JP2003014670A - 蛍光ｘ線分析方法及び蛍光ｘ線分析装置 - Google Patents
蛍光ｘ線分析方法及び蛍光ｘ線分析装置Info
- Publication number
- JP2003014670A JP2003014670A JP2001200008A JP2001200008A JP2003014670A JP 2003014670 A JP2003014670 A JP 2003014670A JP 2001200008 A JP2001200008 A JP 2001200008A JP 2001200008 A JP2001200008 A JP 2001200008A JP 2003014670 A JP2003014670 A JP 2003014670A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fluorescent
- ray
- sample
- positive electrode
- intensity
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
- Y02E60/10—Energy storage using batteries
Landscapes
- Battery Electrode And Active Subsutance (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 試料中の異物の混入を、精度良く、且つ短時
間で分析可能である。 【解決手段】 試料１００の一主面側に励起用Ｘ線Ｂ１
を照射するＸ線源３と、試料１００の一主面側に放出さ
れる蛍光Ｘ線Ｂ２ａの強度を検出する第１の検出手段４
と、上記第１の検出手段４が検出する、試料１００の一
主面側に放出される蛍光Ｘ線Ｂ２ａの延長線上であり、
且つ上記試料１００の他主面側に放出される蛍光Ｘ線Ｂ
２ｂの強度を検出する第２の検出手段５と、上記第１の
検出手段４の検出結果と上記第２の検出手段５の検出結
果とを合わせて分析する分析手段６とを有する。
間で分析可能である。 【解決手段】 試料１００の一主面側に励起用Ｘ線Ｂ１
を照射するＸ線源３と、試料１００の一主面側に放出さ
れる蛍光Ｘ線Ｂ２ａの強度を検出する第１の検出手段４
と、上記第１の検出手段４が検出する、試料１００の一
主面側に放出される蛍光Ｘ線Ｂ２ａの延長線上であり、
且つ上記試料１００の他主面側に放出される蛍光Ｘ線Ｂ
２ｂの強度を検出する第２の検出手段５と、上記第１の
検出手段４の検出結果と上記第２の検出手段５の検出結
果とを合わせて分析する分析手段６とを有する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、試料中の異物金属
を検出するための蛍光Ｘ線分析方法及び蛍光Ｘ線分析装
置に関する。
を検出するための蛍光Ｘ線分析方法及び蛍光Ｘ線分析装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】リチウムイオン二次電池等の非水電解質
二次電池を構成する部品は、正極、負極、セパレータ、
電解液及び容器に大別される。非水電解質二次電池を製
造するに際して正極活物質等の正極材料以外の金属粒子
からなる異物が、正極中に混入することがある。正極材
料以外の金属粒子からなる異物のうち粒径５０μｍ以上
のもの（以下、異物金属と称する。）は、電池が組み立
てられた後の充電時に溶解し、負極に析出して内部短絡
を生じさせる。したがって、この異物金属が混入した正
極を用いて製造された非水電解質二次電池は、自己放電
増大により不良品となってしまう。
二次電池を構成する部品は、正極、負極、セパレータ、
電解液及び容器に大別される。非水電解質二次電池を製
造するに際して正極活物質等の正極材料以外の金属粒子
からなる異物が、正極中に混入することがある。正極材
料以外の金属粒子からなる異物のうち粒径５０μｍ以上
のもの（以下、異物金属と称する。）は、電池が組み立
てられた後の充電時に溶解し、負極に析出して内部短絡
を生じさせる。したがって、この異物金属が混入した正
極を用いて製造された非水電解質二次電池は、自己放電
増大により不良品となってしまう。
【０００３】このため、非水電解質二次電池の製造工程
では、異物金属が混入しないように細心の注意が払われ
ている。しかしながら、異物金属がいったん混入した場
合には、生産性を維持しつつ特定サイズの異物金属のみ
を正極から選別除去することは極めて困難である。そこ
で、このような不良を引き起こす正極を製造工程から除
去するために、正極における異物金属の混入の有無を調
べる必要がある。
では、異物金属が混入しないように細心の注意が払われ
ている。しかしながら、異物金属がいったん混入した場
合には、生産性を維持しつつ特定サイズの異物金属のみ
を正極から選別除去することは極めて困難である。そこ
で、このような不良を引き起こす正極を製造工程から除
去するために、正極における異物金属の混入の有無を調
べる必要がある。
【０００４】試料である正極中の異物金属を検出する一
般的な分析方法としては、例えば蛍光Ｘ線分析方法が広
く知られている。通常の蛍光Ｘ線分析に用いられる蛍光
Ｘ線分析装置１０は、図６に示すように、正極１００の
一主面側に、励起用Ｘ線Ｂ１を照射するＸ線源１１と、
正極１００から放出される蛍光Ｘ線Ｂ２の強度を検出す
るための検出器１２と、検出器１２からの検出信号を受
けて分析処理を行う分析器１３とを備えている。
般的な分析方法としては、例えば蛍光Ｘ線分析方法が広
く知られている。通常の蛍光Ｘ線分析に用いられる蛍光
Ｘ線分析装置１０は、図６に示すように、正極１００の
一主面側に、励起用Ｘ線Ｂ１を照射するＸ線源１１と、
正極１００から放出される蛍光Ｘ線Ｂ２の強度を検出す
るための検出器１２と、検出器１２からの検出信号を受
けて分析処理を行う分析器１３とを備えている。
【０００５】この蛍光Ｘ線分析装置１０で分析を行う際
には、先ず、Ｘ線源１１から励起用Ｘ線Ｂ１を正極１０
０の一主面に対して照射する。これにより正極１００か
ら一主面側に放出される蛍光Ｘ線Ｂ２の強度を、検出器
１２が検出する。次に、検出器１２の検出結果を受けて
分析器１３が分析を行い、異物金属の混入の有無を評価
する。
には、先ず、Ｘ線源１１から励起用Ｘ線Ｂ１を正極１０
０の一主面に対して照射する。これにより正極１００か
ら一主面側に放出される蛍光Ｘ線Ｂ２の強度を、検出器
１２が検出する。次に、検出器１２の検出結果を受けて
分析器１３が分析を行い、異物金属の混入の有無を評価
する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような通常の蛍光Ｘ線分析方法は、均一物質中に混入
した異物金属については効果的に調べられるものの、非
水電解質二次電池用の正極に混入した異物金属について
は、その混入の有無を調べることが非常に困難である。
言い換えると、通常の性能を有する蛍光Ｘ線分析装置
は、測定感度が不足し、正極に混入した異物金属を精度
良く測定することは困難である。
たような通常の蛍光Ｘ線分析方法は、均一物質中に混入
した異物金属については効果的に調べられるものの、非
水電解質二次電池用の正極に混入した異物金属について
は、その混入の有無を調べることが非常に困難である。
言い換えると、通常の性能を有する蛍光Ｘ線分析装置
は、測定感度が不足し、正極に混入した異物金属を精度
良く測定することは困難である。
【０００７】この理由をさらに詳細に説明する。例えば
図７に示すように、正極１００として、厚さ２０μｍ程
度の集電体１０１上に厚さ（５０＋ｘ）μｍの活物質層
１０２が形成されてなり、不良品発生を引き起こす最小
のサイズである粒径５０μｍの異物金属が、活物質層１
０２の底部に存在する正極１００を用意する。すなわ
ち、異物金属の端部と活物質層１０２との表面の距離は
ｘμｍとされている。
図７に示すように、正極１００として、厚さ２０μｍ程
度の集電体１０１上に厚さ（５０＋ｘ）μｍの活物質層
１０２が形成されてなり、不良品発生を引き起こす最小
のサイズである粒径５０μｍの異物金属が、活物質層１
０２の底部に存在する正極１００を用意する。すなわ
ち、異物金属の端部と活物質層１０２との表面の距離は
ｘμｍとされている。
【０００８】この正極１００に対して励起用Ｘ線Ｂ１を
照射し、異物金属から発せられるＦｅ−Ｋα蛍光Ｘ線Ｂ
２の強度を測定した。なお、上述した蛍光Ｘ線Ｂ２の強
度の測定は、異物金属の端部と活物質層１０２との表面
の距離ｘを０〜６０μｍと変化させた場合、すなわち活
物質１０２の厚さ（５０＋ｘ）μｍを、５０μｍ〜１１
０μｍと変化させた場合について行った。励起用Ｘ線Ｂ
１の入射時の強度を１００％としたときの、蛍光Ｘ線Ｂ
２の相対的な強度を概算した結果を、図８に示す。
照射し、異物金属から発せられるＦｅ−Ｋα蛍光Ｘ線Ｂ
２の強度を測定した。なお、上述した蛍光Ｘ線Ｂ２の強
度の測定は、異物金属の端部と活物質層１０２との表面
の距離ｘを０〜６０μｍと変化させた場合、すなわち活
物質１０２の厚さ（５０＋ｘ）μｍを、５０μｍ〜１１
０μｍと変化させた場合について行った。励起用Ｘ線Ｂ
１の入射時の強度を１００％としたときの、蛍光Ｘ線Ｂ
２の相対的な強度を概算した結果を、図８に示す。
【０００９】蛍光Ｘ線Ｂ２の強度は、正極活物質の厚み
の増加に伴って微弱となり、ｘ＝４０μｍ、すなわち正
極活物質層の厚みが９０μｍを上回る付近で検出強度が
限りなく０％に近づき、ｘ＝５０μｍ、すなわち正極活
物質層の厚みが１００μｍ付近でほぼ０％になる。
の増加に伴って微弱となり、ｘ＝４０μｍ、すなわち正
極活物質層の厚みが９０μｍを上回る付近で検出強度が
限りなく０％に近づき、ｘ＝５０μｍ、すなわち正極活
物質層の厚みが１００μｍ付近でほぼ０％になる。
【００１０】つまり、Ｆｅを含有する異物金属から発せ
られた蛍光Ｘ線Ｂ２は、活物質層１０２を通過して外に
放出されるまでの間に活物質層１０２に共存するＣｏ、
Ｍｎ、Ｎｉ等の元素による吸収妨害を受けるため、強度
が著しく弱められる。このため、異物金属が活物質層１
０２の深部に存在する場合には、蛍光Ｘ線Ｂ２の強度が
著しく弱められ、異物金属から発せられる蛍光Ｘ線Ｂ２
の強度を検出器で検出することが不可能となる。
られた蛍光Ｘ線Ｂ２は、活物質層１０２を通過して外に
放出されるまでの間に活物質層１０２に共存するＣｏ、
Ｍｎ、Ｎｉ等の元素による吸収妨害を受けるため、強度
が著しく弱められる。このため、異物金属が活物質層１
０２の深部に存在する場合には、蛍光Ｘ線Ｂ２の強度が
著しく弱められ、異物金属から発せられる蛍光Ｘ線Ｂ２
の強度を検出器で検出することが不可能となる。
【００１１】また、蛍光Ｘ線Ｂ２の強度を高めるため
に、励起用Ｘ線Ｂ１の出力を高めることが考えられる
が、測定時間が長時間化する等の不都合がある。また、
性能の高い大規模なＸ線傾向分析装置が必要となる。
に、励起用Ｘ線Ｂ１の出力を高めることが考えられる
が、測定時間が長時間化する等の不都合がある。また、
性能の高い大規模なＸ線傾向分析装置が必要となる。
【００１２】そこで本発明はこのような従来の実情に鑑
みて提案されたものであり、試料中の異物金属の混入
を、精度良く、且つ短時間で分析可能な蛍光Ｘ線分析方
法及び蛍光Ｘ線分析装置を提供することを目的とする。
みて提案されたものであり、試料中の異物金属の混入
を、精度良く、且つ短時間で分析可能な蛍光Ｘ線分析方
法及び蛍光Ｘ線分析装置を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、本発明に係る蛍光Ｘ線分析方法は、試料の一主面
側に励起用Ｘ線を照射することによって当該試料の一主
面側に放出される蛍光Ｘ線の強度と、上記試料の一主面
側に放出される蛍光Ｘ線の延長上であり、且つ当該試料
の他主面側に放出される蛍光Ｘ線の強度とをそれぞれ検
出し、これらの検出結果を合わせて分析することを特徴
とする。
めに、本発明に係る蛍光Ｘ線分析方法は、試料の一主面
側に励起用Ｘ線を照射することによって当該試料の一主
面側に放出される蛍光Ｘ線の強度と、上記試料の一主面
側に放出される蛍光Ｘ線の延長上であり、且つ当該試料
の他主面側に放出される蛍光Ｘ線の強度とをそれぞれ検
出し、これらの検出結果を合わせて分析することを特徴
とする。
【００１４】以上のように構成された蛍光Ｘ線分析方法
では、試料から互いに１８０°逆方向に放出される蛍光
Ｘ線の強度をそれぞれ検出することにより、異物から発
せられる蛍光Ｘ線を確実に検出できる。すなわち、これ
らの検出結果を積算して分析することにより、試料のい
かなる位置に異物が存在する場合であっても、異物から
発せられた蛍光Ｘ線を充分な強度にて検出することがで
きる。
では、試料から互いに１８０°逆方向に放出される蛍光
Ｘ線の強度をそれぞれ検出することにより、異物から発
せられる蛍光Ｘ線を確実に検出できる。すなわち、これ
らの検出結果を積算して分析することにより、試料のい
かなる位置に異物が存在する場合であっても、異物から
発せられた蛍光Ｘ線を充分な強度にて検出することがで
きる。
【００１５】また、励起用Ｘ線の出力を向上させること
や、測定時間を長時間化することがない。
や、測定時間を長時間化することがない。
【００１６】特に、上記試料は、金属箔上に活物質層が
形成されてなる電池用電極であることが好ましい。
形成されてなる電池用電極であることが好ましい。
【００１７】集電体となる金属箔は、蛍光Ｘ線を吸収し
難い材料からなり、また膜厚も薄くなされているため、
活物質層に比べて蛍光Ｘ線が透過しやすい。したがっ
て、活物質層を通過してくる蛍光Ｘ線の強度だけでな
く、金属箔を通過してくる蛍光Ｘ線の強度も検出するこ
とにより、異物から発せられる蛍光Ｘ線を確実に検出で
きる。すなわち、これらの検出結果を積算して分析する
ことにより、電池用電極のいかなる位置に異物が存在す
る場合であっても、異物の存在を確認することができ
る。
難い材料からなり、また膜厚も薄くなされているため、
活物質層に比べて蛍光Ｘ線が透過しやすい。したがっ
て、活物質層を通過してくる蛍光Ｘ線の強度だけでな
く、金属箔を通過してくる蛍光Ｘ線の強度も検出するこ
とにより、異物から発せられる蛍光Ｘ線を確実に検出で
きる。すなわち、これらの検出結果を積算して分析する
ことにより、電池用電極のいかなる位置に異物が存在す
る場合であっても、異物の存在を確認することができ
る。
【００１８】また、本発明に係る蛍光Ｘ線分析装置は、
試料の一主面側に励起用Ｘ線を照射するＸ線源と、試料
の一主面側に放出される蛍光Ｘ線の強度を検出する第１
の検出手段と、上記第１の検出手段が検出する、試料の
一主面側に放出される蛍光Ｘ線の延長線上であり、且つ
上記試料の他主面側に放出される蛍光Ｘ線の強度を検出
する第２の検出手段と、上記第１の検出手段の検出結果
と上記第２の検出手段の検出結果とを合わせて分析する
分析手段とを有することを特徴とする。
試料の一主面側に励起用Ｘ線を照射するＸ線源と、試料
の一主面側に放出される蛍光Ｘ線の強度を検出する第１
の検出手段と、上記第１の検出手段が検出する、試料の
一主面側に放出される蛍光Ｘ線の延長線上であり、且つ
上記試料の他主面側に放出される蛍光Ｘ線の強度を検出
する第２の検出手段と、上記第１の検出手段の検出結果
と上記第２の検出手段の検出結果とを合わせて分析する
分析手段とを有することを特徴とする。
【００１９】以上のように構成された蛍光Ｘ線分析装置
では、試料から互いに１８０°逆方向に放出される蛍光
Ｘ線の強度を、第１の検出手段と第２の検出手段とでそ
れぞれ検出することにより、異物から発せられる蛍光Ｘ
線を確実に検出できる。すなわち、分析手段でこれらの
検出結果を積算して分析することにより、試料のいかな
る位置に異物が存在する場合であっても、異物から発せ
られた蛍光Ｘ線を充分な強度にて検出することができ
る。
では、試料から互いに１８０°逆方向に放出される蛍光
Ｘ線の強度を、第１の検出手段と第２の検出手段とでそ
れぞれ検出することにより、異物から発せられる蛍光Ｘ
線を確実に検出できる。すなわち、分析手段でこれらの
検出結果を積算して分析することにより、試料のいかな
る位置に異物が存在する場合であっても、異物から発せ
られた蛍光Ｘ線を充分な強度にて検出することができ
る。
【００２０】また、この蛍光Ｘ線分析装置によれば、励
起用Ｘ線の出力を向上させることや、測定時間を長時間
することなく分析可能である。
起用Ｘ線の出力を向上させることや、測定時間を長時間
することなく分析可能である。
【００２１】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る蛍光Ｘ線分析
方法について、図面を参照しながら詳細に説明する。
方法について、図面を参照しながら詳細に説明する。
【００２２】図１に示す蛍光Ｘ線分析装置１は、試料と
して例えば正極中に混入した異物金属の存在を判別する
ための装置である。
して例えば正極中に混入した異物金属の存在を判別する
ための装置である。
【００２３】この蛍光Ｘ線分析装置１は、試料として集
電体となる金属箔上に活物質層が形成されてなる電池用
電極、特に正極１００を保持する保持部材２と、正極１
００に励起用Ｘ線Ｂ１を照射するＸ線源３と、正極１０
０の主面に対してＸ線源３側且つ法線方向に放出される
蛍光Ｘ線の強度を検出する第１の検出器４と、正極１０
０の主面に対してＸ線源３と反対側且つ法線方向に放出
される蛍光Ｘ線の強度を検出する第２の検出器５と、分
析器６とを備えて構成されている。
電体となる金属箔上に活物質層が形成されてなる電池用
電極、特に正極１００を保持する保持部材２と、正極１
００に励起用Ｘ線Ｂ１を照射するＸ線源３と、正極１０
０の主面に対してＸ線源３側且つ法線方向に放出される
蛍光Ｘ線の強度を検出する第１の検出器４と、正極１０
０の主面に対してＸ線源３と反対側且つ法線方向に放出
される蛍光Ｘ線の強度を検出する第２の検出器５と、分
析器６とを備えて構成されている。
【００２４】保持部材２は、分析を行う際に正極１００
を保持するものである。なお、図１においては、保持部
材２と集電体とが接する状態で正極１００を保持部材２
に固定している。
を保持するものである。なお、図１においては、保持部
材２と集電体とが接する状態で正極１００を保持部材２
に固定している。
【００２５】また、保持部材２は、図示しないフレーム
に支持されている。フレームは、例えばリング状又は四
角形等の所望の形状を呈している。そして、このフレー
ムは、図示しないフレーム支持部材に固定され、フレー
ム支持部材は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に自在に移動可能
とされている。すなわち、この蛍光Ｘ線分析装置１で
は、フレーム支持部材を移動させることにより、保持部
材２を移動させることができ、これにより、保持部材２
に保持された正極１００をＸ軸方向及びＹ軸方向に自在
に移動させ、分析位置の変更及びスキャンが可能とされ
ている。
に支持されている。フレームは、例えばリング状又は四
角形等の所望の形状を呈している。そして、このフレー
ムは、図示しないフレーム支持部材に固定され、フレー
ム支持部材は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に自在に移動可能
とされている。すなわち、この蛍光Ｘ線分析装置１で
は、フレーム支持部材を移動させることにより、保持部
材２を移動させることができ、これにより、保持部材２
に保持された正極１００をＸ軸方向及びＹ軸方向に自在
に移動させ、分析位置の変更及びスキャンが可能とされ
ている。
【００２６】Ｘ線源３は、正極１００の活物質層側に配
され、正極１００の主面に対して所定の入射角θをもっ
て励起用Ｘ線Ｂ１を照射するものである。
され、正極１００の主面に対して所定の入射角θをもっ
て励起用Ｘ線Ｂ１を照射するものである。
【００２７】Ｘ線源３の配置位置は、図１に示す入射角
θが極力小さくなるように、すなわち正極１００に対し
て入射する励起用Ｘ線Ｂ１が試料の法線に近づくように
設定することが好ましい。これにより、活物質層１００
内を通過する励起用Ｘ線Ｂ１が、検出対象である異物金
属に到達するまでの距離を短くできるため、活物質層１
００による吸収を極力抑えられ、励起用Ｘ線Ｂ１の強度
を維持できる。
θが極力小さくなるように、すなわち正極１００に対し
て入射する励起用Ｘ線Ｂ１が試料の法線に近づくように
設定することが好ましい。これにより、活物質層１００
内を通過する励起用Ｘ線Ｂ１が、検出対象である異物金
属に到達するまでの距離を短くできるため、活物質層１
００による吸収を極力抑えられ、励起用Ｘ線Ｂ１の強度
を維持できる。
【００２８】なお、Ｘ線源３は、正極１００の集電体側
に配するようにしても良い。
に配するようにしても良い。
【００２９】第１の検出器４は、励起用Ｘ線Ｂ１が正極
１００に入射する点での正極１００の法線上に配され、
正極１００の活物質層側から法線方向に放出される蛍光
Ｘ線Ｂ２ａの強度を検出する。第１の検出器４として
は、例えば波長分散方式の検出器等が用いられる。
１００に入射する点での正極１００の法線上に配され、
正極１００の活物質層側から法線方向に放出される蛍光
Ｘ線Ｂ２ａの強度を検出する。第１の検出器４として
は、例えば波長分散方式の検出器等が用いられる。
【００３０】第２の検出器５は、励起用Ｘ線Ｂ１が正極
１００に入射する点での正極１００の法線上に配され、
正極１００の集電体側から法線方向に放出される蛍光Ｘ
線Ｂ２ｂの強度を検出する。第２の検出器５としては、
例えば波長分散方式の検出器等が用いられる。
１００に入射する点での正極１００の法線上に配され、
正極１００の集電体側から法線方向に放出される蛍光Ｘ
線Ｂ２ｂの強度を検出する。第２の検出器５としては、
例えば波長分散方式の検出器等が用いられる。
【００３１】すなわち、これら第１の検出器４と第２の
検出器５とは、正極１００から放出される蛍光Ｘ線のう
ち、正極１００から互いに１８０°逆方向に放出される
蛍光Ｘ線Ｂ２ａと蛍光Ｘ線Ｂ２ｂとをそれぞれ検出可能
な位置に配される。
検出器５とは、正極１００から放出される蛍光Ｘ線のう
ち、正極１００から互いに１８０°逆方向に放出される
蛍光Ｘ線Ｂ２ａと蛍光Ｘ線Ｂ２ｂとをそれぞれ検出可能
な位置に配される。
【００３２】分析器６は、第１の検出器４で検出した蛍
光Ｘ線Ｂ２ａの強度の検出結果と、第２の検出器５で検
出した蛍光Ｘ線Ｂ２ｂの強度の検出結果とを、それぞれ
受けて、これらの検出結果を検出結果を合わせて分析す
ること、すなわち積算して分析することが可能な制御ユ
ニットを備えるものである。
光Ｘ線Ｂ２ａの強度の検出結果と、第２の検出器５で検
出した蛍光Ｘ線Ｂ２ｂの強度の検出結果とを、それぞれ
受けて、これらの検出結果を検出結果を合わせて分析す
ること、すなわち積算して分析することが可能な制御ユ
ニットを備えるものである。
【００３３】試料となる正極１００は、例えば非水電解
質二次電池等の正極として用いられるものである。正極
１００は、図２に示すように集電体１０１の一主面上に
活物質層１０２が形成されてなる。
質二次電池等の正極として用いられるものである。正極
１００は、図２に示すように集電体１０１の一主面上に
活物質層１０２が形成されてなる。
【００３４】集電体１０１は、例えばアルミ箔等からな
り、厚みは２０μｍ以下程度とされている。また、活物
質層１０２は、正極活物質を例えば溶剤等とともに集電
体１０１上に塗布、乾燥することにより形成されてい
る。正極活物質としては、例えばＬｉＣｏＯ２、ＬｉＭ
ｎＯ２、ＬｉＮｉＯ２等のリチウム化合物等が挙げられ
る。
り、厚みは２０μｍ以下程度とされている。また、活物
質層１０２は、正極活物質を例えば溶剤等とともに集電
体１０１上に塗布、乾燥することにより形成されてい
る。正極活物質としては、例えばＬｉＣｏＯ２、ＬｉＭ
ｎＯ２、ＬｉＮｉＯ２等のリチウム化合物等が挙げられ
る。
【００３５】また、正極１００は、集電体を除いた活物
質層１０２の厚みが１００μｍ以下であることが好まし
い。活物質層１０２の厚みが１００μｍを上回ると、活
物質層１０２が集電体１０１から剥離する虞がある。
質層１０２の厚みが１００μｍ以下であることが好まし
い。活物質層１０２の厚みが１００μｍを上回ると、活
物質層１０２が集電体１０１から剥離する虞がある。
【００３６】集電体１０１として用いられるアルミ箔の
Ｘ線吸収率は極めて小さく、具体的には活物質層１０２
のＸ線吸収率の約１／１０以下である。これとともに、
集電体１０１の厚みは、活物質層１０２の厚みの１／５
程度とされている。すなわち、集電体１０１のＸ線吸収
率は、活物質層１０２のＸ線吸収率の略１／５０以下と
されており、ほぼ無視できるレベルである。
Ｘ線吸収率は極めて小さく、具体的には活物質層１０２
のＸ線吸収率の約１／１０以下である。これとともに、
集電体１０１の厚みは、活物質層１０２の厚みの１／５
程度とされている。すなわち、集電体１０１のＸ線吸収
率は、活物質層１０２のＸ線吸収率の略１／５０以下と
されており、ほぼ無視できるレベルである。
【００３７】この蛍光Ｘ線分析装置１では、以下のよう
にして蛍光Ｘ線分析を行う。
にして蛍光Ｘ線分析を行う。
【００３８】まず、試料となる正極１００を、フレーム
に保持された保持部材２上に、集電体１０１が保持部材
２に接するように保持する。
に保持された保持部材２上に、集電体１０１が保持部材
２に接するように保持する。
【００３９】つぎに、蛍光Ｘ線分析装置１内を所定の圧
力に真空引きする。これにより、空気の散乱による励起
用Ｘ線及び蛍光Ｘ線の減衰が防止される。
力に真空引きする。これにより、空気の散乱による励起
用Ｘ線及び蛍光Ｘ線の減衰が防止される。
【００４０】つぎに、フレーム支持部材を移動させるこ
とにより、正極１００を例えば所定のスキャン開始位置
まで移動させる。
とにより、正極１００を例えば所定のスキャン開始位置
まで移動させる。
【００４１】つぎに、Ｘ線源３から正極１００に対して
励起用Ｘ線Ｂ１を照射する。これにより図３に示すよう
に、正極１００から放出される蛍光Ｘ線のうち、第１の
検出器４が、活物質層１０２側へ放出される蛍光Ｘ線Ｂ
２ａの強度を検出する。それと略同時に、第２の検出器
５が、集電体１０１側へ放出される蛍光Ｘ線Ｂ２ｂの強
度を検出する。第１の検出器４及び第２の検出器５は、
検出結果にもとづく信号を分析器６へそれぞれ出力す
る。
励起用Ｘ線Ｂ１を照射する。これにより図３に示すよう
に、正極１００から放出される蛍光Ｘ線のうち、第１の
検出器４が、活物質層１０２側へ放出される蛍光Ｘ線Ｂ
２ａの強度を検出する。それと略同時に、第２の検出器
５が、集電体１０１側へ放出される蛍光Ｘ線Ｂ２ｂの強
度を検出する。第１の検出器４及び第２の検出器５は、
検出結果にもとづく信号を分析器６へそれぞれ出力す
る。
【００４２】つぎに、分析器６は、第１の検出器４から
入力された信号と、第２の検出器５から入力された信号
とを積算処理し、分析する。
入力された信号と、第２の検出器５から入力された信号
とを積算処理し、分析する。
【００４３】上述したような操作を正極１００の位置を
移動させてスキャンしながら行うことにより、正極１０
０中の異物金属の混入分析を行うことができる。
移動させてスキャンしながら行うことにより、正極１０
０中の異物金属の混入分析を行うことができる。
【００４４】例えば図３に示すように、異物金属が活物
質層１０２の底、すなわち集電体１０１近傍に存在する
場合、異物から活物質層１０２側へ発せられた蛍光Ｘ線
Ｂ２ａは、活物質層１０２を通過するまでに共存する元
素による吸収妨害を受けて、極めて微弱となる。このた
め、第１の検出器４は、正極１００から放出される蛍光
Ｘ線Ｂ２ａの強度を検出できない場合がある。
質層１０２の底、すなわち集電体１０１近傍に存在する
場合、異物から活物質層１０２側へ発せられた蛍光Ｘ線
Ｂ２ａは、活物質層１０２を通過するまでに共存する元
素による吸収妨害を受けて、極めて微弱となる。このた
め、第１の検出器４は、正極１００から放出される蛍光
Ｘ線Ｂ２ａの強度を検出できない場合がある。
【００４５】これに対して、異物から集電体１０１側へ
発せられた蛍光Ｘ線Ｂ２ｂは、活物質層１０２に比べて
Ｘ線を透過しやすい材料からなる集電体１０１と、Ｘ線
透過性材料からなる保持部材２を通過して、正極１００
の外へ放出される。すなわち、集電体１０１側へ放出さ
れた蛍光Ｘ線Ｂ２ｂは、吸収妨害の影響を比較的受ける
ことなく充分な強度をもって放出されることになる。こ
のため、異物金属が活物質層１０２の底、すなわち集電
体１０１近傍に存在する場合には、第２の検出器５が、
正極１００から放出される蛍光Ｘ線Ｂ２ｂの強度を検出
することになる。なお、図３においては保持部材２の図
示を省略している。
発せられた蛍光Ｘ線Ｂ２ｂは、活物質層１０２に比べて
Ｘ線を透過しやすい材料からなる集電体１０１と、Ｘ線
透過性材料からなる保持部材２を通過して、正極１００
の外へ放出される。すなわち、集電体１０１側へ放出さ
れた蛍光Ｘ線Ｂ２ｂは、吸収妨害の影響を比較的受ける
ことなく充分な強度をもって放出されることになる。こ
のため、異物金属が活物質層１０２の底、すなわち集電
体１０１近傍に存在する場合には、第２の検出器５が、
正極１００から放出される蛍光Ｘ線Ｂ２ｂの強度を検出
することになる。なお、図３においては保持部材２の図
示を省略している。
【００４６】逆に、異物金属が活物質層１０２の表面に
存在する場合には、第１の検出器４が蛍光Ｘ線Ｂ２ａの
強度を確実に検出する。
存在する場合には、第１の検出器４が蛍光Ｘ線Ｂ２ａの
強度を確実に検出する。
【００４７】したがって、第１の検出器４の検出結果と
第２の検出器５の検出結果とを積算して分析することに
より、正極１００中のいかなる位置に異物金属が混入し
ている場合であっても、異物金属の存在を確実に検知す
ることができる。
第２の検出器５の検出結果とを積算して分析することに
より、正極１００中のいかなる位置に異物金属が混入し
ている場合であっても、異物金属の存在を確実に検知す
ることができる。
【００４８】以上説明したように、本発明によれば、試
料から互いに１８０°逆方向に放出される蛍光Ｘ線の強
度を試料の両主面側に配された検出器によってそれぞれ
検出することにより、異物から発せられる蛍光Ｘ線を確
実に検出できる。すなわち、これらの検出結果を積算し
て分析することにより、試料のいかなる位置に異物が存
在する場合であっても、異物から発せられた蛍光Ｘ線を
充分な強度にて検出することができる。このため、試料
に混入した異物金属について、その数や大きさを精度良
く検出することが可能である。具体的には、試料の一主
面側にのみ検出器が配された蛍光Ｘ線分析装置で分析し
た場合に比べて、検出感度を約３倍向上させることがで
きる。
料から互いに１８０°逆方向に放出される蛍光Ｘ線の強
度を試料の両主面側に配された検出器によってそれぞれ
検出することにより、異物から発せられる蛍光Ｘ線を確
実に検出できる。すなわち、これらの検出結果を積算し
て分析することにより、試料のいかなる位置に異物が存
在する場合であっても、異物から発せられた蛍光Ｘ線を
充分な強度にて検出することができる。このため、試料
に混入した異物金属について、その数や大きさを精度良
く検出することが可能である。具体的には、試料の一主
面側にのみ検出器が配された蛍光Ｘ線分析装置で分析し
た場合に比べて、検出感度を約３倍向上させることがで
きる。
【００４９】また、本発明によれば、励起用Ｘ線の出力
を向上させるために大規模で高価な蛍光Ｘ線装置を用意
することや、測定時間を長時間化することがなく、精度
良い分析が可能である。また、試料を破壊することなく
異物金属の混入を検出可能である。
を向上させるために大規模で高価な蛍光Ｘ線装置を用意
することや、測定時間を長時間化することがなく、精度
良い分析が可能である。また、試料を破壊することなく
異物金属の混入を検出可能である。
【００５０】なお、上述したような蛍光Ｘ線分析方法
を、図２に示すような非水電解質二次電池用正極の分析
に採用する場合には、正極を作製した直後に分析するこ
とが好ましい。
を、図２に示すような非水電解質二次電池用正極の分析
に採用する場合には、正極を作製した直後に分析するこ
とが好ましい。
【００５１】また、非水電解質二次電池用正極として
は、図２に示すように集電体１０１の一主面上に活物質
層１０２が形成されているものと、図４に示すように集
電体１０１の両主面に活物質層１０２が形成されている
ものとがあるが、後者を分析する場合には、集電体１０
１の一主面のみに活物質層１０２が形成されている時点
で分析を行うことが好ましい。
は、図２に示すように集電体１０１の一主面上に活物質
層１０２が形成されているものと、図４に示すように集
電体１０１の両主面に活物質層１０２が形成されている
ものとがあるが、後者を分析する場合には、集電体１０
１の一主面のみに活物質層１０２が形成されている時点
で分析を行うことが好ましい。
【００５２】また、Ｘ線源３は、正極１００の集電体１
０１側に配されても良い。すなわち、図５に示すよう
に、正極１００の集電体１０１側から励起用Ｘ線Ｂ１が
照射されても構わない。
０１側に配されても良い。すなわち、図５に示すよう
に、正極１００の集電体１０１側から励起用Ｘ線Ｂ１が
照射されても構わない。
【００５３】上述のような蛍光Ｘ線分析方法を非水電解
質二次電池の製造工程で用いることにより、異物金属の
混入した正極を、次工程に移行する前に判別することが
できる。このため、汚染された正極を製造工程から除外
することにより、最終製品である例えば非水電解質二次
電池の不良率の大幅な低下、すなわち歩留まりの向上に
寄与できる。具体的には、従来の歩留まりを約１％改善
することが可能である。
質二次電池の製造工程で用いることにより、異物金属の
混入した正極を、次工程に移行する前に判別することが
できる。このため、汚染された正極を製造工程から除外
することにより、最終製品である例えば非水電解質二次
電池の不良率の大幅な低下、すなわち歩留まりの向上に
寄与できる。具体的には、従来の歩留まりを約１％改善
することが可能である。
【００５４】また、異物金属が混入した正極を非破壊で
検査できるため、従来の、集電体から正極活物質を剥離
して分析するような、破壊分析による異物金属の分析に
比べて測定時間の大幅な短縮を図ることが可能である。
具体的には、測定の速度を約３倍向上することが可能で
ある。
検査できるため、従来の、集電体から正極活物質を剥離
して分析するような、破壊分析による異物金属の分析に
比べて測定時間の大幅な短縮を図ることが可能である。
具体的には、測定の速度を約３倍向上することが可能で
ある。
【００５５】なお、上述したような蛍光Ｘ線分析方法に
よって分析される試料としては、上述したような非水電
解質二次電池用の正極を用いることが好ましいが、これ
に限定することなく、いかなるものを分析しても構わな
い。
よって分析される試料としては、上述したような非水電
解質二次電池用の正極を用いることが好ましいが、これ
に限定することなく、いかなるものを分析しても構わな
い。
【００５６】
【実施例】以下、本発明を具体的な実験結果にもとづい
て説明する。
て説明する。
【００５７】＜実施例１＞実施例１では、試料として、
厚み２０μｍのアルミ箔の一主面に９５ｗｔ％のＬｉＣ
ｏＯ２と２．５ｗｔ％のカーボンと２．５ｗｔ％のポリ
フッ化ビニリデンとを含有する活物質層が厚み８０μｍ
で形成され、さらに、この活物質層中に異物金属として
鉄が混入された非水電解質二次電池の正極を用意した。
厚み２０μｍのアルミ箔の一主面に９５ｗｔ％のＬｉＣ
ｏＯ２と２．５ｗｔ％のカーボンと２．５ｗｔ％のポリ
フッ化ビニリデンとを含有する活物質層が厚み８０μｍ
で形成され、さらに、この活物質層中に異物金属として
鉄が混入された非水電解質二次電池の正極を用意した。
【００５８】そして、上述した図１に示すような、正極
の両主面側に波長分散方式の検出器をそれぞれ配置した
Ｘ線蛍光分析装置を用いて、正極中に混入している鉄等
の異物金属の検出を試みた。
の両主面側に波長分散方式の検出器をそれぞれ配置した
Ｘ線蛍光分析装置を用いて、正極中に混入している鉄等
の異物金属の検出を試みた。
【００５９】測定条件
Ｘ線管：縦型Ｒｈ／Ｃｒデュアルターゲット管（５０ｋ
ｖ−６０Ｍａ） 検出器：波長分散型検出器（正極電極の表側及び裏側に
それぞれ１個ずつ配置） 分析径：５ｍｍ×３ｍｍ この結果、５点において、異物を示すピークを検出し
た。そこで、正極のピークの検出点を切り出して調べた
ところ、粒径約７０μｍの鉄粒子が混入していることが
確認された。
ｖ−６０Ｍａ） 検出器：波長分散型検出器（正極電極の表側及び裏側に
それぞれ１個ずつ配置） 分析径：５ｍｍ×３ｍｍ この結果、５点において、異物を示すピークを検出し
た。そこで、正極のピークの検出点を切り出して調べた
ところ、粒径約７０μｍの鉄粒子が混入していることが
確認された。
【００６０】＜比較例１＞まず、試料として、実施例１
と同様の非水電解質二次電池の正極を用意した。
と同様の非水電解質二次電池の正極を用意した。
【００６１】そして、図６に示すような、試料の表側に
配された１個の検出器を有する従来の蛍光Ｘ線分析装置
を用いて、以下の条件により異物である鉄の検出を試み
た。
配された１個の検出器を有する従来の蛍光Ｘ線分析装置
を用いて、以下の条件により異物である鉄の検出を試み
た。
【００６２】測定条件
Ｘ線管：縦型Ｒｈ／Ｃｒデュアルターゲット管（５０ｋ
ｖ−６０Ｍａ） 検出器：波長分散型検出器（正極電極の表側に１個のみ
配置） 分析径：５ｍｍ×３ｍｍ この結果、異物を示すピークを検出不能であった。
ｖ−６０Ｍａ） 検出器：波長分散型検出器（正極電極の表側に１個のみ
配置） 分析径：５ｍｍ×３ｍｍ この結果、異物を示すピークを検出不能であった。
【００６３】以上の実施例１及び比較例１の結果より、
従来の蛍光Ｘ線分析装置では検出不可能である粒径７０
μｍ程度の鉄粒子が、本発明を適用した蛍光Ｘ線分析装
置においては検出可能であることが判った。
従来の蛍光Ｘ線分析装置では検出不可能である粒径７０
μｍ程度の鉄粒子が、本発明を適用した蛍光Ｘ線分析装
置においては検出可能であることが判った。
【００６４】＜実施例２＞実施例２では、試料として、
厚み２０μｍのアルミ箔の一主面に９５ｗｔ％のＬｉＣ
ｏＯ２と２．５ｗｔ％のカーボンと２．５ｗｔ％のポリ
フッ化ビニリデンとを含有する活物質層が厚み８０μｍ
で形成され、さらに、この活物質層中に異物金属として
真鍮が混入された非水電解質二次電池の正極を用意し
た。そして、実施例１と同様の条件で、試料中に混入し
ている真鍮等の異物金属の検出を試みた。
厚み２０μｍのアルミ箔の一主面に９５ｗｔ％のＬｉＣ
ｏＯ２と２．５ｗｔ％のカーボンと２．５ｗｔ％のポリ
フッ化ビニリデンとを含有する活物質層が厚み８０μｍ
で形成され、さらに、この活物質層中に異物金属として
真鍮が混入された非水電解質二次電池の正極を用意し
た。そして、実施例１と同様の条件で、試料中に混入し
ている真鍮等の異物金属の検出を試みた。
【００６５】この結果、１５点において、異物を示すピ
ークを検出した。そこで、正極のピークの検出点を切り
出して調べたところ、粒径約６０μｍ〜１００μｍの真
鍮粒子が混入していることが確認された。
ークを検出した。そこで、正極のピークの検出点を切り
出して調べたところ、粒径約６０μｍ〜１００μｍの真
鍮粒子が混入していることが確認された。
【００６６】＜比較例２＞まず、試料として、実施例２
と同様の非水電解質二次電池の正極を用意した。そし
て、比較例１と同様の条件で、異物である真鍮の検出を
試みた。
と同様の非水電解質二次電池の正極を用意した。そし
て、比較例１と同様の条件で、異物である真鍮の検出を
試みた。
【００６７】この結果、異物を示すピークが検出不能で
あった。
あった。
【００６８】以上の実施例２及び比較例２の結果より、
従来の蛍光Ｘ線分析装置では検出不可能である粒径約６
０μｍ〜１００μｍ程度の真鍮粒子が、本発明を適用し
た蛍光Ｘ線分析装置においては検出可能であることが判
った。
従来の蛍光Ｘ線分析装置では検出不可能である粒径約６
０μｍ〜１００μｍ程度の真鍮粒子が、本発明を適用し
た蛍光Ｘ線分析装置においては検出可能であることが判
った。
【００６９】したがって、本発明を適用した蛍光Ｘ線分
析方法及び蛍光Ｘ線分析装置を用いることにより、従来
の蛍光Ｘ線分析では検出できなかった異物金属の検出を
精度良く行うことが可能であるといえる。
析方法及び蛍光Ｘ線分析装置を用いることにより、従来
の蛍光Ｘ線分析では検出できなかった異物金属の検出を
精度良く行うことが可能であるといえる。
【００７０】
【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明に係る蛍光Ｘ線分析方法は、試料から互いに１８０°
逆方向に放出される蛍光Ｘ線の強度をそれぞれ検出する
ことにより、異物から発せられる蛍光Ｘ線を確実に検出
できる。すなわち、これらの検出結果を積算して分析す
ることにより、試料のいかなる位置に異物が存在する場
合であっても、異物から発せられた蛍光Ｘ線を充分な強
度にて検出することができる。したがって、本発明によ
れば、試料中の異物金属の混入を精度良く検出すること
ができる。
明に係る蛍光Ｘ線分析方法は、試料から互いに１８０°
逆方向に放出される蛍光Ｘ線の強度をそれぞれ検出する
ことにより、異物から発せられる蛍光Ｘ線を確実に検出
できる。すなわち、これらの検出結果を積算して分析す
ることにより、試料のいかなる位置に異物が存在する場
合であっても、異物から発せられた蛍光Ｘ線を充分な強
度にて検出することができる。したがって、本発明によ
れば、試料中の異物金属の混入を精度良く検出すること
ができる。
【００７１】また、本発明に係る蛍光Ｘ線分析方法で
は、励起用Ｘ線の出力を向上させるために大規模な設備
を用意することや、測定時間を長時間化する必要がない
ため、簡単且つ短時間での分析が可能である。
は、励起用Ｘ線の出力を向上させるために大規模な設備
を用意することや、測定時間を長時間化する必要がない
ため、簡単且つ短時間での分析が可能である。
【００７２】また、本発明に係る蛍光Ｘ線分析装置は、
試料から互いに１８０°逆方向に放出される蛍光Ｘ線の
強度を、第１の検出手段と第２の検出手段とでそれぞれ
検出することにより、異物から発せられる蛍光Ｘ線を確
実に検出できる。すなわち、分析手段でこれらの検出結
果を積算して分析することにより、試料のいかなる位置
に異物が存在する場合であっても、異物から発せられた
蛍光Ｘ線を充分な強度にて検出することができる。した
がって、本発明によれば、試料中の異物金属の混入を精
度良く検出することができる。
試料から互いに１８０°逆方向に放出される蛍光Ｘ線の
強度を、第１の検出手段と第２の検出手段とでそれぞれ
検出することにより、異物から発せられる蛍光Ｘ線を確
実に検出できる。すなわち、分析手段でこれらの検出結
果を積算して分析することにより、試料のいかなる位置
に異物が存在する場合であっても、異物から発せられた
蛍光Ｘ線を充分な強度にて検出することができる。した
がって、本発明によれば、試料中の異物金属の混入を精
度良く検出することができる。
【００７３】また、この蛍光Ｘ線分析装置によれば、励
起用Ｘ線の出力を向上させるために大規模な設備を用意
することや、測定時間を長時間する必要がないため、簡
単且つ短時間での分析が可能である。
起用Ｘ線の出力を向上させるために大規模な設備を用意
することや、測定時間を長時間する必要がないため、簡
単且つ短時間での分析が可能である。
【図１】本発明を適用した蛍光Ｘ線分析装置の構成を模
式的に示す図である。
式的に示す図である。
【図２】試料である正極の断面図である。
【図３】図１における、励起用Ｘ線が照射された正極付
近を拡大して示す断面図である。
近を拡大して示す断面図である。
【図４】集電体の両主面に活物質層が形成されてなる正
極電極の断面図である。
極電極の断面図である。
【図５】正極の集電体側から励起用Ｘ線を照射した状態
を示す断面図である。
を示す断面図である。
【図６】従来の蛍光Ｘ線分析装置の構成を模式的に示す
図である。
図である。
【図７】図６における、励起用Ｘ線が照射された正極付
近を拡大して示す図である。
近を拡大して示す図である。
【図８】活物質層側に配された検出器によって、正極中
の異物金属から発せられた蛍光Ｘ線強度を検出した結果
を示す特性図である。
の異物金属から発せられた蛍光Ｘ線強度を検出した結果
を示す特性図である。
１ 蛍光Ｘ線分析装置、２ 保持部材、３ Ｘ線源、４
第１の検出器、５第２の検出器、６ 分析器、１００
正極、１０１ 集電体、１０１ 活物質層
第１の検出器、５第２の検出器、６ 分析器、１００
正極、１０１ 集電体、１０１ 活物質層
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 2G001 AA01 BA04 CA01 DA01 DA02
DA06 FA14 GA01 GA06 JA11
KA01 LA02 NA13 NA17 NA18
RA08
2G043 AA01 BA01 EA11 GA08 GB01
GB03
5H050 AA19 BA05 CA08 CA09 GA27
GA28 GA29 HA12
Claims (8)
- 【請求項１】 試料の一主面側に励起用Ｘ線を照射する
ことによって当該試料の一主面側に放出される蛍光Ｘ線
の強度と、上記試料の一主面側に放出される蛍光Ｘ線の
延長上であり、且つ当該試料の他主面側に放出される蛍
光Ｘ線の強度とをそれぞれ検出し、これらの検出結果を
合わせて分析することを特徴とする蛍光Ｘ線分析方法。 - 【請求項２】 励起用Ｘ線が照射される部分での、試料
の法線方向に放出される蛍光Ｘ線をそれぞれ検出するこ
とを特徴とする請求項１記載の蛍光Ｘ線分析方法。 - 【請求項３】 上記試料は、金属箔上に活物質層が形成
されてなる電池用電極であることを特徴とする請求項１
記載の蛍光Ｘ線分析方法。 - 【請求項４】 上記電池用電極は、正極電極であること
を特徴とする請求項４記載の蛍光Ｘ線分析方法。 - 【請求項５】 試料の一主面側に励起用Ｘ線を照射する
Ｘ線源と、 試料の一主面側に放出される蛍光Ｘ線の強度を検出する
第１の検出手段と、 上記第１の検出手段が検出する、試料の一主面側に放出
される蛍光Ｘ線の延長線上であり、且つ上記試料の他主
面側に放出される蛍光Ｘ線の強度を検出する第２の検出
手段と、 上記第１の検出手段の検出結果と上記第２の検出手段の
検出結果とを合わせて分析する分析手段とを有すること
を特徴とする蛍光Ｘ線分析装置。 - 【請求項６】 上記第１の検出手段は、上記試料の一主
面側且つ試料の法線方向に放出される蛍光Ｘ線の強度を
検出し、 上記第２の検出手段は、上記試料の他主面側且つ試料の
法線方向に放出される蛍光Ｘ線の強度を検出することを
特徴とする請求項５記載の蛍光Ｘ線分析装置。 - 【請求項７】 上記試料は、金属箔上に活物質層が形成
されてなる電池用電極であることを特徴とする請求項５
記載の蛍光Ｘ線分析装置。 - 【請求項８】 上記電池用電極は、正極電極であること
を特徴とする請求項７記載の蛍光Ｘ線分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001200008A JP2003014670A (ja) | 2001-06-29 | 2001-06-29 | 蛍光ｘ線分析方法及び蛍光ｘ線分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001200008A JP2003014670A (ja) | 2001-06-29 | 2001-06-29 | 蛍光ｘ線分析方法及び蛍光ｘ線分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003014670A true JP2003014670A (ja) | 2003-01-15 |
Family
ID=19037205
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001200008A Withdrawn JP2003014670A (ja) | 2001-06-29 | 2001-06-29 | 蛍光ｘ線分析方法及び蛍光ｘ線分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003014670A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100566590B1 (ko) | 2004-09-15 | 2006-03-31 | 주식회사 디지털텍 | 내부 롤에의 이물질 부착여부 확인장치를 채용한 리튬 2차전지용 전극활물질 코팅 장치 |
| JP2006251298A (ja) * | 2005-03-10 | 2006-09-21 | Nissan Motor Co Ltd | 音声入力装置および音声入力方法 |
| US7643608B2 (en) | 2004-12-28 | 2010-01-05 | Panasonic Corporation | Method for checking for leakage from tubular batteries |
| JP2011107005A (ja) * | 2009-11-19 | 2011-06-02 | Seiko Instruments Inc | 蛍光ｘ線検査装置及び蛍光ｘ線検査方法 |
| WO2011122663A1 (ja) * | 2010-03-30 | 2011-10-06 | 三井金属鉱業株式会社 | リチウムイオン電池用正極活物質材料及びリチウムイオン電池 |
| CN113552148A (zh) * | 2020-04-13 | 2021-10-26 | 东芝It·控制系统株式会社 | 非破坏检查装置 |
-
2001
- 2001-06-29 JP JP2001200008A patent/JP2003014670A/ja not_active Withdrawn
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100566590B1 (ko) | 2004-09-15 | 2006-03-31 | 주식회사 디지털텍 | 내부 롤에의 이물질 부착여부 확인장치를 채용한 리튬 2차전지용 전극활물질 코팅 장치 |
| US7643608B2 (en) | 2004-12-28 | 2010-01-05 | Panasonic Corporation | Method for checking for leakage from tubular batteries |
| JP2006251298A (ja) * | 2005-03-10 | 2006-09-21 | Nissan Motor Co Ltd | 音声入力装置および音声入力方法 |
| JP2011107005A (ja) * | 2009-11-19 | 2011-06-02 | Seiko Instruments Inc | 蛍光ｘ線検査装置及び蛍光ｘ線検査方法 |
| JP5140193B2 (ja) * | 2010-03-30 | 2013-02-06 | 三井金属鉱業株式会社 | リチウムイオン電池用正極活物質材料及びリチウムイオン電池 |
| GB2491535A (en) * | 2010-03-30 | 2012-12-05 | Mitsui Mining & Smelting Co | Positive electrode active material for lithium-ion battery and lithium-ion battery |
| WO2011122663A1 (ja) * | 2010-03-30 | 2011-10-06 | 三井金属鉱業株式会社 | リチウムイオン電池用正極活物質材料及びリチウムイオン電池 |
| US20130134349A1 (en) * | 2010-03-30 | 2013-05-30 | Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd. | Positive Electrode Active Material for Lithium-Ion Battery and Lithium-Ion Battery |
| GB2491535B (en) * | 2010-03-30 | 2013-07-03 | Mitsui Mining & Smelting Co | Positive electrode active material for lithium-ion battery and lithium-ion battery |
| JPWO2011122663A1 (ja) * | 2010-03-30 | 2013-07-08 | 三井金属鉱業株式会社 | リチウムイオン電池用正極活物質材料及びリチウムイオン電池 |
| KR101325165B1 (ko) | 2010-03-30 | 2013-11-07 | 미쓰이 긴조꾸 고교 가부시키가이샤 | 리튬 이온 전지용 양극 활물질 재료 및 리튬 이온 전지 |
| US8728343B2 (en) * | 2010-03-30 | 2014-05-20 | Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd. | Positive electrode active material for lithium-ion battery and lithium-ion battery |
| CN113552148A (zh) * | 2020-04-13 | 2021-10-26 | 东芝It·控制系统株式会社 | 非破坏检查装置 |
| CN113552148B (zh) * | 2020-04-13 | 2023-11-17 | 东芝It·控制系统株式会社 | 非破坏检查装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Qian et al. | The role of structural defects in commercial lithium-ion batteries | |
| JP5813923B2 (ja) | Ｘ線透過検査装置及びｘ線透過検査方法 | |
| EP3447479A1 (en) | Method and device for continuous non-destructive inspection of membrane-electrode assembly | |
| JP5564303B2 (ja) | Ｘ線透過検査装置 | |
| JP2012524385A (ja) | バッテリーを動作させるための方法 | |
| WO2019163023A1 (ja) | 電池材料の化学状態分析装置及び方法 | |
| EP3816616A1 (en) | Radiation transmission inspection method and device, and method for manufacturing microporous film | |
| JP2010286406A (ja) | Ｘ線透過検査装置及びｘ線透過検査方法 | |
| KR102009051B1 (ko) | 이물 검출 장치 | |
| JP2003014670A (ja) | 蛍光ｘ線分析方法及び蛍光ｘ線分析装置 | |
| US20180059035A1 (en) | X-ray transmission inspection apparatus | |
| JP2011107005A (ja) | 蛍光ｘ線検査装置及び蛍光ｘ線検査方法 | |
| US10823676B2 (en) | Non-contact type security inspection system and method | |
| Kunimura et al. | Trace elemental determination using a portable total reflection X-ray fluorescence spectrometer with a collodion film sample holder | |
| Liendo et al. | Comparison between proton‐induced x‐ray emission (PIXE) and total reflection x‐ray fluorescence (TXRF) spectrometry for the elemental analysis of human amniotic fluid | |
| KR102381250B1 (ko) | 전지 음극 표면의 금속 성분 분석 방법 | |
| US20200292449A1 (en) | Detecting metal contamination in polymer sheets | |
| Bauermann et al. | Nondestructive Defect Detection in Battery Pouch Cells: A Comparative Study of Scanning Acoustic Microscopy and X-Ray Computed Tomography | |
| JP7382244B2 (ja) | 膜電極構造体の検査方法 | |
| US5336886A (en) | Apparatus for measuring a diffraction pattern of electron beams having only elastic scattering electrons | |
| JP2019144123A (ja) | 電池材料の化学状態分析方法 | |
| Sato et al. | Rapid detection and element identification of fine metal particles for underpinning battery quality | |
| CN110261419B (zh) | 自动在线检测重金属的设备及方法、纺织品生产设备 | |
| Pitta Bauermann et al. | Nondestructive Defect Detection in Battery Pouch Cells: A Comparative Study of Scanning Acoustic Microscopy and X‐Ray Computed Tomography | |
| JPH08152378A (ja) | 光ファイバーの検査方法および装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20080902 |