JP2003017545A5 - - Google Patents

Claims (11)

1. ロードロック室内に配置された基板を水平面上の直交する２つのＸ、Ｙ軸方向に移動でき、かつそれらに垂直なＺ軸まわりに回転できる支持手段により下方から支持し、カメラにより撮像した基板の画像の角から前記基板の位置と傾きを認識し、基板の所定位置と認識した基板位置とにずれや傾きがあるとき支持手段のＸ、Ｙ軸方向の移動とＺ軸まわりの回転との少なくとも１つによって基板を所定位置に位置決めする基板の位置決め方法であって、
   基板の角部をなす基板の２辺における、１辺上の２点を結ぶ線分の延長線と他の１辺上の２点を結ぶ線分の延長線とが交差する交点を基板の角と認識して前記画像認識およびそれに基づく位置決めを行うことを特徴とする基板の位置決め方法。
2. 基板の角が欠けた部分に前記検出点の少なくとも１つが掛かっているときの画像認識に基づく位置決め時、基板の位置と傾きとにつき再度画像認識し、位置のずれや傾きがあると位置決め動作を行う請求項１に記載の基板の位置決め方法。
3. 撮像による画像認識に際し、基板をカメラと反対の側で基板から１１５ｍｍ〜１３５ｍｍ離れた位置から照明する請求項１、２のいずれか１項に記載の基板の位置決め方法。
4. ６６０×８８０ｍｍ以上の面積を有する基板を取り扱うのに、基板の撓みを７ｍｍ以下に抑えて支持する請求項１〜３のいずれか１項に記載の基板の位置決め方法。
5. 基板の各長辺部の中央部１箇所と、各短辺部の中央振り分け位置２箇所との、合計６箇所を支持することを特徴とする請求項４に記載の基板の位置決め方法。
6. 基板の６箇所を弾性部材で支持する請求項５に記載の基板の位置決め方法。
7. ロードロック室内に配置された基板を下方から支持し、水平面上の直交する２つのＸ、Ｙ軸方向に移動でき、かつそれらに垂直なＺ軸まわりに回転できる支持手段と、この支持手段により支持される基板を撮像して画像認識に供するカメラと、カメラが撮像した画像データから、基板の角部をなす２辺における、１辺上の２点を結ぶ線分の延長線と他の１辺上の２点を結ぶ線分の延長線とが交差する交点を基板の角と認識して基板の位置および傾きを演算する演算手段と、演算の結果位置ずれや傾きがあると支持手段のＸ、Ｙ軸方向の移動とＺ軸まわりの回転との少なくとも１つによって基板を所定位置に位置決めする制御手段とを備えたことを特徴とする基板の位置決め装置。
8. 制御手段は、基板の角が欠けている部分に前記検出点の少なくとも１つが掛かっているときの画像認識に基づく位置決め時、基板の位置と傾きとにつき再度画像認識し、位置のずれや傾きがあると位置決め動作を行う請求項７に記載の基板の位置決め装置。
9. 基板をカメラと反対の側で基板から１１５ｍｍ〜１３５ｍｍ離れた位置にて照明する照明手段を備えた請求項７、８のいずれか１項に記載の基板の位置決め装置。
10. 支持手段は基板の各長辺部の中央部１箇所と、各短辺部の中央振り分け位置２箇所との、合計６箇所を支持することを特徴とする請求項７〜９のいずれか１項に記載の基板の位置決め装置。
11. 支持手段は基板の６箇所を支持する支持ピンの上端に弾性部材よりなるＯリングを横向きに設けた請求項１０に記載の基板の位置決め装置。