JP2011107005A - 蛍光x線検査装置及び蛍光x線検査方法 - Google Patents
蛍光x線検査装置及び蛍光x線検査方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011107005A JP2011107005A JP2009263485A JP2009263485A JP2011107005A JP 2011107005 A JP2011107005 A JP 2011107005A JP 2009263485 A JP2009263485 A JP 2009263485A JP 2009263485 A JP2009263485 A JP 2009263485A JP 2011107005 A JP2011107005 A JP 2011107005A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fluorescent
- element constituting
- subject
- energy
- ray inspection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/20—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
- G01N23/207—Diffractometry using detectors, e.g. using a probe in a central position and one or more displaceable detectors in circumferential positions
- G01N23/2076—Diffractometry using detectors, e.g. using a probe in a central position and one or more displaceable detectors in circumferential positions for spectrometry, i.e. using an analysing crystal, e.g. for measuring X-ray fluorescence spectrum of a sample with wavelength-dispersion, i.e. WDXFS
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
- G01N23/223—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material by irradiating the sample with X-rays or gamma-rays and by measuring X-ray fluorescence
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/60—Specific applications or type of materials
- G01N2223/643—Specific applications or type of materials object on conveyor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/60—Specific applications or type of materials
- G01N2223/652—Specific applications or type of materials impurities, foreign matter, trace amounts
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
【解決手段】移動する被検体100に含まれる異物110を検出し、かつ被検体を構成する1つの元素の原子番号が異物を構成する1つの元素の原子番号より大きい場合に適用され、被検体に1次放射線を照射する放射線源10と、1次放射線の照射によって異物を構成する1つの元素から放出される蛍光X線を検出する検出器12とを備え、被検体を構成する1つの元素のK吸収端のエネルギーをE1、異物を構成する1つの元素のK吸収端のエネルギーをE2としたとき、1次放射線がエネルギーピークEPを持ち、E2<EP<E1
である蛍光X線検査装置1である。
【選択図】図2
Description
又、正極の一面にX線を照射し、正極の上下面から放出される蛍光X線をそれぞれ積算して検出することで、充分な検出強度を得る技術が開示されている(特許文献2)。
このようにすると、被検体(試料)を構成する元素の光電効果が抑制され、検出ノイズとなる蛍光X線の発生が抑制されるので、異物の検出感度が向上する。又、1次放射線のエネルギーはE2を超えるため、異物の光電効果を有効に起こさせることができる。このようにして良好な感度の異物検出が行えるため、測定時間が短くて済む。以上のことから、従来は難しかった移動する被検体に含まれる異物の検出が可能になる。
前記信号処理手段は、前記計数率が前記閾値を越えた時間が一定時間以上であったときに、異物が存在したと判断してもよい。
このようにすると、指定された被検体と異物に対応してE2<EP<E1の関係を満たす放射線源を表示するので、オペレータは適切な放射線源を選択して測定を行うことができる。
前記被検体を構成する元素がMnであり、かつ前記異物を構成する1つの元素がCrであり、前記1次放射線はFeの特性X線を含むのが好ましい。
前記被検体を構成する元素がMnであり、かつ前記異物を構成する1つの元素がCrであり、前記放射線源が放射性同位元素である181W又は57Coを用いるのが好ましい。
図1は本発明の実施形態に係る蛍光X線検査装置1の構成を示すブロック図である。蛍光X線検査装置1は、放射線源10と、蛍光X線を検出する検出器12と、検出器12で検出した蛍光X線の計数率を出力するレートメーター14と、パーソナルコンピュータ20とを備えている。放射線源10からの1次放射線は、レンズ10Aで集光された後、搬送装置(コンベア200)上に載置されてL方向に移動する被検体(Liイオン電池の正極板)100に照射される。又、検出器12は、検出器電源12Aから電源供給を受け、1次放射線の照射によって被検体100(及び被検体中の異物110)から放出される蛍光X線を検出し、レートメーター14へ出力する。レートメーター14は、検出された蛍光X線を、単位時間当たりのカウント数(計数率)としてアナログ出力する。
放射線源10としては、ターゲットを有するX線管(球)や、所定の放射性同位元素を利用した照射装置を一次放射線源として用いることができる。レンズ10Aは、放射線源10から拡散した放射線を集光して密度を高めるものであり、キャピラリやクリスタルを用いることができる。検出器12については後述する。
又、後述するように、パーソナルコンピュータ20(CPU22)は、測定に適した放射線源の種類を記憶手段24から読出し、その放射線源の種類等をモニタ28に表示させると共に、レートメーター14から出力される計数率を取得し、所定の閾値を超えたか否かを判断する。従って、CPU22が特許請求の範囲の、「読出し手段」、「表示手段」、「信号処理手段」に相当する。
なお、以下の説明では、被検体100がコバルト酸リチウム(LiCoO2)からなる正極活物質を集電体にペーストした正極板であり、異物110が主にFeである場合を例とする。このとき、被検体100の主成分は、Li、Co、及びO(酸素)であるが、蛍光X線分析においてFe(異物)の検出に悪影響を及ぼす(検出ノイズとなる)元素は、原子番号がFeより1大きいCoとなる。
従って、E2<EP<E1となるように放射線源を設定(選択)することで、E2<EPであるために検出対象元素(異物)の光電効果が有効に引き起こされ、異物(Fe)から効果的にFe-Kα線が発生して検出感度が上がる。また、EP<E1であるためにCoに光電効果は起こらず、従って異物のFe−Kα線に干渉を及ぼすCo由来の蛍光X線の発生が抑えられるため、Feの検出感度が上がる。そして、検出感度が上がる事により、被検体を移動させながら行う迅速な異物検出が可能になる。
以上のことから、従来の蛍光X線装置に比べて測定時間が短く、検出感度も向上するため、従来は難しかった移動する被検体に含まれる異物の検出が可能になる。一方従来の蛍光X線装置の場合、放射線源からの一次放射線には、E1とE2に挟まれたエネルギーにエネルギーピークEPが存在しないため、本発明の効果は期待できない。
また、検出器12がE2未満の特定の波長(エネルギー)を検出する場合、一般的にエネルギー分散型の検出器に比べて検出感度が高い波長分散型の検出器を用いた場合であっても、検出するエネルギーをマッピングする必要がなく、検出器の簡素化及び小型化というメリットも享受できる。さらにEdはE1より小さく(例えば、上記例では、EdはE1より1.3keV程度小さい)、Edとなるエネルギーでは被検体であるCoの質量吸収係数が小さい。そのため被検体内に埋もれた異物から発生する蛍光X線でも、被検体で吸収される割合が抑えられて効率良く検出することができる。
一方、図4は、EP>E1とした従来の蛍光X線装置による蛍光X線スペクトルを示す図である。図4の場合、被検体(Co)に由来する非常に強いCo-Kα線が発生し、この線のスペクトルの裾がFe-Kαのバックグラウンドとして悪影響を及ぼし、Feの検出感度が低下する。また、エネルギー分散型の検出器を使った場合、強いCo-Kαのために検出部(SDD)が飽和し、Fe-Kαの数え落としが生じたり分解能の低下を招いてしまう。その結果、放射線源の強度を強くしても、異物であるFeの検出感度を充分に向上させることが困難である。
これらのうちFeとNiのK吸収端のエネルギーはMnのK吸収端のエネルギーより大きい。そのためFeやNiの蛍光X線の強度を高くするエネルギーを持つ一次放射線を照射すると、Mnの蛍光X線強度も必然的に上昇してしまう。そしてMnに由来する強いMn-Kα線のために、FeやNiの蛍光X線であるFe-KαやNi-Kαが悪影響を受けてしまう。つまりステンレス異物をFeやNiで検出しようとしても充分な検出感度が得られない。
なお、Crから放出される蛍光X線(Cr-Kα線)のエネルギーEdは5.415keVであり、Ed<E2となっている。さらにEdはE1より小さく(例えば、上記例では、EdはE1より1.1keV程度小さい)、Edとなるエネルギーでは被検体であるMnの質量吸収係数が小さい。そのため被検体内に埋もれた異物から発生する蛍光X線でも、被検体で吸収される割合が抑えられて効率良く検出することができる。
例えば、被検体がニッケル酸リチウム(LiNiO2あるいはLiNi0.8Co0.15Al0.05O2)でFe異物を検出する場合がある。被検体を構成する元素Niは異物元素Feより原子番号が2大きい。この場合には、FeのE2(7.112keV)とNiのE1(8.333keV)の間にEPが存在するターゲット材のX線管(放射線源)、すなわちNiターゲット(EP=7.478keV)のX線管を選択すれば良い。
図6は、記憶手段24に記憶された元素テーブル24aのデータ構成を示す。元素テーブル24aは、元素毎のK吸収端およびKα蛍光X線のエネルギーを1つのレコードとして記憶している。又、各レコードは、元素の原子番号の順に並んでおり、各レコードが元素の原子番号に対応付けられている。
図7は、記憶手段24に記憶された放射線源テーブル24bのデータ構成を示す。放射線源テーブル24bは、放射線源の種類毎のKα線のエネルギーピークEPを1つのレコードとして記憶している。
まず、オペレータ(操作者)が入力手段26を操作して被検体(例えばCo)と異物(例えばFe)の元素を入力すると、CPU22は入力結果を取得する(ステップS2)。次に、CPU22は被検体(Co)及び異物(Fe)のK吸収端のエネルギー(それぞれE1,E2)をテーブル24aから読み出す。被検体のK吸収端のエネルギーE1が異物のK吸収端のエネルギーE2より大きければ、CPU22はステップS4を「Yes」としてステップS6に進む。一方、ステップS4が「No」であればステップS2に戻り、操作者に再度入力を促す。
なお、ステップS2において、異物のうち検出対象とする元素の入力は必須であるが、被検体の元素の入力は必須ではなく、被検体のK吸収端のエネルギーが異物のK吸収端のエネルギーより大きいか否かを、予め操作者が判断しておいてもよい。但し、ステップS4の処理をCPU22が自動的に行うことで、被検体のK吸収端のエネルギーが異物のK吸収端のエネルギーより小さいのに誤って測定を行う等のミスがなくなる。
次に、CPU22は、ステップS6で読み出した放射線源の種類(例えば、「Niターゲット」)をモニタ28に表示させる(ステップS8)。
オペレータが手動で、または装置が自動で、モニタ28に表示された放射線源を蛍光X線検査装置に取り付け(又は、付け替え)を行う。
そして、ステップS9では、CPU22は、検出する異物の元素の蛍光XエネルギーEdをテーブル24aから読み出す。読み出したEdに基づいて検出器の検出条件が設定される。具体的には、Edを含む所定範囲のエネルギー領域を検出するように、例えば以下の図9のようにして検出器の検出条件が設定される。
ここで、CPU22は、異物の蛍光X線の検出値Edを含む所定範囲のエネルギーに対応したメモリ領域のみを読み出し、レートメーター14に出力する。従って、異物の蛍光X線の検出値に対応したメモリ領域以外のエネルギーに相当する値が記憶されたメモリ領域127a、127bを読み出してレートメーター14に出力しないので、メモリ127からの読み出し時間、及びレートメーター14での処理時間を短縮し、測定時間を短くすることができる。このようにして、測定時間が短くなるため、移動する被検体に含まれる異物の検出が可能になっている。
分光結晶131は、主に測定対象とする波長領域と、用いる結晶の面間隔によって選択される。波長の短い重元素の分析にはLiF(2d=4.03×10-10m)、波長の長い軽元素の分析にはEDDT(2d=8.8×10-10m)またはADP(2d=10.65×10-10m)などが分光結晶131に使用できる。検出部135としては、比例計数管やシンチレーションカウンターを用いることができる。
なお、測定対象となる異物の元素を特定することで、検出器が検出する波長範囲を(Edを含む)限定することができ、波長分散型の検出器を用いて迅速に定性分析が可能となる。そのため、いわゆるマッピングが必須ではなく、検査時間が短くなるため、移動する試料に含まれる異物の検出が可能となる。
図10に示すように、CPU(信号処理手段)22は、計数率Sgが閾値SHを越えたときに異物が存在したと判断することができる。これにより、ノイズと分離して適切に異物の検出が可能となる。なお、図10では、閾値SHは2つの値があり、そのうち値の低い閾値SHより計数率が小さくなった時、及び値の高い閾値SHより計数率が大きくなった時、それぞれ計数率が閾値SHを越えたと判断する。閾値SHは、ノイズの標準偏差の3倍程度に設定する。
なお、計数率Sgが閾値SHを越えた時間が一定時間以上であったときに、CPU(信号処理手段)22が異物の存在を判断するようにすると、ノイズの影響を更に受けずに、適切に異物の検出が可能となる。
但し、放射線源10や検出器12には大きさがあるので、θ1とθ2とは0にはならず、所定の値をとる。従って、θ1=θ2としつつ、放射線源10をなるべく被検体100に近づけると、検出感度の向上の点から好ましい。
実際のリチウムイオン電池の正極(200×250mm、正極活物質LiMn2O4;厚さ70μm、集電体Al;厚さ20μm)構造において、異物を正極表面におけるSUS粉末とし、SUS中のCrから放出される蛍光X線の検出を行った。波長分散型の蛍光X線検査装置を用い、X線管球には出力3kW(50kV)のFe管球を用い、検出器は比例計数管を用いた。また、Cr検出の判断は、バックグランドの標準偏差の10倍相当の信号を検出したときとした。
その結果、正極における200×250mm領域の測定時間は、異物がφ100μmのSUS粒子の場合は1秒以下で検出可能であり、異物がφ50μmの場合は約2〜3秒、異物がφ35μmの場合は約10秒前後で検出することができ、移動する正極に対して実用的なレベルで検出できることが確認できた。
このような例として、被検体を構成する元素がMn(K吸収端のエネルギーE1が6.540keV)で、異物を構成する1つの元素がCr(K吸収端のエネルギーE2が5.989keV)の場合、1次放射線として、放射性同位元素である181Wを用いると、181WのEC(電子捕獲)崩壊に伴って、181Taのγ線(エネルギー6.24keV)を放出する。この6.24keVγ線は、1次放射線のエネルギーがE1とE2の間にあるピークEPに適用できてり、本発明の効果が有効に得られる。
同様に、1次放射線として、放射性同位元素である57Coを用いると、57CoのEC(電子捕獲)崩壊に伴って、FeのKα線(エネルギー6.404kev)を放出する。このFeのKα線は、1次放射線のエネルギーがE1とE2の間にあるピークEPに適用できて、本発明の効果が有効に得られる。
10 放射線源
12、13 検出器
14 レートメーター
22 読出し手段、表示手段、信号処理手段(CPU)
24 記憶手段
100 被検体(試料)
110 異物
Claims (8)
- 移動する被検体に含まれる異物を検出し、かつ前記被検体を構成する1つの元素の原子番号が前記異物を構成する1つの元素の原子番号より大きい場合に適用される蛍光X線検査装置であって、
前記被検体に1次放射線を照射する放射線源と、前記1次放射線の照射によって前記異物を構成する1つの元素から放出される蛍光X線を検出する検出器とを備え、
前記被検体を構成する1つの元素のK吸収端のエネルギーをE1、前記異物を構成する1つの元素のK吸収端のエネルギーをE2としたとき、前記1次放射線がエネルギーピークEPを持ち、
E2<EP<E1
であることを特徴とする蛍光X線検査装置。 - 前記検出器で検出した蛍光X線の計数率を出力するレートメーターと、
前記計数率が閾値を越えたときに異物が存在したと判断する信号処理手段とをさらに備えた請求項1記載の蛍光X線検査装置。 - 前記信号処理手段は、前記計数率が前記閾値を越えた時間が一定時間以上であったときに、異物が存在したと判断する請求項1又は2記載の蛍光X線検査装置。
- 前記異物と前記被検体を構成する元素とを含む複数の元素のK吸収端およびKα蛍光X線のエネルギーと、前記放射線源に対応付けた前記一次放射線の前記エネルギーピークEPとを記憶する記憶手段と、
前記被検体を構成する1つの元素と前記異物を構成する1つの元素が指定されると、E2<EP<E1の関係を満たす前記放射線源を前記記憶手段から読出す読出し手段と、
前記読出し手段によって読出された前記放射線源を表示する表示手段を備えた請求項1記載の蛍光X線検査装置。 - 前記被検体を構成する元素がCoであり、かつ前記異物を構成する1つの元素がFeであり、前記1次放射線はNiの特性X線を含む請求項1〜4のいずれかに記載の蛍光X線検査装置。
- 前記被検体を構成する元素がMnであり、かつ前記異物を構成する1つの元素がCrであり、
前記1次放射線はFeの特性X線を含む請求項1〜4のいずれかに記載の蛍光X線検査装置。 - 前記被検体を構成する元素がMnであり、かつ前記異物を構成する1つの元素がCrであり、
前記放射線源が放射性同位元素である181W又は57Coを用いる請求項1〜4のいずれかに記載の蛍光X線検査装置。 - 移動する被検体に含まれる異物を検出し、かつ前記被検体を構成する1つの元素の原子番号が前記異物を構成する1つの元素の原子番号より大きい場合に適用される蛍光X線検査方法であって、
前記被検体を構成する1つの元素のK吸収端のエネルギーをE1、前記異物を構成する1つの元素のK吸収端のエネルギーをE2としたとき、エネルギーピークEPを持ち、E2<EP<E1である1次放射線を前記被検体に照射する過程と、
前記1次放射線の照射によって前記異物を構成する1つの元素から放出される蛍光X線を検出する過程
とを有することを特徴とする蛍光X線検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009263485A JP5553300B2 (ja) | 2009-11-19 | 2009-11-19 | 蛍光x線検査装置及び蛍光x線検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009263485A JP5553300B2 (ja) | 2009-11-19 | 2009-11-19 | 蛍光x線検査装置及び蛍光x線検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011107005A true JP2011107005A (ja) | 2011-06-02 |
JP5553300B2 JP5553300B2 (ja) | 2014-07-16 |
Family
ID=44230646
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009263485A Active JP5553300B2 (ja) | 2009-11-19 | 2009-11-19 | 蛍光x線検査装置及び蛍光x線検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5553300B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014190922A (ja) * | 2013-03-28 | 2014-10-06 | Hitachi High-Tech Science Corp | 異物検出装置 |
JP2016098468A (ja) * | 2014-11-25 | 2016-05-30 | 特種東海製紙株式会社 | ガラス板合紙用木材パルプ及びガラス板用合紙 |
WO2020008727A1 (ja) * | 2018-07-04 | 2020-01-09 | 株式会社リガク | 蛍光x線分析装置 |
CN112955734A (zh) * | 2018-10-18 | 2021-06-11 | 安全事务有限公司 | 用于探测和识别物质内的外来成分的系统和方法 |
JP7377890B2 (ja) | 2019-12-02 | 2023-11-10 | 株式会社 堀場アドバンスドテクノ | 蛍光x線分析装置 |
JP7386259B2 (ja) | 2019-12-02 | 2023-11-24 | 株式会社 堀場アドバンスドテクノ | 蛍光x線分析装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0875683A (ja) * | 1994-07-06 | 1996-03-22 | Rigaku Ind Co | 蛍光x線分析装置 |
JP2003014670A (ja) * | 2001-06-29 | 2003-01-15 | Sony Corp | 蛍光x線分析方法及び蛍光x線分析装置 |
-
2009
- 2009-11-19 JP JP2009263485A patent/JP5553300B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0875683A (ja) * | 1994-07-06 | 1996-03-22 | Rigaku Ind Co | 蛍光x線分析装置 |
JP2003014670A (ja) * | 2001-06-29 | 2003-01-15 | Sony Corp | 蛍光x線分析方法及び蛍光x線分析装置 |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
JPN6013038761; 山路 功: '「X線分析」' 色材協会誌 Vol. 78,No. 12, 20051220, p. 583-591 * |
JPN6013056979; 櫻井 昇、北原 明治、渡邊 是彦、富田 政一、大島 康裕、金澤 孝昌: '「高感度X線異物検査システムにおける安全性と精度向上のための改良」' 東京都立産業技術研究所研究報告 第4号, 20011228, p. 101-104 * |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014190922A (ja) * | 2013-03-28 | 2014-10-06 | Hitachi High-Tech Science Corp | 異物検出装置 |
JP2016098468A (ja) * | 2014-11-25 | 2016-05-30 | 特種東海製紙株式会社 | ガラス板合紙用木材パルプ及びガラス板用合紙 |
WO2020008727A1 (ja) * | 2018-07-04 | 2020-01-09 | 株式会社リガク | 蛍光x線分析装置 |
JPWO2020008727A1 (ja) * | 2018-07-04 | 2021-07-08 | 株式会社リガク | 蛍光x線分析装置 |
US11733185B2 (en) | 2018-07-04 | 2023-08-22 | Rigaku Corporation | Fluorescent X-ray analysis apparatus comprising a plurality of X-ray detectors and an X-ray irradiation unit including a multi-wavelength mirror |
JP7394464B2 (ja) | 2018-07-04 | 2023-12-08 | 株式会社リガク | 蛍光x線分析装置 |
IL279576B1 (en) * | 2018-07-04 | 2024-05-01 | Rigaku Denki Co Ltd | Luminescent x-ray analysis device |
CN112955734A (zh) * | 2018-10-18 | 2021-06-11 | 安全事务有限公司 | 用于探测和识别物质内的外来成分的系统和方法 |
JP7377890B2 (ja) | 2019-12-02 | 2023-11-10 | 株式会社 堀場アドバンスドテクノ | 蛍光x線分析装置 |
JP7386259B2 (ja) | 2019-12-02 | 2023-11-24 | 株式会社 堀場アドバンスドテクノ | 蛍光x線分析装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5553300B2 (ja) | 2014-07-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5553300B2 (ja) | 蛍光x線検査装置及び蛍光x線検査方法 | |
JP5813923B2 (ja) | X線透過検査装置及びx線透過検査方法 | |
JP5564303B2 (ja) | X線透過検査装置 | |
US20200386696A1 (en) | Apparatus and method for analyzing chemical state of battery material | |
JP2010286406A (ja) | X線透過検査装置及びx線透過検査方法 | |
Katayama et al. | Development of a two-dimensional imaging system of X-ray absorption fine structure | |
JP2013036984A (ja) | 蛍光x線分析装置 | |
KR102009051B1 (ko) | 이물 검출 장치 | |
Sato et al. | Non-destructive observation of plated lithium distribution in a large-scale automobile Li-ion battery using synchrotron X-ray diffraction | |
Sun et al. | Quantitative analysis of single aerosol particles with confocal micro-X-ray fluorescence spectrometer | |
Zech et al. | Quantitative manganese dissolution investigation in lithium-ion batteries by means of X-ray spectrometry techniques | |
JP2015138027A (ja) | コンプトン散乱を用いた元素濃度の決定方法 | |
JP4908303B2 (ja) | X線単結晶方位測定装置およびその測定方法 | |
JP2010286405A (ja) | X線透過検査装置及びx線透過検査方法 | |
JP6001604B2 (ja) | 電極に対するx線を用いた二次元測定の方法 | |
KR102001217B1 (ko) | 엑스선 검출기를 교정하는 방법 | |
Dastjerdi et al. | The quality assessment of radial and tangential neutron radiography beamlines of TRR | |
US20230168398A1 (en) | A fixed in-core detector design using sic schottky diodes configured with a high axial and radial sensor density and enhanced fission gamma measurement sensitivity | |
JP4894491B2 (ja) | 放射線透過測定装置及び放射線透過測定方法 | |
JP6472434B2 (ja) | X線分析装置及びコンピュータプログラム | |
RU87257U1 (ru) | Рентгенофлуоресцентный энергодисперсионный анализатор | |
JP2010122198A (ja) | 原子価分析装置 | |
WO2024005006A1 (ja) | 厚み計測方法、x線分析装置、情報処理装置及びコンピュータプログラム | |
Beckhoff et al. | Reference‐free x‐ray fluorescence analysis of an ancient Chinese ceramic | |
Qiu et al. | The potential of using Li-ion batteries for radiation detection |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120905 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120918 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20130829 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131031 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140107 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140217 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140422 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140520 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5553300 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |