JP2006030018A - 蛍光x線分析装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 1次X線を効率よく試料励起に用いて、測定試料元素を多重励起し、1ppm以下の微量元素を分析可能とする小型の蛍光X線分析装置を提供する。
【解決手段】 2次ターゲットを試料セル中に載置し、測定試料の分析深さ内で、1次X線、2次ターゲットによる1次X線の散乱線および2次ターゲットから発生したX線を励起線源群とする。
【選択図】 図2
【解決手段】 2次ターゲットを試料セル中に載置し、測定試料の分析深さ内で、1次X線、2次ターゲットによる1次X線の散乱線および2次ターゲットから発生したX線を励起線源群とする。
【選択図】 図2
Description
本発明は、蛍光X線分析の特に2次ターゲットによる蛍光X線励起を用いた蛍光X線分析装置に関するものである。
蛍光X線分析においては、1次X線を試料に照射し、試料中の元素を励起するが、分析元素エネルギ範囲によっては分析深さが浅いため、試料表面から数100μm以上の試料深さで励起された元素は試料中で吸収されて試料表面に到着しない。従来の蛍光X線分析装置は、測定エネルギ領域によっては照射された1次X線のごく一部しか励起に寄与しないため、1次X線ビームを試料中元素の励起源として有効に使用されていなかった。
ところで、近年、環境問題としてオイル中に含まれる有害元素である微量イオウ(16S)の規格が決められようとしている。超微量イオウ分析に関する試験法がISOおよびJISで基準化されつつある。このような事情から、1ppmレベルのオイル中のイオウ分析ができる装置が求められている。
これらの要求に応えるため、たとえば、大容量のX線管や液体窒素冷却の大面積検出素子の半導体検出器を用いたX線分析装置で元素分析を行うこともできる。しかし、このようなX線管や検出器を使用すれば、大電力、冷却水、液体窒素などのユーティリティが必要となる。したがって、コストアップの原因となる。装置も大型化になり、設置面積も大きく広い場所が必要で、メンテナンス時間も頻繁に必要となる。これらの点においてもコストが高くなる。
本発明は、前記従来の間題を解決するためになされたもので、その目的は、分析元素の分析深さ以内に2次ターゲットを試料セル内に設置し、多重励起線により測定元素の蛍光X線強度をアップし、測定試料中の微量元素の分析を可能とする比較的安価な蛍光X線分析装置を提供することである。
本発明に係る蛍光X線分析装置は、X線源から分光結晶を介して、測定試料に1次X線を照射し、該1次X線を受けた測定試料から発生した蛍光X線を検出手段で検出することにより、前記測定試料の元素分析を行う蛍光X線分析装置において、試料セル中の試料内に載置された2次ターゲットに前記1次X線を照射し、2次ターゲットから発生したX線および前記1次X線をX線励起線源群とすることを特徴とする。
また、本発明に係る蛍光X線分析装置は、X線源から1次フィルタを介して、測定試料に1次X線を照射し、該1次X線を受けた測定試料から発生した蛍光X線を検出手段で検出することにより、前記測定試料の元素分析を行う蛍光X線分析装置において、試料セル中の試料内に載置された2次ターゲットに前記1次X線を照射し、2次ターゲットから発生したX線および前記1次X線をX線励起線源群とすることを特徴とする。
あるいは、本発明に係る蛍光X線分析装置は、X線源から直接、測定試料に1次X線を照射し、該1次X線を受けた測定試料から発生した蛍光X線を検出手段で検出することにより、前記測定試料の元素分析を行う蛍光X線分析装置において、試料セル中の試料内に載置された2次ターゲットに前記1次X線を照射し、2次ターゲットから発生したX線および前記1次X線をX線励起線源群とすることを特徴とする。
本発明の原理を図1および図2を参酌しつつ説明する。X線管5から発生したX線を分光結晶6で分光、単色化し、その特性X線7を測定試料4に照射する。まず、特性X線7によって前記測定試料4中の元素が励起され、蛍光X線9a(図1では9)が発生する。次に、前記特性X線7が試料セル1中に設置された2次ターゲット3に衝突し、その表面散乱X線8a(図1では8)および2次ターゲット構成元素を励起して発生したX線8b(図1では8)により励起された試料中元素の蛍光X線9b(図1では9)が発生する。これらの蛍光X線9a,9b両方(蛍光X線9)を検出手段10により検出し、検出された信号の高さとその数により元素分析を行うものである。
前記2次ターゲット3は、分析元素毎に選択を行う。一般的には、分析元素の吸収端エネルギよりわずかに高いエネルギを持つ構成元素を有するターゲット材が選択される。本発明の2次ターゲット材は、X線管ターゲット材の種類並びに測定元素によって種々の材質が用いられる。マグネシウム(12Mg)、アルミニウム(13Al)、シリコン(14Si)、チタン(22Ti)、銅(22Cu)、モリブデン(42Mo)などの単体やその化合物(MgO、SiO2、TiO2、CuOなど)を用いる。本発明の一実施例としてオイル中のイオウ分析に対する2次ターゲット材を表1に示す。
以上説明したように、本発明によれば、試料セル内に2次ターゲットを設置することにより、1次X線の励起を有効に活用でき、多重励起X線群として作用する。従来の装置であれば、蛍光X線9aのみしか発生しなかったのが、本発明では蛍光X線9bが蛍光X線強度に加算して検出され、測定X線強度が強まり、測定元素を精度よく分析することが可能となる。
このため、オイル中のイオウの検出下限値を0.5ppm以下にすることができ、また、一方、分析時間を大幅に短縮できる効果がある。
また、大出力(数kW以上)のX線管を用いる場合に比べ、低出力(数10W)のX線管を用いることで済むから、ローコスト化を実現できる。
以下、本発明の一実施形態を図面にしたがって説明する。図1は、本実施形態に係る装置の構成図、図2は、試料回りの1次X線と蛍光X線の発生メカニズムの詳細な説明図である。本実施形態では、オイル中に含まれる人体に有害な重金属(たとえば、S、塩素(17Cl)など)を分析して、精製したオイルのイオウ含有量が所定の基準値通りか否かの合否判定を行う蛍光X線分析装置を例にとって説明する。
図1において、一実施例として、本分析装置は、測定試料(オイル)4が設置される試料セル台2と、前記測定試料(オイル)4に1次X線(Cr−Kα線)7を照射するX線管(ターゲット材:Cr)5と、該X線管(ターゲット材:Cr)5から発生する特性X線(Cr−Kα線)を分光し、単色化する分光結晶(フッ化リチウム(LiF))6と、前記測定試料(オイル)4から発生した蛍光X線(S−Kα線)9を検出する検出手段10を備えている。
前記試料セル1内には、2次ターゲット(Ti)3が設けられている。前記1次X線(Cr−Kα線)7は、試料セル1の高分子窓11を通り、前記測定試料(オイル)4に照射され、該測定試料(オイル)4の構成元素Sを励起し、蛍光X線(S−Kα線)9aを発生する。
前記1次X線(Cr−Kα線)7は、試料4を透過し、前記2次ターゲット(Ti)3に照射される。照射された前記1次X線(Cr−Kα線)7は、前記2次ターゲット(Ti)3の表面並びに表面ごく近傍で散乱し、発生した散乱X線(Cr−Kα線)8aによって前記測定試料(オイル)4の構成元素Sを励起し、蛍光X線(S−Kα線)9bを発生する。
さらに、照射された前記1次X線(Cr−Kα線)7は、前記2次ターゲット(Ti)3の構成元素を励起し、蛍光X線(Ti−K線(Ti−Kα線およびTi−Kβ線))を発生し、発生したX線(Ti−K線)8bによって前記測定試料(オイル)4の構成元素Sを励起し、蛍光X線(S−Kα線)9bを発生する。
以上説明した如く、オイル中の元素Sは、1次X線(Cr−Kα線)によって、まず励起され、次に、1次X線(Cr−Kα線)による2次ターゲット(Ti)の表面および表面ごく近傍の散乱線並びに1次X線(Cr−Kα線)によって励起された蛍光X線(Ti−K線)によって励起される。これらの多重励起によって発生したオイル中のイオウの蛍光X線(S−Kα線)9を検出手段10によって検出する。
本装置でオイル中のイオウの測定を行う場合には、バックグラウンドの低減、特に妨害線の除去という観点から、前記X線源に用いるX線管5のターゲットとしては、クロム(24Cr)の他、タングステン(74W)、レニウム(75Re)、タンタル(73Ta)、銀(47Ag)、銅(22Cu)を用いるのが一般に好ましい。
前記分光結晶6としては、フッ化リチウム(LiF)の他、Graphite、シリコン(Si)、ゲルマニウム(Ge)単結晶などの無機結晶あるいはスパッタ多層薄膜の人工格子(W/Si、W/Cなど)からなる湾曲結晶を用いるのが一般に好ましい。更に1重湾曲より2重湾曲結晶を用い、試料表面に集光させるのが望ましい。
前記分光結晶6の代わりにフイルタ(一次フイルタ)、Al、Si、Cuなどの薄膜をX線管窓の前に置き、測定元素のエネルギ付近のバックグラウンドを低減する励起源を用いてもよい。また、X線管からのX線を直接試料に照射してもよい。
検出手段としては、たとえば、シリコンドリフト検出器(SDD)やSi/PIN検出器のように、エネルギ分解能に優れ、液体窒素冷却によらず、ペルチェ素子による電子冷却を行うものを採用するのが好ましい。また、ガス封入型の比例計数管やガスシンチレーション計数管を用いてもよい。
更に、検出手段として、本発明の1次X線の単色化に用いたのと同様のX線分光器を用いて試料から発生したイオウの蛍光X線9を分光し、検出してもよい。この時の分光素子として、Si、Ge、Graphite、人工格子が用いられる。検出器には、ガス封入型の比例計数管やガスシンチレーション計数管あるいはSDDやSi/PIN検出器を用いてもよい。
前記試料セル1の窓材11には、イオウの蛍光X線の吸収を少なくするために高分子(マイラー、キャプトンなど)の数ミクロン厚さの膜やベリリウム(4Be)の20μm程度の薄膜を用いるのが望ましい。
前記2次ターゲット3は、オイル中のイオウの分析深さが20μm程度のため、前記試料セル1の窓材11から100μm程度の深さの位置に載置されるのが望ましい。
1次X線及び蛍光X線の光学パスは、数10パスカル程度の真空あるいはヘリウム置換を行い、X線の空気による減衰を抑える方が望ましい。
1 試料セル
2 試料セル台
3 2次ターゲット
4 測定試料
5 X線管
6 分光緒晶(湾曲モノクロメータ)
7 1次X線
8 2次ターゲットから発生したX線(散乱X線8aおよび蛍光X線8b)
9 蛍光X線
9a 1次X線7によって励起された蛍光X線
9b 2次ターゲットから発生したX線8によって励起された蛍光X線
10 検出手段
11 試料セル窓
2 試料セル台
3 2次ターゲット
4 測定試料
5 X線管
6 分光緒晶(湾曲モノクロメータ)
7 1次X線
8 2次ターゲットから発生したX線(散乱X線8aおよび蛍光X線8b)
9 蛍光X線
9a 1次X線7によって励起された蛍光X線
9b 2次ターゲットから発生したX線8によって励起された蛍光X線
10 検出手段
11 試料セル窓
Claims (3)
- X線源から分光結晶を介して、測定試料に1次X線を照射し、該1次X線を受けた測定試料から発生した蛍光X線を検出手段で検出することにより、前記測定試料の元素分析を行う蛍光X線分析装置において、
試料セル中の試料内に載置された2次ターゲットに前記1次X線を照射し、2次ターゲットから発生したX線および前記1次X線をX線励起線源群とすることを特徴とする蛍光X線分析装置。 - X線源から1次フィルタを介して、測定試料に1次X線を照射し、該1次X線を受けた測定試料から発生した蛍光X線を検出手段で検出することにより、前記測定試料の元素分析を行う蛍光X線分析装置において、
試料セル中の試料内に載置された2次ターゲットに前記1次X線を照射し、2次ターゲットから発生したX線および前記1次X線をX線励起線源群とすることを特徴とする蛍光X線分析装置。 - X線源から直接、測定試料に1次X線を照射し、該1次X線を受けた測定試料から発生した蛍光X線を検出手段で検出することにより、前記測定試料の元素分析を行う蛍光X線分析装置において、
試料セル中の試料内に載置された2次ターゲットに前記1次X線を照射し、2次ターゲットから発生したX線および前記1次X線をX線励起線源群とすることを特徴とする蛍光X線分析装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004210268A JP2006030018A (ja) | 2004-07-16 | 2004-07-16 | 蛍光x線分析装置 |
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-
2004
- 2004-07-16 JP JP2004210268A patent/JP2006030018A/ja active Pending
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A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060331 |
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A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20060721 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |