and further includes a polyimide film 11 and a conductive layer 21. A through-hole 31 (diameter: R1) is provided, and the conductive portion is formed in the hole 31 by being filled with the conductive paste composition A. Bumps 41 and 41 ′ (diameter: R 2) are formed on both sides of the hole 31 using the conductive paste composition B. As shown in FIG. 1, the bump diameter R2 is larger than the via hole diameter R1 (R2 / R1> 1.2).

図2は、本発明の多層プリント配線板の一例を示す模式断面図である。この例の多層プリント配線板は、図1に示す配線板基材101(配線板基材a)、接着剤シート51及び他の配線板基材bである配線板基材102を組み合わせたものである。ただしこの例で用いる配線板基材102は、配線板基材101と同じ構成を有する配線板基材である。   FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing an example of the multilayer printed wiring board of the present invention. The multilayer printed wiring board of this example is a combination of the wiring board substrate 101 (wiring board substrate a), the adhesive sheet 51 and the wiring board substrate 102 which is another wiring board substrate b shown in FIG. is there. However, the wiring board substrate 102 used in this example is a wiring board substrate having the same configuration as the wiring board substrate 101.

この多層プリント配線板は、ポリイミドフィルム11とその上に形成された導電層21とからなる配線板基材101、及び、ポリイミドフィルム12とその上に形成された導電層22とからなる配線板基材102を、接着剤シート51を挟持しながらキュアプレス等により積層プレスして得られたものである。   This multilayer printed wiring board includes a wiring board substrate 101 comprising a polyimide film 11 and a conductive layer 21 formed thereon, and a wiring board substrate comprising a polyimide film 12 and a conductive layer 22 formed thereon. The material 102 is obtained by laminating and pressing the material 102 with a cure press or the like while sandwiching the adhesive sheet 51.

図3は、この積層プレス前の配線板基材101、接着剤シート51、及び配線板基材102の位置関係を表している。図3に示すように、絶縁性基板であるポリイミドフィルム11及びポリイミドフィルム12間に接着剤シート51は配置され、又、バンプ41’及びバンプ42’が、接着剤シート51の貫通孔61の開口部内に含まれるように配置されている。貫通孔61の径はバンプ径R2よりも大きいので、積層プレス前には、貫通孔61とバンプ41’及びバンプ42’間に間隙が生じる。   FIG. 3 shows the positional relationship between the wiring board substrate 101, the adhesive sheet 51, and the wiring board substrate 102 before the lamination press. As shown in FIG. 3, the adhesive sheet 51 is disposed between the polyimide film 11 and the polyimide film 12 which are insulating substrates, and the bumps 41 ′ and the bumps 42 ′ are openings of the through holes 61 of the adhesive sheet 51. It is arranged to be included in the department. Since the diameter of the through hole 61 is larger than the bump diameter R2, a gap is generated between the through hole 61, the bump 41 ', and the bump 42' before the lamination press.

このように配置した後、これらを積層プレスすることにより、ポリイミドフィルム11及びポリイミドフィルム12間は接着剤シート51の接着剤により接着されるとともに、この接着剤及びバンプ41’及びバンプ42’は塑性変形し、貫通孔61とバンプ41’及びバンプ42’間の間隙は解消し、図2で示される多層プリント配線板が得られる。   After being arranged in this way, by laminating and pressing them, the polyimide film 11 and the polyimide film 12 are bonded by the adhesive of the adhesive sheet 51, and the adhesive and the bump 41 ′ and the bump 42 ′ are plastic. Due to the deformation, the gaps between the through holes 61 and the bumps 41 ′ and 42 ′ are eliminated, and the multilayer printed wiring board shown in FIG.

図2に示されるように、積層体151内には、導電層21から導電層22に至り、ポリイミドフィルム11、ポリイミドフィルム12及び接着剤シート51を貫通する孔が形成され、この孔内に導電性ペースト組成物が充填され、回路間導電部71が形成されている。その結果、導電層21と導電層22が接続される。又、バンプ41及びバンプ42は、それぞれ導電層21及び導電層22の表面を覆っており、広い面積でこれらと接触しているので、優れた接続信頼性が得られる。   As shown in FIG. 2, a hole extending from the conductive layer 21 to the conductive layer 22 and penetrating the polyimide film 11, the polyimide film 12, and the adhesive sheet 51 is formed in the laminated body 151. The conductive paste composition is filled, and the inter-circuit conductive portion 71 is formed. As a result, the conductive layer 21 and the conductive layer 22 are connected. Further, the bump 41 and the bump 42 cover the surfaces of the conductive layer 21 and the conductive layer 22, respectively, and are in contact with these over a wide area, so that excellent connection reliability can be obtained.

図4は、図2における積層体151の両方の外側に、それぞれ、導電層23をポリイミドフィルム13上に形成した配線板基材103、及び、導電層24をポリイミドフィルム14上に形成した配線板基材104を積層して得られる積層体152を示したものであり、この積層体152は、本発明の多層プリント配線板の他の例である。   4 shows a wiring board substrate 103 in which a conductive layer 23 is formed on a polyimide film 13 and a wiring board in which a conductive layer 24 is formed on a polyimide film 14 on both outer sides of the laminate 151 in FIG. The laminated body 152 obtained by laminating | stacking the base material 104 is shown, This laminated body 152 is another example of the multilayer printed wiring board of this invention.

この積層体152からなる多層プリント配線板も、接着剤シート51と同様な接着剤シートである接着剤シート52、53を用い、配線板基材101と配線板基材102の間に接着剤シート51を、配線板基材101と配線板基材103の間に接着剤シート52を、配線板基材102と配線板基材104の間に接着剤シート53を挟持し、これらを一括して積層プレスして製造される。従って、高い生産性で製造することができる。   The multilayer printed wiring board made of the laminate 152 also uses adhesive sheets 52 and 53 that are the same adhesive sheets as the adhesive sheet 51, and the adhesive sheet is provided between the wiring board base 101 and the wiring board base 102. 51, the adhesive sheet 52 is sandwiched between the wiring board base material 101 and the wiring board base material 103, and the adhesive sheet 53 is sandwiched between the wiring board base material 102 and the wiring board base material 104. Manufactured by laminating press. Therefore, it can be manufactured with high productivity.

ポリイミドフィルム13の中の孔33、及び、接着剤シート52の中の貫通孔62が連結された孔内には、導電性ペースト組成物が充填され、回路間導電部72が形成されている。同様に、ポリイミドフィルム14の中の孔34及び接着剤シート53の中の貫通孔63が連結された孔内には、導電性ペースト組成物が充填され、回路間導電部73が形成されている。回路間導電部72、73及び前記で説明した回路間導電部71により、導電層21、22、23及び24が層間接続され、多層プリント配線板が形成されている。以下、同様に、配線板基材を積層することにより、より多数の導電層を有する多層プリント配線板が形成される。   The hole in which the hole 33 in the polyimide film 13 and the through hole 62 in the adhesive sheet 52 are connected is filled with a conductive paste composition, and an inter-circuit conductive portion 72 is formed. Similarly, a conductive paste composition is filled in the hole in which the hole 34 in the polyimide film 14 and the through hole 63 in the adhesive sheet 53 are connected, and an inter-circuit conductive portion 73 is formed. . The conductive layers 21, 22, 23, and 24 are interlayer-connected by the inter-circuit conductive portions 72 and 73 and the inter-circuit conductive portion 71 described above to form a multilayer printed wiring board. Hereinafter, similarly, a multilayer printed wiring board having a larger number of conductive layers is formed by laminating wiring board substrates.

図5は、図2における配線板基材102に換えて、絶縁性基板、その1表面上に設けられた導電層、及び、前記絶縁性基板を貫通し前記導電層を底とする孔に導電性ペースト組成物Cを充填してなる導電部を、前記バンプに対応する位置に有する配線板基材105を使用して得られた積層体153を示すものであり、この積層体153は、本発明の多層プリント配線板の他の例である(請求項4、請求項6の態様)。   FIG. 5 shows an insulating substrate, a conductive layer provided on one surface thereof, and a hole penetrating the insulating substrate and having the conductive layer as a bottom instead of the wiring board substrate 102 in FIG. The laminated body 153 obtained by using the wiring board substrate 105 having conductive portions filled with the conductive paste composition C at positions corresponding to the bumps is shown. It is another example of the multilayer printed wiring board of invention (the aspect of Claims 4 and 6).

配線板基材105は、導電層25をポリイミドフィルム15上に形成してなり、導電層25を底とした有底の孔35(ビアホール)が設けられ、孔35には、導電性ペースト組成物が充填されている。さらに、有底の孔35の開口側には、導電性ペースト組成物からなるバンプを有している。それ以外の構成は、図2と同様であり、以下の説明は省略する。   The wiring board substrate 105 is formed by forming the conductive layer 25 on the polyimide film 15 and is provided with a bottomed hole 35 (via hole) with the conductive layer 25 as a bottom, and the conductive paste composition is formed in the hole 35. Is filled. Furthermore, the opening side of the bottomed hole 35 has a bump made of a conductive paste composition. The other configuration is the same as that of FIG. 2, and the following description is omitted.

また、図6は、図5の例における配線板基材103、及び104に換えて、絶縁性基板、その1表面上に設けられた導電層、及び、前記絶縁性基板を貫通し前記導電層を底とする孔に導電性ペースト組成物Cを充填してなる導電部を、前記バンプに対応する位置に有する配線板基材106、及び107を使用して得られた積層体154を示すものであり、この積層体154も、本発明の多層プリント配線板の他の例である。他の点は、図4と基本的に同様であり、以下の説明は省略する。   6 shows an insulating substrate, a conductive layer provided on one surface thereof, and the conductive layer penetrating through the insulating substrate, instead of the wiring board bases 103 and 104 in the example of FIG. A laminated body 154 obtained by using the wiring board base materials 106 and 107 having conductive portions formed by filling the conductive paste composition C in the holes with bottoms at positions corresponding to the bumps. This laminate 154 is another example of the multilayer printed wiring board of the present invention. The other points are basically the same as those in FIG. 4, and the following description is omitted.

以下に実施例を挙げて、さらに詳しく説明する。   Examples will be described in more detail below.

[配線板基材の作製]
ポリイミドフィルム(PI)の片面に、銅箔を、接着剤を用いずに貼り合せた片面銅貼り基板(PI:25μm、銅厚:18μm)に、ドリルを用いて、貫通孔(開口径100μm)を開け、アルカリと過マンガン酸カリウムにより湿式デスミアを施した。孔は、計8個形成した。
[Production of wiring board substrate]
A single-sided copper-clad substrate (PI: 25 μm, copper thickness: 18 μm) bonded to one side of a polyimide film (PI) without using an adhesive, with a drill, a through hole (opening diameter 100 μm) Was opened and wet desmearing was performed with alkali and potassium permanganate. A total of 8 holes were formed.

それぞれの孔に、エポキシ樹脂に銀粒子を分散した銀ペースト(エポキシ当量7000〜8500のビスフェノールA型エポキシ樹脂70重量部と、エポキシ当量160〜170のビスフェノールF型エポキシ樹脂30重量部とからなるエポキシ樹脂を、ブチルカルビトールアセテートに溶解した溶液に、イミダゾール系の潜在性硬化剤12部を添加し、さらに、銀粒子を全固形分の55体積%となるように添加して分散して得られた銀ペースト)を、スクリーン印刷により充填し、さらにその上に、同じ銀ペーストをスクリーン印刷して、バンプを計8個形成した。このとき、バンプの径は200μm、高さは50μmであった。   In each hole, a silver paste in which silver particles are dispersed in an epoxy resin (70 parts by weight of a bisphenol A type epoxy resin having an epoxy equivalent of 7000-8500 and 30 parts by weight of a bisphenol F type epoxy resin having an epoxy equivalent of 160-170) It is obtained by adding 12 parts of an imidazole-based latent curing agent to a solution in which the resin is dissolved in butyl carbitol acetate, and further adding and dispersing silver particles so that the total solid content is 55% by volume. In addition, the same silver paste was screen-printed thereon to form a total of 8 bumps. At this time, the diameter of the bump was 200 μm and the height was 50 μm.

[接着剤シートの作製]
エポキシ系樹脂からなり、その硬化物の30℃における弾性率が表1に示す値である接着剤(巴川製紙所製、TLF−Y30)を、厚み25μmのシートに成型した。このシートの所定の位置(バンプに対応する位置)に、ドリルを用いて径300μmの貫通孔を形成し接着剤シートを得た。この接着剤シートをBS1とする。
[Preparation of adhesive sheet]
An adhesive made of an epoxy resin and having an elastic modulus at 30 ° C. of the cured product as shown in Table 1 (manufactured by Yodogawa Paper, TLF-Y30) was molded into a sheet having a thickness of 25 μm. A through-hole having a diameter of 300 μm was formed at a predetermined position (a position corresponding to the bump) of this sheet using a drill to obtain an adhesive sheet. This adhesive sheet is referred to as BS1.

[積層プレス]
前記の配線板基材の2枚、及び接着剤シートを、接着剤シートの貫通孔にバンプを挿入するように重ね合わせた後、真空プレスにより加熱圧着し、その後、8個の層間接続部分が、デイジーチェーンとなるように回路を形成し、プリント配線板を作製した。回路の形成は、レジスト層の回路パターンの形成及び化学エッチングにより行った。このときの構造は、図2に示す通りである。
[Lamination press]
Two of the above-mentioned wiring board base materials and the adhesive sheet are superposed so as to insert the bumps into the through holes of the adhesive sheet, and then heat-pressed by a vacuum press. Then, a circuit was formed so as to form a daisy chain, and a printed wiring board was produced. The circuit was formed by forming a circuit pattern of the resist layer and chemical etching. The structure at this time is as shown in FIG.

構造を図4に示すものとした以外は実施例1と同様にして多層プリント配線板を作製した。このとき、バンプの径は200μmであった。   A multilayer printed wiring board was produced in the same manner as in Example 1 except that the structure was as shown in FIG. At this time, the diameter of the bump was 200 μm.

実施例1において、片方の1枚の配線板基材を、貫通孔の代わりに有底ビアを有する配線板基材に変えた以外は同様にして、図5に示す構造の多層プリント配線板を得た。   In Example 1, a multilayer printed wiring board having the structure shown in FIG. 5 was similarly obtained except that one wiring board base material was changed to a wiring board base material having a bottomed via instead of the through hole. Obtained.

実施例2において、最外層の2層を、貫通孔の代わりに有底ビアを有する配線板基材に変えた以外は同様にして、図6に示す構造の多層プリント配線板を得た。   A multilayer printed wiring board having the structure shown in FIG. 6 was obtained in the same manner as in Example 2, except that the outermost two layers were changed to a wiring board substrate having a bottomed via instead of the through hole.

(実施例5)
実施例1において、バンプの径を500μm、層間接着剤の開口径を600μmにした以外は、同様なものを作製した。
(Example 5)
In Example 1, the same thing was produced except that the diameter of the bump was 500 μm and the opening diameter of the interlayer adhesive was 600 μm.

以上、実施例1〜5において得られた多層プリント配線板について、以下に示す方法により、リフロー良品率、イオンマイグレーションを評価し、その結果を表1に示した。   As mentioned above, about the multilayer printed wiring board obtained in Examples 1-5, the reflow non-defective rate and ion migration were evaluated by the method shown below, and the result was shown in Table 1.

[リフロー良品率]
多層プリント配線板を、ピーク時は温度260℃で5秒間、全加熱時間300秒で加熱し、前記の方法で測定した抵抗変化が10%以内の多層プリント配線板の割合を良品とし、良品数の割合(%)を求めた。
[Reflow good product rate]
The multilayer printed wiring board is heated at a temperature of 260 ° C. for 5 seconds at a peak time for a total heating time of 300 seconds, and the ratio of the multilayer printed wiring board whose resistance change measured by the above method is within 10% is determined to be non-defective. The ratio (%) was obtained.

[イオンマイグレーション]
8個の層間接続部を正極として、これに隣接する回路を負極とする。なお、正極と負極の回路間隔は70μmとした。この回路に電圧50Vを印加し、温度85℃、湿度85%で1000時間放置した後の、抵抗が10Ω以上の多層プリント配線板を良品とし、良品を○、良品でないものを×として、その結果を表1に示した。
[Ion migration]
Eight interlayer connection parts are used as positive electrodes, and a circuit adjacent thereto is used as a negative electrode. The circuit interval between the positive electrode and the negative electrode was 70 μm. After applying a voltage of 50V to this circuit and leaving it to stand at a temperature of 85 ° C. and a humidity of 85% for 1000 hours, a multilayer printed wiring board having a resistance of 10 8 Ω or more is regarded as a non-defective product. The results are shown in Table 1.

Figure 0004821276
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実施例に示す本発明例では、孔開け加工に際して、レーザーに換えてドリルを用いており、その結果生産性が向上しているが、表1に示すように優れたリフロー良品率であり、イオンマイグレーションもない多層プリント配線板が得られている。   In the examples of the present invention shown in the examples, a drill is used instead of a laser in the drilling process, and as a result, the productivity is improved. As shown in Table 1, the reflow non-defective product rate is excellent. A multilayer printed wiring board without migration is obtained.

本発明の多層プリント配線板における配線板基材の一例を示す模式断面図である。It is a schematic cross section which shows an example of the wiring board base material in the multilayer printed wiring board of this invention. 本発明の多層プリント配線板の一例を示す模式断面図である。It is a schematic cross section which shows an example of the multilayer printed wiring board of this invention. 本発明の多層プリント配線板の製造方法の一工程を示す模式断面図である。It is a schematic cross section which shows 1 process of the manufacturing method of the multilayer printed wiring board of this invention. 本発明の多層プリント配線板の一例を示す模式断面図である。It is a schematic cross section which shows an example of the multilayer printed wiring board of this invention. 本発明の多層プリント配線板の一例を示す模式断面図である。It is a schematic cross section which shows an example of the multilayer printed wiring board of this invention. 本発明の多層プリント配線板の一例を示す模式断面図である。It is a schematic cross section which shows an example of the multilayer printed wiring board of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

11、12、13、14、15 ポリイミドフィルム
21、22、23、24、25 導電層
31、32、33、34、35 孔
41、41’ バンプ
51、52、53 接着剤シート
61、62、63 貫通孔
71、72、73 回路間導電部
101、102、103、104、105、106、107 配線板基材
151、152、153、154 積層体
11, 12, 13, 14, 15 Polyimide films 21, 22, 23, 24, 25 Conductive layers 31, 32, 33, 34, 35 Holes 41, 41 ′ Bumps 51, 52, 53 Adhesive sheets 61, 62, 63 Through holes 71, 72, 73 Inter-circuit conductive portions 101, 102, 103, 104, 105, 106, 107 Wiring board base materials 151, 152, 153, 154 Laminate

Claims (7)

絶縁性基板、その少なくとも1表面上に設けられた導電層、及び、前記絶縁性基板及び導電層を貫通する孔に導電性ペースト組成物Aを充填してなる導電部を有する配線板基材であって、前記導電部の両端に接して、導電性ペースト組成物Bよりなり前記導電部の径より大きい径を有するバンプが形成されている配線板基材a、
前記バンプに対応する位置に、前記バンプより大きい径を有する貫通孔が形成された接着剤シート、及び
絶縁性基板及びその表面上に設けられた導電層を有する配線板基材であって、前記バンプに対応する位置に導電層又は導電層と導通する部分を有する他の配線板基材b
の少なくとも3層を、
前記配線板基材aの絶縁性基板と配線板基材bの間に前記接着剤シートを挟持し、かつ前記バンプが前記接着剤シートの貫通孔内に挿入されるように積層プレスする工程を有することを特徴とする多層プリント配線板の製造方法。
A wiring board substrate having an insulating substrate, a conductive layer provided on at least one surface thereof, and a conductive portion formed by filling a conductive paste composition A in a hole penetrating the insulating substrate and the conductive layer. A wiring board substrate a in which bumps having a diameter larger than the diameter of the conductive portion are formed of the conductive paste composition B in contact with both ends of the conductive portion;
An adhesive sheet in which a through hole having a larger diameter than the bump is formed at a position corresponding to the bump, and an insulating substrate and a wiring board substrate having a conductive layer provided on the surface thereof, Other wiring board substrate b having a conductive layer or a portion conducting to the conductive layer at a position corresponding to the bump
At least three layers of
A step of laminating and pressing the adhesive sheet between the insulating substrate of the wiring board base material a and the wiring board base material b and inserting the bumps into the through holes of the adhesive sheet. A method for producing a multilayer printed wiring board, comprising:
前記バンプの径が、前記導電部の径の1.2倍以上であることを特徴とする請求項1に記載の多層プリント配線板の製造方法。   The method for manufacturing a multilayer printed wiring board according to claim 1, wherein a diameter of the bump is 1.2 times or more of a diameter of the conductive portion. 接着剤シートの貫通孔の径が、前記バンプの径の1.5〜3.0倍であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の多層プリント配線板の製造方法。 The method for producing a multilayer printed wiring board according to claim 1 or 2, wherein the diameter of the through hole of the adhesive sheet is 1.5 to 3.0 times the diameter of the bump. 配線板基材bが、絶縁性基板、その1表面上に設けられた導電層、及び、前記絶縁性基板を貫通し前記導電層を底とする孔に導電性ペースト組成物Cを充填してなる導電部を、前記バンプに対応する位置に有する配線板基材であり、前記配線板基材aの絶縁性基板と配線板基材bの絶縁性基板の間に前記接着剤シートを挟持することを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の多層プリント配線板の製造方法。   The wiring board base b is filled with the conductive paste composition C in an insulating substrate, a conductive layer provided on one surface thereof, and a hole penetrating the insulating substrate and having the conductive layer as a bottom. A wiring board substrate having a conductive portion at a position corresponding to the bump, and sandwiching the adhesive sheet between an insulating substrate of the wiring board substrate a and an insulating substrate of the wiring board substrate b The method for producing a multilayer printed wiring board according to any one of claims 1 to 3, wherein: 配線板基材bが、絶縁性基板、その1表面上に設けられた導電層、及び、前記絶縁性基板及び導電層を貫通する孔に導電性ペースト組成物Cを充填してなる導電部を、前記バンプに対応する位置に有する配線板基材であり、前記配線板基材aの絶縁性基板と配線板基材bの絶縁性基板の間に前記接着剤シートを挟持することを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の多層プリント配線板の製造方法。   A wiring board base b includes an insulating substrate, a conductive layer provided on one surface thereof, and a conductive portion formed by filling a conductive paste composition C in a hole penetrating the insulating substrate and the conductive layer. A wiring board substrate having a position corresponding to the bump, wherein the adhesive sheet is sandwiched between an insulating substrate of the wiring board substrate a and an insulating substrate of the wiring board substrate b. A method for producing a multilayer printed wiring board according to any one of claims 1 to 3. 配線板基材bの導電部の絶縁性基板側の端に接して、導電性ペースト組成物Dよりなるバンプが形成されていることを特徴とする請求項4又は請求項5に記載の多層プリント配線板の製造方法。   6. The multilayer print according to claim 4, wherein a bump made of the conductive paste composition D is formed in contact with an end of the conductive portion of the wiring board base b on the insulating substrate side. A method for manufacturing a wiring board. 請求項1ないし請求項6のいずれかに記載の多層プリント配線板の製造方法により製造されることを特徴とする多層プリント配線板。
A multilayer printed wiring board manufactured by the method for manufacturing a multilayer printed wiring board according to any one of claims 1 to 6.
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