JP7377890B2 - 蛍光x線分析装置 - Google Patents
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Description
1 ・・・X線源
2 ・・・一次コリメータ
3 ・・・二次ターゲット
4 ・・・二次コリメータ
5 ・・・X線透過膜
6 ・・・検出器
7 ・・・濃度算出器
Claims (10)
- 測定対象となる第1元素と、前記第1元素よりも原子番号の大きい第2元素と、を含んだ液体試料を分析する蛍光X線分析装置であって、
第1X線を射出するX線源と、
前記第1X線によって励起されて第2X線が発生するものであり、当該第2X線が前記液体試料に入射するように設けられた二次ターゲットと、
前記第2X線によって励起された前記液体試料において発生する蛍光X線を検出する検出器と、
前記検出器の出力に基づいて、前記第1元素の前記液体試料中における濃度を算出する濃度算出器と、を備え、
前記液体試料の試料面に対する前記第2X線の照射光軸の交点である照射中心と、前記試料面に対する前記検出器の検出光軸の交点である視野中心とが、前記試料面内において離間するように構成されており、
前記X線源、前記二次ターゲット及び前記検出器が前記液体試料の下側に配置されていることを特徴とする蛍光X線分析装置。 - 前記液体試料と接し、試料面を形成するX線透過膜をさらに備え、
前記第2X線が前記X線透過膜を通過して前記液体試料に照射されるように構成された請求項1記載の蛍光X線分析装置。 - 前記X線透過膜が、ポリイミド、芳香族ポリエーテルケトン、ポリフェニレンサルファイド、アラミド、グラフェン、又は、ダイアモンドライクカーボンで形成された請求項2記載の蛍光X線分析装置。
- 前記第1X線の照射光軸をZ軸、Z軸と前記X線源の光源点で直交し、前記試料面と平行なXZ平面を形成する軸をX軸、前記X線源の光源点を通り、X軸及びZ軸と直交とする軸をY軸とした場合に、
前記二次ターゲットが、前記第1X線が入射するターゲット面を具備し、
前記ターゲット面が、XZ平面に対して傾斜しているとともに、YZ平面に対しても傾斜している請求項1乃至3いずれかに記載の蛍光X線分析装置。 - 前記ターゲット面に対する法線ベクトルが(X,Y,Z)=(-1/2,1/√2,-1/2)となるように前記ターゲット面がXZ平面及びYZ平面に対して傾斜している請求項4記載の蛍光X線分析装置。
- 前記検出器が、蛍光X線を検出する検出面を具備し、
前記検出面がXZ平面に対して傾斜するとともに、当該検出面が前記X線源側を向いている請求項4又は5記載の蛍光X線分析装置。 - 前記二次ターゲットが、それぞれ別々に第2X線が発生するように配置された複数のターゲット要素からなる請求項1乃至5いずれかに記載の蛍光X線分析装置。
- 2つの前記ターゲット要素が、前記検出器を挟むように配置された請求項7記載の蛍光X線分析装置。
- 前記第1元素がシリコン(Si)であり、
前記第2元素がリン(P)である請求項1乃至8いずれかに記載の蛍光X線分析装置。 - 前記照射中心と前記視野中心の離間距離が、3mm以上10mm以下である請求項9記載の蛍光X線分析装置。
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